JP6194097B2 - 圧電式リニアアクチュエータ、圧電駆動バルブ、及び、流量制御装置 - Google Patents
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Description
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられるとともに内部に流路が形成された弁ブロックと、
前記弁ブロック内に設けられ、前記圧電式リニアアクチュエータの出力部に設けられた弁棒と、
該弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、を備える。
積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータを上部から押圧するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる押圧部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側において前記下部支持部材に連結されるとともに前記押圧部材の左右をガイドするガイド部材と、前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する変位伝達部材であって、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びるとともに前記下部支持部材及び前記押圧部材に対して上下動可能に交差し且つ前記下部支持部材の下方及び前記押圧部材の上方において各々連結された一対の変位伝達板と、前記一対の変位伝達板と連結され前記変位伝達板の前記押圧部材に対する相対高さ位置を調節可能な調節螺子と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達板と連結された出力部と、該出力部を下方に付勢する弾性体と、を備える前記変位伝達部材と、を備える圧電式リニアアクチュエータと、
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられるとともに内部に流路が形成された弁ブロックと、前記弁ブロック内に設けられて前記圧電式リニアアクチュエータの出力部に設けられた弁棒と、該弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、を備える圧電駆動バルブと、
前記圧電駆動バルブを開閉制御する制御装置と、を備える。
2 積層圧電アクチュエータ
3 下部支持部材
4 押圧部材
5 ガイド部材
5c ガイド軸
6 変位伝達部材
6a,6b 変位伝達板
6d 出力部
6g 調節螺子
8 弾性部材
9 弾性体
10 流量制御装置
11 流路
12 弁ブロック
13 弁体
14 オリフィス
15 圧力検出器
Claims (23)
- 積層圧電アクチュエータと、
前記積層圧電アクチュエータを支持するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、
前記積層圧電アクチュエータを上部から押圧するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる押圧部材と、
前記積層圧電アクチュエータの左右両側において前記下部支持部材に連結されるとともに前記押圧部材の左右をガイドするガイド部材と、
前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する変位伝達部材であって、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びるとともに前記下部支持部材及び前記押圧部材に対して上下動可能に交差し且つ前記下部支持部材の下方及び前記押圧部材の上方において各々連結された一対の変位伝達板と、前記一対の変位伝達板と連結され前記変位伝達板の前記押圧部材に対する相対高さ位置を調節可能な調節螺子と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達板と連結された出力部と、該出力部を下方に付勢する弾性体と、を備える前記変位伝達部材と、
を備えることを特徴とする、圧電式リニアアクチュエータ。 - 前記ガイド部材と前記押圧部材との間に介在された弾性部材を更に備え、該弾性部材により前記押圧部材が前記積層圧電アクチュエータを押圧する構成とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記ガイド部材は、前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記ガイド部材は、前記下部支持部材に立設されて前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項1に記載に圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項3に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項4に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記下部支持部材、前記押圧部材、前記ガイド部材、及び、前記変位伝達部材が、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法の範囲内に収まっていることを特徴とする請求項1に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータを上部から押圧するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる押圧部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側において前記下部支持部材に連結されるとともに前記押圧部材の左右をガイドするガイド部材と、前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する変位伝達部材であって、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びるとともに前記下部支持部材及び前記押圧部材に対して上下動可能に交差し且つ前記下部支持部材の下方及び前記押圧部材の上方において各々連結された一対の変位伝達板と、前記一対の変位伝達板と連結され前記変位伝達板の前記押圧部材に対する相対高さ位置を調節可能な調節螺子と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達板と連結された出力部と、該出力部を下方に付勢する弾性体と、を備える前記変位伝達部材と、を備える圧電式リニアアクチュエータと、
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられるとともに内部に流路が形成された弁ブロックと、
前記弁ブロック内に設けられ、前記圧電式リニアアクチュエータの出力部に設けられた弁棒と、
該弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、を備えることを特徴とする圧電駆動バルブ。 - 前記ガイド部材と前記押圧部材との間に介在された弾性部材を更に備え、該弾性部材により前記押圧部材が前記積層圧電アクチュエータを押圧する構成とされていることを特徴とする請求項8に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記ガイド部材は、前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項8に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記ガイド部材は、前記下部支持部材に立設されて前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項8に記載に圧電駆動バルブ。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項10に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項11に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記下部支持部材、前記押圧部材、前記ガイド部材、前記変位伝達部材、及び前記弁ブロックが、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法の範囲内に収まっていることを特徴とする請求項8に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記弁体が金属ダイヤフラム弁体であることを特徴とする請求項8に記載の圧電駆動バルブ。
- 積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータを上部から押圧するとともに該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる押圧部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側において前記下部支持部材に連結されるとともに前記押圧部材の左右をガイドするガイド部材と、前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する変位伝達部材であって、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びるとともに前記下部支持部材及び前記押圧部材に対して上下動可能に交差し且つ前記下部支持部材の下方及び前記押圧部材の上方において各々連結された一対の変位伝達板と、前記一対の変位伝達板と連結され前記変位伝達板の前記押圧部材に対する相対高さ位置を調節可能な調節螺子と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達板と連結された出力部と、該出力部を下方に付勢する弾性体と、を備える前記変位伝達部材と、を備える圧電式リニアアクチュエータと、
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられるとともに内部に流路が形成された弁ブロックと、前記弁ブロック内に設けられて前記圧電式リニアアクチュエータの出力部に設けられた弁棒と、該弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、を備える圧電駆動バルブと、
前記圧電駆動バルブを開閉制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 前記ガイド部材と前記押圧部材との間に介在された弾性部材を更に備え、該弾性部材により前記押圧部材が前記積層圧電アクチュエータを押圧する構成とされていることを特徴とする請求項16に記載の流量制御装置。
- 前記ガイド部材は、前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項16に記載の流量制御装置。
- 前記ガイド部材は、前記下部支持部材に立設されて前記押圧部材の左右を摺動自在に貫通するガイド軸を有することを特徴とする請求項16に記載に流量制御装置。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項18に記載の流量制御装置。
- 前記ガイド軸に外挿されて前記押圧部材を前記積層圧電アクチュエータの側へ押圧するコイルバネを更に備えることを特徴とする請求項19に記載の流量制御装置。
- 前記下部支持部材、前記押圧部材、前記ガイド部材、前記変位伝達部材、及び前記弁ブロックが、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法の範囲内に収まっていることを特徴とする請求項16に記載の流量制御装置。
- 前記弁体の下流側の流路内に介在されたオリフィスと、前記オリフィスの上流側の流路内圧力を検出する圧力検出器と、を更に備え、
前記制御装置は、前記圧力検出器の検出値に基づいて前記圧電駆動バルブを開閉制御することを特徴とする請求項16に記載の流量制御装置。
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