JP2020139527A - 流体開閉装置及び流体の開閉方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる流体開閉装置及び流体の開閉方法を提供する。【解決手段】流体が通過する通路２を開閉する流体開閉装置１であって、通路２を開閉する開閉弁３と、この開閉弁３の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段、通路２の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段と、前記通路の出口に接続された真空室８と、開閉弁３と真空ゲートバルブとの間にあって、収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材９と、この収納部開閉部材９の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段１０と、を備え、真空ゲートバルブは、開閉弁３より前記流体流れの下流に位置し、収納部開閉部材９により収納部の開口部を開としたとき、収納部の開口部は、通路２に臨んでいるものである。【選択図】図３

Description

本発明は、流体開閉装置及び流体の開閉方法に係り、特に、真空ゲートバルブの動作
不良を防ぐことができる流体開閉装置及び流体の開閉方法に関する。

通路内を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブがある。

ところが、上記真空ゲートバルブを通路内で開閉すると、例えば、通路を流れる流体
、例えば、粉体の場合、真空ゲートバルブの摺動部に粉体が付着し、動作不良を起こすと
いう問題点が生じた。

本発明は、上記の問題点を考慮してなされたもので、真空ゲートバルブの動作不良を
防ぐことができる流体開閉装置及び流体の開閉方法を提供することを目的とする。

請求項１記載の流体開閉装置は、流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であっ
て、前記通路を開閉する開閉弁と、この開閉弁の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段と、
前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、この真空ゲートバル
ブの弁板を収納する収納部と、前記真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ
開閉制御手段と、前記通路の出口に接続された真空室と、前記開閉弁と前記真空ゲートバ
ルブとの間にあって、前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、この収納部開閉
部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、を備え、前記真空ゲートバルブは、前
記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口
部を開としたとき、前記収納部の開口部は、前記通路に臨んでいるものである。

また、請求項２記載の流体開閉装置は、請求項１記載の流体開閉装置において、流体
は粉体であり、開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収
納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、
通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板
が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉
弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ
開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻止す
ると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持するものである。

また、請求項３記載の流体の開閉方法は、流体が通過する通路を開閉する流体の開閉
方法であって、前記通路を開閉する開閉弁と、前記通路の開口部を弁板で開閉するように
した真空ゲートバルブと、この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、この収納部
の開口部を開閉する収納部開閉部材と、前記通路の出口に接続された真空室と、を備え、
前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、前記開閉弁及び
前記真空ゲートバルブの開により、前記通路内の流体の流れを許容すると共に、前記収納
部開閉部材により前記収納部の開口部を閉じて、前記通路内の流体が前記真空ゲートバル
ブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁の閉により、前記通
路内への流体の流れを阻止すると共に、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を開として、前記収納部の開口部より前記真空ゲートバルブの弁板を前記通路を横断するように移動させて前記通路を閉とするものである。

また、請求項４記載の流体の開閉方法は、請求項３記載の流体の開閉方法において、
流体は粉体であり、開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段によ
り収納部の開口部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開とし
て、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの
弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、前記開閉弁開閉制御手段により前記
開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を開、前記真空ゲートバ
ルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを閉として、前記通路内の流体の流れを阻
止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持するものであ
る。

また、請求項５記載の流体開閉装置は、流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であって、前記通路の開口部を弁板で開閉するようにしたゲートバルブと、このゲートバルブの弁板を収納する収納部と、前記ゲートバルブの開閉を制御するゲートバルブ開閉制御手段と、前記通路に臨む前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、を備え、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記ゲートバルブの弁板を前記収納部内に収納し、収納後、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が閉となるように前記収納部開閉部材を動作させ、前記通路を開とし、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記収納部内の前記ゲートバルブの弁板を前記通路内に移動させ、前記通路を閉とするものである。

また、請求項６記載の流体の開閉方法は、流体が通過する通路を開閉する流体の開閉方法であって、前記通路の開口部を弁板で開閉するようにしたゲートバルブと、このゲートバルブの弁板を収納する収納部と、前記ゲートバルブの開閉を制御するゲートバルブ開閉制御手段と、前記通路に臨む前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、を備え、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記ゲートバルブの弁板を前記収納部内に収納し、収納後、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が閉となるように前記収納部開閉部材を動作させ、前記通路を開とし、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記収納部内の前記ゲートバルブの弁板を前記通路内に移動させ、前記通路を閉とするものである。

また、請求項７記載の流体開閉装置は、請求項１又は請求項２又は請求項５記載の流体開閉装置において、通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室内を２室に区画するものであり、収納部開閉部材制御手段により、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、前記収納部開閉部材制御手段により、前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とするものである。

また、請求項８記載の流体の開閉方法は、請求項３又は請求項４又は請求項６記載の流体の開閉方法において、通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室内を２室に区画するものであり、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とするものである。

請求項１記載の流体開閉装置によれば、開閉弁及び真空ゲートバルブの開により、通
路内の流体の流れを許容すると共に、開閉部材の閉により収納部の開口部を閉じて、通路
内の流体の前記収納部への侵入を阻止して真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができ
、しかも、開閉弁の閉により、通路内の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブ
の閉により、真空室の真空状態を保持することができる。

また、請求項２記載の流体開閉装置によれば、上述した請求項１記載の発明の効果に
加え、通路内の流体が粉体の場合、真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ粉体が
侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。

また、請求項３記載の流体の開閉方法によれば、開閉弁及び真空ゲートバルブの開に
より、通路内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材により収納部の開口部を閉
じて、通路内の流体が真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ侵入するのを阻止し
て、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができ、しかも、開閉弁の閉により、通路内
の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブの閉により、真空室の真空状態を保持
することができる。

また、請求項４記載の流体の開閉方法によれば、上述した請求項３記載の発明の効果
に加え、通路内の流体が粉体の場合、真空ゲートバルブの弁板が収納された収納部へ粉体
が侵入するのを阻止して、真空ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。

また、請求項５記載の流体開閉装置によれば、ゲートバルブ開閉制御手段により通路が開となるようにゲートバルブを動作させると共に、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉じるように収納部開閉部材を動作させ、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止して前記ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。

また、請求項６記載の流体の開閉方法によれば、ゲートバルブ開閉制御手段により通路が開となるようにゲートバルブを動作させると共に、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口部を閉じるように収納部開閉部材を動作させ、通路内の流体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止して前記ゲートバルブの動作不良を防ぐことができる。

また、請求項７記載の流体開閉装置によれば、上述した請求項１又は請求項２又は請求項５記載の発明の効果に加え、通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、前記収納部開閉部材の張り出し部は、気密室内を２室に区画するものであり、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とする。
つまり、気密室内を収納部開閉部材の張り出し部を介して移動する収納部開閉部材をコンパクトに構成することができる。

また、請求項８記載の流体の開閉方法によれば、上述した請求項３又は請求項４又は請求項６記載の発明の効果に加え、通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、前記収納部開閉部材の張り出し部は、気密室内を２室に区画するものであり、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とする。 つまり、気密室内を収納部開閉部材の張り出し部を介して移動する収納部開閉部材をコンパクトに構成することができる。

図１は、本発明の一実施例の流体開閉装置の概略的一部破断斜視図である。 図２は、図１の真空ゲートバルブ開閉制御手段を示す概略的断面図である。 図３は、図１の流体開閉装置の開閉弁及び真空ゲートバルブの開状態時の概略的断面図である。 図４は、図１の流体開閉装置の開閉弁及び真空ゲートバルブの閉状態時の概略的断面図である。 図５（ａ）は、図３の状態の概略的図であり、図５（ｂ）は、図４の状態の概略的図である。 図６は、図１の流体開閉装置と異なる他の実施例の流体開閉装置の概略的一部破断斜視図で、ゲートバルブの弁板を収納部の外へ移動させ、通路を閉とした状態を示している。 図７は、図６の概略的断面図である。 図８は、図６の流体開閉装置の収納部開閉部材の移動途中の状態の概略的一部破断斜視図である。 図９は、図８の概略的断面図である。 図１０は、図８の流体開閉装置の収納部開閉部材を移動させた状態の概略的一部破断斜視図で、ゲートバルブの弁板を収納部内に収納し、収納部の開口部を収納部開閉部材で閉じ、通路を開とした状態を示している。 図１１は、図１０の概略的断面図である。

本発明の一実施例の流体開閉装置及び流体の開閉方法を図面（図１乃至図５）を参照
して説明する。
図１に示す１は流体開閉装置で、流体開閉装置１は、流体が通過する通路２を開閉す
る装置である。

３は、通路２を開閉する開閉弁で、開閉弁３は、例えば、バタフライ弁である。この
開閉弁３の開閉は、開閉弁開閉制御手段４により制御されるようになっている。
開閉弁開閉制御手段４は、例えば、開閉弁３を通路２内に進退させる手段（例えば、
開閉弁３をシリンダーのロッドに機構的に接続して、ロッドを前進させて開閉弁３で通路
２を塞ぎ、ロッドを後退させて通路２内の開閉弁３を開く）でも良く、
また、開閉弁開閉制御手段４は、例えば、開閉弁３を通路２内で回動させる手段（例
えば、開閉弁３に軸を設け、この軸を回動して、時計回りに回動させて開閉弁３で通路２
を塞ぎ、開閉弁３に設けた軸を反時計回りに回動させて通路２内の開閉弁３を開く）でも
良く、また、開閉弁開閉制御手段４は、例えば、特開２０１６−１１４２２３に開示され
たもの、つまり、開閉弁３に取り付けられた弁棒（図示せず）の軸を回動するもので、エ
アシリンダー（図示せず）で動くラック（図示せず）に弁棒（図示せず）に取り付けられ
た平歯車（図示せず）を噛み合わせて行うようにしても良い。

５は、通路２の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブで、この真空ゲ
ートバルブ５は、開閉弁３より流体流れの下流に位置している。
６は、真空ゲートバルブ５の弁板を収納する収納部で、７は、真空ゲートバルブ５の
開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段で、
真空ゲートバルブ開閉制御手段７は、例えば、真空ゲートバルブ５の弁板を通路２内
に進退させる手段（例えば、エアシリンダー（図示せず）のロッド（図示せず）に接続さ
れた真空ゲートバルブ５の弁板を前進させて、通路２の開口部を閉じ、逆に、エアシリン
ダー（図示せず）のロッド（図示せず）に接続された真空ゲートバルブ５の弁板を後退さ
せて、収納部６に収納させるようにして、通路２の開口部を開）としても良いし、
また、真空ゲートバルブ開閉制御手段７は、例えば、真空ゲートバルブ５の弁板を通
路２内に進退させる手段（例えば、エアシリンダー（図示せず）のロッド（図示せず）に
歯切りしたラック（図示せず）に平歯車（図示せず）を係合させ、前記平歯車（図示せず
）に機構的に接続した継ぎ手Ｔ（図２）を介して真空ゲートバルブ５の弁板を回動させる
。例えば、ラック（図示せず）の動きに追随して平歯車（図示せず）を反時計回りに回動
させて、継ぎ手Ｔを介して真空ゲートバルブ５の弁板を回動させ開閉弁３で通路２を塞ぎ
、逆に、ラック（図示せず）の動きに追随して平歯車（図示せず）を時計回りに回動させ
て、真空ゲートバルブ５の弁板を後退させて、収納部６に収納させるようにして、通路２
の開口部を開としても良い。）でも良いし、例えば、特開平１１−２１８２３７の図１乃至図５記載の段落番号［０００６］に記載の「弁体２は、図２及び図３で示されるように、弁体２の端部側に形成された長孔２ａにアーム３ａのローラ３ｂが作動自在に係合しており、このアーム３ｂの回動によって弁体２は弁箱５内を往復移動できるように構成されている。」ものでも良い。

８は、通路２の出口に接続された大気圧より低い圧力に保持される真空室（減圧室）
である。９は、開閉弁３と真空ゲートバルブ５との間にあって、収納部６の開口部を開閉
する収納部開閉部材で、収納部開閉部材９は、例えば、シリンダ状部材である。
この収納部開閉部材９の開閉は、収納部開閉部材制御手段１０により開閉制御される
ようになっている。
収納部開閉部材制御手段１０は、例えば、エアシリンダー１１のロッド１２を進退さ
せて行う。１３は、収納部開閉部材９の外周に接続された接続部材で、接続部材１３の裏
面にロッド１２の先端を当接して、接続部材１３は、ロッド１２の動きに追随するように
なっている。
そして、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を開としたとき、収納部６の開口
部は、通路２に臨んでいる。

上述した流体開閉装置１にあっては、図３及び図５（ａ）に示すように、開閉弁３及
び真空ゲートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉
部材９により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体が真空ゲートバルブ５の弁板が
収納された収納部６へ侵入するのを阻止することができる。
また、逆に、図４及び図５（ｂ）に示すように、開閉弁３の閉により、通路２内への
流体の流れを阻止すると共に、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を開として、収
納部６の開口部より真空ゲートバルブ５の弁板を通路２を横断するように移動させて通路
２を閉とすることができる。

従って、上述した流体開閉装置（流体の開閉方法）１によれば、開閉弁３及び真空ゲ
ートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材９の
閉により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体の収納部６への侵入を阻止して真空
ゲートバルブ５の動作不良を防ぐことができ、しかも、収納部開閉部材９の閉により、通
路２内の流体の流れを阻止すると共に、真空ゲートバルブ５の閉により、真空室（減圧室
）８の真空（減圧）状態を保持することができる。

なお、開閉弁３及び真空ゲートバルブ５を閉とする場合、望ましくは、通路２が閉じるように、開閉弁開閉制御手段４により開閉弁３を閉じさせ、その後、収納部開閉部材制御手段１０により収納部６の開口部を開くように、収納部開閉部材９を移動させ、その後、真空ゲートバルブ開閉制御手段７により収納部６内の真空ゲートバルブ５を通路２内へ移動させ、通路２が閉じる（塞ぐ）ように動作させる。
逆に、開閉弁３及び真空ゲートバルブ５を開とする場合、望ましくは、収納部６の開口部が開くように、収納部開閉部材制御手段１０により収納部開閉部材９を移動させ、その後、真空ゲートバルブ開閉制御手段７により通路２内の真空ゲートバルブ５を収納部６内へ移動させ、その後、収納部開閉部材制御手段１０により収納部６の開口部が閉じるように、収納部開閉部材９を移動させ、その後、開閉弁開閉制御手段４により通路２が開となるように開閉弁３を動作させる。

なお、流体は液体、気体、粉体の何れかであれば良く、収納部開閉部材９の閉により
収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体の収納部６への侵入を阻止して真空ゲートバ
ルブ５を液体、気体及び粉体から保護することができる。
本実施例の流体開閉装置（流体の開閉方法）１においては、例えば、通路２内の流体
が粉体の場合、真空ゲートバルブ５の弁板が収納された収納部６へ粉体が侵入するのを阻
止して、真空ゲートバルブ５の動作不良を防ぐことができる。

なお、上述した実施例においては、流体開閉装置（流体の開閉方法）を真空室に適用した例を示したが、本願発明にあっては、真空室に限らない流体開閉装置（流体の開閉方法）にも同様に適用できるものである（図６乃至図１１参照）。
その際、真空ゲートバルブ５はゲートバルブであり、真空ゲートバルブ開閉制御手段７はゲートバルブ開閉制御手段となる。

即ち、流体開閉装置（流体の開閉方法）１は、流体が通過する通路２を開閉する流体開閉装置（流体の開閉方法）１であって、の開口部を弁板で開閉するようにしたゲートバルブ５と、このゲートバルブ５の弁板を収納する収納部６と、ゲートバルブ５の開閉を制御するゲートバルブ開閉制御手段７と、通路２に臨む収納部６の開口部を開閉する収納部開閉部材９と、この収納部開閉部材９の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段（図示せず）と、を備え、収納部開閉部材制御手段（図示せず）により収納部６の開口部が開となるように収納部開閉部材９を動作させ、その後、ゲートバルブ開閉制御手段７により、ゲートバルブ５の弁板を収納部６内に収納し、収納後、収納部開閉部材制御手段（図示せず）により収納部６の開口部が閉となるように収納部開閉部材９を動作させ、通路２を開とする。
つまり、図１０及び図１１に示すように、ゲートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容すると共に、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体がゲートバルブ５の弁板が収納された収納部６へ侵入するのを阻止するものである。

逆に、収納部開閉部材制御手段（図示せず）により収納部６の開口部が開となるように収納部開閉部材９を動作させ、その後、ゲートバルブ開閉制御手段７により、収納部６内のゲートバルブ５の弁板を通路２内に移動させ、通路２を閉とする。
つまり、図６及び図７に示すように、収納部開閉部材９により収納部６の開口部を開として、収納部６の開口部よりゲートバルブ５の弁板を通路２を横断するように移動させて
通路２を閉とするものである。
なお、ゲートバルブ５の弁板と収納部開閉部材９との隙間には、図示しないシール部材でシールされている。また、図８及び図９は、図６の流体開閉装置１の収納部開閉部材９の移動途中の状態を示している。

この流体開閉装置（流体の開閉方法）１によれば、ゲートバルブ５の開により、通路２内の流体の流れを許容し、収納部開閉部材９の閉により収納部６の開口部を閉じて、通路２内の流体（例えば、粉体）の収納部６への侵入を阻止してゲートバルブ５の動作不良を防ぐことができる。

なお、図６に示す２０は気密室で、気密室２０は、通路２の外側に収納部開閉部材９の張り出し部９Ａを収納するために設けられている。収納部開閉部材９の張り出し部９Ａは、通路２の外側に向かうように張り出している。
収納部開閉部材９の張り出し部９Ａは、気密室２０の内壁を摺動すると共に、収納部開閉部材９の通路２に対向する面は通路２の外側（外壁）を摺動するものであり、収納部開閉部材９の張り出し部９Ａは、気密室２０内を２室Ａ、Ｂに区画するものであり、２室Ａ、Ｂの一方Ａに、収納部開閉部材制御手段（図示せず）により流体（例えば、空気）を流入させると共に、２室Ａ、Ｂの他方Ｂの流体（例えば、空気）を排出させて、収納部開閉部材９を移動させて収納部６の開口部を閉とし（図１０及び図１１）、
また、２室Ａ、Ｂの他方Ｂに、収納部開閉部材制御手段（図示せず）により流体（例えば、空気）を流入させると共に、前記２室Ａ、Ｂの一方Ａの流体（例えば、空気）を排出させて、収納部開閉部材９を移動（例えば、上昇）させて収納部６の開口部を開とする（図６及び図７）。
その結果、気密室２０内を収納部開閉部材９の張り出し部９Ａを介して移動する収納部開閉部材９をコンパクトに構成することができる。

なお、ゲートバルブ開閉制御手段７は、詳細を図示しないが、例えば、特開平１１−２１８２３７の図１乃至図５記載の段落番号［０００６］に記載の「弁体２は、図２及び図３で示されるように、弁体２の端部側に形成された長孔２ａにアーム３ａのローラ３ｂが作動自在に係合しており、このアーム３ｂの回動によって弁体２は弁箱５内を往復移動できるように構成されている。」ものでも良く、また、特開平１１−２１８２３７の図６、段落番号［０００２］に記載されているような「駆動軸４で開口部７を弁体２で開閉」するようにしたもので構成しても良い。

１ 流体開閉装置
２ 通路
３ 開閉弁
４ 開閉弁開閉制御手段
５ 真空ゲートバルブ
６ 収納部
７ 真空ゲートバルブ開閉制御手段
８ 真空室
９ 収納部開閉部材
１０ 納部開閉部材制御手段

Claims (8)

1. 流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であって、
   前記通路を開閉する開閉弁と、
   この開閉弁の開閉を制御する開閉弁開閉制御手段と、
   前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、
   この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
   前記真空ゲートバルブの開閉を制御する真空ゲートバルブ開閉制御手段と、
   前記通路の出口に接続された真空室と、
   前記開閉弁と前記真空ゲートバルブとの間にあって、前記収納部の開口部を開閉する
   収納部開閉部材と、
   この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、
   を備え、
   前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、
   前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を開としたとき、前記収納部の開口部
   は、前記通路に臨んでいる
   ことを特徴とする流体開閉装置。
2. 流体は粉体であり、
   開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口
   部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流
   体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納され
   た前記収納部へ侵入するのを阻止し、
   前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により
   収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを
   閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により
   、真空室の真空状態を保持する
   ことを特徴とする請求項１記載の流体開閉装置。
3. 流体が通過する通路を開閉する流体の開閉方法であって、
   前記通路を開閉する開閉弁と、
   前記通路の開口部を弁板で開閉するようにした真空ゲートバルブと、
   この真空ゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
   この収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、
   前記通路の出口に接続された真空室と、
   を備え、
   前記真空ゲートバルブは、前記開閉弁より前記流体流れの下流に位置し、
   前記開閉弁及び前記真空ゲートバルブの開により、前記通路内の流体の流れを許容す
   ると共に、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を閉じて、前記通路内の流体が
   前記真空ゲートバルブの弁板が収納された前記収納部へ侵入するのを阻止し、
   前記開閉弁の閉により、前記通路内への流体の流れを阻止すると共に、前記収納部開閉部材により前記収納部の開口部を開として、前記収納部の開口部より前記真空ゲートバルブの弁板を前記通路を横断するように移動させて前記通路を閉とする
   ことを特徴とする流体の開閉方法。
4. 流体は粉体であり、
   開閉弁開閉制御手段により開閉弁を開、収納部開閉部材制御手段により収納部の開口
   部を閉、真空ゲートバルブ開閉制御手段により真空ゲートバルブを開として、通路内の流
   体の流れを許容すると共に、前記通路内の流体が前記真空ゲートバルブの弁板が収納され
   た前記収納部へ侵入するのを阻止し、
   前記開閉弁開閉制御手段により前記開閉弁を閉、前記収納部開閉部材制御手段により
   収納部の開口部を開、前記真空ゲートバルブ開閉制御手段により前記真空ゲートバルブを
   閉として、前記通路内の流体の流れを阻止すると共に、前記真空ゲートバルブの閉により
   、真空室の真空状態を保持する
   ことを特徴とする請求項３記載の流体の開閉方法。
5. 流体が通過する通路を開閉する流体開閉装置であって、
   前記通路の開口部を弁板で開閉するようにしたゲートバルブと、
   このゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
   前記ゲートバルブの開閉を制御するゲートバルブ開閉制御手段と、
   前記通路に臨む前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、
   この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、
   を備え、
   前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記ゲートバルブの弁板を前記収納部内に収納し、収納後、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が閉となるように前記収納部開閉部材を動作させ、前記通路を開とし、
   前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記収納部内の前記ゲートバルブの弁板を前記通路内に移動させ、前記通路を閉とする
   ことを特徴とする流体開閉装置。
6. 流体が通過する通路を開閉する流体の開閉方法であって、
   前記通路の開口部を弁板で開閉するようにしたゲートバルブと、
   このゲートバルブの弁板を収納する収納部と、
   前記ゲートバルブの開閉を制御するゲートバルブ開閉制御手段と、
   前記通路に臨む前記収納部の開口部を開閉する収納部開閉部材と、
   この収納部開閉部材の開閉を制御する収納部開閉部材制御手段と、
   を備え、
   前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記ゲートバルブの弁板を前記収納部内に収納し、収納後、前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が閉となるように前記収納部開閉部材を動作させ、前記通路を開とし、
   前記収納部開閉部材制御手段により前記収納部の開口部が開となるように前記収納部開閉部材を動作させ、その後、前記ゲートバルブ開閉制御手段により、前記収納部内の前記ゲートバルブの弁板を前記通路内に移動させ、前記通路を閉とする
   ことを特徴とする流体の開閉方法。
7. 通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室内を２室に区画するものであり、
   収納部開閉部材制御手段により、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、
   前記収納部開閉部材制御手段により、前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とする
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項５記載の流体開閉装置。
8. 通路の外側に収納部開閉部材の張り出し部を収納する気密室を設け、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記通路の外側に向かうように張り出し、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室の内壁を摺動すると共に、前記収納部開閉部材の通路に対向する面は前記通路の外側を摺動するものであり、
   前記収納部開閉部材の張り出し部は、前記気密室内を２室に区画するものであり、前記２室の一方に流体を流入させると共に、前記２室の他方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて収納部の開口部を閉とし、
   前記２室の他方に流体を流入させると共に、前記２室の一方の流体を排出させて、前記収納部開閉部材を移動させて前記収納部の開口部を開とする
   ことを特徴とする請求項３又は請求項４又は請求項６記載の流体の開閉方法。