JP2020125784A - 真空アクチュエータ、仕切りバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】油圧漏洩防止効果を強化する。【解決手段】真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧する伸縮式真空アクチュエータ７０であって、貫通孔７７１ｃを軸方向に有するガイドロッド７７１と、ガイドロッドの一端面７７１ａ側を同軸状として摺動可能に覆う有底筒状のシリンダ部７７２と、シリンダ部と一体の伸縮ロッド７２と、シリンダ部の他端部７７２ｂに径方向外側に周設されるフランジ部７７３と、フランジ部を付勢する付勢部材７３と、ガイドロッドが内側に固定されるとともに伸縮ロッドを真空側となる外部へ伸縮自在とする貫通孔７７５を有するケーシング７７４と、を有し、ケーシング内部には、シリンダと付勢部材とを収納して、作動油圧が漏れた際に緩衝する緩衝空間７７６が形成される。【選択図】図１

Description

本発明は真空アクチュエータ、仕切りバルブに関し、特に真空中で油圧駆動可能な伸縮アクチュエータ、および、これを用いた振り子式仕切りバルブに用いて好適な技術に関する。

真空装置等においては、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧するための伸縮アクチュエータが設けられる。このような伸縮アクチュエータとしては、チャンバ内における汚染防止等の観点から、その多くは真空雰囲気であるチャンバ外に駆動部が配置されて、チャンバ内の伸縮部を駆動させる構成が知られている。
例えば、伸縮アクチュエータとしては、電磁駆動型、圧空駆動型、油圧駆動型などがある。

これに対し、本発明者らは、密閉時に弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。

なお、この例の伸縮アクチュエータにおいて、高出力が必要な油圧での駆動は、基本的に伸長側であり、縮退側はバネ等を用いる構成である。

特許第６３５８７２７号公報

油圧駆動型の伸縮アクチュエータは、他のタイプの駆動方式に比べて、駆動部分を省スペース化することができる。特に、駆動可能な単位出力当たりの容積は、他のタイプの駆動方式に比べて、油圧駆動型の伸縮アクチュエータで、もっとも小さくできる。

このように、省スペースの可能な高出力の伸縮アクチュエータにおいて、特に、真空雰囲気への油漏れに対する安全性を向上したいという要求がある。
真空中での油漏れ対策としては、油漏れ用の緩衝空間を設けることが考えられるが、その場合、駆動に必要な容積が大きくなってしまうという問題がある。しかし、伸縮アクチュエータにおいては、駆動可能な単位出力当たりの容積を小さくすることが要求される。

また、駆動部とは別構成として油漏れ用の緩衝空間を設けた場合には、部品点数の増加が避けられない。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．真空雰囲気への油漏れの防止効果向上を図ること。
２．省スペース化と部品点数の削減を図ること。

本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータであって、
外部から作動油圧を一端面側に供給可能な貫通孔を軸方向に有するガイドロッドと、
前記ガイドロッドの一端面側を同軸状として摺動可能に覆って内部に駆動空間を形成する有底筒状のシリンダ部と、
前記シリンダ部と一体として前記シリンダ部の一端部の軸方向外側に延在する伸縮ロッドと、
前記シリンダ部の他端部に径方向外側に周設されるフランジ部と、
前記フランジ部を前記伸縮ロッドの縮退方向に付勢する付勢部材と、
前記ガイドロッドが内側に固定されるとともに前記伸縮ロッドを真空側となる外部へ伸縮自在とする貫通孔を有するケーシングと、
を有し、
前記ケーシングの内部には、前記シリンダ部を摺動可能に収納し、かつ、前記付勢部材を収納するとともに、前記作動油圧が前記シリンダ部の内側から漏れた際に、真空側となる前記外部へ漏出する前に緩衝する緩衝空間が形成されることにより上記課題を解決した。
本発明の真空アクチュエータは、前記作動油圧が供給される前記シリンダ部の内側の前記駆動空間から、前記伸縮ロッドの伸張する真空側となる前記外部まで、四段の密閉部材が設けられることができる。
本発明において、前記シリンダ部の内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面と、前記シリンダ部の外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面とに、密閉部材が周設されることが好ましい。
本発明の真空アクチュエータは、前記シリンダ内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面に周設される前記密閉部材が、二段設けられることが可能である。
また、本発明において、前記シリンダ部の外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面に設けられた前記密閉部材と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面に設けられた前記密閉部材との間には、大気側となる外側に連通する大気側緩衝空間が設けられる手段を採用することもできる。
本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記付勢部が、上記のいずれか記載の真空アクチュエータとされることができる。
本発明の仕切りバルブにおいて、前記非圧縮性流体駆動部には、前記真空アクチュエータの内部で前記作動油圧が減少したことを検出する検出手段が設けられることができる。

本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータであって、
外部から作動油圧を一端面側に供給可能な貫通孔を軸方向に有するガイドロッドと、
前記ガイドロッドの一端面側を同軸状として摺動可能に覆って内部に駆動空間を形成する有底筒状のシリンダ部と、
前記シリンダ部と一体として前記シリンダ部の一端部の軸方向外側に延在する伸縮ロッドと、
前記シリンダ部の他端部に径方向外側に周設されるフランジ部と、
前記フランジ部を前記伸縮ロッドの縮退方向に付勢する付勢部材と、
前記ガイドロッドが内側に固定されるとともに前記伸縮ロッドを真空側となる外部へ伸縮自在とする貫通孔を有するケーシングと、
を有し、
前記ケーシングの内部には、前記シリンダ部を摺動可能に収納し、かつ、前記付勢部材を収納するとともに、前記作動油圧が前記シリンダ部の内側から漏れた際に、真空側となる前記外部へ漏出する前に緩衝する緩衝空間が形成される。
これにより、ガイドロッドの貫通孔を介して作動油圧を供給することで、ガイドロッドの一端面と有底筒状のシリンダ部の内部とで形成される駆動空間に作動油圧を供給して、この駆動空間を拡張する。すると、付勢部材の付勢力に抗して、シリンダ部がガイドロッドの軸方向に移動する。これにより、シリンダ部と一体とされた伸縮ロッドがケーシングの貫通孔から真空側となる外部へ伸長する。
また、作動油圧の供給を停止すると、伸長状態で、伸縮ロッドを停止できる。
さらに、作動油圧を逆向きに供給すると、ガイドロッドの一端面と有底筒状のシリンダ部の内部とで形成される駆動空間の作動油圧が減少して、この駆動空間が収縮する。すると、付勢部材の付勢力に応じて、シリンダ部がガイドロッドの軸方向に移動する。これにより、シリンダ部と一体とされた伸縮ロッドが真空側となる外部からケーシングの貫通孔の内側へ縮退する。
また、駆動空間における作動油圧の漏出が発生した場合には、ガイドロッドと伸縮とロッドとの間の摺動面付近を介して、付勢部材の設けられた緩衝空間へと移動して、漏出した作動油は、この緩衝空間に貯留されて、真空側となる外部へと漏れることがない。
したがって、油圧によって駆動されるアクチュエータとして、単位容積当たりの出力を高い状態を維持しながら、部品点数の増加を防止して、油漏れを確実に防止することが可能となる。

本発明の真空アクチュエータは、前記作動油圧が供給される前記シリンダ部の内側の前記駆動空間から、前記伸縮ロッドの伸張する真空側となる前記外部まで、四段の密閉部材が設けられる。
これにより、駆動空間における作動油圧の漏出が発生した場合には、駆動空間から真空側となる外部へと油が漏れる経路において、漏出した作動油が緩衝空間に貯留されることに加えて、四段の密閉部材によりその漏出を防止されて、漏出した作動油が真空側となる外部へと漏れることがない。
したがって、油の漏出を確実に防止することができる。

本発明において、前記シリンダ部の内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面と、前記シリンダ部の外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面とに、密閉部材が周設される。
これにより、駆動空間における作動油圧の漏出が発生した場合に、駆動空間から真空側となる外部へと油が漏れる経路において、駆動空間から、シリンダ部の内面とガイドロッドの外周との摺動面の密閉部材、シリンダ外周とケーシング内周との摺動面の密閉部材、貫通孔と伸縮ロッド外周との摺動面の密閉部材、によって順にシールされて、漏出した作動油の漏出を防止されて、漏出した作動油が真空側となる外部へと漏れることがない。
したがって、油の漏出を確実に防止することができる。

本発明の真空アクチュエータは、前記シリンダ部の内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面に周設される前記密閉部材が、二段設けられる。
これにより、駆動空間から真空側となる外部へと油が漏れる経路において、もっとも高圧である駆動空間に近接した位置で、二段の密閉部材によりその漏出を防止されて、漏出した作動油が真空側となる外部へと漏れることがない。
さらに、この二段の密閉部材において、駆動空間に近接する密閉部材に比べて、駆動空間から離間する密閉部材の寿命を長く設定することが可能である。

また、本発明において、前記シリンダ外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面に設けられた前記密閉部材と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面に設けられた前記密閉部材との間には、大気側となる外側に連通する大気側緩衝空間が設けられる。
これにより、駆動空間における作動油圧の漏出が発生した場合に、駆動空間から真空側となる外部へと油が漏れる経路において、漏出した作動油は、まず緩衝空間に貯留されて、それでも漏出する油は、大気側緩衝空間で漏出を防止されて、漏出した作動油が真空側となる外部へと漏れることがない。

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記付勢部が、上記のいずれか記載の真空アクチュエータとされる。
これにより、伸縮アクチュエータにおいて駆動空間の作動油圧の漏出が発生した場合であっても、ガイドロッドと伸縮とロッドとの間の摺動面付近を介して、付勢部材の設けられた緩衝空間へと移動して漏出した作動油は、この緩衝空間に貯留されて、真空側となる外部であるチャンバ内へと漏れることがない。
したがって、油圧によって駆動される伸縮アクチュエータとして、振り子式仕切りバルブを閉塞するために必要な単位容積当たりの出力が高い状態を維持しながら、部品点数の増加を防止して、油漏れを確実に防止することが可能となる。

本発明の仕切りバルブにおいて、前記非圧縮性流体駆動部には、前記真空アクチュエータの内部で前記作動油圧が減少したことを検出する検出手段が設けられる。
これにより、他の原因も含めて、真空アクチュエータ内部で作動油圧が減少したことを検出し、作動油の漏出を確実に検知することが可能となる。

本発明によれば、単位容積当たりの出力が高い状態を維持しながら、省スペース化を図り、部品点数の増加を防止して、油漏れを確実に防止することが可能な真空アクチュエータを提供することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態を示す軸方向断面図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態を示す図1とは直交する軸方向断面図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態における伸長状態を示す軸方向断面図である。 本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態における油圧駆動手段を示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態における加圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態における減圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態における過圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。 本発明に係る真空装置の第４実施形態を示す模式説明図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１２における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す流路に沿った拡大断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１２における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図１２における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図１３における弁枠付勢部の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図１８の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。 図２３の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図２３の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 図２３の要部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における真空アクチュエータを示す軸方向断面図である。図２は、本実施形態における真空アクチュエータを示す図１とは直交する軸方向断面図である。図において、符号７０は、真空アクチュエータである。

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、真空雰囲気とされるチャンバＣｈ内で対象物を押圧可能な伸縮アクチュエータとされる。本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、油圧によって作動するため、その押圧力を所定の値に制御することが可能である。

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図１，図２に示すように、ガイドロッド７７１と、シリンダ部７７２と、伸縮ロッド（可動部）７２と、フランジ部７７３と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、ケーシング７７４と、を有する。

真空アクチュエータ７０は、図１，図２に示すように、略円柱状のケーシング７７４の一端から、このケーシング７７４よりも細径の伸縮ロッド７２が伸出可能および縮退可能な構成とされている。真空アクチュエータ７０は、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。
油圧発生部７０１は、伸縮ロッド７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を真空アクチュエータ７０に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、伸縮ロッド７２の対象物への当接状態を適切に制御可能となっている。

ガイドロッド７７１は、図１，図２に示すように、略円柱状とされ、油圧駆動手段から作動油圧を一端面７７１ａ側に供給可能な貫通孔７７１ｃを軸方向に有する。ガイドロッド７７１は、ケーシング７７４の蓋部７７４ｂからケーシング７７４の内部に向けて立設される。
ガイドロッド７７１は、蓋部７７４ｂと一体とされてもよいが、本実施形態においては、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇの中心位置に突出する凸部７７４ｈにパイプ状の外ガイドロッド７７１ｇが螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する外ガイドロッド７７１ｇの中心出しがおこなわれる。貫通孔７７１ｃは、蓋部７７４ｂ、凸部７７４ｈおよび外ガイドロッド７７１ｇの内部に連続して形成される。

シリンダ部７７２は、他端側が開口した有底円筒状とされ、ガイドロッド７７１と同軸状とされて、ガイドロッド７７１の一端面７７１ａ側を摺動可能に覆うように配置されている。ガイドロッド７７１の一端面７７１ａと、シリンダ部７７２の内側とは、その内部に駆動空間７７７を形成する。

駆動空間７７７には、貫通孔７７１ｃが連通している。貫通孔７７１ｃには、図２に示すように、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１から作動油が供給されて、駆動空間７７７が加圧される。あるいは、駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１へと作動油が戻されて、駆動空間７７７が減圧される。

シリンダ部７７２は、その一端部７７２ａの外側に伸縮ロッド７２が設けられる。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸方向外側に延在する円柱状とされる。伸縮ロッド７２は、円筒状のシリンダ部７７２と同軸状とされる。伸縮ロッド７２は、円柱状のガイドロッド７７１と同軸状とされる。

伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされ、ガイドロッド７７１に対するシリンダ部７７２の摺動に付随して、軸方向に伸縮自在として移動可能とされる。伸縮ロッド７２の径寸法は、シリンダ部７７２の径寸法よりも小さく設定される。
伸縮ロッド７２の径寸法は、ガイドロッド７７１の径寸法よりも小さく設定される。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされてもよいが、本実施形態においては、シリンダ部７７２の軸中心位置に突出する凸部７７２ｈに伸縮ロッド７２が螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する伸縮ロッド７２の中心出しがおこなわれる。
シリンダ部７７２の他端部７７２ｂには、外周位置にフランジ部７７３が周設される。フランジ部７７３は、シリンダ部７７２の他端部７７２ｂに径方向外側に延在する。フランジ部７７３は、所定の厚さを有する。

フランジ部７７３は、シリンダ部７７２と一体として形成される。フランジ部７７３には、伸縮ロッド７２側となる押圧面７７３ａに付勢部材（バネ）７３の他端側が当接する。
付勢部材（バネ）７３は、螺旋状とされ、フランジ部７７３を伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢する。付勢部材（バネ）７３は、シリンダ部７７２と同軸状にシリンダ部７７２の外周に位置している。付勢部材（バネ）７３の一端側は、ケーシング７７４に当接する。

ケーシング７７４は、円筒状の円筒部７７４ｃと、円筒部７７４ｃの他端部を閉塞する蓋部７７４ｂと、円筒部７７４ｃの一端側に設けられた貫通孔７７４ｍを閉塞する真空側蓋部７７４ａと、を有する。
蓋部７７４ｂの中心位置には、ガイドロッド７７１がケーシング７７４の内部に向かって立設される。真空側蓋部７７４ａは、その中央に伸縮ロッド７２の貫通する貫通孔７７５を有し、真空側へと面している。円筒部７７４ｃの他端側は、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇに勘合される。

円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとの内側には、緩衝空間７７６が形成される。緩衝空間７７６には、シリンダ部７７２と付勢部材（バネ）７３とが収納されて、シリンダ部７７２が往復移動可能とされている。緩衝空間７７６は、駆動空間７７７から作動油圧が漏れた際に、真空側となる外部（チャンバ）Ｃｈへ漏出する前に緩衝する空間とされる。
緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、段差７７４ｄが形成されている。円筒部７７４ｃの内面は、蓋部７７４ｂに近接する側が真空側蓋部７７４ａに近接する側に比べて拡径されている。段差７７４ｄは、フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が当接して、シリンダ部７７２の移動範囲における伸長側の位置を規制する規制部とされている。

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、フランジ部７７３の外周面は接していない。蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇには、シリンダ部７７２他端部７７２ｂとなるフランジ部７７３が当接して、シリンダ部７７２の移動範囲における縮退側の位置を規制する規制部とされている。

円筒部７７４ｃと真空側蓋部７７４ａとは接続固定されている。円筒部７７４ｃの真空側蓋部７７４ａ側には、段差７７４ｅが形成されている。円筒部７７４ｃの段差７７４ｅよりも真空側蓋部７７４ａ側は、さらに縮径されてシリンダ部７７２の外形寸法と等しい内径寸法を有する大気側緩衝空間７７８が形成されている。
段差７７４ｅには、付勢部材（バネ）７３の一端側が当接している。

大気側緩衝空間７７８内周面には、シリンダ部７７２の外周面（摺動面）７７２ｍが摺動可能に接している。大気側緩衝空間７７８には、図２に示すように、外部に連通する貫通孔７７８ｓが円筒部７７４ｃの径方向に形成されている。大気側緩衝空間７７８は、貫通孔７７８ｓにより大気側と連通している。

貫通孔７７５は、大気側緩衝空間７７８よりも小さな径寸法を有し、伸縮ロッド７２の外径と略等しい径寸法とされる。ケーシング７７４とガイドロッド７７１とは、固定部７１を構成する。

真空アクチュエータ７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が真空側であるチャンバＣｈに漏れないように、多段のシール手段として密閉部材が設けられている。具体的には、油圧が供給されるシリンダ部７７２内側の駆動空間７７７から、伸縮ロッド７２の伸張する真空側であるチャンバＣｈ側である外部まで、四段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。

シリンダ部７７２の内面と摺動するガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、二段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、駆動空間７７７側から、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２が同一の溝に周設されている。ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１の外側に周設されている。ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、シリンダ部７７２の内面と接しており、シリンダ部７７２の内側の摺動面７７２ｆと摺動する。

さらに、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２よりも駆動空間７７７側から離間したガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｂが周設されている。Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、一段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、バックアップリングである。

さらに、ウエアリング（密閉部材）７７ｂよりも駆動空間７７７側から離間したガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、面一となるようにＹパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２が同一の溝に周設されている。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、いずれもシリンダ部７７２の内面と接しており、シリンダ部７７２の内側の摺動面７７２ｆと摺動する。シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１よりも駆動空間７７７側から離間した位置に配置される。

さらに、シールシング（密閉部材）７７ｃ２よりも駆動空間７７７側から離間したガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｄが周設されている。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、二段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、バックアップリングである。

ケーシング７７４の円筒部７７４ｃにおける真空側蓋部７７４ａ側に設けられた貫通孔７７４ｍには、その内周面にＹパッキン（密閉部材）７７ｅが周設される。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、シリンダ部７７２の一端面７７１ａ側となる外周の摺動面７７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、三段目の密閉部材とされる。
ケーシング７７４の真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５には、その内周面にＯリング（密閉部材）７７ｆが周設される。Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、伸縮ロッド７２の外周面（摺動面）７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、四段目の密閉部材とされる。

さらに、密閉部材７７ａ１〜７７ｅに加えて、ケーシング７７４の凸部７７４ｈと外ガイドロッド７７１ｇの内側螺合位置には、Ｏリング（密閉部材）７７ｐが配置される。ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇとの間には、Ｏリング（密閉部材）７７ｑが配置される。真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５の周囲には、真空側となるチャンバＣｈとの間のシール用に、Ｏリング（密閉部材）７７ｒが配置される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０では、密閉部材７７ａ１〜７７ｒとして、次のような材質からなるものとすることができる。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１は、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、フッ化樹脂からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｐ、Ｏリング（密閉部材）７７ｑ、Ｏリング（密閉部材）７７ｒは、いずれもＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。

また、伸縮ロッド７２は、ステンレス鋼からなる。ガイドロッド７７１は、ステンレス鋼からなる。シリンダ部７７２は、ステンレス鋼からなる。ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとは、いずれもアルミニウムからなる。なお、これらの構成における材質は、真空アクチュエータ７０の用途先に応じて、適宜変更することが可能である。

また、ステンレス鋼からなるガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆ、シリンダ部７７２の内側の摺動面７７２ｆ、シリンダ部７７２の一端面７７１ａ側となる外周の摺動面７７２ｍ、伸縮ロッド７２外周の摺動面は、いずれも、クロムメッキ等の表面処理が施される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０においては、ノーマルプル、つまり、動作しない状態では、伸縮ロッド７２が縮退している。この状態では、付勢部材（バネ）７３によってフランジ部７７３が、伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢されている。

次に、油圧発生部７０１から供給された作動油が、油圧管７０２を介して駆動空間７７７に流入する。すると、駆動空間７７７が加圧されて、付勢部材（バネ）７３の付勢力に打ち勝ってシリンダ部７７２が貫通孔７７５側へと移動する。このとき、シリンダ部７７２は、緩衝空間７７６の内部で移動する。

フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が段差７７４ｄに当接して、シリンダ部７７２の移動が終了する。これにより、図３に示すように、伸縮ロッド７２が伸張して、真空側となるチャンバＣｈ側へと伸縮ロッド７２が進出する。伸張した伸縮ロッド７２が対象物を押圧する。この状態で、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を維持することで、伸縮ロッド７２が伸長した状態を維持することができる。

伸縮ロッド７２が伸長状態から縮退状態とするには、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を減圧する。あるいは、油圧管７０２を介して駆動空間７７７から油圧発生部７０１へと作動油を戻す。すると、付勢部材（バネ）７３からフランジ部７７３に作用する付勢力によって、シリンダ部７７２が蓋部７７４ｂ側へと移動する。これにより、図１，図２に示すように、伸縮ロッド７２が縮退した状態となる。

本実施形態における真空アクチュエータ７０においては、駆動空間７７７から油が漏れる場合には、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆに設けられたウエアリング（密閉部材）７７ａ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｂ、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｄによって、油の漏出が防止される。

もしも、これらの密閉部材７７ａ１〜７７ｄによって、油の漏出が防止できなかった場合には、漏出した油は緩衝空間７７６に貯留されて、真空側となるチャンバＣｈへ漏出することが防止される。さらに、緩衝空間７７６から真空側となるチャンバＣｈへ油が漏出する場合には、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅによって、油の漏出が防止される。

もしも、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅによって、油の漏出が防止できなかった場合には、漏出した油は、漏出した油は大気側緩衝空間７７８に貯留されて、真空側となるチャンバＣｈへ漏出することが防止される。あるいは、漏出した油は、大気側緩衝空間７７８から貫通孔７７８ｓを介して大気側へと漏出し、真空側となるチャンバＣｈへ漏出することが防止される。さらに、大気側緩衝空間７７８から真空側となるチャンバＣｈへ油が漏出する場合には、Ｏリング（密閉部材）７７ｆによって、油の漏出が防止される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０においては、駆動空間７７７から伸縮ロッド７２の伸張する真空側であるチャンバＣｈ側である外部まで、油が漏出する場合の漏出経路が四段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅによって密閉されているため、油が漏出することがない。
さらに、緩衝空間７７６と大気側緩衝空間７７８とよって、漏出した油が真空側となるチャンバＣｈへ到達することが防止される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０は、少ない部品点数で、省スペース化を図りながら、作動油の真空側への漏出を確実に防止することが可能となる。しかも、油圧で駆動する方式なので、単位容積当たりの出力を極めて高いアクチュエータとすることができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータおよび真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。

図４は、本実施形態における仕切りバルブの退避位置（弁開放位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図５は、本実施形態における仕切りバルブの弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図６は、本実施形態における仕切りバルブの弁閉塞位置を示す流路に沿った模式断面図である。図７は、本実施形態における真空アクチュエータの油圧駆動手段を示す模式図である。
本実施形態において、上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。図において、符号１００は、仕切りバルブである。

本実施形態における真空アクチュエータ７０は、図４〜図６に示すように、仕切りバルブ１００において、弁閉塞位置とする付勢部（押しつけシリンダ）７０として備えられる。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、ノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１〜図４に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００と、を備える。

弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。
弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図４）とされる。弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図５）にする。

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図６）との間で動作する。回転駆動部２１は、回転軸２０を回転駆動可能であり、弁体５を往復回転動作させることが可能である。
弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。
可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、上述した第1実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。

なお、上述した第1実施形態の真空アクチュエータ７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が伸張する真空側となるチャンバＣｈは、流路Ｈと連通する中空部１１に対応する。

弁箱１０に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）７０は、大気側に設けられる油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体（圧油）を給排、つまり、供給および排出して、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢して、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧して、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

また、本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４が弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。
さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

これにより、仕切りバルブ１００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持するノーマルクローズ機構を有する。付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

本実施形態において、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は弁箱１０に内蔵される。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、図1，図２に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。

これにより、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧の供給により可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。この際、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

この可動部（伸縮ロッド）７２の伸長状態から、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、油圧の解除によって可動部（伸縮ロッド）７２の先端部を縮退させる。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間させる。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

このように、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作と機械的な分離動作とによって、閉弁動作と解除動作が可能となる。ここで、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作とは、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる動作である。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な分離動作とは、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す動作である。

この解除動作の後に、回転軸２０が回転駆動部２１によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によっておこなわれる。

油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、切替弁（スプール弁）８００と、を有する。油圧発生部７０１は、駆動空間７７７に油圧を供給する油圧を発生させる。油圧管７０２は、油圧発生部７０１から真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の固定部７１に設けられた貫通孔７７１ｃに接続される。
切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。
油圧発生部７０１は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。油圧発生部７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、図４に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態とされる。

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す退避位置（弁開放位置）から、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。

また、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図６に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

次に、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２の縮退駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図６に示す弁閉塞位置から、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から閉回転動作を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図４に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
なお、可動弁部（可動弁板部）５４の回転動作中は、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は可動部（伸縮ロッド）７２の縮退状態を維持し、可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動はおこなわない。

本実施形態においては、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図７は、本実施形態における真空アクチュエータにおける油圧駆動手段を示す模式説明図である。
本実施形態において上述した第１実施形態と異なるのは油圧発生部に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、図７に示すように、駆動部７０５を有する。駆動部７０５は、油圧発生部７０１を駆動するモータ等である。駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。また、駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

図８〜図１０は、油圧駆動手段７００における油圧発生部７０１を示す断面図である。
図８は、油圧駆動手段７００における油圧発生部７０１の加圧状態を示す。図９は、油圧駆動手段７００における油圧発生部７０１の減圧状態を示す。図１０は、油圧駆動手段７００における油圧発生部７０１の過圧状態を示す。

油圧発生部７０１は、図８〜図１０に示すように、油圧シリンダ７１０と、付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢する。シリンダ駆動部７３０は、付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される側の油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされてケーシング７５０に取り付け固定される。
ピストン７１２の端部７１２ａと反対側となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態に位置する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

シリンダ本体７１１の端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂの内側と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。
油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外側に張り出して周設される。

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａおよび外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。周溝７１１ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。
なお、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パッキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、外側位置にシリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。
駆動軸７３１の端部７３１ａと反対側となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。
ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。
なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部を構成する。

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。ケーシング筒７５１は、筒状とされる。ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は収納空間７５５を形成している。
収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。収納空間７５５は、ピストン７１２の位置する側が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。収納空間７５５は、駆動軸７３１の位置する側が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。収納空間７５５は、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間には、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。
駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７を、対向する面の間で支持している。
また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、モータ等の駆動部７０５が取り付けられている。

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。
後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

後空間７５６の蓋部７５８側となる位置には、駆動軸７３１の一部が当接可能なリミッタスイッチ（検出手段）７６０が設けられる。リミッタスイッチ（検出手段）７６０は、制御部７０６に接続される。リミッタスイッチ（検出手段）７６０は、すべり溝７５７に位置していてもよい。リミッタスイッチ（検出手段）７６０に当接可能な駆動軸７３１の一部としては、回り止め７３１ｈとすることもできる。

後空間７５６のネジ駆動ギア７３２側となる位置には、駆動軸７３１の一部が当接可能なリミッタスイッチ（検出手段）７６１が設けられる。リミッタスイッチ（検出手段）７６１は、制御部７０６に接続される。リミッタスイッチ（検出手段）７６１は、すべり溝７５７に位置していてもよい。リミッタスイッチ（検出手段）７６１に当接可能な駆動軸７３１の一部としては、回り止め７３１ｈとすることもできる。

リミッタスイッチ（検出手段）７６０とリミッタスイッチ（検出手段）７６１とは、駆動軸７３１の軸方向位置を検出する。リミッタスイッチ（検出手段）７６０とリミッタスイッチ（検出手段）７６１とは、接触式、あるいは、非接触の磁気式とすることが可能である。

リミッタスイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向にリミッタスイッチ（検出手段）７６０で規定された位置に到達したことを検知する。また、リミッタスイッチ（検出手段）７６１は、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向にリミッタスイッチ（検出手段）７６１で規定された位置に到達したことを検知する。

ここで、リミッタスイッチ（検出手段）７６０が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、リミッタスイッチ（検出手段）７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

あるいは、リミッタスイッチ（検出手段）７６１が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を開始する信号を出力する。これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を開始する。したがって、リミッタスイッチ（検出手段）７６１の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

このように、油圧発生部７０１は、制御部７０６の出力信号によって、モータ等の駆動部７０５における駆動状態の切り替えを可能とされる。
制御部７０６が駆動信号を出力すると、モータ等の駆動部７０５が駆動して、回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。
ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。
駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、ノーマルプッシュ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動していない際に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。つまり、付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。
したがって、付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

また、本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、ノーマルプッシュ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動された際に、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１が移動する方向は付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。つまり、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。
したがって、モータ等の駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

油圧発生部７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動しない場合、図８に示すように、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される。これにより、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが伸長する。

また、油圧発生部７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動した場合、図９に示すように、モータ等の駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが縮退する。

また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２側にオーバーランした場合でも、図１０に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０へ流入させないことができる。
なお、図１０において、リミッタスイッチ（検出手段）７６１の記載は省略している。

さらに、本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、駆動空間７７７から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの間で油が漏れた場合に、これを検出することができる。具体的には、駆動空間７７７において収容される油量が減少した場合には、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、軸方向における駆動軸７３１の往復動作範囲が、想定した位置からピストン７１２に近接する方向に移動することになる。
したがって、想定した位置に比べて、駆動軸７３１の軸方向移動における早い段階でリミッタスイッチ（検出手段）７６１から検出信号が出力されることになる。このため、駆動空間７７７において収容される油量が減少したことを検出可能である。

なお、本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、駆動空間７７７から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの間で形成される油収容空間の容積減少を検知可能な構成であれば、この構成に限るものではない。

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１１は、本実施形態における真空アクチュエータを備える真空装置を示す模式説明図である。
本実施形態において上述した第１から第３実施形態と異なるのは真空アクチュエータの設けられた真空装置に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態における真空装置２００は、例えばサイドスパッタ式スパッタ等の真空処理をおこなう装置とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００は、略矩形のガラス基板（被処理基板）Ｇを搬入／搬出するロード・アンロード室と、ガラス基板Ｇ上に例えばＺｎＯ系やＩｎ_２Ｏ_３系の透明導電膜などの被膜をスパッタ法により形成する耐圧の成膜室（チャンバ）２０１と、成膜室２０１とロード・アンロード室との間の搬送室と、を備えている。
なお、図１１には、成膜室２０１のみを示している。

第１実施形態におけるチャンバＣｈは、本実施形態において成膜室２０１とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００において、成膜室（チャンバ）２０１の内部には、図１１に示すように、バッキングプレート（カソード電極）２０６と、電源２０６ａと、ガス導入手段２０７ａと、高真空排気手段２０７ｂと、が設けられている。

バッキングプレート（カソード電極）２０６は、成膜材料を供給する手段として、立設されたターゲットを保持する。電源２０６ａは、バッキングプレート２０６に負電位のスパッタ電圧を印加する。ガス導入手段２０７ａは、成膜室（チャンバ）２０１内にガスを導入する。高真空排気手段２０７ｂは、成膜室２０１の内部を高真空引きするターボ分子ポンプ等とされる。

バッキングプレート２０６は、成膜室２０１の内部において搬送室に連通する搬送口２０４ａから最遠となる位置に立設される。バッキングプレート２０６には、ガラス基板Ｇと略平行に対面する前面側にターゲットが固定される。
バッキングプレート（カソード電極）２０６は、ターゲットに対して負電位のスパッタリング電圧を印加する電極の役割を果たす。バッキングプレート２０６は、負電位のスパッタリング電圧を印加する電源２０６ａに接続されている。バッキングプレート（カソード電極）２０６の裏側には、ターゲット上に所定の磁場を形成するためのマグネトロン磁気回路が設置されている。

成膜室２０１の内部は、図１１に示すように、成膜時にガラス基板Ｇの表面側となる前側空間２０１ａと、ガラス基板Ｇの裏面側となる裏側空間２０１ｂとからなる。成膜室２０１の前側空間２０１ａには、ターゲットが固定されたバッキングプレート（カソード電極）２０６が配置される。成膜室２０１の裏側空間２０１ｂには、前側空間２０１ａに向かって開口する成膜口２０４ｂが設けられている。成膜口２０４ｂの周囲には、防着板枠２０２が設けられる。

裏側空間２０１ｂ内部には、成膜中にターゲットと対向するようにガラス基板Ｇを横方向揺動可能に保持する基板保持手段（保持手段）が設けられている。基板保持手段（保持手段）は、ガラス基板Ｇを裏面から保持する保持部２０３を有する。
保持部２０３は、回転駆動部による揺動軸の軸線周りの回動により、略水平方向位置とされた水平載置位置と、略鉛直方向位置に立ち上げた鉛直処理位置との間で回転動作可能とされる。

水平載置位置とされた保持部２０３表面の延長には搬送口２０４ａが位置して、搬送室から搬送されたガラス基板Ｇを載置可能となる。鉛直処理位置とされた保持部２０３表面は、ほぼ成膜口２０４ｂを塞ぐように位置して、ガラス基板Ｇ表面がカソード電極２０６と対向して成膜可能となる。

保持部２０３には、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、水平載置位置とされた保持部２０３より上方に突出して、保持部２０３より上側にガラス基板Ｇを支持するリフトピンと、このリフトピンを上下動させるリフトピン移動部７０とが配置されている。

本実施形態においては、例えば、リフトピン移動部７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０とされる。
また、リフトピンが、伸縮ロッド７２の先端に、同軸状に取り付けられる。
なお、図１１において、真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、矢印として示している。

真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、チャンバ２０１の密閉を維持した状態で駆動可能とされる。この構成により、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、保持部２０３と搬送装置のロボットハンドと間における、ガラス基板Ｇの受け渡しが自在に可能となる。

保持部２０３の鉛直処理位置において、ガラス基板Ｇをマスク２０５に押圧する押圧部７０を有する。
本実施形態においては、例えば、押圧部７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（押圧部）７０とされる。

マスク２０５は、所定回数の成膜処理後に交換されるが、その際、交換後のマスク２０５を防着板枠２０２に対してアライメントするアライメント手段７０が成膜口２０４ｂの下側位置に設けられる。
本実施形態においては、例えば、アライメント手段７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（アライメント手段）７０とされる。この構成により、真空アクチュエータ（アライメント手段）７０は、伸縮ロッド７２の先端部７２ａを所定の対象物に当接して、これを押圧させ、移動、または、アライメントすることができる。

本実施形態の真空アクチュエータ７０は、いずれも、他の駆動タイプに比べて小さな容積で大きな付勢力（押圧力）を真空雰囲気中で呈することができる。さらに、本実施形態の真空アクチュエータ７０は、固定値とされた押圧力のみならず、押圧力を変動させることが可能となる。
本実施形態においても、チャンバ２０１内に油漏れがおきる可能性を極めて低減した状態で、それぞれの真空アクチュエータ７０は、対象物を押圧することができる。

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第１から第３実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

図１２は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。
図１３〜図１７は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１３は、図１２における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図１４は、図１２における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１５は、図１２における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１６は、図１２における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図である。図１７は、図１２における弁枠付勢部の要部を示す拡大図である。
図１８〜図２２は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、図１３〜図１７に対応し、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。
図２３〜図２６は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、図１３〜図１６に対応し、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
図２７、図２８は、図１３における弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

［振り子型仕切りバルブ］
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１２〜図１７に示すように、振り子型スライド弁である。

仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り、また、この仕切り状態を開放する。仕切りバルブ１００は、流路Ｈを閉鎖した状態と、第１空間と第２空間とをつなぐ状態と、を切り替える。
仕切りバルブ１００は、弁箱１０と中立弁体５と回転軸２０とを備える。弁箱１０の内部には中空部１１が形成される。弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成される。弁箱１０には、中空部１１を挟んで互いに対向するように第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂが設けられる。

第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂまでは中空部１１を介して連通される。第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。第１開口部１２ａは、第１空間に露出されている。第２開口部１２ｂは、第２空間に露出されている。仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間との間に挿入される。なお、流路Ｈに沿った方向は流路Ｈ方向と称する。

弁箱１０の中空部１１内には、中立弁体５が配置される。中立弁部３０は、位置切り替え部としての回転軸２０に接続される。回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、不図示の駆動装置により回転可能である。回転軸２０の一端には、接続部材（不図示）を介して中立弁部３０が固定される。回転軸２０は、中立弁体５の位置切り替え部として機能する。
あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに中立弁部３０が直接接続されてもよい。

中立弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。本実施形態においては、第１開口部１２ａを閉塞可能とする。中立弁体５は、弁閉塞位置と弁開放位置との間で動作する。弁閉塞位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａに対して閉塞状態（図１８）となる。弁開放位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａから退避した開放状態（図１３）となる。
中立弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。

中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。中立弁部３０は、図１２に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。円形部３０ａは、流路Ｈ方向視して、可動弁部４０と重なるように配置される。回転部（アーム部）３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて、２本の腕が延びたアーム形状で形成される。回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動するが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

可動弁部４０は略円板状とされる。可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向（流路Ｈ方向）にのみ摺動可能として接続される。可動弁部４０は、２つの可動弁枠部６０（スライド弁板）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部９０（補助バネ）が配置される。可動弁枠部６０は、弁枠付勢部９０（補助バネ）によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に嵌合される。
可動弁枠部６０は、可動弁板部５０の周囲を囲むように配置される。可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１３に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する位置に、カウンタークッション５１が周設される。

カウンタークッション５１は、円環状の弾性体であるＯリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に弾性変形して、衝撃を緩和する。
可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成される。内周クランク部５０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂを有する。可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面６０ｂを有する。外周クランク部６０ｃおよび内周クランク部５０ｃは嵌合している。摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとの間には、Ｏリング等からなる摺動シールパッキン５２が配される。摺動シールパッキン５２により、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を摺動時に維持する。

可動弁枠部６０には、弁箱１０の内面に対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。弁枠シールパッキン６１は、円環状のＯリング等からなるシール部とされる。弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。
弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とが、図１４〜図１６に示すラインＲに重なるように配置される。このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

弁枠付勢部９０は、中立弁部３０の円形部３０ａと、流路Ｈ方向視して円形部３０ａと重なる可動弁枠部６０の位置規制部６５と、の間に配置される。弁枠付勢部９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。弁枠付勢部９０は、円形部３０ａの周方向に等間隔を有して複数配置される。図１２では、３個の弁枠付勢部９０が配置された構成例を示している。弁枠付勢部９０は、弾性部材であり、板バネとされる。弁枠付勢部９０（板バネ）は、その長手方向が円形部３０ａの周方向に沿って配置される。
弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、図１７に示すように、固定ピン９２と固定ピン９３とによって中立弁部３０の円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、それぞれ厚さ方向にリング状部材９２ａ、リング状部材９２ｂを挟んで円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の中央部分は、印圧ピン９１によって可動弁枠部６０の位置規制部６５に係止される。

仕切りバルブ１００の開弁状態（図１３）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が狭くなる。弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の寸法が縮まる。これにより、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９２との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図１７）。同様に、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９３との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図１７）。
これに対して、仕切りバルブ１００が閉弁状態（図１８）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が広くなる。これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の寸法が伸びる。すなわち、弁枠付勢部９０では、曲部９０Ａが解消する（図２２）。
弁枠付勢部９０は、閉弁状態（図１８）から開弁状態（図１３）へ変化する場合に、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０を引き離す機械的な分離動作を促す構造を有する。また、弁枠付勢部９０は、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁枠部６０の径方向および周方向の位置を保持する機能も備える。弁枠付勢部９０は、可動弁枠部６０を中立弁部３０に対して流路方向における位置が変更可能に接続する機能、および、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する機能を有する。

弁箱１０には、複数の弁箱付勢部７０が内蔵されている。弁箱付勢部７０は、前述した第１実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に付勢する。真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに付勢可能な位置に配置される。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、第２開口部１２ｂの周囲に沿って等間隔に離間して設けられる。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。
図２７，図２８には、互いに離間する弁箱付勢部７０の配置として、弁体の中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部７０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。中心Ｏから見て、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０の角度位置は、弁板付勢部８０と弁枠付勢部９０との角度位置と重ならないように構成される。

真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、伸縮ロッド（可動部）７２とを有する。油圧駆動部（固定部）７１は、中空部１１に対して弁箱内面１０Ｂよりも外側となるフレームの内部に埋め込まれた配置とされる。伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在な配置とされる。
真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、前述した第２実施形態における油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００とされる。

開弁状態（図１３）から閉弁状態（図１８）とする場合に、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。このとき、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。複数の真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

弁板付勢部８０（保持バネ）は、可動弁部４０に内蔵される。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向における厚み寸法が小さくなる方向に互いを付勢している。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域に複数配置される。複数の弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の周方向に等間隔を有する配置とされる。弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。図１２は、弁体の中心Ｏから見て、３個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（１２０度）に配された構成例を示している。

弁板付勢部８０は、ボルト状のガイドピン８１の長軸部によって、可動弁板部５０の動きを誘導（規制）する。ガイドピン８１は、可動弁枠部６０に固定される。弁板付勢部８０を構成する保持バネは、例えば、スプリング、ゴム等とされる弾性部材で形成されている。ガイドピン８１は、太さ寸法が均一の棒状体で構成されている。ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設されて可動弁枠部６０に固設される。ガイドピン８１は、可動弁板部５０に形成された孔部５０ｈに嵌合している。ガイドピン８１は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０の位置規制を誘導する。

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向（符号Ｑで示す軸）を往復方向Ｂ１，Ｂ２に維持する。また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、可動弁部４０は、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂに接していない。この状態で、回転軸２０を符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０おおび可動弁部４０が方向Ｒ１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、可動弁部４０は、退避位置から、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。

弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は可動弁枠部６０に当接してこれを押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

逆に、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。これにより、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。

解除動作の後に、回転軸２０を符号Ｒ２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１３〜図１６には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。弁体がＦＲＥＥな状態において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱１０の内側に縮退した状態にある。つまり、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０は、中立弁体５と接していない。

次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図１４に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。これにより、図１４に矢印Ｆ２で示すように、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図１８〜図２１には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、中立弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。
正圧／差圧無の弁閉状態では、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態を維持する。

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図２３〜図２６には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、中立弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

中立弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図２３）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。中立弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。

さらに、正圧／差圧無とし、この状態において、弁枠付勢部９０により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。

このように、本実施形態の仕切りバルブ１００においては、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０の重量に対応して弁体構造の軽量化、省スペース化が可能である。弁体の構成の簡素化が可能である。弁体の部品点数を削減できる。約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。弁体の駆動力を抑制できる。確実な閉塞動作が可能となる。動作上の安全性を向上することもできる。高い信頼性の仕切り動作が可能である。

なお、真空アクチュエータ７０においては、シール部材を四重シールにして、緩衝空間７７６等を設けたことで、油漏れに対する防止策を向上した。特に当該部が直接真空部に面する構成の場合は真空槽内を油汚染するリスクを特に低減可能である。
また真空・大気環境ともに油汚染の発生確率を低減する目的で、作動油は蒸気圧の低い油を用いることが望ましい。作動油の蒸気圧は要求される真空度等により決定されるが、一般には１０^−３Ｐａ程度以下として選択される。

なお、本実施形態の仕切りバルブ１００は、図１３に示すように、真空アクチュエータ（弁箱付勢部）７０が、第２開口部１２ｂに近い位置において、弁箱１０（１０Ｂ）に内蔵されている。本実施形態はこの構成に限定されない。

なお、上述した各実施形態において、それぞれの構成を組み合わせた構成とすることも可能である。

本発明の活用例として、真空装置等における油圧駆動をおこなう機構に適応できる。特に、真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。

７０…真空アクチュエータ（押しつけシリンダ，弁箱付勢部，リフトピン移動部，アライメント手段，押圧部，弁箱付勢部）
７１…油圧駆動部（固定部）
７２…可動部（伸縮ロッド）
７３…付勢部材（押しつけバネ、バネ）
７７ａ１…Ｏリング（密閉部材）
７７ａ２，７７ｂ，７７ｄ…ウエアリング（密閉部材）
７７ｃ１，７７ｅ…パッキン（密閉部材）
７７ｃ２…シールシング（密閉部材）
７７ｆ，７７ｐ，７７ｑ，７７ｒ…リング（密閉部材）
７００…油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７７１…ガイドロッド
７７２…シリンダ部
７７３…フランジ部
７７４…ケーシング
７７４ａ…真空側蓋部
７７４ｂ…蓋部
７７４ｃ…円筒部
７７４ｈ…凸部
７７４ｍ…貫通孔
７７５…貫通孔
７７６…緩衝空間
７７７…駆動空間
７７８…大気側緩衝空間
５…弁体，中立弁体
１０…弁箱
１１…中空部
２０…回転軸
３０…中立弁部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
６３…弁枠部
８０…弁板付勢部（保持バネ）
９０…弁枠付勢部
１００…仕切りバルブ
２００…真空装置（スパッタ装置）
２０１…成膜室（チャンバ）
２０２…防着板枠
２０３…保持部
２０５…マスク
２０６…バッキングプレート（カソード電極）
７０５…駆動部
７０６…制御部（コントローラ）
７０７…電源
７１０…油圧シリンダ
７１１…シリンダ本体
７１１ｃ…フランジ部
７１２…ピストン
７１３…油圧流路
７１４…油圧空間
７２０…付勢部材
７３０…シリンダ駆動部
７３１…駆動軸
７５０…ケーシング
７５５…収納空間
７５６…後空間
７６０…リミッタスイッチ（検出手段）
７６１…リミッタスイッチ（検出手段）
８００…切替弁（スプール弁）
Ｇ…ガラス基板（被処理基板）
Ｈ…流路

Claims (7)

1. 真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータであって、
   外部から作動油圧を一端面側に供給可能な貫通孔を軸方向に有するガイドロッドと、
   前記ガイドロッドの一端面側を同軸状として摺動可能に覆って内部に駆動空間を形成する有底筒状のシリンダ部と、
   前記シリンダ部と一体として前記シリンダ部の一端部の軸方向外側に延在する伸縮ロッドと、
   前記シリンダ部の他端部に径方向外側に周設されるフランジ部と、
   前記フランジ部を前記伸縮ロッドの縮退方向に付勢する付勢部材と、
   前記ガイドロッドが内側に固定されるとともに前記伸縮ロッドを真空側となる外部へ伸縮自在とする貫通孔を有するケーシングと、
   を有し、
   前記ケーシングの内部には、前記シリンダ部を摺動可能に収納し、かつ、前記付勢部材を収納するとともに、前記作動油圧が前記シリンダ部の内側から漏れた際に、真空側となる前記外部へ漏出する前に緩衝する緩衝空間が形成される
   ことを特徴とする真空アクチュエータ。
2. 前記作動油圧が供給される前記シリンダ部の内側の前記駆動空間から、前記伸縮ロッドの伸張する真空側となる前記外部まで、四段の密閉部材が設けられる
   ことを特徴とする請求項１記載の真空アクチュエータ。
3. 前記シリンダ部の内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面と、前記シリンダ部の外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面とに、密閉部材が周設される
   ことを特徴とする請求項２記載の真空アクチュエータ。
4. 前記シリンダ部の内面と摺動する前記ガイドロッドの外周の摺動面に周設される前記密閉部材が、二段設けられる
   ことを特徴とする請求項３記載の真空アクチュエータ。
5. 前記シリンダ部の外周と摺動する前記ケーシングの内周の摺動面に設けられた前記密閉部材と、前記貫通孔と摺動する前記伸縮ロッドの外周の摺動面に設けられた前記密閉部材との間には、大気側となる外側に連通する大気側緩衝空間が設けられる
   ことを特徴とする請求項３記載の真空アクチュエータ。
6. ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
   中空部と、
   前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
   前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
   前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
   前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
   前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
   前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
   を具備し、
   前記付勢部が、請求項１から５のいずれか記載の真空アクチュエータとされる
   ことを特徴とする仕切りバルブ。
7. 前記非圧縮性流体駆動部には、前記真空アクチュエータの内部で前記作動油圧が減少したことを検出する検出手段が設けられる
   ことを特徴とする請求項６記載の仕切りバルブ。

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