RU2376399C1 - Вакуумный затвор для вакуумного устройства - Google Patents

Вакуумный затвор для вакуумного устройства Download PDF

Info

Publication number
RU2376399C1
RU2376399C1 RU2008127410/02A RU2008127410A RU2376399C1 RU 2376399 C1 RU2376399 C1 RU 2376399C1 RU 2008127410/02 A RU2008127410/02 A RU 2008127410/02A RU 2008127410 A RU2008127410 A RU 2008127410A RU 2376399 C1 RU2376399 C1 RU 2376399C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
shutter
vacuum
mgo
vapor deposition
electron gun
Prior art date
Application number
RU2008127410/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Эйити ИИДЗИМА (JP)
Эйити ИИДЗИМА
Original Assignee
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк.
Application granted granted Critical
Publication of RU2376399C1 publication Critical patent/RU2376399C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/246—Replenishment of source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/04—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members
    • F16K3/06—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with pivoted closure members in the form of closure plates arranged between supply and discharge passages

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Abstract

Изобретение относится к вакуумному затвору для отделения камеры осаждения и части электронной пушки вакуумного устройства и может найти применение при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и других изделий с тонкопленочными покрытиями. Корпус затвора (2) имеет отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу. Затвор содержит задвижку (3) для открытия/закрытия отверстий, цилиндрический подвижный щиток (22), выполненный с возможностью введения через отверстие на стороне рабочей камеры в корпус затвора при открытии затвора и свободного совершения возвратно-поступательного перемещения между ними. Приемный элемент (21) расположен в отверстии на стороне части электронной пушки и контактирует с концевой частью подвижного щитка (22). Приводное средство обеспечивает возвратно-поступательное перемещение подвижного щитка (22). Концевая часть подвижного щитка (22) и приемный элемент (21) сведены близко друг с другом с помощью приводного средства для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга. Даже когда вакуумный затвор для вакуумного устройства, используемого в устройстве парофазного осаждения, находится в открытом положении, в камере парофазного осаждения обеспечена надежность сохранения вакуума путем защиты внутренней поверхности корпуса затвора и задвижки от паров осаждаемого из паровой фазы материала. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Description

Область техники, к которой относится изобретение
Настоящее изобретение относится к вакуумному затвору, используемому в вакуумном устройстве, в частности к вакуумному затвору для электронной пушки устройства парофазного осаждения.
Уровень техники
В вакуумном устройстве, используемом при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и т.п., для открытия/закрытия каждой вакуумной камеры используется вакуумный затвор.
В уровне техники известны различные виды вакуумных затворов для вакуумных устройств. Например, при закрытии затвора используется прижимное герметизирующее устройство, что обеспечивает повышение эффективности герметизации (см., например, Патентные Документы 1 и 2). Кроме того, также известен маятниковый вакуумный затвор и т.п.
На фиг.5 и 6 приведен пример маятникового вакуумного затвора. В маятниковом вакуумном затворе 200, в уровне техники, отверстие 204b расположено в боковой стенке 202b корпуса 202 затвора, как показано на виде спереди (фиг.6). Кроме того, затвор 200 включает камеру 215 затвора, образованную двумя соединяемыми боковыми стенками 202a и 202b, маятниковую задвижку 203, расположенную в камере 215 затвора, и уплотнительное кольцо 205, как показано на виде сбоку разреза корпуса 202 затвора. В боковых стенках 202a и 202b выполнены отверстия 204a и 204b. К уплотнительному кольцу 205 прикреплены кольцевые уплотнительные элементы 206 и 207 (фиг.5).
При закрытии затвора 200, находящегося в открытом положении, пневмопривод 209, расположенный на стенке корпуса 202 затвора, приводится в действие с помощью сжатого воздуха, в результате чего вал 208 привода начинает вращаться, перемещая маятниковую задвижку 203 к передней стороне отверстия 204a, то есть в закрытое положение затвора. Затем пневмоцилиндр 211, приводимый в действие сжатым воздухом, перемещает шток 210, в результате чего уплотнительное кольцо 205 прижимается к задвижке 203. Таким образом, в корпусе 202 затвора уплотнительный элемент 207 перекрывает зазор между внутренней поверхностью вокруг отверстия 204b и уплотнительным кольцом 205, а уплотнительный элемент 206 перекрывает зазор между поверхностью задвижки 203 и уплотнительным кольцом 205. В результате проход между отверстием 204a и отверстием 204b перекрывается.
Здесь, в вакуумной камере вакуумного устройства парофазного осаждения как одного из вакуумных устройств в результате нагрева испаряется осаждаемый из паровой фазы материал, такой как металл, оксид металла или соединение металла (см. фиг.7). В указанном случае вырабатываемые испарителем пары осаждаемого из паровой фазы материала попадают в электронную пушку 252, что вызывает проблему, обусловленную сложностью непрерывной и стабильной генерации луча в течение длительного периода времени. Для решения указанной проблемы применяли различные меры, которые все же оказались неудачными.
Например, выпускное средство для выпуска газа было расположено вблизи выходного отверстия электронного луча, как, например, в вакуумном устройстве парофазного осаждения, показанном на фиг.7. В качестве альтернативы, с целью улавливания паров осаждаемого из паровой фазы материала, перед выходным отверстием электронного луча расположена ловушка (не показана) (см. Патентный Документ 3).
Однако в случае использования MgO, MgO попадает в электронную пушку в значительном количестве, таким образом необходимый эффект не может быть обеспечен. Даже если можно предотвратить попадание в электронную пушку паров осаждаемого из паровой фазы материала, необходимо периодическое обслуживание, например замена нити накаливания.
Патентный Документ 1: Опубликованная заявка на патент Японии № 2000-145980 (стр.3, фиг.1).
Патентный Документ 2: Опубликованная заявка на патент Японии № 2004-360754 (стр.4, фиг.1).
Патентный Документ 3: Опубликованная заявка на патент Японии № Hei 7-58832 (стр.4, фиг.1).
Раскрытие изобретения
Задача, на решение которой направлено настоящее изобретение
Устройство парофазного осаждения с использованием MgO, взятое в качестве примера вышеупомянутого вакуумного устройства, работает в непрерывном режиме в течение двух недель или больше. Более того, устройство, оборудованное автоматическим механизмом подачи MgO, может работать в непрерывном режиме в течение месяца. Однако расходуемые элементы электронной пушки, такие как нить накаливания или катод, нужно заменять каждые две или три недели. В другом случае, когда происходит авария, только часть электронной пушки иногда подвергают разгерметизации при атмосферном давлении с целью проведения обслуживания. В указанном случае, когда вакуумный затвор расположен между частью электронной пушки и камерой парофазного осаждения, и только часть электронной пушки подвергается разгерметизации при атмосферном давлении при закрытом вакуумном затворе во время замены, благодаря чему можно провести обслуживание, в камере парофазного осаждения может быть сохранен вакуум. В результате можно ожидать значительного уменьшения времени запуска при возобновлении работы.
Таким образом, в примере работающего устройства 250 парофазного осаждения с использованием MgO, показанного на фиг.7, используется вакуумный затвор для вакуумного устройства 200 из уровня техники.
На фиг.7, во внутреннем пространстве камеры 251 парофазного осаждения работающего устройства 250 парофазного осаждения с использованием MgO вакуум поддерживается откачивающим устройством (вакуумным насосом) (не показан), соединенным с выпускным отверстием 253.
Для проведения процесса парофазного осаждения на мишени 280 парофазного осаждения, показанной на фигуре, в нижней части устройства, в противоположном положении к мишени 280 парофазного осаждения расположен испаритель 254, включающий осаждаемый из паровой фазы материал (MgO) 281.
Кроме того, электронная пушка 252, которая служит в качестве источника высокой температуры для облучения осаждаемого из паровой фазы материала 281 электронным лучом, расположена сбоку от испарителя 254.
Здесь, перед электронной пушкой 252, в качестве затвора для отделения части электронной пушки от камеры парофазного осаждения 251, расположен вакуумный затвор 200 для вакуумного устройства. Когда вакуумный затвор 200 закрыт, можно проводить обслуживание электронной пушки 252, тогда как в камере 251 парофазного осаждения сохраняется вакуум.
Кроме того, для обеспечения работы в непрерывном режиме устройство 250 парофазного осаждения включает автоматический механизм 260 подачи, предназначенный для автоматической подачи осаждаемого из паровой фазы материала. Автоматический механизм 260 подачи состоит из камеры 261 подачи MgO (для хранения MgO в вакууме), устройства 263 подачи MgO (для количественной и непрерывной подачи MgO в испаритель), а также выбрасывателя 264 MgO.
MgO 282 в количестве около 5-200 кг или больше хранится в камере 261 подачи MgO, а необходимое количество MgO, около 1-1,5 кг, периодически загружается в устройство 263 подачи MgO. Для осуществления работы в периодическом режиме заслонка 267 подачи MgO открывается с помощью пневмоцилиндра 266. С помощью устройства 263 подачи MgO подается в испаритель 254, скользя по выбрасывателю 264 MgO.
Однако в вакуумном затворе 200 для вакуумного устройства из уровня техники, когда затвор находится в открытом положении, камера 215 затвора в корпусе 202 затвора остается в сообщении с камерой 251 парофазного осаждения. В указанном случае поверхность внутренней стенки корпуса 202 затвора и задвижка 203 контактируют с парами осаждаемого из паровой фазы материала 281 (MgO). Таким образом, осаждаемый из паровой фазы материал (MgO) налипает на внешние поверхности уплотнительных элементов 206 и 207, расположенных между поверхностью внутренней стенки корпуса 202 затвора и уплотнительным кольцом 205 и между затвором 203 и уплотнительным кольцом 205 соответственно, что обуславливает чрезвычайно низкую степень надежности при сохранении вакуума. Следовательно, возникает необходимость обслуживания камеры парофазного осаждения 251 при атмосферном давлении.
Способы решения задачи
Когда затвор закрыт, задвижка отделяет часть электронной пушки от камеры парофазного осаждения, как описано в уровне техники. Когда затвор открыт, цилиндрический подвижный щиток вводится в корпус затвора на такое расстояние через отверстие на стороне камеры парофазного осаждения, чтобы корпус затвора был отделен от камеры парофазного осаждения, в результате чего поверхность внутренней стенки корпуса затвора и задвижки защищена от налипания осаждаемого из паровой фазы материала (MgO). Вышеупомянутые меры могут предотвратить налипание на поверхности седла затвора осаждаемого из паровой фазы материала (MgO) и решить проблему, связанную с невозможностью поддержания вакуума. Кроме того, поверхность внутренней стенки корпуса затвора и поверхность задвижки включают такие уплотняющие элементы, как полоска клейкого состава и уплотнительное кольцо. Подвижный щиток также предотвращает налипание на элементах осаждаемого из паровой фазы материала (MgO).
Технический результат настоящего изобретения
Можно уменьшить время простоя при эксплуатации работающего устройства парофазного осаждения MgO в непрерывном режиме. Кроме того, камера парофазного осаждения может не так часто подвергаться разгерметизации при атмосферном давлении.
Краткое описание чертежей
Фиг.1 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен вариант исполнения вакуумного затвора для электронной пушки в соответствии с настоящим изобретением (на пояснительной схеме показано внутреннее устройство корпуса затвора, вид сбоку основного корпуса).
Фиг.2 представляет собой пояснительную схему, на которой показана работа вакуумного затвора для электронной пушки в соответствии с настоящим изобретением (на пояснительной схеме показано внутреннее устройство корпуса затвора, вид сбоку основного корпуса), при этом на фиг.2A показан затвор в открытом положении, а на фиг.2B показан затвор в закрытом положении.
Фиг.3 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен вариант исполнения вакуумного затвора для электронной пушки в соответствии с настоящим изобретением (вид спереди формы основного корпуса вакуумного затвора для электронной пушки, вид со стороны камеры парофазного осаждения).
Фиг.4 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен пример работающего устройства парофазного осаждения MgO, в котором используется вакуумный затвор для электронной пушки настоящего изобретения.
Фиг.5 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен пример вакуумного затвора для вакуумного устройства из уровня техники (на пояснительной схеме показано внутреннее устройство корпуса затвора, вид сбоку основного корпуса).
Фиг.6 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен пример вакуумного затвора для вакуумного устройства из уровня техники (вид спереди со стороны камеры парофазного осаждения).
Фиг.7 представляет собой пояснительную схему, на которой изображен пример работающего устройства парофазного осаждения MgO, в котором используется вакуумный затвор для вакуумного устройства из уровня техники.
Описание обозначений
1 вакуумный затвор для вакуумного устройства
2 корпус затвора
3 задвижка
4a отверстие (на стороне электронной пушки)
4b отверстие (на стороне камеры парофазного осаждения)
5 уплотнительное кольцо
6 уплотнительный элемент
7 уплотнительный элемент
8 вал привода
9 пневмопривод
10 стержень
11 пневмоцилиндр
15 камера затвора
21 приемный элемент подвижного щитка
22 подвижной щиток
23 пневмоцилиндр
24 шток
50 работающее устройство парофазного осаждения MgO
51 камера парофазного осаждения
52 электронная пушка
53 выпускное отверстие
54 испаритель
56 щиток (приемный элемент подвижного щитка)
60 автоматический механизм подачи
61 камера подачи MgO
63 устройство подачи MgO
64 выбрасыватель MgO
66 пневмоцилиндр для управления заслонкой подачи
67 заслонка подачи MgO
68 загрузочное отверстие для MgO
69 крышка загрузочного отверстия для MgO
80 мишень парофазного осаждения
81 осаждаемый из паровой фазы материал (MgO)
82 MgO
200 вакуумный затвор для вакуумного устройства
202 корпус затвора
203 задвижка
204a, 204b отверстие
205 уплотнительное кольцо
206, 207 уплотнительный элемент
208 вал привода
209 пневмопривод
210 стержень
211 пневмоцилиндр
215 камера затвора
231 пневмоцилиндр
232 шток цилиндра
233 воздуховод
250 работающее устройство парофазного осаждения MgO
251 камера парофазного осаждения
252 электронная пушка
253 выпускное отверстие
254 испаритель
260 автоматический механизм подачи
261 камера подачи MgO
263 устройство подачи MgO
264 выбрасыватель MgO
266 пневмоцилиндр для управления заслонкой подачи
267 заслонка подачи MgO
268 загрузочное отверстие для MgO
269 крышка загрузочного отверстия для MgO
280 мишень парофазного осаждения
281 осаждаемый из паровой фазы материал (MgO в расплавленном виде)
282 MgO
Предпочтительный вариант осуществления настоящего изобретения
Далее будут описаны более подробно конкретные варианты осуществления настоящего изобретения посредством ссылки на чертежи.
На фиг.4 показан пример работающего устройства 50 парофазного осаждения MgO, в котором используется вакуумный затвор 1 для электронной пушки согласно настоящему изобретению.
На фиг.4 работающее устройство 50 парофазного осаждения MgO сконструировано таким образом, чтобы поддерживать вакуум во внутреннем пространстве камеры 51 парофазного осаждения с использованием откачивающего устройства (вакуумный насос) (не показан), соединенного с выпускным отверстием 53.
Для проведения парофазного осаждения на мишени 80 парофазного осаждения, показанной на фиг.4, испаритель 54, включающий осаждаемый из паровой фазы материал 81 (MgO), располагают перед мишенью 80 парофазного осаждения в нижней части основного корпуса устройства.
Кроме того, электронную пушку 52, которая служит в качестве источника высокой температуры для облучения осаждаемого из паровой фазы материала 81 электронным лучом, располагают сбоку от испарителя 54.
При этом перед электронной пушкой 52 располагают вакуумный затвор 1 для электронной пушки, предназначенный для отделения части электронной пушки от камеры 51 парофазного осаждения. Когда вакуумный затвор 1 закрыт, электронная пушка 52 может обслуживаться, при этом в камере 51 парофазного осаждения поддерживается вакуум.
Кроме того, для выполнения работы в непрерывном режиме устройство 50 парофазного осаждения включает автоматический механизм 60 подачи, предназначенный для автоматической подачи осаждаемого из паровой фазы материала 82. Автоматический механизм 60 подачи состоит из камеры 61 подачи MgO (для хранения MgO в вакууме), устройства 63 подачи MgO (для количественной и непрерывной подачи MgO в испаритель), а также выбрасывателя 64 MgO.
MgO 82 в количестве около 5-200 кг или больше хранится в камере 61 подачи MgO, при этом необходимое количество MgO около 1-1,5 кг периодически загружается в устройство 63 подачи MgO. Для работы в периодическом режиме заслонка 67 подачи MgO открывается с помощью пневмоцилиндра 66. С помощью устройства 63 подачи MgO подается в испаритель 54, скользя по выбрасывателю 64 MgO.
На фиг.1 и 3 показаны примеры вакуумного затвора 1 для электронной пушки в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения. В показанном варианте осуществления, как показано на фиг.1, внутреннее устройство корпуса 2 затвора является таким же, как и у маятникового затвора вакуумного устройства из уровня техники, за исключением приемного элемента 21 цилиндрического подвижного щитка, цилиндрического подвижного щитка 22, пневмоцилиндра 23 для перемещения подвижного щитка, а также штока 24, присоединенного к подвижному щитку. Как показано на фиг.3, вакуумный затвор 1 для электронной пушки включает отверстие 4b, расположенное в боковой стенке 2b корпуса 2 затвора, на стороне камеры парофазного осаждения, вид спереди. Приемный элемент 21 подвижного щитка присоединен по окружности отверстия 4b. Цилиндрический подвижный щиток 22, присоединенный к концевой части штока 24, может свободно совершать возвратно-поступательное перемещение и, таким образом, проходить через отверстие 4b, при этом в качестве привода используется пневмоцилиндр 23. Край подвижного щитка 22, на конце со стороны отверстия 4a, расположенного в боковой стенке 2a на стороне электронной пушки, отогнут внутрь, а на другом конце край подвижного щитка 22, со стороны отверстия 4b, отогнут наружу. Указанные отогнутые края предназначены для герметизации камеры 15 затвора.
Кроме того, как показано на виде сбоку внутренней части корпуса 2 затвора, вакуумный затвор 1 для электронной пушки включает камеру 15 затвора, маятниковую задвижку 3 и уплотнительное кольцо 5. Камера 15 затвора образована между соединенными боковыми стенками 2a и 2b. Маятниковая задвижка 3 и уплотнительное кольцо 5 расположены в корпусе 2 клапана. Отверстия 4a и 4b соответственно расположены в боковых стенках 2a и 2b, обращенных друг к другу. Кольцевые уплотнительные элементы 6 и 7 присоединены к уплотнительному кольцу 5 (фиг.1).
При закрытии затвора 1, находящегося в открытом положении, пневмопривод 9, расположенный непосредственно на стенке корпуса 2 затвора, приводится в действие с помощью сжатого воздуха, в результате чего вал 8 привода начинает вращаться, перемещая маятниковую задвижку 3 к передней стороне отверстия 4a, то есть в закрытое положение затвора. Затем пневмоцилиндр 11, приводимый в действие сжатым воздухом, перемещает шток 10, в результате чего уплотнительное кольцо 5 прижимается к задвижке 3. Таким образом, в корпусе 2 затвора уплотнительный элемент 7 перекрывает зазор между внутренней поверхностью вокруг отверстия 4b и уплотнительным кольцом 5, а уплотнительный элемент 6 перекрывает зазор между поверхностью задвижки 3 и уплотнительным кольцом 5. В результате пространство между отверстием 4a и отверстием 4b перекрывается.
Функция подвижного щитка в соответствии с вариантом осуществления настоящего изобретения будет описана посредством ссылки на фиг.2. На фиг.2A и 2B показан вакуумный затвор для электронной пушки в соответствии с показанным вариантом осуществления в открытом положении и закрытом положении соответственно.
На фиг.2A показан затвор в открытом положении. Когда затвор открыт, цилиндрический подвижный щиток 22 защищает камеру 15 затвора. В частности, когда затвор открыт, подвижный щиток 22 вводится через отверстие 4b на стороне камеры парофазного осаждения так, чтобы он проходил через камеру 15 затвора и упирался в щиток 56, который также выступает в качестве приемного элемента подвижного щитка в отверстии 4a на стороне электронной пушки. Край подвижного щитка 22 на конце со стороны отверстия 4a отогнут внутрь. Отогнутый край находится в тесном контакте с отогнутым краем щитка 56 (изготовленным из нержавеющей стали марки SUS304). В результате камера 15 затвора герметично разделена на внутреннюю сторону подвижного щитка 22 и его внешнюю сторону.
Кроме того, край подвижного щитка 22 на конце со стороны отверстия 4b отогнут наружу и находится в тесном контакте с поверхностью на конце и внутри приемного элемента 21 щитка со стороны отверстия 4b. В результате камера 15 затвора полностью герметизирована. Таким образом, камера 15 затвора, за исключением внутренней стороны подвижного щитка 22, полностью отделена от камеры парофазного осаждения, в результате чего поверхность внутренней стенки корпуса 2 затвора, задвижка 3, а также уплотнительные элементы 6 и 7 уплотнительного кольца 5 надежно защищены от налипания посторонних веществ.
На фиг.2B показан затвор в закрытом положении. В показанном случае задвижка 3 и уплотнительное кольцо 5 герметизируют затвор так же, как вакуумный затвор из уровня техники. Задвижка 3 перемещается в закрытое положение, а уплотнительное кольцо 5 прижимается к задвижке 3, в результате чего затвор закрывается.
Следует отметить, что устройство, в котором задвижка 3 перемещается, а уплотнительное кольцо 5 прижимается к задвижке, в результате чего затвор закрывается, такое же, как и устройство из уровня техники, показанное на фиг.5 и 6.
Конструкция, описанная выше, позволяет сократить время простоя при эксплуатации устройства парофазного осаждения MgO в непрерывном режиме.
Период времени для обслуживания электронной пушки, когда затвор работает в нормальном режиме, составляет в общей сложности 55 минут, а именно 30 минут на охлаждение, 5 минут на вентиляцию, 10 минут на обслуживание электронной пушки и 10 минут на вакуумирование.
Кроме того, период времени для обслуживания электронной пушки, когда затвор не работает, составляет в общей сложности 410 минут, а именно 30 минут на охлаждение, 10 минут на вентиляцию камеры электронной пушки и камеры парофазного осаждения, 10 минут на обслуживание электронной пушки и 360 минут на вакуумирование.
Таким образом, время простоя длительностью 355 минут может быть сокращено.
Выше были описаны варианты осуществления настоящего изобретения. Конечно, настоящее изобретение не ограничено указанными вариантами осуществления, и на основе технической идеи настоящего изобретения могут быть сделаны модификации.
В примерах вакуумного затвора для электронной пушки настоящего изобретения конструкция корпуса 2 затвора и задвижки 3 такая же, как и в случае вакуумного затвора для вакуумного устройства из уровня техники, показанного на фиг.5 и 6, в котором используется маятниковая задвижка. В качестве альтернативы может использоваться вакуумный затвор для вакуумного устройства, имеющий другую конструкцию. Например, может использоваться прижимной герметизирующий вакуумный затвор, вакуумный затвор, включающий задвижку секторной формы, или шаровой затвор. Можно использовать любой вакуумный затвор для вакуумного устройства, включающий корпус затвора, отверстия в котором расположены напротив друг друга, и камеру затвора, в которой задвижка в открытом положении может быть полностью отведена от отверстия. В примере, описанном выше, отверстие затвора является круглым, однако отверстие, конечно же, может иметь другую форму. Например, если отверстие затвора квадратное, то поперечное сечение цилиндрического корпуса может быть квадратным.
Кроме того, когда затвор открыт, подвижный щиток 22 упирается в щиток 56, который выступает в качестве приемного элемента подвижного щитка, но это не всегда необходимо. В качестве альтернативы подвижный щиток 22 может быть остановлен вблизи от щитка 56, который выступает в качестве приемного элемента подвижного щитка, на таком расстоянии, которое позволит разделить детали в атмосфере при сохранении вакуума в камере, например, 5 мм или меньше.
Кроме того, в качестве альтернативы настоящее изобретение может включать механизм для охлаждения подвижного щитка 22. Когда вакуумный затвор для электронной пушки находится в открытом положении, подвижный щиток 22, закрывающий камеру 15 затвора, охлаждается, что позволяет таким образом охладить внутреннюю часть корпуса 2 затвора. В результате можно предотвратить разрушение уплотнительных элементов 6 и 7, вызванное нагревом. Например, когда затвор находится в открытом положении, подвижный щиток 22 прижат к приемному элементу 21, таким образом разрушение можно предотвратить, разместив на поверхности приемного элемента 21, контактирующей с подвижным щитком 22, металлическую трубку, в которой циркулирует охлаждающая жидкость.
Кроме того, в примерах настоящего изобретения щиток 56, который выступает в качестве приемного элемента подвижного щитка, выполнен из нержавеющей стали. В качестве альтернативы щиток 56 может быть выполнен из мягкого металла для повышения адгезионной способности.
Примеры мягкого металла включают сверхмягкую сталь, мягкую сталь, чистое железо, медь, алюминий, цинк, свинец и олово.
Кроме того, в качестве другого варианта настоящего изобретения на поверхности приемного элемента 21 и 56 подвижного щитка, контактирующей с отогнутыми краями на обоих концах подвижного щитка 22 или с подвижными щитками, можно разместить уплотнительные элементы, выполненные, например, из сверхмягкой стали, мягкой стали, чистого железа, меди, алюминия, цинка, свинца или олова.
Любой упомянутый выше материал может повышать адгезионную способность в месте контакта подвижного щитка 22 с приемными элементами 21 и 56, в результате чего может быть увеличен защитный эффект.

Claims (3)

1. Вакуумный затвор вакуумного устройства для отделения рабочей камеры и части электронной пушки вакуумного устройства, содержащий корпус затвора, имеющий отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу, задвижку для открытия/закрытия отверстий, цилиндрический подвижный щиток, выполненный с возможностью введения через отверстие на стороне рабочей камеры в корпус затвора при открытии затвора и свободного совершения возвратно-поступательного перемещения между ними, приемный элемент, расположенный в отверстии на стороне части электронной пушки и контактирующий с концевой частью подвижного щитка, и приводное средство для обеспечения возвратно-поступательного перемещения подвижного щитка и сведения друг с другом концевой части подвижного щитка и приемного элемента для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга.
2. Вакуумный затвор по п.1, отличающийся тем, что подвижный щиток включает в себя охлаждающий механизм.
3. Вакуумный затвор по п.1, отличающийся тем, что на поверхности контакта подвижного щитка и приемного элемента расположен уплотнительный элемент, который выполнен из сверхмягкой стали, мягкой стали, чистого железа, меди, алюминия, цинка, свинца или олова.
RU2008127410/02A 2005-12-05 2006-11-28 Вакуумный затвор для вакуумного устройства RU2376399C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-351071 2005-12-05
JP2005351071 2005-12-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2376399C1 true RU2376399C1 (ru) 2009-12-20

Family

ID=38122685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008127410/02A RU2376399C1 (ru) 2005-12-05 2006-11-28 Вакуумный затвор для вакуумного устройства

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8028972B2 (ru)
JP (1) JP4824700B2 (ru)
KR (1) KR101014776B1 (ru)
CN (1) CN101321888B (ru)
DE (1) DE112006003294B4 (ru)
RU (1) RU2376399C1 (ru)
TW (1) TWI402369B (ru)
WO (1) WO2007066537A1 (ru)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5044366B2 (ja) * 2007-11-02 2012-10-10 株式会社ブイテックス 真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法
JP5224363B2 (ja) * 2007-11-30 2013-07-03 古河電気工業株式会社 連続鋳造中の溶融金属の成分調製方法及びその装置
JP5490435B2 (ja) * 2009-03-31 2014-05-14 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置
US8877001B2 (en) * 2009-05-07 2014-11-04 Applied Materials, Inc. Shuttered gate valve
US9310016B2 (en) 2010-04-05 2016-04-12 Power Associates International, Inc. Pig receiver assembly
US8689384B2 (en) 2010-04-05 2014-04-08 Power Associates International, Inc. Pig receiver assembly
US9593794B2 (en) 2010-04-05 2017-03-14 Power Associates International, Inc. Pig receiver assembly
US20120168662A1 (en) * 2010-12-30 2012-07-05 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Vacuum valve with protected sealing surface
KR101528458B1 (ko) * 2013-01-18 2015-06-18 (주) 유앤아이솔루션 슬라이딩 역압 차단 밸브
DE102013005868A1 (de) * 2013-04-05 2014-10-09 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung zur Vakuumbehandlung von Substraten
WO2019194067A1 (ja) * 2018-04-02 2019-10-10 株式会社アルバック 仕切弁
ES2746360B2 (es) * 2018-09-05 2021-06-11 Mecanizados Esferimec S L Valvula pivotante para regular el flujo de un fluido y procedimiento para regular el flujo de un fluido
JP6861760B2 (ja) * 2019-06-20 2021-04-21 株式会社アルバック 仕切りバルブ
CN110712338B (zh) * 2019-10-18 2021-08-13 河源联达真空镀膜有限责任公司 一种镀膜塑料餐具生产工艺

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2109042A (en) * 1935-06-17 1938-02-22 Clifford W Bennett Gate valve
US2134324A (en) * 1937-12-14 1938-10-25 Brackett Newell Dry graphite lubricated fabric packing
US3557822A (en) * 1969-05-08 1971-01-26 Clyde H Chronister Gate valve
US3665953A (en) * 1971-01-22 1972-05-30 Chronister Valve Co Inc Gate valve
JPS5134768B2 (ru) * 1971-12-08 1976-09-28
US3799188A (en) * 1973-01-26 1974-03-26 Chronister Dev Inc Valve
GB1529234A (en) * 1974-12-05 1978-10-18 Rappold & Co Gmbh Hermann Slide dampers
JPS5918210Y2 (ja) * 1979-01-26 1984-05-26 東京瓦斯株式会社 気密バルブ保護装置
JPS55109169A (en) * 1979-02-09 1980-08-22 Citizen Watch Co Ltd Manufacture of yoke of pulse motor for watch
JPS61272375A (ja) * 1985-05-29 1986-12-02 Hitachi Ltd 薄膜形成装置
JPS6293467A (ja) * 1985-10-21 1987-04-28 Honda Motor Co Ltd 内燃エンジンの吸入空気量制御用電磁弁のソレノイド電流制御方法
JPS6293467U (ru) * 1985-12-03 1987-06-15
JPH0274671A (ja) * 1988-09-08 1990-03-14 Kawasaki Steel Corp 耐酸化性炭素繊維強化炭素材料およびその製造方法
JPH0274671U (ru) * 1988-11-28 1990-06-07
US5062445A (en) * 1990-08-24 1991-11-05 Triten Corporation Water cooled gate valve
JPH04106583A (ja) * 1990-08-27 1992-04-08 Tokyo Electric Co Ltd 電子機器用表示装置
JPH0772340B2 (ja) * 1992-01-28 1995-08-02 スタンレー電気株式会社 真空蒸着装置
JP2541116B2 (ja) * 1993-07-31 1996-10-09 日本電気株式会社 真空ゲ―トバルブ
JPH0758832A (ja) 1993-08-17 1995-03-03 Canon Inc 電話端末
JPH07258832A (ja) * 1994-03-25 1995-10-09 Toppan Printing Co Ltd 真空蒸着装置用電子銃およびそれを備えた真空蒸着装置
JP2000145980A (ja) 1998-11-12 2000-05-26 Shimadzu Corp ゲート弁
US6448567B1 (en) * 2000-04-25 2002-09-10 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Method and apparatus for shielding a valve gate and other valve parts
US7064491B2 (en) * 2000-11-30 2006-06-20 Semequip, Inc. Ion implantation system and control method
JP4106583B2 (ja) * 2001-02-05 2008-06-25 株式会社ケンウッド 記録・再生システム及び方法
JP2003185035A (ja) * 2001-12-12 2003-07-03 Smc Corp ゲートバルブ
JP2004360754A (ja) 2003-06-03 2004-12-24 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁
JP2005133865A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Ulvac Japan Ltd 真空ゲートバルブ
JP4038473B2 (ja) * 2003-11-18 2008-01-23 スタンレー電気株式会社 アーク放電型真空成膜装置および成膜方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8028972B2 (en) 2011-10-04
DE112006003294T5 (de) 2008-10-23
DE112006003294B4 (de) 2019-02-21
JP4824700B2 (ja) 2011-11-30
CN101321888A (zh) 2008-12-10
WO2007066537A1 (ja) 2007-06-14
US20090250648A1 (en) 2009-10-08
KR101014776B1 (ko) 2011-02-14
CN101321888B (zh) 2015-01-21
TW200728486A (en) 2007-08-01
TWI402369B (zh) 2013-07-21
JPWO2007066537A1 (ja) 2009-05-14
KR20080059303A (ko) 2008-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2376399C1 (ru) Вакуумный затвор для вакуумного устройства
US4427378A (en) Closure and seal construction for high-pressure oxidation furnace and the like
EP2912358B1 (en) Corrosion and deposition protected valve apparatus and method
US20180345375A1 (en) Method and device for cleaning and/or replacement of a laser window of a process chamber
US6291939B1 (en) Ion source device
CN108456856B (zh) 用于基材的真空涂布的箱式涂布设备
CN110023660A (zh) 低颗粒保护的挡板阀
JP5619028B2 (ja) 真空蒸着装置及びそのメンテナンス方法
US8181666B2 (en) Switch valve
US4795300A (en) Loading apparatus for a work chamber
JPH08285133A (ja) 真空プロセス装置用ゲートバルブ
US20120145724A1 (en) Vacuum container
JP2004099946A (ja) 薄膜形成装置
JP4775892B2 (ja) 真空用ゲ−トバルブ
JP2004361096A (ja) 電子ビーム放出管とこれを用いた電子ビーム照射装置
CN117431506B (zh) 基于物理气相沉积的含二硼化钛涂层的制备方法及其装置
CA2302093A1 (en) Valves
KR20220008662A (ko) 가시창 오염 방지 화학기상증착장치
AU2003271793A1 (en) Seal mechanism operable between a solid fuel feed system and combustion chamber thereof
CN112823998A (zh) 激光加工装置以及激光加工方法
KR20150094327A (ko) 고진공 챔버 시스템
JP2022106484A (ja) 光源装置
JP6354576B2 (ja) 成膜装置
JP2008121040A (ja) 真空成膜装置
JP2017088935A (ja) 真空処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201129