JP2009216105A - 排気バルブ - Google Patents
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Abstract
本発明は、異物を巻き上げることなく、排気時間を短縮することが可能な排気バルブの提供を目的とするものである。
【解決手段】
異物を巻き上げずに排気すること、排気時間を短縮することの相反する2つの要求を解決するために、バルブの開き始めは異物を巻き上げないよう大きな排気抵抗を有し、バルブの動作ストロークとともに排気抵抗が連続的に減少し、バルブ全開時には排気ポンプを有効に活用できるように、小さな排気抵抗をもったスロー排気バルブを実現する。
【選択図】図6
Description
以下発明の実施例を、図面を用いて説明する。図6は本発明の特徴を最も良く表している真空バルブの断面図である。
本発明は、上記の構成を備えているので、下記に示す動作を制御出来る。
図9は、本発明の第二実施例である。図6における真空ベローズ33の変わりに、バルブボディ部45とボンネット部46の間に、シャフトシール材47が固着され、バルブ容器内48と作用室49内の気体の流通を封鎖している。動作自体は図6で説明した第一実施例と変わりはない。図10は、第三実施例である。チャンバポート50側の流路51の壁面が、バルブの開き始めに円錐台形状の弁体部分においても排気抵抗を大きくできるように弁体形状に沿った形状としている。
26 ボンネット部
27 チャンバポート
28 ポンプポート
29 弁座
30 弁体
31 流路
32 弁シール材
33 真空ベローズ
34 シャフト
35,36 作用室
37 ピストン
38 ピストンシール材
39 押しばね
40,41 ポート
42 スピードコントローラ
Claims (5)
- 弁シール材により真空を封じる弁座上に、円柱に円錐台が乗った形状の弁体を設けた真空バルブ。
- 真空封じを行う弁座に凸形状の弁体が設けられたバルブにおいて、バルブが開いた際に完全に排気流路から弁体が外れた位置まで移動する真空バルブ。
- 圧縮空気によりバルブ弁体の動作を行う真空バルブにおいて、ストローク動作速度をコントロールするためのスピードコントローラを有する真空バルブ。
- 請求項1,2及び3のいずれかにおいて弁体のストロークによりバルブの弁体部の排気抵抗が連続的に減少し、ストロークの速度制御が出来ることで、バルブが開き始めた際には排気抵抗が大きく、ストロークと共に排気抵抗が減少しバルブ全開時には排気ポンプの排気速度を有効に活用することが出来るスロースタート排気動作を行う真空バルブ。
- 真空封じを行う弁座に凸形状の弁体が設けられたバルブにおいて、ポート壁面が弁体に沿った形状を設けた真空バルブ。
Priority Applications (1)
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JP2008057159A JP2009216105A (ja) | 2008-03-07 | 2008-03-07 | 排気バルブ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009216105A true JP2009216105A (ja) | 2009-09-24 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009216105A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10145481B2 (en) | 2014-10-02 | 2018-12-04 | Ihi Corporation | Pneumatic valve |
JP7406518B2 (ja) | 2021-03-03 | 2023-12-27 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力調整弁 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06288493A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 真空バルブ |
JP2003314745A (ja) * | 2002-04-18 | 2003-11-06 | Smc Corp | 真空調圧弁 |
-
2008
- 2008-03-07 JP JP2008057159A patent/JP2009216105A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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