CN2613647Y - 一种防泄漏的真空密封装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及密封装置，特别适用于真空密封装置。在于底板上设有燕尾槽，燕尾槽内装有密封圈，与底板相对应连结的有倒T形上盖，在倒T形上盖内设有真空室，底板、倒T形上盖的两端通过紧固螺钉连结为一体，密封圈与燕尾槽的底面和侧面接触，其有益效果是在密封槽的内侧面(靠近真空室的一面)钻一个放气通孔，并通向槽底，消除残余气体的存在，残余气体不在通过侧密封面向真空室内释放，从而提高密封槽的密封性及真空室内的真空度。具有结构简单，制造方便等特点，适合各种密封系统的“O”形密封圈密封，特别是适用于真空密封系统的“O”形密封圈密封。广泛用于半导体材料制备、真空冶炼等设备中的密封结构。
Description
一、技术领域
本实用新型涉及密封装置，特别适用于真空密封装置。
二、背景技术
现有真空密封装置的密封槽结构有矩形槽结构、燕尾形结构、单燕尾形结构、梯形结构等。例如国防工业出版社1991年出版的《真空设计手册》P361-364中所述。上述密封槽结构在密封时密封槽结构的底面和侧面同时密封，由于加工密封槽时密封槽底面加工精度高，密封效果好为主要密封面，而侧面加工精度难以提高，密封效果不好为次要密封面。这样容易造成密封槽中的残余气体通过侧密封面向真空室内释放，从而影响真空室内的真空度。
三、发明内容
本实用新型的发明目的是提供一种结构简单，加工方便，可以提高密封效果的一种防泄漏的真空密封装置。
实现本实用新型目的的技术方案是这样解决的：在底板上设有燕尾槽，燕尾槽内装有密封圈，与底板相对应连结的有倒T形上盖，在倒T形上盖内设有真空室，底板、倒T形上盖的两端通过紧固螺钉连结为一体，密封圈与燕尾槽的底面和侧面接触，本实用新型的改进之处在于在燕尾槽内侧面与真空室之间钻一个通孔。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果是在密封槽的内侧面(靠近真空室的一面)钻一个放气通孔，并通向槽底，消除残余气体的存在，残余气体不在通过侧密封面向真空室内释放，使加工精度高的密封槽底面为主要密封面，从而提高密封槽的密封性。
四、附图说明
附图为本实用新型的剖面结构主视示意图。
五、具体实施方式
附图为本实用新型的具体实施例
下面结合附图对本实用新型的内容作进一步说明
参照附图，一种防泄漏的真空密封装置，包括底板1上设有燕尾槽7，燕尾槽7内装有密封圈2，与底板1相对应连结的有倒T形上盖4，在上盖4内设有真空室9，底板1、倒T形上盖4的两端通过紧固螺钉3连结为一体，密封圈2与燕尾槽7的底面8和侧面6接触，所说的密封圈2的形状为O形或异形。在燕尾槽7的内侧面6与真空室9之间钻一个放气通孔5，并通向槽底。放气通孔5与真空室9相通，从而消除残余气体不在通过燕尾槽7的侧密封面向真空室内释放，提高了密封槽的密封性及真空室内的真空度。具有结构简单，制造方便等特点，适合各种密封系统的“O”形密封圈密封，特别是适用于真空密封系统的“O”形密封圈密封。广泛用于半导体材料制备、真空冶炼等设备中的密封结构。
Claims (3)
1、一种防泄漏的真空密封装置，底板(1)上设有燕尾槽(7)，燕尾槽(7)内装有密封圈(2)，与底板(1)相对应连结的有倒T形上盖(4)，在上盖(4)内设有真空室(9)，底板(1)、倒T形上盖(4)的两端通过紧固螺钉(3)连结为一体，密封圈(2)与燕尾槽(7)的底面(8)和侧面(6)接触，其特征在于在燕尾槽(7)的侧面(6)与真空室(9)之间钻一个通孔(5)。
2、根据权利要求1所述的一种防泄漏的真空密封装置，其特征在于所说的密封圈的形状为“O”形或异形。
3、根据权利要求1所述的一种防泄漏的真空密封装置，其特征在于所说的密封槽为燕尾槽、单燕尾槽或矩形槽。
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| CN 03218852 CN2613647Y (zh) | 2003-05-09 | 2003-05-09 | 一种防泄漏的真空密封装置 |
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100578732C (zh) * | 2005-02-25 | 2010-01-06 | Ips有限公司 | 真空处理装置 |
| CN101384842B (zh) * | 2006-02-14 | 2011-08-24 | 日本华尔卡工业株式会社 | 复合密封材料 |
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
| CN105422855A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 高低温真空环境下玻璃与金属间直接密封结构 |
| CN106641263A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-10 | 河南平芝高压开关有限公司 | 气体密封结构 |
| CN108757931A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-06 | 南通迅达橡塑制造有限公司 | 一种真空吸附式橡胶密封圈 |
| CN109070104A (zh) * | 2016-04-11 | 2018-12-21 | 喷雾嘴工程有限公司 | 喷雾嘴组件的高压密封装置 |
| CN110869653A (zh) * | 2017-07-06 | 2020-03-06 | 安珀动力能源公司 | 用于减少气体渗透到真空腔室中的油脂通道 |
| CN112424513A (zh) * | 2018-07-19 | 2021-02-26 | 应用材料公司 | 多节点多用途o形环及制作密封的方法 |
| CN114396475A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-04-26 | 合肥微睿光电科技有限公司 | 真空设备盖板、真空设备本体和真空设备 |
| WO2023137826A1 (zh) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 深圳市矩阵多元科技有限公司 | O型圈真空密封结构及真空设备 |
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2003
- 2003-05-09 CN CN 03218852 patent/CN2613647Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100578732C (zh) * | 2005-02-25 | 2010-01-06 | Ips有限公司 | 真空处理装置 |
| CN101384842B (zh) * | 2006-02-14 | 2011-08-24 | 日本华尔卡工业株式会社 | 复合密封材料 |
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
| CN105422855A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 高低温真空环境下玻璃与金属间直接密封结构 |
| CN109070104A (zh) * | 2016-04-11 | 2018-12-21 | 喷雾嘴工程有限公司 | 喷雾嘴组件的高压密封装置 |
| CN106641263A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-10 | 河南平芝高压开关有限公司 | 气体密封结构 |
| CN110869653A (zh) * | 2017-07-06 | 2020-03-06 | 安珀动力能源公司 | 用于减少气体渗透到真空腔室中的油脂通道 |
| CN108757931A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-06 | 南通迅达橡塑制造有限公司 | 一种真空吸附式橡胶密封圈 |
| CN112424513A (zh) * | 2018-07-19 | 2021-02-26 | 应用材料公司 | 多节点多用途o形环及制作密封的方法 |
| CN112424513B (zh) * | 2018-07-19 | 2023-05-23 | 应用材料公司 | 多节点多用途o形环及制作密封的方法 |
| CN114396475A (zh) * | 2022-01-12 | 2022-04-26 | 合肥微睿光电科技有限公司 | 真空设备盖板、真空设备本体和真空设备 |
| WO2023137826A1 (zh) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 深圳市矩阵多元科技有限公司 | O型圈真空密封结构及真空设备 |
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