CN107587101A - 一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置以及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。该浮动连接装置包括上盖和水平吊装于上盖下方的加热板，加热板的横截面尺寸小于上盖的横截面尺寸，其特征在于，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；该维护工装包括：工装本体、固定模块和升降模块；固定模块设于工装本体顶部；升降模块包括底座和升降杆，底座设于固定模块顶部，升降杆可升降地设于底座内。该浮动连接装置使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。该维护工装结构简单，便于浮动连接装置的拆装，且移动便利，节省了人工转移维护工装的成本。

Description

一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域的维护工具，尤其涉及一种浮动连接装置及便于拆装该浮动连接装置的维护工装。

背景技术

现有的镀膜设备中，工艺腔室的上盖与加热板为直接接触连接，在镀膜加热时加热板的热膨胀变形会影响到上盖，严重时会造成上盖的变形或损伤。

现有技术通常利用维护用工装结构将工艺腔室的上盖与加热板进行拆装，为便于上盖与加热板之间的拆装，现有的维护用工装结构大多是一个整体的平台，装夹好工件后，拆卸内部的小零件；又或者是固定顶部吊装部件，从下面升起一个支撑的机构，从而实现所述上盖与加热板的相对固定、支撑，然后进行拆装。前一种方案不便于拆装，后一种方案工装本身结构复杂，操作繁琐，不便于工装的整体移动。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题之一是提供一种浮动连接装置，其可使工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖。

本发明要解决的另一技术问题是提供一种结构简单、便于拆装该浮动连接装置的维护工装。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；

所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。

进一步地，所述垫板的顶面与所述第一台阶面的顶端相接触，所述垫板的底面与所述螺母的顶面相接触。

进一步地，所述浮动连接结构均匀分布于所述加热板的侧面；

和/或，所述加热板为方形，所述加热板的四个侧面各通过一个所述浮动连接结构与上盖相连接；

和/或，所述过渡连接件与所述加热板的侧面相连接的方式为一体成型、固定连接或可拆卸地连接。

优选的，所述卡孔为U型。

本发明还提供了一种便于拆装上述浮动连接装置的维护工装，所述维护工装包括：

工装本体；

固定模块，所述固定模块设于所述工装本体顶部，所述固定模块至少有两个，且相对设于工装本体顶部的两侧，所述固定模块设有用于支撑所述加热板的第一支撑面；

升降模块，所述升降模块包括底座和升降杆，所述底座设于所述固定模块顶部，所述升降杆可升降地设于所述底座内，所述升降杆顶端设有用于支撑所述上盖的第二支撑面。

优选的，所述加热板的横截面面积与工装本体的顶部面积相适应，以使拆装浮动连接装置时，第一支撑面能够支撑加热板，第二支撑面能够支撑上盖。

进一步地，所述固定模块包括固定块和固定螺钉，所述固定块底端设于所述工装本体顶部，所述固定块顶端设有用于安装所述底座的凹槽，所述固定块底端边缘水平向外延伸成所述第一支撑面；所述固定螺钉在拆装浮动连接装置时，水平穿过所述固定块至加热板内，以将所述加热板的一侧固定于所述固定块上。

进一步地，所述固定模块包括多个固定螺钉。

进一步地，所述固定模块还包括限位销，所述固定块的侧面构造有用于对所述限位销进行导向的斜面，所述限位销在拆装浮动连接装置之前插入所述加热板侧面，并在拆装所述浮动连接装置时沿着所述斜面将加热板的一侧放入所述第一支撑面上。

进一步地，所述固定模块包括两个所述限位销，相应的，所述固定块相对的两个侧面各构造有一个与所述限位销相适应的斜面。

进一步地，所述固定模块还包括固定块螺钉，所述固定块螺钉用于将所述固定块固定于工装本体顶部。

进一步地，所述底座和升降杆之间为螺纹连接。

优选的，所述升降模块还包括手柄，所述手柄水平插入所述升降杆开设的通孔里，人手握住所述手柄以便于升降杆的转动，进而调节升降杆的高度。

进一步地，所述升降模块还包括球头、球头座和球头盖，所述球头设于所述升降杆的顶端，所述球头盖和球头座分别从上下两个方向抱住所述球头，所述球头盖表面形成所述第二支撑面。

优选的，所述升降模块还包括锁母，所述锁母通过其自带的螺纹固定在底座上，以对所述升降杆的升降进行导向和锁紧，当调整好升降杆高度后，通过锁母可以固定这个高度值，后期在拆装浮动连接装置时就不用每次都调节升降杆的高度。

进一步地，所述固定模块为四个，其中两个固定模块设于所述工装本体顶部的一侧，另两个固定模块设于所述工装本体顶部相对的另一侧。

优选的，设于所述工装本体顶部的一侧的两个固定模块与设于所述工装本体顶部相对的另一侧的两个固定模块一一对应，以确保浮动连接装置在拆装时加热板和上盖的平衡。

优选的，所述工装本体为长方体状的框架结构，采用方管焊接而成，作为整个维护工装的基座。

优选的，所述工装本体顶部设有安装固定面，所述固定块设于所述安装固定面上。

进一步地，所述维护工装还包括移动小车，所述工装本体设于所述移动小车上。

优选的，所述移动小车的底面设有万向脚轮，所述移动小车的侧面设有扶手，以便于整个维护工装的移动。

优选的，所述维护工装还包括吊装设备，所述吊装设备用于吊起上盖，相应的，所述上盖顶部优选安装有吊装孔。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有以下有益效果：

1、本发明的浮动连接装置，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过所述浮动连接结构与上盖连接，这种设置方式使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。

2、本发明的维护工装，设置了工装本体、固定模块和升降模块，固定模块用于支撑和固定加热板，升降模块用于支撑上盖以及调整上盖与加热板之间的距离。在进行浮动连接装置的拆卸时，只需通过固定模块将加热板支撑和固定，通过升降模块将上盖支撑住，使得浮动连接装置中的垫板和螺母不受力，这样即可将螺母和垫板拆卸下来，从而实现上盖与加热板之间的浮动连接的脱离，然后也可以继续进行加热板内部零件的拆卸等工序；装配过程则是逆向的拆卸流程，浮动连接装置中加热板和上盖的安装按逆向的拆卸流程进行装配即可。因而，本发明的维护工装，结构简单，并且非常便于浮动连接装置的拆卸和安装。

3、本发明中第一支撑面的设置，使得加热板的固定和支撑更加平稳；将第二支撑面设计为球头盖形式，球头盖顶面支撑上盖时，除了刚性的竖直方向受力以外，还可以承受一定角度的斜向力，使得升降模块对上盖的支撑更加灵活。

4、本发明的升降模块，其升降杆可升降地设于底座内，且底座和升降杆之间为螺纹连接，使得升降杆的高度调节更加灵活，同时也更便于升降杆的更换和整个升降模块的拆装。

5、本发明中移动小车的设置，使得维护工装的移动更加便利，节省了人工转移所述维护工装的成本。

附图说明

图1为本发明实施例所述浮动连接装置的结构示意图；

图2为本发明实施例所述浮动连接装置的仰视图；

图3为本发明实施例所述浮动连接装置的侧视图；

图4为图3的A-A剖视图；

图5为本发明实施例所述维护工装的结构示意图；

图6为本发明实施例所述维护工装的侧视图；

图7为图5中C部分的放大示意图；

图8为本发明实施例所述升降模块的结构示意图；

图9为本发明实施例所述升降模块的俯视图；

图10为图9的B-B剖视图；

图11为本发明实施例所述浮动连接装置拆装状态的结构示意图；

图12为图11的左视图；

其中，1′、上盖；2′、连杆；3′、加热板；4′、垫板；5′、螺母；6′、过渡连接件；7′、第一台阶面；8′、第二台阶面；

1、移动小车；2、工装本体；3、固定模块；4、固定螺钉；5、升降模块；6、底座；7、升降杆；8、锁母；9、球头座；10、球头盖；11、手柄；12、固定块；13、固定块螺钉；14、限位销；15、万向脚轮；16、扶手；17、第一支撑面；18、第二支撑面；19、斜面；20、安装固定面；21、凹槽；22、球头。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶端”、“底端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1～4所示，本实施例提供了一种浮动连接装置，其包括上盖1′和水平吊装于上盖1′下方的加热板3′，加热板3′的横截面尺寸小于上盖1′的横截面尺寸，上盖1′和加热板3′之间存在间隔，加热板3′通过多个浮动连接结构与上盖1′进行连接；

浮动连接结构包括过渡连接件6′、连杆2′、带有穿孔的垫板4′和螺母5′，连杆2′顶端与上盖1′相连接，连杆2′自下而上依次构造有第一台阶面7′和第二台阶面8′，第一台阶面7′的横截面尺寸小于第二台阶面8′的横截面尺寸，过渡连接件6′设有U型的卡孔，过渡连接件6′通过卡孔套接于第二台阶面8′的外围，垫板4′和螺母5′依次套接于第一台阶面7′的外围，且上下排列，所述第一台阶面7′的外围设有与所述螺母5′内螺纹相对应的外螺纹，过渡连接件6′一端放置于垫板4′上，另一端与加热板3′的侧面相连接，过渡连接件6′的顶面与第二台阶面8′的顶端之间存在间隙。

具体而言，垫板4′的顶面与第一台阶面7′的顶端相接触，垫板4′的底面与螺母5′的顶面相接触。加热板3′为方形，加热板3′的四个侧面各通过一个浮动连接结构与上盖1′相连接。螺母5′为圆螺母。

过渡连接件6′与加热板3′的侧面相连接的方式可为一体成型、固定连接或可拆卸地连接。本实施例中，过渡连接件6′与加热板3′的侧面一体成型。

安装时，首先将连杆2′顶端与上盖1′连接，然后将与加热板3′侧面一体成型的过渡连接件6′的卡孔自连杆2′底端向上移动至套接于第二台阶面8′的外围，并确保过渡连接件6′的顶面与第二台阶面8′的顶端之间存在间隙，再将垫板4′自连杆2′底端向上移动至套接于第一台阶面7′的外围，并使垫板4′顶面与过渡连接件6′底面相接触，再将螺母5′自连杆2′底端向上移动至套接于第一台阶面7′的外围，最后拧紧螺母5′并使螺母5′的顶面与垫板4′的底面相接触。以上是其中一个浮动连接结构的连接方法，按照该方法将其余浮动连接结构连接完毕，即完成加热板3′与上盖1′的浮动连接。

工作过程中，加热板3′与上盖1′之间有间隔，且加热板3′与第二台阶面的顶端之间存在间隙，加热板3′被垫板4′浮托着，整个加热板3′的重量靠连杆2′下部的螺母5′支撑。

综上所述，该浮动连接装置，上盖和加热板之间存在间隔，加热板通过所述浮动连接结构与上盖连接，这种设置方式使得工艺过程中加热板的热膨胀变形不会影响到上盖，从而避免了加热板热变形对上盖的损伤。

如图5～12所示，本实施例还提供了一种便于拆装该浮动连接装置的维护工装，该维护工装包括：移动小车1、工装本体2、固定模块3和升降模块5。

本实施例中，加热板3′的横截面面积与工装本体2的顶部面积相适应，以使拆装浮动连接装置时，第一支撑面17能够支撑加热板3′，第二支撑面18能够支撑上盖1′。

参见图5，移动小车1的底面设有万向脚轮15，侧面设有扶手16，以便于整个维护工装的移动。工装本体2为长方体状的框架结构，采用方管焊接而成，作为整个维护工装的基座。工装本体2顶部设有安装固定面20，下述的固定块12设于安装固定面20上(参见图7)。工装本体2设于移动小车1上。

参见图5～7，固定模块3包括固定块12、两个固定螺钉4和两个限位销14，固定块12底端设于工装本体2顶部，固定块12顶端设有用于安装下述底座6的凹槽21，固定块12底端边缘水平向外延伸成用于支撑加热板3′的第一支撑面17；固定螺钉4在拆装浮动连接装置时，水平穿过固定块12至加热板3′内，以将加热板3′的一侧固定于固定块12上。固定块12相对的两个侧面各构造有一个用于对限位销14进行导向的斜面19，限位销14在拆装浮动连接装置之前插入加热板3′侧面，并在拆装浮动连接装置时沿着斜面19将加热板3′的一侧放入第一支撑面17上。固定模块3还包括若干固定块螺钉13，固定块螺钉13用于将固定块12固定于工装本体2顶部。

本实施例中，固定模块3为四个(相应的，升降模块5也为四个)，其中两个固定模块3设于工装本体2顶部的一侧，另两个固定模块3设于工装本体2顶部相对的另一侧。设于工装本体2顶部的一侧的两个固定模块3与设于工装本体2顶部相对的另一侧的两个固定模块3一一对应，以确保浮动连接装置在拆装时加热板3′和上盖1′的平衡。

参见图8～10，升降模块5包括底座6、升降杆7、手柄11、球头22、球头座9和球头盖10，底座6设于固定模块3顶部，升降杆7可升降地设于底座6内，底座6和升降杆7之间为螺纹连接。手柄11水平插入升降杆7开设的通孔里，人手握住手柄11以便于升降杆7的转动，进而调节升降杆7的高度。球头22设于升降杆7的顶端，球头盖10和球头座9分别从上下两个方向抱住球头，球头盖10表面形成用于支撑上盖1′的第二支撑面18。升降模块5还包括锁母8，锁母8通过其自带的螺纹固定在底座6上，以对升降杆7的升降进行导向和锁紧，当调整好升降杆高度后，通过锁母8可以固定这个高度值，后期在拆装浮动连接装置时就不用每次都调节升降杆的高度。

本实施例中，固定螺钉4型号为M8，固定块螺钉13型号为M10。

本实施例中，维护工装还包括吊装设备，吊装设备用于吊起上盖1′，相应的，上盖1′顶部预留有吊装孔。

参见图11和图12，利用本实施例的维护工装拆卸浮动连接装置的流程如下：

a.通过吊装设备将浮动连接装置吊装到维护工装上方，将限位销14插入加热板3′中；

b.将升降模块5调到最低高度，缓慢降低浮动连接装置，让限位销14沿着固定块12两侧的斜面19缓慢下降，最终使得加热板3′的底面一侧放置于固定块12的第一支撑面17上；

c.将固定螺钉4由外而内水平穿过固定块12至加热板3′内，以将加热板3′的一侧固定于固定块12上；

d.转动升降模块5的手柄11，调节四个升降模块5的升降杆7的高度，使得第二支撑面18支撑住上盖1′的下表面，同时观察连杆2′位置处过渡连接件6′底面与垫板4′顶面之间是否有间隙，当四个连杆2′处过渡连接件6′底面与垫板4′顶面之间都有间隙时，就可以拆卸这四处连杆2′的螺母5′，从而实现上盖1′与加热模板之间浮动连接的脱离；

e.拆下螺母5′和垫板4′后，就可以吊走上盖1′，继续拆装加热板3′的内部零件；

f.浮动连接装置的装配(即上盖1′与加热板3′之间的浮动连接)，按上述的拆卸流程进行逆向的装配即可。

综上所述，本实施例的维护工装主要针对柔性的浮动连接装置的两个模块(加热板、上盖)之间的拆装和维护。通过这种工装结构可以更加方便、简单地拆装、维护柔性的浮动连接装置。高度可调的升降模块位于固定模块上，还可以灵活更换，相对于其他一些升降模块单独支撑在地面上的结构，更加容易操作，在实现升降调节功能的同时，不影响移动小车的移动。升降模块含有升降功能，通过调节高度来支撑顶部的上盖，调节上盖与加热板之间的距离，使得支撑加热板的螺母不受力，在这种状态下进行加热板的拆装。

本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的，例如本发明的维护工装不仅适用于本发明所述浮动连接装置的拆卸，而且也适用于与该浮动连接装置类似的连接结构之间的拆卸。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (10)

1.一种浮动连接装置，包括上盖和水平吊装于所述上盖下方的加热板，所述加热板的横截面尺寸小于所述上盖的横截面尺寸，其特征在于，所述上盖和加热板之间存在间隔，所述加热板通过多个浮动连接结构与上盖进行连接；

所述浮动连接结构包括过渡连接件、连杆、带有穿孔的垫板和螺母，所述连杆顶端与上盖相连接，所述连杆自下而上依次构造有第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面的横截面尺寸小于所述第二台阶面的横截面尺寸，所述过渡连接件设有卡孔，所述过渡连接件通过所述卡孔套接于所述第二台阶面的外围，所述垫板和螺母依次套接于所述第一台阶面的外围，且上下排列，所述第一台阶面的外围设有与所述螺母内螺纹相对应的外螺纹，所述过渡连接件一端放置于所述垫板上，另一端与所述加热板的侧面相连接，所述过渡连接件的顶面与第二台阶面的顶端之间存在间隙。

2.根据权利要求1所述的浮动连接装置，其特征在于，所述垫板的顶面与所述第一台阶面的顶端相接触，所述垫板的底面与所述螺母的顶面相接触。

3.根据权利要求1所述的浮动连接装置，其特征在于，所述浮动连接结构均匀分布于所述加热板的侧面；

和/或，所述加热板为方形，所述加热板的四个侧面各通过一个所述浮动连接结构与上盖相连接；

和/或，所述过渡连接件与所述加热板的侧面相连接的方式为一体成型、固定连接或可拆卸地连接；

和/或，所述卡孔为U型。

4.一种便于拆装权利要求1～3任一项所述浮动连接装置的维护工装，其特征在于，所述维护工装包括：

工装本体；

固定模块，所述固定模块设于所述工装本体顶部，所述固定模块至少有两个，且相对设于工装本体顶部的两侧，所述固定模块设有用于支撑所述加热板的第一支撑面；

升降模块，所述升降模块包括底座和升降杆，所述底座设于所述固定模块顶部，所述升降杆可升降地设于所述底座内，所述升降杆顶端设有用于支撑所述上盖的第二支撑面。

5.根据权利要求4所述的维护工装，其特征在于，所述固定模块包括固定块和固定螺钉，所述固定块底端设于所述工装本体顶部，所述固定块顶端设有用于安装所述底座的凹槽，所述固定块底端边缘水平向外延伸成所述第一支撑面；所述固定螺钉在拆装浮动连接装置时，水平穿过所述固定块至加热板内，以将所述加热板的一侧固定于所述固定块上。

6.根据权利要求5所述的维护工装，其特征在于，所述固定模块还包括限位销，所述固定块的侧面构造有用于对所述限位销进行导向的斜面，所述限位销在拆装浮动连接装置之前插入所述加热板侧面，并在拆装所述浮动连接装置时沿着所述斜面将加热板的一侧放入所述第一支撑面上。

7.根据权利要求6所述的维护工装，其特征在于，所述固定模块包括两个所述限位销，相应的，所述固定块相对的两个侧面各构造有一个与所述限位销相适应的斜面。

8.根据权利要求4所述的维护工装，其特征在于，所述底座和升降杆之间为螺纹连接。

9.根据权利要求4所述的维护工装，其特征在于，所述升降模块还包括球头、球头座和球头盖，所述球头设于所述升降杆的顶端，所述球头盖和球头座分别从上下两个方向抱住所述球头，所述球头盖表面形成所述第二支撑面；

和/或，所述升降模块还包括手柄，所述手柄水平插入所述升降杆开设的通孔里；

和/或，所述升降模块还包括锁母，所述锁母通过其自带的螺纹固定在底座上，以对所述升降杆的升降进行导向和锁紧。

10.根据权利要求4所述的维护工装，其特征在于，所述固定模块为四个，其中两个固定模块设于所述工装本体顶部的一侧，另两个固定模块设于所述工装本体顶部相对的另一侧；

和/或，所述维护工装还包括移动小车，所述工装本体设于所述移动小车上。