KR20060094746A - 반도체 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 챔버 본체;상기 챔버 본체의 상측을 덮는 상부 뚜껑;슬라이드 블록에 연결되어 상기 상부 뚜껑을 회전 가능하게 하는 회전 기구;상기 회전 기구 및 상부 뚜껑을 횡방향으로 이동 가능하게 하는 이동 기구; 및상기 이동 기구, 회전 기구 및 상부 뚜껑을 승강할 수 있는 승강 기구를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 회전 기구는 상기 상부 뚜껑에 고정된 회전축 샤프트와 상기 슬라이드 블록에 고정되어 상기 회전축 샤프트를 회전시키는 구동 모터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동 기구는 상기 챔버 본체 바깥의 횡방향 양측으로 하부 저면에 설치된 제1 슬라이드 가이드와, 상기 제1 슬라이드 가이드 상에 설치된 제1 지지기둥과, 상기 제1 지지기둥 상부에 형성된 제2 슬라이드 가이드와, 상기 제1 슬라이드 가이드 및 제2 슬라이드 가이드와 각각 결합되는 제1 슬라이드 블록 및 제2 슬라이드 블록과, 상기 제2 슬라이드 블록 상에 형성되고 회전축 샤프트를 통해 상기 상부 뚜껑과 연결되는 제3 슬라이드 블록과, 상기 제1 슬라이드 블록 상에 형성되는 제2 지지기둥과, 상기 제1 슬라이드 블록 내지 제3 슬라이드 블록을 횡방향으로 이동시키는 구동 모터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 회전기구 및 상부뚜껑의 이동 방향은 상기 회전 기구의 회전축 샤프트의 회전축과 수직인 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 회전 기구의 회전축 샤프트의 회전축은 상기 챔버 본체로 인입되는 피처리 대면적 기판의 인입 방향과 평행한 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 챔버 본체;상기 챔버 본체의 상측을 덮는 상부 뚜껑;상기 챔버 본체 외부의 하부 저면 양측에 횡방향으로 설치된 제1 슬라이드 가이드 및 이에 결합되어 있는 제1 슬라이드 블록;상기 제1 슬라이드 가이드 및 제1 슬라이드 블록 상에 설치되고, 상기 상부 뚜껑의 양측에 횡방향으로 설치된 제2 슬라이드 가이드 및 이에 결합되어 있는 제2 슬라이드 블록;상기 제2 슬라이드 블록 상에 형성되고, 회전축 샤프트를 통하여 상부 뚜껑과 연결되는 제3 슬라이드 블록;상기 회전축 샤프트에 연결되어 상기 상부 뚜껑을 회전시킬 수 있는 제1 구동 모터;상기 제1 슬라이드 가이드 및 제1 슬라이드 블록 상에 위치하는 제1 지지기둥 및 제2 지지기둥;상기 제1 지지기둥 및 제2 지지기둥 상에 형성되어 상기 제2 슬라이드 가이드, 제2 및 제3 슬라이드 블록을 승강시킬 수 있는 승강 기구; 및상기 제1 슬라이드 블록 내지 제3 슬라이드 블록을 횡방향으로 이동시켜 상기 상부 뚜껑을 횡방향으로 이동시키는 제2 구동 모터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 승강 기구는 상기 제1 지지기둥 상에 형성되어 상기 제2 슬라이드 가이드를 승강하는 제1 승강 기구와, 상기 제2 지지기둥 상에 형성되어 제2 슬라이드 블록 및 제3 슬라이드 블록을 승강하는 제2 승강 기구를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제1 슬라이드 가이드 및 제2 슬라이드 가이드는 가이드 레일 또는 롤러 형태로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제1 지지 기둥은 상기 제2 슬라이드 가이드 하부의 4군데 설치되어 상기 제2 슬라이드 가이드, 제2 및 제3 슬라이드 블록을 통하여 상 기 상부 뚜껑을 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 제2 지지 기둥은 상기 제2 슬라이드 블록 하부의 2군데 설치되어 상기 제2 및 제3 슬라이드 블록을 통하여 상기 상부 뚜껑을 지지하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리 장치.
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