JP2020153251A - 真空アクチュエータ、仕切りバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】油圧漏洩防止効果を強化する。【解決手段】チャンバ内で駆動する可動部７２、固定部７１に作動油圧を供給するメインシリンダ７０１を有する真空アクチュエータ７００で、メインシリンダが、収納空間を有するケーシング７５０と、ケーシングに固定されたピストン７１２と、ピストンを覆うシリンダ本体７１１と、シリンダ本体とピストンとで形成される油圧空間７１４と、シリンダ本体に周設されたフランジ部７１１ｃを付勢する付勢部材７２０と、シリンダ本体を移動可能とする駆動軸７３１と、を有し、収納空間に、油圧空間と固定部と油圧流路７１３とに連通されて、油圧流路が過剰圧力状態となった場合に収納空間に向けて過剰圧力を開放可能な過圧防止部７８０が設けられる。【選択図】図１

Description

本発明は真空アクチュエータ、仕切りバルブに関し、特に真空中で油圧駆動可能な伸縮アクチュエータ、および、これを用いた振り子式仕切りバルブに用いて好適な技術に関する。

真空装置等においては、真空雰囲気とされるチャンバ内で対象物を押圧するための伸縮アクチュエータが設けられる。このような伸縮アクチュエータとしては、チャンバ内における汚染防止等の観点から、その多くは真空雰囲気であるチャンバ外に駆動部が配置されて、チャンバ内の伸縮部を駆動させる構成が知られている。
例えば、伸縮アクチュエータとしては、電磁駆動型、圧空駆動型などがある。

これに対し、本発明者らは、密閉時に弁体を弁箱開口に押しつける付勢部として、油圧駆動型の伸縮アクチュエータを有する振り子式仕切りバルブに関する出願をおこなっている（特許文献１）。

なお、この例の伸縮アクチュエータにおいて、高出力が必要な油圧での駆動は、基本的に伸長側であり、縮退側はバネ等を用いる構成である。

特許第６３５８７２７号公報

油圧駆動型の伸縮アクチュエータは、他のタイプの駆動方式に比べて、駆動部分を省スペース化することができる。特に、駆動可能な単位出力当たりの容積は、他のタイプの駆動方式に比べて、油圧駆動型の伸縮アクチュエータで、もっとも小さくできる。
このように、省スペースの可能な高出力の伸縮アクチュエータにおいて、特に、真空雰囲気への油漏れに対する安全性を向上したいという要求がある。

同様に、伸縮アクチュエータに対して作動油圧を供給する側においても、真空雰囲気への油漏れに対する安全性を向上したいという要求がある。
特に、この伸縮アクチュエータおよびこの伸縮アクチュエータを備えたバルブ等の油圧機構が、クリーンルーム内などの清浄な雰囲気に設置された場合には、大気圧程度となるクリーンルームに対しても、油漏れに対する安全性を向上したいという要求がある。

真空中での油漏れ対策としては、アクチュエータを含む油圧回路以外に漏れた油を収容する緩衝空間を設けることが考えられるが、その場合、駆動に必要な容積が大きくなってしまうという問題がある。しかし、伸縮アクチュエータにおいては、駆動可能な単位出力当たりの容積を小さくすることが要求される。
また、駆動部とは別構成として油漏れ用の緩衝空間を設けた場合には、部品点数の増加が避けられない。

さらに、油圧の想定外の上昇が発生した場合にも、駆動部分に対する有効な油漏れの防止策が要求される。

この油漏れの防止策として、油圧の想定外の上昇を検知するために駆動部分に対するセンサを設けた場合には、このセンサを外部に出力するために、密閉を破る必要があり、これを解決したいという要求があった。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．真空雰囲気への油漏れの防止効果向上を図ること。
２．省スペース化と部品点数の削減を図ること。
３．想定外の油圧上昇を検知可能とすること。
４．想定外の油圧上昇の発生した場合に確実な油漏れの防止を可能とすること。

本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
前記メインシリンダが、
内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
を有し、
前記収納空間の内面には、前記油圧流路に連通されて、前記油圧流路が過剰圧力状態となった場合に前記収納空間に向けて過剰圧力を開放可能な過圧防止部が設けられることにより上記課題を解決した。
本発明は、前記過圧防止部が、前記収納空間の前記フランジ部に対向する位置に露出して配置され、前記フランジ部が前記ケーシングの内面に当接した場合でも前記過圧防止部の表面が前記収納空間への連通状態を維持可能とする連通維持部が設けられることができる。
本発明において、前記過圧防止部が、前記ケーシングの厚さ方向の中側に位置する過圧防止流路により前記油圧流路に連通されることが好ましい。
本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
前記メインシリンダが、
内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに、一端側が前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
を有し、
前記駆動軸の他端側には、非磁性体とされるスペーサを介して軸位置マグネットが設けられ、前記収納空間の外側に配置された磁気検出部により、前記軸位置マグネットの軸方向位置を検出可能とされる手段を採用することもできる。
本発明は、前記磁気検出部が、前記駆動軸の伸長位置と縮退位置とに対応してこれらを検出可能な位置に設けられることができる。
また、本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記弁箱付勢部および前記非圧縮性流体駆動部が、上記のいずれか記載の真空アクチュエータとされることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記弁箱付勢部が複数設けられて、複数の前記弁箱付勢部に充填された作動油と前記油圧空間に充填された作動油の量に対して、前記収納空間の容積が等しいか大きくなるように設定されることができる。

本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
前記メインシリンダが、
内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
を有し、
前記収納空間の内面には、前記油圧流路に連通されて、前記油圧流路が過剰圧力状態となった場合に前記収納空間に向けて過剰圧力を開放可能な過圧防止部が設けられる。これにより、モータ等の駆動部によって駆動軸を介してシリンダ本体を駆動することで、ピストンに対してシリンダ本体が軸方向に移動する。これに対して、駆動部が駆動されていない場合には、付勢部材の付勢力によってピストンに対してシリンダ本体が軸方向の反対向きに移動する。
このピストンに対するシリンダ本体の軸方向位置の往復移動によって、油圧空間の容積が変化する。油圧空間の増減によって、油圧空間に充填された作動油が、油圧流路を介して固定部に流入可能または流出可能である。作動油が固定部に流入または流出することで、可動部が固定部に対して駆動される。
真空アクチュエータにおいて過剰圧力状態となった場合に、過圧防止部が収納空間に向けて過剰圧力を開放する。これにより、何らかの異常が起こって過剰圧力が発生した場合でも、過圧防止部以外が破壊されることなく過剰圧力を収納空間に逃がして、真空アクチュエータの油圧回路以外に作動油が漏れてしまうことを防止できる。
同時に、付勢部材およびシリンダ本体が収納された収納空間を、真空側となる外部への油漏れに防止する緩衝空間とすることができる。
したがって、油圧によって駆動されるアクチュエータとして、単位容積当たりの出力を高い状態を維持しながら、部品点数の増加を防止して、油漏れを確実に防止することが可能となる。

本発明は、前記過圧防止部が、前記収納空間の前記フランジ部に対向する位置に露出して配置され、前記フランジ部が前記ケーシングの内面に当接した場合でも前記過圧防止部の表面が前記収納空間への連通状態を維持可能とする連通維持部が設けられる。これにより、前記フランジ部が前記ケーシングの内面に当接した場合でも連通維持部によって前記過圧防止部の表面が前記収納空間への連通状態を維持可能とすることができる。

本発明において、前記過圧防止部が、前記ケーシングの厚さ方向の中側に位置する過圧防止流路により前記油圧流路に連通される。これにより、ケーシングの壁部に過圧防止流路を設けることができる。したがって、ケーシング外部に過圧防止流路を設けることがなく、真空アクチュエータの省スペース化を図りつつ、過圧状態が発生した場合でも、油漏れを防止することができる。

本発明の真空アクチュエータは、真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
前記メインシリンダが、
内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに、一端側が前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
を有し、
前記駆動軸の他端側には、非磁性体とされるスペーサを介して軸位置マグネットが設けられ、前記収納空間の外側に配置された磁気検出部により、前記軸位置マグネットの軸方向位置を検出可能とされる。これにより、軸位置マグネットが収納空間の内部に位置し、磁気検出部が収納空間の外部に位置した状態で、ケーシングの収納空間における密閉状態を維持したまま、駆動軸の軸方向位置、すなわち、油圧空間の容積変化を検知することができる。したがって、収納空間における密閉状態を維持したまま、固定部に供給する油圧の状態を検知することができる。これにより、収納空間からの油漏れを防止しつつ、真空アクチュエータを駆動することが可能となる。

本発明は、前記磁気検出部が、前記駆動軸の伸長位置と縮退位置とに対応してこれらを検出可能な位置に設けられる。これにより、収納空間における密閉状態を維持したまま、可動部の動作に対応した駆動軸の位置を外部の磁気検知部によって検知することができる。したがって、油圧空間の容積を正確に制御して、油圧の正確な供給をおこなうことができる。

また、本発明の仕切りバルブは、ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
を具備し、
前記弁箱付勢部および前記非圧縮性流体駆動部が、上記のいずれか記載の真空アクチュエータとされる。これにより、油圧回路において過圧状態が発生しても、油圧回路および真空アクチュエータ内の密閉を維持して真空側への油漏れを防止可能な仕切りバルブを提供することができる。過圧状態が発生しても、過圧防止部によって漏出した作動油はシリンダ本体の設けられた収納空間へと移動する。さらに、漏出した作動油は、この収納空間に貯留されて、真空側となる外部へと漏れることがない。

本発明の仕切りバルブは、前記弁箱付勢部が複数設けられて、複数の前記弁箱付勢部に充填された作動油と前記油圧空間に充填された作動油の量に対して、前記収納空間の容積が等しいか大きくなるように設定される。これにより、何らかの原因によって、複数の弁箱付勢部における固定部および油圧空間の容積が同時に縮小する事態が発生した場合でも、過圧防止部によって漏出した作動油を、シリンダ本体の設けられた収納空間へ全て貯留することができ、真空側となる外部への油漏れが発生することがない。
なお、収納空間の容積は、漏れる可能性のある油量を貯留可能な大きさに設定されていればよい。

本発明によれば、真空雰囲気への油漏れの防止効果向上を図ること、省スペース化と部品点数の削減を図ること、想定外の油圧上昇を検知可能とすること、想定外の油圧上昇の発生した場合に確実な油漏れの防止を可能とすることが可能な真空アクチュエータ、仕切りバルブを提供することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態における加圧状態のメインシリンダを示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態における減圧状態のメインシリンダを示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態における過圧状態のメインシリンダを示す模式説明図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が退避位置（弁開放位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における構成を示す流路に沿った模式断面図であり、弁体が弁閉塞位置に配置されている場合を示す図である。 本発明に係る仕切りバルブの第２実施形態における真空アクチュエータを示す模式説明図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態におけるメインシリンダを示す拡大断面図である。 本発明に係る真空アクチュエータの第４実施形態におけるメインシリンダの他の例を示す拡大断面図である。 本発明に係る真空アクチュエータにおける磁気検出部を説明するための図である。 本発明に係る真空アクチュエータにおける磁気検出部を説明するための図である。 本発明に係る真空アクチュエータにおける磁気検出部を説明するための図である。 本発明に係る真空アクチュエータにおける磁気検出部を説明するための図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 図１５における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 図１７における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。 図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１〜図３は、本実施形態に係る真空アクチュエータにおけるメインシリンダ（油圧発生部）を断面視した説明図である。
図１は、真空アクチュエータにおけるメインシリンダ（油圧発生部）の加圧状態を示す。図２は、真空アクチュエータにおけるメインシリンダ（油圧発生部）の減圧状態を示す。図３は、真空アクチュエータにおけるメインシリンダ（油圧発生部）の過圧状態を示す。
図において、符号７００は、真空アクチュエータである。

本実施形態に係る真空アクチュエータ（油圧駆動手段）７００は、図１〜図３に示すように、押しつけシリンダ７０と、メインシリンダ（油圧発生部）７０１と、油圧管７０２と、駆動部７０５と、を有する。
真空アクチュエータ（油圧駆動手段）７００は、メインシリンダ（油圧発生部）７０１で発生させた非圧縮性流体（圧油）を押しつけシリンダ７０に給排、つまり、供給および排出する。

押しつけシリンダ７０は、大気側に設けられるメインシリンダ（油圧発生部）７０１に油圧管７０２を介して接続される。押しつけシリンダ７０は、供給された油圧によって駆動される。
押しつけシリンダ７０は、可動部（伸縮ロッド）７２と、固定部７１と、を有する。
可動部（伸縮ロッド）７２は、真空雰囲気とされるチャンバＣｈにおいて伸縮駆動される。
固定部７１では、供給された油圧によって可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮駆動する。
メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、固定部７１に作動油圧を供給する。

駆動部７０５は、メインシリンダ（油圧発生部）７０１を駆動するモータ等である。駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。また、駆動部７０５は電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。

メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、図１〜図３に示すように、油圧シリンダ７１０と、付勢部材７２０と、シリンダ駆動部７３０と、ケーシング７５０と、を備えている。
油圧シリンダ７１０は、押しつけシリンダ７０の固定部７１に非圧縮性流体である圧油を加圧して供給する。
付勢部材７２０は、油圧シリンダ７１０を付勢する。

シリンダ駆動部７３０は、付勢部材７２０に抗して油圧シリンダ７１０を駆動可能である。
ケーシング７５０は、これら油圧シリンダ７１０、付勢部材７２０、シリンダ駆動部７３０を収納する。

油圧シリンダ７１０は、有底筒状のシリンダ本体７１１と、シリンダ本体７１１の内部で軸線方向に相対的に移動可能なピストン７１２とを有する。
ピストン７１２は、その軸線に沿って内部を貫通する油圧流路７１３を有する。 油圧流路７１３は油圧管７０２に接続されている。
油圧流路７１３は、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）を油圧管７０２に対して流入可能または流出可能である。

ピストン７１２は、油圧管７０２に接続される側（一端側）の油圧流路７１３がケーシング７５０を貫通する。ピストン７１２の一端側である端部７１２ａは、ケーシング７５０に取り付けられて固定される。ピストン７１２の端部７１２ａは、Ｏリングおよびシール材によってシールされる。
ピストン７１２の端部７１２ａに対して反対側の他端側となる端部７１２ｂは、シリンダ本体７１１の内部に同軸状態として摺動可能に位置する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａは開口されている。シリンダ本体７１１の開口端部である端部７１１ａの内部には、ピストン７１２が挿入される。
シリンダ本体７１１はピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動可能である。したがって、シリンダ本体７１１はケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

シリンダ本体７１１の他端側となる端部７１１ｂは閉塞される。シリンダ本体７１１の端部７１１ｂの内側と、ピストン７１２の端部７１２ｂの端面（他端面）とで油圧空間７１４が形成される。油圧空間７１４には、非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が充填される。

油圧空間７１４は、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に軸線方向に移動した場合に、容積が増減する。この油圧空間７１４の容積増減にともない、油圧空間７１４に充填された圧油が、油圧流路７１３を介して油圧管７０２に流入または流出する。

シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、フランジ部７１１ｃが外周位置に設けられる。フランジ部７１１ｃは、端部７１１ａから径方向外向きに張り出して周設される。

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。同様に、フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、付勢部材７２０となる外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

フランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、シリンダ本体７１１の外周面に近接して周溝７１１ｄが周設される。
周溝７１１ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ａが当接している。周溝７１１ｄの外周位置となるフランジ部７１１ｃの端部７１１ｂに向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ａが当接している。

付勢部材７２０は、内バネ７２１および外バネ７２２を有する。内バネ７２１および外バネ７２２は、コイルバネとされる。内バネ７２１および外バネ７２２は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状に配置される。

内バネ７２１は、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。外バネ７２２は、内バネ７２１の外径寸法よりもやや大きい内径寸法を有する。
外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな線径とされる。外バネ７２２は、内バネ７２１よりも大きな付勢力を有する。

内バネ７２１および外バネ７２２は、伸縮方向への付勢力をシリンダ本体７１１に伝達可能とされている。内バネ７２１および外バネ７２２は、いずれもシリンダ本体７１１のフランジ部７１１ｃを、ピストン７１２の端部７１２ａに向けて押圧するように付勢されている。

内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂは、ケーシング７５０に当接している。これにより、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１をケーシング７５０に対して付勢する。

なお、付勢部材７２０は、シリンダ本体７１１を付勢することが可能であれば、この構成に限るものではない。

シリンダ本体７１１の内周面には、端部７１１ａに近接する位置に、ブシュ７１１ｅ、Ｙ形パツキン７１１ｆ，７１１ｇが設けられる。シリンダ本体７１１の内周面とピストン７１２の外周面とは摺動可能に密閉される。
シリンダ本体７１１の端部７１１ａには、外側位置にシリンダ駆動部７３０の駆動軸７３１の端部７３１ａが同軸状として接続される。

シリンダ駆動部７３０は、シリンダ本体７１１をピストン７１２に対して軸線方向に相対的に移動させる駆動軸７３１と、モータ等の駆動部７０５によって駆動軸７３１を駆動する駆動伝達部と、を有する。

駆動軸７３１は、シリンダ本体７１１およびピストン７１２と同軸状態としてケーシング７５０内に配置される。駆動軸７３１は軸方向に移動可能とされる。駆動軸７３１、はピストン７１２およびケーシング７５０に対して軸線方向に相対的に移動可能である。

駆動軸７３１の外周面には端部７３１ａに近接する位置に、ボールネジ７３１ｃが形成される。
駆動軸７３１の軸方向におけるボールネジ７３１ｃの長さは、シリンダ本体７１１が軸方向に移動する際、その全範囲に対して、後述するボールネジ７３１ｃと内側螺面７３２ｃとが螺合状態を維持可能なように設定される。

駆動軸７３１の径方向外側には、ボールネジ７３１ｃの外周位置に、ネジ駆動ギア７３２が同軸状に配置される。駆動軸７３１は、ネジ駆動ギア７３２によってケーシング７５０に対して支持される。

駆動軸７３１の端部７３１ａと反対側となる端部７３１ｂ側には、後述する回り止め７３１ｈが径方向に突出して設けられる。
回り止め７３１ｈは、ケーシング７５０に設けられたすべり溝７５７の内部に位置する。回り止め７３１ｈは、駆動軸７３１が周方向に回転しないで軸方向に移動可能なように移動方向を規制している。

ネジ駆動ギア７３２は筒状とされる。ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して回転可能に支持される。
ネジ駆動ギア７３２の外周にはボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇは、駆動軸７３１の軸方向に離間して配置される。

ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇは、ケーシング７５０に対して駆動軸７３１と同軸に回転可能としてネジ駆動ギア７３２を支持する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、ケーシング７５０に対して軸方向には移動しない。
ネジ駆動ギア７３２の内周には内側螺面７３２ｃが形成される。内側螺面７３２ｃは、駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃと螺合する。

ネジ駆動ギア７３２が回転した場合、内側螺面７３２ｃと螺合しているボールネジ７３１ｃにより、駆動軸７３１に回転力が作用する。駆動軸７３１は、回り止め７３１ｈおよびすべり溝７５７によって回転が規制されている。したがって、駆動軸７３１は、すべり溝７５７に規制された方向、すなわち、駆動軸７３１の軸方向に移動する。

ネジ駆動ギア７３２の外周には外側ギア７３２ｄが形成される。外側ギア７３２ｄは、ネジ駆動ギア７３２の軸方向において、ボールベアリング７３２ｆおよびボールベアリング７３２ｇの間に挟まれた位置に形成される。ネジ駆動ギア７３２において、外側ギア７３２ｄは、径方向の最外側に位置する。

なお、ネジ駆動ギア７３２は、内側螺面７３２ｃの形成された内ネジ駆動ギア７３２ａと、外側ギア７３２ｄの形成された外ネジ駆動ギア７３２ｂと、が一体として接続されていることができる。

外側ギア７３２ｄは、駆動ギア７３３ｄと噛合する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３３ｄは、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３４に回転自在に支持される。
回転軸７３４は、駆動軸７３１の径方向における外側に離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

駆動ギア７３３ｄは、外側ギア７３２ｄよりも駆動軸７３１の径方向における外側に位置する。
駆動ギア７３３ｄは、同軸の駆動ギア７３３ｅと一体に形成される。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも大きな径寸法を有する。駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄと一体に回転する。

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３５と噛合する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３５は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸７３６に回転自在に支持される。

駆動ギア７３３ｅは、駆動ギア７３３ｄよりも駆動軸７３１の径方向における外側に位置する。
回転軸７３６は、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３４よりもさらに離間した位置としてケーシング７５０に支持される。

駆動ギア７３５は、駆動ギア７３７と噛合する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行な回転軸線を有する。駆動ギア７３７は、駆動軸７３１の軸線と平行なモータ等の駆動部７０５の回転駆動軸７０５ａに固定される。

駆動ギア７３７は、駆動ギア７３３ｅよりも駆動軸７３１の径方向における外側に位置する。
回転駆動軸７０５ａは、駆動軸７３１の径方向における外側位置で、回転軸７３６よりもさらに離間した位置とされる。回転駆動軸７０５ａは、ケーシング７５０に貫通状態として回転可能に取り付けられる。

ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、内側螺面７３２ｃ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７は、駆動伝達部を構成する。

ケーシング７５０は、ケーシング筒７５１と、ケーシング蓋７５２と、後ケーシング７５３と、リング７５４と、蓋部７５８と、からなる。
ケーシング７５０は、密閉される。
ケーシング筒７５１は、筒状とされる。

ケーシング蓋７５２は、ケーシング筒７５１の一端を閉塞する。
後ケーシング７５３は、ケーシング筒７５１の他端を閉塞する。
リング７５４は、ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間に設けられる。
蓋部７５８は、後ケーシング７５３の他端を閉塞する。

ケーシング筒７５１は、シリンダ本体７１１、ピストン７１２、駆動軸７３１と同軸状に延在する内部形状を有する。ケーシング筒７５１の内部には収納空間７５５が形成されている。

収納空間７５５の内部には、シリンダ本体７１１と、ピストン７１２と、付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２と、駆動軸７３１の端部７５１ａと、が収納される。
収納空間７５５は、ピストン７１２の位置する側が開口しており、ケーシング蓋７５２によって閉塞されている。

ケーシング蓋７５２にはピストン７１２が接続固定されている。ケーシング蓋７５２にはピストン７１２の端部７１２ａが貫通している。ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２の略中央位置に設けられる。

ケーシング蓋７５２には、過圧防止部７８０が設けられる。
過圧防止部７８０は、収納空間７５５に露出して配置される。
過圧防止部７８０は、油圧流路７１３が過剰圧力状態となった場合に収納空間７５５に向けて過剰圧力を開放可能とされる。

具体的には、過圧防止部７８０は、あらかじめ決められた設定圧力で確実に作動するノンメカニカルな圧力安全装置であるラプチャーディスクとされる。
過圧防止部７８０は、例えばＪＩＳ Ｂ８２２６破裂板式安全装置として規格化された破裂板（ラプチャーディスク）を有する安全装置である。

過圧防止部７８０における破裂板（ラプチャーディスク）としては、油圧空間７１４、油圧流路７１３、油圧管７０２、固定部７１等において、これらの圧力容器や配管の一部に圧力容器や配管の強度より弱い強度を有する部分（ウィークスポット）とされる。

過圧防止部７８０は、油圧空間７１４、油圧流路７１３、油圧管７０２、固定部７１等において、内圧が異常昇圧した際、この弱い破裂板（ラプチャーディスク）の部分だけが破壊されて内圧を放出して容器や配管を保護する。

過圧防止部７８０の収納空間７５５に対する反対面は、過圧防止流路７８１とされている。
過圧防止流路７８１は、ケーシング蓋７５２において収納空間７５５に面した凹部として形成される。つまり、過圧防止流路７８１の収納空間７５５に面した開口側が過圧防止部７８０によって閉塞される。

過圧防止流路７８１は、ピストン７１２の油圧流路７１３に連通している。過圧防止流路７８１は、ピストン７１２を径方向に貫通する過圧防止流路７８１ａに連通する。

過圧防止流路７８１は、ケーシング蓋７５２の厚さ方向の中側に形成される。ここで、ケーシング蓋７５２の厚さ方向の中側とは、ケーシング蓋７５２の肉厚を減少するように形成されていることを意味する。
したがって、過圧防止流路７８１が収納空間７５５に面していてもよいし、過圧防止流路７８１が収納空間７５５に露出していなくてもよい。

過圧防止部７８０に対向する位置となるフランジ部７１１ｃには、連通維持部７８２が設けられる。
連通維持部７８２は、後述するように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２の内面に当接した場合でも、過圧防止部７８０の表面が収納空間７５５への連通状態を維持可能とする。

具体的には、連通維持部７８２は、フランジ部７１１ｃにおいて、過圧防止部７８０に対向する位置から、フランジ部７１１ｃの径方向外縁位置まで形成された凹溝とされる。

連通維持部７８２は、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２の内面に当接した場合でも、過圧防止部７８０の表面と収納空間７５５とを連通可能である。
これにより、過圧防止部７８０の表面がフランジ部７１１ｃによって遮断されることがない。

なお、連通維持部７８２は、ケーシング蓋７５２における収納空間７５５に面した表面側に設けることもできる。この場合にも、連通維持部７８２は、フランジ部７１１ｃの径方向外縁位置まで形成された凹溝とされることができる。

過圧防止部７８０は、油圧空間７１４、油圧流路７１３、油圧管７０２、固定部７１等において、過剰圧力状態となった場合に、過圧防止流路７８１を介してこれらと同圧となる。圧力が所定値を越えた場合に、過圧防止部７８０は、収納空間７５５に向けて破裂して、過剰な作動油を収納空間７５５に向けて放出可能とされる。

収納空間７５５は、駆動軸７３１の位置する側が開口しており、後ケーシング７５３によって閉塞されている。後ケーシング７５３に近接する収納空間７５５から後ケーシング７５３にかけては、駆動軸７３１が貫通している。

収納空間７５５には、後ケーシング７５３に近接する位置に、リング７５４が設けられる。
リング７５４は、後ケーシング７５３となる外周縁部がケーシング筒７５１に接している。
リング７５４は、駆動軸７３１の径方向に延在する円環状の板体とされる。

リング７５４は、駆動軸７３１と同軸として駆動軸７３１の周囲に配置される。リング７５４の内周と駆動軸７３１の外周とは離間している。
リング７５４は、フランジ部７１１ｃの内周、すなわち、シリンダ本体７１１の外周面の径寸法と等しい内径を有する。また、リング７５４は、フランジ部７１１ｃの外径寸法と等しい外径を有する。

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、付勢部材７２０、つまり、内バネ７２１の端部７２１ｂおよび外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

リング７５４のケーシング蓋７５２に対向する面には、周溝７１１ｄに対応するように周溝７５４ｄが周設される。
周溝７５４ｄには、付勢部材７２０となる内バネ７２１の端部７２１ｂが当接している。周溝７５４ｄの外周位置となるリング７５４のケーシング蓋７５２に向かう面には、外バネ７２２の端部７２２ｂが当接している。

ケーシング筒７５１と後ケーシング７５３との間には、駆動系支持部７５１ｋおよび駆動系支持部７５３ｋが設けられる。駆動系支持部７５１ｋおよび駆動系支持部７５３ｋは、収納空間７５５よりも駆動軸７３１の径方向外側に向けて延在する。

駆動系支持部７５１ｋおよび駆動系支持部７５３ｋは、ケーシング筒７５１および後ケーシング７５３に対して周方向の一部分をなすフランジ状に形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、互いに接触している。駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの間には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ、ボールベアリング７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７が挟持される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとの対向する面には、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ、ボールベアリング７３２ｇ、外側ギア７３２ｄ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７に対応する凹凸が形成される。

駆動系支持部７５１ｋと駆動系支持部７５３ｋとは、ネジ駆動ギア７３２、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇ、駆動ギア７３３ｄ、駆動ギア７３３ｅ、回転軸７３４、駆動ギア７３５、回転軸７３６、駆動ギア７３７を、対向する面の間で支持している。
また、駆動系支持部７５１ｋには、回転駆動軸７０５ａが貫通している。駆動系支持部７５１ｋには、モータ等の駆動部７０５が取り付けられている。

ケーシング筒７５１とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｆが設けられる。ボールベアリング７３２ｆは、ケーシング筒７５１に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。
後ケーシング７５３とネジ駆動ギア７３２との間にはボールベアリング７３２ｇが設けられる。ボールベアリング７３２ｇは、後ケーシング７５３に対してネジ駆動ギア７３２を回転可能に支持する。

後ケーシング７５３には、駆動軸７３１が軸方向に移動した際に、駆動軸７３１の端部７３１ｂの逃げとなる後空間７５６が形成される。
後空間７５６の容積は、収納空間７５５の容積との和が、油圧空間７１４に充填された作動油の量と、メインシリンダ（油圧発生部）７０１に接続された全ての複数の押しつけシリンダ７０の固定部７１に充填された作動油の量と、の和に対して、等しいか大きくなるように設定される。

後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、ネジ駆動ギア７３２が配置される。つまり、後空間７５６と収納空間７５５との境界となる位置には、駆動軸７３１が軸方向に移動可能として配置されている。

後空間７５６には、すべり溝７５７が形成される。すべり溝７５７は、後空間７５６を拡径するように形成される。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の径方向外側に位置する。すべり溝７５７は、駆動軸７３１の軸方向に延在する。

すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の軸方向の移動を可能とする。すべり溝７５７は、回り止め７３１ｈが内部を摺動することで、駆動軸７３１の周方向における回転を規制する。
後空間７５６の端部は、蓋部７５８によって閉塞されている。

後ケーシング７５３の外周面には、検出凹部７６０ａが設けられる。検出凹部７６０ａは、駆動軸７３１の軸方向において、後空間７５６における蓋部７５８に近接する側となる位置に設けられる。
検出凹部７６０ａは、後空間７５６には連接しておらず、後空間７５６は後ケーシング７５３によって密閉されている。

検出凹部７６０ａの内部には、駆動軸７３１の軸方向位置を検出可能なリードスイッチ（磁気検出部）７６０が配設される。リードスイッチ（磁気検出部）７６０は、制御部７０６に接続される。
検出凹部７６０ａの開口部分は、カバー部７６０ｂによって閉塞される。カバー部７６０ｂの外面は、後ケーシング７５３の外周面と面一とされる。

後ケーシング７５３の外周面には、検出凹部７６１ａが設けられる。検出凹部７６１ａは、駆動軸７３１の軸方向において、後空間７５６におけるネジ駆動ギア７３２に近接する側となる位置に設けられる。
検出凹部７６１ａは、後空間７５６には連接しておらず、後空間７５６は後ケーシング７５３によって密閉されている。

検出凹部７６１ａの内部には、駆動軸７３１の軸方向位置を検出可能なリードスイッチ（磁気検出部）７６１が配設される。リードスイッチ（磁気検出部）７６１は、制御部７０６に接続される。
検出凹部７６１ａの開口部分は、カバー部７６１ｂによって閉塞される。カバー部７６１ｂの外面は、後ケーシング７５３の外周面と面一とされる。

リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１は、駆動軸７３１の縮退位置と伸長位置とに対応して、これらを検出可能な位置に設けられる。
リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１は、いずれも略同一の構成とされ、所定の大きさの磁界が印加されることにより接点を閉じて、印加磁界の存在を検出可能な構成とされる。

具体的には、リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１が、磁気材料である鉄ニッケル合金線材をプレスしてリード片に加工し、その先端の接点部を白金系金属で電気めっきしたものをわずかな間隔で対向させ、不活性ガスとともにガラス管の中に封入した構造とすることができる。

なお、リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１は、このような磁気検出が可能であれば、他の構成とすることもできる。具体的には、ＡＭＲ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｍａｇｎｅｔｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）センサ等の磁気スイッチとすることも可能である。

駆動軸７３１の後空間７５６側となる端部７３１ｂには、軸位置マグネット７６４が設けられる。
軸位置マグネット７６４は、所定強度の磁場を常に形成する永久磁石とされる。
軸位置マグネット７６４は、非磁性体とされるスペーサ７６３を介して駆動軸７３１の軸方向端面に配置される。
軸位置マグネット７６４は、駆動軸７３１の軸方向にＮ極およびＳ極が向くように配置される。

スペーサ７６３は、例えばアルミニウム等とされる非磁性体からなる。
スペーサ７６３における駆動軸７３１の軸方向における厚さ寸法は、軸位置マグネット７６４からの磁束をリードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１で検出可能な磁気回路を形成可能な条件として設定される。

スペーサ７６３は、駆動軸７３１の軸方向において、軸位置マグネット７６４が、例えば鋼材等の磁性体とされる駆動軸７３１から所定距離だけ離間した配置となる。

スペーサ７６３によって、軸位置マグネット７６４の形成する磁場が、例えば鋼材等の磁性体とされる駆動軸７３１側に変形されてしまうことを防止する。
これにより、駆動軸７３１の径方向において、軸位置マグネット７６４の形成する磁場が減弱することを防止できる。

したがって、スペーサ７６３によって、軸位置マグネット７６４の形成する磁場が、リードスイッチ（磁気検出部）７６０および／またはリードスイッチ（磁気検出部）７６１で検知可能な強度を維持することができる。

まず、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて軸方向に移動した場合を想定する。

この場合、駆動軸７３１の移動にともなって、リードスイッチ（磁気検出部）７６０に軸位置マグネット７６４が近接する。
すると、軸位置マグネット７６４の形成した磁界が増大して、リードスイッチ（磁気検出部）７６０の接点が閉じて、磁気が所定強度以上になったことを検知する。

これにより、リードスイッチ（磁気検出部）７６０は、駆動軸７３１が収納空間７５５から後空間７５６に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向にリードスイッチ（磁気検出部）７６０で規定された位置に到達したことを検知する。

また、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて軸方向に移動した場合を想定する。

この場合、駆動軸７３１の移動にともなって、リードスイッチ（磁気検出部）７６１に軸位置マグネット７６４が近接する。
すると、軸位置マグネット７６４の形成した磁界が増大して、リードスイッチ（磁気検出部）７６１の接点が閉じて、磁気が所定強度以上になったことを検知する。

これにより、リードスイッチ（磁気検出部）７６１は、駆動軸７３１が後空間７５６から収納空間７５５に向けて移動した場合に、駆動軸７３１が軸方向にリードスイッチ（磁気検出部）７６１で規定された位置に到達したことを検知する。

ここで、リードスイッチ（磁気検出部）が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を停止する信号を出力する。
これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を停止する。したがって、リードスイッチ（磁気検出部）の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

あるいは、リードスイッチ（磁気検出部）７６１が、駆動軸７３１が軸方向における所定の位置に到達したことを制御部７０６に出力した場合、信号を受け取った制御部７０６は、モータ等の駆動部７０５の駆動を開始する信号を出力する。
これにより、モータ等の駆動部７０５は駆動を開始する。したがって、リードスイッチ（磁気検出部）７６１の設置された位置によって、駆動軸７３１の移動位置が規制される。

このように、メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、制御部７０６の出力信号によって、モータ等の駆動部７０５における駆動状態の切り替えを可能とされる。

制御部７０６が駆動信号を出力すると、モータ等の駆動部７０５が駆動して、回転駆動軸７０５ａが回転する。回転駆動軸７０５ａの回転により、回転駆動軸７０５ａに取り付けられた駆動ギア７３７が回転する。駆動ギア７３７の回転は、噛合する駆動ギア７３５に伝達される。駆動ギア７３５の回転は、噛合する駆動ギア７３３ｅに伝達される。

駆動ギア７３３ｅの回転は、一体として形成された駆動ギア７３３ｄに伝達される。駆動ギア７３３ｄの回転は、噛合する外側ギア７３２ｄに伝達されて、ネジ駆動ギア７３２が回転する。外側ギア７３２ｄの回転は、一体として形成されたネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃに伝達される。

ネジ駆動ギア７３２の内側螺面７３２ｃの回転は、噛合する駆動軸７３１のボールネジ７３１ｃに伝達されて、駆動軸７３１が回転する。ネジ駆動ギア７３２は、ボールベアリング７３２ｆ，７３２ｇによって支持されているので、回転しても、軸方向に移動しない。

駆動軸７３１は、内側螺面７３２ｃによって支持されるとともに、回り止め７３１ｈがすべり溝７５７の内部に位置して、駆動軸７３１の移動方向が規制されている。このため、駆動軸７３１は、回転した場合に軸方向に移動する。
このように、駆動伝達部によって、モータ等の駆動部７０５の回転駆動力が駆動軸７３１に伝達され、駆動軸７３１が軸方向に移動する。

駆動軸７３１が軸方向に移動すると、一体として接続されたシリンダ本体７１１も、同様にして軸方向に移動する。このとき、ピストン７１２は、ケーシング蓋７５２に固定されているので移動しない。これにより、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが軸線方向に相対的に移動する。

ここで、シリンダ本体７１１とピストン７１２とが相対的に移動することで、シリンダ本体７１１内部の油圧空間７１４の容積が変化する。油圧空間７１４の容積変化に応じて、油圧空間７１４に充填された非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３に流入または流出する。

シリンダ本体７１１には、フランジ部７１１ｃに当接する付勢部材７２０となる内バネ７２１および外バネ７２２が付勢力を付与している。

本実施形態の真空アクチュエータ７００においては、ノーマルプッシュ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動していない際に、可動部（伸縮ロッド）７２を伸長可能とする。このため、メインシリンダ（油圧発生部）７０１の油圧シリンダ７１０において、付勢部材７２０からの付勢力は、内バネ７２１および外バネ７２２が伸長する方向となる。つまり、付勢部材７２０からシリンダ本体７１１へ付与された付勢力は、シリンダ本体７１１がネジ駆動ギア７３２から離間する方向となる。
したがって、付勢部材７２０の付勢力は、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積が減少するように付与されている。

また、本実施形態の真空アクチュエータ７００においては、ノーマルプッシュ、つまり、モータ等の駆動部７０５が駆動された際に、可動部（伸縮ロッド）７２を縮退可能とする。このため、メインシリンダ（油圧発生部）７０１の油圧シリンダ７１０において、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１が移動する方向は付勢部材７２０の付勢力と反対向きとなる。つまり、モータ等の駆動部７０５の駆動により、駆動軸７３１はピストン７１２から離間する方向に移動する。
したがって、モータ等の駆動部７０５の駆動により、シリンダ本体７１１における油圧空間７１４の容積は増大するように駆動軸７３１が移動する。

メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動しない場合、図１に示すように、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、油圧空間７１４積が加圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が、油圧空間７１４から油圧流路７１３を介して油圧管７０２に対して流入する。このとき、押しつけシリンダ７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが伸長する。

また、メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、モータ等の駆動部７０５を駆動した場合、図２に示すように、モータ等の駆動部７０５の駆動力によって油圧空間７１４の容積が増大する。これにより、油圧空間７１４積が減圧される。非圧縮性流体である圧油（駆動流体）が油圧流路７１３を介して油圧管７０２から油圧空間７１４に対して流入する。このとき、押しつけシリンダ７０では油圧が作用して、可動部（伸縮ロッド）７２の先端部７２ａが縮退する。

また、メインシリンダ（油圧発生部）７０１では、何らかの原因により、シリンダ本体７１１がケーシング蓋７５２側にオーバーランした場合でも、図３に示すように、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２に当接して、シリンダ本体７１１の移動を停止する。これにより、油圧空間７１４の減少を所定範囲に制限する。したがって、メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、過剰な圧油（駆動流体）を押しつけシリンダ７０へ流入させないことができる。

本実施形態の真空アクチュエータ７００において、軸位置マグネット７６４、リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１によって、収納空間７５５における密閉状態を維持したまま、駆動軸７３１の軸方向位置、つまり、油圧空間７１４の容積を検知することが可能となる。
したがって、異常増圧による油漏れが発生した場合でも、これを収納空間７５５に貯留した、真空アクチュエータ７００の油圧回路以外に作動油が漏れてしまうことを防止できる。

本実施形態の真空アクチュエータ７００において、油圧空間７１４、油圧流路７１３、油圧管７０２、固定部７１等から形成される油圧回路が過剰圧力状態となった場合に、過圧防止部７８０が収納空間７５５に向けて過剰圧力を開放する。これにより、何らかの異常が起こって過剰圧力が発生した場合でも、過圧防止部７８０以外が破壊されることなく過剰圧力を収納空間７５５に逃がして、真空アクチュエータ７００の油圧回路以外に作動油が漏れてしまうことを防止できる。

同時に、付勢部材７２０およびシリンダ本体７１１が収納された収納空間７５５を、真空側となる外部への油漏れを防止する緩衝空間とすることができる。
したがって、油圧によって駆動されるアクチュエータとして、単位容積当たりの出力を高い状態を維持しながら、部品点数の増加を防止して、油漏れを確実に防止することが可能となる。

このとき、収納空間７５５および後空間７５６の容積の和が、緊急時に漏れる可能性のある油量に比べて等しいか大きくなるように設定されることで、油漏れを確実に防止することが可能となる。
ここで、緊急時に漏れる可能性のある油量とは、概ね、メインシリンダ（油圧発生部）７０１に接続された全ての複数の押しつけシリンダ７０の固定部７１に充填された作動油の量と、油圧空間７１４に充填された作動油の量との和を意味する。

本実施形態においては、連通維持部７８２によって、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２の内面に当接した場合でも、過圧防止部７８０の表面が収納空間７５５への連通状態を維持可能である。これにより、フランジ部７１１ｃがケーシング蓋７５２の内面に当接した場合でも、連通維持部７８２によって過圧防止部７８０の表面から開放された過圧状態の作動油が収納空間７５５へと放出されることを妨げない。

本実施形態において、過圧防止部７８０を油圧流路７１３に連通する過圧防止流路７８１が、ケーシング蓋７５２の厚さ方向の中側に位置することにより、ケーシング蓋７５２外部に別の流路を設ける必要がない。したがって、真空アクチュエータ７００における省スペース化を図りつつ、過圧状態が発生した場合でも、油漏れを防止することができる。

さらに、本実施形態の真空アクチュエータ７００においては、固定部７１から油圧管７０２を介して油圧空間７１４までの油圧回路で油が漏れた場合に、これを検出することができる。
具体的には、油圧回路において収容される油量が減少した場合には、付勢部材７２０の付勢力によって油圧空間７１４の容積が減少する。これにより、軸方向における駆動軸７３１の往復動作範囲が、想定した位置からピストン７１２に近接する方向に移動することになる。

したがって、想定した位置に比べて、駆動軸７３１の軸方向移動における早い段階でリードスイッチ（磁気検出部）７６１から検出信号が出力されることになる。このため、油圧回路において収容される油量が減少したことを検出可能である。

さらに、本実施形態の真空アクチュエータ７００においては、図３に示すオーバーラン時に、駆動軸７３１の軸方向位置を検出するリードスイッチ（磁気検出部）を、リードスイッチ（磁気検出部）７６１よりもケーシング蓋７５２側に配置することもできる。
これにより、図３に示すオーバーランを検出することが可能となる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータおよび真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。

図４は、本実施形態における仕切りバルブの退避位置（弁開放位置）を示す流路に沿った模式断面図である。
図５は、本実施形態における仕切りバルブの弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）を示す流路に沿った模式断面図である。
図６は、本実施形態における仕切りバルブの弁閉塞位置を示す流路に沿った模式断面図である。
図７は、本実施形態における真空アクチュエータの油圧駆動手段を示す模式図である。

本実施形態において、上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
図において、符号１００は、仕切りバルブである。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、ノーマルクローズ動作可能な振り子型スライド弁である。
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図４〜図６に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、真空アクチュエータ（油圧駆動手段）７００と、を備える。

本実施形態における真空アクチュエータ７００は、図４〜図７に示すように、仕切りバルブ１００において、弁閉塞位置とする付勢部（押しつけシリンダ）７０と、これを駆動するメインシリンダ（油圧発生部）７０１と、を有する油圧駆動手段（非圧縮性流体駆動部）とされる。

仕切りバルブ１００において、弁箱１０は、中空部１１と、中空部１１を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路Ｈとなる第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂと、を有する。
流路Ｈは、第２開口部１２ｂから第１開口部１２ａに向かって設定されている。

弁体５は、弁箱１０の中空部１１内に配置され流路Ｈを開放および閉塞可能である。
回転軸２０は、流路Ｈ方向に延在する軸線を有する。
回転軸２０は、弁体５を中空部１１内における退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間で回転可能に支持する。

退避位置（弁開放位置）では、弁体５が第１開口部１２ａから退避して流路Ｈを連通可能な開放状態（図４）とされる。
弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）では、弁体５が第１開口部１２ａを遮蔽する閉塞可能状態（図５）にする。

仕切りバルブ１００は、退避位置（弁開放位置）と弁閉塞位置（図６）との間で動作する。
回転駆動部２１は、回転軸２０を回転駆動可能であり、弁体５を往復回転動作させることが可能である。

弁体５は、回転軸２０に接続される中立弁部３０、中立弁部３０に接続される弁枠部６３、および、弁枠部６３に接続される可動弁部（可動弁板部）５４から構成される。
中立弁部３０は、回転軸２０に固定される。中立弁部３０は、中空部１１における流路Ｈ方向の中央位置を維持する。

弁枠部６３は、可動弁部（可動弁板部）５４の周囲に位置する。弁枠部６３は、中立弁部３０に固定される。弁枠部６３は、中立弁部３０とともに、退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、中空部１１の中央位置を維持する。

可動弁部（可動弁板部）５４は、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。可動弁部（可動弁板部）５４は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置を変更可能である。

可動弁部（可動弁板部）５４は、退避位置（弁開放位置）および退避位置（弁開放位置）と弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）との間の往復回転動作において、中空部１１の中央位置を維持する。
可動弁部（可動弁板部）５４には、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は弁箱１０に埋め込んで設けられる。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４の周方向に沿って複数配置される。

なお、真空アクチュエータ７００において、伸縮ロッド（可動部）７２が伸張する真空側となるチャンバＣｈは、流路Ｈと連通する中空部１１に対応する。

弁箱１０に内蔵された弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧管７０２を介して大気側に設けられるメインシリンダ（油圧発生部）７０１に接続される。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧によって駆動される。
メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に非圧縮性流体（圧油）を給排、つまり、供給および排出して、複数の付勢部（押しつけシリンダ）７０を同時に駆動する。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに向けて付勢して、弁板シールパッキンを第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能とする機能を有する。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある可動弁部（可動弁板部）５４の周囲を流路Ｈ方向に押圧して、移動した可動弁部（可動弁板部）５４により流路Ｈをクローズ（閉塞）する。

また、本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）と弁閉塞位置とにおいて、可動弁部（可動弁板部）５４が弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。
さらに、弁枠部６３または可動弁部（可動弁板部）５４には、図示していないが、可動弁部（可動弁板部）５４を弁枠部６３に対して流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置に向けて付勢する付勢部（中立付勢部）を備える。

これにより、仕切りバルブ１００は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が動作していない場合には、弁箱１０の内部において、可動弁部（可動弁板部）５４が中空部１１の中央位置に維持するノーマルクローズ機構を有する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠部６３の付勢部（中立付勢部）とによって、弁枠部６３と可動弁部（可動弁板部）５４との流路Ｈ方向における厚み寸法が調整可能である。

回転軸２０が流路Ｈの方向に交差する方向に回転すると、この回転に従って、回転軸２０に固定されている中立弁部３０も一体として回動する。また、可動弁部（可動弁板部）５４は中立弁部３０に厚さ方向のみ摺動可能とされているため、可動弁部（可動弁板部）５４は、中立弁部３０と一体に回転する。

中立弁部３０を回転することにより、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置（弁開放位置）から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈを遮蔽する弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に、可動弁部（可動弁板部）５４が振り子運動で移動する。

本実施形態の真空アクチュエータ７００において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の固定部７１は弁箱１０に内蔵される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、付勢部材（押しつけバネ）７３を有する。付勢部材（押しつけバネ）７３は、可動弁部（可動弁板部）５４から離間する方向に可動部（伸縮ロッド）７２を付勢可能として配置される。
なお、付勢部材（押しつけバネ）７３は、図４〜６では図示していない。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、図４，図５に示すように、付勢部材（押しつけバネ）７３によって縮退した可動部（伸縮ロッド）７２が、可動弁部（可動弁板部）５４から離間して、弁箱１０に内蔵された固定部７１に収納される。

これにより、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、縮退した収納状態から、油圧の供給により可動部（伸縮ロッド）７２を伸長する。この際、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動部（伸縮ロッド）７２によって、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａに向けて移動させて、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に接触させる。さらに、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁部（可動弁板部）５４を弁箱１０の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

この可動部（伸縮ロッド）７２の伸長状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧の解除によって可動部（伸縮ロッド）７２の先端部を縮退させる。この際、付勢部（中立付勢部）は、可動弁部（可動弁板部）５４を第１開口部１２ａから離間させる。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁箱１０の内面から引き離されて退避される。可動弁部（可動弁板部）５４を流路Ｈ方向における中空部１１の中央位置とすることにより、流路Ｈを開放する（解除動作）。

このように、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作と機械的な分離動作とによって、閉弁動作と解除動作が可能となる。
ここで、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な当接動作とは、弁箱１０の内面に対して可動弁部（可動弁板部）５４を当接させる動作である。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０における機械的な分離動作とは、付勢部（中立付勢部）によって、弁箱１０の内面から可動弁部（可動弁板部）５４を引き離す動作である。

この解除動作の後に、回転軸２０が回転駆動部２１によって回転駆動される（退避動作）と、この回転に従って中立弁部３０および可動弁部（可動弁板部）５４も一体として回動する。
仕切りバルブ１００は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部（可動弁板部）５４が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置（弁開放位置）に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

真空アクチュエータ７００における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の駆動は、メインシリンダ（油圧発生部）７０１から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によっておこなわれる。

真空アクチュエータ７００は、メインシリンダ（油圧発生部）７０１と、油圧管７０２と、切替弁（スプール弁）８００と、を有する。

切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が弁閉塞位置および弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。

メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、仕切りバルブ１００におけるノーマルクローズが可能な構成とされている。
メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、可動部（伸縮ロッド）７２を伸縮動作する際に、正圧または負圧となる油圧を弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に供給するとともに、動作終了時に、油圧状態を維持可能とされている。また、可動弁部（可動弁板部）５４への可動部（伸縮ロッド）７２の当接状態を適切に制御可能となっている。

本実施形態における仕切りバルブ１００においては、図４に示すように、可動弁部（可動弁板部）５４が退避位置（弁開放位置）にあって、流路Ｈが全開して流通可能な状態とされる。

また、可動弁部（可動弁板部）５４が、図４に示す退避位置（弁開放位置）から、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで閉回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に到達した直後は、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされておらず、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能である。

また、真空アクチュエータ７００における可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する密閉動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から、図６に示す弁閉塞位置にまで摺動して、流路Ｈが閉塞される。

次に、真空アクチュエータ７００における可動部（伸縮ロッド）７２の縮退駆動により、可動弁部（可動弁板部）５４が流路Ｈ方向における位置を変更する開放動作をおこなう。これにより、可動弁部（可動弁板部）５４が、図６に示す弁閉塞位置から、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にまで摺動する。この際には、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４で覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から閉回転動作を開始した直後には、流路Ｈの密閉が解除され、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４の周縁部付近で一部流通可能になる。同時に、流路Ｈが可動弁部（可動弁板部）５４によって遮蔽されているが、密閉はされていない状態となる。

さらに、可動弁部（可動弁板部）５４が、図５に示す弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から図４に示す退避位置（弁開放位置）にまで開回転動作する間は、流路Ｈが部分的に可動弁部（可動弁板部）５４によって覆われており、流路Ｈが一部流通可能である。
なお、可動弁部（可動弁板部）５４の回転動作中は、真空アクチュエータ７００は可動部（伸縮ロッド）７２の縮退状態を維持し、可動部（伸縮ロッド）７２の伸長駆動はおこなわない。

本実施形態においては、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図８は、本実施形態に係る真空アクチュエータにおけるメインシリンダを示す拡大断面図である。
本実施形態においては、上述した第１実施形態と異なるのは、過圧防止流路７８１および過圧防止部７８０の配置に関し、これ以外の共通する構成には、同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態においては、図８に示すように、過圧防止流路７８１が、収納空間７５５に露出していないケーシング蓋７５２の厚さ方向における中部位置に設けられることができる。この場合でも、過圧防止流路７８１は、ピストン７１２の径方向に延在する部分を有する。
また、図８に示すように、連通維持部７８２が、フランジ部７１１ｃを貫通する貫通孔として設けることができる。この場合、連通維持部７８２は、過圧防止部７８０に対向する位置として、ピストン７１２の軸方向に延在する。

本実施形態においては、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

以下、本発明に係る真空アクチュエータの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図９は、本実施形態に係る真空アクチュエータにおけるメインシリンダを示す拡大断面図である。
本実施形態においては、上述した第１実施形態と異なるのは、過圧防止流路７８１および過圧防止部７８０の配置に関し、これ以外の共通する構成には、同一の符号を付してその説明を省略する。

図９に示すように、過圧防止流路７８１が、収納空間７５５の外側に設けられることができる。この場合、過圧防止流路７８１は、ケーシング７５０の外側位置で、油圧管７０２に接続される。また、過圧防止部７８０が、ケーシング筒７５１に設けられることもできる。この場合、連通維持部７８２を設ける必要はない。
あるいは、図示していないが、過圧防止部７８０が、ケーシング蓋７５２に設けられてもよい。

本実施形態においては、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

さらに、本実施形態において、軸位置マグネット７６４、リードスイッチ（磁気検出部）７６０およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１は、次のような条件を満たすことができる。

図１０〜図１３は、磁気検出部を説明するための図である。
図１０は、軸位置マグネット７６４とリードスイッチ（磁気検出部）７６０との位置関係を示す図である。
図１１は、図１０に示す位置関係において、軸位置マグネット７６４の形成する磁界Ｐｉを、リードスイッチ（磁気検出部）７６０によって測定した結果である。

図１２は、軸位置マグネット７６４とリードスイッチ（磁気検出部）７６０、リードスイッチ（磁気検出部）７６１およびリードスイッチ（磁気検出部）７６１との位置関係を示す図である。なお、図１２には、図３に示すオーバーラン時に検出可能なリードスイッチ（磁気検出部）７６５を有する構成である。
図１３は、図１２に示す位置関係において、軸位置マグネット７６４の形成する磁界Ｐｉを、リードスイッチ（磁気検出部）７６０，７６１，７６５によって測定した結果である。

図１３に示すグラフ中におけるｘ＝８ｍｍ付近の横線は、軸位置マグネット７６４外周の磁気検出部７６０，７６１，７６５側の接線を示しており、各磁気検出部７６０，７６１，７６５の動作回数は、Ｐｉ下限付近で２回、Ｐｉ上限付近で１回である。

以下、本発明に係る真空アクチュエータを備えた仕切りバルブの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
本実施形態において上述した第２実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。

図１４は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図である。
図１５は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。図１５は、図１４における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図１６〜図１９は、図１５と同様に、弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）に配置されている場合を示す図である。
図１６は、図１４における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された弁箱付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図１７は、図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図１８は、図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱付勢部と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。
図１９は、図１４における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、図１５において弁枠付勢部を紙面奥行き方向に見た図である。

図２０は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。図２０は、図１４における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図２１〜図２４は、図２０と同様に、弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）に配置されている場合を示す図である。
図２１は、図１４における線分Ａ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された弁箱付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２２は、図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２３は、図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱付勢部と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。
図２４は、図１４における弁枠付勢部の要部を示す拡大図であり、図１８において弁枠付勢部を紙面奥行き方向に見た図である。

図２５は、本実施形態における仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図で、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。図２５は、図１４における線分Ｂ−Ｏ−Ｃに相当する。図２６〜図２８は、図２４と同様に、弁体が逆圧位置に配置されている場合を示す図である。
図２６は、図１４における線分Ａ−Ｏに沿う部を示す拡大図であり、弁箱に内蔵された弁箱付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２７は、図１４における線分Ｂ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、可動弁枠部と可動弁板部との間に配された弁板付勢部の付近に位置する部材の構造を示す図である。
図２８は、図１４における線分Ｃ−Ｏに沿う要部を示す拡大図であり、弁箱付勢部と弁板付勢部が存在しない位置における可動弁枠部と可動弁板部を示す図である。

図２９は、図１５における弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。
図３０は、図１５における弁箱での弁箱付勢部の配置を示す斜視図である。

［振り子型仕切りバルブ］
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、図１４〜図１８に示すように、振り子型スライド弁である。

仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り、また、この仕切り状態を開放する。つまり、仕切りバルブ１００は、流路Ｈを閉鎖した状態と、第１空間と第２空間とをつなぐ状態と、を切り替える。
仕切りバルブ１００は、弁箱１０と中立弁体５と回転軸２０とを備える。
弁箱１０の内部には中空部１１が形成される。弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成される。
弁箱１０には、中空部１１を挟んで互いに対向するように第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂが設けられる。

第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂまでは中空部１１を介して連通される。
第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。
第１開口部１２ａは、第１空間に露出されている。第２開口部１２ｂは、第２空間に露出されている。つまり、仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間との間に挿入される。
なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路Ｈ方向と称することがある。

弁箱１０の中空部１１内には、中立弁体５が配置される。
中立弁部３０は、位置切り替え部としての回転軸２０に接続される。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、不図示の駆動装置により回転可能である。

回転軸２０には、接続部材（不図示）が固着されている。
接続部材は、例えば、略平板状の部材である。接続部材は、回転軸２０の一端に対してネジ等によって固着される。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して中立弁部３０が固定される。
あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに中立弁部３０が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、中立弁体５の位置切り替え部として機能する。

中立弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。本実施形態においては、第１開口部１２ａを閉塞可能とする。
中立弁体５は、弁閉塞位置と弁開放位置との間で動作する。
弁閉塞位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａに対して閉塞状態（図２０）にする。
弁開放位置において、中立弁体５は、第１開口部１２ａから退避した開放状態（図１５）にする。
中立弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。

中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。

中立弁部３０は、図１４に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、流路Ｈ方向視して、可動弁部４０と重なるように配置される。
回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。

回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて、２本の腕が延びたアーム形状で形成されている。回転部３０ｂは、アーム部と呼称されてもよい。
これら回転軸２０、中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。

可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、２つの可動弁枠部６０（スライド弁板）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。

可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部９０（補助バネ）が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部９０（補助バネ）によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。

可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に嵌合される。可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁枠部６０は、可動弁板部５０の周囲を囲むように配置される。
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。

可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図１５に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。
往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。

可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する位置に、カウンタークッション５１が周設される。
カウンタークッション５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。
カウンタークッション５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。

カウンタークッション５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

カウンタークッション５１は、弾性体である。
カウンタークッション５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。カウンタークッション５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。

可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。

可動弁板部５０の外周付近における全領域には、内周クランク部５０ｃが形成される。内周クランク部５０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面５０ｂを有する。
可動弁枠部６０の内周付近における全領域には、外周クランク部６０ｃが形成される。外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向と平行な摺動面６０ｂを有する。
外周クランク部６０ｃおよび内周クランク部５０ｃは嵌合している。

摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃと内周クランク部５０ｃとの間には、Ｏリング等からなる摺動シールパッキン５２が配される。摺動シールパッキン５２により、摺動時における、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。

可動弁枠部６０には、弁箱１０の内面に対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱１０の内面に密着可能である。

弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。

弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。弁枠シールパッキン６１と摺動シールパッキン５２とが、図１６〜図１８に示すラインＲに重なるように配置される。
このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。

弁枠付勢部９０は、中立弁部３０の円形部３０ａと、流路Ｈ方向視して円形部３０ａと重なる可動弁枠部６０の位置規制部６５と、の間に配置される。
弁枠付勢部９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。

弁枠付勢部９０は、円形部３０ａの周方向に等間隔を有して複数配置される。図１４では、３個の弁枠付勢部９０が配置された構成例を示している。

弁枠付勢部９０は、弾性部材であり、板バネとされる。
弁枠付勢部９０（板バネ）は、その長手方向が円形部３０ａの周方向に沿って配置される。

弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、図１９に示すように、固定ピン９２と固定ピン９３とによって中立弁部３０の円形部３０ａに係止される。弁枠付勢部９０（板バネ）の両端部分は、それぞれ厚さ方向にリング状部材９２ａ、リング状部材９２ｂを挟んで円形部３０ａに係止される。
弁枠付勢部９０（板バネ）の中央部分は、印圧ピン９１によって可動弁枠部６０の位置規制部６５に係止される。

仕切りバルブ１００の開弁状態（図１５）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が狭くなる。
これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の距離が縮まる。
すなわち、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９２との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図１９）。同様に、弁枠付勢部９０における印圧ピン９１と固定ピン９３との間には、厚さ方向に褶曲する曲部９０Ａが形成される（図１９）。

これに対して、仕切りバルブ１００が閉弁状態（図２０）においては、流路Ｈ方向における中立弁部３０（アーム）と可動弁枠部６０との離間距離が広くなる。
これにより、弁枠付勢部９０は、高さ方向（厚さ方向）の距離が伸びる。すなわち、弁枠付勢部９０では、曲部９０Ａが解消する（図２４）。

弁枠付勢部９０は、閉弁状態（図２０）から開弁状態（図１５）へ変化する場合に、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０を引き離す機械的な分離動作を促す構造を有する。
弁枠付勢部９０は、機械的な分離動作を促す機能に加えて、中立弁部３０（アーム）に対する可動弁枠部６０の径方向および周方向の位置を保持する機能も備える。

弁箱１０には、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０（押しつけシリンダ）が内蔵されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、前述した第１〜第４実施形態における押しつけシリンダ７０とされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、メインシリンダ（油圧発生部）７０１に接続されており油圧によって駆動される。
メインシリンダ（油圧発生部）７０１は、前述した第１〜４実施形態におけるメインシリンダ（油圧発生部）７０１とされる。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、伸縮ロッド（可動部）７２とを有する。
油圧駆動部（固定部）７１は、中空部１１に対して弁箱内面１０Ｂよりも外側となるフレームの内部に埋め込まれた配置とされる。
伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在な配置とされる。

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに付勢可能な位置として弁箱１０に配される。複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの周囲に沿って等間隔に離間して設けられる。
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。

図２９，図３０には、互いに離間する弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置として、弁体の中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
中心Ｏから見て、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、弁板付勢部８０と弁枠付勢部９０との角度位置と重ならないように構成される。

開弁状態（図１５）から閉弁状態（図２０）とする場合に、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。

このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。

複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。

弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁部４０に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域に複数配置される。

複数の弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の周方向に等間隔を有する配置とされる。
弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましく、互いに離間して設けられる。
図１６は、弁体の中心Ｏから見て、３個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（１２０度）に配された構成例を示している。

弁板付勢部８０は、ボルト状のガイドピン８１の長軸部によって、可動弁板部５０の動きを誘導（規制）する。ガイドピン８１は、可動弁枠部６０に固定される。
弁板付勢部８０を構成する保持バネは、例えば、スプリング、ゴム等とされる弾性部材で形成されている。

弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。

ガイドピン８１は、太さ寸法が均一の棒状体で構成されている。ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設されて可動弁枠部６０に固設される。
ガイドピン８１は、可動弁板部５０に形成された孔部５０ｈに嵌合している。
ガイドピン８１は、可動弁板部５０と可動弁枠部６０の位置規制を誘導する。

弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向（符号Ｑで示す軸）が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないようにできる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。

以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。

本実施形態に係る仕切りバルブ１００においては、可動弁部４０が、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂに接していない状態を考える。
この状態で、回転軸２０を符号Ｒ１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。

すると、回転軸２０の回転に従って、中立弁部３０おおび可動弁部４０が方向Ｒ１に沿って振り子運動で回転移動する。
この回転によって、可動弁部４０は、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置から、第１開口部１２ａに対応する位置とされる流路Ｈの弁閉位置に移動する。

流路Ｈの弁閉位置において、可動弁部４０では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に付勢する。
可動弁枠部６０が伸縮ロッド（可動部）７２によって押圧されて、可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。

弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、機械的な当接動作として、弁箱内面１０Ａに可動弁枠部６０を当接させる。
可動弁枠部６０の弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着される。
これにより、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。

逆に、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。すると、弁枠付勢部９０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａから離間する方向に付勢有する。
弁枠付勢部９０は、機械的な分離動作として、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０を引き離す。
これにより、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａから引き離して、可動弁枠部６０を退避させる。これにより、前記流路Ｈを開放する（解除動作）。

これらの弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作によって、閉弁動作と解除動作が可能となる。

解除動作の後に、回転軸２０を符号Ｒ２で示された向きに回転させる（退避動作）。
すると、回転軸２０の回転に従って中立弁部３０および可動弁部４０も向きＲ２に回動する。

弁板付勢部８０は、一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０は上記弁開閉位置から上記退避位置に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。

［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図１５〜図１８には、可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ，１０Ｂとも接していない状態を示す。
この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と呼称する。

弁体がＦＲＥＥな状態において、上述した弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の機能により、可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接するまで移動させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧することによって、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
上述した弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の機能とは、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能である。

弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱１０の内側に縮退した状態にある。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、中立弁体５と接していない。

次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。
すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図１６に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。これにより、図１６に矢印Ｆ２で示すように、中立弁体５の可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに、可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。

このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。
同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。

［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図２０〜図２３には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と呼称する。

正圧／差圧無の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。
つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、中立弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。

正圧／差圧無の弁閉状態では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。
また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａ）と接した状態を維持する。

［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図２５〜図２７には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と呼称する。

逆圧の弁閉状態とは、中立弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態を保ちながら、他方の内面にも接した状態である。
つまり、逆圧の弁閉状態では、中立弁体５が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。
ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。

中立弁体５が逆圧を受けた場合、上述した弁板付勢部８０の機能により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２へ移動する。
上述した弁板付勢部８０の機能とは、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とを、往復方向Ｂ１，Ｂ２（図２５）に摺動しながら移動可能とする機能である。
このとき、可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。

これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。
このとき、カウンタークッション５１により、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。
往復方向Ｂ２の方向に中立弁体５が受けた力を、弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けてもらう機構が、逆圧キャンセル機構である。

さらに、正圧／差圧無の弁閉状態において、上述した弁枠付勢部９０の機能により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。
上述した弁枠付勢部９０の機能とは、可動弁枠部６０を中立弁部３０に対して流路方向における位置が変更可能に接続する機能、および、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する機能である。

このように、本実施形態の仕切りバルブ１００においては、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の重量に対応して弁体構造の軽量化、省スペース化が可能である。確実な閉塞動作が可能となる。動作上の安全性を向上することもできる。

なお、真空アクチュエータ７００の収納空間７５５および後空間７５６の容積の和が、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の固定部７１に充填された作動油の量と、油圧空間７１４に充填された作動油の量との和に比べて等しいか大きいことで、油漏れを防止できる。

また、真空アクチュエータ７００において、収納空間７５５および後空間７５６は、油漏れが発生した際に、漏れた油量に応じて内部圧力が上昇する。ここで、収納空間７５５および後空間７５６は、漏れた油、あるいは油ミストまたはその成分が気化して外部に放出されないように、機密性を有する構造とすることができる。具体的には、油漏れが発生した際に、ケーシング７５０等がシール状態を維持可能なように構成することができる。

真空・大気環境ともに周囲を油汚染する可能性を下げる目的で、作動油は蒸気圧の低い油を用いることが望ましい。作動油の蒸気圧は要求される真空度等により決定されるが、一般には１０^−３Ｐａ程度以下として選択される。

本実施形態の仕切りバルブ１００は、高い信頼性の仕切り動作が可能である。弁体の重量が軽減される。弁体の部品点数を削減できる。弁体の駆動力を抑制できる。弁体の構成の簡素化および軽量化が実現する。

なお、本実施形態の仕切りバルブ１００は、図１５に示すように、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が、第２開口部１２ｂに近い位置において、弁箱内面１０Ｂに内蔵されているが、本実施形態はこの構成に限定されない。

なお、上述した各実施形態において、それぞれの構成を組み合わせた構成とすることも可能である。

本発明は、真空装置等における真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。

７００…真空アクチュエータ（油圧駆動手段）
７０１…メインシリンダ（油圧発生部）
７０２…油圧管
７０５…駆動部
７０５ａ…回転駆動軸
７０６…制御部（コントローラ）
７０７…電源
７６０，７６１，７６５…リードスイッチ（磁気検出部）
７６０ａ，７６１ａ…検出凹部
７６０ｂ，７６１ｂ…カバー部
７６３…スペーサ
７６４…軸位置マグネット
７８０…過圧防止部
７８１，７８１ａ…過圧防止流路
７８２…連通維持部
７０…弁箱付勢部（押しつけシリンダ，付勢部）
７１…油圧駆動部（固定部）
７２…可動部（伸縮ロッド）
７３…付勢部材（押しつけバネ）
５…弁体，中立弁体
１０…弁箱
１１…中空部
２０…回転軸
２１…回転駆動部
３０…中立弁部
３０ａ…円形部
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５４…可動弁部（可動弁板部）
６０…可動弁枠部
６３…弁枠部
６５…位置規制部
８０…弁板付勢部（保持バネ）
８１…ガイドピン
９０…弁枠付勢部
１００…仕切りバルブ
７１０…油圧シリンダ
７１１…シリンダ本体
７１１ａ，７１１ｂ…端部
７１１ｃ…フランジ部
７１１ｄ…周溝
７１１ｅ…ブシュ
７１１ｆ，７１１ｇ…Ｙ形パツキン
７１２…ピストン
７１２ａ，７１２ｂ…端部
７１３…油圧流路
７１４…油圧空間
７２０…付勢部材
７２１…内バネ
７２１ａ，７２１ｂ…端部
７２２…外バネ
７２２ａ，７２２ｂ…端部
７３０…シリンダ駆動部
７３１…駆動軸
７３１ａ，７３１ｂ…端部
７３１ｃ…ボールネジ
７３２ａ…内ネジ駆動ギア（ネジ駆動ギア）
７３２ｂ…外ネジ駆動ギア（ネジ駆動ギア）
７３２ｄ…外側ギア
７３３ｄ，７３３ｅ…駆動ギア
７５０…ケーシング
７５１…ケーシング筒
７５２…ケーシング蓋
７５３…後ケーシング
７５４…リング
７５４ｄ…周溝
７５５…収納空間
７５６…後空間
７５７…溝
７５８…蓋部

Claims (7)

1. 真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
   前記メインシリンダが、
   内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
   軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
   一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
   前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
   前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
   前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
   前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
   前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
   駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
   を有し、
   前記収納空間の内面には、前記油圧流路に連通されて、前記油圧流路が過剰圧力状態となった場合に前記収納空間に向けて過剰圧力を開放可能な過圧防止部が設けられる
   ことを特徴とする真空アクチュエータ。
2. 前記過圧防止部が、前記収納空間の前記フランジ部に対向する位置に露出して配置され、前記フランジ部が前記ケーシングの内面に当接した場合でも前記過圧防止部の表面が前記収納空間への連通状態を維持可能とする連通維持部が設けられる
   ことを特徴とする請求項１記載の真空アクチュエータ。
3. 前記過圧防止部が、前記ケーシングの厚さ方向の中側に位置する過圧防止流路により前記油圧流路に連通される
   ことを特徴とする請求項１または２記載の真空アクチュエータ。
4. 真空雰囲気とされるチャンバ内で駆動する可動部と、前記可動部を駆動する固定部とを有し、前記固定部に作動油圧を供給するメインシリンダを有する真空アクチュエータであって、
   前記メインシリンダが、
   内部に密閉された収納空間を有するケーシングと、
   軸線方向に移動可能として前記ケーシングの前記収納空間に収納される有底筒状のシリンダ本体と、
   一端側が前記ケーシングを貫通した状態で前記収納空間の内側に固定されるとともに他端側が前記シリンダ本体に同軸状に挿入されて相対移動可能とするピストンと、
   前記シリンダ本体の内側と前記ピストンの他端面とで形成される油圧空間と、
   前記ピストンの軸線に沿って内部を貫通し前記油圧空間を前記固定部に連通するための油圧流路と、
   前記シリンダ本体の開口端部の径方向外向きに周設されたフランジ部と、
   前記ケーシングの前記収納空間に収納されて前記フランジ部を前記油圧空間が収縮する方向に付勢する付勢部材と、
   前記ケーシングの前記収納空間に収納されるとともに、一端側が前記シリンダ本体に同軸状態として接続されて前記シリンダ本体を前記ピストンに対して軸線方向に相対移動可能とする駆動軸と、
   駆動部によって前記駆動軸を駆動する駆動伝達部と、
   を有し、
   前記駆動軸の他端側には、非磁性体とされるスペーサを介して軸位置マグネットが設けられ、前記収納空間の外側に配置された磁気検出部により、前記軸位置マグネットの軸方向位置を検出可能とされる
   ことを特徴とする真空アクチュエータ。
5. 前記磁気検出部が、前記駆動軸の伸長位置と縮退位置とに対応してこれらを検出可能な位置に設けられる
   ことを特徴とする請求項４記載の真空アクチュエータ。
6. ノーマルクローズ動作可能な仕切りバルブであって、
   中空部と、
   前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第１開口部及び第２開口部とを有する弁箱と、
   前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
   前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
   前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
   前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
   前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
   前記弁箱付勢部を非圧縮性流体の給排により駆動する非圧縮性流体駆動部と、
   を具備し、
   前記弁箱付勢部および前記非圧縮性流体駆動部が、請求項１から５のいずれか記載の真空アクチュエータとされる
   ことを特徴とする仕切りバルブ。
7. 前記弁箱付勢部が複数設けられて、複数の前記弁箱付勢部に充填された作動油と前記油圧空間に充填された作動油の量に対して、前記収納空間の容積が等しいか大きくなるように設定される
   ことを特徴とする請求項６記載の仕切りバルブ。

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