JP6307557B2 - 流体制御弁 - Google Patents
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Description
(2)(1)に記載する流体制御弁において、前記高温流体は約200℃のプロセスガスであること、を特徴とする。
(3)(1)又は(2)に記載する流体制御弁において、前記高温流体は、常温では液体であって加熱することにより気化させた高温のプロセスガスであること、を特徴とする。
(5)(1)乃至(4)の何れか1つに記載する流体制御弁において、前記メタルダイアフラムはビッカーズ硬度Hv500以上の硬度であること、を特徴とする。
(構成)
まず、本発明の第1実施形態に係る流体制御弁1の構成について図1及び図2を用いて説明する。図1及び図2は、流体制御弁1の全体断面図である。図1は、メタルダイアフラム27の弁閉状態を示し、図2はその弁開状態を示す。図3は、図2のA部拡大図である。
次に、流体制御弁1の動作について説明する。
次に、本発明の第2実施形態の流体制御弁1の構成について、図6、7を用いて説明する。図6は、第2実施形態に係る流体制御弁1の断面図である。図7は、図6のB部拡大図であって、メタルダイアフラム27の弁開状態を示す。
次に、本発明の第3実施形態の流体制御弁1の構成について、図8、9を用いて説明する。図8は、本発明の第3実施形態に係る流体制御弁1の断面図である。図9は、図8のC部拡大図であって、メタルダイアフラム27の弁開状態を示す。
2 アクチュエータ部
3 弁部
21 第1ステム
24 第2ステム
25,35 バルブボディ
25b,35b 第2流路
25c,35c 第1流路
26 弁座
27 メタルダイアフラム
28 弁室
251,351,451 オリフィス
Claims (5)
- 第1流路及び第2流路に連通する弁室に弁座を設けたバルブボディと、前記弁座と当接又は離間するメタルダイアフラムと、前記メタルダイアフラムを上下動させるステムと、前記ステムを駆動させるアクチュエータとを備え、高温流体を制御するものであって、前記高温流体に加熱された前記メタルダイアフラムの挙動が不安定になることによりCv値が変動する流体制御弁において、
前記第1流路に形成された第1オリフィスと、前記第2流路に形成された第2オリフィスの何れかを有すること、
前記弁座と前記メタルダイアフラムが離間しているとき、前記弁座と前記メタルダイアフラムの間で形成される円筒状の流路面積を、弁座部流路面積とすること、
前記第1オリフィスを有する場合、前記第1オリフィスの流路面積は、前記弁座部流路面積の25%以下であり、且つ、前記第1オリフィスの流路面積を前記弁座部流路面積と同じにした場合に前記Cv値が変動するときの最小Cv値を100%としたときに、当該最小Cv値に対して50%以上のCv値を確保する値であること、
前記第2オリフィスを有する場合、前記第2オリフィスの流路面積は、前記弁座部流路面積の25%以下であり、且つ、前記第2オリフィスの流路面積を前記弁座部流路面積と同じにした場合に前記Cv値が変動するときの最小Cv値を100%としたときに、当該最小Cv値に対して50%以上のCv値を確保する値であること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1に記載する流体制御弁において、
前記高温流体は約200℃のプロセスガスであること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する流体制御弁において、
前記高温流体は、常温では液体であって加熱することにより気化させた高温のプロセスガスであること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1つに記載の流体制御弁において、
前記第1オリフィスの流路面積は、前記弁座部流路面積の16%以下であること、または、前記第2オリフィスの流路面積は、前記弁座部流路面積の16%以下であること、
を特徴とする流体制御弁。 - 請求項1乃至請求項4の何れか1つに記載する流体制御弁において、
前記メタルダイアフラムはビッカーズ硬度Hv500以上の硬度であること、
を特徴とする流体制御弁。
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