KR101313083B1 - 진공 차단 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 작업 챔버에 형성된 출입구를 차폐할 수 있는 진공 차단 장치에 관한 것이다. 본 발명은 실시예로, 양측에 서로 대향된 출입구가 형성되어 있는 하우징의 사이에서 승강 가능하고, 적어도 어느 하나의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로, 상기 출입구들의 사이에 위치될 수 있고, 내부에는 작동에어가 공급되는 공급라인과, 상기 공급라인에 연결된 복수의 실린더가 형성되어 있는 지지패널, 각 상기 실린더의 내부에서 슬라이딩 가능하게 구비되는 피스톤, 상기 피스톤에 연결되어 있으며, 상기 피스톤의 작동으로 상기 출입구의 주변부에 접촉되는 밸브판, 그리고 상기 피스톤에 상기 밸브판이 장착된 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤을 탄성있게 가압하는 탄성부재를 포함하는 진공 차단 장치를 제시한다.

Description

진공 차단 장치{Vacuum isolation apparatus}

본 발명은 작업 챔버에 형성된 출입구를 차폐할 수 있는 진공 차단 장치에 관한 것이다.

영상표시장치에 사용되는 액정패널(예, FPD)은 저진공, 초고진공에 따른 다양한 진공 영역에서 처리 공정이 진행될 필요가 있으며, 진공 상태를 실현하기 위하여 다수의 작업 챔버가 집약적으로 또는 순차적 라인으로 형성된다. 각 작업 챔버의 출입구에는 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 슬롯밸브와 같은 진공 차단장치가 구비된다.

챔버의 출입구는 내부와 외부의 다른 진공상태를 유지하기 위하여 액정패널의 이동에 필요한 수준으로 제한된 면적을 갖는다. 통상 출입구는 액정패널 등 판재의 단면과 같이 어느 한 방향은 길며, 폭은 상대적으로 짧다. 이러한 출입구의 형상에 따라 일측으로 길게 형성된 진공 차단 장치가 사용된다.

일반적인 진공 차단 장치는 개방된 출입구를 향하여 돌출되어 출입구를 막는 밸브판이 구비된다. 이 밸브판은 복수의 실린더에 의하여 작동되며, 밸브판 역시 출입구의 형상에 따라 일측으로 긴 형상을 갖는다. 또한 실린더들은 주로 에어 실린더가 사용되며, 작동을 위한 에어의 주입은 길이방향 일단 또는 양단에서 이루어지는 것이었다. 이러한 밸브판은 실린더의 신장에 따라 출입구의 주변과 접촉하여 출입구를 차폐하게 된다.

종래의 기술에 따른 밸브판의 작동방식은 각 실린더마다 작동에어의 유입량이 항상 정확히 일치하는 것이 아니다. 즉, 작동에어가 공급되는 부분과 가까이 위치한 실린더의 작동이 먼저 일어나고, 작동에어가 공급되는 부분과 멀리 떨어진 실린더의 작동은 늦게 이루어진다. 따라서 각 실린더가 밸브판을 동시에 밀어주지 아니하여 밸브판의 어느 일측면이 출입구의 주변에 먼저 접촉된다. 이 경우, 출입구의 주변과 밸브판 사이에 대어지는 실링용 링의 원활한 기밀 작용이 방해되고, 편하중에 의한 실린더의 피로와 파손 등이 유발되는 문제점이 있다.

본 발명은 전술된 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 일측 또는 양측에서 유입되기 시작하는 작동에어에도 불구하고 밸브판의 균일한 신장 작동이 가능하게 하는 목적을 갖는다.

상기 과제를 위하여 본 발명은 실시예로, 양측에 서로 대향된 출입구가 형성되어 있는 하우징의 사이에서 승강 가능하고, 적어도 어느 하나의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로, 상기 출입구들의 사이에 위치될 수 있고, 내부에는 작동에어가 공급되는 공급라인과, 상기 공급라인에 연결된 복수의 실린더가 형성되어 있는 지지패널, 각 상기 실린더의 내부에서 슬라이딩 가능하게 구비되는 피스톤, 상기 피스톤에 연결되어 있으며, 상기 피스톤의 작동으로 상기 출입구의 주변부에 접촉되는 밸브판, 그리고 상기 피스톤에 상기 밸브판이 장착된 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤을 탄성있게 가압하는 탄성부재를 포함하는 진공 차단 장치를 제시한다.

다른 예로, 작업 공간의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로, 실린더와 피스톤이 길이 방향으로 복수가 구비되어 있고, 각 상기 실린더에 연결된 적어도 하나의 작동에어 공급라인이 구비된 지지패널, 일면이 상기 피스톤에 결합되어 있으며, 타면이 상기 출입구를 폐쇄하는 밸브판, 그리고 상기 피스톤에 상기 밸브판이 장착된 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤을 탄성있게 가압하는 탄성부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 일단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 각 상기 탄성부재는 상기 일단부의 피스톤에서 타단부의 피스톤으로 갈수록 점차 탄성력이 낮아질 수 있다.

또는, 상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 일단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 상기 탄성부재는 상기 일단부 주변에 위치한 적어도 하나의 피스톤에만 장착될 수 있다.

다른 예로, 상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 양단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 각 상기 탄성부재는 상기 양단부의 피스톤들에서 중앙의 피스톤으로 갈수록 점차 탄성력이 낮아질 수 있다.

또는, 상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 양단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 각 상기 탄성부재는 상기 양단부 주변에 위치한 적어도 둘의 피스톤에만 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 지지패널의 길이방향의 일단부 또는 양단부에서 작동에어가 주입되더라도, 탄성부재에 의한 피스톤의 작동 지연을 통하여 길이방향에 따라 구비된 복수의 피스톤이 동시에 작동할 수 있게 되어 밸브판이 어느 한 쪽으로 편중되지 아니한 상태에서 출입구를 차폐할 수 있게 된다. 따라서 실린더와 피스톤에 편하중이 발생되지 아니하여 해당 부품의 파괴가 예방되고, 수명이 증대되는 효과를 갖는다. 또한, 밸브판의 전방에 구비된 실링이 동시에 출입구 주변에 접하게 되므로, 어느 한 쪽으로 치우진 실링의 접촉에 의한 실링의 변형이 방지되어 차폐 효과가 개선된다.

더하여, 출입구를 개방할 때에 탄성부재에 의하여 밸브판의 후퇴 속도가 빨라지므로, 밸브판의 개방에 소요되는 시간이 단축되는 장점도 갖는다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 진공 차단 장치를 분해한 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 진공 차단 장치의 사용 상태를 나타낸 측면도.
도 4는 도 1에 도시된 진공 창단 장치의 다른 사용 상태를 나타낸 측면도.
도 5는 도 1에 도시된 진공 차단 장치의 또 다른 사용 상태를 나타낸 평면도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 장치를 개략적으로 도시한 사시도.

이하, 첨부된 도면의 실시예들을 참고하여 본 발명에 따른, 진공 차단 장치의 구성, 기능 및 작용을 설명한다. 단, 유사하거나 동일한 구성요소에 대한 도면번호는 통일하여 사용한다.

도 1 내지 도 5에는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치가 도시되어 있다.

도 1 내지 도 2를 참고하면, 작업 공간의 출입구(150)를 차폐할 수 있는 것으로, 실린더(121)와 피스톤(3)이 길이 방향으로 복수가 구비되어 있고, 각 상기 실린더(121)에 연결된 적어도 하나의 작동에어 공급라인(111,112)이 구비된 지지패널(1), 일면이 상기 피스톤(3)에 결합되어 있으며, 타면이 상기 출입구(150)를 폐쇄하는 밸브판(2), 그리고 상기 피스톤(3)에 상기 밸브판(2)이 연결된 방향과 반대되는 방향으로 탄성있게 상기 피스톤(3)을 가압하는 탄성부재(4)를 포함한다.

작업 공간의 출입구(150)는 하우징(100)에 형성되어 있다. 하우징(100)은 이웃하는 작업 공간에 대어지는 것으로, 하우징(100) 전방의 작업 공간(S1)과 후방의 작업 공간(S2)을 연결하는 통로 역할을 한다. 이웃하는 작업 공간들의 진공 상태는 서로 다른 것일 수 있다. 일례로, 전방의 작업 공간(S1)은 일정 수준의 진공 상태에서 해당 작업이 이루어지고, 후방의 작업 공간(S2)은 전방의 작업 공간보다 더욱 낮은 진공 상태에서 해당 작업이 이루어지는 공간일 수 있다.

하우징(100)에는 이격된 전방판(110)과 후방판(120)이 구비되어 있는 대략 육면체이다. 전방판(110)과 후방판(120) 각각에는 서로 마주보는 출입구(150)가 형성되어 있다. 출입구(150)는 작업 대상물인 유리기판 등 판부재가 이동할 수 있도록 좌우 길이가 길고, 이에 비하여 상대적으로 상하 폭은 좁게 형성되는 것이 일반적이다.

전방판(110)과 후방판(120)의 사이에는 적어도 어느 한 쪽의 출입구를 차단할 수 있는 밸브판(2)이 이동되는 공간이 형성되어 있다. 도 1에서는 전방판(110)에 형성된 출입구(150)를 개폐할 수 있는 밸브판(2)이 도시되어 있다. 밸브판(2)은 전방판(110)의 내측면에 대어지는 것인데, 전방판(110)의 내측면과의 기밀을 향상시키기 위한 실링(21)이 구비되어 있다.

출입구들을 통하여 작업 대상물이 통과하려면, 밸브판 등의 부재가 작업 대상물의 이동경로 상에서 비켜나야 한다. 따라서 밸브판 등은 하우징의 내부 공간에서 출입구를 가리지 아니하는 일측으로 이동할 수 있게 구성된다.

밸브판 등을 이동시키는 구성 중 하나는, 도시된 바와 같이, 하우징(100)의 하부판(130)에 결합된 엑추에이터(A)이다. 엑추에이터(A)는 한 쌍이 구비되며, 밸브판이 돌출가능하게 결합되는 지지패널(1)의 길이방향 양단에 각각 결합되어 있다.

이때, 엑추에이터(A)는 공지된 구성일 수 있다. 액추에이터의 작동에 의하여 밸브판 등은 출입구를 가리는 위치로 상승되거나, 작업 대상물이 출입구들을 통과할 수 있도록 하강될 수 있다.

또한, 밸브판 등을 이동시키는 다른 예로 밸브판 등의 길이방향 좌우 양단에 구비된 렉기어, 이 렉기어에 맞물리는 피니언 및 피니언을 회전시키는 구동모터가 있다. 밸브판 등을 이동시키는 구성은 이들에 한정되지 아니하고 다양하게 제시될 수 있다.

도 2에는 밸브판(2)을 출입구를 향하여 전진시키거나 후퇴시키기 위한 구성으로, 지지패널(1), 밸브판(2) 등이 도시되어 있다.

지지패널(1)은 출입구의 형상에 따라 좌우로 길게 형성된 부재이다. 지지패널(1)은 내부에 작동에어의 공급라인(111,112)이 구비된 지지판부(11)와, 이 지지판부(11)의 전방면에 결합되며 복수의 실린더(121)를 형성하는 복수의 실린더케이스(12)를 포함한다.

이때, 공급라인이 반드시 지지판부에 구비되는 것으로 한정되는 것은 아니다. 공급라인은 각 실린더에 직접 연결되는 배관으로 제시될 수 있다.

지지판부(11)에 구비된 공급라인(111,112)은 지지판부의 내부에 길이방향으로 형성된다. 이때, 공급라인(111,112)은 피스톤의 전진과 후진에 사용되는 한 쌍이 구비된다. 각 액추에이터의 피스톤로드(A1)에는 한 쌍의 에어유로(A2)가 형성되어 있고, 각 에어유로(A2)는 지지판부에 형성된 공급라인(111,112)과 연통되어 있다.

이 경우, 작동에어는 양 피스톤로드의 에어유로를 거쳐, 지지판부의 길이방향 양단의 실린더부터 채우면서, 점차 지지판부 중앙의 실린더를 채우게 된다.

실린더케이스(12)는 일면이 개방된 원통형상이다. 실린더케이스(12)가 지지판부(11)에 결합되면, 복수의 빈 공간들은 각 실린더를 형성하게 된다.

각 실린더의 내부에는 피스톤(3)이 결합되어 있다. 각 피스톤(3)의 전방에는 실린더케이스의 외부로 돌출되는 로드(31)가 결합되어 있다. 이 로드들(31)은 밸브판(2)의 후단면에 결합되어 있다.

실린더와 피스톤의 수는 출입구의 길이와 요구되는 밸브판의 작동 압력에 따라 달라질 수 있다. 도 2에서는 8개의 실린더와 피스톤이 구비되는 것으로 하였으나, 이에 한정되는 것이 아니다.

한편, 피스톤(3)을 밸브판(2)이 결합된 방향과 반대되는 방향으로 탄성있게 가압하는 탄성부재(4)는 실린더케이스(12)와 피스톤(3) 사이에 구비된다. 이때, 탄성부재(4)는 코일 스프링일 수 있다. 또는, 탄성부재는 합성고무블록이나 공기나 유압을 이용한 기계식 쇼바일 수도 있다.

도 3 내지 도 5에는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 장치의 작동예가 도시되어 있다.

도 3은 밸브판(2) 등이 출입구(150)의 높이로 이동된 다음, 아직 밸브판(2)이 전진되기 전의 상태가 도시되어 있고, 도 4에서는 밸브판(2)이 전진되어 출입구(150)를 차폐한 상태가 도시되어 있다.

지지판부(11)의 중앙에 형성된 제1공급라인(111)은 피스톤(3)과 밸브판(2)을 전진시키는데 사용된다. 각 실린더(121)는 제1공급라인(111)과 연결되어 있다.

한편, 지지판부(11)의 하부에 형성된 제2공급라인(112)은 피스톤(3)과 밸브판(2)을 후진시키는데 사용된다. 제2공급라인(112)은 실린더케이스(12)의 내부에 형성되어 피스톤(3)의 전방측에 작동에어를 주입할 수 있는 후퇴용 유로(122)에 연결되어 있다.

도 3에서 제1공급라인(111)에 작동에어가 주입되면, 피스톤(3)의 후면이 가압되며 전진하게 된다.

이후, 도 4에 도시된 바와 같이, 피스톤(3)과 밸브판(2)은 전진하여 출입구(150) 주변과 면접하여 출입구를 차단하게 된다. 이때, 제2공급라인에서 에어를 흡입하여 피스톤 전방의 공기가 원활하게 배출되게 할 수 있다.

출입구(150)를 개방하기 위해서는 제2공급라인(112)에 작동에어를 주입하고, 그에 따라 피스톤(3)과 밸브판(2)을 후진시킬 수 있게 된다. 다시 도 3과 같은 상태가 된 후에, 전술된 액추에이터를 작동하여 밸브판 등을 하강시킴으로써, 출입구를 완전히 개방하게 된다.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 제1공급라인(111)에 작동에어의 공급시 지지패널(1)의 길이방향 양단에 위치한 실린더(121)부터 채우게 된다. 따라서 길이방향(지지패널의 길이방향을 기준으로 함, 이하 같다) 양단의 피스톤(3)이 중앙의 피스톤(3)보다 작동에어에 의한 압력을 받을 수 있는데, 탄성부재(4)가 이를 완화시킬 수 있다.

본 실시예에서 탄성부재(4)는 피스톤(3)의 전방면과 실린더케이스(12)의 삽입홈(41)에 결합된 코일스프링이다.

제1공급라인(111)으로 작동에어가 주입되기 시작할 때에 탄성부재(4)는 작동에어의 압력이 탄성부재(4)의 탄성력을 이기기 전까지 피스톤이 전진되는 것을 지연시키게 된다.

도 5에서 작동에어가 공급되기 시작하는 길이방향 양단부의 실린더(121)에서 탄성부재(4)가 피스톤(3)의 전진을 지연하는 동안, 작동에어의 압력은 중앙의 실린더(121)로 빠르게 전달된다.

특히, 양단부의 피스톤(3)이 전진하지 아니하는 과정 중에 제1공급라인(111)으로 작동에어가 중앙의 실린더(121)로 전달되므로, 탄성부재가 없는 경우에 비하여 양단부의 실린더에 채워짐으로써 낭비되는 작동에어가 없기 때문에 중앙의 실린더(121)로 신속하게 작동에어가 전달된다.

이후, 작동에어의 증가된 압력이 탄성부재(4)의 탄성을 이기는 상태가 되면, 각 피스톤(3)과 밸브판(2)이 전진된다. 이때, 각 피스톤들은 함께 작동되기 시작되므로 밸브판도 어느 일부분이 먼저 돌출됨 없이 출입구의 주변에 균일하게 접촉할 수 있게 된다.

따라서 종래의 기술에서와 같이 일부 실린더에서 편하중이 발생되지 아니하여 실린더의 수명을 증대시킬 수 있게 된다. 또한, 출입구의 주변에 밸브판의 실링이 동시에 접하면서 가압되므로, 실링에 의한 기밀이 전체적으로 균일하게 이루어져 기밀성능을 향상시키게 된다.

한편, 밸브판을 후퇴시킬 때에는 탄성부재의 복원력에 의하여 밸브판이 신속하게 출입구와 떨어질 수 있다. 이로써, 출입구의 개방에 소요되는 시간을 단축할 수 있게 된다.

각 피스톤(3)에 구비되는 탄성부재들의 탄성력을 달리할 수도 있다. 이와 같이 탄성부재의 탄성력을 달리하는 예로, 구성은 전술된 실시예와 동일하여 상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 양단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 각 상기 탄성부재는 상기 양단부의 피스톤들에서 중앙의 피스톤으로 갈수록 점차 탄성력이 낮아질 수 있다.

이 경우, 탄성부재의 탄성력이 중앙으로 갈수록 점차 낮아지기 때문에 길이방향 양단의 실린더들에서 피스톤의 지연시간과, 중앙부분 실린더들에서 피스톤의 작동 타이밍을 정밀하게 세팅할 수 있게 된다. 즉, 양단 피스톤들의 탄성부재보다 상대적으로 낮은 탄성력을 가지는 중앙부분 피스톤들의 탄성부재로 인하여 피스톤들의 동시 작동이 더욱 확실하게 이루어지는 효과를 갖게 된다.

다른 예로, 구성은 전술된 실시예와 동일하여 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 양단부에서 상기 공급라인으로 주입되는 진공 차단 장치에서, 상기 탄성부재는 상기 양단부 주변에 위치한 적어도 둘의 피스톤에만 장착될 수 있다. 구체적으로 작동에어가 주입되는 각 끝단에서 하나 또는 그 이상의 피스톤에 탄성부재가 구비되고, 중앙의 피스톤에는 탄성부재가 생략되는 것이다. 이때, 탄성부재가 장착되는 피스톤은 작동에어가 주입되기 시작되는 부분에 구비된 피스톤들이다. 또한, 탄성부재가 설치되는 피스톤의 구체적인 수는 작동에어의 주입속도, 밸브판의 길이 등 작동 조건에 따라 달라질 수 있다.

이 경우, 길이방향에 따라 탄성부재의 탄성력을 달리한 것과 유사하게, 길이방향 양단에서 피스톤의 작동 지연 효과를 얻을 수 있다. 이러한 진공 차단 장치는 낮은 압력의 작동에어를 사용하는 전후의 작업 공간이 대기압과 유사한 압력 조건을 가지는 경우에 주요한 것이다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 장치는 양측에 서로 대향된 출입구가 형성되어 있는 하우징의 사이에서 승강 가능하고, 적어도 어느 하나의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로, 상기 출입구들의 사이에 위치될 수 있고, 내부에는 작동에어가 공급되는 공급라인과, 상기 공급라인에 연결된 복수의 실린더가 형성되어 있는 지지패널, 각 상기 실린더의 내부에서 슬라이딩 가능하게 구비되는 피스톤과, 상기 피스톤에 연결되어 있으며 상기 피스톤의 작동으로 상기 출입구의 주변부에 접촉되는 밸브판, 그리고 상기 피스톤에 상기 밸브판이 장착된 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤을 탄성있게 가압하는 탄성부재를 포함한다.

하우징, 지지패널, 피스톤, 밸브판 및 탄성부재의 구성은 하기에 설명되는 바를 제외하고는 전술된 실시예와 동일하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.

도 6에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 장치가 도시되어 있다.

다른 실시예에 따른 진공 차단 장치(10)는 전방과 후방 각각에 밸브판(2A,2B)이 구비되어 있다. 전방의 밸브판(2A)은 하우징 전방판(110)의 출입구(150) 주변에 대어지는 것이고, 후방의 밸브판(2B)은 하우징 후방판(120)의 출입구(150) 주변에 대어지는 것이다.

이를 위한 실린더(121)와 피스톤은 지지패널(1)의 전방과 후방 각각에 길이방향에 따라 복수로 구비된다.

피스톤을 전진 또는 후진시키는 작동에어가 주입되는 공급라인은 전술된 실시예와 마찬가지로, 피스톤을 전진시키는 작동에어가 주입되는 제1공급라인과, 피스톤을 후진시키는 작동에어가 주입되는 제2공급라인으로 이루어진다.

이때, 제1공급라인과 제2공급라인은 엑추에이터(A)의 피스톤로드(A1)에 형성된 에어유로들에 연결된다.

제1공급라인은 지지패널(1) 전방의 실린더들(121)과 후방의 실린더들에 연통되고, 제2공급라인은 지지패널의 전방과 후방에 각각 결합되는 실린더케이스(12)의 후퇴용 유로에 연통된다.

이 경우, 전방의 밸브판과 후방의 밸브판이 동시에 지지패널에서 돌출되면서 전방의 출입구와 후방의 출입구를 차폐할 수 있게 된다. 전방의 밸브판과 후방의 밸브판이 하우징의 전방판과 후방판에 각각 대어지면서 서로 지지패널을 서로 반대되는 방향으로 밀어내므로, 지지패널에 작용하는 가로방향 힘은 서로 상쇄되어, 액추에이터의 피스톤로드에 걸리는 측하중을 저감할 수 있게 된다.

또한, 탄성부재가 각 피스톤을 동시에 작동하게 하므로, 실린더와 피스톤에 걸리는 편하중을 상당부분 저감시킬 수 있게 된다. 또한, 밸브판의 후퇴시에 탄성부재들에 의하여 밸브판이 신속하게 후퇴가능한 효과도 갖는다.

한편, 공급라인의 다른 구성으로, 어느 한 피스톤로드를 통하여 주입된 작동에어는 지지패널의 전방에 구비된 실린더들에 주입되어, 지지패널의 전방에 구비된 피스톤들을 전진 또는 후진시키고, 나머지 피스톤로드를 통하여 주입된 작동에어는 지지패널의 후방에 구비된 실린더들에 주입되어 지지패널의 후방에 구비된 피스톤들을 전진시키거나 후진시키도록 구성할 수 있다.

즉, 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 일단부에서 공급라인으로 주입되어, 일면에 나란히 구비된 피스톤들을 작동시키는 것이다.

이때, 각 피스톤을 가압하는 탄성부재들은 일단부의 피스톤에서 타단부의 피스톤으로 갈수록 점차 탄성력이 낮아질 수 있다. 또는 각 피스톤을 가압하는 탄성부재들은 상기 일단부 주변에 위치한 적어도 하나의 피스톤에만 장착될 수 있다.

이와 같이, 탄성부재들의 탄성력이 작동에어가 공급되는 일단부에서 타단부로 갈수록 점차 낮아지거나, 일단부의 몇몇 피스톤에는 구비되고, 나머지 타단부의 피스톤들에는 구비되어 있지 아니함으로써, 작동에어의 초기 주입시 일단부의 피스톤들이 타단부의 피스톤들보다 먼저 작동되는 것을 방지할 수 있다.

지지패널의 일단부에서만 작동에어가 공급되는 구성은 전술된 실시예에도 적용될 수 있는 것이다. 이 경우에도, 탄성력이 서로 다른 탄성부재가 장착되거나, 일부의 피스톤에만 탄성부재가 구비될 수 있는 것이다.

10 : 진공 차단 장치
1 : 지지패널 11 : 지지판부 111 : 제1공급라인 112 : 제2공급라인
12 : 실린더케이스 121 : 실린더 122 : 후퇴용 유로
2.2A,2B : 밸브판 21 : 실링
3 : 피스톤 31 : 로드
4 : 탄성부재 41 : 삽입홈
A : 액추에이터 A1 : 피스톤로드 A2 ; 에어유로
100 : 하우징 110 : 전방판 120 : 후방판 130 : 하부판
150 : 출입구 S1,S2 : 작업 공간

Claims (6)

1. 양측에 서로 대향된 출입구가 형성되어있는 하우징의 사이에서 승강 가능하고, 적어도 어느 하나의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로,
   상기 출입구들의 사이에 위치될 수 있고, 내부에는 작동에어가 공급되는 공급라인과, 상기 공급라인에 연결된 복수의 실린더가 형성되어 있는 지지패널,
   각 상기 실린더의 내부에서 슬라이딩 가능하게 구비되는 피스톤,
   상기 피스톤에 연결되어 있으며, 상기 피스톤의 작동으로 상기 출입구의 주변부에 접촉되는 밸브판, 그리고
   상기 피스톤과 연결되어 있으며, 상기 작동에어가 상기 피스톤에 힘을 가하는 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤에 탄성력을 부여하는 탄성 부재
   를 포함하고,
   상기 작동에어는 에어유로, 상기 공급라인 및 상기 실린더 내부로 유동하며,
   상기 탄성부재는, 상기 작동에어가 상기 공급라인을 통해 상기 실린더로 공급되어 상기 피스톤에 힘을 가하면 상기 작동에어의 압력이 상기 탄성부재의 탄성력을 이기기 전까지 상기 피스톤이 움직이는 것을 지연시키고, 상기 탄성부재가 상기 피스톤의 움직임을 지연하는 동안 상기 작동에어는 상기 에어유로로부터 멀어지는 곳에 배치되어 있는 상기 실린더로 전달되는
   진공 차단 장치.
2. 작업 공간의 출입구를 차폐할 수 있는 것으로,
   실린더와 피스톤이 길이 방향으로 복수가 구비되어 있고, 각 상기 실린더에 연결된 적어도 하나의 작동에어 공급라인이 구비된 지지패널,
   일면이 상기 피스톤에 결합되어 있으며, 타면이 상기 출입구를 폐쇄하는 밸브판, 그리고
   상기 피스톤과 연결되어 있으며, 상기 작동에어가 상기 피스톤에 힘을 가하는 방향과 반대 방향으로 상기 피스톤에 탄성력을 부여하는 탄성 부재
   를 포함하고,
   상기 작동에어는 에어유로, 상기 공급라인 및 상기 실린더 내부로 유동하며,
   상기 탄성부재는, 상기 작동에어가 상기 공급라인을 통해 상기 실린더로 공급되어 상기 피스톤에 힘을 가하면 상기 작동에어의 압력이 상기 탄성부재의 탄성력을 이기기 전까지 상기 피스톤이 움직이는 것을 지연시키고, 상기 탄성부재가 상기 피스톤의 움직임을 지연하는 동안 상기 작동에어는 상기 에어유로로부터 멀어지는 곳에 배치되어 있는 상기 실린더로 전달되는
   진공 차단 장치.
3. 제1항 또는 제2항에서,
   상기 에어유로는 상기 지지패널의 길이방향 일단부에 연결되어 있고, 상기 작동에어가 상기 피스톤에 힘을 가할 경우 상기 작동에어는 상기 에어유로와 상기 공급라인을 거쳐 상기 에어유로와 가까운 실린더로부터 차례대로 채워지며,
   상기 탄성부재는, 상기 실린더들 내부에 각각 위치하고, 상기 탄성부재의 탄성력은 상기 에어유로와 가까운 곳에서 멀어져 갈수록 작아지는 진공 차단 장치.
4. 제1항 또는 제2항에서,
   상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 일단부에 연결된 상기 에어유로에서 상기 공급라인으로 주입되며, 상기 탄성부재는 상기 일단부 주변에 위치한 적어도 하나의 피스톤에만 장착되어 있는 진공 차단 장치.
5. 제1항 또는 제2항에서,
   상기 작동에어는 상기 지지패널의 길이방향 양단부에서 상기 공급라인으로 주입되며, 각 상기 탄성부재는 상기 양단부 주변에 위치한 적어도 둘의 피스톤에만 장착되어 있는 진공 차단 장치.
6. 제1항에서,
   상기 밸브판은 한 쌍으로 이루어져 있고, 상기 한 쌍의 밸브판은 상기 지지 패널을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 복수의 실린더는 상기 한 쌍의 밸브판과 상기 지지 패널 사이에 각각 배치되어 있는 진공 차단 장치.

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