CN112410747A - 一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法 - Google Patents

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CN112410747A CN202011104884.7A CN202011104884A CN112410747A CN 112410747 A CN112410747 A CN 112410747A CN 202011104884 A CN202011104884 A CN 202011104884A CN 112410747 A CN112410747 A CN 112410747A
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Abstract

本发明公开了一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法，该镀膜玻璃生产线包括通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、真空系统、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，镀膜室由若干镀膜腔体组成，进片过渡室和镀膜室之间、出片缓冲室和镀膜室之间，镀膜室内两镀膜腔体之间通过双向服务阀连接。使用本发明提供的具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，当单个镀膜腔体发生事故，或者单个镀膜腔体内靶材耗尽时，可以单独对该镀膜腔体所在的一段镀膜室进行破空，检修工作完毕后再对该段镀膜室抽真空，无需对整个真空系统整线破空，降低了维护工作的时间，以及维护完毕后恢复生产的时间，且不影响生产的质量。

Description

一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法
技术领域
本发明涉及玻璃真空生产设备领域，尤其涉及一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法。
背景技术
大面积真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，生产工艺环境友好，同时膜层质量优异，玻璃产量高，经济效益好，最近几年得到快速发展。典型的真空磁控溅射镀膜玻璃生产线由进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、出片过渡室、出片缓冲室、出片锁室组成。一般镀膜室由若干腔体组成，镀膜腔体安装有阴极盖板和分子泵盖板，一般根据不同的工艺要求，设计阴极的数量、种类、位置。进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室的入口各有一个单向门阀，出片过渡室、出片缓冲室、出片锁室的出口也各有一个单向门阀，六个门阀把镀膜线分为七个区域，每个区域起到不同的作用，工作压强也不尽相同。以往传统镀膜线的各镀膜腔体之间没有门阀。若生产线出现事故，比如玻璃碰撞，阴极跳靶等，就需要整线破空。同时正常生产时，每种靶材的消耗量不同，当一类靶材消耗殆尽需要更换，而另一类靶材不需要更换时，也需要整线破空。因此，当恢复生产时，抽真空的时间会大大延长，影响产量，同时可能会影响镀膜质量。因此，急需一种可以分段生产的具有高真空系统的镀膜玻璃生产线。
发明内容
本发明为解决现有技术中的上述问题，提供一种结构新颖、生产高效的具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一方面，本发明提供了一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，包括依次通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，其特征在于，分段式真空系统包括三个双向服务阀，13个气动蝶阀，2台螺杆泵，3台罗茨泵，若干分子泵，若干手动角阀，若干真空规；
镀膜室由1～n个镀膜腔体组成，双向服务阀分别安装于进片过渡室和镀膜室之间、出片过渡室和镀膜室之间、第n/2和第n/2+1个镀膜腔体之间；
分子泵TP1～TPn分别安装在1～n个镀膜腔体上，并管路连接于真空主管道上；3台罗茨泵作为分子泵的前级泵，第一罗茨泵通过第一真空支线管道连接于真空主管道和真空管道之间；第三罗茨泵通过第二真空支线管道连接于真空主管道和真空管道之间；第二罗茨泵通过“Y”形真空支线管道连接于真空主管道和真空管道之间；
2台螺杆泵为3台罗茨泵的前级泵，并分别通过第三真空支线管道和第四真空支线管道连接于真空管道上；
真空主管道上依次安装有气动蝶阀；第五气动蝶阀在进片缓冲室和进片过渡室之间的门阀的位置；第六气动蝶阀、第九气动蝶阀、第十二气动蝶阀分别在3个双向服务阀位置处；气动蝶阀在出片缓冲室和出片过渡室之间的门阀的位置；真空主管道两端分别和进片缓冲室和出片缓冲室真空系统的前级管道连接；
第三真空规和真空规分别安装在第一真空支线管道和第二真空支线管道上；第四真空规和第五真空规分别安装在“Y”形真空支线管道的分支管道上；每个镀膜腔体上均设置有一真空规，其中，第一真空规和第二真空规分别安装在第n/2和第n/2+1个镀膜腔体上。
进一步地，分子泵的抽气口位置均设有一手动角阀。
进一步地，第一真空支线管道、第二真空支线管道和“Y”形真空支线管道的分支管道上分别设置有第七气动蝶阀、第十一气动蝶阀、第八气动蝶阀和第十气动蝶阀。
进一步地，第三真空规、第四真空规、第五真空规和第八真空规均设置于气动蝶阀和主真空管道之间。
进一步地，第一真空支线管道与真空主管道的连接点位于第六气动蝶阀和第九气动蝶阀之间；第二真空支线管道与真空主管道的连接点位于第十二气动蝶阀和第九气动蝶阀之间；“Y”形真空支线管道的分支管道与真空主管道的两个连接点分别位于第九气动蝶阀的两端。
进一步地，真空管道上还安装有第三气动蝶阀和第四气动蝶阀，且分别位于第二罗茨泵排气口的两侧。
进一步地，安装第一螺杆泵和第二螺杆泵的第三真空支线管道和第四真空支线管道上还分别安装有第一气动蝶阀和第二气动蝶阀。
进一步地，进片锁室、出片锁室分别通过一气动蝶阀、一罗茨泵和一螺杆泵与外界相连。
进一步地，进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室分别连接一真空规。
进一步地，进片缓冲室和出片缓冲室分别管道连接一气动蝶阀、一分子泵、一罗茨泵和一螺杆泵，形成真空系统并与真空主管道相连。
另一方面，本发明还提供了如上述具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线的工作方法，包括分段破空和分段抽真空两种工作方法，分段破空包括镀膜室左段镀膜腔体破空和镀膜室右段镀膜腔体破空，右侧镀膜腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭镀膜室和出片过渡室之间的第三双向服务阀FF3、镀膜室内的第二双向服务阀FF2；
步骤二，打开第十三气动蝶阀；
步骤三，关闭第九气动蝶阀、第十二气动蝶阀、第十气动蝶阀、第十一气动蝶阀；
步骤四，关闭第三罗茨泵，待罗茨泵停止后，关闭第四气动蝶阀、第二气动蝶阀、第二螺杆泵；
镀膜室左段镀膜腔体腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭镀膜室与进片过渡室之间的第一双向服务阀、镀膜室内的第二双向服务阀；
步骤二，打开第五气动蝶阀；
步骤三，关闭第九气动蝶阀、第六气动蝶阀、第八气动蝶阀、第七气动蝶阀；
步骤四，关闭第一罗茨泵，待第一罗茨泵停转后，关闭第三气动蝶阀、第一气动蝶阀、第一螺杆泵。
进一步地，分段抽真空包括镀膜室左段镀膜腔体抽真空和镀膜室右段镀膜腔体抽真空，镀膜室右段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动第二螺杆泵，打开第二气动蝶阀、第十一气动蝶阀；
步骤二，当第八真空规压力达到3000Pa时，启动罗茨泵；
步骤三，当第三真空规压力达到5Pa时，启动第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当第三真空规压力和第二真空规压力为一个数量级时，打开镀膜室和出片过渡室之间的第三双向服务阀、镀膜室内的第二双向服务阀，打开第九气动蝶阀、第十二气动蝶阀；
步骤五，关闭第十三气动蝶阀；
镀膜室左段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动第一螺杆泵，打开第一气动蝶阀、第七气动蝶阀；
步骤二，当第三真空规压力达到3000Pa时，启动第一罗茨泵；
步骤三，当第八真空规压力达到5Pa时，启动第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当第八真空规和第一真空规的压力达到一个数量级时，打开镀膜室和进片过渡室之间的双向服务阀、镀膜室内的第二双向服务阀，打开第九气动蝶阀和第六气动蝶阀；
步骤五，关闭第五气动蝶阀。
本发明采用上述技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本发明提供的一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线及工作方法，采用双向服务阀室连接进片过渡室和镀膜室、镀膜室和出片过渡室，以及镀膜室内的两个镀膜腔体，使整个镀膜室分隔开为镀膜室的左段和右段，当单个镀膜腔体内发生事故，或者单个镀膜腔体内靶材耗尽时，可以单独对镀膜室的左段或右段内进行单独破空，检修工作完毕后再对镀膜室的左段或右段单独抽真空，无需对整个真空系统整线破空，降低了维护工作的时间，以及维护完毕后恢复生产的时间，提高了镀膜玻璃生产工作的效率，避免了整线破空和抽真空可能会带来的生产质量问题，提高了镀膜质量。
附图说明
图1是本发明一实施例提供的一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线的原理示意图；
其中：1-第一真空支线管道，2-真空管道，3-第三真空支线管道，4-“Y”形真空支线管道，5-第四真空支线管道，6-第二真空支线管道，7-真空主管道，8-第一镀膜腔体，RP1-第一罗茨泵，RP2-第二罗茨泵，RP3-第三罗茨泵，BV1-第一气动蝶阀，BV2-第二气动蝶阀，BV3-第三气动蝶阀，BV4-第四气动蝶阀，BV5-第五气动蝶阀，BV6-第六气动蝶阀，BV7-第七气动蝶阀，BV8-第八气动蝶阀，BV9-第九气动蝶阀，BV10-第十气动蝶阀，BV11-第十一气动蝶阀，BV12-第十二气动蝶阀，BV13-第十三气动蝶阀，SP1-第一螺杆泵，SP2-第二螺杆泵，FF1-第一双向服务阀室，FF2-第二双向服务阀室，FF3-第三双向服务阀室，VG1-第一真空规，VG2-第二真空规，VG3-第三真空规，VG4-第四真空规，VG5-第五真空规，VG8-第八真空规，TP4-第四分子泵，AV4-第四手动角阀。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明进行详细和具体的介绍，以使更好的理解本发明，但是下述实施例并不限制本发明范围。
如图1所示，本发明提供了一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，包括依次通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，分段式真空系统包括三个双向服务阀FF1、FF2、FF3，13个气动蝶阀BV1～BV13，2台螺杆泵SP1、SP2，3台罗茨泵RP1、RP2、RP3，若干分子泵TP1～TPn，若干手动角阀AV1～AVn组成，若干真空规；
镀膜室由1～n个镀膜腔体组成，双向服务阀分别安装于进片过渡室和镀膜室之间、出片过渡室和镀膜室之间、第n/2和第n/2+1个镀膜腔体之间；其中，在本发明一优选实施例中，n为偶数；若n为奇数，则双向服务阀FF2安装于第n/2-0.5和第n/2+0.5个镀膜腔体之间，不限制本发明的范围。
分子泵TP1～TPn分别安装在1～n个镀膜腔体上，并管路连接于真空主管道上，分子泵TP1～TPn的抽气口位置均设有一手动角阀，每一个手动角阀控制一个分子泵；3台罗茨泵RP1、RP2、RP3作为分子泵TP1～TPn的前级泵，第一罗茨RP1通过第一真空支线管道1连接于真空主管道7和真空管道2之间；第三罗茨泵RP3通过第二真空支线管道6连接于真空主管道7和真空管道2之间；第二罗茨泵RP2通过“Y”形真空支线管道4连接于真空主管道7和真空管道2之间；
2台螺杆泵SP1、SP2为3台罗茨泵RP1、RP2、RP3的前级泵，并分别通过第三真空支线管道3和第四真空支线管道5连接于真空管道2上；
真空主管道7上依次安装有气动蝶阀BV5、BV6、BV9、BV12和BV13；第五气动蝶阀BV5在进片缓冲室和进片过渡室之间的门阀的位置；第六气动蝶阀BV6、第九气动蝶阀BV9、第十二气动蝶阀BV12分别在3个双向服务阀FF1～FF3位置处；第十三气动蝶阀BV13在出片缓冲室和出片过渡室之间的门阀的位置；真空主管道7两端分别和进片缓冲室和出片缓冲室真空系统的前级管道连接；
第三真空规VG3和第八真空规VG8分别安装在第一真空支线管道1和第二真空支线管道6上；第四真空规VG4和第五真空规VG5分别安装在“Y”形真空支线管道4的分支管道上；第一真空规VG1和第二真空规VG2分别安装在第n/2和第n/2+1个镀膜腔体上，每一个镀膜腔体上均安装有一个真空规，其他真空规在此不再叙述。
在本发明一优选实施例中，第一真空支线管道1、第二真空支线管道6和“Y”形真空支线管道4的分支管道上分别设置有第七气动蝶阀BV7、第十一气动蝶阀BV11、第八气动蝶阀BV8和第十气动蝶阀BV10。
在本发明一优选实施例中，第三真空规VG3、第四真空规VG4、第五真空规VG5和第八真空规VG8均设置于气动蝶阀和主真空管道7之间。
在本发明一优选实施例中，第一真空支线管道1与真空主管道7的连接点位于第六气动蝶阀BV6和第九气动蝶阀BV9之间；第二真空支线管道6与真空主管道7的连接点位于第十二气动蝶阀BV12和第九气动蝶阀BV9之间；“Y”形真空支线管道4的分支管道与真空主管道7的两个连接点分别位于第九气动蝶阀BV9的两端。
在本发明一优选实施例中，真空管道2上还安装有第三气动蝶阀BV3和第四气动蝶阀BV4，且分别位于第二罗茨泵RP2排气口的两侧。
在本发明一优选实施例中，安装第一螺杆泵SP1和第二螺杆泵SP2的第三真空支线管道3和第四真空支线管道5上还分别安装有第一气动蝶阀BV1和第二气动蝶阀BV2。
在本发明一优选实施例中，进片锁室、出片锁室分别通过一气动蝶阀、一罗茨泵和一螺杆泵与外界相连。
在本发明一优选实施例中，进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室分别连接一真空规，用以检测气压。进片缓冲室和出片缓冲室分别管道连接一气动蝶阀、一分子泵、一罗茨泵和一螺杆泵，形成真空系统并与真空主管道相连。
本发明还提供了如上述具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线的工作方法，包括分段破空和分段抽真空两种工作方法，分段破空包括镀膜室左段镀膜腔体破空和镀膜室右段镀膜腔体破空，右侧镀膜腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭镀膜室和出片过渡室之间的第三双向服务阀FF3和镀膜室内两个镀膜腔体之间的第二双向服务阀FF2；
步骤二，打开第十三气动蝶阀BV13；
步骤三，关闭第九气动蝶阀BV9、第十二气动蝶阀BV12、第十气动蝶阀BV10、第十一气动蝶阀BV11；
步骤四，关闭第三罗茨泵RP3，待罗茨泵停止后，关闭第四气动蝶阀BV4、第二气动蝶阀BV2、第二螺杆泵SP2；
镀膜室左段镀膜腔体腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭镀膜室与进片过渡室之间的第一双向服务阀FF1、镀膜室内的第二双向服务阀FF2；
步骤二，打开第五气动蝶阀BV5；
步骤三，关闭第九气动蝶阀BV9、第六气动蝶阀BV6、第八气动蝶阀BV8、第七气动蝶阀BV7；
步骤四，关闭第一罗茨泵RP1，待第一罗茨泵RP1停转后，关闭第三气动蝶阀BV3、第一气动蝶阀BV1、第一螺杆泵SP1。
在本发明一优选实施例中，分段抽真空包括镀膜室左段镀膜腔体抽真空和镀膜室右段镀膜腔体抽真空，镀膜室右段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动第二螺杆泵SP2，打开第二气动蝶阀BV2、第十一气动蝶阀BV11；
步骤二，当第八真空规VG8压力达到3000Pa时，启动第三罗茨泵RP3；
步骤三，当第三真空规VG3压力达到5Pa时，启动第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当第三真空规VG3压力和第二真空规VG2压力一个数量级时，打开镀膜室和出片过渡室之间的第三双向服务阀FF3和镀膜室内两个镀膜腔体之间的第二双向服务阀FF2，打开第九气动蝶阀BV9、第十二气动蝶阀BV12；
步骤五，关闭第十三气动蝶阀BV13；
镀膜室左段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动第一螺杆泵SP1，打开第一气动蝶阀BV1、第七气动蝶阀BV7；
步骤二，当第三真空规VG3压力达到3000Pa时，启动第一罗茨泵RP1,；
步骤三，当第八真空规VG8压力达到5Pa时，启动第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当第八真空规VG8和第一真空规VG1的压力达到一个数量级时，打开镀膜室和进片过渡室之间的第一双向服务阀FF1、镀膜室内的第二双向服务阀FF2，打开第九气动蝶阀BV9和第六气动蝶阀BV6；
步骤五，关闭第六气动蝶阀BV5。
通过上述方法，可实现对镀膜室左段右段部分的镀膜腔体进行分别破空和抽真空，且操作简便。
本发明采用双向服务阀室连接进片过渡室和镀膜室、镀膜室和出片过渡室，以及镀膜室内两镀膜腔体，使镀膜室分为相隔的两段，当单个镀膜腔体内发生事故，或者单个镀膜腔体内靶材耗尽时，可以单独对该镀膜腔体所在的镀膜室进行破空，检修工作完毕后再对该镀膜腔体所在的镀膜室抽真空，无需对整个真空系统整线破空，降低了维护工作的时间，以及维护完毕后恢复生产的时间，且不影响生产质量。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。

Claims (9)

1.一种具有分段式高真空系统的镀膜玻璃生产线，包括依次通过门阀连接的进片锁室、进片缓冲室、进片过渡室、镀膜室、出片过渡室、出片缓冲室和出片锁室，其特征在于，所述分段式真空系统包括三个双向服务阀(FF1、FF2、FF3)，13个气动蝶阀(BV1～BV13)，2台螺杆泵(SP1、SP2)，3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)，若干分子泵(TP1～TPn)，若干手动角阀(AV1～AVn)，若干真空规；
所述镀膜室由1～n个镀膜腔体组成，所述双向服务阀分别安装于进片过渡室和所述镀膜室之间、出片过渡室和所述镀膜室之间、第n/2和第n/2+1个镀膜腔体之间；
所述分子泵TP1～TPn分别安装在所述1～n个镀膜腔体上，并管路连接于真空主管道(7)上；所述3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)作为所述分子泵(TP1～TPn)的前级泵，所述第一罗茨泵(RP1)通过第一真空支线管道(1)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；所述第三罗茨泵(RP3)通过第二真空支线管道(6)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；所述第二罗茨泵(RP2)通过“Y”形真空支线管道(4)连接于真空主管道(7)和真空管道(2)之间；
所述2台螺杆泵(SP1、SP2)为所述3台罗茨泵(RP1、RP2、RP3)的前级泵，并分别通过第三真空支线管道(3)和第四真空支线管道(5)连接于真空管道(2)上；
所述真空主管道(7)上依次安装有气动蝶阀(BV5、BV6、BV9、BV12和BV13)；所述第五气动蝶阀(BV5)在进片缓冲室和进片过渡室之间的门阀的位置；所述第六气动蝶阀(BV6)、第九气动蝶阀(BV9)、第十二气动蝶阀(BV12)分别在3个所述双向服务阀(FF1～FF3)位置处；所述气动蝶阀(BV13)在出片缓冲室和出片过渡室之间的门阀的位置；所述真空主管道(7)两端分别和所述进片缓冲室和出片缓冲室真空系统的前级管道连接；
第三真空规(VG3)和第八真空规(VG8)分别安装在所述第一真空支线管道(1)和所述第二真空支线管道(3)上；第四真空规(VG4)和第五真空规(VG5)分别安装在所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道上；每个所述镀膜腔体上均设置有一真空规，其中，第一真空规(VG1)和第二真空规(VG2)分别安装在第n/2和第n/2+1个镀膜腔体上。
2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述分子泵(TP1～TPn)的抽气口位置均设有一手动角阀。
3.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第一真空支线管道(1)、第二真空支线管道(6)和所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道上分别设置有第七气动蝶阀(BV7)、第十一气动蝶阀(BV11)、第八气动蝶阀(BV8)和第十气动蝶阀(BV10)。
4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第三真空规(VG3)、第四真空规(VG4)、第五真空规(VG5)和第八真空规(VG8)均设置于气动蝶阀和所述主真空管道(7)之间。
5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述第一真空支线管道(1)与真空主管道(7)的连接点位于所述第六气动蝶阀(BV6)和所述第九气动蝶阀(BV9)之间；所述第二真空支线管道(6)与真空主管道(7)的连接点位于所述第十二气动蝶阀(BV12)和所述第九气动蝶阀(BV9)之间；所述“Y”形真空支线管道(4)的分支管道与真空主管道(7)的两个连接点分别位于所述第九气动蝶阀(BV9)的两端。
6.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，所述真空管道(2)上还安装有第三气动蝶阀(BV3)和第四气动蝶阀(BV4)，且分别位于所述第二罗茨泵(RP2)排气口的两侧。
7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃生产线，其特征在于，安装所述第一螺杆泵(SP1)和所述第二螺杆泵(SP2)的第三真空支线管道(3)和第四真空支线管道(5)上还分别安装有第一气动蝶阀(BV1)和第二气动蝶阀(BV2)。
8.一种权利要求1～7任一项所述的镀膜玻璃生产线的工作方法，其特征在于，包括分段破空和分段抽真空两种工作方法，所述分段破空包括镀膜室左段镀膜腔体破空和镀膜室右段镀膜腔体破空，所述镀膜室右侧镀膜腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭所述镀膜室和所述出片过渡室之间的第三双向服务阀(FF3)、所述镀膜室内的第二双向服务阀(FF2)；
步骤二，打开所述第十三气动蝶阀(BV13)；
步骤三，关闭所述第九气动蝶阀(BV9)、所述第十二气动蝶阀(BV12)、所述第十气动蝶阀(BV10)、所述第十一气动蝶阀(BV11)；
步骤四，关闭所述第三罗茨泵(RP3)，待罗茨泵停止后，关闭所述第四气动蝶阀(BV4)、所述第二气动蝶阀(BV2)、所述第二螺杆泵(SP2)；
所述镀膜室左段镀膜腔体破空包括如下步骤：
步骤一，关闭第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵，待分子泵的转子停止转动，关闭所述镀膜室与进片过渡室之间的第一双向服务阀(FF1)、所述镀膜室内的第二双向服务阀(FF2)；
步骤二，打开所述第五气动蝶阀(BV5)；
步骤三，关闭所述第九气动蝶阀(BV9)、第六气动蝶阀(BV6)、第八气动蝶阀(BV8)、第七气动蝶阀(BV7)；
步骤四，关闭所述第一罗茨泵(RP1)，待第一罗茨泵(RP1)停转后，关闭所述第三气动蝶阀(BV3)、第一气动蝶阀(BV1)、第一螺杆泵(SP1)。
9.根据权利要求8所述的镀膜玻璃生产线的工作方法，其特征在于，所述分段抽真空包括镀膜室左段镀膜腔体抽真空和镀膜室右段镀膜腔体抽真空，所述镀膜室右段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动所述第二螺杆泵(SP2)，打开所述第二气动蝶阀(BV2)、所述第十一气动蝶阀(BV11)；
步骤二，当所述第八真空规(VG8)压力达到3000Pa时，启动所述罗茨泵(RP3)；
步骤三，当所述第三真空规(VG3)压力达到5Pa时，启动第n/2+1～n个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当所述第三真空规(VG3)压力和所述第二真空规(VG2)压力为一个数量级时，打开所述镀膜室和所述出片过渡室之间的第三双向服务阀(FF3)、所述镀膜室内的第二双向服务阀(FF2)，打开所述第九气动蝶阀(BV9)、所述第十二气动蝶阀(BV12)；
步骤五，关闭所述第十三气动蝶阀(BV13)；
所述镀膜室左段镀膜腔体抽真空包括如下步骤：
步骤一，启动所述第一螺杆泵(SP1)，打开所述第一气动蝶阀(BV1)、所述第七气动蝶阀(BV7)；
步骤二，当所述第三真空规(VG3)压力达到3000Pa时，启动所述第一罗茨泵(RP1)；
步骤三，当所述第八真空规(VG8)压力达到5Pa时，启动第1～n/2个镀膜腔体上的分子泵；
步骤四，当所述第八真空规(VG8)和第一真空规(VG1)的压力达到一个数量级时，打开所述镀膜室和所述进片过渡室之间的双向服务阀FF1、所述镀膜室内的第二双向服务阀(FF2)，打开所述第九气动蝶阀(BV9)和第六气动蝶阀(BV6)；
步骤五，关闭所述第五气动蝶阀(BV5)。
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