CN114412752A - 分段式真空作业设备及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空设备技术领域，本发明具体公开了一种分段式真空作业设备及其使用方法，分段式真空作业设备包括：进料腔室设置在作业腔室的一侧，进料腔室与作业腔室之间设有第一气动门，第一气动门用于打开或关闭作业腔室，出料腔室设置在作业腔室的另一侧，出料腔室与作业腔室之间设有第二气动门，第二气动门用于打开或关闭作业腔室，作业腔室与双级泵通过第一真空管道相连接，进料腔室与双级泵通过第二真空管道相连接，出料腔室与双级泵通过第三真空管道相连接；维持泵与作业腔室通过维持真空管道相连接；进料腔室的体积为V1，作业腔室的体积为V2，出料腔室的体积为V3，V2>V1=V3。本发明不仅可以降低功耗，节能减排，降低噪音，还有利于提高生产效率。

Description

分段式真空作业设备及其使用方法

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种分段式真空作业设备及其使用方法。

背景技术

真空点胶设备是在真空环境下对工件进行点胶的设备，在真空环境中点胶可以防止胶水中产生气泡，以提高点胶的质量。目前，为了提高真空点胶的效率，大多采用在真空点胶室两侧设置真空上料室和真空下料室，采用一个真空泵同时对三个腔室进行抽真空，再通过密封门将三个腔室隔开。这种方法需要真空泵一直处于工作状态，功耗较大，且真空泵产生的噪音较大，对工作人员会产生一定的伤害。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明提供一种分段式真空作业设备及其使用方法，能够降低功耗，提升工作环境的舒适度，还能提高生产效率。

根据本发明实施例的分段式真空作业设备，包括：作业腔室，以及进料腔室，所述进料腔室设置在所述作业腔室的一侧，所述进料腔室与所述作业腔室之间设有第一气动门，所述第一气动门用于打开或关闭所述作业腔室，以使所述进料腔室与所述作业腔室相连通或隔绝；出料腔室，所述出料腔室设置在所述作业腔室的另一侧，所述出料腔室与所述作业腔室之间设有第二气动门，所述第二气动门用于打开或关闭所述作业腔室，以使所述出料腔室与所述作业腔室相连通或隔绝；双级泵，所述作业腔室与所述双级泵通过第一真空管道相连接，所述进料腔室与所述双级泵通过第二真空管道相连接，所述出料腔室与所述双级泵通过第三真空管道相连接；维持泵，所述维持泵与所述作业腔室通过维持真空管道相连接；所述进料腔室的体积为V1，所述作业腔室的体积为V2，所述出料腔室的体积为V3，V2>V1=V3。

本发明的有益效果是，通过在作业腔室两侧分别设置进料腔室和出料腔室，并且三个腔室时间相互独立，可以对三个腔室分别进行抽真空；当作业腔室内的真空度达到作业要求后，可以将双级泵切换为维持泵来维持作业腔室内的真空度，这样不仅可以降低功耗，节能减排，还可以降低噪音，提高工作环境的舒适度。同时，进料腔室和出料腔室的体积要比作业腔室的体积小很多，可以提高对进料腔室和出料腔室抽真空的效率，有利于提高生产效率。

根据本发明一个实施例，还包括：

第一控制阀，所述第一控制阀安装在所述第一真空管道上，用于控制所述第一真空管道的打开或关闭；

第二控制阀，所述第二控制阀安装在所述第二真空管道上，用于控制所述第二真空管道的打开或关闭；

第三控制阀，所述第三控制阀安装在所述第三真空管道上，用于控制所述第三真空管道的打开或关闭；

第四控制阀，所述第四控制阀安装在所述维持真空管道上，用于控制所述维持真空管道的打开或关闭。

根据本发明一个实施例，还包括：

第一安装机构，所述第一安装机构设置在所述进料腔室与所述作业腔室之间，所述第一安装机构的一侧与所述作业腔室相连接，所述第一安装机构的另一侧与所述进料腔室相连接，且所述第一安装机构覆盖在所述第一气动门上；

第二安装机构，所述第二安装机构设置在所述出料腔室与所述作业腔室之间，所述第二安装机构的一侧与所述作业腔室相连接，所述第二安装机构的另一侧与所述出料腔室相连接，且所述第二安装机构覆盖在所述第二气动门上。

根据本发明一个实施例，所述第一安装机构包括：

第一安装框，所述第一安装框与所述作业腔室相连接，所述第一安装框具有第一容纳腔，所述第一气动门设于所述第一容纳腔内；

第一安装板，所述第一安装板与所述第一安装框相连接，所述进料腔室与所述第一安装板相连接，所述第二真空管道与所述第一安装板相连接。

根据本发明一个实施例，所述第一安装框开设有第一安装口，所述第一安装板覆盖在所述第一安装口上；所述第一安装板开设有第一通道和第二通道，所述进料腔室覆盖在所述第一通道处，所述第二真空管道覆盖在所述第二通道处；

所述进料腔室与所述第一容纳腔通过所述第一通道相连通，所述第二真空管道与所述第一容纳腔通过所述第二通道相连通。

根据本发明一个实施例，所述第二安装机构包括：

第二安装框，所述第二安装框与所述作业腔室相连接，所述第二安装框具有第二容纳腔，所述第二气动门设于所述第二容纳腔内；

第二安装板，所述第二安装板与所述第二安装框相连接，所述出料腔室与所述第二安装板相连接，所述第三真空管道与所述第二安装板相连接。

根据本发明一个实施例，所述第二安装框开设有第二安装口，所述第二安装板覆盖在所述第二安装口上；所述第二安装板开设有第三通道和第四通道，所述出料腔室覆盖在所述第三通道处，所述第三真空管道覆盖在所述第四通道处；

所述出料腔室与所述第二容纳腔通过所述第三通道相连通，所述第三真空管道与所述第二容纳腔通过所述第四通道相连通。

根据本发明一个实施例，所述第一气动门包括：

第一导向组件，所述第一导向组件安装在所述作业腔室的侧壁上，所述作业腔室上开设有进料口；

第一密封门，所述第一密封门安装在所述作业腔室侧壁上，所述第一密封门能够将所述进料口密封，所述第一密封门能够相对于所述第一导向组件上下滑动；

第一驱动组件，所述第一驱动组件的一端与所述作业腔室侧壁连接，所述第一驱动组件的另一端与所述第一密封门连接，所述第一驱动组件能够驱动所述第一密封门沿Z方向移动；

第一滑动机构，所述第一滑动机构安装在所述第一密封门上，所述第一滑动机构与所述第一导向组件相接触。

根据本发明一个实施例，所述第一气动门还包括：

第一限位机构，所述第一限位机构安装在所述第一密封门上，所述第一限位机构能够相对于所述第一导向组件滑动。

根据本发明一个实施例，所述第二气动门包括：

第二导向组件，所述第二导向组件安装在所述作业腔室的侧壁上，所述作业腔室上开设有出料口；

第二密封门，所述第二密封门安装在所述作业腔室侧壁上，所述第二密封门能够将所述出料口密封，所述第二密封门能够相对于所述第二导向组件上下滑动；

第二驱动组件，所述第二驱动组件的一端与所述作业腔室侧壁连接，所述第二驱动组件的另一端与所述第二密封门连接，所述第二驱动组件能够驱动所述第二密封门沿Z方向移动；

第二滑动机构，所述第二滑动机构安装在所述第二密封门上，所述第二滑动机构与所述第二导向组件相接触。

根据本发明一个实施例，所述第二气动门还包括：

第二限位机构，所述第二限位机构安装在所述第二密封门上，所述第二限位机构能够相对于所述第二导向组件滑动。

根据本发明实施例的分段式真空作业设备的使用方法，采用上述的分段式真空作业设备，所述分段式真空作业设备的的使用方法包括以下步骤：

S1、初始状态时，第一气动门和第二气动门关闭，作业腔室、进料腔室及出料腔室为三个独立腔室；

S2、打开双级泵和第一控制阀，对所述作业腔室进行抽真空，当所述作业腔室内的真空度达到作业要求后，打开维持泵和第四控制阀来维持所述作业腔室内的真空度，关闭双级泵和第一控制阀；

S3、在进料腔室内放置工件，进料完成后，打开双级泵和第二控制阀对所述进料腔室进行抽真空，当所述进料腔室内的真空度与作业腔室内的真空度相同时，打开第一气动门，将工件移送到作业腔室内，移送完毕后，关闭第一气动门和第二控制阀；

S4、工件在所述作业腔室内进行点胶作业，此时，打开第三控制阀对出料腔室进行抽真空，使所述出料腔室内的真空度与作业腔室内的真空度保持一致；

S5、点胶作业结束后，打开第二气动门，将工件移动至出料腔室内，移送完毕后，关闭第二气动门和第三控制阀。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的分段式真空作业设备的结构示意图。

图2是本发明的分段式真空作业设备的侧视图。

图3是本发明的分段式真空作业设备的剖视图。

图4是本发明的第一安装机构的剖视图。

图5是本发明的第一安装板的结构示意图。

图6是本发明的第二安装机构的剖视图。

图7是本发明的第二安装板的结构示意图。

图8是本发明的第一气动门的结构示意图。

图9是本发明的第二气动门的结构示意图。

图10是本发明的第二限位机构的结构示意图。

图11是本发明的第一气动门的另一角度结构示意图。

图12是本发明的第一导向组件的结构示意图。

图13是本发明的第一限位机构的结构示意图。

图14是本发明的第一气动门的剖视图。

图15是本发明的分段式真空作业设备的使用方法的流程图。

图中：

300、分段式真空作业设备；301、作业腔室；302、进料腔室；303、第一气动门；304、出料腔室；305、第二气动门；306、双级泵；307、第一真空管道；308、第二真空管道；309、第三真空管道；310、第一控制阀；311、第二控制阀；312、第三控制阀；313、第一安装机构；314、第二安装机构；315、维持泵；316、维持真空管道；317、第四控制阀；3011、进料口；3012、出料口；3013、第一凹槽；3131、第一安装框；3132、第一容纳腔；3133、第一安装板；3134、第一安装口；3135、第一通道；3136、第二通道；3141、第二安装框；3142、第二容纳腔；3143、第二安装板；3144、第二安装口；3145、第三通道；3146、第四通道；3031、第一导向组件；3032、第一密封门；3033、第一驱动组件；3034、第一滑动机构；3035、第一限位机构；3037、第一密封件；3051、第二导向组件；3052、第二密封门；3053、第二驱动组件；3054、第二滑动机构；3055、第二限位机构；30331、第一驱动件；30332、第二驱动件；30341、第一滑动组件；30342、第二滑动组件；30351、第一限位组件；30352、第二限位组件；30353、第一上限位件；30354、第一下限位件；30355、第二上限位件；30356、第二下限位件；30311、第一导轨；30312、第二导轨；30313、第一安装部；30314、第一导向部；30315、第一限位槽；30316、第二安装部；30317、第二导向部；30318、第二限位槽；30361、第一限位部；30362、第二限位部；30363、第三限位部；30364、第四限位部；30365、第五限位部；30366、第六限位部；30367、第七限位部；30368、第八限位部。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1至图14所示，根据本发明实施例的分段式真空作业设备，包括：作业腔室301、进料腔室302、出料腔室304、双级泵306及维持泵315，进料腔室302设置在作业腔室301的一侧，进料腔室302与作业腔室301之间设有第一气动门303，第一气动门303用于打开或关闭作业腔室301，以使进料腔室302与作业腔室301相连通或隔绝；出料腔室304设置在作业腔室301的另一侧，出料腔室304与作业腔室301之间设有第二气动门305，第二气动门305用于打开或关闭作业腔室301，以使出料腔室304与作业腔室301相连通或隔绝；作业腔室301与双级泵306通过第一真空管道307相连接，进料腔室302与双级泵306通过第二真空管道308相连接，出料腔室304与双级泵306通过第三真空管道309相连接；维持泵315与作业腔室301通过维持真空管道316相连接；进料腔室302的体积为V1，作业腔室301的体积为V2，出料腔室304的体积为V3，V2>V1=V3。

本发明通过在作业腔室301两侧分别设置进料腔室302和出料腔室304，并且三个腔室时间相互独立，可以对三个腔室分别进行抽真空；当作业腔室301内的真空度达到作业要求后，可以将双级泵306切换为维持泵315来维持作业腔室301内的真空度，这样不仅可以降低功耗，节能减排，还可以降低噪音，提高工作环境的舒适度。同时，进料腔室302和出料腔室304的体积要比作业腔室301的体积小很多，可以提高对进料腔室302和出料腔室304抽真空的效率，例如，要达到相同的真空度，双级泵306对作业腔室301抽真空需要2分钟左右，双级泵306对进料腔室302或出料腔室304抽真空只需要40秒左右，大大缩短了整体抽真空的时间，有利于提高生产效率。

根据本发明的一实施例，分段式真空作业设备还包括：第一控制阀310、第二控制阀311、第三控制阀312及第四控制阀317，第一控制阀310安装在第一真空管道307上，用于控制第一真空管道307的打开或关闭；第二控制阀311安装在第二真空管道308上，用于控制第二真空管道308的打开或关闭；第三控制阀312安装在第三真空管道309上，用于控制第三真空管道309的打开或关闭；第四控制阀317安装在维持真空管道316上，用于控制维持真空管道316的打开或关闭。例如，第一控制阀310、第二控制阀311、第三控制阀312及第四控制阀317均可以是蝶阀。换言之，每一个管道上均设置有独立的控制阀可以控制管道的通断。具体的，双级泵306上连接有一个四通接头，四通接头的下接口与双级泵306连接，上接口与第一真空管道307的一端连接，左接头与第二真空管道308的一端连接，右接头与第三真空管道309的一端连接。第一真空管道307的另一端与作业腔室301连接，第二真空管道308的另一端与进料腔室302连接，第三真空管道309的另一端与出料腔室304连接。当双级泵306对作业腔室301抽真空时，打开第一控制阀310，关闭第二控制阀311和第三控制阀312，只导通第一真空管道307。当双级泵306对进料腔室302抽真空时，打开第二控制阀311，关闭第一控制阀310和第三控制阀312，只导通第二真空管道308。当双级泵306对出料腔室304抽真空时，打开第三控制阀312，关闭第一控制阀310和第二控制阀311，只导通第三真空管道309。

根据本发明的一实施例，分段式真空作业设备还包括：第一安装机构313和第二安装机构314。第一安装机构313设置在进料腔室302与作业腔室301之间，第一安装机构313的一侧与作业腔室301相连接，第一安装机构313的另一侧与进料腔室302相连接，且第一安装机构313覆盖在第一气动门303上。第二安装机构314设置在出料腔室304与作业腔室301之间，第二安装机构314的一侧与作业腔室301相连接，第二安装机构314的另一侧与出料腔室304相连接，且第二安装机构314覆盖在第二气动门305上。换言之，第一安装机构313是将进料腔室302和作业腔室301连接起来的桥梁，同时，当第一气动门303打开时，第一安装机构313覆盖在第一气动门303上可以保证作业腔室301内的真空度不会受到影响。同样地，第二安装机构314是将出料腔室304和作业腔室301连接起来的桥梁，同时，当第二气动门305打开时，第二安装机构314覆盖在第二气动门305上可以保证作业腔室301内的真空度不会受到影响。

根据本发明的一实施例，第一安装机构313包括第一安装框3131和第一安装板3133，第一安装框3131与作业腔室301相连接，第一安装框3131具有第一容纳腔3132，第一气动门303设于第一容纳腔3132内，第一安装板3133与第一安装框3131相连接，进料腔室302与第一安装板3133相连接，第二真空管道308与第一安装板3133相连接。第一安装框3131开设有第一安装口3134，第一安装板3133覆盖在第一安装口3134上，第一安装板3133开设有第一通道3135和第二通道3136，进料腔室302覆盖在第一通道3135处，第二真空管道308覆盖在第二通道3136处，进料腔室302与第一容纳腔3132通过第一通道3135相连通，第二真空管道308与第一容纳腔3132通过第二通道3136相连通。具体的，第一安装框3131为长方形的“U”形结构，其厚度约为8毫米。第一容纳腔3132朝向作业腔室301所在的方向，第一安装口3134为长方形，第一安装板3133的形状与第一安装口3134的形状相匹配，且第一安装板3133的尺寸略大于第一安装口3134的尺寸，便于第一安装板3133固定在第一安装框3131上。第一通道3135为长方形，第二通道3136为圆形，第一通道3135的形状与进料腔室302的形状相匹配，第二通道3136的形状与第二真空管道308的形状相匹配，进料腔室302可以通过压条与第一安装板3133固定连接。在本实施例中，第一容纳腔3132、进料腔室302和第二真空管道308之间相互连通，这样便于双级泵306通过第二真空管道308对进料腔室302进行抽真空。

根据本发明的一实施例，第二安装机构314包括第二安装框3141和第二安装板3143，第二安装框3141与作业腔室301相连接，第二安装框3141具有第二容纳腔3142，第二气动门305设于第二容纳腔3142内；第二安装板3143与第二安装框3141相连接，出料腔室304与第二安装板3143相连接，第三真空管道309与第二安装板3143相连接。第二安装框3141开设有第二安装口3144，第二安装板3143覆盖在第二安装口3144上；第二安装板3143开设有第三通道3145和第四通道3146，出料腔室304覆盖在第三通道3145处，第三真空管道309覆盖在第四通道3146处；出料腔室304与第二容纳腔3142通过第三通道3145相连通，第三真空管道309与第二容纳腔3142通过第四通道3146相连通。具体的，第二安装框3141为长方形的“U”形结构，其厚度约为8毫米。第二容纳腔3142朝向作业腔室301所在的方向，第二安装口3144为长方形，第二安装板3143的形状与第二安装口3144的形状相匹配，且第二安装板3143的尺寸略大于第二安装口3144的尺寸，便于第二安装板3143固定在第二安装框3141上。第三通道3145为长方形，第四通道3146为圆形，第三通道3145的形状与出料腔室304的形状相匹配，第四通道3146的形状与第三真空管道309的形状相匹配，出料腔室304可以通过压条与第二安装板3143固定连接。在本实施例中，第二容纳腔3142、出料腔室304和第三真空管道309之间相互连通，这样便于双级泵306通过第三真空管道309对出料腔室304进行抽真空。

根据本发明的一实施例，第一气动门303包括第一导向组件3031、第一密封门3032、第一驱动组件3033及第一滑动机构3034，第一导向组件3031安装在作业腔室301的侧壁上，作业腔室301上开设有进料口3011；第一密封门3032安装在作业腔室301侧壁上，第一密封门3032能够将进料口3011密封，第一密封门3032能够相对于第一导向组件3031上下滑动；第一驱动组件3033的一端与作业腔室301侧壁连接，第一驱动组件3033的另一端与第一密封门3032连接，第一驱动组件3033能够驱动第一密封门3032沿Z方向移动；第一滑动机构3034安装在第一密封门3032上，第一滑动机构3034与第一导向组件3031相接触。第一气动门303还包括第一限位机构3035，第一限位机构3035安装在第一密封门3032上，第一限位机构3035能够相对于第一导向组件3031滑动。第一气动门303可以通过第一导向组件3031对第一密封门3032的移动进行导向和限位，第一驱动组件3033能够驱动第一密封门3032上下移动，实现进料口3011的打开和关闭。

根据本发明的一实施例，第二气动门305包括第二导向组件3051、第二密封门3052、第二驱动组件3053及第二滑动机构3054，第二导向组件3051安装在作业腔室301的侧壁上，作业腔室301上开设有出料口3012；第二密封门3052安装在作业腔室301侧壁上，第二密封门3052能够将出料口3012密封，第二密封门3052能够相对于第二导向组件3051上下滑动；第二驱动组件3053的一端与作业腔室301侧壁连接，第二驱动组件3053的另一端与第二密封门3052连接，第二驱动组件3053能够驱动第二密封门3052沿Z方向移动；第二滑动机构3054安装在第二密封门3052上，第二滑动机构3054与第二导向组件3051相接触。第二气动门305还包括第二限位机构3055，第二限位机构3055安装在第二密封门3052上，第二限位机构3055能够相对于第二导向组件3051滑动。第二气动门305可以通过第二导向组件3051对第二密封门3052的移动进行导向和限位，第二驱动组件3053能够驱动第二密封门3052上下移动，实现出料口3012的打开和关闭。

需要说明的是，第一气动门303和第二气动门305的结构与工作过程相同，下面以第一气动门303为例来进行详细说明。

具体的，第一驱动组件3033包括第一驱动件30331和第二驱动件30332，第一驱动件30331和第二驱动件30332分别位于第一密封门3032的左右两端。第一驱动件30331的下端与作业腔室301的侧壁固定连接，第一驱动件30331的上端（即输出端）与第一密封门3032固定连接（例如通过单肘节接头连接）。第二驱动件30332的下端与作业腔室301的侧壁固定连接，第二驱动件30332的上端（即输出端）与第一密封门3032固定连接（例如通过单肘节接头连接）。第一驱动件30331和第二驱动件30332例如可以是气缸，当气缸的输出端伸出时，可以带动第一密封门3032向上移动，当气缸的输出端缩回时，第一密封门3032可以向下移动，从而实现第一密封门3032的打开和关闭。

具体的，第一滑动机构3034包括第一滑动组件30341和第二滑动组件30342，第一滑动组件30341固定在第一密封门3032的前侧面的左端，第二滑动组件30342固定在第一密封门3032的前侧面的右端。第一限位机构3035包括第一限位组件30351和第二限位组件30352，第一限位组件30351固定在第一密封门3032的左侧，第二限位组件30352固定在第一密封门3032的右侧。例如，第一滑动组件30341和第二滑动组件30342均包含三个凸轮轴承随动器，但不限于此，也可以是其他数量或者其他部件。具体的，第一限位组件30351包含第一上限位件30353和第一下限位件30354，第一上限位件30353和第一下限位件30354分别位于第一密封门3032左侧的上下两端，第二限位组件30352包含第二上限位件30355和第二下限位件30356，第二上限位件30355和第二下限位件30356分别位于第一密封门3032右侧的上下两端。例如，第一上限位件30353、第一下限位件30354、第二上限位件30355和第二下限位件30356均可以是凸轮轴承随动器，但不限于此，也可以是其他部件。

具体的，第一导向组件3031包括第一导轨30311和第二导轨30312，第一导轨30311和第二导轨30312均固定在作业腔室301的侧壁上，且第一导轨30311和第二导轨30312分别位于进料口3011的两侧，第一导轨30311与第二导轨30312相互平行设置。第一导轨30311和第二导轨30312的长度与第一容纳腔3132的长度相匹配，便于第一安装框3131覆盖在第一气动门303上。进一步地，第一导轨30311包括第一安装部30313和第一导向部30314，第一安装部30313与作业腔室301的侧壁相连接，第一导向部30314与第一安装部30313固定连接，第一导向部30314与第一安装部30313之间形成第一限位槽30315。第二导轨30312包括第二安装部30316和第二导向部30317，第二安装部30316与作业腔室301的侧壁相连接，第二导向部30317与第二安装部30316固定连接，第二导向部30317与第二安装部30316之间形成第二限位槽30318。具体的，当第一导轨30311和第二导轨30312安装到作业腔室301的侧壁上时，第一上限位件30353和第一下限位件30354均位于第一限位槽30315内，第二上限位件30355和第二下限位件30356均位于第二限位槽30318内。同时，第一滑动组件30341抵靠在第一导向部30314上，第二滑动组件30342抵靠在第二导向部30317上，当第一密封门3032上下移动时，第一滑动组件30341可以沿第一导向部30314直线运动，第二滑动组件30342可以沿第二导向部30317直线运动，这样能够保证第一密封门3032沿Z方向移动时的直线度。

具体的，第一限位槽30315内由下至上依次设有第一限位部30361、第二限位部30362、第三限位部30363及第四限位部30364。第二限位槽30318内由下至上依次设有第五限位部30365、第六限位部30366、第七限位部30367及第八限位部30368。第一上限位件30353和第一下限位件30354可以在第一限位槽30315上下滑动，第二上限位件30355和第二下限位件30356可以在第二限位槽30318内上下滑动，当第一密封门3032处于闭合状态时，第一下限位件30354位于第一限位部30361处，第一上限位件30353位于第二限位部30362处，第二下限位件30356位于第五限位部30365处，第二上限位件30355位于第六限位部30366处。当第一密封门3032处于打开状态时，第一下限位件30354位于第三限位部30363处，第一上限位件30353位于第四限位部30364处，第二下限位件30356位于第七限位部30367处，第二上限位件30355位于第八限位部30368处。具体的，第一限位部30361、第二限位部30362、第三限位部30363、第四限位部30364、第五限位部30365、第六限位部30366、第七限位部30367及第八限位部30368均可以是由底弧面、斜面及顶弧面组成，斜面的底端与底弧面连接，斜面的顶端与顶弧面连接，顶弧面的半径大于底弧面的半径，这样能够更好地对第一限位机构3035进行限位。

具体的，作业腔室301的侧壁与第一密封门3032之间设有第一密封件3037，第一密封件3037可以是密封圈。作业腔室301的侧壁在靠近进料口3011的一圈设有第一凹槽3013，第一密封件3037安装在第一凹槽3013内。当第一密封门3032关闭时，第一密封件3037被作业腔室301的侧壁和第一密封门3032挤压变形，从而能够填充作业腔室301的侧壁和第一密封门3032之间的缝隙。同时，作业腔室301的侧壁和第一密封门3032具有相同的平面度，能够使得作业腔室301的侧壁与第一密封门3032之间更好地贴合，保证作业腔室301内的真空度。

第一气动门303的工作过程是，当第一密封门3032需要打开时，启动第一驱动组件3033，第一驱动组件3033的输出端带动第一密封门3032向上移动，此时，第一上限位件30353从第二限位部30362处向第四限位部30364移动，第一下限位件30354从第一限位部30361处向第三限位部30363移动；第二上限位件30355从第六限位部30366处向第八限位部30368移动，第二下限位件30356从第五限位部30365处向第七限位部30367移动，当第一驱动组件3033的输出端停止时，第一上限位件30353位于第四限位部30364处，第一下限位件30354位于第三限位部30363处，第二上限位件30355位于第八限位部30368处，第二下限位件30356位于第七限位部30367处，此时，第一密封门3032完全打开。当第一密封门3032需要关闭时，第一驱动组件3033的输出端带动第一密封门3032向下移动，第一上限位件30353和第一下限位件30354在第一限位槽30315向下滑动，第二上限位件30355和第二下限位件30356在第二限位槽30318内向下滑动，当第一密封门3032完全关闭时，第一下限位件30354回到第一限位部30361处，第一上限位件30353回到第二限位部30362处，第二下限位件30356回到第五限位部30365处，第二上限位件30355回到第六限位部30366处。

如图15所示，根据本发明实施例的分段式真空作业设备的使用方法，采用上述的分段式真空作业设备300。该分段式真空作业设备的使用方法包括以下步骤：

S1、初始状态时，第一气动门303和第二气动门305关闭，作业腔室301、进料腔室302及出料腔室304为三个独立腔室。

S2、打开双级泵306和第一控制阀310，对作业腔室301进行抽真空，当作业腔室301内的真空度达到作业要求后，打开维持泵315和第四控制阀317来维持作业腔室301内的真空度，关闭双级泵306和第一控制阀310。

S3、在进料腔室302内放置工件，进料完成后，打开双级泵306和第二控制阀311对进料腔室302进行抽真空，当进料腔室302内的真空度与作业腔室301内的真空度相同时，打开第一气动门303，将工件移送到作业腔室301内，移送完毕后，关闭第一气动门303和第二控制阀311。

S4、工件在作业腔室301内进行点胶作业，此时，打开第三控制阀312对出料腔室304进行抽真空，使出料腔室304内的真空度与作业腔室301内的真空度保持一致。

S5、点胶作业结束后，打开第二气动门305，将工件移动至出料腔室304内，移送完毕后，关闭第二气动门305和第三控制阀312。

具体的，作业腔室301的尺寸例如是1110*860*1160mm，进料腔室302和出料腔室304的尺寸例如是300*350*280mm，换言之，进料腔室302和出料腔室304的体积远小于作业腔室301的体积。当作业腔室301的真空度达到30Pa以下时，可以关闭双级泵306，切换为维持泵315来维持作业腔室301的真空度，维持泵315的功耗和噪声均比双级泵306小得多，这样不仅可以降低设备的功耗，节能减排，又可以提升工作环境的舒适度。当进料、作业、出料完成后，可以将新的工件放入进料腔室302内，循环步骤S3至S5，实现连续作业。进料腔室302和出料腔室304分别设有供进料、出料的密封舱门。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要如权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (12)

1.一种分段式真空作业设备，其特征在于，包括：

作业腔室（301），以及

进料腔室（302），所述进料腔室（302）设置在所述作业腔室（301）的一侧，所述进料腔室（302）与所述作业腔室（301）之间设有第一气动门（303），所述第一气动门（303）用于打开或关闭所述作业腔室（301），以使所述进料腔室（302）与所述作业腔室（301）相连通或隔绝；

出料腔室（304），所述出料腔室（304）设置在所述作业腔室（301）的另一侧，所述出料腔室（304）与所述作业腔室（301）之间设有第二气动门（305），所述第二气动门（305）用于打开或关闭所述作业腔室（301），以使所述出料腔室（304）与所述作业腔室（301）相连通或隔绝；

双级泵（306），所述作业腔室（301）与所述双级泵（306）通过第一真空管道（307）相连接，所述进料腔室（302）与所述双级泵（306）通过第二真空管道（308）相连接，所述出料腔室（304）与所述双级泵（306）通过第三真空管道（309）相连接；

维持泵（315），所述维持泵（315）与所述作业腔室（301）通过维持真空管道（316）相连接；

所述进料腔室（302）的体积为V1，所述作业腔室（301）的体积为V2，所述出料腔室（304）的体积为V3，V2>V1=V3。

2.如权利要求1所述的分段式真空作业设备，其特征在于，还包括：

第一控制阀（310），所述第一控制阀（310）安装在所述第一真空管道（307）上，用于控制所述第一真空管道（307）的打开或关闭；

第二控制阀（311），所述第二控制阀（311）安装在所述第二真空管道（308）上，用于控制所述第二真空管道（308）的打开或关闭；

第三控制阀（312），所述第三控制阀（312）安装在所述第三真空管道（309）上，用于控制所述第三真空管道（309）的打开或关闭；

第四控制阀（317），所述第四控制阀（317）安装在所述维持真空管道（316）上，用于控制所述维持真空管道（316）的打开或关闭。

3.如权利要求2所述的分段式真空作业设备，其特征在于，还包括：

第一安装机构（313），所述第一安装机构（313）设置在所述进料腔室（302）与所述作业腔室（301）之间，所述第一安装机构（313）的一侧与所述作业腔室（301）相连接，所述第一安装机构（313）的另一侧与所述进料腔室（302）相连接，且所述第一安装机构（313）覆盖在所述第一气动门（303）上；

第二安装机构（314），所述第二安装机构（314）设置在所述出料腔室（304）与所述作业腔室（301）之间，所述第二安装机构（314）的一侧与所述作业腔室（301）相连接，所述第二安装机构（314）的另一侧与所述出料腔室（304）相连接，且所述第二安装机构（314）覆盖在所述第二气动门（305）上。

4.如权利要求3所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第一安装机构（313）包括：

第一安装框（3131），所述第一安装框（3131）与所述作业腔室（301）相连接，所述第一安装框（3131）具有第一容纳腔（3132），所述第一气动门（303）设于所述第一容纳腔（3132）内；

第一安装板（3133），所述第一安装板（3133）与所述第一安装框（3131）相连接，所述进料腔室（302）与所述第一安装板（3133）相连接，所述第二真空管道（308）与所述第一安装板（3133）相连接。

5.如权利要求4所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第一安装框（3131）开设有第一安装口（3134），所述第一安装板（3133）覆盖在所述第一安装口（3134）上；所述第一安装板（3133）开设有第一通道（3135）和第二通道（3136），所述进料腔室（302）覆盖在所述第一通道（3135）处，所述第二真空管道（308）覆盖在所述第二通道（3136）处；

所述进料腔室（302）与所述第一容纳腔（3132）通过所述第一通道（3135）相连通，所述第二真空管道（308）与所述第一容纳腔（3132）通过所述第二通道（3136）相连通。

6.如权利要求3所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第二安装机构（314）包括：

第二安装框（3141），所述第二安装框（3141）与所述作业腔室（301）相连接，所述第二安装框（3141）具有第二容纳腔（3142），所述第二气动门（305）设于所述第二容纳腔（3142）内；

第二安装板（3143），所述第二安装板（3143）与所述第二安装框（3141）相连接，所述出料腔室（304）与所述第二安装板（3143）相连接，所述第三真空管道（309）与所述第二安装板（3143）相连接。

7.如权利要求6所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第二安装框（3141）开设有第二安装口（3144），所述第二安装板（3143）覆盖在所述第二安装口（3144）上；所述第二安装板（3143）开设有第三通道（3145）和第四通道（3146），所述出料腔室（304）覆盖在所述第三通道（3145）处，所述第三真空管道（309）覆盖在所述第四通道（3146）处；

所述出料腔室（304）与所述第二容纳腔（3142）通过所述第三通道（3145）相连通，所述第三真空管道（309）与所述第二容纳腔（3142）通过所述第四通道（3146）相连通。

8.如权利要求1所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第一气动门（303）包括：

第一导向组件（3031），所述第一导向组件（3031）安装在所述作业腔室（301）的侧壁上，所述作业腔室（301）上开设有进料口（3011）；

第一密封门（3032），所述第一密封门（3032）安装在所述作业腔室（301）侧壁上，所述第一密封门（3032）能够将所述进料口（3011）密封，所述第一密封门（3032）能够相对于所述第一导向组件（3031）上下滑动；

第一驱动组件（3033），所述第一驱动组件（3033）的一端与所述作业腔室（301）侧壁连接，所述第一驱动组件（3033）的另一端与所述第一密封门（3032）连接，所述第一驱动组件（3033）能够驱动所述第一密封门（3032）沿Z方向移动；

第一滑动机构（3034），所述第一滑动机构（3034）安装在所述第一密封门（3032）上，所述第一滑动机构（3034）与所述第一导向组件（3031）相接触。

9.如权利要求8所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第一气动门（303）还包括：

第一限位机构（3035），所述第一限位机构（3035）安装在所述第一密封门（3032）上，所述第一限位机构（3035）能够相对于所述第一导向组件（3031）滑动。

10.如权利要求1所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第二气动门（305）包括：

第二导向组件（3051），所述第二导向组件（3051）安装在所述作业腔室（301）的侧壁上，所述作业腔室（301）上开设有出料口（3012）；

第二密封门（3052），所述第二密封门（3052）安装在所述作业腔室（301）侧壁上，所述第二密封门（3052）能够将所述出料口（3012）密封，所述第二密封门（3052）能够相对于所述第二导向组件（3051）上下滑动；

第二驱动组件（3053），所述第二驱动组件（3053）的一端与所述作业腔室（301）侧壁连接，所述第二驱动组件（3053）的另一端与所述第二密封门（3052）连接，所述第二驱动组件（3053）能够驱动所述第二密封门（3052）沿Z方向移动；

第二滑动机构（3054），所述第二滑动机构（3054）安装在所述第二密封门（3052）上，所述第二滑动机构（3054）与所述第二导向组件（3051）相接触。

11.如权利要求10所述的分段式真空作业设备，其特征在于，所述第二气动门（305）还包括：

第二限位机构（3055），所述第二限位机构（3055）安装在所述第二密封门（3052）上，所述第二限位机构（3055）能够相对于所述第二导向组件（3051）滑动。

12.一种分段式真空作业设备的使用方法，其特征在于，采用如权利要求1-11任一项所述的分段式真空作业设备，所述分段式真空作业设备的的使用方法包括以下步骤：

S1、初始状态时，第一气动门（303）和第二气动门（305）关闭，作业腔室（301）、进料腔室（302）及出料腔室（304）为三个独立腔室；

S2、打开双级泵（306）和第一控制阀（310），对所述作业腔室（301）进行抽真空，当所述作业腔室（301）内的真空度达到作业要求后，打开维持泵（315）和第四控制阀（317）来维持所述作业腔室（301）内的真空度，关闭双级泵（306）和第一控制阀（310）；

S3、在进料腔室（302）内放置工件，进料完成后，打开双级泵（306）和第二控制阀（311）对所述进料腔室（302）进行抽真空，当所述进料腔室（302）内的真空度与作业腔室（301）内的真空度相同时，打开第一气动门（303），将工件移送到作业腔室（301）内，移送完毕后，关闭第一气动门（303）和第二控制阀（311）；

S4、工件在所述作业腔室（301）内进行点胶作业，此时，打开第三控制阀（312）对出料腔室（304）进行抽真空，使所述出料腔室（304）内的真空度与作业腔室（301）内的真空度保持一致；

S5、点胶作业结束后，打开第二气动门（305），将工件移动至出料腔室（304）内，移送完毕后，关闭第二气动门（305）和第三控制阀（312）。

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