KR20110004047A - 풀-푸쉬 어세이 - Google Patents

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KR20110004047A
KR20110004047A KR1020090061665A KR20090061665A KR20110004047A KR 20110004047 A KR20110004047 A KR 20110004047A KR 1020090061665 A KR1020090061665 A KR 1020090061665A KR 20090061665 A KR20090061665 A KR 20090061665A KR 20110004047 A KR20110004047 A KR 20110004047A
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    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

본 발명은 게이트 밸브에 구비되어, 실링판을 게이트 방향으로 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이(pull-push assay)에 관한 것으로서, 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이는 중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서, 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓; 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭; 상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축; 상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
게이트, 게이트 밸브, 챔버, 진공, 풀-푸쉬 어세이

Description

풀-푸쉬 어세이{PULL-PUSH ASSAY}
본 발명은 게이트 밸브에 구비되어, 실링판을 게이트 방향으로 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이(pull-push assay)에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.
이러한 게이트 밸브는 진공 장비와 외부 또는 다른 진공 장비 사이에 설치되는 하우징과, 상기 하우징 내에서 상승 및 전후진 운동을 하면서 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트를 개폐하는 실링 플레이트와, 상기 실링 플레이트를 전후진시키는 전후진 구동부와, 상기 실링 플레이트 및 전후진 구동부를 상하 방향으로 승강시키는 승강 구동부 등을 포함하여 구성된다.
이 중에서 승강 구동부는 일반적으로 실린더로 구성되는데, 상기 하우징의 하면을 관통하여 상기 실링 플레이트의 하부와 결합된 구조를 가진다. 그러므로 하 우징 내부의 기밀을 유지하기 위하여 상기 승강 구동부와 상기 하우징 하면에는 복잡한 구조가 형성된다. 또한 상기 전후진 구동부가 에어를 이용하여 상기 실링 플레이트를 전후진 시키는 경우에는, 상기 실링 플레이트의 하부에 별도의 에어 샤프트가 더 구비되어야 한다.
그리고 상기 전후진 구동부(일명 '풀-푸쉬 어세이'라고도 함)는 전술한 바와 같이, 상기 실링 플레이트를 전후진 시키는 구성요소이며, 일반적으로 고압의 에어를 이용하여 상기 실링 플레이트를 전후진시킨다. 즉, 이 전후진 구동부는 에어로 구동되는 다수개의 실린더로 구성되어 상기 실링 플레이트 배면 다수 지점을 동시에 밀거나 당겨서 실링 플레이트를 전후진시키는 것이다.
이 전후진 구동부는 실링 플레이트를 직접 밀고 당기는 구성요소이므로 전후진 구동부를 구성하는 각 실린더가 정밀하게 제어되어야 상기 실링 플레이트를 정확하게 전후진시킬 수 있다. 그런데 종래의 전후진 구동부는 정확한 동작 제어가 어렵고, 실린더 내부와 실링 플레이트 사이의 차단이 확실하게 이루어지지 않아서 파티클 이슈가 발생하는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 정확한 전후진 동작 제어가 가능하고, 실린더 내부와 실링판 사이를 완벽하게 격리하여 파티클 이슈가 발생하지 않는 풀-푸쉬 어세이를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이는 중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서, 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓; 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭; 상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축; 상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 상기 후진 수단은 탄성력에 의하여 상기 실링 블럭을 후진시키는 탄성체인 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명의 풀-푸쉬 어세이에는, 일단이 상기 고정 브라켓에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭에 결합되며, 상기 실링축을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 고정 브라켓의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로가 더 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 풀-푸쉬 어세이는 탄성체로 구성되는 후진 수단을 구비하여 전후진 구동이 정밀하게 제어되며, 실링축을 감싸는 벨로우즈를 구비하여 실린더 내부 공간과 실링판이 위치하는 공간을 완벽하게 격리하여 파티클이 유출될 가능성을 원천적으로 없앤 효과가 있다.
또한 본 발명에서는 밴트 통로를 이용하여 실린더 동작 과정에서 발생할 수 있는 실린더 내부의 기체를 안정적으로 외부로 배출하여 실린더 동작을 더욱 정교하고 원활하게 제어할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(10), 실링 플레이트 어세이(20), 에어 샤프트(40), 하부 플레이트(30) 및 승강부(50)를 포함하여 구성된다.
먼저 하우징(10)은 본 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치될 챔버 측벽 또는 챔버와 챔버 사이의 공간에 개재되어 설치되는 구성요소이며, 다양한 형상을 가질 수 있으며 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 내부에 일정한 공간이 형성되는 육면체 형상을 가질 수 있다. 이 하우징(10)은 챔버 측벽에 기판을 출입을 위하여 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 도 1, 2에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀(12)과 하측 방향으로 개구된 승강홀(14)을 가진다.
상기 실링 홀(12)을 통해서는 후술할 실링 플레이트 어세이(20)의 실링판(24)이 관통하여 전후진 하며, 이 실링 홀(12)은 상기 하우징(10)의 전면 또는 후면 중 적어도 일면에 형성된다. 상기 게이트 밸브가 챔버와 챔버 사이에 설치되는 경우에는 상기 하우징(10)의 양면에 실링 홀(12)이 형성되고, 상기 실링 플레이트 어세이도 양 면에 실링판(24)을 가지게 된다.
상기 승강홀(14)은 실링 플레이트 어세이(20)의 조립시에 상기 실링 플레이트 어세이(20)가 통과하는 통로를 제공하며, 실링 플레이트 어세이(20)의 조립 이후에는 상기 에어 샤프트(40)가 통과하는 공간이기도 하다. 이 승강홀(14)은 후술하는 하부 플레이트(30)에 의하여 밀봉된다.
본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 하우징(10)의 하면에 형성되어 있는 승강홀(14)과, 상기 승강홀(14)을 하측에서 결합하여 밀봉하는 하부 플레이트(30)를 포함하는 구조로 인하여 상기 하우징(10) 내부에 설치되는 실링 플레이트 어세이(20)에 고장이 발생하는 경우, 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고 실링 플레이트 어세이(20) 만을 하우징(10) 하부로 분리할 수 있는 장점이 있다.
게이트 밸브의 유지 보수 작업을 수행하면서 하우징(10)을 포함하는 게이트 밸브 전체를 챔버로부터 분리하는 작업은 그 자체로도 매우 어려운 작업이며, 상기 챔버에 설치되어 있는 다른 부수 설비와의 간섭 문제 때문에 더욱 어려운 작업이 된다. 그런데 본 실시예에 따른 게이트 밸브는 어떠한 경우에도 상기 하우징(10) 자체를 챔버로부터 분리하지 않고도 유지 보수 작업을 진행할 수 있으므로 매우 유리한 것이다.
다음으로 실링 플레이트 어세이(Sealing Plate Assay, 20)는 상기 하우징(10) 내부에 설치되며, 실링판(24)이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이(20)는 도 1, 3에 도시된 바와 같이, 중앙판(22), 실링판(24) 및 풀-푸쉬 어세이(26)를 포함하여 구성된다. 먼저 중앙판(22)은 장방형의 플레이트로 구성되며, 실링 플레이트 어세이(20)의 중심을 이룬다. 이 중앙판(22) 하부에 에어 샤프트(40)가 결합된다. 그리고 이 중앙판(22)의 내부에는 에어 샤프트(40)로부터 공급된 에어를 상기 풀-푸쉬 어세이(26)에 공급하기 위한 유로(도면에 미도시)가 형성된다. 이 중앙판(22)은 상기 실링판(24)이 상기 게이트를 단속하기 위하여 전진하는 경우에도 움직이지 않고 자기 위치에 정지한 상태로 머문다.
다음으로 실링판(24)은 상기 중앙판(22)에 결합된 상태로 구비되며, 상기 게이트 방향으로 전후진하면서 상기 게이트를 단속하는 구성요소이다. 이 실링판(24)의 전면에는 상기 게이트를 밀봉할 경우에 기밀을 유지하기 위하여 오링(도면에 미도시)이 더 구비된다.
그리고 이 실링판(24)은 도 3에 도시된 바와 같이, 풀-푸쉬 어세이(26)에 의 하여 상기 중앙판(22)에 결합된다. 이 풀-푸쉬 어세이(26)는 상기 실링판(24)을 상기 중앙판(22)으로부터 상기 게이트 방향으로 전후진 시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 풀-푸쉬 어세이(26)이 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 공급되는 고압의 에어에 의하여 상기 실링판(24)을 전후진시키는 구조를 가진다. 구체적으로 본 실시예에서는 다수개의 풀-푸쉬 어세이(26)이 나란하게 배치되어 상기 실링판(24)의 다수 지점을 안정적으로 지지하게 된다.
본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)는 도 4에 도시된 바와 같이, 고정 브라켓(26a), 실링 블럭(26b), 실링축(26c) 및 후진수단(26d)을 포함하여 구성된다. 먼저 고정 브라켓(26a)은 후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판(22)에 고정되는 구성요소이다. 여기에서 이동홈은 후술하는 실링 블럭(26b)이 설치되어 전후진할 수 있는 공간이고, 상기 관통홀은 후술하는 실링축(26c)이 관통하여 전후진하는 통로를 말한다.
다음으로 실링 블럭(26b)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판(22)에서 공급되는 에어에 의하여 전진하고, 후술하는 후진 수단(26d)에 의하여 후진하는 구성요소이다. 이 실링 블럭(26b)은 상기 고정 브라켓(26a)에 형성되어 있는 이동홈 내에 삽입되어 전후진되므로, 상기 이동홈 내경과 동일하거나 약간 작게 형성된다. 그리고 이 실링 블럭(26b)과 이동홈 내면 사이에는, 상기 실링 블럭이 설치된 상태에서 이동홈과 실링 블럭 사이의 틈을 밀봉하고, 상기 실링 블럭의 원활한 전후진을 위하여 웨어링이 더 구비된다.
다음으로 실링축(26c)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 실링 블럭(26b)의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판(24) 배면에 결합되는 구성요소이다.
그리고 후진 수단(26d)은 상기 실링 블럭(26b)과 고정 브라켓(26a) 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭(26b)을 후진시키는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 후진 수단(26d)은 탄성체, 예를 들어 용수철로 구성될 수 있다. 따라서 상기 실링 블럭(26b)이 전진하는 경우에는 상기 실링 블럭(26b)의 배면을 가압하는 고압의 에어에 의하여 가압되고, 이때, 상기 실링 블럭(26b)과 고정 브라켓(26a) 사이에 배치된 후진 수단(26d)이 압축되어 탄성력이 발생한다. 그리고 상기 실링 블럭(26b)이 후진하는 경우에는 상기 실링 블럭(26b)의 배면을 가압하는 고압의 에어가 차단되고, 압축되어 탄성력을 가지고 있던 상기 후진 수단(26d)에 의하여 상기 실링 블럭(26b)이 후진하는 것이다.
따라서 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는 별도로 상기 실링 블럭(26b)의 후진을 위하여 구동수단이나 펌핑 수단을 구비할 필요가 없으며, 간단한 구조의 후진 수단(26d)에 의하여 실링 블럭이 후진하는 것이다.
또한 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 고정 브라켓(26a)에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭(26b)에 결합되며, 상기 실링축(26c)을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈(26e)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 벨로우즈(26e)는 상기 실링축(26c)을 감싸서 상기 이동홈 내부 공간과 실링축(26c)이 배치되는 공간을 차단한다. 따라서 이동홈 내부에서 발생되는 파티클이 실링축(26c) 및 실링판(24) 측 공간으로 유출될 가능성이 원천적으로 없 어지는 것이다.
그리고 본 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이(26)에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 고정 브라켓(26a)의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로(26f)가 더 형성되는 것이 바람직하다. 이 벤트 통로(26f)를 통해서는 상기 이동홈 내부의 기체가 외부로 배출될 수 있어서, 상기 실링 블럭(26b)의 전진 과정에서 이동홈 내부의 기체가 배출될 수 있는 통로를 제공하여, 상기 실링 블럭(26b)의 더 원활한 전진을 도모할 수 있다. 또한 상기 이동홈 내의 기체를 관리 가능한 공간으로 배출시켜 이동홈 내부에 존재하는 파티클이 다른 공간으로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
상기 게이트를 밀봉하는 과정에서는 상기 챔버 벽면과 평행한 상태에서 상기 실링판(24)의 모든 면에 대해 균일하게 힘이 가해지도록 한다. 특히, 본 실시예에서는 상기 에어 샤프트(40)가 상기 중앙판(22) 중앙 부분에 결합되므로, 에어 샤프트(40)에 공급되는 고압의 에어가 상기 실링판(22)의 중앙 부분부터 가압하게 된다. 따라서 상기 게이트의 밀봉 과정에서 가장 많은 힘을 받아서 변형되기 쉬운 부분인 중앙 부분을 가장 강하게 가압하게 되어 상기 실링판(24)의 변형을 방지하고, 확실하게 게이트를 밀봉하는 효과가 있다.
다음으로 에어 샤프트(40)는 상기 하우징(10)의 하부에서 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 에어 샤프트(40)는 2개가 나란하게 설치되는 것이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 안정 적으로 지지할 수 있어서 바람직하다. 이렇게 상기 에어 샤프트(40)가 2개로 구비되는 경우에는, 하나의 에어 샤프트(40)는 상기 실링 플레이트 어세이(20)에 에어를 공급하고, 나머지 하나는 공급된 에어를 배출하는 역할을 나누어 수행하는 것이 바람직하다. 이를 위하여 상기 에어 샤프트(40)의 상단은 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙판(22) 하면에 결합되고, 상기 에어 샤프트(40)의 하단은 후술하는 고정 플레이트(52)에 결합되며, 그 이 후에 별도로 구비되는 에어 공급 배출 라인(도면에 미도시)에 결합된다.
그리고 상기 에어 샤프트(40)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트 어세이(20)의 중앙 부분에 결합되는 것이, 상기 실링판(22)을 안정적으로 가압할 수 있고, 상기 실린더(54)의 설치 위치를 용이하게 확보할 수 있어서 바람직하다. 또한 상기 에어 샤프트(40)는 상기 하부 플레이트(30)에 형성되어 잇는 샤프트 관통홀(34)을 관통하여 설치되는데, 이때 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 하부 플레이트(30)와의 결합부분이 벨로우즈(44)에 의하여 밀봉된 상태로 결합되는 것이 바람직하다.
다음으로 하부 플레이트(30)는 상기 에어 샤프트(40)가 관통하는 샤프트 관통홀(34)을 가지며, 상기 하우징(10)의 하부에 결합하여 상기 승강홀(14)을 밀봉하는 구성요소이다. 즉, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)의 일부를 구성하는 세부 구성요소로도 볼 수 있으며, 상기 하우징(10) 중 하측으로 개방된 부분인 승강홀(14)을 밀봉하며, 이 하부 플레이트(30)는 상기 하우징(10)에 탈착가능한 구조로 결합된다.
또한 상기 하부 플레이트(30)와 하우징(10)의 결합면에는 상기 하우징(10) 내부의 기밀을 유지하기 위하여 오링(32)이 더 구비될 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 이렇게 상기 하우징(10)의 하부가 개방되는 구조를 가지므로 상기 게이트 밸브가 챔버 측벽에 설치된 후 사용과정에서 유지 보수를 위하여 하우징(10)을 분리하지 않고, 상기 하부 플레이트(30)를 분리하여 상기 하우징(10) 내부의 실링 플레이트 어세이(20)를 유지 보수할 수 있는 장점이 있다.
다음으로 승강부(50)는 상기 에어 샤프트(40)를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 승강부(50)가 직접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)와 결합하여 이를 승강하는 것이 아니라, 상기 에어 샤프트(40)를 통하여 간접적으로 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 승강시키는 것이다. 이를 위하여 상기 승강부(50)는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 고정 플레이트(52)와 실린더(56)를 포함하여 구성된다.
여기에서 상기 고정 플레이트(52)는 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 고정되며, 상기 에어 샤프트(40)와 함께 승강하는 구성요소이다. 이 고정 플레이트(52)에는 도 1, 4에 도시된 바와 같이, 중앙 부분에 상기 에어 샤프트(40)의 하단이 결합되고, 말단 부분에는 상기 실린더(54)의 하단이 결합된다.
구체적으로 상기 실린더(54)는 상기 고정 플레이트(52)와 상기 하부 플레이트(30) 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트(52)를 승강시키는 구성요소이다. 이 실린더(54)는 종래의 실린더와 달리 거꾸로 설치되어 상기 고정 플레이트(52)를 상하 방향으로 승강시킨다. 여기에서 상기 실린더(52)의 상단은 상기 하부 플레이 트(30)의 하면에 단순 결합된다. 여기에서 단순 결합된다 함은, 별도의 실링을 위한 구조를 가지지 않고, 단순히 볼트와 같은 체결 수단에 의하여 고정되는 것을 말한다.
본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 상기 에어 샤프트(40)를 이용하여 상기 실링 플레이트 어세이(20)를 지지하므로, 상기 실린더(54)는 복잡한 구조를 가지지 않고 단순한 구조로 상기 하부 플레이트(30)와 결합할 수 있다. 이렇게 단순 구조로 하부 플레이트(30)와 결합되면, 상기 게이트 밸브가 역압 대응 밸브로 구성되는 경우, 상기 실링 플레이트 어세이(20) 자체가 동작 과정에서 전 후 방향으로 약간 밀리더라도 고장이 발생할 가능성이 없으므로 바람직하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징의 하부 구조를 도시하는 저면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 실링 플레이트 어세이의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 풀-푸쉬 어세이의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 샤프트 및 승강부의 결합 구조를 도시하는 도면이다.

Claims (4)

  1. 중앙판에 고정되어 게이트 밸브의 실링판을 전후진시키는 풀-푸쉬 어세이에 있어서,
    후면에 음각되어 형성되는 이동홈 및 전면을 관통하여 형성되는 관통홀을 가지며, 상기 중앙판에 고정되는 고정 브라켓;
    상기 이동홈에 이동가능하게 설치되며, 상기 중앙판에서 공급되는 에어에 의하여 전진하는 실링 블럭;
    상기 실링 블럭의 전면 중앙에 일단이 결합되며, 상기 관통홀을 관통하여 타단이 상기 실링판 배면에 결합되는 실링축;
    상기 실링 블럭과 고정 브라켓 사이에 배치되어, 상기 실링 블럭을 후진시키는 후진수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 후진 수단은 탄성체인 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.
  3. 제1항에 있어서,
    일단이 상기 고정 브라켓에 결합되고, 타단은 상기 실링 블럭에 결합되며, 상기 실링축을 감싸서 밀봉하는 벨로우즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 고정 브라켓의 측벽을 관통하여 형성되며, 상기 이동 공간 내의 기체를 배출하는 벤트 통로가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 풀-푸쉬 어세이.
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