WO2005045288A1

WO2005045288A1 - ダイアフラム弁

Info

Publication number: WO2005045288A1
Application number: PCT/JP2004/016246
Authority: WO
Inventors: Akinori Masamura; Norikazu Tsuji
Original assignee: Ckd Corporation
Priority date: 2003-11-07
Filing date: 2004-11-02
Publication date: 2005-05-19
Also published as: JP2005155895A; KR20060096499A; US20070075284A1

Abstract

　ダイアフラム弁体を弁座へ当接させる荷重を小さくし、かつウォーターハンマーを防ぐべく、ボディ１０上面の開口部分にダイアフラム弁体２０によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材３３の付勢力によって弁座１３に押し付けられて閉弁する一方、アクチュエータ３１によってダイアフラム弁体が弁座から離間して開弁するものであって、ダイアフラム弁体２０は、弁座１３に当接する弁体部２１と、弁体部２１から外側に広がった膜部２２と、膜部周縁に形成された固定部２３とを有し、弁体部２１に形成された膜部２２の付け根２５の位置が弁座１３の径の内側にあり、湾曲し広がった膜部２２周縁の固定部２３が閉弁時にその付け根よりも高い位置で固定されたダイアフラム弁１。

Description

明細書

弁

技術分野

[0001] 本発明は、半導体製造装置の薬液などを制御するためのダイアフラム弁であって、特に閉弁状態を維持するための荷重を小さくし、かつウォーターハンマーの発生を防ぐダイアフラム弁に関する。

背景技術

[0002] 半導体製造装置の薬液を制御するための薬液弁には、従来例えば、図 4に示すようなダイアフラム弁が使用されている。このダイアフラム弁 100は、ボディ 1 10に第 1流路 111及び第 2流路 112が形成され、左右にポートを有してボディ上方にその流路が開口している。第 2流路 112は弁座 113内側の弁孔 114に連通し、第 1流路 111 は反対に弁座 1 13の外側に連通している。こうして第 1流路 11 1及び第 2流路 112の一端が開口したボディ 110の上面には、ダイアフラム弁体 115が取り付けられてレ、る。ダイアフラム弁体 115は周縁部分が挟み込まれ、第 1流路 111と第 2流路 112との開口部分に気密な空間を形成してレ、る。

[0003] ダイアフラム弁体 115は、弁座 113に当接 ·離間する弁体部 117と、その側面部分力も張り出した膜部 118とから構成され、膜部 118の周縁に形成された環状の固定咅^ 19によって、ボディ 110とシリンダ、 120とで挟み込まれてレヽる。そして、シリンダ、 12 0内には、上下方向に摺動可能なピストンロッド 121が揷入され、その下端部にはダィァフラム弁体 115の弁体部 117が固定されている。シリンダ 120の上部にはカバー 122が取り付けられ、そのカバー 122内に装填されたスプリング 123によってピストンロッド 121が下方に付勢されている。そして、シリンダ 120には、ピストンロッド 121をスプリング 123の付勢力に抗して加圧するためのエアを供給する操作ポート 125が形成されている。

[0004] そこで、このダイアフラム弁 100では、通常、スプリング 123によってピストンロッド 12 1が下方に付勢され、それによつてダイアフラム弁体 115の弁体部 117が弁座 113に押し付けられて閉弁してレ、る。一方、ボディ 110の操作ポート 125から圧縮エアが供給されると、下方から加圧されたピストンロッド 121がスプリング 123の付勢力に杭して上昇する。そのため、下端の弁体部 117も上昇して弁座 113から離間して第 1流路 111と第 2流路 112とを連通した開弁状態になる。

そして、操作ポート 125から供給した圧縮エアを排出すれば、スプリング 123に付勢されたピストンロッド 121が下降し、再び図示するような閉弁状態に戻る。

特許文献 1：特開 2003—247650号公報（第 2—3頁、図 8)

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] しかしながら、従来のダイアフラム弁 100は、前述したように、スプリング 123の付勢力だけで弁体部 117を弁座 113に押し付けて閉弁状態を維持しているが、この閉弁状態を維持させるスプリング 123の荷重が大きくなつてしまっていた。そのため、弁座 113を構成するボディ 110やダイアフラム弁体 115はフッ素樹脂によって形成されている力これが過大な荷重によって押し付けられるため、当接部分に変形が生じて寿命を短くしてしまっていた。つまり、弁座 113とダイアフラム弁体 115の当接部分、すなわちシール部分に変形が生じると、気密な状態で接触できなくなって流体の漏れ力 S生じることになる。そこで、ダイアフラム弁 100では、スプリング 123の付勢力を抑えて、ダイアフラム弁体 125を弁座 113へ当接させるための荷重を小さくすることが要求される。

[0006] また、一般的に流体制御弁において問題となるウォーターハンマーの発生という視点から従来のダイアフラム弁 100を検討する。

まず、ウォーターハンマーについて説明する。

流体制御弁において、その急激なピストンストロークによる閉弁動作により出力側流路の流体はその慣性力により閉弁後においてもなおも流れ出そうとする。そのため、出力側流路の流体が負圧となり、流体が逆流してダイアフラム弁体を押し上げて振動させ衝撃音を発生させる。この現象をウォーターハンマーという。そして、このゥォ一ターハンマーは配管等を振動させて、結果的にパイロット弁自体または弁周辺の配管部材の破損等を引き起こすおそれがある。 [0007] そこで、従来のダイアフラム弁 100において検討する。

第 2流路 112側から流体を供給すると、図 8に示すように流体はダイアフラム弁体 1 15に当たって第 1流路 111側へ流れるので、ピストンロッド 121がスプリング 123の付勢力により下降する際には、弁体部 117および膜部 118は第 2流路 112側から供給された流体の圧力を受ける。ピストンロッド 121が下降するに従レ、、図 9に示すようにダイアフラム弁体 115と弁座 113の間隔が狭まるので、第 2流路 112側から供給された流体は弁体部 117に当たりやすくなるのに対して膜部 118に当たり難くなる。そのため、弁体部 117が受ける流体圧は増加するのに対して膜部 118が受ける流体圧は減少する。ここで、相対的に弁体部 117よりも膜部 118の受圧面積のほうが大きいため、膜部 118が受ける流体圧が減少するとダイアフラム弁体 115全体として受ける力が大幅に減少し、ダイアフラム弁体 115と一体のピストンロッド 121はスプリング 123 の付勢力により急激に下降する傾向にある。そして、この傾向は閉弁位置に近づくにつれて増幅し、図 10に示すようにダイアフラム弁体 115は急激に弁座 113に当接し閉弁状態となるが、第 1流路 111側の流体はその 1貧性力により閉弁後においてもなおも流れ出そうとする。

[0008] 従って、第 1流路 111側の流体が負圧となり、第 1流路 111側の流体が逆流してダィァフラム弁体 115を持ち上げ、ウォーターハンマーが発生する。そして、このウォーターハンマーは配管等を振動させて、結果的にダイアフラム弁 100自体または弁周辺の配管部材の破損等を引き起こすおそれがある。

仮にエア調整機構 (不図示)を用いて操作ポート 125から供給した圧縮エアを排出する量を絞ったとしても、加圧室 134のエアの圧力変化よりも流体圧の変化ほうが、ダイアフラム弁の閉弁動作に与える影響が大きレ、。そのため、ダイアフラム弁体 115 は急激に弁座 113に当接し閉弁状態となってしまう。

課題を解決するための手段

[0009] そこで本発明は、係る課題を解決すベぐダイアフラム弁体を弁座へ当接させる荷重を小さくし、かつウォーターハンマーの発生を防ぐダイアフラム弁を提供することを目的とする。

[0010] 本発明のダイアフラム弁は、ボディに形成された入力側流路と出力側流路とが開口したボディ上面の開口部分にダイアフラム弁体によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材の付勢力によって弁座に押し付けられて閉弁する一方、ァクチユエータによってダイアフラム弁体が弁座から離間することによって開弁するようにしたものであって、前記ダイアフラム弁体は、弁座に当接する弁体部と、弁体部力外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に形成された膜部の付け根の位置が前記弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が閉弁時にはその付け根よりも高い位置で固定されたものであることを特徴とする。

[0011] そして、本発明のダイアフラム弁は、前記ダイアフラム弁体力薄肉の膜部と厚肉の固定部とが上面を面一にして形成され、その固定部の上下を挟み込んで固定する上下の固定面のうち、上の固定面は膜部にまで形成されたものであることが望ましい。また、本発明のダイアフラム弁は、前記ダイアフラム弁体が弁座から離間する場合に前記膜部が添って当たるように、当該膜部の上方に前記上の固定面から連続した傾斜を有するガイド面が形成されたものであることが望ましい。

更に、本発明のダイアフラム弁は、流体の受圧面積が前記膜部と前記弁体部とで等しいか、もしくは前記膜部よりも前記弁体部のほうが大きいことが望ましい。

発明の効果

[0012] こうした構成からなる本発明のダイアフラム弁は、通常、付勢部材の付勢力によってダイアフラム弁体が弁座に押し付けられて弁が閉じている。そのため、入力側流路から流入した流体の流れは遮断され、二次側の出力側流路にも流れは生じない。このとき入力側流路からの流体圧力や出力側流路内の流体による背圧が、ダイアフラム弁体を開弁させようとする上方に向けて力かっており、それを押さえ付けるようにして付勢部材の付勢力が下向きに作用している。そこで、付勢部材の付勢力に抗してァクチユエータがダイアフラム弁体を押し上げられると、ダイアフラム弁体が弁座から離間して弁が開き、入力側流路から出力側流路へと流体が流れる。

開弁時のダイアフラム弁体は、弁体部が上昇して弁座から離間し、その弁体部の上昇に伴って膜部も橈む。その際、ダイアフラム弁体は、固定部から膜部にかけて上の固定面によって支えられ、また、その膜部がガイド面に添うようにして当たる。 [0013] よって、本発明は、ダイアフラム弁体が、弁座に当接する弁体部と、弁体部から外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に対する膜部の付け根が弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部がその付け根よりも高い位置で固定した構成としたので、先ず、弁体部から固定部までの距離が短くなつて流体圧力が作用するダイアフラム弁体全体の外径寸法を小さくすることができた。そのため、ダイアフラム弁体に対してこれを持ち上げる方向に作用する流体の受圧面積を小さくすることができ、閉弁のためにダイアフラム弁体を弁座に当接させる付勢部材による荷重を小さくすることができた。また、閉弁状態に戻る際に閉弁直前時においてもピストンロッドはゆっくりと下降するので、ウォーターハンマーの発生を防止することができた。

[0014] そして、本発明では、弁体部に対する膜部の付け根が弁座の径よりも内側にし、ダィァフラム弁体の受圧面積を小さくして前記効果を奏する一方、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が弁体部との付け根よりも高い位置で固定されているので、弁を開閉させる際、弁体部のストロークに対して膜部が無理なく変形することができる。また、本発明では、ダイアフラム弁体は、断面積の大きく変化する固定部から膜部への変化部分が上の固定面によって支えられているため、弁の開閉に伴って膜部が変形する際、当該部分の変形を抑えてそこにかかる応力集中を小さくしている。更に、膜部はガイド面に添うようにして当たって支えられるため、これによつても膜部が変形する際、固定部から膜部への変化部分の変形を抑えてそこにかかる応力集中を小さくしてレ、る。

図面の簡単な説明

[0015] [図 1]本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態を示した閉弁状態の断面図である。

[図 2]本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態を示した開弁状態の断面図である。

[図 3]ダイアフラム弁体を示した拡大断面図である。

[図 4]従来のダイアフラム弁を示した断面図である。

[図 5]本発明に係るダイアフラム弁が開弁状態のときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

[図 6]本発明に係るダイアフラム弁が開弁状態から閉弁状態へ移行するときにダイァフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

[図 ₇]本発明に係るダイアフラム弁が閉弁状態になったときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

[図 8]従来のダイアフラム弁が開弁状態のときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

[図 9]従来のダイアフラム弁が開弁状態から閉弁状態へ移行するときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

[図 10]従来のダイアフラム弁が閉弁状態になったときにダイアフラム弁体が受ける流体圧の分布を示す図である。

符号の説明

[0016] 1 ダイアフラム弁

10 ボディ

13 弁座

20 ダイアフラム弁体

21 弁体部

22 膜部

23 固定部

30 シリンダ

31 ピストンロッド

33 スプリング

35 操作ポート

発明を実施するための最良の形態

[0017] 次に、本発明に係るダイアフラム弁の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図 1及び図 2は、本実施形態のダイアフラム弁を示した断面図であり、図 1に閉弁時の状態を示し、図 2には開弁時の状態を示している。そして、この図 1及び図 2に示したダイアフラム弁 1は、薬液を制御するために半導体製造装置に組み込まれた薬液弁である。

[0018] ダイアフラム弁 1は、ボディ 10に第 1流路 11及び第 2流路 12が形成され、左右にポート 11aとポート 12aが設けられている。そして、ボディ 10の上面中央には弁座 13が形成され、弁座 13内の弁孔 14には第 2流路 12が接続され、弁座 13の周りに形成された環状の溝部 15には第 1流路 11が接続されている。こうして第 1流路 11と第 2流路 12とは、共にボディ 10の上面開口部に連通し、その開口部はダイアフラム弁体 20 によって塞がれている。特に、ダイアフラム弁体 20は周縁部分が固定され、これにより第 1流路 11から第 2流路 12を接続する気密な空間が形成されている。

[0019] ダイアフラム弁体 20は、弁座 13に対して当接 ·離間する弁体部 21と、そこ力外側に張り出した膜部 22と、膜部 22の周縁に形成された環状の固定部 23とを有して形成されたものである。そして、図 1に示す閉弁時の形状がほぼ通常状態で、その固定部 23がボディ 10とシリンダ 30とによって挟み込まれ、膜部 22が図示するように湾曲し、弁体部 21が弁座 13に当接している。このダイアフラム弁体 20は、ボディ 10と同様にフッ素樹脂によって形成されたものであり、当接 ·離間する弁体部 21と弁座 13が同じフッ素樹脂である。

シリンダ 30内にはピストンロッド 31が摺動可能に挿入され、その下端がダイアフラム弁体 20の弁体部 21に差し込まれて一体になつている。つまり、このダイアフラム弁 1 は、ピストンロッド 31の上下動によってダイアフラム弁体 20の弁体部 21が弁座 13に対して当接 ·離間するように構成されている。

[0020] シリンダ 30の上部開口にはカバー 32が取り付けられ、このカバー 32によってシリンダ 30内にできた閉空間にスプリング 33が装填され、ピストンロッド 31のピストン部 31a 力 Sこのスプリング 33によって上方から付勢されるようになっている。従って、このダイァフラム弁 1は、ピストンロッド 31にスプリング 33の付勢力が常に下方に作用し、図 1に示すように弁体部 21が弁座 13に対して当接するように構成されたノーマルクローズタイプの弁である。一方、ピストンロッド 31のピストン部 31a下方には加圧室 34が形成され、その加圧室 34内に圧縮エアを供給する操作ポート 35がシリンダ 30に形成されている。また、シリンダ 30には、スプリング 33が装填されたピストン部 31a上方の空間に連通する呼吸ポート 36が形成されてレ、る。

[0021] このような構成のダイアフラム弁 1は、弁体部 21、膜部 22および固定部 23から構成されたダイアフラム弁体 20に特徴を有する。ここで、図 3は、ダイアフラム弁体 20の一部周辺を拡大して示した断面図である。

先ず、弁体部 21から径方向に広がるように張り出した膜部 22は、その弁体部 21側の付け根 25がダイアフラム弁体 20の中心線（ピストンロッド 31の軸芯） Lに近いところに位置するよう形成されている。すなわち、中心線 Lから付け根 25までの距離 aが、その中心線 Lから弁座 13までの距離 bより短くなるように形成され、付け根 25の位置が弁座 13の位置よりも中心線 L側にくるように設定されている。この点を図 4に示した従来例と比較すると、従来のダイアフラム弁体 115は、固定部 119の固定位置に最も近い弁体部 117の側面に膜部 118の付け根があった力本実施形態では固定部 23からより遠い位置に付け根 25の位置が設けられている。

[0022] 膜部 22は、その付け根 25部分が弁体部 21の傾斜部分において起立し、そこから上向きに広がり、途中で横向きになるように湾曲した断面形状で形成されている。従つて、膜部 22外周の固定部 23は、図 1に示すような閉弁時には付け根 25よりも高い位置にあって、ボディ 10とシリンダ 30とに挟み込まれている。この点を本実施形態のダイアフラム弁体 20と従来のダイアフラム弁体 115とを比較すると、膜部 22, 118だけの寸法を見た場合、両者はそれほど異なるものではないが、湾曲している分、本実施形態の固定部 23の径のほうが従来例の固定部 119の径よりも小さくなつている。従って、固定部 23をまでの距離は膜部 22が橈んでいる分短くなり、ボディ 10においては第 1流路 11が開口している溝部 15外周までの距離 cが従来例のものよりも短く形成されている。

[0023] 続いて本実施形態では、ダイアフラム弁体 20の固定部分などにも特徴を有している。ダイアフラム弁体 20は、固定部 23がボディ 10とシリンダ 30とに挟み込まれている、下側のボディ 10は、固定部 23の肉厚部分までしか固定面 17が当てられていなレ、が、上側のシリンダ 30は、膜部 22部分にまで固定面 37が延びて当てられている。すなわち、断面積が大きく変化する固定部 23と膜部 22との変化部分を、その膜部 2 2が変形する方向で支えるようにしている。更に、シリンダ 30には固定面 37から内側に上方に凹んだガイド 38が形成されている。ガイド 38には、固定面 37から緩やかなテーパが形成され、図 2に示したようにダイアフラム弁 1が開いた時に膜部 22が変形する方向で支えられるようになつている。 [0024] 次に、こうした構成のダイアフラム弁 1について、その作用を説明する。ダイアフラム弁 1は、通常、ピストンロッド 31がスプリング 33によって下方に付勢され、そのピストンロッド 31下端に固定されたダイアフラム弁体 20の弁体部 21が、図 1に示すように弁座 13に対して押し付けられている。こうした閉弁状態のダイアフラム弁 1はダイアフラム弁体 20によって遮断され、第 1流路 11に流入した流体が第 2流路 12へ、または第 2流路 12に流入した流体が第 1流路 11へ流れることはない。

[0025] そこで、ボディ 10の操作ポート 35から圧縮エアが供給されると、ピストン部 31aが下方から加圧され、スプリング 33の付勢力に抗してピストンロッド 31が上昇する。そのため、ピストンロッド 31と一体の弁体部 21も上昇して図 2に示すように弁座 13から離間し、第 1流路 11と第 2流路 12とが連通した開弁状態となる。流体を第 1流路 11から供給すれば溝部 15、弁孔 14を経由して第 2流路 12へと流れ、流体を第 2流路 12から供給すれば弁孔 14、溝部 15を経由して第 1流路 11へと流れる。

そして、操作ポート 35から加圧室 34に供給された圧縮エアを排出すれば、スプリング 33に付勢されたピストンロッド 31が下降し、再び図 1に示すような閉弁状態に戻つて流体の流れが遮断される。

[0026] 図 1に示すダイアフラム弁 1の閉弁時、流体を第 1流路 11から供給するとダイアフラム弁体 20の膜部 22に開弁方向に流体圧がかかる。また、二次側の第 2流路 12内も流れの止められた流体が充填し、ダイアフラム弁体 20の弁体部 21に対して開弁方向に背圧がかかっている。

しかし、本実施形態のダイアフラム弁 1では、膜部 22の付け根 25が中心線 Lから a の距離にあって、距離 bの弁座 13よりも中心線側にある。そのため、膜部 22は、弁の開閉に必要なストローク分の径方向寸法を得ながら溝部 15外周までの距離 cを短くすることができた。その結果、溝部 15に充填され、閉弁時にダイアフラム弁体 20を開弁方向に押し上げようとする膜部 22にかかる流体の受圧面積が小さくなつて押し上げカを低下させることができ、そのため閉弁させるためのスプリング 33の付勢力を小さくすることができた。

[0027] また、流体を第 2流路 12から弁孔 14、溝部 15を経由して第 1流路 11へと流す際には、図 5に示すように弁体部 21および膜部 22は第 2流路 12側から供給された流体の圧力を受ける。

そして、図 2に示す開弁状態から図 1に示す閉弁状態へ切り替えるときには、スプリング 33の付勢力によりピストンロッド 31が下降するに従レ、、ダイアフラム弁体 20と弁座 13の間隔が狭まるので、図 6に示すように第 2流路 12側から供給された流体は弁体部 21に当たりやすくなるのに対して膜部 22に当たり難くなる。そのため、弁体部 2 1が受ける流体圧は増加するのに対して膜部 22が受ける流体圧は減少する。

[0028] しかし、膜部 22と弁体部 21の受圧面積は等しいか、もしくは膜部 22よりも弁体部 2 1の受圧面積のほうが大きいため、膜部 22が受ける流体圧が減少してもダイアフラム弁体 20全体として受ける力が大幅には減少せず、流体圧変化よりも加圧室の圧力変化の方がバルブの閉弁動作に与える影響は相対的に大きくなる。そのため、供給ポートからエアを徐々に排出することによりダイアフラム弁体 20と一体のピストンロッド 31をスプリング 33の付勢力に対抗してゆっくり下降させることができる。そして、閉弁位置に近づいてもピストンロッド 31はスプリング 33の付勢力に対抗したままゆっくり下降し続けて、ダイアフラム弁体 20はゆっくりと弁座 13に当接して図 7に示すような閉弁状態となる。従って、第 1流路 11側の流体が負圧とならず、ウォーターハンマーは発生しない。

[0029] 更に、本実施形態のダイアフラム弁 1は、固定面 37が膜部 22にまで延長して当てられ、膜部 22の当該部分に力かる下方からの流体圧を支えている。そのため、ダイァフラム弁体 20自身の受圧面積は、膜部 22にまで延長された固定面 37の分だけ小さくなり、この点でも閉弁させるためのスプリング 33の付勢力を小さくすることができた。また、より確実に閉弁状態に戻る際にピストンロッド 21はゆっくりと下降することとなつた。

従って、ダイアフラム弁体 20の弁体部 21を弁座 13に押し付ける荷重が小さくなり、共にフッ素樹脂からなる弁体部 21と弁座 13との変形を抑え、寿命を伸ばすことができるようになった。また、より確実にウォーターハンマーの発生を防ぐことができた。

[0030] また、ダイアフラム弁体 20は、付け根 25が上向きであり、閉弁時には固定部 23がその付け根 25よりも高い位置にあるため、上方に湾曲した膜部 22が開閉動作の際に下向きに橈んでしまうことはない。そして、膜部 22をこうした形状にしたことにより、弁の開閉に応じて変形して弁体 21のストロークに十分対応することができる。

更に、開弁時に膜部 22と固定部 23との変化部分がシリンダの固定面 37に支えられているので、断面積の大きく変化する当該部分に応力が集中することがなぐ破損による寿命を伸ばすことができた。更に、膜部 22は緩や力なテーパの形成されたガイド 38に添って当たるため、同様に膜部 22と固定部 23との変化部分に大きな変形が生じさせなレ、ようにしたので、この点でも応力の集中を回避して寿命を伸ばすことが可肯になった。

以上、本発明のダイアフラム弁の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなぐその趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、前記実施形態では、スプリング 33の付勢力に抗してダイアフラム弁体 20 に開弁動作をさせるァクチユエータとしてエアシリンダを採用した力この他にもソレノイドを利用するようにしてもよい。

Claims

請求の範囲

[1] ボディに形成された第 1流路と第 2流路とが開口したボディ上面の開口部分にダイァフラム弁体によって気密な空間が形成され、そのダイアフラム弁体が付勢部材の付勢力によって弁座に押し付けられて閉弁する一方、ァクチユエータによってダイァフラム弁体が弁座から離間することによって開弁するようにしたダイアフラム弁において前記ダイアフラム弁体は、弁座に当接する弁体部と、弁体部から外側に広がった膜部と、膜部周縁に形成された固定部とを有し、弁体部に形成された膜部の付け根の位置が前記弁座の径よりも内側にあって、湾曲して広がった膜部周縁の固定部が閉弁時にはその付け根よりも高い位置で固定されたものであることを特徴とするダイァフラム弁。

[2] 請求項 1に記載のダイアフラム弁におレ、て、

前記ダイアフラム弁体は、薄肉の膜部と厚肉の固定部とが上面を面一にして形成され、その固定部の上下を挟み込んで固定する上下の固定面のうち、上の固定面は膜部にまで形成されたものであることを特徴とするダイアフラム弁。

[3] 請求項 2に記載のダイアフラム弁において、

前記ダイアフラム弁体が弁座力離間する場合に前記膜部が添って当たるように、当該膜部の上方に前記上の固定面から連続した傾斜を有するガイド面が形成されたものであることを特徴とするダイアフラム弁。

[4] 請求項 1乃至請求項 3に記載するダイアフラム弁のいずれか 1つにおいて、

流体の受圧面積が前記膜部と前記弁体部とで等しいか、もしくは前記膜部よりも前記弁体部のほうが大きいことを特徴とするダイアフラム弁。