KR20100061214A - 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 관한 것으로, 진공차단 슬롯 밸브는 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부를 포함하며, 상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인, 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤을 포함한다.
제조설비, 트랜스챔버, 프로세스챔버, 공정, 진공차단, 슬롯, 밸브, 도어

Description

진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어{The vacuum Isolation Slot valve and vacuum Isolation door having the same}
본 발명은 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 관한 것이다.
일반적으로, 영상표시장치는 화상을 표시하는 액정패널과 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 상부 및 하부기판과, 상기 상부 및 하부기판 사이에 형성된 액정 층으로 구성된다.
근래 들어, 상술한 영상표시장치 기판이 대구경, 대형화 되면서 영상표시장치를 제조하는 설비의 크기가 커지고 있다.
상기와 같은 영상표시장치를 제조하려면, 전용의 영상표시장치 제조설비와 같이 저진공으로부터 초고진공에 이르는 넓은 진공 영역에서 작업이 가능한 진공차단 슬롯밸브 등과 같은 진공차단 장치를 필요로 한다.
그러나, 종래 기술의 진공차단 장치에서는, 영상표시장치 기판을 제조설비에 공급한 상태에서 밸브를 폐쇄하도록 작동시키면, 인입구 개폐패널의 차단부분이 하우징 인입구의 테두리부 둘레를 따라 균일하게 접촉되기 어렵기 때문에, 작동 부분 에 과도한 압력을 가하여 밀착되도록 구성하게 되는데, 이때 인입구 개폐패널과 하우징 인입구사이의 과도한 밀착으로 인하여, 이들 부품이 파손 및 변형되어 고장이 발생하는 문제점이 있었다.
그리고, 종래 기술의 진공차단 장치에서는, 인입구 개폐패널에 가해지는 정압과 역압이 서로 상쇄되지 않으므로 안정적으로 진공차단을 할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 작동 부분이 파손되지 않으며, 인입구에 균일하게 접촉되어 과도한 작용압력이 가해지지 않고, 제조 설비의 전체적인 크기의 변화에 따른 압력 변화를 일으키지 않을 뿐만 아니라, 하우징 인입구를 안정적으로 진공 차단할 수 있는 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브는, 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부를 포함하며, 상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널, 상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인, 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤을 포함한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 도어는, 일측에 서로 떨어져 있는 한 쌍의 인입구가 형성되어 있는 하우징, 상기 한 쌍의 인입구 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인입구 하측에 설치되어 있는 승강 장치, 그리고 상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있으며, 상기 한 쌍의 인입구를 개폐하는 인입구 개폐부를 포함한다.
상기 인입구 개폐부는, 상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널, 상기 승강 패널의 양측에 각각 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널 및 제2 인입구 개폐패널, 그리고 상기 승강 패널의 내부에 배치되어 있으며, 상기 제1 인입구 개폐패널 및 상기 제2 인입구 개폐패널을 움직여 상기 인입구를 개폐하는 복수의 인입구 개폐장치를 포함할 수 있다.
상기 인입구 개폐장치는, 상기 승강 패널의 내측에 길이 방향을 따라 배치되어 있는 공기 라인, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제1 피스톤, 그리고 일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제2 피스톤을 포함하며, 상기 제1 및 제2 피스톤은 상기 공기 라인에서 공급되는 공기의 압력에 움직여 상기 인입구를 막을 수 있다.
상기 적어도 하나의 제1 피스톤은 복수 개 형성되어 있으며, 상기 승강 패널의 길이 방향을 따라 기설정된 간격으로 배열되어 있을 수 있다.
상기 인입구와 마주하는 상기 제1 인입구 개폐패널의 일면에는 패킹 부재가 형성되어 있으며, 상기 패킹 부재는 상기 인입구 테두리부를 따라 밀착될 수 있다.
상기 인입구 개폐부 또는 상기 하우징에 설치되어 있는 압력 센서를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 인입구 개폐패널과 상기 인입구 간의 밀착 압력을 측정하고, 상기 압력 센서의 정보에 따라 상기 공기라인에 공급되는 공기의 압력이 조절될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 승강 장치의 승강 동작에 연동하여 인입구 개폐패널이 하우징 인입구를 개폐하도록 작동되므로, 개폐 동작이 지속되어 작동 부분에 하중이 반복적으로 가해지더라도, 작동 부분이 파손되지 않는다.
그리고, 기 설정된 간격으로 결합된 복수의 인입구 개폐장치가 인입구 개폐패널을 고르게 가압시켜, 인입구 개폐패널의 차단부분이 하우징 인입구의 외측 둘레를 따라 균일하게 접촉되므로, 작동 부분에 과도한 압력을 가할 필요가 없어, 기계의 수명이 단축되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 한쌍의 인입구 개폐패널이 각각 해당 인입구를 개폐하여 정압과 역압이 서로 상쇄되면서 안정적으로 진공 차단을 할 수 있으므로, 설비가 대형화되어 압력이 변화되더라도, 이에 무관하게 원활한 구동이 이루어질 수 있는 이점이 있다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.
그러면, 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어에 대하여 도 1 내지 도 5를 참고하여 설명한다.
본 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브는 영상표시장치 제조설비에 적용된 것을 기초로 하여 설명하였으나, 이는 일실시예에 불과하며 2중 벽면 구조의 하우징 제1면의 인입구를 진공 차단토록 하는 것이라면 어떠한 제조 설비에도 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비를 나타낸 참고도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고, 도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고, 도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비는, 로드락 챔버 (load lock chamber)(300), 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(400), 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브(100)를 가지는 프로세스 챔버(process chambe r)(500)를 포함한다.
일반적으로, 로드락 챔버 (load lock chamber)(300)는 유리기판 등과 같은 소재가 로딩(loading)되거나 언로딩(unloading)되는 곳으로, 로딩되는 경우에는 대기압으로부터 저진공 또는 고진공(high vacuum : 10 - 6 Torr)으로 만들어서, 대기압 상태로부터 초고진공(ultra high vacuum : 10 - 7 Torr)을 만들기 위한 곳이다.
그리고, 소재가 언로딩(unloading)되는 경우에는 유리 기판 등과 같은 소재에 대한 모든 증착 공정이 끝난 기판 상에 증착된 박막을 열처리하거나, 고온 상태의 기판을 냉각시키며, 고진공의 상태로부터 대기압 상태로 만드는 곳이다.
또한, 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(400)는 고진공(high vacuum : 10 - 6 T orr)상태를 유지하며 내부에 로봇(robot) 주축 및 감지기 등을 구비하고, 로봇의 주축을 중심으로 하는 로봇 암(도시하지 않음)에 의해 상기 로드락 챔버 또는 증착, 식각 등의 여러 공정이 수행되는 프로세스 챔버(process chamber)(500)들 간에 기판 등의 이동을 담당한다.
상기와 같이, 로봇 암을 이용하여 트랜스퍼챔버(400)의 영상표시장치 소재를 프로세스 챔버(500)로 이송하여 해당 공정을 수행하기 위하여, 이송부분에 진공을 차단시키는 진공차단 슬롯밸브(100)를 장착하고, 이송 시에 진공 압력의 누수를 차단하면서, 이송 후에 진공 차단에 의한 개폐 효율을 증대시키도록 한다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고, 도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고, 도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비용 진공차단 슬롯밸브(100)는, 하우징(10), 승강 장치(20) 그리고 인입구 개폐부(30)를 포함한다. 이때, 제어기(40)를 더 포함할 수 있다.
하우징(10)은, 각각의 프로세스 챔버(500)의 외형을 이루며, 고 진공상태에서 각종 공정이 이루어지는 밀폐공간으로서, 일측에는 기판 등의 소재 이동을 위하여 인입구(11)가 관통 형성되어 있는데, 각각의 인입구(11)는 트랜스퍼 챔버(400)를 향하도록 배치되어 있으며, 특히 내외벽면을 가지는 2중 구조의 제1 면에 마주보는 한 쌍의 인입구(11)가 형성된다.
그리고, 인입구(11)는 내외벽면을 가지는 2중 구조의 제1 면에서 서로 마주보도록 배치되어 있으며, 인입구 개폐장치(33)에 의하여 이송되는 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)의 작동에 따라 선택적으로 개폐된다. 따라서, 인입구(11)는 트랜스퍼 챔버(400)를 향하는 하우징(10)의 일측면에 대하여서만 선택적으로 개폐되도록 구성되어 있다.
승강 장치(20)는, 인입구 개폐부(30)를 승강 시키는 구성요소로서, 승강 장치(20)의 피스톤(21)은 상기 내외벽면에 평행하게 작동한다. 이때, 피스톤(21)의 작동 스트로크는, 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)이 한 쌍의 인입구(11)를 진공차단 시킬 수 있는 지점으로부터 인입구(11)의 전방을 개방하여 영상표시장치 기판을 프로세스 챔버(500)에 공급하거나, 프로세스 챔버(500)로부터 영상표시장치 기판을 꺼낼 때 간섭이 발생되지 않는 지점에 이르는 거리에 해당한다.
승강 장치(20)는 상기 제1 면의 내외벽면 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인 입구(11)의 하측에 설치되어 있는데, 일정 구간에서 왕복하도록 구동되는 피스톤을 가지는 실린더 장치를 사용하는 것이 일반적이나, 축을 가지며 상기 축을 일정 구간에서 왕복하도록 구동시키는 장치라면 어떠한 것이라도 무방하다. 그리고 승강 장치(20)에는 피스톤(21)을 왕복 작동시키기 위하여 공기를 공급하는 공기라인(50)이 연결된다.
인입구 개폐부(30)는, 상기 한 쌍의 인입구(11)를 각각 개폐하여 진공차단을 안정적이며 지속적으로 유지하거나, 유지되고 있던 진공차단을 해지하도록 하는 구성요소로서, 상기 승강 장치(20)에 연결되어 있고, 상기 한 쌍의 인입구(11)를 각각 선택적으로 개폐할 수 있는 한 쌍의 인입구 개폐패널(31)을 가진다.
그리고, 인입구 개폐부(30)는 승강 장치(20)와 연동하며, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11) 전방에 위치한 후에야 비로소 인입구(11)쪽으로 이송되어, 밀착되면서 진공 차단이 지속적이며 안정적으로 유지된다.
인입구 개폐부(30)는 승강 장치(20)의 피스톤(21)에 연결되어 있는 승강 패널(32), 승강 패널(32)과 상기 내외벽면 사이에 각각 배치되어 있는 한쌍의 인입구 개폐패널(31), 그리고 승강 패널(32)과 제1 인입구 개폐패널과 제2 인입구 개폐패널 즉, 한쌍의 인입구 개폐패널(31)에 각각 연결되어 있으며, 인입구 개폐패널(31)을 움직여 인입구(11)를 개폐할 수 있는 복수의 인입구 개폐장치(33)를 포함한다.
이때, 복수의 인입구 개폐장치(33)의 작동에 따라 상기 승강 패널의 양측면에 기설정된 간격 떨어져서 연결되어 있으며, 상기 한쌍의 인입구 개폐패널이 상기 한 쌍의 인입구를 동시에 개폐된다.
인입구 개폐장치(33)도 승강 장치(20)와 마찬가지로 일정 구간에서 왕복하도록 각각 구동되는 제1 및 제2피스톤을 가지는 실린더 장치를 사용하는 것이 일반적이나, 축을 가지며 상기 축을 일정 구간에서 왕복하도록 구동시키는 장치라면 어떠한 것이라도 무방하며, 인입구 개폐장치(33)에도 피스톤을 왕복작동시키기 위하여 공기를 공급하는 공기라인(50)이 연결된다.
복수의 인입구 개폐장치(33)는, 승강 패널(32)의 전후 양측면에 각각 기 설정된 간격 떨어져서 연결되어 있으며, 공기 라인의 구성을 고려하여 도 4에서와 같이 전후면을 기준으로 평면도상에서 교대로 배치된다.
이와 같이, 복수개의 인입구 개폐장치(33)를 승강 패널(32)의 전후 양측면에 각각 기 설정된 간격 떨어져서 연결하므로써, 인입구 개폐패널(31)의 차단부분이 하우징 인입구(11)의 외측 둘레를 따라 균일하게 접촉되어, 작동 부분에 과도한 압력을 가할 필요가 없어, 기계의 수명이 단축되는 것을 예방할 수 있다.
그리고, 한쌍의 인입구 개폐패널(31)이 각각 해당 인입구(11)를 개폐하여 정압과 역압이 서로 상쇄되면서 안정적으로 진공 차단을 할 수 있으며, 인입구 개폐패널(31)의 인입구 테두리부에 대응되는 위치에 밀폐가능한 패킹 부재(34)를 가지므로, 기밀이 유지되어 진공 차단이 지속적으로 이루어진다. 그리고, 승강 패널(32)의 양측 단부는 하우징(10)의 내부 일측에 형성된 가이드 부재(G)에 안내되어 승강하므로, 승강 동작이 안정적으로 이루어진다.
또한, 인입구 개폐부(30)는, 압력 센서(도시하지 않음)를 더 포함하여, 인입구 개폐패널(31)과 인입구(11) 사이의 밀착 압력을 측정하는데, 압력 센서의 정보 에 따라 인입구 개폐장치(33)의 작동력이 결정된다. 즉, 인입구 개폐패널(31)과 인입구(11) 사이의 밀착 압력을 측정하고, 그 측정 결과에 따라 공기 라인의 공기를 기 설정된 범위에서 제어하여, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)와 최적의 밀착상태를 지속적으로 유지할 수 있도록 한다.
이때, 최적의 밀착상태를 유지하지 위한 압력은, 인입구 개폐패널(31)과 하우징 인입구(11)사이의 밀착으로 인하여 이들 부품에 파손 및 변형이 발생하지 않도록 하는 범위에서 설정된다. 그리고, 제어기(40)는 승강 장치(20) 및 인입구 개폐부(30)가 원활하게 작동되도록 이들을 제어한다.
인입구 개폐부(30)가 승강하는 상태에 대하여, 도 6 내지 도 8을 참고하여 설명한다.
도 6은 승강 패널이 하강하고, 인입구 개폐패널이 인입구를 막은 상태를 해지한 것을 나타낸 측단면도이고, 도 7는 승강 패널이 상승한 상태를 나타낸 측단면도이고, 도 8는 도 7에서 승강 패널이 상승하는 것을 멈춘 후, 인입구 개폐패널이 각 인입구에 밀착되어 진공 차단한 것을 나타낸 측단면도이다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 인입구 개폐패널(31)로 하여금 인입구(11)로부터 밀착상태를 해지하여 하강시키기 위해서는, 우선 인입구 개폐장치(33)를 작동시켜 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)로부터 최대한 이격되도록 이송시키고, 그 다음 상기와 같이 이격된 상태를 유지함과 동시에 승강 장치(20)의 피스톤(21)을 하강시키되, 인입구(11)의 전방에서 기판 등의 이동이 간섭되지 않을 정도로 충분한 지점에 이르기까지 하강시킨다.
승강 패널(32)이 상승하는 상태에 대하여 도 7 내지 도 8을 참고하여 설명한다.
도 7 내지 도 8을 참고하면, 승강 장치(20)의 피스톤(21)이 최고점에 이르기까지는 인입구 개폐패널(31)이 승강 패널(32)에 최대한 근접하도록 인입구 개폐장치(33)가 작동된 상태에서 상승되도록 하고, 승강 장치(20)의 피스톤(21)이 최고점에 다다른 시점에서, 비로소 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)를 진공차단 시킬 수 있도록 인입구 개폐장치(33)를 작동시켜 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)에 밀착되면, 오링(O-Ring)과 같은 패킹부재(34)에 의하여 진공 차단이 확실하게 유지된다.
이때, 인입구 개폐장치(33)에 결합되어 있는 압력 센서가 인입구 개폐패널(31)와 인입구(11)간의 밀착 압력을 측정하고, 측정 결과에 따라 공기 라인의 공기를 기 설정된 범위에서 제어하여, 인입구 개폐패널(31)이 인입구(11)와 최적의 밀착상태를 지속적으로 유지할 수 있도록 한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 본 발명이 적용되는 영상표시장치 제조설비를 나타낸 참고도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공차단 슬롯밸브를 나타낸 것으로, 부분 절개된 정면도이고,
도 3은 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 정면도이고,
도 4는 도 2에서 인입구 개폐부가 승강 장치에 결합된 것을 나타낸 평면도이고,
도 5는 도 2에서 인입구 개폐부를 나타낸 사시도이고,
도 6은 승강 패널이 하강하고, 인입구 개폐패널이 인입구를 막은 상태를 해지한 것을 나타낸 측단면도이고,
도 7는 승강 패널이 상승한 상태를 나타낸 측단면도이고,
도 8는 도 7에서 승강 패널이 상승하는 것을 멈춘 후, 인입구 개폐패널이 각 인입구에 밀착되어 진공 차단한 것을 나타낸 측단면도이다.
<도면에 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 하우징 11 : 인입구
20 : 승강 장치 21 : 피스톤
30 : 인입구 개폐부 31 : 인입구 개폐패널
32 : 승강 패널 33 : 인입구 개폐장치
34 : 패킹부재 40 : 제어기
50 : 공기라인 100 : 진공차단 슬롯밸브
G : 가이드부재

Claims (7)

  1. 일측에 서로 떨어져 있는 한 쌍의 인입구가 형성되어 있는 하우징,
    상기 한 쌍의 인입구 사이에 위치하며, 상기 한 쌍의 인입구 하측에 설치되어 있는 승강 장치, 그리고
    상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있으며, 상기 한 쌍의 인입구를 개폐하는 인입구 개폐부
    를 포함하는 진공차단 도어.
  2. 제1항에서,
    상기 인입구 개폐부는,
    상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널,
    상기 승강 패널의 양측에 각각 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널 및 제2 인입구 개폐패널, 그리고
    상기 승강 패널의 내부에 배치되어 있으며, 상기 제1 인입구 개폐패널 및 상기 제2 인입구 개폐패널을 움직여 상기 인입구를 개폐하는 복수의 인입구 개폐장치
    를 포함하는 진공차단 도어.
  3. 제2항에서,
    상기 인입구 개폐장치는,
    상기 승강 패널의 내측에 길이 방향을 따라 배치되어 있는 공기 라인, 그리고
    일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제1 피스톤, 그리고
    일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 적어도 하나의 제2 피스톤
    을 포함하며,
    상기 제1 및 제2 피스톤은 상기 공기 라인에서 공급되는 공기의 압력에 움직여 상기 인입구를 막는
    진공차단 도어.
  4. 제3항에서,
    상기 적어도 하나의 제1 피스톤은 복수 개 형성되어 있으며, 상기 승강 패널의 길이 방향을 따라 기설정된 간격으로 배열되어 있는 진공차단 도어.
  5. 제3항에서,
    상기 인입구와 마주하는 상기 제1 인입구 개폐패널의 일면에는 패킹 부재가 형성되어 있으며, 상기 패킹 부재는 상기 인입구 테두리부를 따라 밀착되는 진공차단 도어.
  6. 제5항에서,
    상기 인입구 개폐부 또는 상기 하우징에 설치되어 있는 압력 센서를 더 포함하며, 상기 압력 센서는 상기 인입구 개폐패널과 상기 인입구 간의 밀착 압력을 측정하고, 상기 압력 센서의 정보에 따라 상기 공기라인에 공급되는 공기의 압력이 조절되는 진공차단 도어.
  7. 승강 장치, 그리고
    상기 승강 장치에 연결되어 상하로 움직일 수 있는 인입구 개폐부
    를 포함하며,
    상기 인입구 개폐부는,
    상기 승강 장치의 피스톤에 연결되어 있는 승강 패널,
    상기 승강 패널의 일측에 연결되어 있는 제1 인입구 개폐패널,
    상기 승강 패널의 타측에 연결되어 있는 제2 인입구 개폐패널,
    상기 승강 패널의 내부에 형성되어 있는 공기 라인,
    일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제1 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제1 피스톤, 그리고
    일측이 상기 공기 라인에 연결되어 있고, 타측이 상기 제2 인입구 개폐패널에 연결되어 있는 제2 피스톤
    을 포함하는 진공차단 슬롯 밸브.
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