JP6878495B2 - 油圧駆動システム、仕切りバルブ - Google Patents

Description

本発明は油圧駆動システム、仕切りバルブに関し、特に、ノーマスクローズ動作の可能な真空アクチュエータを有する油圧駆動システム、および、これを用いた振り子バルブに用いて好適な技術に関する。

真空装置等においては、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧するための伸縮アクチュエータが設けられる。このような伸縮アクチュエータとしては、チャンバ内における汚染防止等の観点から、その多くは真空雰囲気であるチャンバ外に駆動部が配置されて、チャンバ内の伸縮部を駆動させる構成が知られている。
例えば、伸縮アクチュエータとしては、電磁駆動型、圧空駆動型、油圧駆動型などがある。

本発明者らは、密閉時に弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。

ここで、伸縮アクチュエータにおける油圧の発生は電源から給電されたモータが担っている。
なお、この例の伸縮アクチュエータにおいて、高出力が必要な油圧での駆動は、基本的に縮退する向きにおいておこなわれ、伸縮アクチュエータの伸長する向きでは、バネ等を用いるスプリングバックといわれる構成である。

仕切りバルブとしては、大断面での仕切り動作における高信頼性に加えて、電源供給の消失、あるいは、圧空などの制御流体駆動圧力の消失などの緊急時に、流路を閉じるノーマルクローズを可能とすることが求められてきた。
このノーマルクローズとは、弁仕切り動作をおこなう際に弁体等を駆動させる供給電力や圧空等の動力源が作用していない状態などでは、流路を閉じる動作を可能とすること、および、流路を閉じた状態を維持することを意味している。

特許第６３５８７２７号公報

安全性を鑑みてノーマルクローズを実現するためには、モータによって発生させた油圧による通常駆動と、通常の給電時に加えて非常時である停電時におけるスプリングバックによる緊急動作と、を両立する必要がある。
しかし、停電時にスプリングバックを可能とした場合、給電の消失した油圧発生用のモータに対して、スプリングによる緊急動作をおこなうと、次のような問題がある。

まず、停電時におけるスプリングによる油圧の逆流は、真空アクチュエータにおいて、同時にモータの回転軸を逆転させる。すると、給電消失状態で逆転したモータでは慣性により、大きな逆転のエネルギーが発生する。

ここで、大断面での仕切り動作可能な仕切りバルブでは、弁体が大きくその重量も大きいため、この弁体を駆動させるためにモータの定格電流が極めて大きいものとされている。したがって、上記の慣性による逆転（逆方向角速度と慣性モーメントの積で表される運動エネルギー）が極めて大きくなるため、スプリングバックの終端においてその運動エネルギーが衝撃荷重として開放されることに付随し、油圧発生部におけるシリンダが過収縮して、想定以上の油圧が発生してしまうことが判明した。

この過大な油圧により、スプリングバックの終端においては、油圧駆動部の部品等が破損してしまう可能性がある。また、仕切りバルブにおける弁体の閉塞動作が上手くいかない可能性がある。あるいは、弁体付近の部品が故障などの不具合を発生する場合がある。このため、緊急時のスプリングバックによる部品等の破損を防止したいという要求があった。

さらに、緊急時のスプリングバックによる過大な油圧発生を防止するために、モータを油圧駆動部から切り離す構成が考えられる。

しかし、このような構成であると、通常の給電時におけるスプリングバック動作において、モータの逆回転が大きくなる。この場合、緊急時のプリングバックと同様、動作の終端において、油圧発生部におけるシリンダが過収縮（過圧縮）して、想定以上の油圧が発生してしまう場合がある。

この過大な油圧により、動作の終端においては、油圧駆動部の部品等が破損してしまう可能性がある。また、仕切りバルブにおける弁体の閉塞動作が上手くいかない可能性がある。あるいは、弁体付近の部品が故障などの不具合を発生する場合がある。このため、通常の給電時におけるスプリングバックにおいても、部品等の破損を防止したいという要求があった。

さらに、逆転したモータでは回生電力が発生する。上述したように、大断面での仕切り動作可能な仕切りバルブでは、弁体を駆動させるためにモータの定格電流が極めて大きいものとされている。したがって、上記の回生電力が極めて大きくなるため、モータに接続された電子部品を破損する可能性がある。このため、回生電力による電子部品等の破損を防止したいという要求があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．給電時および停電時のいずれにおいても、スプリングバック動作の終端における過大な油圧発生を防止すること。
２．スプリングバック動作の終端における部品等の破損を防止すること。
３．給電時におけるスプリングバック動作において、モータを切り離さない状態を維持すること。
４．給電時におけるスプリングバック動作において、モータ駆動を所望の状態に維持すること。

本発明の油圧駆動システムは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記駆動部に給電する電源と、
を有し、
真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記対象物から離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
前記駆動部には、前記付油圧勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられることにより上記課題を解決した。
本発明の油圧駆動システムは、前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされることができる。
本発明において、前記油圧抑制部が、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を切断し、
前記伸縮ロッドが前記対象物から離間する方向に移動する際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達することが好ましい。
本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部（真空アクチュエータ）と、
前記弁箱付勢部（真空アクチュエータ）に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記駆動部に給電する電源と、
を具備し、
前記弁箱付勢部（真空アクチュエータ）が、前記可動弁部に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記可動弁部から離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされることが可能である。
本発明は、前記油圧抑制部が、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を切断し、
前記伸縮ロッドが前記可動弁部から離間する方向に移動する際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達することができる。

本発明の油圧駆動システムは、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記駆動部に給電する電源と、
を有し、
真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記対象物から離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
前記駆動部には、前記付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられる。
これにより、油圧駆動システムにおいては、通常の給電時には、油圧駆動部によって供給された油圧により真空アクチュエータを駆動して、伸縮ロッドを縮退させることで、対象物への押圧を解除する。また、油圧駆動システムにおいては、油圧付勢部材の付勢力によって伸縮ロッドを伸長させて、対象物を押圧する。これにより、スプリングバック機能を有する油圧駆動システムを提供することが可能である。
また、油圧駆動システムにおいては、油圧抑制部が設けられていない場合、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から真空アクチュエータに逆流する。この際、油圧駆動システムにおいては、駆動部のモータが逆転する。すると、スプリングの付勢力に加えて、モータのイナーシャによって油圧発生部の動作が終端に向けて急峻に増加する。
この場合でも、油圧抑制部が設けられていることにより、スプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することを抑制する。
これにより、油圧抑制部によって、モータで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータおよび対象物で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。
また、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することが可能となる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明の油圧駆動システムは、前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされる。
これにより、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から真空アクチュエータに逆流した場合でも、油圧発生部から駆動部への回転を伝達することがなく、駆動部のモータのイナーシャによって影響を受けることがない。このため、油圧抑制部が設けられていることにより、スプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、過大な油圧が発生することを抑制することができる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明において、前記油圧抑制部が、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を切断し、
前記伸縮ロッドが前記対象物から離間する方向に移動する際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達する。
これにより、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、付勢部材の付勢力によってモータで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧発生部から駆動部への回転を伝達することがなく、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータおよび対象物で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。また、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することが可能となる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達可能な状態を維持するように制御することで、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部（真空アクチュエータ）と、
前記弁箱付勢部（真空アクチュエータ）に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
前記駆動部に給電する電源と、
を具備し、
前記弁箱付勢部（真空アクチュエータ）が、前記可動弁部に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記可動弁部にから離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられる。
これにより、仕切りバルブにおいては、通常の給電時には、油圧駆動部によって供給された油圧により弁箱付勢部（真空アクチュエータ）を駆動して、伸縮ロッドを縮退させることで、可動弁部への押圧を解除する。また、仕切りバルブにおいては、油圧付勢部材の付勢力によって伸縮ロッドを伸長させて、可動弁部を押圧する。これにより、スプリングバック機能を有しノーマルクローズ動作の確実な仕切りバルブを提供することが可能である。
また、仕切りバルブにおいては、油圧抑制部が設けられていない場合、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から弁箱付勢部（真空アクチュエータ）に逆流する。この際、油圧駆動システムにおいては、駆動部のモータが逆転する。すると、油圧付勢部材（スプリング）の付勢力に加えて、モータのイナーシャによって油圧発生部の動作が弁閉となる終端に向けて急峻に増加する。
この場合でも、油圧抑制部が設けられていることにより、スプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することを抑制する。
これにより、油圧抑制部によって、モータで発生する回転軸の逆転に対応して、仕切りバルブの油圧駆動部が破損、あるいは、弁箱付勢部（真空アクチュエータ）および可動弁部で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。
また、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することが可能となる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明の仕切りバルブは、前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされる。
これにより、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧付勢部材の付勢力によって油圧が油圧発生部から弁箱付勢部（真空アクチュエータ）に逆流した場合でも、油圧発生部から駆動部への回転を伝達することがなく、駆動部のモータのイナーシャによって影響を受けることがない。このため、油圧抑制部が設けられていることにより、スプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、過大な油圧が発生することを抑制することができる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明は、前記油圧抑制部が、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記駆動部から前記油圧発生部への回転を切断し、
前記伸縮ロッドが前記可動弁部から離間する方向に移動する際に、前記駆動部から前記油圧発生部への回転を伝達する。
これにより、電源から駆動部への供給電力がなくなった電源喪失時に、付勢部材の付勢力によってモータで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧発生部から駆動部への回転を伝達することがない。したがって、油圧駆動部が破損、あるいは、弁箱付勢部（真空アクチュエータ）および可動弁部で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。また、モータで発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することが可能となる。
同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達可能な状態を維持するように制御することで、駆動部のモータにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部の動作終端において、駆動部のモータのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本発明によれば、スプリングバック終端でのモータの逆転による油圧増大を抑制可能とし、部品の破損や悪影響の発生を防止し、ノーマルクローズとしての動作確実性を向上することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明に係る油圧駆動システムの第１実施形態を示す模式図である。 本発明に係る油圧駆動システムの第１実施形態においてスプリングバック時の油圧状態の時間経過を説明するグラフである。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態を示す流路方向に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における油圧抑制部を説明するための断面図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における油圧抑制部を説明するための断面図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における油圧駆動部を示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。 本発明に係る油圧駆動システムの第４実施形態を備えた真空装置を示す模式説明図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図であり、弁体の退避位置と弁開口遮蔽位置とを示す。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体の弁開口遮蔽位置を示す。 図１６における弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体を流路と直交する方向視した上面図である。 図１７における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁枠による弁閉塞状態を示す。 図２０における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁板部による逆圧キャンセルとなる弁閉塞状態を示す。 図２２における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。

以下、本発明に係る油圧駆動システムの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における油圧駆動システムを示す模式図であり、図において、符号７００は、油圧駆動部である。

本実施形態に係る油圧駆動システムは、図１に示すように、スプリングバック機能を有し、油圧駆動部７００と、真空アクチュエータ７０とを有する。

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、真空雰囲気とされるチャンバＣｈ内で対象物を押圧可能な伸縮アクチュエータとされる。本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、油圧によって制御するため、その押圧力を所定の値に制御することが可能である。

本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図１に示すように、伸縮ロッド（可動部）７２と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、固定部７１と、を有する。

本実施形態において、真空アクチュエータ７０の固定部７１は真空装置のチャンバにおける壁部、底部、あるいは、チャンバ内の機構等に固定される。
本実施形態において、真空アクチュエータ７０の可動部（伸縮ロッド）７２は、真空雰囲気とされたチャンバＣｈ内に向けて伸縮可能とされる。

真空アクチュエータ７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が対象物から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ７０においては、図1に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、対象物から離間して、固定部７１に収納される。

真空アクチュエータ７０の駆動は、油圧駆動部７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

油圧駆動部７００は、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、を有する。油圧発生部７０１は、固定部７１に油圧を供給する油圧を発生させる。油圧管７０２は、油圧発生部７０１と真空アクチュエータ７０の固定部７１とに接続される。

油圧駆動部７００は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
油圧発生部７０１は、真空アクチュエータ７０へ供給する油圧を付勢力によって発生させる油圧付勢部材７２０を有する。
油圧発生部７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって動作方向となる油圧を真空アクチュエータ７０に供給する。油圧発生部７０１は、また、この動作終了時に、油圧状態を維持して可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した状態を維持可能とされている。また、押圧力等、対象物への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、図１に示すように、駆動部７０５を有する。
駆動部７０５は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長縮動作する際に、油圧付勢部材７２０の付勢力に打ち勝って真空アクチュエータ７０から油圧を油圧発生部７０１へ流すように油圧発生部７０１を駆動するモータ７０５ｍを有する。
駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸の回転を停止する励磁ブレーキを備えてもよい。

駆動部７０５は、モータ７０５ｍの回転軸が駆動方向に対して逆転した際に過大な油圧発生を抑制する油圧抑制部７０５ｄを有する。
駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。
駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００から供給された作動油圧により付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力に打ち勝って可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものとされる。
真空アクチュエータ７０は、油圧駆動部７００によりスプリングバック可能とされる。
スプリングバックとは、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧発生部７０１から真空アクチュエータ７０へと作動油を流して、モータ７０５ｍによる動作方向と逆向きに可動部（伸縮ロッド）７２を駆動するものである。

油圧抑制部７０５ｄは、油圧発生部７０１の油圧付勢部材（メインバネ）７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２が対象物に近接する方向に移動するスプリングバック時に、モータ７０５ｍの逆転に起因する油圧発生部７０１での過大な油圧発生を抑制する。

油圧抑制部７０５ｄは、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされる。
具体的には、油圧抑制部７０５ｄは、電源７０７からの給電がない状態で、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２が対象物に近接する方向に移動した際に、モータ７０５ｍと油圧発生部７０１との間の回転を切断する機能を有する。
また、油圧抑制部７０５ｄは、電源７０７からの給電がある状態で、可動部（伸縮ロッド）７２が対象物から離間する方向に移動する際に、モータ７０５ｍと油圧発生部７０１との間の回転を伝達する機能を有する。

言い換えると、油圧抑制部７０５ｄは、電源７０７からの給電がある状態で、制御部（コントローラ）７０６の制御により駆動されたモータ７０５ｍの回転駆動力を、油圧発生部７０１に伝達する機能を有する。これにより、油圧抑制部７０５ｄは、可動部（伸縮ロッド）７２が対象物から離間する方向に移動可能とする機能を有する。

このとき、後述するように、駆動されたモータ７０５ｍと、逆流した油圧による油圧発生部７０１とが連動するように、モータ７０５ｍと油圧発生部７０１との間の回転を伝達可能とする機能を有する。これにより、油圧抑制部７０５ｄは、モータ７０５ｍのイナーシャにより過大に回転することを抑制可能な機能を有する。

さらに、油圧抑制部７０５ｄは、電源７０７からの給電がない状態で、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によってモータ７０５ｍが逆回転する際に、油圧発生部７０１とモータ７０５ｍとの間で回転が伝達されないように切断可能とする機能を有する。これにより、モータ７０５ｍのイナーシャによりモータ７０５ｍへの回転が過大になることを抑制可能とする。

したがって、油圧抑制部７０５ｄは、これらの機能により、過大な油圧発生を抑制する機能を有する。
なお、油圧抑制部７０５ｄは、公知のワンウエイクラッチとされ、その構成は限定されない。

本実施形態に係る油圧駆動システムは、通常の給電時には、油圧駆動部７００によって供給された油圧により真空アクチュエータ７０を駆動して、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退させることで、対象物への押圧を解除する。
また、油圧駆動システムにおいては、真空アクチュエータ７０における油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって可動部（伸縮ロッド）７２を伸長させて、対象物を押圧する。
これを油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックと称する。

図２は、本実施形態における油圧駆動システムにおいて、スプリングバック時の油圧状態の時間経過を説明するグラフである。
本実施形態における油圧駆動システムでは、電源７０７から駆動部７０５へ電力が供給されている状態、つまり、通常の給電時に油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合には、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、可動部（伸縮ロッド）７２が対象物に近接する方向に移動する。
すると、油圧発生部７０１から固定部７１に作動油が逆流する。
このとき、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１は、モータ７０５ｍを逆回転する方向に回転するように作動する。

すると、モータ７０５ｍの回転軸が逆回転する。
この際、制御部（コントローラ）７０６によりモータ７０５ｍを制御しない場合には、可動部（伸縮ロッド）７２を駆動する正回転とは逆方向にモータ７０５ｍが回転される。

つまり、油圧抑制部７０５ｄが設けられていない場合には、図２に破線で示すように、モータ７０５ｍのイナーシャにより、スプリングバックの終端で、油圧発生部７０１における急激な油圧の上昇が発生する。
この油圧の上昇は、スプリングバックの終端における定格油圧の二倍以上になる可能性がある。

極端な場合には、モータ７０５ｍのイナーシャにより大きくなった衝撃により、油圧発生部７０１のシリンダが破損する可能性もある。さらに、真空アクチュエータ７０においても不具合が発生する可能性がある。
また、勢いよく伸張した可動部（伸縮ロッド）７２によって、対象物においても不具合が発生する可能性がある。

これに対して、本実施形態における油圧駆動システムにおいて、油圧抑制部７０５ｄによって、油圧発生部７０１とモータ７０５ｍへとを連動可能に接続する。
同時に、制御部（コントローラ）７０６が、モータ７０５ｍを駆動する。

このとき、制御部（コントローラ）７０６は、電源７０７から駆動部７０５への供給電力を制御して、モータ７０５ｍの逆転速度を所定の状態となるように回転数を抑制する制御をおこなう。

制御部（コントローラ）７０６の制御によりモータ７０５ｍを、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退する正回転方向に駆動する。
このとき、制御部（コントローラ）７０６の制御によりモータ７０５ｍを、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退駆動する際に比べて弱く駆動する。

すると、弱く駆動されたモータ７０５ｍと、油圧の逆流する油圧発生部７０１とは、油圧抑制部７０５ｄによって連動するように、モータ７０５ｍと油圧発生部７０１との間の回転を伝達する。
これにより、モータ７０５ｍにおいて必要以上の回転力が発生することを抑制する。したがって、モータ７０５ｍのイナーシャにより、スプリングバックの終端で、油圧発生部７０１における急激な油圧の上昇を抑制することができる。

なお、逆回転したモータ７０５ｍによって発生した回生電力は、回生電流を処理可能な部品によって消費するように構成することもできる。あるいは、電流方向制御して、回生電力が他のドライバに影響を与えることを抑制する構成とすることもできる。

また、本実施形態における油圧駆動システムにおいて、電源７０７から駆動部７０５への電力供給がなくなった状態、つまり、電源喪失時に油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合を考える。
給電がない状態であるため、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、可動部（伸縮ロッド）７２は対象物に近接する方向に移動する。

この場合には、制御部（コントローラ）７０６によりモータ７０５ｍが制御されないので、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０の付勢力によって、油圧発生部７０１が動き、可動部（伸縮ロッド）７２を駆動する正回転とは逆方向にモータ７０５ｍが回転される。

このとき、可動部（伸縮ロッド）７２が近接方向へ移動する終端時に、モータ７０５ｍの内部のロータは、その大きなイナーシャ（慣性モーメント）の作用により、そのまま回転を続けようとする。このため、ロータの慣性力によって油圧発生部７０１における油圧が過剰に上昇しようとする。

ここで、油圧抑制部７０５ｄは、油圧発生部７０１からモータ７０５ｍへの回転を切断する。すると、この油圧抑制部（ワンウエイクラッチ）７０５ｄの作用により、モータ７０５ｍが油圧発生部７０１側にトルクを伝達することができなくなる。その結果、油圧発生部７０１での油圧の上昇がなくなる。
このように、モータ７０５ｍのイナーシャが油圧発生部７０１へ影響を与えないため、スプリングバックの終端で、油圧発生部７０１における急激な油圧の上昇を抑制することができる。

これにより、油圧駆動システムは、スプリングバック機能を有するとともに、給電の有無にかかわらず、油圧抑制部７０５ｄによって、モータ７０５ｍのイナーシャによる影響を抑制し、逆流した油圧が過大に上昇することを抑制することができる。

これにより、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合でも、油圧抑制部７０５ｄによって、油圧発生部７０１の駆動系の逆転に対応可能となる。したがって、モータ７０５ｍを空転させ、油圧駆動システムが破損する、あるいは、真空アクチュエータ７０で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。

これにより、消費電力が少なくて充分な駆動トルクを有し、かつ、モータ７０５ｍに逆転が生じて他の部品に影響を与えることを防止して、スプリングバックの機能と、スプリングバックに起因した油圧上昇に対する充分な対策とを有し、長寿命な油圧駆動システムを真空雰囲気で稼働させることが可能となる。

また、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によるスプリングバックが発生した場合に、ソレノイドバルブ、スプール弁等を用いて、真空アクチュエータ７０から油圧発生部７０１へと逆流する油圧を遮断する必要がないため、油圧駆動システムとしての動作確実性の向上と、部品の長寿命とを図ることができる。同時に、メンテナンスの回数を減らしても、信頼性の向上を図ることができる。

以下、本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。

図３は、本実施形態における仕切りバルブの退避位置（弁開放位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図４は、本実施形態における仕切りバルブの弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）を示す流路に沿った模式断面図である。図５は、本実施形態における仕切りバルブの弁閉塞位置を示す流路に沿った模式断面図である。
本実施形態において、上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。図において、符号１００は、仕切りバルブである。

本実施形態における油圧駆動システムでは、図３〜図５に示すように、真空アクチュエータ７０が、仕切りバルブ１００において、弁閉塞位置とする真空アクチュエータ（付勢部、押しつけシリンダ）７０として備えられる。
また、本実施形態における油圧駆動システムでは、図３〜図５に示すように、油圧駆動部７００が、弁閉塞位置とする真空アクチュエータ（付勢部、押しつけシリンダ）７０を駆動する。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、スプリングバックによるノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図３〜図５に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と、を備える。

弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。

弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図３）とされる。弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図４）にする。

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図５）との間で動作する。
回転駆動部２１は、回転軸２０を回転駆動可能である。
回転駆動部２１は、弁体５を往復回転動作させることが可能である。

弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。
中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。

可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、上述した第１実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。

なお、上述した第１実施形態の真空アクチュエータ７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が伸張する真空側となるチャンバＣｈは、流路Ｈと連通する中空部１１に対応する。

弁箱１０に内蔵された付勢部（押しつけシリンダ）７０は、大気側に設けられる油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体（圧油）を給排、つまり、供給および排出して、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢する。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。
付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧する。付勢部（押しつけシリンダ）７０は、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

また、本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持する機構を有する。付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置との間で、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

本実施形態において、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は弁箱１０に内蔵される。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３が可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、図２，図３に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。

ここで、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から油圧を供給されて（スプリングバック）、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。
この際、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

この可動部（伸縮ロッド）７２の伸長状態から、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０は、駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動によって油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給される油圧の解除によって、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部を縮退させる。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間させる。
これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

このように、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作と機械的な分離動作とによって、閉弁動作と解除動作が可能となる。ここで、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作とは、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる動作である。真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における機械的な分離動作とは、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す動作である。

この解除動作の後に、回転軸２０が回転駆動部２１によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。回転駆動部２１は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。

真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０の駆動は、油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００から供給された油圧（非圧縮性流体）によっておこなわれる。

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、上述した第１実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００とされる。

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、さらに、回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能な切替センサ８０２を備えることもできる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックによるノーマルクローズが可能な構成とされている。

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退動作する際に、駆動部７０５のモータ７０５ｍによって作動油を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０から油圧発生部７０１へと移動する。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長動作する際に、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０による油圧を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に逆流させる。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、動作終了時に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮した油圧状態を維持可能とされている。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧抑制部７０５ｄを有する。
油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、油圧抑制部７０５ｄによって、モータ７０５ｍのイナーシャによる影響を抑制し、逆流した油圧が過大に上昇することを抑制することができる。これにより、油圧駆動システムが破損、あるいは、真空アクチュエータ７０、可動弁部（可動弁板部）５４等で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、図３に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態とされる。

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、図３に示す退避位置（弁開放位置）から、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。

また、油圧発生部７０１の油圧付勢部材７２０によってスプリングバックした際に、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では、可動部（伸縮ロッド）７２が伸長駆動される。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図５に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

次に、駆動部７０５のモータ７０５ｍが駆動された際に、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０における可動部（伸縮ロッド）７２の縮退駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁閉塞位置から、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁閉塞位置から密閉解除動作（離間動作）を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図３に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
なお、可動弁部（可動弁板部）５４の回転動作中において、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では、可動部（伸縮ロッド）７２の縮退状態を維持し、可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動はおこなわない。

本実施形態においては、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る油圧駆動システム、仕切りバルブの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図６は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における加圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。図７は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける油圧抑制部を説明するための断面図である。図８は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける油圧抑制部を説明するための断面図である。図９は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における減圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。図１０は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブの油圧駆動部における過圧状態の油圧発生部を示す模式説明図である。

本実施形態において上述した第１実施形態と異なるのは油圧発生部および真空アクチュエータに関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００は、上述した第１実施形態における油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）７００と同等の構成とされる。

油圧発生部７０１は、図６〜図１０に示すように、油圧シリンダ７１０と、油圧付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。油圧付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢して、スプリングバック動作を可能とする。シリンダ駆動部７３０は、油圧付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、油圧付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有し、油圧流路７１３が油圧管７０２に接続されている。油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされる。ピストン７１２の端部７１２ａは、ケーシング７５０に取り付け固定される。
ピストン７１２の端部７１２ａと反対の位置となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態に位置する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、内部にピストン７１２の端部７１２ｂが挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

シリンダ本体７１１の端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂに近接した内面と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。

油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１がピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動した場合に容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外側に張り出して周設される。

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａおよび外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。
フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。

周溝７１１ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

油圧付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。

外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。

内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。
なお、油圧付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パッキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂには、シリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述する内側螺面７３２ｃが螺合状態を維持可能なように設定される。

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。

駆動軸７３１の端部７３１ａと反対位置となる端部７３１ｂには、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１が回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。

ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７０５ｋに回転自在に支持される。回転軸７０５ｋは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。

回転軸７０５ｋは、駆動部７０５におけるモータ７０５ｍの回転駆動軸７０５ａと同軸となる位置に配置される。
回転軸７０５ｋと回転駆動軸７０５ａとは、油圧抑制部７０５ｄを介して接続される。

油圧抑制部７０５ｄは、ワンウエイクラッチとされる。
ワンウエイクラッチは、相対回転する外輪及び内輪を有し、外輪と内輪との間でトルクを伝達するスプラグやローラなどが外輪または内輪の軌道面に設けたカム面に噛み合うことで、一方向のみに回転トルクを伝達している。また、逆方向では空転する構成となっている。
ワンウエイクラッチの中で、内輪または外輪に設けたポケット（凹所）にローラを配置し、回転方向によって、ローラがポケットの小さな深さ部分に係合する楔作用により回転をロックする構成となっている。

油圧抑制部７０５ｄは、図７に示すように、モータ７０５ｍの回転駆動軸とされる内輪７０５ａと、内輪７０５ａの半径方向外側で同軸上に、かつ内輪７０５ａと相対回転自在に配置された外輪７０５ｄ２とを有する。

外輪７０５ｄ２は、回転軸７０５ｋと同軸に一体とされている。
外輪７０５ｄ２の内周部には、内輪７０５ａの外周面に対して開口した複数のポケット７０５ｄ３が円周方向等分に設けられている。径方向においてポケット７０５ｄ３の間の外輪７０５ｄ２の内周面は、内輪７０５ａの外周面に対して摺擦する軸受部となる。

各ポケット７０５ｄ３はその外周面の一部にカム面が形成され、またほぼ円筒形のローラ７０５ｄ1が配置されている。
ポケット７０５ｄ３のカム面は、内輪７０５ａの外周面からの径方向寸法である深さの値が周方向の位置に対して変化するように形成される。

ポケット７０５ｄ３のカム面の深さは、ローラ７０５ｄ1の径寸法よりも多少小さい値から、ローラ７０５ｄ1の径寸法よりも多少大きい値となるように周方向に増大する構成とされている。
複数のポケット７０５ｄ３のカム面の深さが増大する方向は、いずれも周方向において同じ向きとされる。

ポケット７０５ｄ３の内部において、深さ寸法の小さな位置でローラ７０５ｄ1は、外輪７０５ｄ２と、内輪７０５ａとに挟持される。これにより、ローラ７０５ｄ1によって、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合される。
ポケット７０５ｄ３の内部において、深さ寸法の大きな位置でローラ７０５ｄ1は、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとに接触しない。これにより、ローラ７０５ｄ1によって、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合されない。

ポケット７０５ｄ３には、さらにローラ７０５ｄ１をカム面の深さの小さい向きへ付勢する付勢スプリング７０５ｄ1が設けられている。

回転駆動軸（内輪）７０５ａと外輪７０５ｄ２とがいずれも回転していない状態では、図７に示すように、付勢スプリング７０５ｄ４の付勢力によって、ローラ７０５ｄ1は、ポケット７０５ｄ３の周方向でカム面の深さの小さい部分に位置する。
この状態で、駆動部７０５のモータ７０５ｍを駆動すると、回転駆動軸（内輪）７０５ａが、図７における左回りに回転する。すると、内輪７０５ａと外輪７０５ｄ２とが係合しているため、外輪７０５ｄ２へと内輪７０５ａの回転駆動力が伝達される。

これに対して、外輪７０５ｄ２が、図８における右回りに回転した場合には、周方向における外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとの相対位置変化により、ローラ７０５ｄ1は、ポケット７０５ｄ３の周方向に移動する。すると、ローラ７０５ｄ1は、付勢スプリング７０５ｄ４の付勢力に打ち勝って、ポケット７０５ｄ３の周方向でカム面の深さの大きな部分へと移動する。
この状態では、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合していないため、外輪７０５ｄ２の回転は回転駆動軸（内輪）７０５ａへと伝達されない。

さらに、外輪７０５ｄ２が、図８における右回りに回転した場合でも、駆動部７０５のモータ７０５ｍを駆動した場合には、周方向における外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとの相対位置変化により、ローラ７０５ｄ１を、ポケット７０５ｄ３の周方向でカム面の深さの小さい部分に位置させることができる。すると、内輪７０５ａと外輪７０５ｄ２とが一体として回転することができる。
あるいは、このように駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動を制御した場合には、外輪７０５ｄ２の回転状態を低速にする等、所望の状態に制御した回転状態を実現することができる。

ここで、図７における回転駆動軸（内輪）７０５ａを左回りに回転させるのは、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０から油圧シリンダ７１０へと作動油を流す場合とすることができる。
また、外輪７０５ｄ２が、図８における右回りに回転するのは、スプリングバックによって、油圧シリンダ７１０から真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０へと作動油が逆流した場合とすることができる。

回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７、回転軸７０５ｋ、油圧抑制部７０５ｄは、駆動伝達部（油圧発生部７０１の駆動系）を構成する。

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。ケーシング筒７５１は、筒状とされる。ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。

後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部は収納空間７５５を形成している。
収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。収納空間７５５は、ピストン７１２に近接する端部位置が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。収納空間７５５は、駆動軸７３１に近接する端部位置が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が貫通している。収納空間７５５は、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。周溝７５４ｄには、油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間には、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋ，７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７、回転軸７０５ｋが挟持される。

なお、油圧抑制部７０５ｄにおける回転駆動軸（内輪）７０５ａと外輪７０５ｄ２と付勢スプリング７０５ｄ４とローラ７０５ｄ１とは、いずれも駆動系支持部７５１ｋよりも駆動部７０５のモータ７０５ｍに近接する位置に設けられる。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７、回転軸７０５ｋを、対向する面の間で支持している。

また、駆動系支持部７５１ｋには、回転軸７０５ｋが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、油圧抑制部７０５ｄにおける外輪７０５ｄ２と付勢スプリング７０５ｄ４とローラ７０５ｄ１と、が収納されている。
駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸（内輪）７０５ａが回転軸７０５ｋと同軸となる位置に取り付けられている。駆動系支持部７５１ｋには、モータ７０５ｍを有する駆動部７０５が取り付けられている。

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。

後空間７５６には、拡径するようにすべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の回転を規制するとともに、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

後空間７５６の蓋部７５８に近接する位置には、駆動軸７３１が近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６０が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６０は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６０は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

後空間７５６のネジ駆動ギア７３２に近接した位置には、駆動軸７３１がピストン７１２に近接したことを検出可能な検出スイッチ（検出手段）７６１が設けられる。検出スイッチ（検出手段）７６１は、制御部７０６に接続される。検出スイッチ（検出手段）７６１は、すべり溝７５７に位置していてもよい。

検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、駆動軸７３１の軸方向位置を検出する。検出スイッチ（検出手段）７６０と検出スイッチ（検出手段）７６１とは、接触式、あるいは、非接触の磁気式とすることが可能である。
たとえば、検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１の一部が当接した際に検出可能なリミッタスイッチか、駆動軸７３１の一部に設けられた磁気素子を検出可能な磁気スイッチとすることもできる。

検出スイッチ（検出手段）７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６０で規定された位置に到達したことを検知する。また、検出スイッチ（検出手段）７６１は、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向に検出スイッチ（検出手段）７６１で規定された位置に到達したことを検知する。

ここで、検出スイッチ（検出手段）７６０が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６０の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

ここで、駆動部７０５における駆動停止は、電源７０７からの給電停止によりモータ７０５ｍの駆動を停止してもよい。

あるいは、検出スイッチ（検出手段）７６１が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、駆動部７０５の駆動を開始する信号を出力する。これにより、駆動部７０５は駆動を開始する。したがって、検出スイッチ（検出手段）７６１の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

ここで、駆動部７０５における駆動開始は、電源７０７からの給電開始によりモータ７０５ｍを駆動開始してもよい。

このように、油圧発生部７０１は、制御部７０６の信号によって、駆動部７０５における駆動状態の切り替えを可能とされる。
制御部７０６が駆動信号を出力すると、駆動部７０５のモータ７０５ｍが駆動する。モータ７０５ｍの駆動によって回転駆動軸（内輪）７０５ａが回転する。

ここで、回転駆動軸（内輪）７０５ａと外輪７０５ｄ２とがローラ７０５ｄ１を介して係合しているため、外輪７０５ｄ２へと内輪７０５ａの回転駆動力が伝達される。

したがって、回転駆動軸（内輪）７０５ａの回転により、外輪７０５ｄ２と一体の回転軸７０５ｋが回転する。回転軸７０５ｋの回転により、回転軸７０５ｋに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。

ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。

駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する油圧付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５のモータ７０５ｍが駆動していない際に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、油圧付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。

つまり、油圧付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。
したがって、油圧付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

また、本実施形態においては、ノーマルプッシュ、つまり、駆動部７０５のモータ７０５ｍが駆動された際に、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退可能とする。このため、油圧シリンダ７１０において、モータ７０５ｍの駆動により、駆動軸７３１が移動する方向は油圧付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。

つまり、モータ７０５ｍの駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。
したがって、駆動部７０５におけるモータ７０５ｍの駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

油圧発生部７０１は、駆動部７０５のモータ７０５ｍに対する電源７０７からの電力供給を停止して、モータ７０５ｍが駆動停止された場合、図６に示すように、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される（スプリングバック）。
これにより、非圧縮性流体である作動油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが伸長する。

ここで、制御部７０６の出力した信号によって、モータ７０５ｍが駆動停止された場合、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、シリンダ本体７１１が同様にして軸方向に移動する。
このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

このとき、駆動軸７３１が、シリンダ本体７１１とともにピストン７１２に近接する方向に移動する。
駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の回転が規制されているとともに、内側螺面７３２ｃによって支持される。このため、駆動軸７３１は、軸方向に移動した場合に回転する。

駆動軸７３１が回転すると、ボールネジ７３１ｃが回転する。
駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃの回転は、噛合するネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

ネジ駆動ギア７３２の回転は、一体として形成された外側ギア７３２ｄに伝達される。外側ギア７３２ｄの回転は、噛合する駆動ギア７３３ｄに伝達される。
駆動ギア７３３ｄの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｅに伝達される。

駆動ギア７３３ｅの回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３７に伝達される。
駆動ギア７３７の回転により、駆動ギア７３７の取り付けられた回転軸７０５ｋが回転する。

すると、回転軸７０５ｋの回転により、回転軸７０５ｋと一体の外輪７０５ｄ２が回転する。
ここで、外輪７０５ｄ２が回転した場合には、図８に示すように、周方向における外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとの相対位置変化により、ローラ７０５ｄ１は、ポケット７０５ｄ３の周方向に移動する。すると、ローラ７０５ｄ１は、付勢スプリング７０５ｄ４の付勢力に打ち勝って、ポケット７０５ｄ３の周方向でカム面の深さの大きな部分へと移動する。

この状態では、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合していないため、外輪７０５ｄ２の回転は回転駆動軸（内輪）７０５ａへと伝達されない。
つまり、この状態では、駆動部７０５においてモータ７０５ｍの回転駆動軸（内輪）７０５ａが回転しない。
したがって、モータ７０５ｍのイナーシャが、駆動軸７３１およびシリンダ本体７１１に対して与える影響を遮断できる。

あるいは、停電等によって給電停止した場合、モータ７０５ｍの駆動が停止する。この場合、制御部７０６の制御によって給電停止した場合と同様に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、シリンダ本体７１１が同様にして軸方向に移動する。

この状態では、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合していないため、外輪７０５ｄ２の回転は回転駆動軸（内輪）７０５ａへと伝達されない。
つまり、この状態では、駆動部７０５においてモータ７０５ｍの回転駆動軸（内輪）７０５ａが回転しない。
したがって、モータ７０５ｍのイナーシャが、駆動軸７３１およびシリンダ本体７１１に対して与える影響を遮断できる。

また、油圧発生部７０１は、駆動部７０５のモータ７０５ｍに対して電源７０７から電力を供給して、モータ７０５ｍを駆動した場合、図９に示すように、駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。

このとき、図７に示すように、回転駆動軸（内輪）７０５ａと外輪７０５ｄ２とが係合しているため、回転駆動軸（内輪）７０５ａの回転駆動力が外輪７０５ｄ２を介して駆動軸７３１およびシリンダ本体７１１へと伝達される。

すると、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが縮退する。
あるいは、このように駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動を制御して、外輪７０５ｄ２の回転状態を低速にして、シリンダ本体７１１の移動を緩和する、油圧の急激な上昇を抑制する等、所望の状態に制御した駆動状態を実現することができる。

また、油圧発生部７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２に近接するようにオーバーランした場合でも、図１０に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、油圧発生部７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０へ流入させないことができる。
なお、図１０において、検出スイッチ（検出手段）７６１の記載は省略している。

この場合においても、駆動部７０５のモータ７０５ｍに対する電源７０７からの電力供給を停止することによって、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合していない状態とすることができる。これにより、外輪７０５ｄ２の回転は回転駆動軸（内輪）７０５ａへと伝達されないようにできる。
つまり、このオーバーランが発生した場合でも、駆動部７０５においてモータ７０５ｍのイナーシャが、駆動軸７３１およびシリンダ本体７１１に対して与える影響を低減することができる。
あるいは、このように駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動を制御して、外輪７０５ｄ２の回転状態を低速にする等、所望の状態に制御した回転状態を実現することができる。

さらに、スプリングバックにより動作させる場合に、モータ７０５ｍの駆動を停止させないこともできる。この場合、制御部７０６の制御によってモータ７０５ｍの駆動を維持する。同時に、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａを縮退させる場合に比べて、制御部７０６の制御によってモータ７０５ｍの駆動力を弱く制御する。

すると、給電停止した場合と同様に、油圧付勢部材７２０の付勢力によって、シリンダ本体７１１が同様にして軸方向に移動する。
このとき、駆動軸７３１が、シリンダ本体７１１とともにピストン７１２に近接する方向に移動する。

この状態では、外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとが係合する程度に回転駆動軸（内輪）７０５ａが回転する。
これにより、周方向における外輪７０５ｄ２と内輪７０５ａとの相対位置変化により、ローラ７０５ｄ１が、ポケット７０５ｄ３の周方向でカム面の深さの小さい部分に位置する。

すると、内輪７０５ａと外輪７０５ｄ２とが一体として回転することができる。
この際、外輪７０５ｄ２の回転は回転駆動軸（内輪）７０５ａへと伝達される。
つまり、この状態では、駆動部７０５においてモータ７０５ｍの回転駆動軸（内輪）７０５ａが駆動軸７３１の移動に追従する。

したがって、モータ７０５ｍのイナーシャが、駆動軸７３１およびシリンダ本体７１１に対して与える影響を低減できる。
あるいは、このように駆動部７０５のモータ７０５ｍの駆動を制御して、外輪７０５ｄ２の回転状態を低速にする等、所望の状態に制御した回転状態を実現することができる。

図１１は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための軸方向断面図である。図１２は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための図１１とは直交する軸方向断面図である。図１３は、本実施形態における油圧駆動システム、仕切りバルブにおける真空アクチュエータを説明するための伸長状態を示す軸方向断面図である。
本実施形態に係る真空アクチュエータ７０は、図１１〜図１３に示すように、ガイドロッド７７１と、シリンダ部７７２と、伸縮ロッド（可動部）７２と、フランジ部７７３と、付勢部材（押しつけバネ）７３と、ケーシング７７４と、を有する。

真空アクチュエータ７０は、略円柱状のケーシング７７４の一端から、このケーシング７７４よりも細径とされる伸縮ロッド（可動部）７２が伸出可能および縮退可能である構成とされている。真空アクチュエータ７０は、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。

ガイドロッド７７１は、略円柱状とされ、油圧駆動部７００から作動油圧を一端面７７１ａに向けて供給可能な貫通孔７７１ｃを軸方向に有する。ガイドロッド７７１は、ケーシング７７４の蓋部７７４ｂからケーシング７７４の内部に向けて立設される。

ガイドロッド７７１は、蓋部７７４ｂと一体とされてもよい。本実施形態において、ガイドロッド７７１には、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇの中心位置に突出する凸部７７４ｈにパイプ状の外ガイドロッド７７１ｇが螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する外ガイドロッド７７１ｇの中心出しがおこなわれる。貫通孔７７１ｃは、蓋部７７４ｂ、凸部７７４ｈおよび外ガイドロッド７７１ｇの内部に連続して形成される。

シリンダ部７７２は、他端が開口した有底円筒状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１と同軸状とされる。シリンダ部７７２は、ガイドロッド７７１の一端面７７１ａを摺動可能に覆うように配置されている。ガイドロッド７７１の一端面７７１ａと、シリンダ部７７２の内面とは、その内部に駆動空間７７７を形成する。

駆動空間７７７には、貫通孔７７１ｃが連通している。貫通孔７７１ｃには、図１２に示すように、油圧管７０２が接続される。駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１に接続される。
駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１から作動油が供給されて、駆動空間７７７が加圧される。あるいは、駆動空間７７７には、油圧管７０２を介して油圧発生部７０１へと作動油が戻されて、駆動空間７７７が減圧される。

シリンダ部７７２の一端部７７２ａには、図における上面となる位置に伸縮ロッド７２が設けられる。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸方向の外向きに延在する円柱状とされる。伸縮ロッド７２は、円筒状のシリンダ部７７２と同軸状とされる。伸縮ロッド７２は、円柱状のガイドロッド７７１と同軸状とされる。

伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされ、ガイドロッド７７１に対するシリンダ部７７２の摺動に付随して、軸方向に伸縮自在として移動可能とされる。伸縮ロッド７２の径寸法は、シリンダ部７７２の径寸法よりも小さく設定される。

伸縮ロッド７２の径寸法は、ガイドロッド７７１の径寸法よりも小さく設定される。伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２と一体とされてもよい。本実施形態の伸縮ロッド７２は、シリンダ部７７２の軸中心位置に突出する凸部７７２ｈに伸縮ロッド７２が螺合されている。これにより、蓋部７７４ｂに対する伸縮ロッド７２の中心出しがおこなわれる。

シリンダ部７７２の他端部７７２ｂには、外周位置にフランジ部７７３が周設される。フランジ部７７３は、シリンダ部７７２の他端部７７２ｂに径方向外側に延在する。フランジ部７７３は、所定の厚さを有する。

フランジ部７７３は、シリンダ部７７２と一体として形成される。
フランジ部７７３には、伸縮ロッド７２に近接する押圧面７７３ａに付勢部材（バネ）７３の他端が当接する。

付勢部材（バネ）７３は、螺旋状とされ、フランジ部７７３を伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢する。
付勢部材（バネ）７３は、シリンダ部７７２と同軸状にシリンダ部７７２の外周に位置している。付勢部材（バネ）７３の一端は、ケーシング７７４に当接する。

ケーシング７７４は、円筒状の円筒部７７４ｃと、円筒部７７４ｃの他端部を閉塞する蓋部７７４ｂと、円筒部７７４ｃの一端に設けられた貫通孔７７４ｍを閉塞する真空側蓋部７７４ａと、を有する。

蓋部７７４ｂの中心位置には、ガイドロッド７７１がケーシング７７４の内部に向かって立設される。真空側蓋部７７４ａは、その中央に伸縮ロッド７２の貫通する貫通孔７７５を有し、真空側へと面している。円筒部７７４ｃの他端は、蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇに勘合される。

円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとの内部には、緩衝空間７７６が形成される。
緩衝空間７７６には、シリンダ部７７２と付勢部材（バネ）７３とが収納される。緩衝空間７７６では、シリンダ部７７２が往復移動可能とされている。緩衝空間７７６は、駆動空間７７７から作動油圧が漏れた際に、真空側となる外部（チャンバ）Ｃｈへ漏出する前に緩衝する空間とされる。

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、段差７７４ｄが形成されている。円筒部７７４ｃの内面は、蓋部７７４ｂに近接する位置が真空側蓋部７７４ａに近接する位置に比べて拡径されている。
段差７７４ｄは、フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が当接する。段差７７４ｄは、シリンダ部７７２の移動範囲における伸長した際の位置を規制する規制部とされている。

緩衝空間７７６となる円筒部７７４ｃの内面には、フランジ部７７３の外周面は接していない。蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇには、シリンダ部７７２他端部７７２ｂとなるフランジ部７７３が当接する。凹部７７４ｇは、シリンダ部７７２の移動範囲における縮退側の位置を規制する規制部とされている。

円筒部７７４ｃと真空側蓋部７７４ａとは接続固定されている。円筒部７７４ｃの真空側蓋部７７４ａに近接する位置には、段差７７４ｅが形成されている。円筒部７７４ｃの段差７７４ｅよりも真空側蓋部７７４ａに近接する位置は、さらに縮径されてシリンダ部７７２の外形寸法と等しい内径寸法を有する大気側緩衝空間７７８が形成されている。
段差７７４ｅには、付勢部材（バネ）７３の一端が当接している。

大気側緩衝空間７７８内周面には、シリンダ部７７２の外周面（摺動面）７７２ｍが摺動可能に接している。大気側緩衝空間７７８には、図１２に示すように、外部に連通する貫通孔７７８ｓが円筒部７７４ｃの径方向に形成されている。大気側緩衝空間７７８は、貫通孔７７８ｓにより大気側と連通している。

貫通孔７７５は、大気側緩衝空間７７８よりも小さな径寸法を有する。貫通孔７７５は、伸縮ロッド７２の外径と略等しい径寸法とされる。
ケーシング７７４とガイドロッド７７１とは、固定部７１を構成する。

真空アクチュエータ７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が真空側であるチャンバＣｈに漏れないように、多段のシール手段として密閉部材が設けられている。具体的には、油圧が供給されるシリンダ部７７２内部の駆動空間７７７から、伸縮ロッド７２の伸張する真空側であるチャンバＣｈの内部である外部まで、四段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。

シリンダ部７７２の内面と摺動するガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、二段の密閉部材７７ａ１〜７７ｅが設けられる。
ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、駆動空間７７７から外部へ向かって密閉可能に、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２が同一の溝に周設されている。

ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、Ｏリング（密閉部材）７７ａ１の径方向外側に周設されている。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、シリンダ部７７２の内面と接しており、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｂが周設されている。

Ｏリング（密閉部材）７７ａ１、ウエアリング（密閉部材）７７ａ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、一段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、バックアップリングである。

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、ウエアリング（密閉部材）７７ｂよりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにＹパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２が同一の溝に周設されている。

Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、いずれもシリンダ部７７２の内面と接している。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１とシールシング（密閉部材）７７ｃ２とは、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆと摺動する。
シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１よりも駆動空間７７７から離間した位置に配置される。

さらに、ガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆには、シールシング（密閉部材）７７ｃ２よりも駆動空間７７７から離間した位置に、摺動面７７１ｆと面一となるようにウエアリング（密閉部材）７７ｄが周設されている。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１、シールシング（密閉部材）７７ｃ２、ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、二段目の密閉部材を形成している。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、バックアップリングである。

ケーシング７７４の円筒部７７４ｃにおける真空側蓋部７７４ａに近接する位置に設けられた貫通孔７７４ｍには、その内周面にＹパッキン（密閉部材）７７ｅが周設される。
Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、三段目の密閉部材とされる。

ケーシング７７４の真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５には、その内周面にＯリング（密閉部材）７７ｆが周設される。
Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、伸縮ロッド７２の外周面（摺動面）７２ｍと摺動する。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、四段目の密閉部材とされる。

さらに、密閉部材７７ａ１〜７７ｅに加えて、ケーシング７７４の凸部７７４ｈと外ガイドロッド７７１ｇとの螺合位置には、Ｏリング（密閉部材）７７ｐが配置される。
ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂに設けられた凹部７７４ｇとの間には、Ｏリング（密閉部材）７７ｑが配置される。
真空側蓋部７７４ａにおける貫通孔７７５の周囲には、真空側となるチャンバＣｈとの間のシール用に、Ｏリング（密閉部材）７７ｒが配置される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０では、密閉部材７７ａ１〜７７ｒとして、次のような材質からなるものとすることができる。
ウエアリング（密閉部材）７７ａ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｂは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｃ１は、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。シールシング（密閉部材）７７ｃ２は、フッ化樹脂からなる。ウエアリング（密閉部材）７７ｄは、フッ化樹脂からなる。Ｙパッキン（密閉部材）７７ｅは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｆは、ＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。Ｏリング（密閉部材）７７ｐ、Ｏリング（密閉部材）７７ｑ、Ｏリング（密閉部材）７７ｒは、いずれもＨＮＢＲ（水素化ニトリルゴム）からなる。

また、伸縮ロッド７２は、ステンレス鋼からなる。ガイドロッド７７１は、ステンレス鋼からなる。シリンダ部７７２は、ステンレス鋼からなる。ケーシング７７４の円筒部７７４ｃと蓋部７７４ｂと真空側蓋部７７４ａとは、いずれもアルミニウムからなる。なお、これらの構成における材質は、真空アクチュエータ７０の用途に応じて、適宜変更することが可能である。

また、ステンレス鋼からなるガイドロッド７７１外周の摺動面７７１ｆ、シリンダ部７７２の内周の摺動面７７２ｆ、シリンダ部７７２の一端面７７１ａに近接する位置となる外周の摺動面７７２ｍ、伸縮ロッド７２外周の摺動面は、いずれも、クロムメッキ等の表面処理が施される。

本実施形態における真空アクチュエータ７０においては、ノーマルプル、つまり、動作しない状態では、伸縮ロッド７２が縮退している。この状態では、付勢部材（バネ）７３によってフランジ部７７３が、伸縮ロッド７２の縮退方向に付勢されている。

次に、油圧駆動部７００において駆動部７０５の駆動によって油圧発生部７０１から供給された作動油が、油圧管７０２を介して駆動空間７７７に流入する。すると、駆動空間７７７が加圧されて、付勢部材（バネ）７３の付勢力に打ち勝ってシリンダ部７７２が貫通孔７７５に向けて移動する。このとき、シリンダ部７７２は、緩衝空間７７６の内部で移動する。

フランジ部７７３の押圧面７７３ａの外縁部分が段差７７４ｄに当接して、シリンダ部７７２の移動が終了する。これにより、図１３に示すように、伸縮ロッド７２が伸張して、真空側となるチャンバＣｈに向けて伸縮ロッド７２が進出する。伸張した伸縮ロッド７２が対象物を押圧する。この状態で、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を維持することで、伸縮ロッド７２が伸長した状態を維持することができる。

伸縮ロッド７２が伸長状態から縮退状態とするには、油圧発生部７０１から駆動空間７７７に供給する油圧を減圧する。あるいは、油圧管７０２を介して駆動空間７７７から油圧発生部７０１へと作動油を戻す。すると、付勢部材（バネ）７３からフランジ部７７３に作用する付勢力によって、シリンダ部７７２が蓋部７７４ｂに向けて移動する。これにより、図１１，図１２に示すように、伸縮ロッド７２が縮退した状態となる。

さらに、本実施形態の真空アクチュエータ（押しつけシリンダ）７０においては、駆動空間７７７から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの間で油が漏れた場合に、これを検出することができる。具体的には、駆動空間７７７において収容される油量が減少した場合には、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、軸方向における駆動軸７３１の往復動作範囲が、想定した位置からピストン７１２に近接する方向に移動することになる。
したがって、想定した位置に比べて、駆動軸７３１の軸方向移動における早い段階で検出スイッチ（検出手段）７６１から検出信号が出力されることになる。このため、駆動空間７７７において収容される油量が減少したことを検出可能である。

本実施形態においては、スプリングバック機能を有し動作の確実な仕切りバルブ１００を提供することが可能である。
また、油圧抑制部７０５ｄが設けられていない場合において、付勢部材（押しつけバネ）７３の付勢力およびモータ７０５ｍの逆転のイナーシャによって油圧発生部７０１の動作がスプリングバックの終端に向けて急峻に増加し、過大な油圧が発生することを抑制する。

これにより、油圧抑制部７０５ｄによって、モータ７０５ｍで発生する回転軸の逆転に対応して、油圧駆動システムが破損、あるいは、弁箱付勢部（真空アクチュエータ）７０および可動弁部（可動弁板部）５４付近で破損がおきるなどの不具合を防止することが可能となる。
また、モータ７０５ｍの逆転で発生する回生電力による他の部品への影響を抑制することが可能となる。

同時に、通電時におけるスプリングバック動作においては、モータ７０５ｍにおける回転動作が緩やかになるように減速カーブを制御することができる。これにより、通電時のスプリングバックによる油圧発生部７０１の動作終端において、モータ７０５ｍのイナーシャに起因して過大な油圧が発生することがない。

本実施形態においては、油圧抑制部７０５ｄによって、電源７０７から駆動部７０５への供給電力がなくなった電源喪失時に、油圧発生部７０１からモータ７０５ｍへの回転を伝達することがなく、モータ７０５ｍのイナーシャによって影響を受けることがない。この油圧抑制部７０５ｄが設けられていることにより、油圧付勢部材７２０の付勢力によって油圧が油圧発生部７０１から弁箱付勢部（真空アクチュエータ）７０に逆流した場合でも、スプリングバックによる油圧発生部７０１の動作終端において、過大な油圧が発生することを抑制することができる。

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る油圧駆動システムの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１４は、本実施形態における油圧駆動システムを備える真空装置を示す模式説明図である。
本実施形態において上述した第１から第３実施形態と異なるのは油圧駆動システムの設けられた真空装置に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態における真空装置２００は、例えばサイドスパッタ式スパッタ等の真空処理をおこなう装置とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００は、略矩形のガラス基板（被処理基板）Ｇを搬入／搬出するロード・アンロード室と、ガラス基板Ｇ上に例えばＺｎＯ系やＩｎ_２Ｏ_３系の透明導電膜などの被膜をスパッタ法により形成する耐圧の成膜室（チャンバ）２０１と、成膜室２０１とロード・アンロード室との間の搬送室と、を備えている。
なお、図１４には、成膜室２０１のみを示している。

第１実施形態におけるチャンバＣｈは、本実施形態において成膜室２０１とされる。
本実施形態における真空装置（スパッタ装置）２００において、成膜室（チャンバ）２０１の内部には、図１４に示すように、バッキングプレート（カソード電極）２０６と、電源２０６ａと、ガス導入手段２０７ａと、高真空排気手段２０７ｂと、が設けられている。

バッキングプレート（カソード電極）２０６は、成膜材料を供給する手段として、立設されたターゲットを保持する。電源２０６ａは、バッキングプレート２０６に負電位のスパッタ電圧を印加する。ガス導入手段２０７ａは、成膜室（チャンバ）２０１内にガスを導入する。高真空排気手段２０７ｂは、成膜室２０１の内部を高真空引きするターボ分子ポンプ等とされる。

バッキングプレート２０６は、成膜室２０１の内部において搬送室に連通する搬送口２０４ａから最遠となる位置に立設される。バッキングプレート２０６には、ガラス基板Ｇと略平行に対面する前面側にターゲットが固定される。
バッキングプレート（カソード電極）２０６は、ターゲットに対して負電位のスパッタリング電圧を印加する電極の役割を果たす。

バッキングプレート２０６は、負電位のスパッタリング電圧を印加する電源２０６ａに接続されている。バッキングプレート（カソード電極）２０６の裏側には、ターゲット上に所定の磁場を形成するためのマグネトロン磁気回路が設置されている。

成膜室２０１の内部は、図１４に示すように、成膜時にガラス基板Ｇの表面側となる前側空間２０１ａと、ガラス基板Ｇの裏面側となる裏側空間２０１ｂとからなる。成膜室２０１の前側空間２０１ａには、ターゲットが固定されたバッキングプレート（カソード電極）２０６が配置される。成膜室２０１の裏側空間２０１ｂには、前側空間２０１ａに向かって開口する成膜口２０４ｂが設けられている。成膜口２０４ｂの周囲には、防着板枠２０２が設けられる。

裏側空間２０１ｂ内部には、成膜中にターゲットと対向するようにガラス基板Ｇを横方向揺動可能に保持する基板保持手段（保持手段）が設けられていてもよい。基板保持手段（保持手段）は、ガラス基板Ｇを裏面から保持する保持部２０３を有する。
保持部２０３は、回転駆動部による揺動軸の軸線周りの回動により、略水平方向位置とされた水平載置位置と、略鉛直方向位置に立ち上げた鉛直処理位置との間で回転動作可能とされる。

水平載置位置とされた保持部２０３表面の延長位置には搬送口２０４ａが位置して、搬送室から搬送されたガラス基板Ｇを載置可能となる。鉛直処理位置とされた保持部２０３表面は、ほぼ成膜口２０４ｂを塞ぐように位置して、ガラス基板Ｇ表面がカソード電極２０６と対向して成膜可能となる。

保持部２０３には、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、水平載置位置とされた保持部２０３より上方に突出して、保持部２０３より上側にガラス基板Ｇを支持するリフトピンと、このリフトピンを上下動させるリフトピン移動部７０とが配置されている。

本実施形態においては、例えば、リフトピン移動部７０が、第１実施形態または第２実施形態における真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０とされる。
また、リフトピンが、伸縮ロッド７２の先端に、同軸状に取り付けられる。
なお、図１４において、真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、矢印として示している。

真空アクチュエータ（リフトピン移動部）７０は、チャンバ２０１の密閉を維持した状態で駆動可能とされる。この構成により、ガラス基板Ｇの搬入又は搬出の際に、保持部２０３と搬送装置のロボットハンドと間における、ガラス基板Ｇの受け渡しが自在に可能となる。

保持部２０３の鉛直処理位置において、ガラス基板Ｇをマスク２０５に押圧する押圧部７０を有する。
本実施形態においては、例えば、押圧部７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（押圧部）７０とされる。

マスク２０５は、所定回数の成膜処理後に交換されるが、その際、交換後のマスク２０５を防着板枠２０２に対してアライメントするアライメント手段７０が成膜口２０４ｂの下側位置に設けられる。
本実施形態においては、例えば、アライメント手段７０が、第１実施形態における真空アクチュエータ（アライメント手段）７０とされる。この構成により、真空アクチュエータ（アライメント手段）７０は、伸縮ロッド７２の先端部７２ａを所定の対象物に当接して、これを押圧させ、移動、または、アライメントすることができる。

本実施形態の真空アクチュエータ７０は、いずれも、他の駆動タイプに比べて小さな容積で大きな付勢力（押圧力）を真空雰囲気中で呈することができる。さらに、本実施形態の真空アクチュエータ７０は、固定値とされた押圧力のみならず、押圧力を変動させることが可能となる。
本実施形態においても、チャンバ２０１内に油漏れがおきる可能性を極めて低減した状態で、それぞれの真空アクチュエータ７０は、対象物を押圧することができる。

本実施形態においては、上述した実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第２および第３実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

図１５は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路と直交する断面図である。
図１６は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った断面図である。
図１７は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図において、符号１００は、仕切りバルブである。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１５，図１６に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と、弁板付勢部（保持バネ）８０と、弁枠付勢部９０と、油圧駆動部７００と、を備える。

第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは、略同一輪郭を有する。第１開口部１２ａは、円形輪郭を有する。第２開口部１２ｂは、円形輪郭を有する。

中空部１１内には、弁体５が配置される。
弁体５は、弁閉塞位置において第１空間と第２空間とを遮断可能とされる。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、回転駆動部２１により回転駆動可能である。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して弁体５が固定される。あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに弁体５が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、弁体５の位置切り替え部として機能する。

図１８は、本実施形態における仕切りバルブの弁体を示す流路と直交する方向視した上面図である。
弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。
弁体５は、弁閉塞位置と弁開口遮蔽位置と弁開放位置（退避位置）との間で動作する。
弁体５は、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能である。

弁閉塞位置において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂに対して閉塞状態（図２０〜図２３）になる。
弁開放位置（退避位置）において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂから退避した開放状態（図１５に破線で示す）になる。

弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。
中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。

中立弁部３０は、図１５〜図１７に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きなリング状とされる。円形部３０ａの径方向内側となる位置には、可動弁部４０が配置される。円形部３０ａの内周は、流路Ｈ方向視して、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂとほぼ重なるように配置される。

回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて拡径するように延在する平板形状で形成されている。回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて複数本の腕が延びたアーム形状とされてもよい。
これら回転軸２０および中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

円形部３０ａと回転部３０ｂとは、一体とされてもよい。
この場合、平板状の中立弁部３０に可動弁部４０の嵌合される貫通孔が形成されて円形部３０ａとされる。円形部３０ａの周方向の一部分が、径方向外側向きに延長された部分が回転部３０ｂとされる。

円形部３０ａにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、回転部３０ｂの流路Ｈ方向の厚み寸法とほぼ等しくなるように形成される。円形部３０ａにおける中立弁部３０の径方向内側には、円フランジ部３０ｃが周設される。

円フランジ部３０ｃにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、円形部３０ａの流路Ｈ方向の厚み寸法よりも小さくなるように形成される。円フランジ部３０ｃは、円形部３０ａの内周面において、流路Ｈ方向で第１開口部１２ａに近接する位置に周設される。

流路Ｈ方向において、円フランジ部３０ｃよりも第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅが位置する。円フランジ部３０ｃは、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅと接続される。円フランジ部３０ｃと外枠板６０ｅとは、外周クランク部６０ｃの径方向外側に位置する。

円フランジ部３０ｃにおける中立弁部３０の径方向となる幅寸法は、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。円形部３０ａおよび円フランジ部３０ｃは、外周クランク部６０ｃに対して可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。
なお、円形部３０ａと回転部３０ｂとは、流路Ｈ方向の厚み寸法が等しくなるように形成することもできる。

可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、流路Ｈ方向に互いに移動可能な２つの部分からなる。可動弁部４０は、可動弁枠部６０（スライド弁枠）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。

可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。可動弁枠部６０は、円形部３０ａにおける径方向内側に位置する。可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。

可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して、振り子動作可能な位置と、第１開口部１２ａに接触可能な位置との間で移動可能とされる。

可動弁枠部６０は、外周クランク部６０ｃと、内枠板６０ｄと、外枠板６０ｅと、を有する。
可動弁枠部６０は、内枠板６０ｄと外周クランク部６０ｃと外枠板６０ｅとが接続されて、径方向におけるリング状の断面形状が、略Ｚ字形状とされている。

外周クランク部６０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな輪郭を有するリング状または円筒状に形成される。外周クランク部６０ｃは、可動弁枠部６０の外縁における全周に形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向における中立弁部３０の厚さ寸法とほぼ等しい流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。

外周クランク部６０ｃは、摺動面６０ｂを有する。
摺動面６０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面６０ｂは、外周クランク部６０ｃの内周面において周方向の全長に設けられる。摺動面６０ｂは、後述する可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃの摺動面５０ｂと互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃには、内周クランク部５０ｃが嵌合している。

内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向内側となる位置に周設される。内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する端部に周設される。内枠板６０ｄは、弁板５０ｄと平行なフランジ状に形成される。

内枠板６０ｄは、流路Ｈ方向における外周クランク部６０ｃの厚さ寸法よりも小さな流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。内枠板６０ｄよりも流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する内周クランク部５０ｃが位置する。内枠板６０ｄにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法は、内周クランク部５０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。

外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する端部に周設される。外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側に周設される。

外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃよりも流路Ｈ方向寸法の小さい突条とされる。外枠板６０ｅよりも流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する位置には、円フランジ部３０ｃが位置する。外枠板６０ｅには、後述するように、複数の弁枠付勢部９０が配置される。外枠板６０ｅには、弁枠付勢部９０を内蔵する付勢部穴６８が複数配置される。

可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部（補助バネ）９０が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。可動弁枠部６０と円形部３０ａとは、同心状の二重円環とされる。

可動弁枠部６０には、弁箱内面１０Ａに対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。弁枠シールパッキン６１は、円形となる外周クランク部６０ｃと内枠板６０ｄとの境界位置に配置される。弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃの第１開口部１２ａに対向する端面に設けられる。

弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着可能である。弁枠シールパッキン６１は、可動弁枠部６０に同心状として配置される。

弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃにおける最外周に近接する位置に設けられる。弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０における外周クランク部６０ｃの径方向内側に嵌合される。可動弁板部５０の径方向外側となる位置には、可動弁板部５０の周囲を囲むように可動弁枠部６０が配置される。

可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃと可動弁枠部６０とは、同心状の二重円環とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。

ここで、可動弁板部５０は、次の３つの位置の間で移動可能とされる。
第１の位置は、振り子動作可能な位置にある可動弁枠部６０と中立弁部３０とに対して同様に可動弁板部５０が振り子動作可能な位置である。

第２の位置は、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａに接触可能な位置にある場合に、第１の位置における可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０と同じ位置である。
第３の位置は、第２の位置における可動弁枠部６０に対して、可動弁板部５０が第２開口部１２ｂに接触可能な位置である。

可動弁板部５０は、内周クランク部５０ｃと、弁板５０ｄと、を有する。
可動弁板部５０は、弁板５０ｄにおける第１開口部１２ａに対向する面の周縁位置に内周クランク部５０ｃが周設されて、直径を通る断面形状が、略Ｕ字形状とされている。弁板５０ｄは、内周クランク部５０ｃの径方向内側を密閉するように設けられる。弁板５０ｄは、流路Ｈ方向と略直交する方向に配置された平板状とされる。

内周クランク部５０ｃは、リング状または軸方向寸法が径方向寸法に比べて短い円筒状に形成される。内周クランク部５０ｃは、可動弁板部５０の外縁における全周に形成される。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな外周輪郭を有する。内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや小さな内周輪郭を有する。

内周クランク部５０ｃは、外周クランク部６０ｃよりも小さな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。内周クランク部５０ｃは、弁板５０ｄよりも大きな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向の寸法を有する。

内周クランク部５０ｃは、摺動面５０ｂを有する。摺動面５０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面５０ｂは、内周クランク部５０ｃの外周面において周方向の全長に設けられる。内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとは、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとが接触した状態で嵌合している。摺動面５０ｂと可動弁枠部６０の摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。

内周クランク部５０ｃには、弁板付勢部（保持バネ）８０が収容される付勢部穴５８と周溝５９とが可動弁板部５０の周方向に交互に配置される。弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。複数の弁板付勢部（保持バネ）８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。

本実施形態では、互いに離間する弁板付勢部（保持バネ）８０の配置として、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部（保持バネ）８０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部９０との角度位置と重なるように構成される。

付勢部穴５８は、上記のような弁板付勢部（保持バネ）８０の配置に対応して、内周クランク部５０ｃの周方向に等間隔に４箇所設けられる。
周溝５９は、隣接する付勢部穴５８の間を結ぶように内周クランク部５０ｃの周方向に周設される。

付勢部穴５８および周溝５９は、流路Ｈ方向における内周クランク部５０ｃの第１開口部１２ａに対向する面に開口を有する。
内周クランク部５０ｃには、周溝５９によって、周溝５９を挟んで流路Ｈ方向に立設された内周壁５９ａと、外周壁５９ｂと、内周壁５９ａおよび外周壁５９ｂの間の底部５９ｃとが形成される。

内周壁５９ａと外周壁５９ｂとは、流路Ｈ方向に延在する。底部５９ｃは、弁板５０ｄと略平行な流路Ｈ方向と直交する方向に延在する。内周壁５９ａは、可動弁板部５０の径方向において、周溝５９よりも内側に周設される。

周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と内周壁５９ａの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｄが設けられる。周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と外周壁５９ｂの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｅが設けられる。

周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置とされる。周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも厚く形成されている。
付勢部穴５８は、後述する弁板付勢部８０を収納可能として、略円筒状に形成される。付勢部穴５８の底部５８ｃは平面状とされており、湾曲部５９ｄ，５９ｅと同程度の曲率半形を有する湾曲部は設けないことができる。

内周壁５９ａには、可動弁板部５０の径方向内側に弁板５０ｄが接続される。
可動弁板部５０において、内周クランク部５０ｃの内周壁５９ａと、弁板５０ｄの周縁部分とが、周溝５９の底部５９ｃよりも周溝５９の開口に近接した位置で接続される。
さらに、内周壁５９ａの径方向内側には、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも第１開口部１２ａに近接する位置に弁板５０ｄが接続されることが好ましい。

なお、内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置としては、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部位置から、内周クランク部５０ｃの中心位置までの間で適宜設定することができる。
内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置として、流路Ｈ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部側に近接した位置に設定することができる。

外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、摺動面５０ｂが周設される。外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、板摺動シール部としてＯリング等からなる摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２が配される。外周壁５９ｂには、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２を収容するための溝５２ｍが周設される。

摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接する位置に設けられる。
溝５２ｍは、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接した位置に設けられる。溝５２ｍは、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第１開口部１２ａに近接した位置に配される。

外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側となる位置に、溝５１ｍの設けられた突条が周設される。溝５１ｍの設けられた突条は、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第２開口部１２ｂに近接して位置する。
溝５１ｍは、可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂよりも外側に位置する。溝５１ｍは、後述するカウンタークッション（シール部材）５１を収容する。溝５１ｍは、突条における第２開口部１２ｂに近接した位置となる端面に設けられる。

可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂの外周面には、外周溝５６が設けられる。
外周溝５６は、流路Ｈ方向における溝５２ｍと溝５１ｍとの間に位置する。外周溝５６は、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２に接しないように配置される。

摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとの間に配される。摺動シールパッキン５２により、摺動時における摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。

摺動面５０ｂ、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２、摺動面６０ｂは、板摺動シール部を構成する。

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１６に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する表面に、カウンタークッション（シール部材）５１が周設される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。カウンタークッション（シール部材）５１は、弾性体である。カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。

カウンタークッション（シール部材）５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する端面に設けられる。カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃにおける最外周位置に設けられる。

カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。

カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とが、流路Ｈ方向視して、互いに重なるように配置される。このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
気抜き穴５３は、外周溝５６の内部と、カウンタークッション５１よりも中心Ｏに近接する位置で内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する面とを連通する。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域、つまり、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとに配置される。

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。複数の弁板付勢部８０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁板付勢部８０は、それぞれ可動弁板部５０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

複数の弁板付勢部８０は、組（セット）ごとに、可動弁板部５０の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁板付勢部８０の配置としては、図１８に示すように、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

弁板付勢部８０は、可動弁板部５０の動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。

図１９は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと、可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとを接続する。

弁板付勢部８０は、板ガイドピン８１と、コイルバネ８２と、受圧部８３と、蓋部５８ｆと、規制筒８５と、を有する。
板ガイドピン８１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。板ガイドピン８１は、ボルト状とされる。板ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。板ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに固設される。板ガイドピン８１の基部８１ｂは、内枠板６０ｄを貫通する。板ガイドピン８１の長軸部は、内枠板６０ｄから付勢部穴５８に向けて立設される。

板ガイドピン８１は、内周クランク部５０ｃの付勢部穴５８と同軸に配置される。板ガイドピン８１の先端８１ａは、付勢部穴５８の内部に位置する。板ガイドピン８１の先端８１ａには、板ガイドピン８１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部８３が設けられる。
受圧部８３は、付勢部穴５８の底部５８ｃと当接可能であるか、底部５８ｃと当接しない程度の位置に配置される。受圧部８３は、板ガイドピン８１の先端８１ａにフランジ状に周設される。受圧部８３は、板ガイドピン８１から径方向外側に向いて突出する。

板ガイドピン８１の長軸部には、径方向外側に規制筒８５が摺動可能に位置する。
規制筒８５は、板ガイドピン８１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒８５は、板ガイドピン８１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒８５は、一方の端部が、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆに接続される。規制筒８５の軸方向寸法は、板ガイドピン８１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒８５の径方向内側には、板ガイドピン８１と接触するブシュ８５ａが配置される。

蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口を塞ぐように配置される。蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口位置に固定される。蓋部５８ｆには貫通孔として孔部５８ｇが設けられる。
孔部５８ｇは、規制筒８５と同軸かつ同径とされる。孔部５８ｇおよび規制筒８５には、板ガイドピン８１が嵌合している。

蓋部５８ｆの内枠板６０ｄに近接する位置には、さらに、固定蓋５８ｆ１が蓋部５８ｆと接触するように設けられる。固定蓋５８ｆ１は、付勢部穴５８の開口に対する蓋部５８ｆの固定を補強する。固定蓋５８ｆ１には、孔部５８ｇよりも大きな貫通孔が同心状に設けられる。

コイルバネ（保持バネ）８２は、例えばらせん状のスプリングなどの弾性部材とされる。コイルバネ（保持バネ）８２は、付勢部穴５８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。コイルバネ（保持バネ）８２は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。コイルバネ（保持バネ）８２は、二重螺旋とされて、径寸法の異なる内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとを有する。

内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとは、いずれも板ガイドピン８１と同軸に配置される。
コイルバネ（保持バネ）８２は、二重に設けて付勢力を強化したが、一重とすることもできる。

コイルバネ（保持バネ）８２は、一端が蓋部５８ｆに当接し、他端が受圧部８３に当接している。コイルバネ（保持バネ）８２は、これら蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧するように付勢されている。

蓋部５８ｆおよび固定蓋５８ｆ１には、付勢部穴５８の内部で底部５８ｃ付近と、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、を連通する気抜き穴８５ｂが設けられる。
板ガイドピン８１の基部８１ｂおよび内枠板６０ｄには、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、内枠板６０ｄよりも弁箱内面１０Ａに近接する中空部１１と、を連通する気抜き穴８５ｃが設けられる。

規制筒８５のブシュ８５ａよりも蓋部５８ｆに近接する位置には、Ｏリング等のシール部材８５ｄが周設されてもよい。

板ガイドピン８１と規制筒８５とが、互いに軸方向に摺動することにより、板ガイドピン８１と規制筒８５との軸方向角度が変化せずに、板ガイドピン８１と規制筒８５との流路Ｈ方向の位置が変化する。これにより、板ガイドピン８１の基部８１ｂの固定された内枠板６０ｄと、規制筒８５の一端が固定された蓋部５８ｆとが、流路Ｈ方向に互いに移動する。これにより、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との位置規制を誘導する。

コイルバネ（保持バネ）８２は、互いに離間する方向に蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧する。
受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、互いの位置関係が変化しない。このため、コイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とを常時付勢する。

ここで、内枠板６０ｄと蓋部５８ｆとが離間するように流路Ｈ方向に移動した場合には、蓋部５８ｆと受圧部８３との距離が減少する。これにより、コイルバネ（保持バネ）８２が収縮する。この場合でも、受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、位置関係が変化しない。

このため、収縮したコイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とをさらに付勢する。これにより、蓋部５８ｆと板ガイドピン８１の拡径した受圧部８３とが離間する方向に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに移動することになる。

弁板付勢部８０においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、孔部５８ｇを貫通した板ガイドピン８１が、規制筒８５（ブシュ８５ａ）によって軸方向の向きを規制された状態で、蓋部５８ｆおよび規制筒８５に対して板ガイドピン８１の軸方向に移動する。すると、コイルバネ（保持バネ）８２が板ガイドピン８１の軸方向に収縮する。収縮したコイルバネ（保持バネ）８２によって、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆが、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに対して近接する方向に付勢される。

これにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、流路Ｈ方向の厚み寸法が縮小する方向に、弁板付勢部８０の付勢力を受けることになる。

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

弁板付勢部８０（保持バネ）と弁枠付勢部（補助バネ）９０とは、互いに逆方向となる流路Ｈ方向に付勢可能な付勢力を有するように設けられる。

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと、流路Ｈ方向視して円フランジ部３０ｃと重なる可動弁枠部６０の位置規制部となる外枠板６０ｅと、の間に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８に内蔵される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向視して中立弁部３０と可動弁枠部６０とが重なる領域、つまり、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとに配置される。

複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃの周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。弁枠付勢部（補助バネ）９０を設ける箇所は、弁板付勢部８０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、組（セット）ごとに、可動弁枠部６０の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０の配置としては、図１８には、可動弁枠部６０の中心Ｏから見て、４個の弁枠付勢部（補助バネ）９０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

弁板５０ｄの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置と重なるように構成される。弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃに対して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁枠部６０を往復動させる。

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとを接続する。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに設けられる。付勢部穴６８は、流路Ｈ方向に軸線を有する円筒状に形成される。付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅを貫通するように設けられる。

付勢部穴６８において、外枠板６０ｅにおける第２開口部１２ｂに対向する面の開口は、後述するように受圧部９３によって閉塞される。付勢部穴６８において、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接する位置の開口は閉塞されない。つまり、付勢部穴６８は、可動弁板部５０の付勢部穴５８と同じ向きに開口する。付勢部穴６８は、外枠板６０ｅでの可動弁枠部６０の径方向において、径方向内側寄りとなる外周クランク部６０ｃに近接した位置に設けられる。

弁枠付勢部（補助バネ）９０は、枠ガイドピン９１と、枠コイルバネ９２と、規制筒９５と、を有する。
枠ガイドピン９１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。枠ガイドピン９１は、弁枠付勢部（補助バネ）９０内を貫通する。枠ガイドピン９１は、流路Ｈ方向に立設される。枠ガイドピン９１は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固設される。枠ガイドピン９１は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８と同軸に配置される。枠ガイドピン９１の基部９１ｂには、枠ガイドピン９１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部９３が設けられる。

受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに対向する位置に固定される。受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに向かう開口を閉塞している。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部を形成している。つまり、枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、受圧部９３として付勢部穴６８の底部を形成している。受圧部９３は、付勢部穴６８の開口に螺合可能としてもよい。この場合、枠ガイドピン９１はボルト状とされることができる。

受圧部９３は、可動弁枠部６０において、後述する弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に対向する面に露出している。枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固定される。

枠ガイドピン９１の長軸部は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８から円フランジ部３０ｃに向けて立設される。円フランジ部３０ｃには第１開口部１２ａに対向する面に凹部３０ｃｍが設けられる。
凹部３０ｃｍの中央位置には、流路Ｈ方向に円フランジ部３０ｃを貫通する貫通孔３０ｇが設けられる。
貫通孔３０ｇには、枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。

したがって、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃを貫通する。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃに設けられた凹部３０ｃｍに位置することが可能である。枠ガイドピン９１の先端９１ａは、流路Ｈ方向において、弁枠シールパッキン６１よりも弁箱内面１０Ａに近接しないように軸方向長さが設定される。
枠ガイドピン９１の先端９１ａの周囲に中立スペーサ９４が設けられる。

中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａによって、枠ガイドピン９１の先端９１ａ位置に取り付けられている。中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａは、凹部３０ｃｍの内部に位置することが可能である。

枠ガイドピン９１の軸方向中央に位置する長軸部には、枠ガイドピン９１に対して摺動可能な規制筒９５が径方向外側に位置する。
規制筒９５は、枠ガイドピン９１の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒９５は、枠ガイドピン９１の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒９５の軸方向寸法は、枠ガイドピン９１の軸方向寸法よりも小さい。規制筒９５の径方向内側には、枠ガイドピン９１と接触するブシュ９５ａが配置される。

規制筒９５における一方の端部には、フランジ部９５ｆが周設される。
フランジ部９５ｆは、円フランジ部３０ｃにおける凹部３０ｃｍの裏面となる位置に固定接続される。規制筒９５は、フランジ部９５ｆによって、円フランジ部３０ｃにおける外枠板６０ｅに対向する面に固定される。

フランジ部９５ｆおよび規制筒９５には、流路Ｈ方向に延在する貫通孔９５ｇを有する。貫通孔９５ｇは、フランジ部９５ｆおよび規制筒９５において連通している。貫通孔９５ｇは、貫通孔３０ｇと同軸位置とされる。貫通孔９５ｇには、貫通孔３０ｇと同様に枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。

枠コイルバネ９２は、補助バネとして弁枠付勢部９０を構成する。枠コイルバネ９２は、付勢部穴６８の内部に収納されている。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の周囲となる位置に、同軸状態に配置される。
枠コイルバネ９２は、例えばスプリングなどの弾性部材とされて、付勢部穴６８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。

枠コイルバネ９２の一端は、枠ガイドピン９１における基部９１ｂの周囲である受圧部９３に当接している。枠コイルバネ９２の他端は、貫通孔９５ｇの周囲となるフランジ部９５ｆに当接している。枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂの周囲と、貫通孔９５ｇの周囲のフランジ部９５ｆとを、流路Ｈ方向にそれぞれ逆向きに付勢する。枠コイルバネ９２は、たとえば、二重のコイルバネからなる構成として、付勢力を強化することもできる。

弁枠付勢部（補助バネ）９０においては、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して移動する際に、円フランジ部３０ｃに固定された規制筒９５の貫通孔９５ｇの軸方向に、枠ガイドピン９１が軸方向に移動する。この際、枠ガイドピン９１は、ブシュ９５ａに対して摺動する。すると、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、凹部３０ｃｍから弁箱内面１０Ａに向けて突出する。

これにより、規制筒９５のフランジ部９５ｆと、付勢部穴６８の底部である受圧部９３とが、流路Ｈ方向に近接する。この際、枠コイルバネ９２が収縮する。収縮した枠コイルバネ９２の付勢力によって、受圧部９３とフランジ部９５ｆとが、互いに離間する方向に押圧される。

つまり、付勢部穴６８の底部の受圧部９３と円フランジ部３０ｃの裏面のフランジ部９５ｆとが、流路Ｈ方向に互いに離間するように位置移動する。これにより、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して位置移動することになる。

このように、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能となる。弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向には位置移動しない中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動させる。

このとき、弁枠付勢部（補助バネ）９０では、規制筒９５が枠ガイドピンの軸方向が傾かない。弁枠付勢部（補助バネ）９０により、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動する際に、可動弁枠部６０の移動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制する。したがって、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対する姿勢が変化せずに平行移動する。

同時に、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向以外に移動しないように規制することができる。具体的には、円形部３０ａに嵌合されている可動弁枠部６０が、周方向に移動してしまうことを防止できる。これにより、弁体５の振り子動作において、中立弁部３０に対する可動弁枠部６０の保持状態を安定させて、仕切りバルブ１００の動作安定性を向上することができる。

さらに、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動した際にも、枠ガイドピン９１と板ガイドピン８１とが平行なことにより、弁板付勢部８０により可動弁板部５０が追従して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動する。なお、弁板５０ｄに流路Ｈ方向の差圧が印加されている場合には、この限りではない。

ここで、流路Ｈ方向における可動弁枠部６０の位置移動に関して、弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０により、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、これらの摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。

弁箱１０には、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が内蔵されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向において第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第１〜第３実施形態における真空アクチュエータ７０とされる。

本実施形態における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在とされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が、真空側となる中空部１１に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
伸縮ロッド（可動部）７２の周囲には、例えば、可動弁枠部６０に近接する位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７７ｆが設けられる。伸縮ロッド（可動部）７２は、油圧駆動部（固定部）７１と真空側となる中空部１１とにおける境界をシールした状態で伸縮自在とされる。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに当接させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧して、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに押圧可能な位置として弁箱１０に配される。具体的には、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線が、弁枠付勢部（補助バネ）９０の枠ガイドピン９１の軸線と一致するように配置される。

伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂとなるように配置される。つまり、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の受圧部９３となるように配置される。

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周囲に沿って互いに離間して設けられる。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、弁枠付勢部（補助バネ）９０に対応して３箇所以上が好い。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、２個を一組（セット）として配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、それぞれ第２開口部１２ｂの中心Ｏを通る直径（直線）における両端の外側となる位置に配置される。一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、組（セット）ごとに、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間して設けられる。具体的な複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置としては、図１８には、第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。

第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置と重なるように構成される。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）における流路連通状態（図１７，図１９）から閉弁状態（図２０〜図２３）とする場合に、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。

このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

ここで、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線を延長した位置にある受圧部９３に当接する。受圧部９３は、付勢部穴６８の底部位置に固定されているため、伸縮ロッド（可動部）７２の押圧力は、受圧部９３および外枠板６０ｅを介して、外周クランク部６０ｃに伝達される。

この際、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。この枠ガイドピン９１の軸線と伸縮ロッド（可動部）７２との軸線が一致していることにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、弁体５が、図１５に破線で示すように、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂのいずれにも接していない。

この状態で、回転駆動部２１によって回転軸２０を符号Ｒ０１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０および可動弁部４０が方向Ｒ０１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、弁体５は、退避位置から、図１５に実線で示すように、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。

弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は、可動弁枠部６０に当接して、可動弁枠部６０を押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、図２０〜図２３に示すように、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。

逆に、流路Ｈが閉鎖された状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。これにより、伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。

これにより、図１６〜図１９に示すように、流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。

解除動作の後に、回転駆動部２１によって回転軸２０を符号Ｒ０２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１６〜図１９には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。

弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、縮退した状態にある。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱内面１０Ａよりも固定部７１に近接した位置に埋没した状態にある。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁体５と接していない。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出していない。

図２０は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図２１は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図２０，図２１に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、受圧部９３に当接する。

これにより、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出する。

このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図２０，図２１には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。

正圧／差圧無の弁閉状態では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を維持する。また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出した状態を維持する。

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図２２は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図２３は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図２２，図２３には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、弁体５の可動弁板部５０が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

伸縮ロッド（可動部）７２が伸長した状態で、弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図２２，図２３）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。

さらに、逆圧の弁閉状態から正圧／差圧無とする。この状態において、弁枠付勢部９０の枠コイルバネ９２の付勢力により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、相互の位置規制をそれぞれ正確におこなうことが可能となる。つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。同時に、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。
特に、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との摺動方向を、いずれも往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。

また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。

さらに、弁体５が振り子動作する際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、互いに一体的な位置関係を維持したまま振り子動作を行うことができる。

本実施形態の仕切りバルブ１００においては、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０を押圧した際に、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。

したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する移動において、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する姿勢を非常に安定させることができる。

同時に、伸縮ロッド（可動部）７２に押圧された可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向へ移動する際、この可動弁枠部６０の移動方向と、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力の作用方向とが一致する。また、可動弁枠部６０の移動方向に対して、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力が同一直線上となる位置で可動弁枠部６０に作用する。
これにより、可動弁枠部６０にモーメントが発生してしまうことを抑制できる。したがって、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することができる。
これらにより、可動弁枠部６０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。

本実施形態においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが二組で４個ずつ設けられた構成としたが、これ以外の構成としてもよい。具体的には、三組で６個ずつ、あるいは、四組で８個ずつなど、仕切りバルブ１００の口径にあわせて、他の設置組数とすることも可能である。
また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０と、弁板付勢部（保持バネ）８０とが、それぞれ異なる組数として配置されることもできる。この場合でも、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０は同じ組数とすることが好ましい。

本実施形態においては、上記の各実施形態と同様の効果を奏することができる。

さらに、本発明においては、上記の各実施形態におけるそれぞれの構成を適宜選択して組み合わせることも可能である。

本発明は、真空装置等における真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。

７０…真空アクチュエータ（押しつけシリンダ，弁箱付勢部，リフトピン移動部，アライメント手段，押圧部，弁箱付勢部）
７１…油圧駆動部（固定部）
７２…可動部（伸縮ロッド）
７３…付勢部材（押しつけバネ、バネ）
７００…油圧駆動部（非圧縮性流体駆動部）
７０１…油圧発生部
７０２…油圧管
７０５…駆動部
７０５ａ…回転駆動軸（内輪）
７０５ｄ…油圧抑制部
７０５ｄ１…ローラ
７０５ｄ２…外輪
７０５ｄ３…ポケット
７０５ｄ４…付勢スプリング
７０５ｍ…モータ
７０６…制御部（コントローラ）
７０７…電源
７２０…油圧付勢部材
５…弁体，中立弁体
１０…弁箱
１１…中空部
２０…回転軸
３０…中立弁部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
６３…弁枠部
８０…弁板付勢部（保持バネ）
９０…弁枠付勢部
１００…仕切りバルブ
２００…真空装置（スパッタ装置）
２０１…成膜室（チャンバ）
Ｈ…流路

Claims (6)

1. 真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧可能に伸縮する真空アクチュエータを有する油圧駆動システムであって、
   外部から供給された作動油圧により駆動する前記真空アクチュエータと、
   前記真空アクチュエータに作動油圧を供給する油圧駆動部と、
   前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
   前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
   前記駆動部に給電する電源と、
   を有し、
   真空アクチュエータが、前記対象物に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記対象物から離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
   前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられる
   ことを特徴とする油圧駆動システム。
2. 前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされる
   ことを特徴とする請求項１記載の油圧駆動システム。
3. 前記油圧抑制部が、
   前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記対象物に近接する方向に移動した際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を切断し、
   前記伸縮ロッドが前記対象物から離間する方向に移動する際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達する
   ことを特徴とする請求項２記載の油圧駆動システム。
4. ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
   中空部と、
   前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
   前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
   前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
   前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
   前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
   前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
   前記油圧駆動部において油圧を発生させる油圧発生部と、
   前記油圧発生部を駆動するモータおよび油圧付勢部材を有する駆動部と、
   前記駆動部に給電する電源と、
   を具備し、
   前記弁箱付勢部が、前記可動弁部に向けて伸縮可能な伸縮ロッドと、前記伸縮ロッドを前記可動弁部から離間する方向に付勢する付勢部材と、を有して、前記油圧駆動部から供給された作動油圧により前記付勢部材の付勢力に打ち勝って前記伸縮ロッドを駆動するものとされ、
   前記駆動部には、前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記モータの逆転に対応して油圧の上昇を抑える油圧抑制部が設けられる
   ことを特徴とする仕切りバルブ。
5. 前記油圧抑制部が、一方の方向のみに回転力を伝達するクラッチ機構とされる
   ことを特徴とする請求項４記載の仕切りバルブ。
6. 前記油圧抑制部が、
   前記油圧付勢部材の付勢力によって前記伸縮ロッドが前記可動弁部に近接する方向に移動した際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を切断し、
   前記伸縮ロッドが前記可動弁部から離間する方向に移動する際に、前記駆動部と前記油圧発生部との間の回転を伝達する
   ことを特徴とする請求項５記載の仕切りバルブ。

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