KR20190049289A - 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치 - Google Patents

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Abstract

개시되는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는 그 내부에 대상체가 수용되고 그 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서, 승강될 수 있는 승강 수단과, 상기 승강 수단이 승강되도록 동력을 제공하는 승강 몸체를 포함한 승강 부재와, 상기 승강 수단과 연결되고 상기 승강 몸체가 상기 승강 수단을 승강시키면, 상기 승강 수단과 함께 승강되는 도어 부재와, 상기 도어 부재와 연결되고, 상기 도어 부재가 미리 정해진 방향으로 승강되도록 가이드하는 레일 부재와, 상기 도어 부재와 연결된 상기 레일 부재를 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 부재를 포함한다.
개시되는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는 상기 승강 부재가 상승되면서 상기 승강 부재와 연결된 상기 도어 부재가 상기 개구부와 대면된 상태에서 상기 레일 부재에 가이드되며 상승됨과 함께, 상기 도어 부재와 연결된 상기 푸쉬 풀 부재가 상기 도어 부재를 밀어 상기 가압 챔버 쪽으로 이동시키게 되고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 개구부를 막음으로써 상기 가압 챔버가 완벽하게 밀폐될 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치{Door opening and closing device for pressure chamber}
본 발명은 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 관한 것이다.
챔버는 내부에 빈 공간이 형성되고, 그 내부에 위치된 대상체에 일정한 온도와 압력 및 진동을 가하여 상기 대상체의 내구성을 확인하기 위한 시험이나, 일정한 온도 및 압력에서 반도체 또는 광학 장비 등의 제조 공정 중 필름이나 테잎 등의 접착 시 접착제에 형성된 미세한 기포를 제거하기 위해 사용되는 것이다.
상기 챔버는 상기 대상체에 일정한 온도 및 압력이 가해지는 것이 가장 중요한 성능이고, 상기 챔버 내에 상기 대상체를 수용하기 위해 개폐되는 도어 부분의 밀폐 성능이 상기 챔버의 성능을 좌우하게 된다.
이러한 챔버의 밀폐 성능을 개선한 도어의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.
아래 제시된 특허 문헌 및 종래의 밀폐 장치에 의하면, 단순히 도어에 밀폐용 O-ring의 형상 변경이나, 패킹 적용 방법을 변경하여 밀폐 성능을 향상하는 것이 일반적이었다.
그러나, 상기 O-ring이나 패킹의 개선에 의해 밀폐 성능이 상대적으로 향상되긴 하였으나, 완전 밀폐를 위한 근본 해결책이 되진 않았다.
특히, 최근의 반도체 장비 제조에서는 필름이나 유리 기판 등의 접착 시 상기 접착제에 일정한 압력을 가하여 상기 접착제의 기포를 제거함과 함께 상기 접착제의 일부분에 응력이 집중되는 것을 방지할 수 있는 가압 챔버가 많이 사용되고 있는데, 이러한 가압 챔버는 내부의 인가된 압력이 외부 압력에 비해 상대적으로 높은 상태고, 그에 따라 일반적으로 사용되는 O-ring이나 패킹은 상대적으로 밀폐가 약한 곳에 압력이 집중되면서 상기 O-ring이나 패킹이 상기 가압 챔버 내부의 상기 압력에 의해 자주 파손되었고, 그와 함께, 상기 챔버 내에 수용된 상기 대상체의 제품 품질도 저하되는 문제가 있었다.
등록특허 제 10-1223379호, 등록일자: 2013.01.10, 발명의 명칭: 챔버의 도어 밀폐 구조 등록특허 제 10-1592847호, 등록일자: 2016.02.02, 발명의 명칭: 슬라이딩 도어를 갖는 오토클레이브 장치
본 발명은 도어 부재가 승강됨과 함께 밀거나 당겨짐으로써 가압 챔버의 개구부가 완벽히 밀폐될 수 있는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서, 승강될 수 있는 승강 수단과, 상기 승강 수단이 승강되도록 동력을 제공하는 승강 몸체를 포함한 승강 부재; 상기 승강 수단과 연결되고 상기 승강 몸체가 상기 승강 수단을 승강시키면, 상기 승강 수단과 함께 승강되는 도어 부재; 상기 도어 부재와 연결되고, 상기 도어 부재가 미리 정해진 방향으로 승강되도록 가이드하는 레일 부재; 상기 도어 부재와 연결된 상기 레일 부재를 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 부재;를 포함하고, 상기 도어 부재가 상기 가압 챔버의 상기 개구부와 대면된 상태에서 상기 푸쉬 풀 부재가 상기 레일 부재를 밀어 주면, 상기 레일 부재가 밀리면서 상기 레일 부재와 연결된 상기 도어 부재도 밀리고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 가압 챔버 쪽으로 이동되고, 상기 푸쉬 풀 부재가 상기 레일 부재를 당겨 주면, 상기 레일 부재가 당겨지면서 상기 레일 부재와 연겯된 상기 도어 부재도 당겨지고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 가압 챔버 쪽에서 멀어지는 방향으로 이동하게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 의하면, 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치가 승강 부재와, 도어 부재와, 레일 부재와 푸쉬 풀 부재를 포함함에 따라, 상기 승강 부재가 상승되면 상기 승강 부재와 연결된 상기 도어 부재가 상기 개구부와 대면된 상태에서 상기 레일 부재에 가이드되며 상승됨과 함께, 상기 도어 부재와 연결된 상기 푸쉬 풀 부재가 상기 도어 부재를 밀어 상기 가압 챔버 쪽으로 이동시키고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 개구부를 막음으로써 상기 가압 챔버가 완벽하게 밀폐될 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치와 가압 챔버의 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 레일 부재와 승강 부재의 모습을 보이는 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 레일 부재와 승강 부재의 모습을 보이는 정면도.
도 5는 도 3에 도시된 A 부분에 대한 확대도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 도어 부재가 상승된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재의 모습을 보이는 확대도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재의 단면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재에 적용된 링크 부재가 하강된 모습을 보이는 단면 확대도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재에 적용된 링크 부재가 상승된 모습을 보이는 단면 확대도.
도 11은 도 5를 위에서 바라본 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치와 가압 챔버의 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치의 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 레일 부재와 승강 부재의 모습을 보이는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 레일 부재와 승강 부재의 모습을 보이는 정면도이고, 도 5는 도 3에 도시된 A 부분에 대한 확대도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 도어 부재가 상승된 모습을 보이는 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재의 모습을 보이는 확대도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재에 적용된 링크 부재가 하강된 모습을 보이는 단면 확대도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치를 구성하는 푸쉬 풀 부재에 적용된 링크 부재가 상승된 모습을 보이는 단면 확대도이고, 도 11은 도 5를 위에서 바라본 단면도이다.
도 1 내지 도 11을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)는 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버(10)의 개구부(11)에 적용되는 것으로서, 승강 부재(125)와, 도어 부재(130)와, 레일 부재(120)와, 푸쉬 풀 부재(140)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)는 상기 가압 챔버(10)의 개구부(11)와 연결되는 케이스(110)를 더 포함한다.
상기 케이스(110)는 내부가 빈 박스 형태로 형성되고, 상기 케이스(110)의 내부에 구성품들이 수용된다.
상세히, 상기 케이스(110)는 프레임(111)과, 전면 커버(112)와 후면 커버(113)와, 지지부(114)를 포함한다.
상기 프레임(111)은 상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 외곽을 형성하는 것이고, 상기 개구부(11)와 연결된다.
상기 전면 커버(112)는 일정 면적의 넓은 플레이트 형상으로 형성되고, 상기 프레임(111)의 전면을 덮되 그 상부가 개구되어 상기 도어 부재(130)의 개폐가 확인 될 수 있도록 하는 것이다.
상기 후면 커버(113)는 일정 면적의 넓은 플레이트 형상으로 형성되고, 상기 프레임(111)의 후면을 덮되 그 상부에 개구되어 상기 개구부(11)와 연통되는 후면 커버측 개구부(115)를 포함하고, 상기 도어 부재(130)가 상기 후면 커버측 개구부(115)를 닫으면, 상기 후면 커버측 개구부(115)와 연통된 상기 개구부(11)도 밀폐될 수 있게 된다.
상기 후면 커버측 개구부(115)에는 그 외곽에 상기 후면 커버측 개구부(115)에 비해 상대적으로 크게 형성되고, 상기 도어 부재(130)가 닫힐 때 밀폐가 가능하도록 상기 후면 커버(113)의 외면에서 돌출되도록 패킹부(102)가 형성된다.
상기 패킹부(102)는 상기 후면 커버(113)에 상기 도어 부재(130)가 접촉될 때, 그 사이에서 상기 패킹부(102)의 두께가 수축되면서 상기 후면 커버(113)와 상기 도어 부재(130) 사이의 공간을 막아 주게 되고, 그로 인해 상기 도어 부재(130) 사이가 상기 가압 챔버(10) 내부를 일차적으로 밀폐시킬 수 있게 된다.
상기 패킹부(102)는 수축 및 팽창 성질이 우수한 재질을 사용하고, 이러한 재질로 실리콘 고무 및 바이턴(Viton) 등이 적용될 수 있다.
상기 지지부(114)는 일정 면적의 넓은 플레이트 형태로 상기 케이스(110)의 길이 방향으로 일정 길이 길게 형성되고, 상기 케이스(110)에 연결되고 후술될 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 외부에 노출된 상태로 손상되지 않도록 보호할 수 있는 것이다.
상기 승강 부재(125)는 수직으로 승강될 수 있는 승강 수단(127)과, 상기 승강 수단(127)이 승강되도록 동력을 제공하는 승강 몸체(126)를 포함한 것이다.
여기서, 상기 승강 부재(125)가 승강되는 방향은 상기 케이스(110)가 세워진 수직 방향이고, 상기 승강 부재(125)는 수직 방향으로 상승 및 하강되는 것이다.
상세히 상기 승강 부재(125)는 일 방향으로 일정 길이 길게 형성된 상태로 상기 케이스(110)와 연결된 상기 승강 몸체(126)와, 상기 승강 몸체(126)의 길이 방향으로 일정 길이 길게 형성되고, 상기 승강 몸체(126)의 동력에 의해 승강되는 상기 승강 수단(127)을 포함하는 것이다.
본 실시예에서 상기 승강 부재(125)는 상기 케이스(110) 내에 설치되었으나, 이는 단지 하나의 예시일 뿐 상기 케이스(110) 내부에 설치될 수 있음은 물론이다.
또한, 상기 승강 부재(125)는 복수 개, 예를 들어, 상기 케이스(110)의 양 측에 일정 거리 이격되도록 복수 개 설치될 수 있으나, 바람직하게는 본 실시예에서와 같이 상기 승강 부재(125)가 상기 케이스(110) 내부의 대략 중앙부에 하나 설치됨으로써, 복수 개의 상기 승강 수단(127)이 승강될 때 각 상기 수단의 속도 편차에 의해 승강되는 대상체가 승강 중 편심되는 것이 방지되도록 한다.
또한, 본 실시예에서 상기 승강 부재(125)는 도어 연결부(129)와, 이물질 방지부(128)를 포함한다.
상기 도어 연결부(129)는 상기 승강 수단(127) 중 상기 승강 몸체(126)에서 먼 쪽에서 상기 승강 수단(127)과 연결되고, 일정 길이 긴 바 형태로 형성되어 상기 승강 수단(127)의 동력이 상기 도어 부재(130)의 복수 지점에 분산되어 적용될 수 있도록 하는 것이다.
상기 이물질 방지부(128)는 상기 승강 몸체(126)의 상부에 연결되고, 상기 승강 수단(127)이 상기 이물질 방지부(128)에 형성된 홀을 관통한 상태로 승강됨으로써, 상기 승강 수단(127)이 승강 작동 시 발생되는 파티클 등의 이물질이 상이 승강 몸체(126)의 외부로 노출되지 않도록 하는 것이다.
상기 도어 부재(130)는 상기 승강 수단(127)과 연결되고 상기 승강 몸체(126)가 상기 승강 수단(127)을 승강시키면, 상기 승강 수단(127)과 함께 승강되는 것이고, 상기 도어 부재(130)가 상기 승강 부재(125)에 의해 상승되면 상기 개구부(11)가 밀폐되는 것이다.
상세히, 상기 도어 부재(130)는 도어 몸체(131)와, 도어 블럭부(132)와, 연결 축 고정부(133)와, 승강 수단 연결 축(134)을 포함한다.
상기 도어 몸체(131)는 일정 면적의 넓은 플레이트로 형성되고, 상기 승강 부재(125)의 승강 작동에 의해 상기 개구부(11)를 밀폐시키는 것이다.
상기 도어 블럭부(132)는 상기 도어 몸체(131)의 외곽부에 적어도 하나 설치되고, 상기 도어 몸체(131)와 상기 레일 부재(120)를 연결시켜 주는 것이다.
상기 도어 블럭부(132)는 상기 도어 몸체(131)의 외곽부에 일정 거리 이격되도록 복수 개가 설치되어 상기 도어 몸체(131)의 하중이 복수 개의 상기 도어 블럭에 분산될 수 있도록 하고, 그로 인해 상기 도어 몸체(131)의 승강이 안정적으로 작동될 수 있게 된다.
상기 승강 수단 연결 축(134)은 상기 도어 연결부(129)에 적어도 하나 연결되고, 상기 승강 수단(127)이 승강되면 상기 승강 수단(127)과 연결된 상기 도어 연결부(129)가 승강되고, 그로 인해 상기 도어 연결부(129)를 관통한 상태로 연결된 상기 승강 수단 연결 축(134)이 상기 도어 연결부(129)와 함께 승강됨으로써 상기 도어 몸체(131)도 승강되도록 한다.
상세히, 상기 도어 연결부(129)는 그 내부에 홀이 형성되고, 상기 승강 수단 연결 축(134)은 상기 도어 몸체(131)의 외곽에서 상기 승강 수단(127)이 승강되는 방향과 수직으로 일정 길이 길게 형성되고, 상기 승강 수단 연결 축(134)이 상기 도어 연결부(129) 내의 홀에 삽입된 상태로 상기 도어 연결부(129)에 연결되도록 한다.
상기 연결 축 고정부(133)는 그 내부가 빈 사각 형태로 형성되되, 일 측은 상기 도어 몸체(131)에 연결되고, 타 측은 상기 승강 수단 연결 축(134)이 상기 도어 연결부(129)를 관통한 상태로 상기 승강 수단 연결 축(134)과 연결되어 상기 승강 수단 연결 축(134)과 상기 도어 연결부(129)의 연결 상태가 유지될 수 있도록 하는 것이다.
또한, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 승강 수단 연결 축(134)과 상기 연결 축 고정부(133)가 상기 도어 연결부(129)의 홀을 관통한 상태로 연결됨으로써, 상기 승강 수단 연결 축(134)과 상기 연결 축 고정부(133)가 밀리거나 당겨지는 방향, 즉, 전후방으로 이동될 수 있고, 그에 따라 상기 승강 수단 연결 축(134) 및 상기 연결 축 고정부(133)에 연결된 상기 도어 몸체(131)도 밀리거나 당겨질 수 있게 된다.
이 때, 상기 도어 연결부(129)의 위치가 유지되는 상태에서 상기 승강 수단 연결 축(134) 및 상기 연결 축 고정부(133)가 상기 도어 연결부(129)의 홀을 통해 이동되므로, 상기 승강 연결 축과 상기 연결 축 고정부(133)의 전후방 이동에 의한 상기 승강 수단(127)의 전후방 이동이 방지될 수 있게 된다.
또한, 본 실시예에서 상기 도어 부재(130)는 수평 지지체(135)와 수직 지지체(136)를 더 포함한다.
상기 가압 챔버(10) 내부에 외부와 상이한 압력이 가해지면 상기 가압 챔버(10)에서 상대적으로 약한 부분인 상기 도어 부재(130)는 가해지는 상기 압력에 함몰되거나 돌출되는 등의 형상 변형이 발생하게 된다.
상기 수평 지지체(135)와 상기 수직 지지체(136)는 상기 도어 부재(130)에 결합되어 상기 도어 부재(130)의 강성이 증가되도록 하는 것으로, 상기 가압 챔버(10) 내에 발생되는 상기 압력에 대한 저항력은 증가시키고, 상기 압력에 대한 변형은 최소화될 수 있도록 한다.
상기 수평 지지체(135)와 상기 수직 지지체(136)는 상대적으로 밀도가 높고, 부식성이 작은 스테인레스 스틸 등이 적용될 수 있다.
상기 수평 지지체(135)는 상기 도어 부재(130)의 승강 방향과 직각 방향으로 설치되고, 상기 수평 지지체(135)는 상기 도어 부재(130)의 승강 방향과 평행하게 설치된다.
상기 레일 부재(120)는 상기 도어 부재(130)와 연결되고, 상기 도어 부재(130)가 미리 정해진 방향으로 승강되도록 가이드하는 것으로, 상기 레일 부재(120)는 레일 몸체(121)와, 레일 브래킷(122)을 포함한다.
상기 레일 몸체(121)는 상기 승강 부재(125)의 승강 방향으로 일정 길이 길게 형성되고, 상기 도어 부재(130)의 상기 도어 블럭부(132)와 연결되어 상기 도어 부재(130)가 상기 승강 부재(125)에 의해 승강될 때 상기 도어 부재(130)가 상기 레일 부재(120)의 길이 방향을 따라 이동될 수 있도록 한다.
즉, 상기 도어 블럭부(132)는 일 부분이 개구된 상태로 형성되고, 상기 도어 블럭부(132)의 개구된 부분이 상기 레일 몸체(121)의 일 부분과 연결되어 상기 도어 부재(130)가 승강되도록 하는 것이다.
상기 레일 브래킷(122)은 상기 레일 몸체(121)의 상부와 하부에 한 쌍으로 위치되고, 상기 레일 몸체(121)가 밀거나 당겨질 때 임의의 방향으로 이동되지 않도록 하는 것이다.
여기서, 밀거나 당겨지는 방향은 상기 수직 방향과 직각되는 방향으로 전후방으로 정의하고 설명한다.
상세히, 상기 레일 브래킷(122)은 상기 레일 몸체(121)의 외곽에서 상기 레일 몸체(121)의 길이 방향과 직각되도록 돌출된다.
도면 번호 116은 일정 길이 길게 돌출된 형태로 형성되고 상기 케이스(110)에 연결된 레일측 가이드 돌기이다.
상기 레일 브래킷(122)의 중앙부에 형성된 홀에 상기 레일측 가이드 돌기(116)가 삽입되면, 상기 레일 몸체(121)는 수직 방향으로는 그 위치가 고정되고 전후방으로는 상기 레일 몸체(121)가 상기 레일측 가이드 돌기(116)의 길이 방향으로 이동될 수 있게 되고, 상기 레일 몸체(121)는 상기 레일측 가이드 돌기(116)에 의해 가이드되면서 이동되므로 상기 레일 몸체(121)가 전후방으로 밀거나 당겨질 때 미리 정해진 방향으로 이동될 수 있게 된다.
본 실시예에서 상기 레일 부재(120)는 상기 도어 부재(130)의 승강이 용이하도록 상기 도어 부재(130)의 양 측에 한 쌍으로 설치된다.
그러면, 상기 도어 블럭부(132)는 상기 도어 부재(130)의 양 측에 한 쌍으로 위치되되, 각 양 측에 일정 간격 이격된 상태로 복수 개가 형성되고, 복수 개의 상기 도어 블럭부(132)가 상기 레일 몸체(121)에 연결됨으로써, 상기 도어 부재(130)의 하중이 상기 레일 몸체(121)에 분산되어 적용되고, 그로 인해 상기 도어 부재(130)의 승강 작동이 용이하게 진행될 수 있게 된다.
상기 푸쉬 풀 부재(140)는 상기 케이스(110)에 고정되고, 상기 도어 부재(130)와 연결된 상기 레일 부재(120)를 밀거나 당길 수 있는 것이다.
상세히, 상기 푸쉬 풀 부재(140)는 실린더 부재(160)와, 피스톤 부재(150)와, 링크 부재(145)와, 레일 연결 부재(141)를 포함한다.
또한, 본 실시예에서 상기 푸쉬 풀 부재(140)는 상기 레일 부재(120)의 외곽 방향 즉, 상기 도어 부재(130)의 양 측 외곽 쪽에 한 쌍의 상기 레일 부재(120)가 위치되고, 각 상기 레일 부재(120)에서 외곽 쪽으로 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 위치하게 된다.
상기 실린더 부재(160)는 대상체에 동력을 제공하는 것이다.
상세히, 상기 실린더 부재(160)는 하우징(161)과, 제 1 입출력부(162)와, 제 2 입출력부(163)와, 피스톤 작동부(164)를 포함한다.
상기 하우징(161)은 상기 케이스(110)에 연결되어 상기 실린더 부재(160)를 고정시키는 것이다.
상기 제 1 입출력부(162)는 상기 하우징(161)의 측면에서 그 내부까지 관통되어 형성되는 것이고, 상기 제 2 입출력부(163)는 상기 하우징(161)의 측면에서 그 내부까지 관통되되, 상기 제 1 입출력부(162)와 일정 간격 이격되도록 형성되는 것이다.
상기 실린더 부재(160)의 동력은 외부에서 공급되는 전원 또는 유공압이 되고, 본 실시예에서는 작업장에서 쉽게 공급받을 수 있는 점과, 사용 환경의 청결함을 고려하여 에어를 적용하고, 상기 에어는 상기 제 1 입출력부(162)와 상기 제 2 입출력부(163) 중 하나에 입력되고, 상기 제 1 입출력부(162)와 상기 제 2 입출력부(163) 중 다른 하나로 출력된다.
예를 들면, 상기 제 1 입출력부(162)에 상기 에어가 입력되면 상기 제 2 입출력부(163)는 상기 에어가 출력되고, 상기 제 2 입출력부(163)에 상기 에어가 입력되면 상기 제 1 입출력부(162)는 상기 에어가 출력되도록 한다.
상기 피스톤 작동부(164)는 상기 하우징(161) 내부에 형성된 빈 공간으로, 상기 제 1 입출력부(162) 및 상기 제 2 입출력부(163)가 관통되어 연결된다.
상기 피스톤 부재(150)는 그 일부분이 상기 피스톤 작동부(164)에 위치되고, 상기 실린더 부재(160)에서 공급되는 동력에 의해 승강되는 것이다.
상세히, 상기 피스톤 부재(150)는 피스톤 몸체(151)와, 링크 연결부(152)와, 고정 수단(153)을 포함한다.
상기 피스톤 몸체(151)는 그 하부가 상기 피스톤 작동부(164)에 위치되고, 상기 피스톤 몸체(151)의 하부에서 수직 방향으로 일정 길이 길게 연장되어 상기 실린더 부재(160) 외부로 돌출된 상태로 형성된다.
본 실시예에서 상기 제 1 입출력부(162)에 상기 에어가 입력되면 상기 피스톤 몸체(151)는 하강되고, 상기 피스톤 몸체(151)가 하강된 다음 상기 에어는 상기 제 2 입출력부(163)를 통해 외부로 배출된다.
또한, 상기 제 2 입출력부(163)에 상기 에어가 입력되면 상기 피스톤 몸체(151)는 상승되고, 상기 피스톤 몸체(151)가 상승된 다음 상기 에어는 상기 제 1 입출력부(162)를 통해 외부로 배출된다.
상기 링크 연결부(152)는 그 하부는 상기 피스톤 몸체(151)와 연결되고, 그 상부는 축이 형성되어 상기 링크 부재(145)와 연결되어 상기 피스톤 몸체(151)가 상기 실린더 부재(160)에 의해 승강될 때 상기 피스톤 몸체(151)와 함께 승강되는 것이다.
도면 번호 154는 상기 링크 연결부(152)에 형성되고 상기 링크 부재(145)와 연결되는 피스톤측 연결 축이다.
상기 고정 수단(153)은 상기 피스톤 몸체(151)에 상기 링크 연결부(152)를 연결시키는 것으로, 볼트 등이 될 수 있다.
상기 링크 부재(145)는 상기 피스톤 부재(150)와 연결되고, 상기 피스톤 부재(150)의 승강 작동에 의해 회동되는 것이다.
상세히, 상기 링크 부재(145)는 일정 길이 긴 바 형태로 형성된 링크 몸체(146)와, 상기 링크 몸체(146)에 형성되되, 상기 링크 몸체(146)의 길이 방향에 수직으로 관통되어 상기 피스톤측 연결 축(154)과 연결되는 피스톤측 연결 홀(147)과, 상기 피스톤측 연결 홀(147)과 일정 거리 이격되고 상기 피스톤측 연결 홀(147)과 평행하게 관통된 상태로 형성되어 후술되는 레일 연결 부재(141)측 연결 축과 연결되는 레일 연결 부재측 연결 홀(148)을 포함한다.
상기 레일 연결 부재(141)는 그 일부분이 상기 링크 부재(145)와 연결되어 상기 링크 부재(145)의 회동에 의해 밀리거나 당겨짐과 함께, 다른 일부분이 상기 레일 부재(120)와 연결되어 상기 링크 부재(145)의 밀거나 당겨지는 동력을 상기 레일 부재(120)에 전달시키는 것으로, 레일 접촉 몸체(142)와 레일 부재측 연결 축(143)을 포함한다.
상기 레일 부재측 연결 축(143)은 일정 길이 길게 형성되고 상기 레일 연결 부재(141)가 상기 링크 부재(145)에 연결될 수 있도록 상기 레일 부재측 연결 축(143)이 상기 레일 연결 부재측 연결 홀(148)을 관통하게 된다.
상기 레일 접촉 몸체(142)는 상기 레일 부재측 연결 축(143)이 결합되고, 그 일 부분 이 상기 레일 몸체(121)에 접촉되어 상기 레일 몸체(121)를 직접 밀거나 당길 수 있게 된다.
또한, 도면 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 피스톤 몸체(151)의 승강 위치를 기준으로 상기 피스톤측 연결 축(154)은 일 측으로 일정 거리 편심되어 형성되고, 상기 레일 부재측 연결 축(143)은 타 측으로 일정 거리 편심되어 형성됨으로써, 상기 피스톤 몸체(151)가 승강되는 길이에 비해 상기 레일 연결 부재(141)는 상대적으로 길게 밀거나 당겨질 수 있게 된다.
그러면, 상기 피스톤 몸체(151)는 작은 힘으로도 상기 레일 연결 부재(141)를 밀거나 당길 수 있게 되므로, 상기 피스톤 몸체(151)가 소형으로 제작될 수 있음과 함께, 반복적인 승강 작업에도 상기 피스톤 몸체(151)에 걸리는 부하가 작아지면서 사용 수명은 길어지게 된다.
상기와 같이 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 실린더 부재(160)와, 피스톤 부재(150)와, 링크 부재(145)와, 레일 연결 부재(141)를 포함함에 따라, 상기 실린더 부재(160)가 상기 피스톤 부재(150)를 상승시키면, 상기 피스톤 부재(150)가 상승되면서 상기 링크 부재(145)를 일정한 방향으로 회동시키고, 상기 링크 부재(145)의 회동에 의해 상기 레일 연결 부재(141)가 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동되고, 그에 따라 상기 레일 연결 부재(141)에 연결된 상기 레일 부재(120)도 함께 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동된다.
또한, 상기 도어 부재(130)가 상기 가압 챔버(10)의 상기 개구부(11)와 대면된 상태에서, 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 상기 레일 부재(120)를 밀어 주면, 상기 레일 부재(120)가 밀리면서 상기 레일 부재(120)와 연결된 상기 도어 부재(130)도 밀리고, 그에 따라 상기 도어 부재(130)가 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동된다.,
반면, 상기 실린더 부재(160)가 상기 피스톤 부재(150)를 하강시키면, 상기 피스톤 부재(150)가 하강되면서 상기 링크 부재(145)를 상기 피스톤 부재(150)가 상승되면서 회동된 방향과 반대 방향으로 회동시키고, 상기 링크 부재(145)의 회동에 의해 상기 레일 연결 부재(141)가 상기 가압 챔버(10) 쪽에서 멀어지도록 이동되고, 그에 따라 상기 레일 연결 부재(141)에 연결된 상기 레일 부재(120)도 함께 상기 가압 챔버(10) 쪽에서 멀어지도록 이동하게 된다.
또한, 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 상기 레일 부재(120)를 당겨 주면, 상기 레일 부재(120)가 당겨지면서 상기 레일 부재(120)와 연결된 상기 도어 부재(130)도 당겨지고, 그에 따라 상기 도어 부재(130)가 상기 가압 챔버(10) 쪽에서 멀어지는 방향으로 이동하게 된다.
본 실시예에서 상기 레일 연결 부재(141)는 상기 레일 연결 부재(141)의 외곽으로 일정 길이 돌출된 가이드 돌기(144)를 더 포함한다.
또한, 상기 실린더 부재(160)는 상기 가이드 돌기(144)가 형성된 위치에 대응되는 위치에 형성되고, 상기 가이드 돌기(144)가 삽입되는 가이드 홀(165)을 더 포함한다.
상기 레일 연결 부재(141)는 상기 가이드 돌기(144)가 상기 가이드 홀(165)에 삽입된 상태로 밀리거나 당겨짐으로써, 상기 레일 연결 부재(141)의 이동이 미리 정해진 직선 방향으로 이동될 수 있게 된다.
상기 푸쉬 풀 부재(140)는 상기 레일 부재(120)에 복수 개가 일정 거리 이격되어 연결되고, 복수 개 연결된 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 연동되어 상기 레일 부재(120)를 밀거나 당길 수 있다.
상세히, 상기 푸쉬 풀 부재(140)는 수직 방향으로는 하나의 상기 레일 부재(120)에 일정 거리 이격되어 복수 개가 설치되고, 수평 방향으로는 한 쌍으로 설치된 상기 레일 부재(120)의 각 외곽 방향으로 수평 연장선상의 동일한 위치에 한 쌍이 위치된다.
상기와 같이 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 상기 레일 부재(120)에 복수 개가 설치되고, 복수 개의 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 연동되어 함께 상기 레일 부재(120)를 밀거나 당기게 되면, 각각의 상기 푸쉬 풀 부재(140)는 작은 힘으로도 상기 레일 부재(120) 및 상기 도어 부재(130)를 밀거나 당길 수 있으므로, 상기 푸쉬 풀 부재(140)를 소형으로 제작할 수 있게 된다.
본 실시예에서 상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)는 상기 도어 부재(130)의 승강을 감지하여 상기 개구부(11)가 개폐되었는지를 확인할 수 있는 개폐 감지 부재(160)를 더 포함한다.
상세히, 상기 개폐 감지 부재(160)는 상기 케이스(110)에 설치되는 것으로, 상기 도어 부재(130)가 상기 개폐 감지 부재(160)와 상대적으로 가깝게 있을 때와 상기 도어 부재(130)가 상기 개폐 감지 부재(160)와 상대적으로 멀리 있을 때 감지되는 광의 차이로 상기 도어 부재(130)의 승강을 감지할 수 있는 엘이디(LED)를 이용한 광학 센서나, 상기 개폐 감지 부재(160)에서 적외선이 발신된 후 상기 도어 부재(130)에서 되돌아오는 시간 차이로 상기 도어 부재(130)의 승강을 감지할 수 있는 적외선 센서 등이 될 수 있고, 상기 개폐 감지 부재(160)의 결과는 모니터 등의 디스플레이(미도시)에 출력되어 사용자가 확인할 수 있도록 한다.
본 실시예에서는 상기 개폐 감지 부재(160)는 상기 개폐 감지 부재(160)의 감지 성능을 증대하기 위해 상기 케이스(110)의 가장자리에 한 쌍으로 설치되고, 한 쌍의 상기 개폐 감지 부재(160)의 이격 거리는 상기 가압 챔버(10) 내에 수용되는 대상체, 예를 들면, 유리 기판 등의 크기를 고려하여 상대적으로 더 멀리 이격될 수 있도록 설치된다.
만약, 상기 대상체의 크기에 비해 상기 개폐 감지 부재(160)의 이격 거리가 상대적으로 작게 되면, 상기 대상체의 출입 시 상기 개폐 감지 부재(160)는 상기 도어 부재(130)가 개폐된 것으로 감지하고 오작동할 수 있게 되므로, 이를 방지하기 위해 상기 대상체의 크기를 고려하여 상기 대상체의 크기에 비해 상대적으로 상기 개폐 감지 부재(160)의 이격 거리가 크게 설치되도록 한다.
이하에서는 도면을 참조하여 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1과 같이, 상기 가압 챔버(10) 중 상기 개구부(11) 형성된 위치에 상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)를 장착한다.
그런 다음, 상기 개폐 감지 부재(160)를 통해 상기 도어 부재(130)가 열린 상태인지 또는 닫힌 상태인지 확인하고, 상기 도어 부재(130)가 열린 상태이면 상기 대상체가 상기 가압 챔버(10) 내부에 수용되도록 한다.
그런 다음, 도 3과 같이, 상기 승강 부재(125)를 구성하는 상기 승강 수단(127)이 상승되면서 상기 승강 수단(127)과 연결된 상기 도어 부재(130)가 상기 레일 부재(120)에 의해 가이드되면서 상승하게 된다.
그런 다음, 상기 푸쉬 풀 부재(140)를 구성하는 실린더 부재(160)에 적용된 상기 제 2 입출력부(163)에 외부의 상기 공기가 입력되고, 입력된 상기 공기는 상기 피스톤 작동부(164)를 경유한 후 상기 제 1 입출력부(162)로 배출된다.
상기 제 2 입출력부(163)에서 입력된 상기 공기가 상기 피스톤 작동부(164)에 입력되면 상기 피스톤 작동부(164)에 위치된 상기 피스톤 부재(150)가 상승하게 되고, 상기 피스톤 부재(150)가 상승되면서 상기 피스톤 부재(150)와 연결된 상기 링크 부재(145)가 도 9에 도시된 방향을 기준으로 시계 방향으로 일정 각도 회전하게 되고, 그에 따라 상기 링크 부재(145)와 연결된 상기 레일 연결 부재(141)가 상기 가압 챔버(10) 쪽인 우측으로 이동하게 된다.
그러면, 상기 레일 연결 부재(141)와 연결된 상기 레일 부재(120)가 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동하게 되고, 그에 따라, 상기 레일 부재(120)와 연결된 상기 도어 부재(130)가 함께 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동하게 된다.
이 때, 상기 도어 연결부(129)는 상기 승강 수단(127)과 연결된 상태로 그 위치가 고정되고, 상기 도어 부재(130)를 구성하는 상기 승강 수단 연결축 및 상기 연결 축 고정부(133)는 화살표 방향으로 이동하게 되고, 상기 승강 수단 연결 축(134) 및 상기 연결 축 고정부(133)와 연결된 상기 도어 몸체(131)가 함께 상기 화살표 방향으로 이동함에 따라, 상기 도어 몸체(131)가 상기 패킹부(102)와 접촉함으로써 상기 개구부(11)가 밀폐될 수 있게 된다.
상기 도어 부재(130)의 이동 후 상기 개폐 감지 부재(160)에서 상기 도어 부재(130)의 닫힘이 감지되고, 그 결과가 상기 디스플레이에서 확인되면, 사용자는 상기 가압 챔버(10)를 작동시킨다.
상기 가압 챔버(10)의 작동이 완료되면, 상기 제 1 입출력부(162)에 외부의 상기 공기가 입력되고, 입력된 상기 공기는 상기 피스톤 작동부(164)를 경유한 후 상기 제 2 입출력부(163)로 배출된다.
상기 제 1 입출력부(162)에 입력된 상기 공기가 상기 피스톤 작동부(164)에 입력되면 상기 피스톤 작동부(164)에 위치된 상기 피스톤 부재(150)는 하강하게 되고, 상기 피스톤 부재(150)가 하강하게 되면 상기 피스톤 부재(150)와 연결된 상기 링크 부재(145)가 도 9에 도시된 방향을 기준으로 반시계 방향으로 일정 각도 회전하게 되고, 상기 링크 부재(145)와 연결된 상기 레일 연결 부재(141)가 상기 가압 챔버(10) 쪽에서 멀어지는 좌측으로 이동하게 되고, 그에 따라 상기 레일 연결 부재(141)와 연결된 상기 도어 부재(130)도 상기 가압 챔버(10) 쪽에서 멀어지도록 이동하게 된다.
그런 다음, 상기 승강 수단(127)이 수직으로 하강하게 되면, 상기 승강 수단(127)과 연결된 상기 도어 부재(130)가 상기 레일 부재(120)를 따라서 하강하게 된다.
그런 다음, 상기 개폐 감지 부재(160)가 상기 도어 부재(130)의 열림을 감지하면, 상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)의 작동이 완료되고, 그 결과는 상기 디스플레이에 출력된다.
상기와 같이, 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치(100)가 상기 승강 부재(125)와, 상기 도어 부재(130)와, 상기 레일 부재(120)와 상기 푸쉬 풀 부재(140)를 포함함에 따라, 상기 승강 부재(125)가 상승되면서 상기 승강 부재(125)와 연결된 상기 도어 부재(130)가 상기 개구부(11)와 대면된 상태에서 상기 레일 부재(120)에 가이드되면서 상승됨과 함께, 상기 도어 부재(130)와 연결된 상기 푸쉬 풀 부재(140)가 상기 도어 부재(130)를 밀어 상기 가압 챔버(10) 쪽으로 이동시키게 되고, 그에 따라 상기 도어 부재(130)가 상기 개구부(11)를 막음으로써 상기 가압 챔버(10)가 완벽하게 밀폐될 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만, 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치에 의하면, 도어 부재가 승강 부재에 의해 상승됨과 함께 푸쉬 풀 부재에 의해 밀리면서 가압 챔버 쪽으로 이동되어 가압 챔버 내부가 완벽하게 밀폐될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 가압 챔버
100 : 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치
110 : 케이스
120 : 레일 부재
125 : 승강 부재
130 : 도어 부재
140 : 푸쉬 풀 부재

Claims (5)

  1. 그 내부에 대상체가 수용되고 상기 내부에 인가된 압력이 외부의 압력에 비해 상대적으로 높은 가압 챔버의 개구부에 적용되는 것으로서,
    승강될 수 있는 승강 수단과, 상기 승강 수단이 승강되도록 동력을 제공하는 승강 몸체를 포함한 승강 부재;
    상기 승강 수단과 연결되고 상기 승강 몸체가 상기 승강 수단을 승강시키면, 상기 승강 수단과 함께 승강되는 도어 부재;
    상기 도어 부재와 연결되고, 상기 도어 부재가 미리 정해진 방향으로 승강되도록 가이드하는 레일 부재; 및
    상기 도어 부재와 연결된 상기 레일 부재를 밀거나 당길 수 있는 푸쉬 풀 부재;를 포함하고,
    상기 도어 부재가 상기 가압 챔버의 상기 개구부와 대면된 상태에서 상기 푸쉬 풀 부재가 상기 레일 부재를 밀어 주면, 상기 레일 부재가 밀리면서 상기 레일 부재와 연결된 상기 도어 부재도 밀리고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 가압 챔버 쪽으로 이동되고,
    상기 푸쉬 풀 부재가 상기 레일 부재를 당겨 주면, 상기 레일 부재가 당겨지면서 상기 레일 부재와 연겯된 상기 도어 부재도 당겨지고, 그에 따라 상기 도어 부재가 상기 가압 챔버 쪽에서 멀어지는 방향으로 이동하게 되는 것을 특징으로 하는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 푸쉬 풀 부재는
    동력을 제공하는 실린더 부재와,
    상기 실린더 부재에서 공급되는 동력에 의해 승강되는 피스톤 부재와,
    상기 피스톤 부재와 연결되고, 상기 피스톤 부재의 승강 작동에 의해 회동되는 링크 부재와,
    그 일부분이 상기 링크 부재와 연결되어 상기 링크 부재의 회동에 의해 밀리거나 당겨짐과 함께, 다른 일부분이 상기 레일 부재와 연결되어 상기 링크 부재의 밀거나 당겨지는 동력을 상기 레일 부재에 전달시키는 레일 연결 부재를 포함하고,
    상기 실린더 부재가 상기 피스톤 부재를 상승시키면, 상기 피스톤 부재가 상승되면서 상기 링크 부재를 일정한 방향으로 회동시키고, 상기 링크 부재의 회동에 의해 상기 레일 연결 부재가 상기 가압 챔버 쪽으로 이동되고, 그에 따라 상기 레일 연결 부재에 연결된 상기 레일 부재도 함께 상기 가압 챔버 쪽으로 이동되고,
    상기 실린더 부재가 상기 피스톤 부재를 하강시키면, 상기 피스톤 부재가 하강되면서 상기 링크 부재를 상기 피스톤 부재가 상승되면서 회동된 방향과 반대 방향으로 회동시키고, 상기 링크 부재의 회동에 의해 상기 레일 연결 부재가 상기 가압 챔버 쪽에서 멀어지도록 이동되고, 그에 따라 상기 레일 연결 부재에 연결된 상기 레일 부재도 함께 상기 가압 챔버 쪽에서 멀어지도록 이동되는 것을 특징으로 하는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 레일 연결 부재는
    상기 레일 연결 부재의 외곽으로 일정 길이 돌출된 가이드 돌기를 포함하고,
    상기 실린더 부재는
    상기 가이드 돌기가 삽입되는 가이드 홀을 포함하고,
    상기 레일 연결 부재가 이동될 때 상기 가이드 돌기가 상기 가이드 홀에 삽입된 상태로 이동됨으로써, 상기 레일 연결 부재의 이동 방향이 가이드되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 푸쉬 풀 부재는
    상기 레일 부재에 복수 개가 일정 거리 이격되어 연결되고, 복수 개 연결된 상기 푸쉬 풀 부재가 연동되어 상기 레일 부재를 밀거나 당길 수 있는 것을 특징으로 하는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치는
    상기 도어 부재의 승강을 감지하여 상기 개구부가 개폐되었는지를 확인할 수 있는 개폐 감지 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가압 챔버용 밀폐형 도어 개폐 장치.
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