KR102305418B1

KR102305418B1 - 게이트밸브

Info

Publication number: KR102305418B1
Application number: KR1020200131172A
Authority: KR
Inventors: 박영남
Original assignee: 코스텍시스템(주)
Priority date: 2020-10-12
Filing date: 2020-10-12
Publication date: 2021-09-29

Abstract

종래와 동일한 수량의 실린더를 이용하여 균일한 압력으로 두 챔버의 게이트를 견고하게 폐쇄할 수 있도록 한 본 발명에 따른 게이트밸브는 제1지지대, 상기 제1지지대와 이격되는 제2지지대, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대 사이의 중앙부에 배치되어 상기 제2지지대의 처짐을 방지하는 중앙보강대, 상기 중앙보강대의 하측에 배치되고 상기 제1지지대의 중앙부를 지지하는 중앙샤프트, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 양 끝단부를 연결하는 사이드블록, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 사이에 배치되되, 서로 독립된 제1내부공간과 제2내부공간이 형성되는 실린더바디, 상기 제1내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제1피스톤, 상기 제2내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제2피스톤, 상기 사이드블록과 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1푸시유로, 상기 중앙샤프트와 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1풀유로, 상기 사이드블록과 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2푸시유로, 상기 중앙샤프트, 상기 중앙보강대, 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2풀유로, 제1피스톤로드에 의해 상기 제1피스톤에 연결되어 상기 제1피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제1블레이드 및 제2피스톤로드에 의해 상기 제2피스톤에 연결되어 상기 제2피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제2블레이드를 포함하므로, 공정의 신뢰성 확보, 생산성 향상 및 공간의 활용성을 향상시킬 수 있는 효과를 도출할 수 있다.

Description

게이트밸브{Gatevalve}

본 발명은 게이트밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체, 디스플레이 제조장치 등에 사용되는 진공 챔버의 게이트를 개폐하는 데 사용하는 게이트밸브에 관한 것이다.

반도체, 디스플레이 제조장치 등에는 각 공정을 수행하기 위해, 독립적인 진공분위기가 형성되는 수 많은 진공 챔버들이 사용된다. 이들 챔버들의 사이에는 게이트밸브가 설치된다. 게이트밸브는 각 챔버 내부의 진공분위기를 유지하면서 기판의 출입이 가능하도록 한다.

이러한 게이트밸브에 대해서는 "대한민국 등록특허 제1088898호;진공차단 슬롯밸브 및 이를 구비한 진공차단 도어" 등에 개시된 바 있다.

하지만, 상기 등록특허는 블레이드 실린더의 두께에 의해 제1블레이드를 구동하기 위한 실린더와 제2블레이드를 구동하기 위한 실린더를 교차 배치하므로, 각각의 블레이드에 대해 실린더의 수량이 제한됨에 따른 역압 및 견고한 진공 유지를 저해하는 문제점이 있다.

또한, 상기 등록특허와 같은 게이트밸브는 일측 방향의 블레이드만 구성되어 있어 밸브의 유지 보수 시 밸브와 연계된 챔버를 환기해야 하고, 동일 유로를 통해 제1블레이드의 제2블레이드가 푸시/풀 구동이 이루어지기 때문에, 게이트밸브 또는 챔버의 유지, 보수 상황 발생시 생산라인을 멈추고 챔버를 환기해야 하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 등록특허 제1088898호 (2011. 12. 07. 공고)

본 발명의 목적은 종래와 동일한 수량의 실린더를 이용하여 균일한 압력으로 두 챔버의 게이트를 견고하게 폐쇄할 수 있도록 한 게이트밸브를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 두 챔버의 게이트 중 어느 하나의 게이트를 개별적으로 개폐할 수 있도록 한 게이트밸브를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 구성을 구성요소간의 실링 성능을 확보함과 동시에 구성을 간소화고 장비 전체의 두께를 줄일 수 있는 게이트밸브를 제공하는 데 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브는 제1지지대, 상기 제1지지대와 이격되는 제2지지대, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대 사이의 중앙부에 배치되어 상기 제2지지대의 처짐을 방지하는 중앙보강대, 상기 중앙보강대의 하측에 배치되고 상기 제1지지대의 중앙부를 지지하는 중앙샤프트, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 양 끝단부를 연결하는 사이드블록, 상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 사이에 배치되되, 서로 독립된 제1내부공간과 제2내부공간이 형성되는 실린더바디, 상기 제1내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제1피스톤, 상기 제2내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제2피스톤, 상기 사이드블록과 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1푸시유로, 상기 중앙샤프트와 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1풀유로, 상기 사이드블록과 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2푸시유로, 상기 중앙샤프트, 상기 중앙보강대, 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2풀유로, 제1피스톤로드에 의해 상기 제1피스톤에 연결되어 상기 제1피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제1블레이드 및 제2피스톤로드에 의해 상기 제2피스톤에 연결되어 상기 제2피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제2블레이드를 포함할 수 있다.

상기 실린더바디는 전, 후방으로 관통하는 통체로 이루어지는 하우징, 상기 하우징의 내부를 상기 제1내부공간과 상기 제2내부공간으로 구획하는 격벽, 상기 제1내부공간을 폐쇄하며 상기 제1피스톤로드가 관통되는 제1관통홀이 형성되는 제1커버, 상기 제2내부공간을 폐쇄하며 상기 제2피스톤로드가 관통되는 제2관통홀이 형성되는 제2커버를 포함하되, 상기 제1커버와 상기 제2커버는 상기 하우징에 용접되어 실링될 수 있다.

상기 게이트밸브는 상기 제1피스톤과 상기 제1커버를 연결하는 제1벨로우즈 및 상기 제2피스톤과 상기 제2커버를 연결하는 제2벨로우즈를 더 포함하되, 상기 제1피스톤로드와 상기 제1피스톤은 용접되어 실링되고, 상기 제2피스톤로드와 상기 제2피스톤은 용접되어 실링되며, 상기 제1벨로우즈는 상기 제1피스톤과 상기 제1커버에 용접되어 실링되고, 상기 제2벨로우즈는 상기 제2피스톤과 상기 제2커버에 용접되어 실링될 수 있다.

상기 게이트밸브는 상기 격벽과 상기 제1피스톤의 완충을 위해 상기 제1내부공간을 향하는 상기 격벽의 일면에 설치되는 제1완충링 및 상기 격벽과 상기 제2피스톤의 완충을 위해 상기 제2내부공간을 향하는 상기 격벽의 이면에 설치되는 제2완충링을 더 포함할 수 있다.

상기 게이드밸브는 상기 제1피스톤로드와 상기 제1블레이드의 결속을 위해 상기 제1피스톤로드에 체결되는 제1결속판, 상기 제2피스톤로드와 상기 제1블레이드의 결속을 위해 상기 제2피스톤로드에 체결되는 제2결속판, 상기 제1블레이드와 상기 제1피스톤로드의 마찰을 방지하기 위해 상기 제1결속판에 체결되는 제1완충판 및 상기 제2블레이드와 상기 제2피스톤로드의 마찰을 방지하기 위해 상기 제2결속판에 체결되는 제2완충판을 더 포함할 수 있다.

상기 제1결속판과 상기 제2결속판은 중앙부로부터 테두리부를 향해 점차 경사지는 단면을 가질 수 있다.

상기 게이트밸브는 상기 제1피스톤로드와 상기 제1커버의 마찰을 방지하기 위해 제1관통홀에 설치되는 제1가이드부시 및 상기 제2피스톤로드와 상기 제2커버의 마찰을 방지하기 위해 상기 제2관통홀에 설치되는 제2가이드부시를 더 포함하되, 상기 제1가이드부시는 상기 제1커버와 상기 제1결속판의 완충을 위해 상기 제1커버의 외측으로 돌출되며, 상기 제2가이드부시는 상기 제2커버와 상기 제2결속판의 완충을 위해 상기 제2커버의 외측으로 돌출될 수 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브는 균일한 압력으로 두 챔버의 게이트를 견고하게 폐쇄할 수 있으므로 공정의 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따른 게이트밸브는 두 챔버의 게이트 중 어느 하나의 게이트를 개별적으로 개폐할 수 있으므로, 장비의 유지, 보수 중에도 공정을 계속 진행하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따른 게이트밸브는 구성의 간소화로 인한 초기 설비투자 비용을 절감하고 장비가 차지하는 공간을 효율적으로 활용할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 설치상태를 나타낸 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 실린더를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 실린더를 도 3에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 유로를 나타낸 개념도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 푸시 구동을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 풀 구동을 나타낸 단면도이다.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이하, 본 발명에 따른 게이트밸브에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 설치상태를 나타낸 측면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브(이하, '게이트 밸브'라 함)(100)는 반도체 제조 장비, 디스플레이 제조 장비 등에 사용되는 진공 챔버들(10, 20)의 사이에 배치될 수 있다.

이러한 게이트밸브(100)는 두 챔버(10, 20)의 게이트(11, 21)를 함께 개폐하거나, 두 챔버(10, 20) 중 어느 하나의 챔버의 게이트를 선택적으로 개폐할 수 있다. 따라서 게이트밸브(100)는 두 챔버(10, 20)의 게이트(11, 21)를 함께, 또는 각각 개폐하기 위한 제1블레이드(110)와 제2블레이드(120)를 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브를 나타낸 정면도이다.

도 2를 참조하면, 게이트밸브(100)는 제1지지대(210), 제2지지대(220), 사이드블록(230, 240), 중앙보강대(250) 및 중앙샤프트(260)를 포함한다.

제2지지대(220)와 제1지지대(210)의 이격되어 배치된다. 사이드블록(230, 240)은 한쌍으로 마련된다. 한쌍의 사이드블록(230, 240)은 제1지지대(210)와 제2지지대(220)의 양 끝단에 결합된다. 제1지지대(210), 제2지지대(220) 및 한쌍의 사이드블록(230, 240)은 게이트밸브(100)의 골격을 형성하는 사각형의 프레임 구조물을 형성한다.

중앙보강대(250)는 제2지지대(220)의 처짐을 방지한다. 중앙샤프트(260)는 중앙보강대(250)의 하측에 배치되어 제1지지대(210)의 중앙부를 지지한다. 중앙샤프트(260)는 도시되지 않은 승강 실린더에 의해 승강 구동된다. 따라서 제1지지대(210), 제2지지대(220), 한쌍의 사이드블록(230, 240) 및 중앙보강대(250)는 중앙샤프트(260)를 따라 승강 구동되는데, 한쌍의 사이드블록(230, 240)은 도시되지 않은 가이드레일을 따라 제1지지대(210)와 제2지지대(220)의 승강 구동을 가이드한다.

한편, 제1지지대(210)와 제2지지대(220)의 사이에는 복수의 실린더(300)가 배치될 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 실린더를 나타낸 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 실린더를 도 3에 표기된 Ⅰ-Ⅰ'선을 기준으로 절단한 단면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 각 실린더(300)는 실린더바디(310), 제1피스톤(321), 제2피스톤(322), 제1피스톤로드(331) 및 제2피스톤로드(332)를 포함한다.

실린더바디(310)는 제1지지대(210)와 제2지지대(220)의 사이에 배치되어 전, 후방으로 개방되는 사각형의 통체로 이루어지는 하우징(311)을 포함한다. 하우징(311)의 내부에는 격벽(312)이 형성된다. 격벽(312)은 하우징(311)의 내부공간을 제1내부공간(301)과 제2내부공간(302)으로 구획한다. 제1내부공간(301)은 전방을 향해 개방되며, 제2내부공간(302)은 후방을 향해 개방된다. 제1내부공간(301)은 제1커버(341)에 의해 폐쇄되며, 제2내부공간(302)은 제2커버(342)에 의해 폐쇄된다.

제1피스톤(321)은 제1내부공간(301)에 배치되며, 제2피스톤(322)은 제2내부공간(302)에 배치된다. 제1피스톤(321)은 제1내부공간(301)의 압력에 따라 푸시/풀 구동되며, 제2피스톤(322)은 제2내부공간(302)의 압력에 따라 푸시/풀 구동된다. 제1피스톤로드(331)는 제1피스톤(321)에 연결되고 제1커버(341)를 관통하여 제1피스톤(321)과 함께 푸시/풀 구동된다. 제2피스톤로드(332)는 제2피스톤(322)에 연결되고 제2커버(342)를 관통하여 제2피스톤(322)과 함게 푸시/풀 구동된다. 물론, 제1커버(341)에는 제1피스톤로드(331)가 관통되는 제1관통홀(341a)이 형성되며, 제2커버(342)에는 제2피스톤로드(332)가 관통하는 제2관통홀(341b)이 형성될 수 있다.

한편, 제1피스톤로드(331)와 제1블레이드(110)의 결속을 위하여 제1피스톤로드(331)의 노출단부에는 제1결속판(351)이 연결되며, 제2피스톤로드(332)와 제2블레이드(120)의 결속을 위하여 제2피스톤로드의 노출단부에는 제2결속판(352)이 연결된다.

여기서, 제1블레이드(110), 제2블레이드(120), 제1결속판(351) 및 제2결속판(352)은 금속재로 이루어진다. 제1블레이드(110)와 제1결속판(351)의 마찰, 제2블레이드(120)와 제2결속판(352)의 마찰을 방지하기 위하여, 제1결속판(351)과 제2결속판(352)은 중앙부에서 테두리부를 향해 점차 경사지는 단면을 가진다. 또한 제1결속판(351)에는 제1완충판(351a)이 결합되며, 제2결속판(352)에는 제2완충판(352a)이 결합된다.

한편, 제1내부공간(301)의 제1피스톤로드(331)의 외주부에는 제1벨로우즈(361)가 배치되며, 제2내부공간(302)의 제2피스톤로드(332)의 외주부에는 제2벨로우즈(362)가 배치된다. 제1벨로우즈(361)와 제2벨로우즈(362)는 제1피스톤로드(331)와 제2피스톤로드(332)의 푸시/풀 구동을 확보함과 동시에, 제1관통홀(341a)과 제2관통홀(342a)을 통해 제1내부공간(301)과 제2내부공간(302)의 실링 작용을 한다.

또한, 제1관통홀(341a)의 내측에는 제1가이드부시(371)가 설치되며, 제2관통홀(342a)의 내측에는 제2가이드부시(372)가 설치된다. 이때, 제1가이드부시(371)는 제1커버(341)의 외측으로 돌출되며, 제2가이드부시(372)는 제2커버(342)의 외측으로 돌출될 수 있다. 이러한 제1가이드부시(371)는 제1피스톤로드(331)와 제1커버(341)의 마찰을 방지하고, 제1결속판(351)과 제1커버(341) 사이의 완충 작용 작용한다. 제2가이드부시(372)는 제2피스톤로드(332)와 제2커버(342)의 마찰을 방지하고, 제2결속판(352)과 제2커버(342) 사이의 완충 작용한다.

또한, 제1내부공간(301)을 향하는 격벽(312)의 일면에는 제1완충링(381)이 배치

되며, 제2내부공간(302)을 향하는 격벽(312)의 이면에는 제2완충링(382)이 배치된다. 제1완충링(381)은 제1피스톤(321)과 격벽(312) 사이의 완충 작용을 하며, 제2완충링(382)은 제2피스톤(322)과 격벽(312) 사이의 완충 작용을 한다.

상술한 바와 같은 실린더(300)는 푸시/풀 압력을 형성하기 위하여 하우징(311)의 내, 외부의 실링이 견고하게 유지되어야 한다. 따라서 다수의 체결요소 및 오링과 같은 실링요소들이 필요하다. 본 발명의 일 실시에에 따른 게이트밸브(100)는 각 요소를 용접을 통해 체결하여 견고한 체결력을 유지함과 동시에 견고한 실링을 유지할 수 있다.

즉, 제1커버(341)와 제2커버(342)는 용접에 의해 하우징(311)에 체결될 수 있다. 또한, 제1벨로우즈(361)의 일단부는 용접에 의해 제1커버(341)에 체결되고, 제1벨로우즈(361)의 타단부는 용접에 의해 제1피스톤(321)에 체결될 수 있다. 제2벨로우즈(362)의 일단부는 용접에 의해 제2커버(342)에 체결되고, 제2벨로우즈(362)의 타단부는 용접에 의해 제2피스톤(322)에 체결될 수 있다.

한편, 제1커버(341)와 제1피스톤(321)의 사이에는 제1탄성체(391)가 배치되며, 제2커버(342)와 제2피스톤(322)의 사이에는 제2탄성체(392)가 배치된다. 제1탄성체(391)는 푸시 구동된 제1피스톤(321)이 원활하게 풀 구동될 수 있도록 하며, 제2탄성체(392)는 푸시 구동된 제2피스톤(322)이 원활하게 풀 구동될 수 있도록 한다. 제1탄성체(391) 및 제2탄성체(392)로는 인장 코일 스프링을 사용할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 유로를 나타낸 개념도이다.

도 5를 참조하면, 게이트밸브(100)는 제1내부공간(301)으로 개방되는 제1푸시유로(410) 및 제1풀유로(420)를 포함하며, 제2내부공간(302)으로 개방되는 제2푸시유로(430) 및 제2풀유로(440)를 포함한다.

제1푸시유로(410)는 제1내부공간(301)에 제1피스톤(321)의 푸시 구동을 위한 압력을 형성한다. 이러한 제1푸시유로(410)는 사이드블록(230, 240)과 제2지지대(220)를 관통하여 제1내부공간(301)으로 개방되되, 제1피스톤(321)과 격벽(312)의 사이로 개방된다.

제1풀유로(420)는 제1내부공간(301)에 제1피스톤(321)의 풀 구동을 위한 압력을 형성한다. 이러한 제1풀유로(420)는 중앙샤프트(260)와 제1지지대(210)를 관통하여 제1내부공간(301)으로 개방되되, 제1피스톤(321)과 제1커버(341)의 사이로 개방된다.

제2푸시유로(430)는 제2내부공간(302)에 제2피스톤(322)의 푸시 구동을 위한 압력을 형성한다. 이러한 제1푸시유로(410)는 사이드블록(230, 240)과 제1지지대(210)를 관통하여 제2내부공간(302)으로 개방되되, 제2피스톤(322)과 격벽(312)의 사이로 개방된다.

제2풀유로(440)는 제2내부공간(302)에 제2피스톤(322)의 풀 구동을 위한 압력을 형성한다. 이러한 제2풀유로(440)는 중앙샤프트(260), 중앙보강대(250) 및 제2지지대(220)를 관통하여 제2내부공간(302)으로 개방되되, 제2피스톤(322)과 제2커버(342)의 사이로 개방된다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브(100)는 실린더(300)의 푸시/풀 구동을 위한 압력을 형성하는 유로들이 제1지지대(210), 제2지지대(220), 사이드블록(230, 240), 중앙샤프트(260) 및 중앙보강대(250)를 관통하여 설치되기때문에 게이트밸브(100) 전체의 두께를 줄여 장비 전체의 규모를 간소화할 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 작용에 대해 설명하도록 한다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 푸시 구동을 나타낸 단면도이다.

도 6을 참조하면, 게이트밸브(100)의 전 , 후방에 배치된 두 챔버의 게이트의 페쇄를 위해, 제1푸시유로(410)와 제2푸시유로(430)를 통해 압축공기가 공급된다.

즉, 제1피스톤(321)과 격벽(312)의 사이로 압축공기가 공급된다. 이에 따라 제1내부공간(301)에는 제1피스톤(321)의 푸시 구동을 위한 압력이 형성되고, 제1피스톤(321)의 푸시 구동에 따라 제1블레이드(110)는 챔버의 게이트를 폐쇄할 수 있다. 이와 함께, 제2피스톤(322)과 격벽(312)의 사이로 압축공기가 공급된다. 이에 따라 제2내부공간(302)에는 제2피스톤(322)의 푸시 구동을 위한 압력이 형성되고, 제2피스톤(322)의 푸시 구동에 따라 제2블레이드(120)는 챔버의 게이트를 폐쇄할 수 있다.

이와 같이, 제1푸시유로(410)와 제2푸시유로(430)를 통해 압축공기가 동시에 공급되면, 두 챔버의 게이트를 함께 폐쇄할 수 있다. 하지만 두 게이트 중 어느 하나의 게이트만 폐쇄하는 경우, 제1푸시유로(410)와 제2푸시유로(430) 중 폐쇄 대상 게이트에 대응하는 푸시유로에만 압축공기를 공급하면 해당 게이트의 개별 폐쇄가 가능하다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트밸브의 풀 구동을 나타낸 단면도이다.

도 7을 참조하면, 두 챔버의 게이트의 개방을 위해, 제1풀유로(420)와 제2풀유로(440)를 통해 압축공기가 공급된다.

즉, 제1피스톤(321)과 제1커버(341)의 사이로 압축공기가 공급된다. 이에 따라 제1내부공간(301)에는 제1피스톤(321)의 풀 구동을 위한 압력이 형성되고, 제1피스톤(321)의 풀 구동에 따라 제1블레이드(110)는 챔버의 게이트를 개방할 수 있다. 이와 함께, 제2피스톤(322)과 제2커버(342)의 사이로 압축공기가 공급된다. 이에 따라 제2내부공간(302)에는 제2피스톤(322)의 풀 구동을 위한 압력이 형성되고, 제2피스톤(322)의 풀 구동에 따라 제2블레이드(120)는 챔버의 게이트를 개방할 수 있다.

이와 같이, 제1풀유로(420)와 제2풀유로(440)를 통해 압축공기가 동시에 공급되면, 두 챔버의 게이트를 함께 개방할 수 있다. 하지만 두 게이트 중 어느 하나의 게이트만 개방하는 경우, 제1풀유로(420)와 제2풀유로(440) 중 개방 대상 게이트에 대응하는 풀유로에만 압축공기를 공급하면 해당 게이트의 개별 개방이 가능하다.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.

10, 20 : 챔버 11 : 21 : 게이트
100 : 게이트밸브 210 : 제1지지대
220 : 제2지지대 230, 240 : 사이드블록
250 : 중앙보강대 260 : 중앙샤프트
300 : 실린더 310 : 실린더바디
321 : 제1피스톤 322 : 제2피스톤
331 : 제1피스톤로드 332 : 제2피스톤로드

Claims

제1지지대;
상기 제1지지대와 이격되는 제2지지대;
상기 제1지지대와 상기 제2지지대 사이의 중앙부에 배치되어 상기 제2지지대의 처짐을 방지하는 중앙보강대;
상기 중앙보강대의 하측에 배치되고 상기 제1지지대의 중앙부를 지지하는 중앙샤프트;
상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 양 끝단부를 연결하는 사이드블록;
상기 제1지지대와 상기 제2지지대의 사이에 배치되되, 서로 독립된 제1내부공간과 제2내부공간이 형성되는 실린더바디;
상기 제1내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제1피스톤;
상기 제2내부공간의 압력에 따라 푸시/풀 구동되는 제2피스톤;
상기 사이드블록과 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1푸시유로;
상기 중앙샤프트와 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제1내부공간에 연통되어 상기 제1피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제1풀유로;
상기 사이드블록과 상기 제1지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 푸시 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2푸시유로;
상기 중앙샤프트, 상기 중앙보강대, 상기 제2지지대를 관통하여 상기 제2내부공간에 연통되어 상기 제2피스톤의 풀 구동에 필요한 압력을 형성하는 제2풀유로;
제1피스톤로드에 의해 상기 제1피스톤에 연결되어 상기 제1피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제1블레이드;및
제2피스톤로드에 의해 상기 제2피스톤에 연결되어 상기 제2피스톤의 푸시/풀 구동에 따라 푸시/풀 구동되는 제2블레이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제1항에 있어서,
상기 실린더바디는
전, 후방으로 관통하는 통체로 이루어지는 하우징;
상기 하우징의 내부를 상기 제1내부공간과 상기 제2내부공간으로 구획하는 격벽;
상기 제1내부공간을 폐쇄하며 상기 제1피스톤로드가 관통되는 제1관통홀이 형성되는 제1커버;
상기 제2내부공간을 폐쇄하며 상기 제2피스톤로드가 관통되는 제2관통홀이 형성되는 제2커버;를 포함하되,
상기 제1커버와 상기 제2커버는 상기 하우징에 용접되어 실링되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제2항에 있어서,
상기 제1피스톤과 상기 제1커버를 연결하는 제1벨로우즈;및
상기 제2피스톤과 상기 제2커버를 연결하는 제2벨로우즈;를 더 포함하되,
상기 제1피스톤로드와 상기 제1피스톤은 용접되어 실링되고, 상기 제2피스톤로드와 상기 제2피스톤은 용접되어 실링되며,
상기 제1벨로우즈는 상기 제1피스톤과 상기 제1커버에 용접되어 실링되고, 상기 제2벨로우즈는 상기 제2피스톤과 상기 제2커버에 용접되어 실링되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제2항에 있어서,
상기 격벽과 상기 제1피스톤의 완충을 위해 상기 제1내부공간을 향하는 상기 격벽의 일면에 설치되는 제1완충링;및
상기 격벽과 상기 제2피스톤의 완충을 위해 상기 제2내부공간을 향하는 상기 격벽의 이면에 설치되는 제2완충링;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제2항에 있어서,
상기 제1피스톤로드와 상기 제1블레이드의 결속을 위해 상기 제1피스톤로드에 체결되는 제1결속판;
상기 제2피스톤로드와 상기 제1블레이드의 결속을 위해 상기 제2피스톤로드에 체결되는 제2결속판;
상기 제1블레이드와 상기 제1피스톤로드의 마찰을 방지하기 위해 상기 제1결속판에 체결되는 제1완충판;및
상기 제2블레이드와 상기 제2피스톤로드의 마찰을 방지하기 위해 상기 제2결속판에 체결되는 제2완충판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제5항에 있어서,
상기 제1결속판과 상기 제2결속판은 중앙부로부터 테두리부를 향해 점차 경사지는 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
제5항에 있어서,
상기 제1피스톤로드와 상기 제1커버의 마찰을 방지하기 위해 제1관통홀에 설치되는 제1가이드부시;및
상기 제2피스톤로드와 상기 제2커버의 마찰을 방지하기 위해 상기 제2관통홀에 설치되는 제2가이드부시;를 더 포함하되,
상기 제1가이드부시는 상기 제1커버와 상기 제1결속판의 완충을 위해 상기 제1커버의 외측으로 돌출되며,
상기 제2가이드부시는 상기 제2커버와 상기 제2결속판의 완충을 위해 상기 제2커버의 외측으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.