JP7164452B2

JP7164452B2 - 仕切りバルブ、スプール弁

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Publication number: JP7164452B2
Application number: JP2019013609A
Authority: JP
Inventors: 慎一和田; 英晃井上; 浩司柴山; 拓也和出; 晴邦古瀬; 治郎猿渡; 幹也鐸木; 真之介徳平; 敬晶照井; 智也石田
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2019-01-29
Filing date: 2019-01-29
Publication date: 2022-11-01
Anticipated expiration: 2039-01-29
Also published as: JP2020122505A

Description

本発明は仕切りバルブ、スプール弁に関し、特に仕切りバルブの位置移動後に閉塞動作する弁板を駆動するための仕切りバルブ閉状態を検出可能なスプール弁に用いて好適な技術に関する。

真空装置等においては、チャンバー、配管、ポンプなどの間で、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。

例えば、弁板をスライドさせて流路の開口遮蔽位置に弁板を挿入し、更にこの弁板を作動させて流路を仕切り（閉弁動作）、あるいは上記弁板を作動させて流路をつなぎ（開弁動作）、更に弁板をスライドさせ、流路から弁箱内の退避位置に弁板を退避させる構造が知られている。このような構造を有するバルブとしては、振り子型，直動型，ドア型等が知られている。

振り子型仕切りバルブは、流路を構成する第１開口部及び第２開口部が形成されかつ中空部を有する弁箱と、中空部において回転軸に固設されて回転軸と垂直をなす面に平行な方向において広がっている支持体と、この支持体に設けられた弁体（シールリング板が開口部に設けられている構造の場合には弁板）と、が配置された構造を有する。この仕切りバルブにおいては、上記回転軸を回転させて、上記弁体を回動させ、上記弁体を開口部（流路）に対する弁開口遮蔽位置に挿入し、または、上記弁体を開口部が形成されていない退避位置に退避させる。

上記振り子型仕切りバルブとしては、ハウジングの中空部内に、回転軸において回動可能な弁板と、ハウジングの開口部に配置された摺動可能なシールリング板と、シールリング板を摺動させるアクチュエータとが設けられた構造が知られている。
アクチュエータは、ボルトと環状室（シリンダ）とピストンとスプリングとが、シールリング板の摺動方向に直列に配置された構造を有する。従って、流路を閉鎖するときは、スプリングに生じる復元力が、ピストン，シリンダ，及びボルトを介してシールリング板に伝達される。

また、本発明者らは、仕切りバルブの面積の大型化が可能な構成を備え、簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切りバルブを開発し、特許出願を行った（特許文献１）。この仕切りバルブにおいては、弁体を構成する可動弁部が重なり方向で複数の可動弁部［例えば、可動弁枠部（第１可動弁部）、可動弁板部（第２可動弁部）］から構成されており、両者を接続する位置にエアシリンダ（第２付勢部）を設けた。このエアシリンダを駆動するため、仕切りバルブの外部から、仕切りバルブの回転軸を通してエアシリンダまで至る、圧空の導入ライン（供給路）を可動弁枠部（第１可動弁部）の内部に設けた。

さらに、本発明者らは、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、可動弁部の軽量化が図れるとともに、１００％の逆圧キャンセル率が実現できる、仕切りバルブを開発し、特許出願を行った（特許文献２）。この仕切りバルブにおいては、流路を横断して形成される弁箱と、流路方向と平行な軸線の回転軸により回転可能な中立弁部と、中立弁部に対して流路方向に摺動可能な可動弁部として、弁箱の流路の開口部に押しつけられてシール可能な第１可動弁部と、第１可動弁部に対して流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、第１可動弁部を開口部に押しつけてシール動作可能な第１付勢部と、第１可動弁部と前記第２可動弁部との厚み寸法を調整が可能な第２付勢部と、第１可動弁部を中立弁部に対して付勢する第３付勢部と、を設けた。

さらに、大断面での仕切り動作における高信頼性に加えて、電源供給の消失、あるいは、圧空などの制御流体駆動圧力の消失などの緊急時に、流路を閉じるノーマルクローズ化を求める動きが求められてきた。
このノーマルクローズとは、弁仕切り動作をおこなう際に弁体等を駆動させる圧空等の動力源が作用していない状態などでは、流路を閉じる、及び流路を閉じる状態を維持することを意味している。

また、仕切りバルブが設置される装置・製造ライン等においては、常に省スペース化が求められており、それぞれの部品を省スペース化・小型化したいという要求があった。

特許第５６１３０８７号公報特許第６３５８７２７号公報特許第６４２６３９０号公報

しかし、振り子型仕切りバルブにおけるノーマルクローズとは、緊急時の動作である。このため、振り子が勢いよく動作して、振り子の閉回転動作における終端において、終端位置に衝突する場合がある。これにより、振り子、弁体などの部品に、かなりの強い衝撃が発生する場合がある。

このようなノーマルクローズで発生する衝撃に対応するため、振り子の閉回転動作終端では、ショックアブソーバ機能を作用させて部品を保護することが必要である。例えば、特許文献３に記載されるフライホイールとワンウェイクラッチを用いたものが知られている。

しかし、特許文献３に記載される技術では、ショックアブソーバ機能を有するものの、回転速度が遅くなる終端近傍ではブレーキ作用が消失してしまうため、衝撃緩和策において最も重要な終端近傍においても、ブレーキ作用を有する構成が求められていた。

また、ノーマルクローズとして、振り子の閉回転動作終端における減速機能を有した際に、緊急遮断時の閉回転動作完了までの時間は迅速なまま維持する必要がある。しかし、上記の特許文献記載の技術などでは、実現できていない。

さらに、特許文献２に記載されるように、弁体の回転動作と、可動弁部のシール位置までの閉塞動作とが、別々の付勢部でおこなわれる場合には、ノーマルクローズ動作において、弁体の弁開口遮蔽位置までの閉回転動作が終了した後に、可動弁部のシール位置までの閉塞動作をおこなう必要がある。

これら閉回転動作と閉塞動作との時間順設定が乱れた場合には、弁が閉状態とならない、あるいは、弁体付近での故障などの不具合が発生する場合がある。このため、これを解決して、仕切りバルブにおけるノーマルクローズの動作確実性を向上したいという要求があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．ノーマルクローズにおけるショックアブソーバ機能を備えること。
２．ノーマルクローズのための機構が、通電制御時における高速動作の妨げにならないこと。
３．緊急遮断時の弁閉動作を迅速にし、完了までの時間を短縮すること。
４．バルブの動作確実性を向上すること。
５．バルブとしての省スペース化・小型化・軽量化を図ること。

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記非圧縮性流体駆動部が、
前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給して前記可動弁部を前記クローズする方向に付勢可能なメインシリンダと、
前記弁体が前記弁開口遮蔽位置である場合に切り替え可能とされて前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給可能なスプール流路を有するスプール弁と、
を有し、
前記スプール弁が、前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと前記弁体を回転する閉回転動作終端において前記弁体の回転動作を緩和する衝撃緩和可能であることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記メインシリンダが、モータの駆動によって前記非圧縮性流体の給排が可能とされ、
前記モータが無給電状態となった直後において、前記スプール弁が衝撃緩和可能であることができる。
本発明において、前記スプール弁が、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記弁体が前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと回転する閉回転動作終端において、前記弁体が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記弁体の前記閉回転動作終端における前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置への閉回転動作にともなって前記弁体に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記弁体が前記弁開口遮蔽位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされて、前記メインシリンダに接続されたポートと前記付勢部とに接続されたポートとが連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能であることが好ましい。
本発明の仕切りバルブには、前記ダンピング室が前記メインシリンダ側と連通されることが可能である。
また、本発明において、前記ダンピング室を前記メインシリンダ側に向けて遮断するとともに、前記メインシリンダ側から前記ダンピング室に向けて連通可能とするダンピング逆止弁が設けられる手段を採用することもできる。
本発明の仕切りバルブは、前記ダンピング室には、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記メインシリンダ側と連通可能とされるオリフィス部が前記ダンピング逆止弁と並列に設けられることができる。
また、前記ロッドが、前記弁体による前記ロッドへの押圧状態によって前記第２ポジションと前記第３ポジションとの間で移動可能とされることが好ましい。
本発明においては、前記スプール弁には、
前記メインシリンダ側から前記付勢部側に遮断するとともに、前記付勢部側から前記メインシリンダ側に連通可能とする逆止弁が、前記スプール流路と並列に設けられることができる。
また、本発明のスプール弁は、スプール流路を切り替え可能なスプール弁であって、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記ロッドの一端側に衝突物が衝突する衝撃を緩和する衝撃緩和可能とされ、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが前記一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記衝突物が前記ロッドの一端に衝突する衝突動作終端において、前記衝突物が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記衝突物の前記衝突動作終端における前記衝突動作にともなって前記衝突物に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記衝突物が動作停止位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能であることができる。

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記非圧縮性流体駆動部が、
前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給して前記可動弁部を前記クローズする方向に付勢可能なメインシリンダと、
前記弁体が前記弁開口遮蔽位置である場合に切り替え可能とされて前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給可能なスプール流路を有するスプール弁と、
を有し、
前記スプール弁が、前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと前記弁体を回転する閉回転動作終端において前記弁体の回転動作を緩和する衝撃緩和可能である。
これにより、スプール弁が、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置である場合のみに非圧縮性流体を付勢部に供給可能とする。したがって、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに付勢部が可動弁部を付勢することがない。つまり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置と以外にあるときに可動弁部がクローズ動作することがない。
また、スプール弁が、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈することができる。
これにより、弁体の閉塞時、特に、停電などの発生時に弁体の閉回転動作の終端で衝突が発生することを防止できる。衝突防止により、仕切りバルブにおける破損・故障の発生を防止できる。さらに、ノーマルクローズ可能な仕切りバルブにおける弁閉塞状態を確実におこない、動作確実性を向上できる。同時に、部品点数を削減し、省スペース化を図ることができる。

本発明の仕切りバルブは、前記メインシリンダが、モータの駆動によって前記非圧縮性流体の給排が可能とされ、
前記モータが無給電状態となった直後において、前記スプール弁が衝撃緩和可能である。
これにより、停電などの無給電状態となってモータが駆動しなくなり、弁体を緊急閉塞動作させる必要が生じた場合でも、まず、スプール弁により、弁体の閉回転動作の終端で衝突が発生することを防止する。この衝突防止により、仕切りバルブにおける破損・故障の発生を防止して弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となる。次に、スプール弁により、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とこれらの間である場合のみに非圧縮性流体を付勢部に供給可能とする。したがって、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに付勢部が可動弁部を付勢することがない。つまり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに可動弁部がクローズ動作することがない。これにより、不適切なクローズ動作によってノーマルクローズ可能な仕切りバルブが破損することを防止できる。

本発明において、前記スプール弁が、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記弁体が前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと回転する閉回転動作終端において、前記弁体が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記弁体の前記閉回転動作終端における前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置への閉回転動作にともなって前記弁体に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記弁体が前記弁開口遮蔽位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされて、前記メインシリンダに接続されたポートと前記付勢部とに接続されたポートとが連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能である。
これにより、スプール弁における３ポジションを実現し、第１ポジションとして、弁体の衝突に対応する待ち受け状態とする。また、第１ポジションから第２ポジションの間としてダンピング機能を呈し、弁体のロッドへの衝突による衝撃を緩和する。さらに、第３ポジションとして、スプール流路を連通させて、メインシリンダに接続されたポートと付勢部とに接続されたポートとを連通させ、メインシリンダから付勢部への非圧縮流体の供給を可能として付勢部を駆動し、可動弁部を弁閉塞位置へと移動させる。
したがって、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズ可能な仕切りバルブを提供することが可能となる。
なお、第２ポジションは、仕切りバルブが通常の給電状態におけるモータ制御可能な際に、弁体が退避位置にあり流路が連通可能な状態における閉塞方向への閉回転動作に対する待ち受け状態とされる。
これにより、仕切りバルブが通常の給電状態におけるモータ制御可能な際にも、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置である場合のみに非圧縮性流体を付勢部に供給可能とする。したがって、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに付勢部が可動弁部を付勢することがない。つまり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに可動弁部がクローズ動作することがない。これにより、不適切なクローズ動作によって仕切りバルブが破損することを防止できる。

本発明の仕切りバルブには、前記ダンピング室が前記メインシリンダ側と連通される。
これにより、停電などの無給電状態となった際に、メインシリンダに貯留された非圧縮性流体をダンピング室に供給する。これにより、第２ポジションからロッドを素早く伸張させて、弁体の衝突を待ち受ける待ち受け状態である第１ポジションとすることが可能である。
また、ダンピング能を呈する際に、付勢部側と連通する必要がないため、付勢部は弁体の回転動作に影響を与えない弁開放状態としてこの姿勢を維持することができる。

また、本発明において、前記ダンピング室を前記メインシリンダ側に向けて遮断するとともに、前記メインシリンダ側から前記ダンピング室に向けて連通可能とするダンピング逆止弁が設けられる。
これにより、停電などの無給電状態となった際に、メインシリンダに貯留された非圧縮性流体をダンピング室に供給可能とする。同時に、弁体の衝突を待ち受ける待ち受け状態である第１ポジションまでロッドが伸長した後に、弁体がロッドに衝突しても、ダンピング室からメインシリンダ側に向けては遮断されるため、弁体の衝突によって生じる高圧状態が、メインシリンダ側に伝達されることがない。これにより、第１ポジションで拡大したダンピング室内に貯留した非圧縮性流体によってダンピング機能を呈することが可能となる。

本発明の仕切りバルブは、前記ダンピング室には、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記メインシリンダ側と連通可能とされるオリフィス部が前記ダンピング逆止弁と並列に設けられる。
これにより、待ち受け状態である第１ポジションまでロッドが伸長した後に、弁体がロッドに衝突した際に、オリフィス部を介してダンピング室に貯留された非圧縮性流体をメインシリンダ側に流量を抑制して移動する。このため、弁体の衝突によるロッドの縮退は、ゆっくりと緩和された状態でおこなわれる。したがって、弁体とロッドとの衝突によって発生した高圧状態が穏やかに下降する。これにより、弁体とロッドとの衝突によって発生した衝撃が吸収される。
このとき、スプール流路はアウタースプールによって閉塞されている。また、ダンピング室からメインシリンダ側へのダンピング逆止弁は閉塞方向である。したがって、弁体とロッドとの衝突によって発生した高圧状態が、直接メインシリンダ側および付勢部側に伝達されることはない。
さらに、第２ポジションまでロッドが縮退すると、オリフィス部がロッドによって閉塞される。このため、ダンピング室はダンピング能、つまり、衝撃緩和機能を維持しなくなる。したがって、ダンピング能は、第１ポジションから第２ポジションまでロッドが移動する間に呈することとなる。
なお、オリフィス部は、第１ポジションから第２ポジションまでロッドが移動する間に、ダンピング室に露出する位置としてケーシングに複数箇所設けられることができる。

また、前記ロッドが、前記弁体による前記ロッドへの押圧状態によって前記第２ポジションと前記第３ポジションとの間で移動可能とされる。
これにより、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、弁体に押圧されたロッドが第３ポジションとならない限り、スプール流路が連通状態となることがない。したがって、弁体に押圧されたロッドが第３ポジションとならない限り、メインシリンダから付勢部へは、非圧縮性流体が供給されない。
つまり、弁体に押圧されたロッドが第３ポジションとならない限り、付勢部は、可動弁部に対するクローズ動作をおこなわない。
このように、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、可動弁部に対するクローズ動作を規制するインターロック機能を維持することが可能である。
これにより、仕切りバルブが、不適切なクローズ動作によって、弁閉塞状態とならないことを防止できる。また、仕切りバルブが、不適切なクローズ動作によって破損・不具合が発生することを防止できる。
なお、弁体によるロッドへの押圧は、弁体そのものではなく、回転軸に接続されたキッカー等によることができる。

本発明においては、前記スプール弁には、
前記メインシリンダ側から前記付勢部側に遮断するとともに、前記付勢部側から前記メインシリンダ側に連通可能とする逆止弁が、前記スプール流路と並列に設けられる。
これにより、付勢部がメインシリンダに比べて高圧状態となった場合には、スプール流路の開閉状態にかかわらず、並列の流路が、逆止弁により付勢部側からメインシリンダ側に向けて連通可能である。
同時に、メインシリンダが付勢部に比べて高圧状態となった場合には、逆止弁の設けられた並列である流路では付勢部側からメインシリンダ側に向けて閉塞されており、スプール流路の開閉状態に依存して連通可能である。
このため、スプール流路の開閉状態に依存して、付勢部の圧力状態を制御できる。つまり、スプール流路が開の場合のみ、付勢部に非圧縮性流体を供給することができる。スプール流路が開の場合のみ、付勢部がクローズ動作をおこなう。

また、本発明のスプール弁は、スプール流路を切り替え可能なスプール弁であって、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記ロッドの一端側に衝突物が衝突する衝撃を緩和する衝撃緩和可能とされ、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが前記一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記衝突物が前記ロッドの一端に衝突する衝突動作終端において、前記衝突物が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記衝突物の前記衝突動作終端における前記衝突動作にともなって前記衝突物に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記衝突物が動作停止位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能である。
ここで、ロッドが一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、インナースプールとアウタースプールとがロッドと同じ距離だけ伸長側に移動する。このとき、ロッドの他端側に形成されたダンピング室の容積が拡大してダンピング能を呈する。
ロッドが第１ポジションから他端側に縮退した第２ポジションに位置した際に、容積の縮小したダンピング室がダンピング能を失う。
ロッドが他端側の第３ポジションに縮退した際には、インナースプールの移動はロッドの第２ポジションとなる位置までとして規制され、アウタースプールの移動はロッドと同じ距離移動可能とされる。このとき、インナースプールとアウタースプールとでケーシング内に形成されるスプール流路が連通状態となる。
これにより、衝突物が、第１ポジションに位置するロッドに衝突した際に、ダンピング能を呈することができる。
衝突物が、第２ポジションに位置するロッドを押圧して第３ポジションとなった場合のみに、スプール流路を連通状態とすることができる。つまり、インターロック機能を呈することができる。

本発明によれば、仕切りバルブにおいてノーマルクローズにおけるショックアブソーバ機能を備えることができる。また、仕切りバルブにおいてノーマルクローズのための機構が、通電制御時における高速動作の妨げにならないことができる。さらに、仕切りバルブにおいて緊急遮断時の閉動作を迅速にし、完了までの時間を短縮することが可能となる。また、仕切りバルブの動作確実性を向上することができる。仕切りバルブとしての省スペース化・小型化・軽量化を図ることができるという効果を奏することが可能となる。

本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの要部を示す平面図であり、スプール弁と弁体の回転軸との位置関係を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジション側に移動開始したダンピング状態を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドがさらに第２ポジション側に移動して近接したダンピング状態を示す図である。本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジション側に移動開始したダンピング状態を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドがさらに第２ポジション側に移動して近接したダンピング状態を示す図である。本発明の第２実施形態に係る仕切りバルブにおけるスプール弁の動作を示す模式図であり、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ａ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１８における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ａ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図２３における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ａ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。

本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける第１付勢部の配置を示す斜視図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける第１付勢部の配置を示す斜視図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける油圧駆動手段および第１付勢部を示す説明図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける油圧駆動手段の加圧状態の油圧発生部を示す断面図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける油圧駆動手段の減圧状態の油圧発生部を示す断面図である。本発明の第３実施形態に係る仕切りバルブにおける油圧駆動手段の過圧状態の油圧発生部を示す断面図である。

以下、本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
また、以下の説明に用いる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率が実際のものとは適宜に異ならせてある。
本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

図１は、本実施形態における仕切りバルブの退避位置（弁開放位置）を示す模式横断面図である。図２は、本実施形態における仕切りバルブのスプール弁および回転軸付近を示す拡大平面図である。図３は、本実施形態における仕切りバルブの弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）を示す模式横断面図である。図４は、本実施形態における仕切りバルブの弁閉塞位置を示す模式横断面図である。図において、符号１００は、仕切りバルブである。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、ノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１～図４に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、付勢部（押しつけシリンダ）７０と、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００と、を備える。

弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。
弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。

回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。
回転軸２０は、弁体５の回転にしたがって回動するキッカー２５が一体に設けられる。キッカー２５は、弁箱１０の外側位置、つまり、大気雰囲気となる位置に配置される。キッカー２５は、後述するように、切替弁（スプール弁）８００に閉位置検出動作を切替可能とするものである。キッカー２５は、衝突動作する衝突物とみなせる。

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図１）とされる。
弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図３）にする。

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図４）との間で動作する。
弁体５は、位置切り替え部として機能する。
回転駆動部２１は、回転軸２０を回転駆動であり、弁体５を往復回転動作させることが可能である。

また、回転駆動部２１は、停電等が発生して無給電状態となった場合に、安全性の観点から、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に向けて回転するノーマルクローズが可能なように構成されている。

弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。中立弁部３０は、中空部１１の中央位置に位置する。中立弁部３０は、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中空部１１の中央位置に位置する。弁枠部６３は、に固定される。中立弁部３０は、中空部１１の中央位置に位置する。中立弁部３０は、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中立弁部３０および弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４をシール面に向く方向に押圧する、伸縮が可能な昇降機構を構成している。
付勢部７０は、押しつけシリンダとされる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。
油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体（圧油）を給排、つまり、供給および排出して、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢して、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧して、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

また、本発明の実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４が弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。
さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、弁枠部６３に対して可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

これにより、仕切りバルブ１００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持する機構を有する。
付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

回転軸２０が符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も方向Ｒ１に沿って回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能として接続されているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

弁箱１０に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、固定部７１から可動弁部（可動弁板部）５４に向く方向へ伸縮が可能な可動部７２と、可動部７２が縮退する方向に付勢可能な付勢部材（押しつけバネ）７３（図５参照）と、から構成されている。

油圧駆動部（固定部）７１は、弁箱１０に内蔵されて、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によって駆動可能である。可動部７２は、この油圧駆動部（固定部）７１によって、固定部７１から可動弁部（可動弁板部）５４に向く方向へ伸縮が可能である。
付勢部材（押しつけバネ）７３は、可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部７２を付勢可能とされる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧によって可動部７２の先端部を伸張する。伸長した可動部７２の先端部は、可動弁部（可動弁板部）５４に当接して、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部を縮退する。縮退した可動部７２の先端部は、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された油圧駆動部（固定部）７１側に収納される。

これにより、仕切りバルブ１００の付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧の供給により可動部７２を伸長する。この際、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動部７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

この可動部７２の伸長状態から、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧によって可動部７２の先端部を縮退する。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間する。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

このように、付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる機械的な当接動作と、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す機械的な分離動作によって、閉弁動作と解除動作が可能となる。

この解除動作の後に、回転駆動部２１によって回転軸２０が符号Ｒ２で示された向きに回転される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も向きＲ２に回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によっておこなわれる。

油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、切替弁（スプール弁）８００と、を有する。

油圧発生部７０１は、油圧駆動部（固定部）７１に油圧を供給する油圧を発生させる。油圧管７０２は、油圧発生部７０１から油圧駆動部（固定部）７１に接続される。
切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。

油圧発生部７０１は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動時に、作動流体である油が、可動弁部（可動弁板部）５４側となる真空側に漏れないように、多段のシール手段が設けられている。
油圧発生部７０１は、可動部７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を油圧駆動部（固定部）７１に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

図５～図１０は、本実施形態における仕切りバルブおよびスプール弁の動作を示す模式図である。

図５は、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。図６は、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。図７は、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

図８は、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジション側に移動開始したダンピング状態を示す図である。図９は、スプール弁のロッドがさらに第２ポジション側に移動して近接したダンピング状態を示す図である。図１０は、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００は、駆動部７０５を有する。
駆動部７０５は、油圧発生部７０１を駆動するモータ等である。駆動部７０５は、制御部（コントローラ）に接続されて、制御される。また、駆動部７０５は、電源に接続されて駆動部７０５を駆動するための電力を供給する。

油圧発生部７０１は、図５～図１０に示すように、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と、付勢部材（メインバネ）７２０と、シリンダ駆動部７３０と、を備えている。
なお、図５～図１０において、付勢部７０の押圧方向、可動弁部（可動弁板部）５４および弁枠部６３と回転軸２０との位置関係などは、説明のため異なる向きに記載している。

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、油圧駆動部（固定部）７１に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。
付勢部材（メインバネ）７２０は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０を付勢する。
シリンダ駆動部７３０は、付勢部材（メインバネ）７２０に抗して油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０を駆動可能なモータ等の駆動部７０５を有する。

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、非圧縮性流体を付勢部に供給して可動弁部をクローズする方向に付勢可能である。

切替弁（スプール弁）８００は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と付勢部（押しつけシリンダ）７０との間で、油圧（非圧縮性流体）の流通を可能とするスプール流路８０１を有する。
切替弁（スプール弁）８００は、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とである場合に、スプール流路８０１の開放・遮断を切り替え可能とされる。

スプール流路８０１は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に連通するメインシリンダポート７０２ａと、付勢部（押しつけシリンダ）７０に連通する押しつけシリンダポート７０２ｂと、に接続されている。

切替弁（スプール弁）８００は、回転軸２０の回転にしたがって弁体５と一体に回動するキッカー２５に一端部側が当接可能なロッド８０２を有する。
ロッド８０２は、軸方向に往復移動可能とされる。
ロッド８０２の他端部側には、ダンピング室８０３が形成されている。
ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と連通するメインシリンダポート７０２ａに接続されている。

ロッド８０２には、一端部側から他端部側に向けて付勢する付勢部材（スプールバネ）８０４を有する。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、後述するように、ロッド８０２における一端部側から他端部側に向けた移動距離（軸方向位置）に応じて、ロッド８０２に対する付勢を解除するように構成される。

ロッド８０２は、当接あるいは衝突したキッカー２５により、ダンピング室８０３の容積が縮小する側に移動可能である。
ロッド８０２は、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力により、ダンピング室８０３の容積が縮小する側に所定範囲で移動可能である。
ロッド８０２は、メインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３に供給された油圧により、ダンピング室８０３の容積が増大する側に移動可能である。

切替弁（スプール弁）８００には、ダンピング室８０３とメインシリンダポート７０２ａとを連通可能とするダンピング逆止弁８０５が設けられる。
ダンピング逆止弁８０５は、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａに向けて遮断するとともに、メインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３に向けて連通可能とする。

切替弁（スプール弁）８００には、逆止弁（スプール逆止弁）８０６が、スプール流路８０１と並列に設けられる。
逆止弁（スプール逆止弁）８０６は、メインシリンダポート７０２ａから押しつけシリンダポート７０２ｂ側に向けて遮断するとともに、押しつけシリンダポート７０２ｂ側からメインシリンダポート７０２ａ側に向けて連通可能とする。

ダンピング室８０３には、メインシリンダポート７０２ａと連通可能とされるオリフィス部８０７が設けられる。オリフィス部８０７は、ダンピング逆止弁８０５と並列に設けられる。

オリフィス部８０７は、ロッド８０２における一端部側から他端部側に向けた移動距離（軸方向位置）に応じて、メインシリンダポート７０２ａとの連通状態が可変、つまり、流量可変とされている。
なお、オリフィス部８０７は、ロッド８０２の移動に対応してダンピング室８０３に露出する位置として、ロッド８０２の軸方向に複数箇所設けられることができる。

切替弁（スプール弁）８００は、後述するように、ロッド８０２における一端部側から他端部側に向けた移動距離（軸方向位置）に応じて、その一部分のみスプール流路８０１が開放可能とされる。

切替弁（スプール弁）８００は、後述するように、ロッド８０２における一端部側から他端部側に向けた移動距離（軸方向位置）に応じて、その一部分のみオリフィス部８０７がメインシリンダポート７０２ａと連通可能とされる。

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００の動作についで説明する。

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、３つのポジションを有する３ポジション弁とされる。３つのポジションは、それぞれロッド８０２の軸方向における伸縮状態に対応している。
第１ポジションは、図７に示すように、ロッド８０２が軸方向において、キッカー２５が当接あるいは衝突する端部である一端側に移動可能な最大距離だけ伸張した位置とされる。

第３ジションは、図６，図１０に示すように、ロッド８０２が軸方向において、他端側に移動可能な最大距離だけ縮退した位置とされる。
なお、図６、図１０において、第３ポジションとして縮退したロッド８０２は図示されていない。
第２ポジションは、図５に示すように、ロッド８０２が軸方向において、第１ポジションと第３ポジションとの間の位置とされる。第２ポジションは、ロッド８０２が軸方向において、第３ポジション側に近接した位置とされる。

次に、これらロッド８０２の各ポジションに対して、ロッド８０２がそれぞれの構成との間でおこなう動作・作用を説明する。

スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションに位置したときのみに開状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを連通状態とする。スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションよりも第２ポジションに近接する側に移動した場合には、閉状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを遮断状態とする。

また、スプール流路８０１は、ロッド８０２が第２ポジションから第１ポジションまでのいずれかの位置にある場合には、閉状態、つまり、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとを遮断状態とする。
スプール流路８０１は、ロッド８０２が第３ポジションと第１ポジションとの間で移動することで、開閉を切り替え可能になる。

ダンピング室８０３は、ロッド８０２が第３ポジションに位置したときに、容積が最小となり、ロッド８０２が第１ポジションに位置したときに、容積が最大となる。また、ダンピング室８０３は、ロッド８０２が第３ポジションと第１ポジションとの間で位置する距離の変化に応じて、その容積は比例または対応して変化する。

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第１ポジションに位置したときに、付勢力が最大となる。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間で、ロッド８０２が縮退する方向に付勢する。

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第２ポジションに位置したときに、付勢力がロッド８０２に印加しないよう設定されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２が第２ポジションと第３ポジションとの間で、付勢力がロッド８０２に印加しないよう設定されている。

ダンピング逆止弁８０５は、ロッド８０２の各ポジションに関係なく、整流作用を奏する。
逆止弁（スプール逆止弁）８０６は、ロッド８０２の各ポジションに関係なく、整流作用を奏する。

オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間に位置する際に、ダンピング室８０３から流出する油圧を緩和する。特に、オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ダンピング室８０３から流出する油圧の緩和程度が増大するように設定される。
また、オリフィス部８０７は、ロッド８０２が第２ポジションと第３ポジションとの間に位置する際には、ダンピング室８０３からオリフィス部８０７を介して流出する油圧が遮断される。

キッカー２５は、ロッド８０２が第１ポジションと第２ポジションとの間に位置する際に、ロッド８０２の端部に当接あるいは衝突することができる。
キッカー２５は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部を押圧することができる。
キッカー２５は、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部を押圧することができる。ロッド８０２の第２ポジションから第３ポジションへの移動は、キッカー２５の押圧による。
キッカー２５は、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションへと移動する際に、ロッド８０２の端部に接触することができる。ロッド８０２の第３ポジションから第２ポジションへの移動は、キッカー２５からの押圧が解除されて開始される。
なお、キッカー２５は、回転軸２０、弁体５、弁枠部６３と一体として回転動作するため、図５～図１０ではその図示を省略している。

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、シリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５が通電（給電）されて、通常の弁開閉動作が制御可能な状態と、停電等によりシリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５に対する無給電状態とで、それぞれ異なる動作をする。

なお、いずれの給電状態・無給電状態でも、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置および弁閉塞位置にある場合のみ、切替弁（スプール弁）８００は、スプール流路８０１が開放可能とされる。

まず、通常の給電状態では、切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

具体的には、モータ等の駆動部７０５が通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。
つまり、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能とされる。
この状態では、図５に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、図１に示す退避位置（弁開放位置）から、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションに移動した直後である。

また、付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図４に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。
この状態では、図６に示すように、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

次に、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁閉塞位置から、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から閉回転動作を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。
この状態では、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションに移動する。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図１に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
この状態では、図５に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

次に、停電等、緊急事態の発生時など、無給電状態では、切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションから第１ポジション、および、第１ポジションから第３ポジション、さらに、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
したがって、仕切りバルブ１００が弁閉塞状態で、かつ、モータ等の駆動部７０５の通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合には、切替弁（スプール弁）８００において、図６に示すように、ロッド８０２は第３ポジションに位置するとともに、ロッド８０２は第３ポジションから移動しない。

これに対して、仕切りバルブ１００が弁開放状態であって、かつ、モータ等の駆動部７０５の通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合には、安全性の観点から、ノーマルクローズが可能なように切替弁（スプール弁）８００が動作する。

具体的には、モータ等の駆動部７０５が通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置している。
つまり、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

次に、例えば、停電が発生して、モータ等の駆動部７０５への給電が消失した場合には、その瞬間には、弁開放状態と、切替弁（スプール弁）８００において、ロッド８０２が第２ポジションに位置している状態とを維持している。

つまり、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、図５に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

そして、停電が発生して、モータ等の駆動部７０５への給電が消失した直後には、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開放状態である退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へと閉回転動作することになる。その際、閉回転動作終端において、弁体５に連動したキッカー２５が衝突する衝撃緩和を可能とするために、切替弁（スプール弁）８００のロッド８０２が第２ポジションから第１ポジションへと伸張する。

つまり、図７に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）から閉回転動作する前に、ロッド８０２が第１ポジションへと伸長しキッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となる。
切替弁（スプール弁）８００では、ロッド８０２が第１ポジションとなると、衝撃緩和状態が開始する。

衝撃緩和時には、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ閉回転動作する可動弁部（可動弁板部）５４は、閉回転動作終端において、キッカー２５が第１ポジションに位置するロッド８０２の一端に当接して、第１ポジションから第２ポジションへと移動する。

つまり、図８，図９に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）から閉回転動作する間に、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動する。この間、オリフィス部８０７が、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａとの連通可能、かつ、流量可変とされている。

なお、オリフィス部８０７における、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａへの流量は、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションへと移動するにしたがって、減少するように設定されている。

切替弁（スプール弁）８００では、第１ポジションから移動してきたロッド８０２が第２ポジションに到達すると、衝撃緩和状態が終了する。
衝撃緩和の終了時には、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作終端において、キッカー２５が第２ポジションに到達したロッド８０２の一端を押圧して、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションへと移動する。

つまり、図１０に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ到達した瞬間には、同時に、ロッド８０２が第３ポジションに到達する。
ロッド８０２が第３ポジションに到達した瞬間には、同時に、遮断されていたスプール流路８０１が開放される。

したがって、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）へ到達した後に、スプール流路８０１が開放される。スプール流路８０１が開放されると、メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとが連通する。

これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０に連通した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から油圧（非圧縮性流体）が供給されて、付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から弁閉塞位置へと移動し、弁閉動作が終了する。

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００の衝撃緩和作用を含む動作についで説明する。

まず、始状態として、モータ等の駆動部７０５が通電された弁開放状態について説明する。

この状態では、図５に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。スプール流路８０１が閉塞される。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢していない。
ダンピング室８０３の容積は縮小されており、ダンピング室８０３はオリフィス部８０７に連通していない。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退している。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、モータ等の駆動部７０５が付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力に抗して、シリンダ容積が増大されている。
付勢部（押しつけシリンダ）７０からへ油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって連通可能とされる。

したがって、付勢部材（押しつけバネ）７３によって付勢された付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０よりも高く、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって規定された差圧が発生している。
ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態とされている。

次に、例えば、停電が発生して、モータ等の駆動部７０５への給電が消失した場合について説明する。

この状態では、当初、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
停電が発生した直後に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、モータ等の駆動部７０５への給電が消失し、付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、シリンダ容積が縮小し始める。これにより、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、圧力が上昇する。

ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態のため、ダンピング室８０３の圧力が上昇する。
ダンピング室８０３の圧力が上昇すると、ロッド８０２が押圧されて移動し、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に抗して、ダンピング室８０３の容積が拡大する。これにともなって、ロッド８０２が、図５に示す第２ポジションから、図７に示す第１ポジションへと伸長する。

切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第１ポジションに位置する。
第１ポジションへと伸長したロッド８０２が、キッカー２５の衝突を待ち受ける待ち受け状態となる。
スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。

付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
ダンピング室８０３の容積は拡大されており、ダンピング室８０３はオリフィス部８０７に連通している。

圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

次に、ノーマルクローズが可能な構成とされた回転駆動部２１によって、可動弁部（可動弁板部）５４が、退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に向けて閉回転動作を開始する。

この状態では、無給電状態であるため、回転駆動部２１においても回転軸２０の回転動作が制御されていない。このため、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に向けて閉回転動作は、極めて急速におこなわれる。

閉回転動作によって、キッカー２５が、図８に示すように、第１ポジションに位置するロッド８０２の端部に当接あるいは衝突する。続けて、キッカー２５は、ロッド８０２の端部を押圧することで、ロッド８０２を第１ポジションから第２ポジションへと移動させる。

この状態では、キッカー２５に衝突されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が瞬間的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、瞬間的に高圧になる。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の上昇圧力が緩和される。

このとき、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に高圧が逃がされる。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収される。

瞬間的に高圧になったダンピング室８０３の上昇圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧の衝撃が伝達されることを防止する。

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

さらに、閉回転動作によって、可動弁部（可動弁板部）５４の退避位置（弁開放位置）から弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に向けて回転動作を続け、可動弁部（可動弁板部）５４は弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に近接する。

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２を第２ポジションへ向けて移動させ、図９に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに近接する。

ここで、キッカー２５に押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、次第に低くなるものの高圧状態を維持する。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の圧力は引き続き緩和される。

高圧になったダンピング室８０３の圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧が伝達されることを防止する。

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。
これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

さらに、閉回転動作によって、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションへと到達する。

この状態で、ロッド８０２の移動によりオリフィス部８０７が閉塞されて、ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側から遮断される。
これにより、圧力緩和が終了する。このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０における付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収されて、ダンピング室８０３の圧力は、充分低下されている。

スプール流路８０１は、閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の付勢を解除する。

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。
これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力は、変動しない。
したがって、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３によって可動部７２の先端部が縮退した状態を維持する。

さらに、閉回転動作によって、図１０に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に到達する。

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションを通過して第３ポジションへと到達する。
ここで、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に到達した瞬間と同時に、ロッド８０２が第３ポジションへと到達する。
ロッド８０２が第３ポジションへと到達すると、ロッド８０２の移動により、スプール流路８０１が、はじめて連通状態となる。

メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、連通される。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢していない。
油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されているが、スプール流路８０１によって連通される。

これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力が上昇する。
したがって、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部７２の先端部が伸長した状態となる。

このとき、可動部７２の先端部に押圧されて、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作する。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

これにより、停電等の緊急時におけるノーマルクローズとしての弁閉塞動作を完了する。

本実施形態においては、仕切りバルブ１００が切替弁（スプール弁）８００を有することで、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズを実現することが可能となる。

ロッド８０２が、キッカー２５のロッド８０２への押圧状態によって第２ポジションと第３ポジションとの間で移動可能とされる。
これにより、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、スプール流路８０１が連通状態となることがない。

つまり、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときには、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションまでの間に位置する。この際には、スプール流路８０１が閉塞されており、可動弁部（可動弁板部）５４がクローズ動作することがない。

したがって、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０へは、油圧（非圧縮性流体）が供給されない。
つまり、キッカー２５に押圧されたロッド８０２が第３ポジションとならない限り、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４に対するクローズ動作をおこなわない。

これにより、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置以外にあるときに付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁部（可動弁板部）５４を付勢することがない。

仕切りバルブ１００が通常の給電状態であっても無給電状態であっても、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）および弁閉塞位置である場合のみに、切替弁（スプール弁）８００が油圧（非圧縮性流体）を付勢部（押しつけシリンダ）７０に供給可能とすることができる。

これにより、停電等の無給電状態、および、通常の給電制御可能状態のいずれであっても、可動弁部（可動弁板部）５４に対するクローズ動作を規制するインターロック機能を維持することが可能である。
これにより、仕切りバルブ１００が、不適切なクローズ動作によって、弁閉塞状態とならないことを防止できる。また、仕切りバルブ１００が、不適切なクローズ動作によって破損・不具合が発生することを防止できる。

また、本実施形態における仕切りバルブ１００の切替弁（スプール弁）８００では、ロッド８０２が第１ポジションから第２ポジションまでの間に位置する際に、ロッド８０２の他端部側に形成されたダンピング室８０３によって衝撃緩和可能である。
これにより、切替弁（スプール弁）８００における３ポジションを実現し、ロッド８０２の第１ポジションとして、弁体５の衝突に対応する待ち受け状態とする。
また、ロッド８０２の第１ポジションから第２ポジションの間としてダンピング機能を呈し、キッカー２５のロッド８０２への衝突による衝撃を緩和する。

さらに、本実施形態において、弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にあるときには、ロッド８０２の第３ポジションとして、スプール流路８０１を連通させて、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０への油圧（非圧縮性流体）の供給を可能とする。これにより、付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動し、可動弁部（可動弁板部）５４を弁閉塞位置へと移動させる。
切替弁（スプール弁）８００においては、ロッド８０２のポジションで、これらの機能を切り替えることが可能となる。

また、ダンピング逆止弁８０５によって、停電などの無給電状態となった際に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に貯留された油圧（非圧縮性流体）をダンピング室８０３に供給可能とする。同時に、弁体５の衝突を待ち受ける待ち受け状態である第１ポジションまでロッド８０２が伸長した後に、キッカー２５がロッド８０２に衝突しても、ダンピング室８０３からメインシリンダポート７０２ａ側に向けては遮断される。このため、キッカー２５の衝突によってダンピング室８０３で生じる高圧状態が、メインシリンダポート７０２ａ側に伝達されることがない。これにより、第１ポジションで拡大したダンピング室８０３内に発生した高圧によって仕切りバルブ１００が破損することなくダンピング機能を呈することが可能となる。

オリフィス部８０７によって、待ち受け状態である第１ポジションまでロッド８０２が伸長した後に、キッカー２５がロッド８０２に衝突した際に、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３に貯留された油圧（非圧縮性流体）を油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側に流量を抑制して移動する。このため、キッカー２５の衝突によるロッド８０２の縮退は、ゆっくりと緩和された状態でおこなわれる。

したがって、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した高圧状態が穏やかに下降する。これにより、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した衝撃が吸収される。

このとき、スプール流路８０１は閉塞されている。また、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側へのダンピング逆止弁８０５は閉塞方向である。したがって、キッカー２５とロッド８０２との衝突によって発生した高圧状態が、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側および付勢部（押しつけシリンダ）７０側に直接伝達されることはない。

さらに、第２ポジションまでロッド８０２が縮退すると、オリフィス部８０７がロッド８０２によって閉塞される。このため、ダンピング室８０３はダンピング能、つまり、衝撃緩和機能を維持しなくなる。したがって、ダンピング能は、第１ポジションから第２ポジションまでロッド８０２が移動する間に呈することとなる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０が油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に比べて高圧状態となった場合には、スプール流路８０１の開閉状態にかかわらず、並列の流路となる逆止弁（スプール逆止弁）８０６により、付勢部（押しつけシリンダ）７０側から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側に向けて連通可能である。

同時に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０が付勢部（押しつけシリンダ）７０に比べて高圧状態となった場合には、逆止弁（スプール逆止弁）８０６は付勢部（押しつけシリンダ）７０側から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側に向けて閉塞されており、スプール流路８０１の開閉状態に依存して連通可能である。

このため、ロッド８０２のポジションによって設定されるスプール流路８０１の開閉状態に依存して、付勢部（押しつけシリンダ）７０の圧力状態を制御できる。つまり、スプール流路８０１が開の場合のみ、付勢部（押しつけシリンダ）７０に負圧（非圧縮性流体）を供給して、付勢部（押しつけシリンダ）７０がクローズ動作をおこなう。

以下、本発明に係る仕切りバルブ、スプール弁の第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１１～図１６は、本実施形態における切替弁（スプール弁）を示す断面図である。

本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、スプール弁の具体的構造に関する点であり、これ以外の上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

図１１は、図５に対応し、スプール弁のロッドが第２ポジションにある弁開状態を示す図である。図１２は、図６に対応し、スプール弁のロッドが第３ポジションにある弁閉状態を示す図である。図１３は、図７に対応し、スプール弁のロッドが第１ポジションにある衝突待機状態を示す図である。

図１４は、図８に対応し、スプール弁のロッドが第１ポジションよりも第２ポジション側に移動開始したダンピング状態を示す図である。図１５は、図９に対応し、スプール弁のロッドがさらに第２ポジション側に移動して近接したダンピング状態を示す図である。図１６は、図１０に対応し、スプール弁のロッドが第３ポジションに到達した瞬間を示す図である。

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、図１１～図１６に示すように、ロッド８０２と、インナースプール８１１と、アウタースプール８１２と、ケーシング８１０と、Ｃ環（ストッパ）８１４と、付勢部材（スプールバネ）８０４と、を有する。

ロッド８０２は、軸方向に伸縮可能な棒状である。
インナースプール８１１は、ロッド８０２に沿って往復移動可能な円筒状である。
アウタースプール８１２は、ロッド８０２に沿って往復移動可能な円筒状である。
ケーシング８１０は、ロッド８０２とインナースプール８１１とアウタースプール８１２とを収納する。
Ｃ環（ストッパ）８１４は、インナースプール８１１とアウタースプール８１２とに接するようにロッド８０２に周設される。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、インナースプール８１１をロッド８０２の軸方向に付勢する。

ロッド８０２は、断面円形の棒状とされ、ケーシング８１０の中心に配置される。
ケーシング８１０は、略円筒状の円筒部８１０ａを有する。円筒部８１０ａにおける軸方向の両端は、いずれも蓋部８１０ｂ，８１０ｃによって閉塞されている。
ロッド８０２は、円筒部８１０ａと同軸状に配置される。

ケーシング８１０において、円筒部８１０ａの一端に位置する蓋部８１０ｂには、その中心位置に、貫通孔８１６が設けられる。貫通孔８１６には、ロッド８０２の一端部の先端８０２ａが貫通している。ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の外部に突出可能とされている。

ケーシング８１０の外側面となる蓋部８１０ｂは、貫通孔８１６の周縁部が円筒部８１０ａの軸線と略直交する平面８１０ｂ１とされている。円筒部８１０ａの一端も、平面８１０ｂ１と面一に形成される。
平面８１０ｂ１は、キッカー２５が当接した際に、回転軸２０の閉回転動作における閉回転動作終端位置を規制する終端位置規制部とされている。

貫通孔８１６には、シール部材８１６ａ，８１６ｂが設けられ、ロッド８０２の一端部が摺動可能とされている。さらに、貫通孔８１６においてケーシング８１０の内側となる位置には、ストッパ８１６ｃが設けられ、ロッド８０２が貫通孔８１６から抜けないように規制している。
ストッパ８１６ｃの蓋部８１０ｃ側には、付勢部材（スプールバネ）８０４の一端部が接している。
付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の蓋部８１０ｃ側となる外周を取り囲んで、螺旋状に周回するように配置される。

ロッド８０２の他端部は、ダンピング室８０３における一端部側に位置する。ロッド８０２の他端部には、フランジ部８０２ｂが周設される。フランジ部８０２ｂは、ロッド８０２の径方向外側向きに設けられる。フランジ部８０２ｂの径方向外側面は、全周で円筒部８１０ａの内周面に摺動可能に接触している。
円筒部８１０ａの他端における蓋部８１０ｃは、ケーシング８１０の他端側を閉塞している。
円筒部８１０ａの内周面と蓋部８１０ｃとロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１とは、密閉されたダンピング室８０３を形成している。

蓋部８１０ｃの中心には、ロッド８０２および円筒部８１０ａと同軸状のガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄが円筒部８１０ａの内側に突出している。
ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄは、ロッド８０２の他端部に設けられた規制穴８０２ｄに挿入された状態とされる。軸方向規制部８１０ｄとロッド８０２の規制穴８０２ｄとは、互いに摺動可能である。
ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄとロッド８０２の規制穴８０２ｄとの間には、シール部材８１０ｅが設けられる。ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向外側と円筒部８１０ａの内面との間には、シール部材８１０ｆが設けられる。

ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの中心には、軸方向に貫通孔８１０ｄ１が形成される。
貫通孔８１０ｄ１は、ロッド８０２の規制穴８０２ｄの内部に位置するロッド内部空間８０３ｃを外部と連通している。ロッド８０２の規制穴８０２ｄのロッド内部空間８０３ｃは、貫通孔８１０ｄ１によって、外部と同じ大気圧雰囲気に維持される。

ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄの径寸法φ８１０と、ロッドの先端８０２ａにおける径寸法φ８０２ａと、は次のような条件を満たす関係にある。
・第２ポジションの状態を実現するために、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力より弱い範囲で、ロッド８０２を右方向に付勢するための力を、径寸法φ８０２ａと径寸法φ８１０で規定される面積差による油圧の力によって担う。

・第１ポジションの状態を実現するために、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０からの圧力が導入された際には、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力より強い力でロッド８０２を先端８０２ａに向買う方向に付勢するための力を、径寸法φ８０２ａと径寸法φ８１０で規定される面積差による油圧の力によって担う。

なお、圧力容器であるケーシング８１０の内部に位置する各部品のそれぞれ面に作用する力は、ケーシング８１０の外部へ露出している面積である径寸法φ８０２ａと径寸法φ８１０で規定される面積差分の力（面積差×内部圧力）が、ケーシング８１０の内部の可動アセンブリに作用するよう設定される。

ロッド８０２の外周には、Ｃ環（ストッパ）８１４が周設される。Ｃ環（ストッパ）８１４は、ロッド８０２の外周に固定される。Ｃ環（ストッパ）８１４は、ロッド８０２と一体とされて、ロッド８０２に対して移動しない。

ロッド８０２の外周には、同軸状態とされるインナースプール８１１が配置される。
インナースプール８１１は略円筒状の円筒部８１１ａと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｃ側端部で径方向内側向きに突出するフランジ部８１１ｂと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｂ側端部で径方向外側向きに突出するフランジ部８１１ｃと、を有する。

円筒部８１１ａは、ロッド８０２と同軸に配置される。円筒部８１１ａの内周面は、ロッド８０２の外周面と離間している。
円筒部８１１ａの内周面の径寸法は、ロッド８０２の外周面の径寸法よりも大きく設定される。

円筒部８１１ａの内周面とロッド８０２の外周面との間には、付勢部材（スプールバネ）８０４が配置される。
円筒部８１１ａは、螺旋状の付勢部材（スプールバネ）８０４の外周位置に配置される。

フランジ部８１１ｂの内周面は、ロッド８０２の外周面に接している。フランジ部８１１ｂの内周面は、ロッド８０２に対して軸方向に摺動可能とされる。
フランジ部８１１ｂの蓋部８１０ｂ側となる面８１１ｂ２には、付勢部材（スプールバネ）８０４の他端部が接している。

フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢可能とされる。
フランジ部８１１ｂの蓋部８１０ｃ側となる端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４の蓋部８１０ｂ側と接触可能とされる。

フランジ部８１１ｃの外周面は、全周でケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面に摺動可能に接触している。
ケーシング８１０の円筒部８１０ａは、蓋部８１０ｂ側に比べて蓋部８１０ｃ側の径寸法が小さくなるように段差面８１０ａ２が形成されている。
フランジ部８１１ｃの蓋部８１０ｃ側となる面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触可能とされている。
フランジ部８１１ｃの蓋部８１０ｂ側には、蓋部８１０ｂ、および、ケーシング８１０の円筒部８１０ａで囲まれたケーシング空間８０３ｂが形成される。
ケーシング空間８０３ｂの内部には、付勢部材（スプールバネ）８０４が配置される。ケーシング空間８０３ｂは、メインシリンダポート７０２ａと連通する。

ロッド８０２の外周には、同軸状態とされるアウタースプール８１２が配置される。
アウタースプール８１２は略円筒状の円筒部８１２ａと、円筒部８１１ａの蓋部８１０ｃ側端部で径方向内側向きに突出するフランジ部８１２ｂと、を有する。

円筒部８１２ａは、ロッド８０２と同軸に配置される。円筒部８１２ａの内周面は、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と接触している。
円筒部８１２ａの内周面は、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と摺動可能とされる。

フランジ部８１２ｂの内周面は、ロッド８０２の外周面に接している。フランジ部８１２ｂの内周面は、ロッド８０２に対して軸方向に摺動可能とされる。
フランジ部８１２ｂの蓋部８１０ｂ側となる面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４の蓋部８１０ｃ側と接触可能とされる。
フランジ部８１２ｂの蓋部８１０ｃ側となる面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触可能とされる。

アウタースプール８１２の円筒部８１２ａにおける蓋部８１０ｂ側となる端面８１２ａ２と、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃにおける蓋部８１０ｃ側となる面８１１ｃ１と、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と、ケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面と、で囲まれる空間は、スプール流路８０１を形成している。

あるいは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａにおける蓋部８１０ｂ側となる端面８１２ａ２と、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃにおける蓋部８１０ｃ側となる面８１１ｃ１と、インナースプール８１１の円筒部８１１ａの外周面と、ケーシング８１０の円筒部８１０ａの内周面と、段差面８１０ａ２と、で囲まれる空間は、スプール流路８０１を形成している。

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、スプール流路８０１に連通可能な位置にメインシリンダポート７０２ａと連通するメインシリンダポート開口８０１ａが径方向に形成される。
メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞可能とされている。

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、スプール流路８０１に連通可能な位置に押しつけシリンダポート７０２ｂと連通する押しつけシリンダポート開口８０１ｂが径方向に形成される。
押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞可能とされている。

メインシリンダポート開口８０１ａは、押しつけシリンダポート開口８０１ｂよりも、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｂ側に位置している。
つまり、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、メインシリンダポート開口８０１ａよりも、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｃ側に位置している。

したがって、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、押しつけシリンダポート開口８０１ｂのみが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞された状態が可能である。
また、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞された状態が可能である。

また、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとが連通している状態が可能である。
メインシリンダポート開口８０１ａと押しつけシリンダポート開口８０１ｂとの閉塞・連通状態は、ロッド８０２およびアウタースプール８１２の軸方向位置に対応している。

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、ダンピング室８０３に連通する位置として径方向に形成された流路に、メインシリンダポート７０２ａに連通するダンピング逆止弁８０５が接続される。

ケーシング８１０の円筒部８１０ａには、ダンピング室８０３に連通可能な位置に複数のオリフィス部８０７が径方向に形成される。
オリフィス部８０７は、ロッド８０２の軸方向における移動位置に応じて、ダンピング室８０３に連通する流路数が増減可能なように、円筒部８１０ａにおける開口位置が設定される。

オリフィス部８０７としては、例えば、ロッド８０２の軸方向位置において蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて、オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃが配置される。
オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃは、円筒部８１０ａの外周側に位置するオリフィス流路８０７ｄによって互いに連通される。

ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１には、その外周位置に円筒部８１０ａの内周面側と接するように、切欠部８０２ｂ３が設けられる。
切欠部８０２ｂ３は、ロッド８０２の軸方向位置に対応して、オリフィス開口部８０７ａ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ｃと、ダンピング室８０３との連通状態を変化することができる。

また、ケーシング８１０には、余分な油（非圧縮性流体）を油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に送るように、メインシリンダポート７０２ａに連通する流路が設けられていてもよい。

本実施形態における切替弁（スプール弁）８００は、第1実施形態と同様に、３つのポジションを有する３ポジション弁とされる。３つのポジションは、それぞれロッド８０２の軸方向における伸縮状態に対応している。

ロッド８０２は、ガイドロッド（軸方向規制部）８１０ｄに対して規制穴８０２ｄの内面が摺動する。このとき、ロッド８０２の規制穴８０２ｄのロッド内部空間８０３ｃは、貫通孔８１０ｄ１によって、外部と同じ大気圧雰囲気に維持される。
また、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向外側面は、全周で円筒部８１０ａの内周面に対して摺動する。

つまり、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの径方向の両側で位置規制されている。
同時に、ロッド８０２は、一端部の先端８０２ａが貫通孔８１６内で摺動する。
これらにより、ロッド８０２の両端位置において、位置規制がおこなわれる。

これにより、ロッド８０２が軸方向に沿って移動可能なように移動方向が規制されている。
したがって、キッカー２５が、図１４～図１６に示すように、ロッド８０２の先端８０２ａに対して当接、衝突、あるいは、押圧する際に、ロッド８０２の移動方向が軸方向意外にぶれることなく、安定して、軸方向に移動する。

第１ポジションは、図７に対応する図１３に示すように、ロッド８０２が軸方向において、キッカー２５が当接あるいは衝突する端部である一端側に移動可能な最大距離だけ伸張した位置とされる。

第３ジションは、図６，図１０に対応する図１２，図１６に示すように、ロッド８０２が軸方向において、他端側に移動可能な最大距離だけ縮退した位置とされる。
第２ポジションは、図５に対応する図１１に示すように、ロッド８０２が軸方向において、第１ポジションと第３ポジションとの間の位置とされる。第２ポジションは、ロッド８０２が軸方向において、第３ポジション側に近接した位置とされる。

次に、本実施形態における切替弁（スプール弁）８００において、仕切りバルブ１００のシリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５が通電（給電）されて、通常の弁開閉動作が制御可能な状態と、停電等によりシリンダ駆動部７３０のモータ等の駆動部７０５に対する無給電状態との動作を詳細に示す。

具体的には、モータ等の駆動部７０５が通電されて、かつ、弁開放状態における切替弁（スプール弁）８００は、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。
つまり、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態では、図１１に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置する。

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図１１に示すように、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外側に突出している。
同時に、オリフィス部８０７においては、オリフィス開口部８０７ｃのみが、切欠部８０２ｂ３によってダンピング室８０３と連通している。

また、メインシリンダポート開口８０１ａはスプール流路８０１に連通している。押しつけシリンダポート開口８０１ｂのみが、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によって閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１と接触している。

この状態では、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力が、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力よりも大きいため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けて圧力が作用している。

したがって、Ｃ環（ストッパ）８１４がインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

さらに、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの端面８０２ｂ１がアウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１に当接しているため、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。

これにより、図１１に示すように、スプール流路８０１が閉塞状態とされ、ダンピング室８０３ではオリフィス開口部８０７ｃのみが連通可能な第２ポジションとなる。

さらに、通常の給電状態では、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した後の状態では、図１２に示すように、ロッド８０２が第２ポジションから第３ポジションに移動した直後である。

また、付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図４に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。この状態では、図１２に示すように、ロッド８０２が第３ポジションに位置する。

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図１２に示すように、キッカー２５によって貫通孔８１６内に押し込まれ、ケーシング８１０の平面８１０ｂ１と面一な位置、あるいは、貫通孔８１６内側に引っ込んだ位置とされている。
同時に、オリフィス部８０７においては、ダンピング室８０３と連通している開口はない。

また、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂが、ともにスプール流路８０１に連通している。アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面は、メインシリンダポート開口８０１ａおよび押しつけシリンダポート開口８０１ｂのいずれも閉塞していない。
したがって、スプール流路８０１は連通状態とされている。

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
このとき、フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触しておらず、離間している。

この状態では、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力と、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力との大小にかかわらず、キッカー２５にロッド８０２の先端８０２ａが当接しているため、ロッド８０２は、キッカー２５によって蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて押圧されている。

したがって、ロッド８０２の軸方向位置が規制される。同時に、アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２がＣ環（ストッパ）８１４に当接しているため、アウタースプール８１２の軸方向位置が規制される。

さらに、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触しているため、インナースプール８１１の軸方向位置が規制される。

これにより、図１２に示すように、ダンピング室８０３のオリフィス部８０７が閉塞し、スプール流路８０１が連通可能な第３ポジションとなる。

次に、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作して、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁閉塞位置から、図３に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する際は、ロッド８０２が第３ポジションから第２ポジションに移動する。

このとき、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１にかかる圧力が、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの端面８１２ａ２にかかる圧力よりも大きいため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けて圧力が作用している。

同時に、ロッド８０２の先端８０２ａからキッカー２５の当接が解除されるため、ロッド８０２には、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けて移動する。ロッド８０２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１と接触する位置まで移動する。

次に、停電等、緊急事態の発生時など、無給電状態における切替弁（スプール弁）８００は、第２ポジションから第１ポジション、および、第１ポジションから第３ポジション、さらに、第２ポジションと第３ポジションとの間で動作する。

これに対して、仕切りバルブ１００が弁開放状態であって、かつ、モータ等の駆動部７０５の通電があった状態から、停電等が発生して無給電状態となった場合、その瞬間には、切替弁（スプール弁）８００において、図１１に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに位置している状態を維持している。

この状態では、図１に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にある。
停電が発生した直後に、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、モータ等の駆動部７０５への給電が消失し、付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、シリンダ容積が縮小し始める。これにより、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０は、付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により、圧力が上昇する。

ダンピング室８０３の内部は、ダンピング逆止弁８０５によって油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０と同圧状態のため、ダンピング室８０３の圧力が上昇する。
ダンピング室８０３の圧力が上昇すると、ロッド８０２が押圧されて移動し、付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に抗して、ダンピング室８０３の容積が拡大する。これにともなって、ロッド８０２が、図１１に示す第２ポジションから、図１３に示す第１ポジションへと伸長する。

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図１３に示すように、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも最大となる距離だけ外側に突出している。
同時に、オリフィス部８０７においては、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａの全てが、ダンピング室８０３と連通している。

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。同様に、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

この状態では、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０では、付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力により圧力が上昇し、油圧（非圧縮性流体）がメインシリンダポート７０２ａに供給される。
ここで、スプール流路８０１は閉塞されているが、スプール流路８０１と並列に接続されているダンピング逆止弁８０５によってメインシリンダポート７０２ａからダンピング室８０３へと流通可能である。
このため、油圧（非圧縮性流体）がダンピング室８０３に供給される。
これにより、圧力上昇したダンピング室８０３では、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１に、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けて油圧が作用している。

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２よりも蓋部８１０ｂ側に位置している。つまり、フランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２と離間する位置にある。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。

アウタースプール８１２のフランジ部８１２ｂの面８１２ｂ２は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
フランジ部８１２ｂの面８１２ｂ１は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの面８０２ｂ２と接触している。

また、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４が、インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１に接している。インナースプール８１１のフランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。

ここで、ロッド８０２には、フランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１に、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けて油圧が作用している。また、ロッド８０２にはインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、油圧と逆向きとなる蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力に比べて、端面８０２ｂ１に作用する油圧のほうが大きい。
これにより、蓋部８１０ｃ側から蓋部８１０ｂ側に向けてロッド８０２が移動して伸張する。

これにより、図１３に示すように、スプール流路８０１が閉塞状態とされ、ダンピング室８０３ではオリフィス部８０７が連通可能な第１ポジションとなる。

閉回転動作によって、キッカー２５が、図１４に示すように、第１ポジションに位置するロッド８０２の先端８０２ａに当接あるいは衝突する。続けて、キッカー２５は、ロッド８０２の端部を押圧することで、ロッド８０２を第１ポジションから第２ポジションへ向けてと移動させる。

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外側に突出しているが、第１ポジションから第２ポジション側に位置することになる。
同時に、オリフィス部８０７においては、図１４に示すように、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂは、ダンピング室８０３と連通しているが、最も蓋部８１０ｂ側に位置するオリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

この状態では、キッカー２５に衝突されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が瞬間的に縮小しようとする。
この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接あるいは衝突したキッカー２５の衝撃力、あるいは、押圧力によって、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けた力が作用している。

キッカー２５の押圧力、または、衝撃力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。
これにより、ダンピング室８０３は、瞬間的に高圧になる。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の上昇圧力が緩和される。

これにより、ロッド８０２が第１ポジションに近い位置にあるときには、オリフィス開口部８０７ｃ，オリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａの全てが、ダンピング室８０３と連通しており、ダンピング室８０３の圧力上昇を油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側に逃がすことになる。
ロッド８０２が第２ポジション側に移動するにしたがって、オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このとき、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

さらに、ロッド８０２が第２ポジション側に移動するにしたがって、次に、オリフィス開口部８０７ｂが、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このときも、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１から反力を受けるので、キッカー２５の衝撃力、あるいは、押圧力に抗して、ロッド８０２の移動、つまり、キッカー２５の移動、すなわち、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作を緩和することができる。

このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収される。

ここで、ロッド８０２には、キッカー２５の衝撃力に加えて、ロッド８０２にはインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２を第２ポジションへ向けて移動させ、図１５に示すように、ロッド８０２が第２ポジションに近接する。
このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、貫通孔８１６からケーシング８１０の平面８１０ｂ１よりも外側に突出しているが、第２ポジションに近接した位置となる。

ここで、キッカー２５に連続して押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。このとき、ダンピング室８０３は、次第に低くなるものの高圧状態を維持する。ここで、ダンピング室８０３に連通しているオリフィス部８０７によって、ダンピング室８０３の圧力は引き続き緩和される。

このとき、オリフィス部８０７を介してダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０に高圧が引き続き逃がされる。
このとき、オリフィス部８０７においては、図１５に示すように、最も蓋部８１０ｃ側に位置するオリフィス開口部８０７ｃは、ダンピング室８０３と連通しているが、蓋部８１０ｂ側に位置するオリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

また、メインシリンダポート開口８０１ａは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して連通されている。これに対して、押しつけシリンダポート開口８０１ｂは、アウタースプール８１２の円筒部８１２ａの外周面によってスプール流路８０１に対して閉塞されている。
したがって、スプール流路８０１は閉塞されている。

この状態では、キッカー２５に押圧されたロッド８０２の動作により、ダンピング室８０３は、その容積が連続的に縮小しようとする。
この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接あるいは衝突したキッカー２５の押圧力によって、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けた力が作用している。

キッカー２５の押圧力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。
これにより、ダンピング室８０３は高圧状態を維持する。ここで、オリフィス部８０７によるダンピング室８０３の圧力緩和が継続される。

これにより、ロッド８０２が第２ポジションに近接する位置まで移動するにしたがって、オリフィス開口部８０７ａに続いてオリフィス開口部８０７ｂが、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。
このとき、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

さらに、ロッド８０２が第２ポジション側に移動するにしたがって、切欠部８０２ｂ３によって、ダンピング室８０３から油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０へ逃げる油圧の流量を緩和することができる。

ロッド８０２が第２ポジションに近接する位置まで移動するにしたがって、オリフィス部８０７の流量が減少して、より一層、ロッド８０２の移動速度を緩和することができる。
これにより、キッカー２５の移動、すなわち、可動弁部（可動弁板部）５４の閉回転動作を傾斜して緩和することができる。

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０においては、付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が引き続き吸収される。

高圧であるダンピング室８０３の圧力は、ダンピング逆止弁８０５によって、メインシリンダポート７０２ａに向けて遮断されている。これにより、メインシリンダポート７０２ａ、および、メインシリンダポート７０２ａに連通している部分への高圧の衝撃が伝達されることを防止する。

ここで、ロッド８０２には、キッカー２５の押圧力に加えて、ロッド８０２にはインナースプール８１１のフランジ部８１１ｂ、Ｃ環（ストッパ）８１４を介して、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４の付勢力が作用している。

スプール流路８０１は、ロッド８０２が第２ポジションに位置するまで閉塞状態を維持する。メインシリンダポート７０２ａと押しつけシリンダポート７０２ｂとは、遮断されている。付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２を付勢している。
圧力の上昇した油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されている。

この状態で、ロッド８０２の移動によりオリフィス部８０７が閉塞されて、ダンピング室８０３は、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０側から遮断される。
このとき、オリフィス部８０７においては、図１１に示す状態と同様に、最も蓋部８１０ｃ側に位置するオリフィス開口部８０７ｃは、切欠部８０２ｂ３によってダンピング室８０３と連通しているが、蓋部８１０ｂ側に位置するオリフィス開口部８０７ｂ，オリフィス開口部８０７ａは、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂの外周面によって閉塞される。

これにより、圧力緩和が終了する。このとき、油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０における付勢部材（メインバネ）７２０の変形により、圧力変動が吸収されて、ダンピング室８０３の圧力は、充分低下されている。

フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触している。
インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
このため、付勢部材（スプールバネ）８０４は、ロッド８０２の付勢を解除した状態となる。

この状態では、ロッド８０２の先端８０２ａは、先端８０２ａに当接したキッカー２５によって、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けた押圧力が作用している。
キッカー２５の押圧力は、ロッド８０２のフランジ部８０２ｂにおける端面８０２ｂ１からダンピング室８０３に伝達される。

さらに、閉回転動作によって、図１６に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に到達する。

この状態では、キッカー２５が、ロッド８０２の端部に当接した状態で押圧することで、ロッド８０２が第２ポジションを通過して第３ポジションへと到達する。
このとき、キッカー２５が、ケーシング８１０の蓋部８１０ｂの平面８１０ｂ１と接触する。これにより、キッカー２５が動作停止位置となり、キッカー２５の閉回転動作が終了する。平面８１０ｂ１は、キッカー２５の閉回転動作における閉回転動作終端位置を規制する。

ここで、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）側に到達した瞬間と同時に、図１６に示すように、ロッド８０２が第３ポジションへと到達する。
ロッド８０２が第３ポジションへと到達すると、ロッド８０２の移動により、スプール流路８０１が、はじめて連通状態となる。

このとき、ロッド８０２の先端８０２ａは、図１６に示すように、キッカー２５によって貫通孔８１６内に押し込まれ、ケーシング８１０の平面８１０ｂ１と面一な位置、あるいは、貫通孔８１６内側に引っ込んだ位置とされている。
同時に、オリフィス部８０７においては、ダンピング室８０３と連通している開口はない。

インナースプール８１１のフランジ部８１１ｃの面８１１ｃ１は、段差面８１０ａ２に接触している。
フランジ部８１１ｂは、蓋部８１０ｂ側から蓋部８１０ｃ側に向けて付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されている。
このとき、フランジ部８１１ｂの端面８１１ｂ１は、ロッド８０２に周設されたＣ環（ストッパ）８１４と接触しておらず、離間している。
したがって、ロッド８０２は、付勢部材（スプールバネ）８０４によって付勢されていない。

これにより、図１６に示すように、ダンピング室８０３のオリフィス部８０７が閉塞し、スプール流路８０１が連通可能な第３ポジションとなる。

油圧シリンダ（メインシリンダ）７１０から付勢部（押しつけシリンダ）７０に向かっては、逆止弁（スプール逆止弁）８０６によって遮断されているが、スプール流路８０１によって連通される。

なお、ケーシング８１０の内部においては、ダンピング室８０３に高圧がかかったダンピング動作状態（圧力緩和状態）を除いて、ロッド内部空間８０３ｃ、スプール流路８０１は、同じ圧力状態となる。また、ロッド内部空間８０３ｃは、常に大気圧に維持されている。
逆にいうと、ケーシング８１０の内部は、ダンピング動作状態（圧力緩和状態）において、ダンピング逆止弁８０５によって、ダンピング室８０３のみが高圧となる。

本実施形態においては、上述した第１実施形態と同様に、非圧縮性流体供給切替と衝撃緩和とを同時に呈するノーマルクローズを実現するという効果を奏することができる。

以下、本発明に係る仕切りバルブの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第１および第２実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

図１７は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。
図１８は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１８は、図１７における線分Ｂ－Ｏ－Ｃに相当する。図１９～図２２は、図１８と同様に、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。
図１９は、図１７における線分Ａ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２０は、図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２１は、図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部（押しつけシリンダ）と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。
図２２は、図１７における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、図１８において弁枠付勢部を紙面奥行き方向に見た図である。

図２３は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図２３は、図１７における線分Ｂ－Ｏ－Ｃに相当する。図２４～図２７は、図２３と同様に、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。
図２４は、図１７における線分Ａ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２５は、図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２６は、図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部（押しつけシリンダ）と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。
図２７は、図１７における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、図２３において弁枠付勢部を紙面奥行き方向に見た図である。

図２８は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図２８は、図１７における線分Ｂ－Ｏ－Ｃに相当する。図２９～図３１は、図２８と同様に、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
図２９は、図１７における線分Ａ－Ｏに沿う部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図３０は、図１７における線分Ｂ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図３１は、図１７における線分Ｃ－Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、付勢部（押しつけシリンダ）と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。

図３２は、図１８における油圧駆動手段および付勢部（押しつけシリンダ）を示す説明図である。
図３３は、図１８における付勢部（押しつけシリンダ）の配置を示す斜視図である。
図３４は、図１８における付勢部（押しつけシリンダ）の配置を示す斜視図である。
図３５は、図１８における油圧駆動手段における加圧状態の油圧発生部を示す断面図である。
図３６は、図１８における油圧駆動手段における減圧状態の油圧発生部を示す断面図である。
図３７は、図１８における油圧駆動手段における過圧状態の油圧発生部を示す断面図である。

［振り子型仕切りバルブ］
本発明の実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１７～図２１に示すように、振り子型スライド弁である。

仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り、また、この仕切り状態を開放する。つまり、仕切りバルブ１００は、流路Ｈを閉鎖した状態と、第１空間と第２空間とをつなぐ状態と、を切り替える。
仕切りバルブ１００は、弁箱１０と中立弁体５と回転軸２０とを備える。
弁箱１０の内部には中空部１１が形成される。弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成される。
弁箱１０には、中空部１１を挟んで互いに対向するように第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂが設けられる。

第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂまでは中空部１１を介して連通される。
第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。
第１開口部１２ａは、第１空間に露出されている。第２開口部１２ｂは、第２空間に露出されている。つまり、仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間との間に挿入される。
なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路Ｈ方向と称することがある。

中空部１１内には、中立弁体５が配置される。
中立弁部３０は、位置切り替え部としての回転軸２０に接続される。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、不図示の駆動装置により回転可能である。

回転軸２０には、接続部材（不図示）が固着されている。
接続部材は、例えば、略平板状の部材である。接続部材は、回転軸２０の一端に対してネジ等によって固着される。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して中立弁部３０が固定される。
あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに中立弁部３０が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、中立弁体５の位置切り替え部として機能する。

中立弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。本実施形態においては、第１開口部１２ａを閉塞可能とする。
中立弁体５は、弁閉塞位置と弁開放位置との間で動作する。
弁閉塞位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａに対して閉塞状態（図２３）にする。
弁開放位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａから退避した開放状態（図１８）にする。
中立弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。

中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。

中立弁部３０は、図１７に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、流路Ｈ方向視して、可動弁部４０と重なるように配置される。
回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。

回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて、２本の腕が延びたアーム形状で形成されている。回転部３０ｂは、アーム部と呼称されてもよい。
これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、２つの可動弁枠部６０（スライド弁板）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。

可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部９０（補助バネ）が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部９０（補助バネ）によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に嵌合される。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁枠部６０は、可動弁板部５０の周囲を囲むように配置される。
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１８に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。
往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する表面に、カウンタークッション５１が周設される。
カウンタークッション５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。カウンタークッション５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。

カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

カウンタークッション５１は、弾性体である。
カウンタークッション５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。

可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成される。内周クランク部５０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂを有する。
可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面６０ｂを有する。
外周クランク部６０ｃおよび内周クランク部５０ｃは嵌合している。

摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとの間には、Ｏリング等からなる摺動シールパッキン５２が配される。摺動シールパッキン５２により、摺動時における、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。

可動弁枠部６０には、弁箱内面１０Ａに対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着可能である。

弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とが、図１９～図２１に示すラインＲに重なるように配置される。
このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

弁枠付勢部９０は、中立弁部３０の円形部３０ａと、流路Ｈ方向視して円形部３０ａと重なる可動弁枠部６０の位置規制部６５と、の間に配置される。
弁枠付勢部９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。

弁枠付勢部９０は、円形部３０ａの周方向に等間隔を有して複数配置される。図１７では、３個の弁枠付勢部９０が配置された構成例を示している。

弁枠付勢部９０は弾性部材であり、板バネとされる。
弁枠付勢部９０（板バネ）は、その長手方向が円形部３０ａの周方向に沿って配置される。

弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、図２２に示すように、固定ピン９２と固定ピン９３とによって中立弁部３０の円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、それぞれ厚さ方向にリング状部材９２ａ、リング状部材９２ｂを挟んで円形部３０ａに係止される。
弁枠付勢部９０（板バネ）の中央部分は、印圧ピン９１によって可動弁枠部６０の位置規制部６５に係止される。

仕切りバルブ１００の開弁状態（図１８）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０と可動弁枠部６０との離間距離が狭くなる。
これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の距離が縮まる。
すなわち、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９２との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図２２）。同様に、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９３との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図２２）。

これに対して、仕切りバルブ１００の閉弁状態（図２３）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０と可動弁枠部６０との離間距離が広くなる。
これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の距離が伸びる。すなわち、弁枠付勢部９０では、曲部９０Ａが解消する（図２７）。

弁枠付勢部９０は、閉弁状態（図２３）から開弁状態（図１８）へ変化する場合に、弁箱内面１０Ａから可動弁枠部６０を引き離す機械的な分離動作を促す構造を有する。
弁枠付勢部９０は、機械的な分離動作を促す機能に加えて、中立弁部３０に対して可動弁枠部６０の径方向および周方向の位置を保持する機能も備える。

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁部４０に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域に配置される。

複数の弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の周方向に等間隔を有する配置とされる。
弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。
図１７は、弁体の中心Ｏから見て、３個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（１２０度）に配された構成例を示している。

弁板付勢部８０は、ボルト状のガイドピン８１の長軸部によって、可動弁板部５０の動きを誘導（規制）する。ガイドピン８１は、可動弁枠部６０に固定される。
弁板付勢部８０を構成する保持バネは、例えば、スプリング、ゴム等とされる弾性部材で形成されている。

弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。

ガイドピン８１は、太さ寸法が均一の棒状体で構成されている。
ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設されて可動弁枠部６０に固設される。
ガイドピン８１は、可動弁板部５０に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
ガイドピン８１は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０の位置規制を誘導する。

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向（符号Ｑで示す軸）が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないようにできる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

弁箱１０には、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０が内蔵されている。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向において第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、可動部７２とを有する。
油圧駆動部（固定部）７１は、油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されている。油圧駆動部（固定部）７１は、油圧駆動手段７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によって可動部７２を伸縮可能とされる。
油圧駆動部（固定部）７１は、中空部１１に対して弁箱内面１０Ｂよりも外側となるフレームの内部に埋め込まれた配置とされる。

可動部７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在とされる。
付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が、可動弁枠部６０側となる真空側に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
例えば、可動部７２の周囲には、先端部７２ａ側となる位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７５が設けられる。可動部７２は、油圧駆動部（固定部）７１側と可動弁枠部６０側となる真空側とをシールした状態で伸縮自在とされる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を有する。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに当接させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧して、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに付勢可能な位置として弁箱１０に配される。複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの周囲に沿って等間隔に離間して設けられる。
複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。

図３２，図３３には、互いに離間する付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置として、弁体の中心Ｏから見て、４個の付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
中心Ｏから見て、付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、弁板付勢部８０と弁枠付勢部９０との角度位置と重ならないように構成される。

開弁状態（図１８）から閉弁状態（図２３）とする場合に、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧によって可動部７２を伸張させる。

このとき、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。

複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、可動部７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

油圧駆動手段７００は、図３４に示すように、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、切替弁（スプール弁）８００と、駆動部７０５と、制御部（コントローラ）７０６と、電源７０７と、を有する。

油圧発生部７０１は、付勢部（押しつけシリンダ）７０の油圧駆動部（固定部）７１に油圧を供給する油圧を発生させる。
油圧管７０２は、油圧発生部７０１から油圧駆動部（固定部）７１に接続される。
切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて可動弁枠部６０の開動作終了時に油圧供給を切断するとともに、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が閉位置となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。

駆動部７０５は、油圧発生部７０１を駆動するモータ等である。駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。駆動部７０５は、電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

また、油圧発生部７０１は、図３５～図３７に示すように、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
油圧発生部７０１は、可動部７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を油圧駆動部（固定部）７１に供給するとともに、動作終了時に、油圧供給を切断可能とされている。また、可動弁枠部６０への可動部７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

図３５～図３７は、油圧駆動手段７００における油圧発生部７０１を示す断面図である。
図３５は、油圧駆動手段７００における加圧状態の油圧発生部７０１を示す。図３６は、油圧駆動手段７００における減圧状態の油圧発生部７０１を示す。図３７は、油圧駆動手段７００における過圧状態の油圧発生部７０１を示す。

油圧発生部７０１は、図３５～図３７に示すように、油圧シリンダ７１０と、付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、油圧駆動部（固定部）７１に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢する。シリンダ駆動部７３０は、付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。
ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される側の油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされてケーシング７５０に取り付け固定される。
ピストン７１２の端部７１２ａと反対側となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態に位置する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

シリンダ本体７１１の端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂの内側と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。

油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外側に張り出して周設される。

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａおよび外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。周溝７１１ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。
内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。

なお、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パツキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。
シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、外側位置にシリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。
駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。
駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。

駆動軸７３１の端部７３１ａと反対側となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。
ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。
ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。

ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。
駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部を構成する。

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。
ケーシング筒７５１は、筒状とされる。
ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。
後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。
リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。
蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は収納空間７５５を形成している。

収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。
収納空間７５５は、ピストン７１２の位置する側が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。
収納空間７５５は、駆動軸７３１の位置する側が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。
収納空間７５５は、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。
リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。
リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３とは、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。
駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７を、対向する面の間で支持している。
また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、モータ等の駆動部７０５が取り付けられている。

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。
後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。
後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。

後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。
後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

後空間７５６の蓋部７５８側となる位置には、駆動軸７３１の端部７３１ｂが当接可能なリミッタスイッチ７６０が設けられる。リミッタスイッチ７６０は、制御部７０６に接続される。

リミッタスイッチ７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１の端部７３１ｂがリミッタスイッチ７６０に当接したことを検知する。このとき、リミッタスイッチ７６０は、駆動軸７３１の端部７３１ｂが所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力する。
この信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、リミッタスイッチ７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

油圧発生部７０１は、制御部７０６の出力信号によって、モータ等の駆動部７０５における駆動の切り替えを可能とされる。

制御部７０６が駆動信号を出力すると、モータ等の駆動部７０５が駆動して、回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。

ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。
このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。

駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、ノーマルクローズを可能とするため、付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。つまり、付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。したがって、付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

また、本実施形態の仕切りバルブ１００においては、ノーマルクローズ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動された際に、オープン可能とする。このため、モータ等の駆動部７０５の駆動によって駆動軸７３１が移動する方向は、付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。つまり、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。したがって、モータ等の駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

油圧発生部７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動しない場合、図３５に示すように、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、付勢部（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部７２の先端部７２ａが伸長する。

また、油圧発生部７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動した場合、図３６に示すように、モータ等の駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、付勢部（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部７２の先端部７２ａが縮退する。

また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２側にオーバーランした場合でも、図３７に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を付勢部（押しつけシリンダ）７０へ流入させないことができる。

この構成により、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動部７２の先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させて、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能と、自ら（可動部７２）が初動する位置（固定部７１内の位置）に戻る機能の２つの機能を有する。

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００においては、可動弁部４０が、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂに接していない状態を考える。
この状態で、回転軸２０を符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、回転軸２０の回転に従って、中立弁部３０および可動弁部４０が方向Ｒ１に沿って振り子運動で回転移動する。
この回転によって、可動弁部４０は、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置に移動する。

流路Ｈの弁閉位置において、可動弁部４０では、付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に付勢する。
可動弁枠部６０が可動部７２によって押圧されて、可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、機械的な当接動作として、弁箱内面１０Ａに可動弁枠部６０を当接させる。
可動弁枠部６０の弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着される。
これにより、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

逆に、付勢部（押しつけシリンダ）７０において、可動部７２を縮退させる。すると、弁枠付勢部９０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａから離間する方向に付勢する。
弁枠付勢部９０は、機械的な分離動作として、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０を引き離す。
これにより、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａから引き離して、可動弁枠部６０を退避させる。これにより、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。

これらの付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作によって、閉弁動作と解除動作が可能となる。

解除動作の後に、回転軸２０を符号Ｒ２で示された向きに回転させる（退避動作）。
すると、回転軸２０の回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＲ２に回動する。

弁板付勢部８０は、一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１８～図２１には、可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。
この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と呼称する。

弁体がＦＲＥＥな状態において、上述した付勢部（押しつけシリンダ）７０の機能により、可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接するまで移動させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧することによって、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
上述した付勢部（押しつけシリンダ）７０の機能とは、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能である。

弁体がＦＲＥＥな状態において、付勢部（押しつけシリンダ）７０の可動部７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱１０の内側に縮退した状態にある。つまり、付勢部（押しつけシリンダ）７０は、中立弁体５と接していない。

次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。
すると、可動部７２の先端部７２ａが、図１９に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。これにより、図１９に矢印Ｆ２で示すように、中立弁体５の可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに、可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。

このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。
同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図２３～図２６には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と呼称する。

正圧／差圧無の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。
つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、中立弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。

正圧／差圧無の弁閉状態では、付勢部（押しつけシリンダ）７０において、可動部７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。
また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態を維持する。

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図２７～図３１には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と呼称する。

逆圧の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態を保ちながら、他方の内面にも接した状態である。
つまり、逆圧の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。
ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

中立弁体５が逆圧を受けた場合、上述した弁板付勢部８０の機能により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２へ移動する。
上述した弁板付勢部８０の機能とは、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを、往復方向Ｂ１，Ｂ２（図２８）に摺動しながら移動可能とする機能である。
このとき、可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。

これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。
このとき、カウンタークッション５１により、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。
往復方向Ｂ２の方向に中立弁体５が受けた力を、弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けてもらう機構が、逆圧キャンセル機構である。

さらに、正圧／差圧無の弁閉状態において、上述した弁枠付勢部９０の機能により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。
上述した弁枠付勢部９０の機能とは、可動弁枠部６０を中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続する機能、および、可動弁枠部６０を流路方向における中央位置に向けて付勢する機能である。

このように、本実施形態の仕切りバルブ１００においては、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。省スペース化が可能である。確実な閉塞動作が可能となる。動作上の安全性を向上できる。高い信頼性の仕切り動作が可能である。弁体の重量軽減により、弁体の駆動力を抑制できる。弁体の部品点数を削減できる。弁体の構成の簡素化および軽量化が実現する。

なお、上述した各実施形態において、それぞれの構成を組み合わせた構成とすることも可能である。

本発明は、真空装置等における真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。また油圧回路を閉回路としたことで、どのような設置姿勢においても安全で確実な動作状態を維持することができる。

５…中立弁体（弁体）
１０…弁箱
１１…中空部
１２ａ…第１開口部
１２ｂ…第２開口部
２０…回転軸
２１…回転駆動部
２５…キッカー
３０…中立弁部（アーム）
３０ａ…円形部
３０ｂ…回転部（アーム）
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
６３…弁枠部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
７０…付勢部（押しつけシリンダ）
７１…固定部
７２…可動部
７３…付勢部材
８０…弁板付勢部
９０…弁枠付勢部
１００…仕切りバルブ
７００…油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７０５…駆動部（モータ）
７１０…油圧シリンダ（メインシリンダ）
７１１…シリンダ本体
７１２…ピストン
７２０…付勢部材
７３０…シリンダ駆動部
７３１…駆動軸
７３２…ネジ駆動ギア
７５０…ケーシング
８００…切替弁（スプール弁）
８０１…スプール流路
８０１ａ…メインシリンダポート開口
８０１ｂ…シリンダポート開口
８０２…ロッド
８０２ａ…先端
８０２ｂ…フランジ部
８０２ｂ１…端面
８０２ｂ２…面
８０２ｂ３…切欠部
８０２ｄ…規制穴
８０３…ダンピング室
８０３ｂ…ケーシング空間
８０３ｃ…ロッド内部空間
８０４…付勢部材（スプールバネ）
８０５…ダンピング逆止弁
８０６…逆止弁（スプール逆止弁）
８０７…オリフィス部
８０７ａ，８０７ｂ，８０７ｃ…オリフィス開口部
８０７ｄ…オリフィス流路
８１０…ケーシング
８１０ａ…円筒部
８１０ａ２…段差面
８１０ｂ…蓋部
８１０ｂ１…平面
８１０ｃ…蓋部
８１０ｄ…軸方向規制部
８１０ｄ１…貫通孔
８１１…インナースプール
８１１ａ…円筒部
８１１ｂ…フランジ部
８１１ｂ１…端面
８１１ｂ２…面
８１１ｃ…フランジ部
８１１ｃ１…面
８１２…アウタースプール
８１２ａ…円筒部
８１２ａ２…端面
８１２ｂ…フランジ部
８１２ｂ１…面
８１２ｂ２…面
８１４…Ｃ環（ストッパ）
８１６…貫通孔
８１６ａ…シール部材
８１６ｂ…シール部材
８１６ｃ…ストッパ

Claims

ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする付勢部と、
前記付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記非圧縮性流体駆動部が、
前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給して前記可動弁部を前記クローズする方向に付勢可能なメインシリンダと、
前記弁体が前記弁開口遮蔽位置である場合に切り替え可能とされて前記非圧縮性流体を前記付勢部に供給可能なスプール流路を有するスプール弁と、
を有し、
前記スプール弁が、前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと前記弁体を回転する閉回転動作終端において前記弁体の回転動作を緩和する衝撃緩和可能である
ことを特徴とする仕切りバルブ。
前記メインシリンダが、モータの駆動によって前記非圧縮性流体の給排が可能とされ、
前記モータが無給電状態となった直後において、前記スプール弁が衝撃緩和可能である
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。
前記スプール弁が、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記弁体が前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置へと回転する閉回転動作終端において、前記弁体が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記弁体の前記閉回転動作終端における前記退避位置から前記弁開口遮蔽位置への回転動作にともなって前記弁体に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記弁体が前記弁開口遮蔽位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされて、前記メインシリンダに接続されたポートと前記付勢部とに接続されたポートとが連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能である
ことを特徴とする請求項１または２記載の仕切りバルブ。
前記ダンピング室が前記メインシリンダ側と連通される
ことを特徴とする請求項３記載の仕切りバルブ。
前記ダンピング室を前記メインシリンダ側に向けて遮断するとともに、前記メインシリンダ側から前記ダンピング室に向けて連通可能とするダンピング逆止弁が設けられる
ことを特徴とする請求項４記載の仕切りバルブ。
前記ダンピング室には、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記メインシリンダ側と連通可能とされるオリフィス部が前記ダンピング逆止弁と並列に設けられる
ことを特徴とする請求項５記載の仕切りバルブ。
前記ロッドが、前記弁体による前記ロッドへの押圧状態によって前記第２ポジションと前記第３ポジションとの間で移動可能とされる
ことを特徴とする請求項３記載の仕切りバルブ。
前記スプール弁には、
前記メインシリンダ側から前記付勢部側に遮断するとともに、前記付勢部側から前記メインシリンダ側に連通可能とする逆止弁が、前記スプール流路と並列に設けられる
ことを特徴とする請求項１または５記載の仕切りバルブ。
スプール流路を切り替え可能なスプール弁であって、
軸方向に伸縮可能なロッドと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なインナースプールと、
前記ロッドに沿って往復移動可能なアウタースプールと、
前記ロッドと前記インナースプールと前記アウタースプールとを収納するケーシングと、
前記インナースプールを前記軸方向に付勢する付勢部材と、
を有し、
前記ロッドの一端側に衝突物が衝突する衝撃を緩和する衝撃緩和可能とされ、
前記衝撃緩和時には、
前記ロッドが前記一端側に最大距離だけ伸張した第１ポジションに位置した際に、前記衝突物が前記ロッドの一端に衝突する衝突動作終端において、前記衝突物が前記ロッドの一端に当接可能とされ、
前記衝突物の前記衝突動作終端における前記衝突動作にともなって前記衝突物に押圧された前記ロッドが他端側に向けて縮退するとともに、
前記ロッドが前記他端側に最大距離だけ縮退した第３ポジションに位置した際に、前記衝突物が動作停止位置とされ、
前記ロッドが前記第３ポジションに位置した際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が連通可能とされ、
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第１ポジションと前記第３ポジションとの間となる第２ポジションまでの間に位置する際に、前記インナースプールと前記アウタースプールとで前記ケーシング内に形成される前記スプール流路が閉塞され
前記ロッドが前記第１ポジションから前記第２ポジションまでの間に位置する際に、前記ロッドの他端で前記ケーシング内に形成されたダンピング室によって衝撃緩和可能である
ことを特徴とするスプール弁。