KR20190060512A - 게이트 밸브 - Google Patents

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KR20190060512A
KR20190060512A KR1020170158799A KR20170158799A KR20190060512A KR 20190060512 A KR20190060512 A KR 20190060512A KR 1020170158799 A KR1020170158799 A KR 1020170158799A KR 20170158799 A KR20170158799 A KR 20170158799A KR 20190060512 A KR20190060512 A KR 20190060512A
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closing cylinder
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piston
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고은정
김동진
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주식회사 비지에스
고은정
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Abstract

게이트 밸브의 압력 공급 구조를 개선하여 전체 두께를 최소화 한 본 발명에 따른 게이트 밸브는 개구부가 형성된 밸브 바디, 상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 밸브 바디의 내측에 배치되는 게이트, 상기 게이트의 후방에 배치되어 상기 개구부를 향해 상기 게이트를 전/후진시키는 개폐 실린더, 상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 게이트 전진을 위한 압력 공급 경로를 형성하는 압력공급유로 및 상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 압력공급유로를 통해 상기 개폐 실린더의 내부로 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 내부 압력을 외부로 배출하는 압력 배출 경로를 형성하는 압력배출유로를 포함하므로, 개폐 실린더의 제조를 위하여 블럭 형태의 금속판을 가공하지 않아도 되기 때문에, 게이트 밸브의 제조비용 및 유지보수관리 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

게이트 밸브 {GATE VALVE}
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체, 디스플레이 장치 등을 제조하는 데 사용하는 진공 챔버들의 사이에 배치되어 공정환경을 유지하면서 진공 챔버들 간의 기판 교환, 또는 출입이 가능하도록 하는 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체 공정을 비롯한 디스플레이 공정, 신물질 및 고기능재료개발, 항공부품 및 나노소자 제조공정의 많은 부분은 진공이 유지되는 환경에서 공정이 수행된다. 특히 최근 전 세계적으로 반도체 산업의 급속한 발전과 더불어 이에 상응하는 진공산업이 핵심기술로 부각되고 있으며, 진공산업의 발전이 고부가가치를 창출하는 산업으로 빠르게 발전되어 가고 있다.
이러한 진공산업에 필수적인 요소들 중 하나가 바로 게이트 밸브이며, 게이트 밸브는 진공분위기에서 단위 공정이 이루어지는 진공 챔버들을 압력 별로 분리시켜 줄 수 있고 외부와의 차단역할도 담당하며, 때로는 일정한 압력유지 기능을 갖기도 한다.
일반적인 게이트 밸브는 개구부가 형성된 밸브 바디, 개구부를 개폐 하기 위한 게이트, 게이트를 승강 구동시키는 승강 실린더 및 개구부를 향해 게이트를 전후진 구동시키는 개폐 실린더로 구성될 수 있다.
종래의 개폐 실린더는 게이트의 전진 구동에 사용되는 압력에 저항력을 갖기 위하여 일정 두께 이상을 갖는 블럭 형태의 금속판을 절삭 가공하여 피스톤의 왕복 구동을 위한 내부 공간을 형성하고 내부 공간에 피스톤의 왕복 구동을 위한 압력의 공급 및 배출을 위한 별도의 유로를 형성하거나, 개폐 실린더를 견고하게 지지하기 위하여 개폐 실린더의 후방에 지지판 역할을 하는 금속 블럭을 배치하고 이 금속 블럭에 압력의 공급 및 배출을 위한 별도의 유로를 형성하는 방식으로 제조되고 있다.
이와 같이 블럭 형태의 금속판을 가공하여 개폐 실린더를 제조하면, 원자재비용의 상승, 복잡한 절삭가공에 따른 공수의 증가로 인한 인건비 상승, 유지관리보수 비용의 상승 등의 문제점이 있다.
또한 상술한 방식으로 제조되는 개폐 실린더는 압력의 공급 및 배출을 위한 유로들이 실린더 내부 공간의 후방에 마련되어야 하므로, 불필요하게 게이트 밸브 전체의 두께를 두껍게 만드는 문제점이 있다.
이와 같이 게이트 밸브의 두께가 두꺼워지면, 진공 챔버들의 사이에서 진공 분위기를 유지시켜야하는 게이트 밸브의 체적이 함께 증가하여 진공 배기 효율이 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제1317696호 (2013. 10. 15. 공고)
본 발명의 목적은 게이트 밸브의 압력 공급 구조를 개선하여 전체 두께를 최소화하도록 한 게이트 밸브를 제공하는 데 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브는 개구부가 형성된 밸브 바디, 상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 밸브 바디의 내측에 배치되는 게이트, 상기 게이트의 후방에 배치되어 상기 개구부를 향해 상기 게이트를 전/후진시키는 개폐 실린더, 상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 게이트 전진을 위한 압력 공급 경로를 형성하는 압력공급유로 및 상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 압력공급유로를 통해 상기 개폐 실린더의 내부로 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 내부 압력을 외부로 배출하는 압력 배출 경로를 형성하는 압력배출유로를 포함할 수 있다.
상기 개폐 실린더는 상기 게이트의 후방에 배치되어 상기 개폐 실린더 튜브에 연결되는 개폐 실린더 헤드커버, 상기 개폐 실린더 헤드커버에 대향하여 상기 개폐 실린더 튜브에 연결되는 개폐 실린더 로드커버, 상기 개폐 실린더 내부에 배치되고 상기 개폐 실린더 내부의 압력에 따라 전후진 구동되는 개폐 피스톤, 상기 개폐 피스톤에 연결되고 상기 개폐 실린더 로드커버를 관통하여 상기 게이트에 연결되어 상기 개폐 피스톤과 함께 전후진 구동되는 개폐 피스톤 로드 및 상기 개폐 피스톤과 상기 개폐 실린더 로드커버를 연결하고 상기 개폐 피스톤 로드의 외경부를 감싸도록 설치되어 상기 개폐 피스톤의 전후진 구동에 따라 전장이 신축되는 벨로우즈를 더 포함할 수 있다.
상기 압력공급유로는 상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 개방되며, 상기 압력배출유로는 상기 개폐 실린더 로드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 개방될 수 있다.
상기 게이트 밸브는 상기 개폐 피스톤과 상기 개폐 실린더 로드커버의 사이에 배치되고 전진 구동된 상기 개폐 피스톤이 복귀하도록 상기 개폐 실린더 헤드커버를 향해 탄성력을 발휘하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.
상기 탄성체는 상기 개폐 피스톤 로드를 중심으로 방사형으로 배치되는 복수의 압축 코일 스프링일 수 있다.
상기 게이트 밸브는 상기 개폐 실린더의 하단부를 지지하는 하부 프레임 및 상기 개폐 실린더의 상단부를 지지하는 상부 프레임을 더 포함하며, 상기 압력공급유로는 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 어느 하나를 관통하고, 상기 압력배출유로는 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 나머지 하나를 관통할 수 있다.
상기 게이트 밸브는 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임을 함께 승강시키는 한 쌍의 승강 실린더를 더 포함하며, 상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 어느 하나의 승강 피스톤 로드를 관통하여 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 어느 하나에 연통되고, 상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 나머지 하나의 승강 피스톤 로드를 관통하여 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 나머지 하나에 연통될 수 있다.
상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임을 상기 한 쌍의 상기 승강 피스톤 로드에 연결하기 위하여, 상기 한 쌍의 승강 피스톤 로드에는 승강 블럭이 각각 연결되고, 상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 블럭 중 어느 하나를 관통하고, 상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 블럭 중 나머지 하나를 관통할 수 있다.
상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이에 배치되어 상기 압력공급유로를 통한 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 상기 압력이 누출되는 것을 방지하는 압력유지 실링을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 게이트 밸브는 개폐 실린더의 제조를 위하여 블럭 형태의 금속판을 가공하지 않아도 되기 때문에, 게이트 밸브의 제조비용 및 유지보수관리 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명에 따른 게이트 밸브는 게이트 밸브 전체의 두께를 감소시킬 수 있으므로, 게이트 밸브가 차지하는 체적을 현저하게 감소시켜 진공 배기 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개폐 실린더의 지지구조를 나타낸 분해사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개폐 실린더와 지지 프레임을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 압력 흐름을 간략하게 나타낸 단면도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 본 발명에 따른 게이트 밸브에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 나타낸 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브(100)는 밸브 바디(200), 게이트(300) 및 개폐 실린더(400)를 포함할 수 있다.
밸브 바디(200)는 상판(210)과 하판(220)에 의해 상/하부가 개폐되는 함체 형상으로 마련될 수 있다. 밸브 바디(200)에는 전/후방으로 연통되는 한 쌍의 개구부(230)가 형성될 수 있다. 물론, 상판(210)과 밸브 바디(200)의 상단면의 사이 및 하판(220)과 밸브 바디(200)의 하단면의 사이에는 밸브 바디(200) 내부의 기밀을 유지하기 위한 제 1실링(211)과 제 2실링(221)이 설치될 수 있다. 또한 밸브 바디(200)가 진공 챔버들(미도시) 사이에 배치됨에 따라, 밸브 바디(200)와 진공 챔버들(미도시) 사이의 기밀을 유지하기 위하여, 밸브 바디(200)의 전면과 후면에는 개구부(230)의 테두리부를 감싸는 형태의 제 3실링(231)이 각각 설치될 수 있다.
게이트(300)는 밸브 바디(200)에 형성된 개구부(230)에 대응하여 개구부(230)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 게이트(300)는 밸브 바디(200)의 내측에 배치될 수 있다. 물론, 밸브 바디(200)를 향하는 게이트(300)의 일측면에는 게이트(300)와 밸브 바디(200) 사이의 기밀을 유지하기 위한 제 4실링(310)이 설치될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개폐 실린더의 지지구조를 나타낸 분해사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개폐 실린더와 지지 프레임을 나타낸 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 개폐 실린더(400)는 밸브 바디(200)의 내측에 배치되고 게이트(300)의 후방에 배치된다. 개폐 실린더(400)는 개폐 실린더 헤드커버(410), 개폐 실린더 튜브(420), 개폐 실린더 로드커버(430), 개폐 피스톤(440) 및 개폐 피스톤 로드(450)를 포함할 수 있다.
개폐 실린더 헤드커버(410)는 개구부(230)의 후방에 배치된다. 개폐 실린더 튜브(420)는 개폐 실린더 헤드커버(410)의 테두리부로부터 개구부(230)를 향해 연장된다. 개폐 실린더 로드커버(430)는 개폐 실린더 튜브(420)의 개방 단면에 체결되어 개폐 실린더(400) 내부를 폐쇄한다. 개폐 피스톤(440)은 개폐 실린더(400)의 내부에 배치된다. 개폐 피스톤 로드(450)는 개폐 피스톤(440)에 연결되고 개폐 실린더 로드커버(430)를 관통하여 게이트(300)에 연결된다. 개폐 피스톤(440)은 개폐 실린더(400) 내부의 압력에 따라 전/후진 구동되며, 개폐 피스톤 로드(450)는 개폐 피스톤(440)의 전/후진 구동에 따라 전/후진 구동되어 게이트(300)가 개구부(230)를 개폐하도록 한다.
여기서, 개폐 피스톤 로드(450)가 개폐 실린더 로드커버(430)를 관통함에 따라, 개폐 실린더(400)의 내부의 기밀을 유지하고 개폐 실린더(400) 내부의 원활한 압력 조절을 위해, 개폐 실린더(400)의 내부에는 벨로우즈(460)가 설치될 수 있다. 벨로우즈(460)는 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430)를 연결하고 개폐 피스톤 로드(450)의 외경부를 감싸도록 설치된다. 벨로우즈(460)는 개폐 피스톤(440)의 전/후진 구동에 따라 그 전장이 신축된다.
이와 같이 게이트(300)는 개폐 실린더(400)에 지지되고, 개폐 실린더(400)의 신축구동에 따라 밸브 바디(200)에 형성된 개구부(230)를 개폐할 수 있다.
한편, 전진 구동된 게이트(300)를 복귀시키기 위해, 개폐 실린더(400)는 탄성체(470)를 포함할 수 있다. 탄성체(470)는 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430)에 연결되어 개폐 실린더 로드커버(430)로부터 개폐 실린더 헤드커버(410)를 향해 탄성력을 발휘한다. 탄성체(470)로는 개폐 피스톤 로드(450)를 중심으로 방사형으로 배치되는 복수의 압축 코일 스프링으로 마련될 수 있다. 복수의 압축 코일 스프링을 개폐 피스톤 로드(450)를 중심으로 방사형으로 배치함에 따라, 개폐 피스톤(440)의 전/후진 구동의 편심을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같은 개폐 실린더(400)는 게이트(300)의 크기, 개폐 실린더(400)의 개별 출력 등을 고려하여 그 개수를 증감할 수 있다.
한편, 게이트 밸브(100)는 개폐 실린더(400)에 의한 게이트(300)의 전/후진 구동과 함께, 서로 연통된 개구부(230)의 통로에서 게이트(300)가 완전히 이탈해야 진공 챔버들(미도시) 사이에서 기판의 교환 또는 출입이 가능하다. 따라서 게이트 밸브(100)는 게이트(300)를 지지하는 개폐 실린더(400)를 승강시킬 수 있도록 구성되어야 한다.
이를 위해, 게이트 밸브(100)는 지지 프레임(700), 제 1승강 실린더(500) 및 제 2승강 실린더(600)를 포함할 수 있다.
지지 프레임(700)은 개폐 실린더(400)를 지지한다. 지지 프레임(700)은 밸브 바디(200)의 내측에 배치되는 하부 프레임(710), 상부 프레임(720) 및 간격유지 프레임(730)을 포함할 수 있다. 하부 프레임(710)은 개폐 실린더 튜브(420)의 하단부를 지지한다. 상부 프레임(720)은 개폐 실린더 튜브(420)의 상단부를 지지한다. 간격유지 프레임(730)은 하부 프레임(710)과 상부 프레임(720)의 사이에 배치되어 하부 프레임(710)과 상부 프레임(720)의 간격을 유지시킨다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 압력 흐름을 간략하게 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 지지 프레임(700)을 함께 지지한다.
제 1승강 실린더(500)는 제 1승강 실린더 헤드커버(510), 제 1승강 실린더 튜브(520), 제 1승강 실린더 로드커버(530), 제 1승강 피스톤(540) 및 제 1승강 피스톤 로드(550)를 포함할 수 있다.
제 1승강 실린더 헤드커버(510)는 밸브 바디(200)의 하측에 배치된다. 제 1승강 실린더 튜브(520)는 제 1승강 실린더 헤드커버(510)의 테두리부로부터 밸브 바디(200)를 향해 연장된다. 제 1승강 실린더 로드커버(530)는 제 1승강 실린더 튜브(520)의 개방 단면에 체결되어 제 1승강 실린더(500) 내부를 폐쇄한다. 제 1승강 피스톤(540)은 제 1승강 실린더 튜브(520)의 내부에 배치된다. 제 1승강 피스톤 로드(550)는 제 1승강 피스톤(540)에 연결되고 제 1승강 실린더 로드커버(530)를 관통하여 밸브 바디(200)를 향해 노출된다. 제 1승강 피스톤(540)은 제 1승강 실린더(500) 내부의 압력에 따라 승강 구동되며, 제 1승강 피스톤 로드(550)는 제 1승강 피스톤(540)의 승강 구동에 따라 승강 구동된다.
외부로 노출된 제 1승강 피스톤 로드(550)의 상부에는 제 1승강 블럭(560)이 체결된다. 제 1승강 블럭(560)은 제 1승강 피스톤 로드(550)와 함께 승강될 수 있다. 제 1승강 블럭(560)에는 지지 프레임(700)이 연결된다.
여기서, 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성은 제 1승강 실린더(500)의 세부 구성과 좌우 대칭되므로, 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다. 다만, 후술될 압력공급유로와 압력배출유로의 구분을 위하여 제 2승강 실린더(600)의 세부 구성에 대해서는 제 1승강 실린더(500)의 세부 구성과는 별도의 참조부호를 부여하기로 한다.
계속해서, 제 2승강 실린더(600)는 제 2승강 실린더 헤드커버(610), 제 2승강 실린더 튜브(620), 제 2승강 실린더 로드커버(630), 제 2승강 피스톤(640) 및 제 2승강 피스톤 로드(650)를 포함할 수 있다. 그리고 제 2승강 피스톤 로드(650)의 상부에는 제 2승강 블럭(660)이 체결된다. 제 2승강 블럭(660)은 제 2승강 피스톤 로드(650)와 함께 승강될 수 있다. 제 2승강 블럭(660)에는 지지 프레임(700)이 연결된다.
따라서 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)에 의해 지지 프레임(700)이 승강 구동되고, 개폐 실린더(400) 및 게이트(300)는 지지 프레임(700)고 함께 승강될 수 있다.
여기서, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)와 제 1승강 피스톤(540)의 사이 및 제 2승강 실린더 헤드커버(610)와 제 2승강 피스톤(640)의 사이에는 제 1압력조절유로(501)가 형성되고, 제 1승강 실린더 로드커버(530)와 제 1승강 피스톤(540)의 사이 및 제 2승강 실린더 로드커버(630)와 제 2승강 피스톤(640)의 사이에는 제 2압력조절유로(502)가 각각 형성된다. 제 1압력조절유로(501)에는 제 1압력조절관(501a)이 체결되고, 제 2압력조절유로(502)에는 제 2압력조절관(502a)이 체결된다.
제 1압력조절관(501a) 및 제 1압력조절유로(501)를 통해 압력이 공급되면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 게이트(300)를 상승시킬 수 있다. 반대로, 제 1압력조절관(501a) 및 제 1압력조절유로(501)의 압력이 해제되고 제 2압력조절관(502a) 및 제 2압력조절유로(502)를 통해 압력이 공급되면, 제 1승강 실린더(500)와 제 2승강 실린더(600)는 게이트(300)를 하강시킬 수 있다.
한편, 제 1승강 피스톤 로드(550)에는 제 1중공(551)이 형성되고, 제 1중공(551)에는 제 1삽입관(552)이 삽입될 수 있다. 제 1삽입관(552)은 제 1승강 실린더 헤드커버(510)에 지지되며, 제 1승강 실린더 헤드커버(510)에는 제 1삽입관(552)과 연통되는 제 1압력공급유로(511)가 형성된다. 제 1압력조절유로(501)에는 압력공급관(511a)이 체결될 수 있다.
또한 제 1승강 블럭(560)에는 제 1중공(551)과 연통되는 제 2압력공급유로(561)가 형성된다. 하부 프레임(710)에는 제 2압력공급유로(561)와 연통되는 제 3압력공급유로(711)가 형성된다. 제 3압력공급유로(711)는 개폐 실린더 헤드커버(410)와 개폐 피스톤(440)의 사이로 개방된다.
따라서 압력공급관(511a)을 통해 공급되는 압력은, 제 1압력공급유로(511), 제 1삽입관(552), 제 1중공(551), 제 2압력공급유로(561) 및 제 3압력공급유로(711)를 통해 개폐 실린더 헤드커버(410)와 개폐 피스톤(440)의 사이로 공급되고, 이에 따라 개폐 실린더(400)는 게이트(300)를 전진 시킬 수 있다.
이때, 개폐 실린더 헤드커버(410)와 개폐 피스톤(440)의 사이로 압력이 누출되어 손실되는 것을 방지하기 위하여, 개폐 실린더 헤드커버(410)와 개폐 피스톤(440)의 사이에는 압력유지 실링(480)이 배치될 수 있다. 이러한 압력유지 실링(480)은 개폐 피스톤(440)의 복귀시, 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 헤드커버(410) 사이의 완충 역할도 함께 수행할 수 있다.
한편, 개폐 실린더(400)의 전진 구동시, 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430) 사이의 압력은 외부로 배출되어야 한다.
이를 위하여 상부 프레임(720)에는 제 1압력배출유로(721)가 형성될 수 있다. 제 1압력배출유로(721)는 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430)의 사이에 개방된다. 제 2승강 블럭(660)의 내부에는 제 1압력배출유로(721)와 연통되는 제 2압력배출유로(661)가 형성된다. 제 2압력배출유로(661)는 제 2승강 피스톤 로드(650)에 형성된 제 2중공(651)과 연통된다. 제 2중공(651)에는 제 2삽입관(652)이 삽입되며, 제 2삽입관(652)은 제 2승강 실린더 헤드커버(610)에 지지된다. 제 2승강 실린더 헤드커버(610)에는 제 2삽입관(652)과 연통되는 제 3압력배출유로(611)가 형성된다. 제 3압력배출유로(611)에는 압력배출관(611a)이 체결될 수 있다.
따라서 개폐 피스톤(440)의 전진 구동시, 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430) 사이의 압력은, 제 1압력배출유로(721), 제 2압력조절유로(502), 제 2중공(651), 제 2삽입관(652), 제 3압력배출유로(611) 및 압력배출관(611a)을 통해 개폐 피스톤(440)과 개폐 실린더 로드커버(430) 사이의 외부로 배출될 수 있다.
상술된 설명에서, 압력공급유로들은 제 1승강 실린더(500)와 하부 프레임(710)을 관통하고 압력배출유로들은 제 2승강 실린더(600)와 상부 프레임(720)을 관통하는 실시예에 대하여 설명하고 있으나, 압력공급유로들은 제 2승강 실린더(600)와 상부 프레임(720)을 관통하고 압력배출유로들은 제 1승강 실린더(500)와 하부 프레임(710)을 관통하도록 변형 실시될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는 게이트의 전/후진 구동을 위해 실린더의 압력을 조절하는 압력조절유로가 실린더의 측방에 배치되므로, 두께를 현저하게 줄일 수 있다.
이에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브가 설치되는 진공 챔버들 사이의 간격을 현저하게 줄일 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
100 : 게이트 밸브 200 : 밸브 바디
300 : 게이트 400 : 개폐 실린더
410 : 개폐 실린더 헤드커버 420 : 개폐 실린더 튜브
430 : 개폐 실린더 로드커버 440 : 개폐 피스톤
450 : 개폐 피스톤 로드 460 : 벨로우즈
470 : 탄성체 480 : 압력유지 실링
500 : 제 1승강 실린더 501 : 제 1압력조절유로
501a : 제 1압력조절관 502 : 제 2압력조절유로
502a : 제 2압력조절관 510 : 제 1승강 실린더 헤드커버
511 : 제 1압력공급유로 511a : 압력공급관
520 : 제 1승강 실린더 튜브 530 : 제 1승강 실린더 로드커버
540 : 제 1승강 피스톤 550 : 제 1승강 피스톤 로드
551 : 제 1중공 552 : 제 1삽입관
560 : 제 1승강 블럭 561 : 제 2압력공급유로
600 : 제 2승강 실린더 610 : 제 2승강 실린더 헤드커버
611 : 제 3압력배출유로 611a : 압력배출관
620 : 제 2승강 실린더 튜브 630 : 제 2승강 실린더 로드커버
640 : 제 2승강 피스톤 650 : 제 2승강 피스톤 로드
651 : 제 2중공 652 : 제 2삽입관
660 : 제 2승강 블럭 661 : 제 2압력배출유로
700 : 지지 프레임 710 : 하부 프레임
711 : 제 3압력공급유로 720 : 상부 프레임
721 : 제 1압력배출유로 730 : 간격유지 프레임

Claims (9)

  1. 개구부가 형성된 밸브 바디;
    상기 개구부를 개폐하기 위해 상기 밸브 바디의 내측에 배치되는 게이트;
    상기 게이트의 후방에 배치되어 상기 개구부를 향해 상기 게이트를 전/후진시키는 개폐 실린더;
    상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 게이트 전진을 위한 압력 공급 경로를 형성하는 압력공급유로;및
    상기 개폐 실린더 튜브를 관통하여 상기 개폐 실린더의 내부로 연통되어 상기 압력공급유로를 통해 상기 개폐 실린더의 내부로 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 내부 압력을 외부로 배출하는 압력 배출 경로를 형성하는 압력배출유로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 개폐 실린더는
    상기 게이트의 후방에 배치되어 상기 개폐 실린더 튜브에 연결되는 개폐 실린더 헤드커버;
    상기 개폐 실린더 헤드커버에 대향하여 상기 개폐 실린더 튜브에 연결되는 개폐 실린더 로드커버;
    상기 개폐 실린더 내부에 배치되고 상기 개폐 실린더 내부의 압력에 따라 전후진 구동되는 개폐 피스톤;
    상기 개폐 피스톤에 연결되고 상기 개폐 실린더 로드커버를 관통하여 상기 게이트에 연결되어 상기 개폐 피스톤과 함께 전후진 구동되는 개폐 피스톤 로드;및
    상기 개폐 피스톤과 상기 개폐 실린더 로드커버를 연결하고 상기 개폐 피스톤 로드의 외경부를 감싸도록 설치되어 상기 개폐 피스톤의 전후진 구동에 따라 전장이 신축되는 벨로우즈;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 압력공급유로는 상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 개방되며,
    상기 압력배출유로는 상기 개폐 실린더 로드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 개방되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 개폐 피스톤과 상기 개폐 실린더 로드커버의 사이에 배치되고 전진 구동된 상기 개폐 피스톤이 복귀하도록 상기 개폐 실린더 헤드커버를 향해 탄성력을 발휘하는 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 탄성체는
    상기 개폐 피스톤 로드를 중심으로 방사형으로 배치되는 복수의 압축 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 개폐 실린더의 하단부를 지지하는 하부 프레임;및
    상기 개폐 실린더의 상단부를 지지하는 상부 프레임;을 더 포함하며,
    상기 압력공급유로는 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 어느 하나를 관통하고,
    상기 압력배출유로는 상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임 중 나머지 하나를 관통하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임을 함께 승강시키는 한 쌍의 승강 실린더를 더 포함하며,
    상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 어느 하나의 승강 피스톤 로드를 관통하고,
    상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 실린더 중 나머지 하나의 승강 피스톤 로드를 관통하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 하부 프레임과 상기 상부 프레임을 상기 한 쌍의 상기 승강 피스톤 로드에 연결하기 위하여, 상기 한 쌍의 승강 피스톤 로드에는 승강 블럭이 각각 연결되고,
    상기 압력공급유로는 상기 한 쌍의 승강 블럭 중 어느 하나를 관통하고,
    상기 압력배출유로는 상기 한 쌍의 승강 블럭 중 나머지 하나를 관통하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  9. 제 2항에 있어서,
    상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이에 배치되어 상기 압력공급유로를 통한 압력 공급시, 상기 개폐 실린더 헤드커버와 상기 개폐 피스톤의 사이로 상기 압력이 누출되는 것을 방지하는 압력유지 실링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
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KR101317696B1 (ko) 2011-12-13 2013-10-15 (주)시스콤 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조

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