KR101191441B1 - 수직형 진공 차단 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 작업 챔버에 수직되게 형성된 출입구를 차폐하는 진공 차단 장치에 관한 것이다. 본 발명은 실시예로 상하 방향으로 장축을 이루는 수직형 출입구가 형성되어 있는 하우징, 상기 하우징의 전방에서 상기 출입구의 좌우 방향으로 이동가능한 지지패널, 상기 지지패널에 돌출 가능하게 장착되며, 상기 출입구를 차폐하는 밸브판, 그리고 상기 지지패널을 좌우 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 수직형 진공 차단 장치를 제시한다. 이로써, 상하로 길게 형성된 출입구를 완전히 개방하여 출입구를 통하여 세워진 작업대상물이 통과할 수 있게 하거나, 출입구 전후의 다른 압력 상태를 유지할 수 있도록 출입구를 차폐할 수 있는 것이며, 수직된 출입구를 가지는 작업 챔버의 기밀이 가능해진다.

Description

수직형 진공 차단 장치{Vertical vacuum isolation apparatus}

본 발명은 작업 챔버에 수직되게 형성된 출입구를 차폐하는 진공 차단 장치에 관한 것이다.

영상표시장치는 대형화 추세에 있으며, 그에 따라 영상표시장치에 사용되는 액정패널(예, FPD) 또한 점차 큰 면적으로 제조되고 있다. 액정패널은 저진공, 초고진공에 따른 다양한 진공 영역에서 해당 공정이 진행될 필요가 있으며, 진공 상태를 실현하기 위하여 다수의 작업 챔버가 집약적으로 또는 순차적 라인으로 형성된다. 각 작업 챔버의 출입구에는 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 슬롯밸브와 같은 진공 차단장치가 구비된다.

종래의 진공차단 장치의 출입구는 가로로 길게 형성되며, 이러한 가로형 출입구를 통하여 작업 대상인 패널유리가 눕혀진 채 이동되었다. 그러나 대형화된 사이즈의 패널유리를 눕힌 채 이동하는 과정 중에 유리 표면의 스크래치 및 부분파쇄에 따른 이물질의 발생이 늘어나는 단점과, 이동 장비 등의 사이즈 증대로 이들 장비가 차지하는 면적이 증대되어 작업면적 확보에 따른 비용 증가의 단점이 대두 되었다.

이러한 단점을 개선하고자 패널유리를 수직되게 세워 이동하는 방안이 고려되고 있다. 이를 실현하기 위해서는 각 작업 챔버의 수직된 출입구를 차폐할 수 있는 진공 차단 장치의 개발이 요구된다.

본 발명은 전술된 수직된 출입구의 차폐를 위하여 개발된 것으로, 수직되게 이동되는 패널유리 등의 작업대상물을 다루는 작업 챔버간의 진공을 차단하기 위한 것이다.

구체적으로 상대적으로 폭보다 상하 길이가 길게 형성된 작업 챔버의 출입구를 진공 차단하는 목적을 갖는다.

또한, 구조적 안정성을 획득하며, 유지보수의 편리성을 더하기 위한 목적을 갖는다.

상기 과제를 위하여 본 발명은 실시예로, 상하 방향으로 장축을 이루는 수직형 출입구가 형성되어 있는 하우징, 상기 하우징의 전방에서 상기 출입구의 좌우 방향으로 이동가능한 지지패널, 상기 지지패널에 돌출 가능하게 장착되며, 상기 출입구를 차폐하는 밸브판, 그리고 상기 지지패널을 좌우 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하는 수직형 진공 차단 장치를 제시한다.

여기서 상기 구동부는 측면부재. 상기 측면부재에 결합되어 있는 액추에이터, 상기 액추에이터에 연결되어 좌우 방향으로 이동되는 링크암, 그리고 일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 측면부재를 관통하여, 타단은 상기 지지패널에 고정되어 있는 구동암을 포함할 수 있다.

더하여, 상기 구동부는 상기 측면부재에 결합되며 실린더몸체와, 스플라인축의 일단이 상기 링크암에 고정되며, 상기 스플라인축에 결합되는 스플라인너트는 상기 실린더몸체에 고정되는 볼 스플라인을 더 포함할 수 있다.

더하여, 상기 구동부에는 상기 액추에이터의 상하에는 상기 실린더몸체 및 볼 스플라인이 각각 구비되며, 상기 실린더몸체 및 볼 스플라인의 상하에는 상기 구동암이 각각 구비될 수 있다.

한편, 상기 구동부에는 상기 구동암이 통과하는 상기 측면부재의 관통홀의 주연부를 감싸는 벨로우즈, 상기 지지패널을 향하는 측면부재의 전방측에서 상기 구동암이 둘레를 감싸며 상기 측면부재에 대어져 상기 관통홀로 이물질의 침입을 차단하는 차단블록, 그리고 상기 관통홀의 둘레에 장착되어 있으며, 일부가 돌출되어 상기 차단블록과 접하는 오링을 포함할 수 있다.

또한, 상기 측면부재는 상기 지지패널 및 상기 밸프판이 노출되도록, 상기 하우징에서 분리되어 이동 가능할 수 있다.

이때, 상기 하우징에 대한 상기 측면부재의 이동은 상기 측면부재의 상하에 장착되는 슬라이딩부에 의하여 이루어지고, 상기 슬라이딩부는 상기 측면부재의 상단 및 하단에 장착되는 슬라이더, 그리고 상기 슬라이더가 미끄러지게 결합되며 상기 하우징에 대하여 좌우방향으로 형성되는 레일을 포함할 수 있다.

한편, 상기 지지패널의 양단에는 제1경사블록이 구비되고, 상기 출입구의 양단부의 하우징 내면에는 상기 제1경사블록과 접할 수 있는 제2경사블록이 구비되어 있으며, 상기 제2경사블록은 상기 출입구를 향하는 지지패널을 향하여 내림경사진 접촉면을 가지며, 상기 제2경사블록의 접촉면에 접하는 상기 제1경사블록의 접촉면은 상기 제2경사블록에 대응하여 반대로 경사지게 형성될 수 있다.

나아가, 상기 하우징은 각기 대향되는 위치에 출입구가 형성되어 있는 전방판과 후방판을 포함하고, 상기 지지패널은 상기 전방판과 후방판 사이에서 좌우로 이동 가능하며, 상기 전방판의 출입구는 상기 밸프판에 의하여 차폐되고, 상기 후방판의 출입구에 접하는 상기 지지패널의 후면에는 상기 출입구의 주연부에 대어지는 실링부재가 돌출될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상하로 길게 형성된 출입구를 완전히 개방하여 출입구를 통하여 세워진 작업대상물이 통과할 수 있게 하거나, 출입구 전후의 다른 압력 상태를 유지할 수 있도록 출입구를 차폐할 수 있는 것이다. 이로써, 수직된 출입구를 가지는 작업 챔버의 기밀이 가능해지고, 전술된 바와 같은 단점을 개선하는 효과를 갖는다.

또한, 측면부재에 액추에이터의 실린더가 결합되며, 피스톤, 링크암 및 구동암이 측면부재를 관통하여 지지패널에 결합되게 구성함으로써, 하우징 내부에서 발생되는 이물질에 의한 액추에이터의 오염을 예방하기 용이해지며, 하우징 내부의 기밀하기 위한 설계도 용이해지고, 장치 전체의 구조적 강도가 향상되는 효과가 있다.

더하여, 볼 스플라인이 구비됨으로써 지지패널이 자중으로 처지거나 액추에이터에 가해지는 수직 하중에 의해 액추에이터가 파손되는 문제를 방지하는 효과가 있다.

또한, 복수의 축 부재가 측면부재과 링크암을 연결함으로써 링크암의 건강성이 크게 증대되는 효과가 있다.

또한, 차단블록에 대어지는 오링이 측면부재에 장착됨으로써 이물질이 벨로우즈에 침입하여 발생되는 벨로우즈의 훼손을 예방할 수 있는 장점을 갖는다.

더하여, 이와 같이 측면부재가 하우징에서 분리 이동됨에 따라 지지패널과 밸브판에 대한 접근성이 향상되고, 그에 따라 정비의 편리성이 증대되는 효과가 있다.

또한, 밸프판의 작동시에 지지패널과 하우징이 직접 부딪치지 아니하게 하며, 제조공차 및 조립오차의 여유를 확보할 수 있게 하는 효과도 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 수직형 진공 차단 장치의 개략적인 정면도.
도 2는 도 1에 도시된 실시예의 일부 분해한 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 실시예의 사용 상태를 나타낸 일부분의 정면도.
도 5는 도 1에 채용된 주요부의 평면도.
도 6은 도 1에 도시된 실시예의 닫힌 상태를 나타낸 정면도.
도 7은 도 1에 도시된 실시예의 수리 상태를 나타낸 정면도.
도 8은 도 1에 도시된 실시예에 채용된 하우징과 지지패널의 일부분을 확대한 사시도.
도 9는 도 8의 A-A단면에 따른 사용상태를 나타낸 평면도.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 따른, 수직형 진공 차단 장치의 구성, 기능 및 작용을 설명한다. 단, 유사하거나 동일한 구성요소에 대한 도면번호는 통일하여 사용한다.

도 1과 도 2를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 수직형 진공 차단 장치(100)에는 상하 방향으로 장축을 이루는 수직형 출입구(13)가 형성되어 있는 하우징(1), 상기 출입구(13)의 전방에서 상기 출입구(13)의 좌우 방향으로 이동가능한 지지패널(2), 상기 지지패널(2)에 돌출 가능하게 장착되며, 상기 출입구(13)를 차폐하는 밸프판(3), 그리고 상기 지지패널(2)을 좌우 방향으로 이동시키는 구동부(4)가 포함된다.

하우징(1)은 대략 육면체로 형성되고, 전방판(11)과 후방판(12)에는 출입구(13)가 형성되어 있다. 또한, 하우징(1)의 일측면은 구동부(4)를 이루는 측면부재(41)로 이루어질 수 있다. 각기 출입구(13)가 형성된 전방판(11)과 후방판(12)의 사이에는 빈 공간이 형성되어 있다. 이 빈 공간은 출입구를 단속하는 장치가 작동되는 공간이다.

하우징(1)에 형성된 출입구(13)는 좌우 일정한 폭을 가지며, 이러한 폭의 길이에 대하여 상대적으로 긴 상하 방향의 장축을 가지는 장공 또는 사각형으로 형성된다. 즉, 출입구(13)는 폭에 대비하여 상하 높이가 길게 형성됨에 따라, 이 출입구를 통하여 패널유리 등 판재형 작업대상물이 세워진 상태에서 출입구를 통과할 수 있게 된다.

하우징(1)의 전방판(11)과 후방판(12)은 각기 다른 작업 챔버(도시 생략)와 연결된다. 예를 들면 전방판(11)은 낮은 진공 상태에서 패널유리를 가공하는 작업 챔버에 연결되며, 후방판(12)은 대기압 상태에서 패널유리를 가공하는 다른 작업 챔버에 연결될 수 있다.

지지패널(2)은 하우징(1)의 내부에 형성된 빈 공간에서 좌우로 슬라이딩되는 부재이다. 즉, 지지패널(2)은 출입구(13)의 전방에서 좌우로 슬라이딩됨에 따라 전방판(11)과 후방판(12)에 형성된 출입구 사이에 개재되거나, 도 1에 도시된 바와 같이 전후의 출입구(13)를 통과하는 패널유리에 간섭되지 아니하게 전후의 출입구를 연결하는 경로 상에서 비켜날 수 있게 된다.

한편, 밸프판(3)은 상기 지지패널(2)에 돌출 가능하게 장착되며, 상기 출입구(13)의 주연부를 가압하며 출입구(13)를 차폐한다. 밸프판(3)은 적어도 출입구와 면적을 가지거나, 출입구보다 큰 면적을 가지는 판재이다. 하우징의 내측면, 즉 출입구의 주연부에 접촉되는 밸프판(3)의 일면에는 기밀을 위한 실링이 개재된다. 밸브판이 지지패널에서 돌출되며 출입구의 주연부에 가압되는 구성은, 밸브판을 지지패널의 외측으로 밀어내는 다양한 기계적 수단들로 이루어질 수 있다. 이러한 기계적 수단은 후술되는 에어 실린더, 유압식 액추에이터 등의 피스톤과 실린더를 이용한 신축수단이나 모터의 회전과 렉기어의 조합을 이용한 기계작동 수단 등일 수 있다.

구동부(4)는 지지패널(2)을 전술된 바와 같이 출입구(13)에 대하여 좌우로 이동시키는 작동수단이다. 또한, 구동부(4)는 지지패널(2) 및 밸프판(3)의 하중을 지지하게 된다.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 수직형 진공 차단 장치는 상하로 길게 형성된 출입구를 완전히 개방하여 출입구를 통하여 세워진 작업대상물이 통과할 수 있게 하거나, 출입구 전후의 다른 압력 상태를 유지할 수 있도록 출입구를 차폐할 수 있는 것이다. 이로써, 수직된 출입구를 가지는 작업 챔버의 기밀이 가능해지고, 전술된 바와 같은 단점을 개선할 수 있게 된다.

첨부된 도면들를 참고하여, 본 발명에 채용된 구동부(4)를 설명한다.

구동부(4)는 지지패널(2)을 좌우 방향으로 슬라이딩하게 하는 수단으로, 본 발명의 실시예에 따른 구동부(4)는 측면부재(41). 상기 측면부재(41)에 결합되어 있는 액추에이터(42), 상기 액추에이터(42)에 연결되어 좌우 방향으로 이동되는 링크암(43), 그리고 일단은 상기 링크암(43)에 고정되고, 상기 측면부재(41)를 관통하여, 타단은 상기 지지패널(2)에 고정되어 있는 구동암(44)을 포함한다.

측면부재(41)는 하우징(1)의 일측면을 구성한다. 측면부재가 하우징에 결합됨으로써 전방판과 후방판에 각각 연결되는 작업 챔버와 하우징의 내부는 기밀된 공간을 형성할 수 있다. 측면부재(41)는 전방판(11)과 후방판(12)을 연결하는 판재일 수 있다. 측면부재(41)에는 수직된 출입구의 상하 방향의 장축보다 길게 형성될 수 있다.

측면부재(41)에는 하우징(1)의 내측에 위치되는 지지패널(2)에 결합되는 구동암(44)이 통과하기 위한 관통홀이 형성된다.

액추에이터(42)는 측면부재(41)에 고정되는 실린더(421)와, 이 실린더(421)에서 신장 또는 신축되는 피스톤(422)으로 이루어질 수 있다. 액추에이터(42)는 별도로 구비되는 설비로부터 공급되는 에어로 피스톤을 작동하게 하는 것일 수 있다. 이때, 액추에이터는 공기를 대신하여 유체를 사용할 수 있으며, 액추에이터는 다른 기계적 구성으로 대체될 수 있다.

링크암(43)은 액추에이터(42)에 연결되어 좌우 방향으로 이동가능한 부재이다. 링크암(43)은 지지패널(2)의 길이 방향과 평행되게 구비된다.

구동암(44)은 측면부재(41)의 관통홀을 통과하면서, 그 양단이 링크암(43)과 지지패널(2)에 결합된다.

이로써, 액추에이터(42)에 구비된 피스톤(422)의 신축 작동은 링크암(43), 구동암(44) 및 지지패널(2)을 좌우 방향으로 이동시키게 구성된다. 따라서 피스톤(422)의 작동 길이는 지지패널(2)이 출입구(13)를 가리는 위치(도 6 참고)에서 전후의 출입구(13)가 형성하는 통로에서 벗어나는 위치(도 1 참고)까지 지지패널이 좌우로 이동하는 길이와 동일하다.

이와 같이 측면부재에 액추에이터의 실린더가 결합되며, 피스톤, 링크암 및 구동암이 측면부재를 관통하여 지지패널에 결합되게 구성함으로써, 하우징 내부에서 발생되는 이물질에 의한 액추에이터의 오염을 예방하기 용이해지며, 하우징 내부의 기밀하기 위한 설계도 용이해지고, 장치 전체의 구조적 강도가 향상된다. 구체적으로 출입구가 개방되면 작업 챔버에서 발생된 작은 유리 조각이나 작업대상물의 이동과정 중에 발생되는 이물질들이 하우징의 내부로 유입되는데, 액추에이터가 하우징의 바깥쪽에 구비됨으로써 이러한 이물질들이 액추에이터에 유입될 가능성이 없어진다. 또한, 측면부재를 관통하는 부재는 구동암으로 한정되므로 구동암이 통과하는 측면부재의 관통홀 부분으로의 이물질 침입을 방지된다. 따라서 다른 여러 부재가 측면부재를 관통하며 지지패널에 결합되는 구성에 비하여 상대적으로 이물질 침입의 방지대책을 세워야 하는 부분이 적어진다. 또한, 측면부재를 기준으로 지지패널에 결합되는 구동암의 길이를 짧게 구성할 수 있게 되므로, 구동암에 외팔보와 같이 매달린 지지패널의 하중에 의하여 구동암의 휨을 최소화할 수 있게 된다. 또한, 무거운 액추에이터의 실린더부분이 측면부재에 결합됨으로써 실린더의 결합을 위한 별도의 브래킷이나 프레임이 필요 없게 된다.

나아가, 상기 구동부(4)는 상기 측면부재(41)에 결합되는 실린더몸체(45) 및 이 실린더몸체에 결합되는 볼 스플라인(46)을 더 포함할 수 있다. 이때, 스플라인축(461)의 일단은 상기 링크암(43)에 고정되며, 상기 스플라인축(461)에 결합되는 스플라인너트(도시생략)는 상기 실린더몸체(45)에 고정된다. 구체적으로 스플라인너트의 외주면은 실린더몸체(45)의 내부에 형성된 중공홀(도시 생략)에 결합되어 있다. 이 스플라인너트에 결합되는 스플라인축(461)은 링크암(43)을 통하여 전달되는 지지패널(2)의 하중이 스플라인너트와 실린더몸체(45)를 통해 측면부재(41)에서 지지되게 한다. 더하여 스플라인너트에 구비된 볼의 회전에 의하여, 스플라인축(461)은 지지패널(2)의 하중을 전달하면서 동시에 스플라인너트에 대하여 부드럽게 슬라이딩 가능하게 된다.

이와 같은 측면부재에 결합된 실린더몸체와 링크암에 고정된 볼 스플라인의 결합으로 지지패널의 하중 전체가 액추에이터에 전달되는 것을 방지할 수 있게 된다. 따라서 지지패널이 자중으로 처지거나 액추에이터에 가해지는 수직 하중에 의해 액추에이터가 파손되는 문제 등을 예방할 수 있게 된다.

나아가, 구동부의 건강성(强健性)을 증대시키기 위하여, 링크암(43)과 측면부재(41)를 연결하는 각 축 부재는 복수로 구비될 수 있다. 구체적으로 액추에이터(42)의 상하에는 실린더몸체(45) 및 볼 스플라인(46)이 각각 대칭되게 구비되며, 실린더몸체(45) 및 볼 스플라인(46)의 상하에는 구동암(44)이 각각 대칭되게 구비될 수 있다.

액추에이터(42)의 피스톤(422)은 링크암(43)의 중앙에 결합되어 있으며, 액추에이터(42)를 중심으로 상하에 각기 전술된 실린더몸체(45) 및 볼 스플라인(46)이 구비되고, 그 상하 외측에 구동암(44)이 구비되는 것이다. 이로써 액추에이터를 기준으로 상하 대칭된 구성을 가지게 된다.

이 경우, 복수의 축 부재가 측면부재와 링크암을 연결함으로써 구동부의 건강성이 크게 증대된다. 더하여 액추에이터를 기준으로 상하 대칭되게 축 부재가 구비됨으로써 링크암의 중앙에 연결된 피스톤에 전달되는 회전 모멘트를 최소로 줄여 액추에이터의 고장을 방지할 수 있게 된다. 또한, 상하로 구비되는 구동암 간의 간격을 늘릴 수 있게 되므로 상하로 길게 형성되는 지지패널을 안정되게 지지할 수 있게 된다.

또한, 대형 사이즈의 패널유리가 통과되기 위한 출입구(13)가 더욱 길어지는 경우, 도시된 바와 같이 복수의 축 부재가 구비된 구동부(4)는 측면부재에 복수가 구비될 수도 있다.

한편, 하우징(1)의 내부를 기밀하기 위하여, 상기 구동암(44)이 통과하는 상기 측면부재(41)의 관통홀을 감싸는 벨로우즈(47)가 더 결합될 수 있다. 구체적으로 벨로우즈(47)는 일단이 관통홀(411)의 주연부를 감싸는 형상으로 측면부재(41)에 결합되어 있으며, 타단부는 구동암(44)의 둘레에 결합된다. 벨로우즈(47)는 주름관으로 형성되어 구동암의 이동에 따라 신축될 수 있다.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 벨로우즈(47)의 내부로 하우징(1)의 내부에서 발생한 이물질이 침입하는 것을 차단하기 위하여 지지패널(2)을 향하는 측면부재(41)의 전방측에서 구동암(44)의 둘레를 감싸며 상기 측면부재(41)에 대어져 상기 관통홀(411)로 이물질의 침입을 차단하는 차단블록(48), 그리고 상기 관통홀(411)의 둘레에 돌출되게 장착되어 상기 차단블록(48)과 접하는 오링(49)이 더 구비될 수 있다.

구체적으로 오링(49)의 장착을 위하여 관통홀(411)의 주연부에는 원형으로 함몰홈(412)이 형성된다. 이 함몰홈(412)은 내부로 갈수록 단면적이 커지게 형성되어 함몰홈(412)의 입구측은 오링(49)의 지름보다 좁다. 또한, 함몰홈(412)의 깊이도 오링(49)의 지름보다 얕게 형성됨으로써, 이 함몰홈(412)에 삽입된 오링(49)의 일부분은 측면부재(41)의 표면보다 돌출되어 차단블록(48)과 접하여 탄성변형된다. 따라서 차단블록(48)과 측면부재(41)의 표면 사이로 이물질이 유입되는 것을 차단할 수 있게 된다. 이로써 벨로우즈의 기대 수명의 증대를 기대할 수 있다.

도 5에는 지지패널(2)에서 밸프판(3)을 돌출시키는 구성이 나타나 있다. 구동암(44)의 내부에는 그 길이방향으로 에어를 유입 또는 배출하기 위한 유로(441)가 형성되어 있다. 또한, 지지패널(2)의 내부에는 구동암(44)의 유로(441)와 연결되는 상하 방향의 통로(21)가 형성되어 있다. 지지패널(2)에는 통로(21)와 연통되며 지지패널(2)의 전방을 향하여 개방된 복수의 에어실(22)이 형성되어 있다. 각 에어실(22)에는 유입된 에어에 의하여 외측으로 밀려나는 피스톤부재(23)가 구비된다. 복수의 피스톤부재(23)에는 밸프판(3)이 장착된다.

따라서 구동암(44)에 에어를 양압으로 가하면 밸프판(3)이 지지패널(2)에서 돌출되어 출입구(13)를 차폐하며, 구동암(44)에 에어를 음압으로 가하면 밸프판(3)이 원위치로 이동되어 출입구(13) 차폐를 중단하게 된다.

이때, 구동축을 통하여 주입되는 에어의 압력을 조절함으로써 밸브판의 출입구 부분을 가압하는 정도를 조절할 수 있게 된다. 즉, 제어부(6)에서 구동암에 주입되는 에어의 압력을 계측하고, 이 계측된 주입 압력값을 미리 실험에 의하여 알고 있는 주입 압력값 대비 밸브판의 가압력 관계에 대입하여 밸브판의 가압력 상태를 산출할 수 있다. 따라서 작업 챔버 내의 압력 상태에 따라 요구되는 밸브판의 가압력에 따른 에어의 공급압을 제어할 수 있게 된다.

한편, 상기 측면부재(41)는 상기 지지패널(2) 및 상기 밸프판(3)이 노출되도록, 상기 하우징(1)에서 분리 이동될 수 있다.

이를 위하여 측면부재(41)에는 하우징에서 분리되어 하우징에서 멀어지는 방향으로 이동시키는 슬라이딩부(5)가 구비될 수 있다. 구체적으로 슬라이딩부는 LM 가이드이거나, 레일과 슬라이더를 가지는 구성일 수 있다. 이러한 슬라이딩부는 측면부재의 상하에서 동일한 구성으로 형성될 수 있으며, 하중을 지탱하는 하부의 슬라이딩부는 복수의 LM 가이드가 병렬되게 구비될 수도 있다.

측면부재는 하우징에서 분리되기 위하여 측면부재와 전방판 또는 후방판을 결합하는 볼트 등 결합수단을 해제할 수 있다. 그 후 측면부재는 슬라이딩부에 의하여 하우징의 측면으로 이동될 수 있다. 이때, 슬라이딩부의 이동 길이는 적어도 지지패널과 밸브판이 하우징의 바깥으로 이탈될 수 있도록 충분히 길게 형성된다.

이와 같이 측면부재를 하우징에서 분리 이동함에 따라, 종래와 같이 하우징 전체를 분리하거나 지지패널을 거치하기 위한 별도의 호이스트 등의 장비를 사용하는 등의 번거로움이 없이, 작업자는 하우징에서 분리되어 노출된 지지패널과 밸프판에 접근하여 오링 등 부품의 교체 및 수리를 편리하게 할 수 있다.

한편, 도 8과 도 9를 참고하면, 지지패널(2)의 양단에는 제1경사블록(24)이 구비되고, 상기 출입구(13)의 양단부의 하우징(1) 내면에는 상기 제1경사블록(14)과 접할 수 있는 제2경사블록(14)이 구비된다. 제1경사블록(24)과 제2경사블록(14)은 지지패널(2)의 밸프판(3)이 전방판(11)의 출입구(13)를 가압할 때에 후방으로 밀려나는 지지패널(2)을 지지하여 후방판(12)과 지지패널(2)이 부딪치는 것을 방지하는 부재이다.

이때, 제2경사블록(14)은 상기 출입구(13)를 향하는 좌측으로 이동하는 지지패널(2)을 향하여 내림경사진 접촉면(141)을 가지며, 제2경사블록(14)의 접촉면에 접하는 상기 제1경사블록(24)의 접촉면(241)은 상기 제2경사블록(14)의 접촉면에 대응하여 반대로 경사지게 형성된다. 따라서 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이 지지패널(2)이 출입구(13)를 향하여 이동할 때에 제1경사블록(24)이 제2경사블록(14)의 측면과 충돌되지 아니하게 된다. 또한 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 밸프판(3)이 출입구(13)를 가압하면 제1경사블록(24)이 제2경사블록(14)에 접촉되며 지지패널(2)이 하우징에 접촉되는 것을 방지하게 된다.

이와 달리 경사면이 지지패널과 평행하게 형성되는 경우에는 지지패널의 이동시에 제1경사블록이 제2경사블록과 간섭되지 않게 하려면 엄격한 공차를 요구하고, 그에 따라 제조비용의 상승 및 조립불량의 확률이 상승하게 되는 단점이 있다. 본 발명에서와 같이 제1,2경사블록의 접촉면을 경사지게 형성함으로써 조립 오차 또는 공차에 의한 부재간의 유격의 제한을 완화할 수 있게 된다.

다시 도 8을 참고하면, 지지패널(2)이 상하로 길게 형성됨에 따라 밸프판(3)이 전방판(11)의 출입구(13)를 가압하면 지지패널(2)의 후면(2a)이 후방판(12)에 접촉될 우려가 있게 된다. 이를 해소하기 위하여 상기 후방판(12)의 출입구(13)에 접하는 지지패널(2)의 후면(2a)에는 상기 출입구(13)의 주연부에 대어지는 실링부재(25)가 돌출되게 구비된다. 이때, 실링부재(25)는 전술된 함몰홈에 삽입된 오링과 같은 구성일 수 있다. 이러한 실링부재 및 제1,2경사블록에 의하여 지지패널의 후면은 하우징에 접촉하지 아니하고, 그에 따라 지지패널과 하우징의 마모를 예방할 수 있게 된다.

100 : 진공 차단 장치
1 : 하우징
11 : 전방판 12 : 후방판 13 : 출입구
14 : 제2경사블록 141 : 접촉면
2 : 지지패널
21 : 통로 22 : 에어실 23 : 피스톤부재
24 : 제1경사블록 241 : 접촉면 2a : 후면 25 : 실링부재
3 : 밸브판
4 : 구동부
41 : 측면부재 411 : 관통홀 412 : 함몰홈
42 : 액추에이터 421 : 실린더 422 : 피스톤
43 : 링크암 44 : 구동암 441 : 유로
45 : 실린더몸체 46 : 볼 스플라인
461 : 스플라인축 47 : 밸로우즈
48 : 차단블록 49 : 오링
5 : 슬라이딩부
6 : 제어부

Claims (9)

1. 상하 방향으로 장축을 이루는 수직형 출입구가 형성되어 있는 하우징,
   상기 하우징 내부에 위치하고 상기 출입구와 마주하며 상기 출입구의 좌우방향으로 슬라이딩 가능하게 배치되어 있는 지지패널,
   상기 지지패널에서 상기 출입구 방향으로 돌출되어 있고 상기 출입구를 차폐하는 밸브판, 그리고
   상기 지지패널을 이동시키는 구동부
   를 포함하는 수직형 진공 차단 장치.
2. 제1항에서,
   상기 구동부는
   측면부재.
   상기 측면부재에 결합되어 있는 액추에이터,
   상기 액추에이터에 연결되어 좌우 방향으로 이동되는 링크암, 그리고
   일단은 상기 링크암에 고정되고, 상기 측면부재를 관통하여, 타단은 상기 지지패널에 고정되어 있는 구동암을 포함하는 수직형 진공 차단 장치.
3. 제2항에서,
   상기 구동부는
   상기 측면부재에 결합되며 실린더몸체와,
   스플라인축의 일단이 상기 링크암에 고정되며, 상기 스플라인축에 결합되는 스플라인너트는 상기 실린더몸체에 고정되는 볼 스플라인을 더 포함하는 수직형 진공 차단 장치.
4. 제3항에서,
   상기 구동부에는
   상기 액추에이터의 상하에는 상기 실린더몸체 및 볼 스플라인이 각각 구비되며,
   상기 실린더몸체 및 볼 스플라인의 상하에는 상기 구동암이 각각 구비되어 있는 수직형 진공 차단 장치.
5. 제2항에서,
   상기 구동부에는
   상기 구동암이 통과하는 상기 측면부재의 관통홀의 주연부를 감싸는 벨로우즈,
   상기 지지패널을 향하는 측면부재의 전방측에서 상기 구동암이 둘레를 감싸며 상기 측면부재에 대어져 상기 관통홀로 이물질의 침입을 차단하는 차단블록, 그리고
   상기 관통홀의 둘레에 장착되어 있으며, 일부가 돌출되어 상기 차단블록과 접하는 오링을 포함하는 수직형 진공 차단 장치.
6. 제2항에서,
   상기 측면부재는
   상기 지지패널 및 상기 밸프판이 노출되도록, 상기 하우징에서 분리되어 이동 가능한 수직형 진공 차단 장치.
7. 제6항에서,
   상기 하우징에 대한 상기 측면부재의 이동은 상기 측면부재의 상하에 장착되는 슬라이딩부에 의하여 이루어지고,
   상기 슬라이딩부는
   상기 측면부재의 상단 및 하단에 장착되는 슬라이더, 그리고
   상기 슬라이더가 미끄러지게 결합되며 상기 하우징에 대하여 좌우방향으로 형성되는 레일을 포함하는 수직형 진공 차단 장치.
8. 제1항에서,
   상기 지지패널의 양단에는 제1경사블록이 구비되고,
   상기 출입구의 양단부의 하우징 내면에는 상기 제1경사블록과 접할 수 있는 제2경사블록이 구비되어 있으며,
   상기 제2경사블록은 상기 출입구를 향하는 지지패널을 향하여 내림경사진 접촉면을 가지며,
   상기 제2경사블록의 접촉면에 접하는 상기 제1경사블록의 접촉면은 상기 제2경사블록에 대응하여 반대로 경사지게 형성되어 있는 수직형 진공 차단 장치.
9. 제1항에서,
   상기 하우징은 각기 대향되는 위치에 출입구가 형성되어 있는 전방판과 후방판을 포함하고, 상기 지지패널은 상기 전방판과 상기 후방판 사이에서 좌우로 이동 가능하며, 상기 전방판의 출입구는 상기 밸프판에 의하여 차폐되고,
   상기 후방판의 출입구에 접하는 상기 지지패널의 후면에는 상기 후방판의 출입구 주연부에 대어지는 실링부재가 돌출되어 있는
   수직형 진공 차단 장치.

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