CN109643629A - 用于真空腔室的门密封件 - Google Patents

Abstract

本文描述具有可充气狭缝阀开口密封件的真空腔室。在一个示例中，一种真空腔室包括腔室主体、第一可充气密封件和第一狭缝阀门。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。第一狭缝阀开口形成在所述侧壁中。所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动。

Description

用于真空腔室的门密封件

技术领域

本文描述的实施方式大体涉及用于真空腔室的门密封件，并且更具体地涉及具有门密封件的真空腔室。

背景技术

等离子体显示面板、液晶显示器、太阳能面板、有机发光二极管(OLED)显示器经常用于显示器和太阳能面板。在显示器和太阳能面板的制造期间，必须将大面积基板从工厂接口(factory interface)的大气环境传送到处理基板的处理系统的真空环境。装载锁定腔室用于从大气环境接收基板，泵吸到真空状态，然后将基板引入处理系统的真空环境。使用狭缝阀完成装载锁定腔室与大气环境和真空环境的选择性隔离。

狭缝阀一般包括接触狭缝阀门的密封表面的密封件和附连到装载锁定腔室或其部分的狭缝阀密封板。由于当装载锁定腔室被泵吸到真空状态、通风到大气并再次泵吸到真空状态时的压力差，腔室主体和门可能略微弯曲，由此导致狭缝阀门和狭缝阀密封板相对于彼此移动。当门和密封板相对于彼此移动时，用于在门与密封板之间提供真空密封的密封件，诸如O形环或密封垫圈，可相对于这些表面中的一个摩擦或滑动，由此不期望地产生不想要的颗粒，不想要的颗粒可能变为处理污染物。此外，摩擦会缩短密封件的寿命，从而必需更频繁地更换密封件。

因此，需要一种用于真空腔室的改善的狭缝阀门密封件。

发明内容

本文描述的实施方式包括具有可充气狭缝阀密封件的真空腔室。在一个示例中，一种真空腔室包括腔室主体、第一可充气密封件和第一狭缝阀门。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。第一狭缝阀开口形成在所述侧壁中。所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口。所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动。所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和在所述狭缝阀门处于所述关闭状态时可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。

在另一个示例中，所述真空腔室进一步包括：第二狭缝阀开口，所述第二狭缝阀开口穿过所述侧壁形成；第二狭缝阀门，所述第二狭缝阀门可在关闭位置与打开位置之间移动；和第二可充气密封件。在所述打开位置，所述第二狭缝阀门脱离所述第二狭缝阀开口以允许基板通过。当所述第二狭缝阀门处于所述关闭位置(例如，关闭状态)时，所述第二可充气密封件经定位以密封所述第二狭缝阀开口。

在又一个示例中，提供了一种真空腔室，所述真空腔室包括腔室主体、第一狭缝阀门、第一可充气密封件和密封夹(seal clamp)。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。所述侧壁具有至少形成在其中的第一狭缝阀开口。所述第一狭缝阀门可在关闭状态与打开状态之间移动。当处于所述打开状态时，所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件设置在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间，并且包围所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件具有基部，所述基部通过颈部耦接至中空管状部分。当所述第一狭缝阀门处于所述关闭位置时，所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供密封。所述第一可充气密封件的所述中空管状部分具有小于约90肖氏A的硬度。所述密封夹具有凹部，所述凹部具有比所述中空管状部分的宽度宽至少5％的宽度。所述凹部具有孔隙，所述颈部延伸穿过孔隙到可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分，当所述第一狭缝阀门处于所述关闭位置时，所述凹部的宽度足以允许所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门相对于所述基部侧向地移动时相对于所述基部滚动。

附图说明

因此，为了能够详细地理解本发明的上述特征所用方式，上文简要地概述的本发明的更具体描述可以参考实施方式进行，一些实施方式示于图中。然而，应注意，附图仅示出了本发明的典型实施方式，并且因此不应视为限制本发明的范围，因为本发明可允许其它等效实施方式。

图1是真空处理系统的局部剖视图，真空处理系统具有将工厂接口耦接至传送腔室的装载锁定腔室；

图2是装载锁定腔室的局部剖视图，示出了处于非充气状态的可充气密封件，其耦接至装载锁定腔室的腔室主体；

图3是装载锁定腔室的腔室主体的局部剖视图，示出了处于充气状态的可充气密封件；

图4是安装到腔室主体的可充气密封件的局部剖视图，示出了其中狭缝阀门处于关闭状态的状态；

图5是安装到腔室主体的可充气密封件的局部剖视图，示出了其中当狭缝阀门处于关闭状态时腔室主体相对于狭缝阀门移动的状态；

图6是具有可充气密封件的狭缝阀门的剖视图；和

图7是装载锁定腔室的局部平面图，示出了狭缝阀开口。

为了促进理解，已尽可能使用相同的参考数字标示各图共有的相同要素。应设想，一个实施方式中披露的要素可有利地并入其它实施方式，而无需具体叙述。

具体实施方式

本文所述的实施方式提供了一种可充气门密封件，其用于在真空腔室与狭缝阀门之间提供稳健密封，以用于密封穿过真空腔室的腔室主体形成的狭缝阀开口。有利地，可充气门密封件安装到腔室主体或门，其方式为允许密封件在腔室主体和门在门处于关闭位置时经历某种相对运动的状况期间略微滚动而不在腔室主体或门上进行摩擦，从而显著降低颗粒产生的可能性，同时延长密封件的寿命。

虽然可充气门密封件特别适合于真空腔室，用于密封真空环境和周围环境，诸如装载锁定腔室，但是可充气门密封件可以用于其它类型的真空腔室，诸如传送腔室、处理腔室和类似腔室。

图1是真空处理系统100的局部剖视图，真空处理系统100具有将工厂接口104耦接至传送腔室130的装载锁定腔室102。虽然未示出，但是至少一个或多个处理腔室耦接至传送腔室130。工厂接口104的内部108一般保持在大气环境下，而传送腔室130的内部132一般保持在真空下。

装载锁定腔室102包括腔室主体128，腔室主体128适于保持腔室主体128的内部容积106内的真空。基板支撑件126设置在腔室主体128的内部容积106内并被配置为便于用设置在工厂接口104内的工厂接口机械手和设置在传送腔室130内的真空机械手来交换基板(未示出)，如传统上已知的那样。

压力控制系统122通过穿过腔室主体128形成的一个或多个端口124耦接至装载锁定腔室102。当在装载锁定腔室102与传送腔室130之间交换基板时，压力控制系统122被配置为将腔室主体128的内部容积106泵吸到预定真空状况。当在装载锁定腔室102与工厂接口104之间交换基板时，压力控制系统122被配置成使腔室主体128的内部容积106通风到大气状况。压力控制系统122包括各种泵、流量控制器和阀，以便于改变腔室主体128的内部容积106的压力，如传统上已知的那样。

腔室主体128包括顶部162、底部164和侧壁166、168。第一狭缝阀开口110穿过腔室主体128的侧壁之一(例如，侧壁166)形成。狭缝阀开口110与形成在工厂接口104的主体138中的通道172对准，通道172将腔室主体128的内部容积106与工厂接口104的内部108连接。第二狭缝阀开口174穿过另一个侧壁(例如，侧壁168)形成。第二狭缝阀开口174与形成在传送腔室130的主体136中的通道134对准，通道134将腔室主体128的内部容积106与传送腔室130的内部132连接。狭缝阀开口110、174一般被配置为适应具有预定大小的基板的通道。在一个实施方式中，基板是大面积基板，诸如用于太阳能、平板或OLED制造中。在其它实施方式中，基板可以是半导体晶片或用真空处理腔室处理的其它基板。

狭缝阀门112设置在每个狭缝阀开口110、174附近。每个狭缝阀门112由铰链140连接到腔室主体128、136、138之一。狭缝阀门112是可由致动器(未示出)(诸如设置在腔室主体128外部的电动机或气动缸)移动的(在关闭状态与打开状态之间、)。在关闭状态下，狭缝阀门112通过接触安装到腔室主体128、136、138之一的可充气密封件114来密封狭缝阀开口110、174，如下面进一步讨论的。在打开状态，狭缝阀门112移动(例如，通过旋转)脱离狭缝阀开口110、174，以允许基板自动地传送通过腔室之间的狭缝阀开口110、174。

在图1中所示的实施方式中，一个狭缝阀门112连接到腔室主体138，而另一个狭缝阀门112连接到腔室主体128。在这种布置中，当一个腔室在真空状况下并且相邻腔室在大气压力下时，狭缝阀门112在狭缝阀开口110、174的大气侧上。在其它实施方式中，狭缝阀门112可以安装到相对腔室，使得狭缝阀门112在相反方向上打开。

流体控制系统118耦接至可充气密封件114。在一个示例中，流体控制系统118通过穿过腔室主体128布设的导管116耦接至可充气密封件114。流体控制系统118包括泵和阀门，以使可充气密封件114可控制地加压和排气。流体控制系统118的操作的控制由诸如可编程逻辑控制器(PLC)或类似者的控制器120提供。

当门112移动并保持在关闭状态时，流体控制系统118可操作以将可充气密封件114保持在充气状态。当门112处于打开状态和关闭状态时，可充气密封件114可由流体控制系统118保持在充气状态。在一个实施方式中，流体控制系统118可操作以在密封件114首先与门112接触时使可充气密封件114内的压力从较低压力开始调整，然后在使门114接触密封件114的力在门114接触密封件114之后增加时升高到较高压力。在一个实施方式中，流体控制系统118可操作以调整可充气密封件114内的压力，以响应于门112上的压力差的变化。在又一个实施方式中，流体控制系统118可操作以调整可充气密封件114内的压力，以响应于将门112推动到关闭位置的关闭力的变化。

可充气密封件114一般包围第一狭缝阀开口110。可充气密封件114具有大体上细长的矩形形状，其适于使具有预定大小的基板从中穿过。在一个示例中，密封件114为至少2950mm长×至少140mm宽。可充气密封件114可由含氟聚合物弹性体(诸如)、全氟弹性体(诸如)、或其它合适的弹性体制成。可充气密封件114可以具有小于约90肖氏A的硬度，诸如约60肖氏A。

图2是装载锁定腔室102的局部剖视图，示出了处于非充气状态的可充气密封件114，其耦接至装载锁定腔室102的腔室主体128。可充气密封件114由密封夹210安装到腔室主体128的侧壁166。腔室主体128的侧壁166包括包围狭缝阀开口110的凹部200。凹部200的大小适于接收密封夹210。在一个示例中，凹部200具有实质上矩形的形状，并且另外具有实质上矩形的轮廓。将流体控制系统118(图1中示出)连接到可充气密封件114的导管116可以穿过凹部200和密封夹210。

密封夹210可以由适用于真空环境的刚性材料制成。在一个实施方式中，密封夹210由铝或不锈钢制成。

密封夹210包括安装基部240。安装基部240包括多个孔212。孔212为紧固件216提供通道，紧固件216通过接合形成在腔室主体128中的螺纹孔202而将安装基部240耦接至腔室主体128。孔212可包括用于接收紧固件216的头部的埋头孔(counter sink)214。在一个实施方式中，密封夹210由两个件形成，一个沿着可充气密封件114的内径，一个沿着可充气密封件114的外径。

密封夹210还包括底部凹部220和顶部凹部242。底部凹部220和顶部凹部242由穿过凸缘222形成的孔隙245连接，凸缘222将凹部242、220分开。

可充气密封件114包括基部250，基部250由颈部238耦接至中空管状部分258。基部250的大小略微大于密封夹210的底部凹部220，但小于凹部200，因此当密封夹210紧固到腔室主体128时，基部250被压缩，由此形成与腔室主体128的真空密封。

颈部238延伸穿过穿过凸缘222形成的孔隙245，凸缘222将凹部242、220分开。通道252(以虚线示出)布设穿过颈部238和基部250并与导管116耦接。导管116布设穿过穿过腔室主体128形成的孔204。导管116可包括设置在孔204中的密封件256或与之接合。通道252流体地连接到管状部分258的中空内部260，使得流体诸如空气、氮、水或其它合适的流体由流体控制系统118选择性地提供和去除，以控制管状部分258的充气/放气。在一个实施方式中，流体控制系统118可以将高达约60PSI或更多的空气提供到管状部分258的中空内部260。

可充气密封件114的管状部分258部分地设置在密封夹210的顶部凹部242中。管状部分258包括外部密封表面262。外部密封表面262在其未充气状态下通常是平坦的，这有助于在使用时保持良好接触密封表面。管状部分258还可以包括织物芯部(由虚线示出)以加强构成管状部分258的聚合物。管状部分258和基部250一般大于孔隙245，使得可充气密封件114保持在密封夹210中。

当放气时，可充气密封件114的管状部分258的宽度一般小于顶部凹部242的宽度。在放气时，可充气密封件114的管状部分258的高度一般可以大于顶部凹部242的深度。

为了防止损坏可充气密封件114的管状部分258，顶部凹部242的底部244和侧壁246之间的交叉部206可以包括半径。在一个示例中，交叉部206可以具有包围侧壁246的整个高度的全半径。

图3是装载锁定腔室102的腔室主体128的局部剖视图，示出了处于充气状态的可充气密封件114。在充气状态下，流体控制系统118向管状部分258的中空内部260提供流体，以致使管状部分258膨胀到超过腔室主体128的侧壁166的外表面至少6mm的高度310。在一个实施方式中，流体控制系统118可以提供高达约60PSI或更多的空气。在充气状态下，管状部分258的侧面302远离顶部凹部242的侧壁246移动。

图4是当狭缝阀门112处于关闭位置并与可充气密封件114接触时，处于充气状态的可充气密封件114的局部剖视图。狭缝阀门112对可充气密封件114的力致使可充气密封件114的管状部分258略微压缩和加宽。然而，由于顶部凹部242比管状部分258宽得多，所以管状部分258的侧面302保持与顶部凹部242的侧壁246分开至少1mm的距离400，例如1.5mm或者更大。例如，当可充气密封件114处于充气状态时，密封夹210的顶部凹部242使顶部凹部242的宽度比中空管状部分258的宽度大至少1.4％。中空管状部分258的宽度平行于基部250限定。

距离400允许管状部分258在可充气密封件114处于充气状态时侧向地滚动中空管状部分258的宽度的至少1.4％。例如，在狭缝阀门112处于关闭状态时，中空管状部分258可以在狭缝阀门112相对于腔室主体128侧向地移动时相对于基部250侧向地移动1mm或更多，如图5中所绘的箭头510所示。在另一个示例中，在狭缝阀门112处于关闭状态时，中空管状部分258可以在狭缝阀门112相对于腔室主体128侧向地移动时相对于基部250侧向地移动2mm，如图5中所绘的箭头510所示。

如图5所示，平坦外部密封表面262与狭缝阀门112形成良好密封接触，并且由此提供足够的摩擦力，致使管状部分258以坦克履带(tank tread)或履带车带(caterpillartrack)的方式滚动，如箭头520所示，由此允许管状部分258在管状部分258的外部密封表面262保持与狭缝阀门112的非滑动接触时并在管状部分258的底部部分保持与密封夹210的非滑动接触时相对于基部250侧向地移动。因此，当狭缝阀门112处于关闭状态时，可充气密封件114将适应狭缝阀门112与腔室主体128之间的相对运动。

距离400一般经选择以允许将用于狭缝阀门112的可充气密封件114的一侧上的距离500足够大，以确保在狭缝阀门112已经移动预定距离时，可充气密封件114的侧面302保持脱离顶部凹部242的侧壁246。当距离500变得小于距离400时，可充气密封件114的相对侧上的距离502相反地增大大于距离400。

简要地转向图7以示出可充气密封件114在凹部242中的移动，图7是装载锁定腔室102的局部平面图，示出了狭缝阀开口110。当狭缝阀门112处于打开位置(例如，打开状态)时，装载锁定腔室102可以处于升高压力。当狭缝阀门112移动到关闭位置时，装载锁定腔室102内的压力被泵吸到约真空压力。狭缝阀开口110具有高度720和宽度750，被配置为适应基板从中传送。

当装载锁定腔室102被泵吸到真空压力时，狭缝阀开口110可能因作用在腔室主体136的顶部162、底部164和侧壁166、168上的差压力而变形。由于狭缝阀开口110的高度720远小于宽度750，狭缝阀开口110具有沿着狭缝阀开口110的中心部分从在大气压力下的原始高度722到在真空下时的压缩高度724。在一些实施方式中，当侧壁166、168在作用在腔室主体136的顶部162、底部164和侧壁166、168上的压缩压力载荷下偏斜到压缩高度724时，高度720的变化可以存在多达2mm变化。例如，当腔室102在大气压力下时，高度720的原始高度722可以在约50mm与约200mm之间，诸如约120mm。在将腔室102泵吸到真空压力时，狭缝阀开口110的高度720可以与接近开口110的端部的原始高度722相同，但是沿着宽度750偏斜，即，如由压缩高度724所示。压缩高度724可比原始高度722小约1.5mm。

由于开口110的宽度750相对于高度720大得多，开口110的中心一般经历更多偏斜。因此，可充气密封件114可以在密封件114的管状部分258的直线长度的中心部分而不是靠近管状部分258的拐角的部分中偏斜，即，侧向地滚动或移动。

顶部凹部242有利地允许可充气密封件114随侧壁166的移动而滚动，因为狭缝阀开口110在压力下从高度720略微变形到小的高度720，同时狭缝阀门与密封件114接触。因此，当腔室在大气压力与真空压力之间循环时，密封件114适应侧壁166、168相对于狭缝阀门112的移动，这实质上防止密封件114进行摩擦。通过适应侧壁166、168的移动，可以最小化或消除来自密封件114的颗粒产生。此外，密封件114的滚动并适应门112与侧壁166、168之间的相对运动而不进行摩擦的能力减少密封件磨损并延长预防性维护间隔和系统正常运行时间。

所示的安装到腔室主体136的可充气密封件114类似地安装和操作。

图6是具有可充气密封件114的狭缝阀门600的剖视图。狭缝阀门600一般包括凹部612，凹部612接收可充气密封件114和密封夹210。安装到门600的可充气密封件114由导管116耦接至流体控制系统，如上面所讨论的。

狭缝阀门600包括主体602，主体602包括枢轴孔604，枢轴孔604容纳形成铰链的一部分的轴，铰链允许门600在关闭状态与打开状态之间移动，如上面所讨论的。主体602具有后表面608和密封面606。密封面606面向相邻真空腔室的壁630，使得当门600处于关闭状态时，可充气密封件114接触壁630并包围形成在壁630中的狭缝阀开口632。

凹部612形成在密封面606中并以与上面参照图2-5所述的相同的方式接收可充气密封件114和密封夹210。

有利地，已描述了在真空腔室主体与狭缝阀门之间提供稳健密封的可充气门密封件。有利地，可充气门密封件适应真空腔室主体与关闭的狭缝阀门之间的侧向移动而不进行摩擦，由此显著降低颗粒产生的可能性，同时延长密封件的寿命。

虽然前述针对的是本发明的实施方式，但是在不脱离本发明的基本范围的情况下，也可设计本发明的其它和进一步实施方式，并且本发明的范围由所附权利要求书确定。

Claims (20)

1.一种真空腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁，所述侧壁具有至少形成在其中的第一狭缝阀开口；

第一可充气密封件，所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口；和

第一狭缝阀门，所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动，所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和在所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。

2.如权利要求1所述的真空腔室，进一步包括：

密封夹，所述密封夹将所述第一可充气密封件的所述基部密封地夹持到所述腔室主体。

3.如权利要求2所述的真空腔室，其中所述腔室主体的所述侧壁进一步包括：

凹槽，所述凹槽接收所述密封夹。

4.如权利要求2所述的真空腔室，其中所述密封夹包括：

凹陷部分，所述凹陷部分具有孔隙，所述第一可充气密封件的颈部延伸穿过所述孔隙，所述颈部将所述基部耦接至所述中空管状部分。

5.如权利要求1所述的真空腔室，其中所述中空管状部分被配置为在所述第一可充气密封件处于充气状态时相对于所述基部侧向地滚动通过所述中空管状部分的直径的至少1.4％的距离。

6.如权利要求5所述的真空腔室，其中所述距离为至少1mm。

7.如权利要求4所述的真空腔室，其中所述第一可充气密封件包括：

导管，所述导管用于使所述第一可充气密封件充气，所述导管从所述基部延伸穿过形成在所述侧壁中的所述凹陷部分。

8.如权利要求1所述的真空腔室，进一步包括：

第二狭缝阀开口，所述第二狭缝阀开口穿过所述侧壁形成；

第二狭缝阀门，所述第二狭缝阀门可在关闭位置与打开位置之间移动，当处于所述打开位置时，所述第二狭缝阀门脱离所述第二狭缝阀开口；和

第二可充气密封件，所述第二可充气密封件经定位以在所述第二狭缝阀门处于所述关闭位置时密封所述第二狭缝阀开口。

9.如权利要求8所述的真空腔室，进一步包括：

压力控制系统，所述压力控制系统耦接至所述腔室主体，所述压力控制系统适于将所述腔室主体泵吸到真空状况和使所述腔室主体通风到大气状况。

10.如权利要求8所述的真空腔室，其中所述第一可充气密封件背对所述腔室主体的内部，并且所述第二可充气密封件面向所述腔室主体的所述内部。

11.如权利要求1所述的真空腔室，其中所述第一可充气密封件的所述中空管状部分具有小于约90肖氏A的硬度。

12.一种真空腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁，所述侧壁具有至少形成在其中的第一狭缝阀开口；

第一狭缝阀门，所述第一狭缝阀门可在关闭状态与打开状态之间移动，当处于所述打开状态时，所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口；

第一可充气密封件，所述第一可充气密封件设置在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间，所述第一可充气密封件具有通过颈部耦接至中空管状部分的基部，当所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时，所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供密封，所述第一可充气密封件的所述中空管状部分具有小于约90肖氏A的硬度；和

密封夹，所述密封夹具有凹部，所述凹部具有比所述中空管状部分的宽度宽至少1.4％的宽度，所述凹部具有孔隙，所述颈部延伸穿过所述孔隙到可相对于所述基部侧向地移动的所述中空管状部分，当所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时，所述凹部的宽度足以允许所述中空管状部分在所述第一狭缝阀门相对于所述基部侧向地移动时以相对于所述基部滚动的方式变形。

13.如权利要求12所述的真空腔室，其中所述第一狭缝阀门进一步包括：

凹部，所述凹部在其中接收所述密封夹，所述凹部具有孔隙，耦接至所述第一可充气密封件的通向所述腔室主体的导管穿过所述孔隙设置。

14.如权利要求12所述的真空腔室，进一步包括：

第二狭缝阀开口，所述第二狭缝阀开口穿过所述侧壁形成；

第二狭缝阀门，所述第二狭缝阀门可在关闭状态与打开状态之间移动，当处于所述打开状态时，所述第二狭缝阀门脱离所述第二狭缝阀开口；和

第二可充气密封件，所述第二可充气密封件经定位以在所述第二狭缝阀门处于所述关闭位置时密封所述第二狭缝阀开口。

15.如权利要求14所述的真空腔室，其中所述第一可充气密封件背对所述腔室主体的内部，并且所述第二可充气密封件面向所述腔室主体的所述内部。

16.如权利要求15所述的真空腔室，进一步包括：

压力控制系统，所述压力控制系统耦接至所述腔室主体，所述压力控制系统适于将所述腔室主体泵吸到真空状况和使所述腔室主体通风到大气状况。

17.如权利要求14所述的真空腔室，进一步包括：

工厂接口，所述工厂接口耦接至所述腔室主体，所述第一狭缝阀开口被配置为允许基板在所述工厂接口与所述腔室主体之间传送；和

传送腔室，所述传送腔室耦接至所述腔室主体，所述第一狭缝阀开口被配置为允许基板在所述传送腔室与所述腔室主体之间传送。

18.如权利要求12所述的真空腔室，其中所述中空管状部分被配置为在所述第一可充气密封件处于充气状态时相对于所述基部侧向地滚动通过所述中空管状部分的直径的至少1.4％的距离。

19.如权利要求18所述的真空腔室，其中所述距离为至少1mm。

20.如权利要求12所述的真空腔室，其中所述第一可充气密封件耦接至所述腔室主体。