CN117515166A - 阀门、互连设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种阀门和包含该阀门的互连设备。涉及阀门控制技术领域。提供一种占据较小空间的阀门。该阀门用于连接第一腔体和第二腔体。该阀门可以包括：阀体、设置在阀体内的执行结构，和与执行结构连接的密封块；阀门具有相对的第一表面和第二表面，第一表面上具有多个第一安装孔，第一安装孔自第一表面贯通至第二表面，第一安装孔用于安装连接第一腔体的第一连接件，第二表面上具有多个第二安装孔，第二安装孔用于安装连接第二腔体的第二连接件。即理解为通过形成在阀体上的一个法兰盘上的两种安装孔，实现不同腔体的连接，以使得该阀门适配半导体制造设备中对阀门安装空间有限定的需求。

Description

阀门、互连设备

技术领域

本申请涉及阀门技术领域，尤其涉及一种可以应用在真空设备中的阀门，以及，连接有该阀门的互连设备。

背景技术

真空阀门(vacuum valve)是真空环境的半导体设备中各腔室连接必不可少的密封设备，主要用于真空设备中腔室与腔室的连接。例如，在真空设备中，可以利用真空阀门来改变气流方向、调节气流量大小、切断或接通管路等。

通过操控真空阀门的打开与关闭，以实现两个真空腔室之间的连通和隔离。在真空阀门处于关闭状态时，两个腔室的气压不会相互影响，保证了各个腔室之间的相互隔离，以可以独立运行。在真空门阀处于打开状态时，此时两个腔室之间相互连通，可进行样品(比如，芯片)检测或加工等工作。

一些设备中，在腔室与腔室之间预留给阀门的安装空间是受到一些条件限定的，比如，在对芯片形貌特征进行检测的检测设备中，是通过粒子源生成的带电粒子投射至芯片上，以对芯片的形貌进行检测。

为了提升检测效率和检测质量，自粒子源至芯片之间的距离不能较远，即就是粒子源生成的带电粒子的传输路径不能太远，否则可能会降低检测效率或者影响检测性能，进而，就要求连通不同腔室的阀门在带电粒子的传输路径上的尺寸也较小，不能占据较大的安装空间。

发明内容

本申请提供一种阀门、具有该阀门的互连设备。主要目的是通过改变阀门的结构，以使得该阀门被应用在半导体制造设备中时，比如，被应用在对芯片的检测设备中时，不会在带电粒子的传输路径上占据较大的空间，进而，可以提升检测设备的使用性能。

为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：

一方面，本申请提供了一种阀门，该阀门用于连接第一腔体和第二腔体。其中，该阀门可以包括：阀体、设置在阀体内的执行结构，和与执行结构连接的密封块；阀门具有相对的第一表面和第二表面，第一表面上具有多个第一安装孔，第一安装孔自第一表面贯通至第二表面，第一安装孔用于安装连接第一腔体的第一连接件，第二表面上具有多个第二安装孔，第二安装孔用于安装连接第二腔体的第二连接件，第一表面上还开设有第一通孔，第一通孔用于与第一腔体相连通，第二表面上开设有第二通孔，第二通孔用于与第二腔体相连通；以及，该阀门中的执行结构能够带动密封块运动，以使得密封块打开或者关闭第一通孔。

在本申请给出的阀门中，在阀体的第一表面上，不仅开设了多个第一安装孔，还开设了多个第二安装孔，这里的第一安装孔可以供第一连接件插入，第二安装孔可以供第二连接件插入，那么，当该阀门被应用在芯片检测设备中时，可以利用插入在第一安装孔的第一连接件与第一腔体固定连接，以及，可以利用插入在第二安装孔内的第二连接件与第二腔体固定连接，进而，实现第一腔体和第二腔体的对接。由于第一安装孔和第二安装孔均开设在第一表面上，即可以理解为通过形成在阀体上的一个法兰盘上的两种安装孔，实现不同腔体的连接，而不是通过两个法兰盘(该两个法兰盘的排布方向与安装孔的轴向平行)实现不同腔体的对接。这样的话，相比而言，本申请给出的阀门就可以减小在与安装孔轴向方向平行的方向上所占据的空间，以使得该阀门适配半导体制造设备中对阀门安装空间有限定的需求。

在一种可以实现的方式中，多个第一安装孔沿着第二表面的周向间隔布设，多个第二安装孔沿着第二表面的周向间隔布设；沿着第二表面的周向排布的多个第一安装孔处于外环，沿着第二表面的周向排布的多个第二安装孔处于内环。

即就是，外环的第一安装孔用于与第一腔体对接，内环的第二安装孔用于与第二腔体对接。

在一种可以实现的方式中，沿第一安装孔的轴向，第一安装孔包括相连通的第一段和第二段，第一段相对第二段靠近第二表面；且第一段的孔径大于第二段的孔径。可以理解为本申请实施例给出的第一安装孔为沉孔结构。

在一种可以实现的方式中，第二安装孔为螺纹孔，第一安装孔为内壁面光滑的通孔。

在一种可以实现的方式中，多个第二安装孔沿着第一通孔的外围布设，多个第一安装孔沿着多个第二安装孔的外围布设。

在一种可以实现的方式中，执行结构包括驱动结构和挤压结构，密封块设置在挤压结构上；驱动结构与挤压结构连接，驱动结构用于带动挤压结构和密封块移动，以使得密封块打开或者关闭第一通孔；挤压结构包括第一挤压件和第二挤压件，第一挤压件和第二挤压件围成有安装槽，密封块设置在安装槽内；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，第一挤压件能够朝靠近第二挤压件的方向移动，以对密封块产生朝第一通孔方向移动的挤压力，使得密封块关闭第一通孔。

在该实现结构中，是通过第一挤压件相对第二挤压件的移动，以对密封块产生推力，使得密封块朝第一通孔移动，进而将第一通孔关闭。

在一种可以实现的方式中，自安装槽的底面至安装槽的槽口方向，安装槽的横断面的面积逐渐增大。

如此设计，就可以使得密封块在推力的作用下，顺畅的朝第一通孔移动。

在一种可以实现的方式中，第一挤压件具有用于围成安装槽的第一壁面，第二挤压件具有用于围成安装槽的第二壁面，第一壁面和第二壁面相对，且第一壁面和第二壁面均为倾斜的平面；沿着安装槽的底面至安装槽的槽口的方向，第一壁面和第二壁面自安装槽的中心朝安装槽的边缘倾斜。

也就是利用倾斜的平面使得密封块在推力的作用下，密封块沿着倾斜的平面滑动，可以减小摩擦，提升密封块的移动速度。

在一种可以实现的方式中，密封块形成有与第一壁面相平行的第一抵接面，和与第二壁面相平行的第二抵接面；第一抵接面滑动设置在第一壁面上，第二抵接面滑动设置在第二壁面上。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括阻挡件，阻挡件固定在阀体内；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，第二挤压件能够抵接在阻挡件上，以使得第一挤压件能够朝靠近第二挤压件的方向移动。

当驱动结构带动第一挤压件和第二挤压件移动的过程中，第二挤压件会被阻挡件阻挡住，而第一挤压件会继续移动，以推动密封块朝第一通孔方向移动，将第一通孔封堵住。

在一种可以实现的方式中，第一挤压件包括多个围板，多个围板围城具有开口的容置腔；第二挤压件位于容置腔内，且位于开口处，第二挤压件与围板滑动连接；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以关闭第一通孔的过程中，开口供阻挡件穿过，以使得第二挤压件抵接在阻挡件上，第一挤压件相对第二挤压件滑动。

这里的安装槽是通过第一挤压件的多个围板和第二挤压件围设而成，并且具有开口，这样的话，第一挤压件和第二挤压件在驱动结构的带动下移动时，开口就可以供阻挡件穿过，以使得第二挤压件与阻挡件抵靠在一起。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括第一弹性件，密封块通过第一弹性件与挤压结构连接；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以打开第一通孔的过程中，第一弹性件用于给密封块沿背离第一通孔方向的弹力。

在该阀门关闭的过程中，该第一弹性件的作用是使得密封块快速的从第一通孔处移出，避免密封块上的密封圈与阀体内壁摩擦，降低该密封圈的密封性能。

在一种可以实现的方式中，该第一弹性件可以是弹簧，弹簧的一端与密封块连接，另一端与挤压结构连接。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括第二弹性件，第一挤压件通过第二弹性件与第二挤压件连接；驱动结构带动挤压结构和密封块移动，以打开第一通孔的过程中，第二弹性件用于给第一挤压件沿背离第二挤压件方向的弹力。

此实施例中的第二弹性件是用于给第一挤压件回弹力，以使得第二挤压件恢复至初始位置，并且，也可以使得密封块朝背离第一通孔的方向移动。

在一种可以实现的方式中，该第一弹性件可以是弹簧，弹簧的一端与第一挤压件连接，另一端与第二挤压件连接。

在一种可以实现的方式中，该第一弹性件穿设在支撑柱上，通过支撑柱可以约束第一弹性件的弹力方向，以使的第一挤压件沿直线移动。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括第一导向结构，驱动结构带动挤压结构和密封块移动的过程中，第一导向结构用于引导密封块沿第一方向移动，第一方向为与密封块朝第一通孔移动相垂直的方向。

由于在阀门结构中，阀门的密封性是体现阀门性能优越的关键指标，通过设置第一导向结构，可以引导密封块沿直线移动，以使得密封块不会偏离第一通孔，而是比较精准的对准第一通孔。

在一种可以实现的方式中，第一导向结构包括横板，设置在安装槽内，密封块被支撑在横板上，横板的端部连接有滚轮；安装槽的壁面上开设有沿第一方向延伸的导向槽，滚轮滚动设置在导向槽内。

在此实施例中，第一导向结构包括承载密封块的横板，且横板通过滚轮滚动设置在导向槽内，以引导密封块沿直线移动。

另外，在此种实施例中，采用的滚轮与导向槽的滚动连接，相比其他摩擦形式，比如，滑动摩擦，可以减小摩擦系数，减小摩擦产生金属屑的几率。当该阀门被应用在芯片形貌检测设备中时，几乎不会因为金属屑掉落至芯片上，损坏芯片的现象。

在一种可以实现的方式中，横板上开设有穿孔，用于穿设第一弹性件的支撑柱穿过该穿孔，第一弹性件的一端与密封块连接，另一端抵接在横板上。

在密封块朝第一通孔方向运动时，第一弹性件被拉伸，密封块朝背离第一通孔方向运动时，第一弹性件被挤压。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括第二导向结构，驱动结构带动挤压结构和密封块移动的过程中，第二导向结构用于引导挤压结构沿第一方向移动，第一方向为与密封块朝第一通孔移动相垂直的方向。

即通过设置的第二导向结构，引导挤压结构和密封块沿直线移动，和上述的第一导向结构类似，可以提升密封精度。

在一种可以实现的方式中，第二导向结构包括导向轮，导向轮设置在挤压结构上；导向轮抵接在阀体的内壁面上，导向轮能够在阀体的内壁面上沿着第一方向滚动。

此种第二导向结构中，通过导向轮与阀体内壁面的滚动连接，也可以引导支撑有密封块的挤压结构直线移动。

在一种可以实现的方式中，阀体内壁上设置有供导向轮滚动的导向槽，导向槽沿第一方向延伸。

在一种可以实现的方式中，阀体内形成有相分离的第一安装腔和第二安装腔；挤压结构和密封块设置在第一安装腔内；驱动结构包括驱动器，与驱动器的输出轴连接的推杆，驱动器设置在第二安装腔内，推杆自第二安装腔延伸至第一安装腔内，并与挤压结构连接，且推杆的延伸方向与密封块朝第一通孔移动的方向相垂直。

在一种可以实现的方式中，阀门还包括支撑座，推杆穿过支撑座，并且支撑座通过导向套与推杆连接，以使得推杆沿直线移动。

在一种可以实现的方式中，阀体的用于形成第二安装腔的壁面上具有开窗，开窗上设置有盖板，且盖板通过密封结构设置在开窗上。

通过密封结构将驱动器密封设置在第二安装腔内，这样的话，阀体内的空间是一个密封的空间。当该阀门被应用在真空设备中时，可以保障真空度。

在一种可以实现的方式中，密封块的朝向第一通孔的面上开设有镶嵌槽，镶嵌槽内设置有密封圈，且自镶嵌槽的底面至槽口方向，镶嵌槽的的横断面的面积逐渐减小。

又一方面，本申请还提供了一种互连设备，包括第一腔体、第二腔体和上述任一实现方式中的阀门，其中，阀门通过穿设在第一安装孔内的第一连接件与第一腔体连接，阀门通过穿设在第二安装孔内的第二连接件与第二腔体连接；阀门的第一通孔与第一腔体相连通，阀门的第二通孔与第二腔体相连通。

本申请实施例提供的互连设备包括上述实现方式中的阀门，此阀门结构中，由于第一安装孔和第二安装孔均开设在第一表面上，即可以理解为通过设置的一个法兰盘上的两种安装孔，实现不同腔体的连接，而不是通过两个法兰盘(该两个法兰盘的排布方向与安装孔的轴向平行)实现不同腔体的对接。这样的话，相比而言，本申请给出的阀门就可以减小在与安装孔轴向方向平行的方向上所占据的空间，以使得该阀门适配半导体制造设备中对阀门安装空间有限定的需求。

在一种可以实现的方式中，第二表面朝向第一腔体，第一表面朝向第二腔体；第二腔体连接对接法兰；第一连接件自第一表面穿过阀体与第一腔体固定连接；第二连接件穿过对接法兰与阀体固定连接。

在一种可以实现的方式中，互连设备包括用于对基板进行检测的检测设备；检测设备包括：粒子源，用于生成带电粒子，设置在第一腔体内；多分束带电粒子系统，置在第一腔体内，且设置在带电粒子的束路径中，多分束带电粒子系统用于将带电粒子分成多束；第一腔体和第二腔体均为真空腔体；带电粒子能够经多分束带电粒子系统、第一腔体、阀门和第二腔体投射至基板上。

对基板进行检测的检测设备中，是采用上述实现方式中的阀门，由于阀门在与安装孔轴向方向平行的方向上所占据的空间较小，即就是沿带电粒子的束路径，阀门占据的空间较小，这样的的，就会缩短带电粒子的传输路径，以提升对芯片形貌特征的检测效率，以及可以提升检测质量。

附图说明

图1为本申请实施例提供的用于检测芯片形貌特征的检测设备的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种阀门的外形结构图；

图3为图2的M1方向的视图；

图4为图2的M2方向的视图；

图5为本申请实施例提供的包含阀门、第一腔体和第二腔体的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的将阀门设置在用于检测芯片形貌特征的检测设备中的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的阀门的剖面示意图；

图8为本申请实施例提供的一种阀门处于打开状态时的简易结构图；

图9为本申请实施例提供的一种阀门处于关闭状态时的简易结构图；

图10a为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于打开状态时的简易结构图；

图10b为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于关闭状态时的简易结构图；

图11a为本申请实施例提供的一种阀门中的用于设置密封块的安装槽的结构示意图；

图11b为本申请实施例提供的一种阀门中的用于设置密封块的安装槽的结构示意图

图12为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于打开状态时的简易结构图；

图13为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图14为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图15为本申请实施例提供的一种阀门中的挤压结构的结构示意图；

图16为本申请实施例提供的一种阀门中的密封块的结构示意图；

图17为本申请实施例提供的一种阀门中的密封块上的镶嵌槽的结构示意图；

图18为本申请实施例提供的一种阀门中的体现弹性件的结构示意图；

图19为本申请实施例提供的一种阀门中的体现弹性件的结构示意图；

图20a为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于关闭状态时的简易结构图；

图20b为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于打开状态时的简易结构图；

图21为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图22a为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于关闭状态时的简易结构图；

图22b为本申请实施例提供的阀门中的密封块处于打开状态时的简易结构图；

图23为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图24为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图25为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构示意图；

图26为本申请实施例提供的一种阀门的部分结构的爆炸示意图。

附图标记：

1-第一腔体；

2-阀门；

3-第二腔体；

4-支撑台；

5-物体；

6-探测器；

7-粒子源；

8-多分束带电粒子系统；

9-对接法兰；

21-阀体；21A1-第一连通管；21A2-第二连通管；211-第一安装孔；212-第二安装孔；213-第一通孔；214-第二通孔；21B1-第一安装腔；21B2-第二安装腔；21C1-第一盖板；21C2-第二盖板；

22-驱动结构；221-推杆；222-驱动器；223-导向座；224-导向套；

23-挤压结构；231-第一挤压件；232-第二挤压件；233-开口；2311-围板；2312-第一壁面；2321-第二壁面；234-容置腔；

24-密封块；241-第一抵接面；242-第二抵接面；243-镶嵌槽；

25-密封圈；

26-阻挡件；

27-安装槽；

281、282-弹性件；

291-第一连接件；

292-第二连接件；

30-导向轮；

40-滚轮；

50-横板；501-穿孔；

60-导向槽；

701、702-导向杆。

具体实施方式

阀门作为一种控制部件，用于连接两个腔体。即利用阀门的开关可以使得两个腔体相连通，或者使得两个腔体相断开。

比如，在半导体制造领域中，许多处理工艺(例如芯片形貌检测工艺)都需要在高洁净度、高真空度下进行，因此相应制造需采用真空设备。真空设备一般包括用以执行不同工序的多个腔室，在生产过程中，不同工序的腔室之间需要保持相对的独立性，以保证各工序的生产环境达到标准，进而，就需要一种连通多个腔室的阀门。

在芯片制造工艺中，主要包括下述工艺步骤：步骤一，制作芯片；步骤二，在芯片表面涂上抗腐蚀剂；步骤三，使用多分束带电粒子系统将带电粒子束照射到抗腐蚀剂上，以构成图案；步骤四，使用刻蚀机在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱，并注入离子，形成PN结(逻辑闸门)；步骤五，然后通过化学和/或物理气相沉淀做出金属连接电路，进而制得芯片。

在完成上述的芯片制造后，还会包括下述步骤：步骤五，对芯片进行检查，检验芯片是否存在工艺缺陷；步骤六，对检查后的芯片进行封装。这样，就完成了芯片的制造、封装和测试。

其中，在上述所述的芯片的制造、封装和测试过程中，会采用真空设备。示例的，在对芯片进行工艺缺陷检测时，可以利用图1所示的检测设备，该检测设备包括第一腔体1和第二腔体3，第一腔体1和第二腔体3通过阀门2相连接。例如，该第一腔体1和第二腔体3可以均为真空腔室，这样的检测设备也即为一种真空检测设备。

另外，该检测设备还包括支撑台4和探测器6，支撑台4可以用于安装待检查的物体5，比如待检测的芯片。还有，该检测设备还可以包括粒子源7和处于粒子源7带电粒子束路径上的多分束带电粒子系统8。当阀门2处于打开状态时，粒子源7生成的带电粒子经多分束带电粒子系统8分成分束带电粒子后，可以经第一腔体1、阀门2、第二腔体3投射至物体5上，探测器6用于探测来自待检查的物体5的由多分束带电粒子生成的二次带电粒子，以产生与二次带电粒子相对应的信号，可以这样理解，粒子源7产生的粒子束聚焦在芯片(wafer)上，以在wafer上形成粒子束斑点，探测器6收集wafer表面产生的二次粒子，以获得wafer表面的形貌信息。

在一些结构中，图1所示的多分束带电粒子系统8包括准直器(collimator)和分束器(aperture array)，准直器和分束器沿着粒子源7产生的带电粒子的束路径依次布置。其中，准直器具有扩束和准直功能，分束器可以将通过准直器扩束和准直后的带电粒子束分成多束带电粒子束。另外，多分束带电粒子系统8还可以包括聚焦透镜，聚焦透镜可以被设置在通过分束器后的带电粒子束的束路径上。

在一些可以实现的结构中，如图6所示，粒子源7设置在第一腔体1内，多分束带电粒子系统8可以设置在第一腔体1内或第二腔体3内，支撑台4可以设置在第二腔体3内或未被设置在所述第一腔体1或第二腔体3内。或者，在另外一些结构中，粒子源7设置在第一腔体1内，多分束带电粒子系统8中的部分结构设置在第一腔体1内，另一部分结构设置在第二腔体3内，比如，准直器和分束器设置在第一腔体1内，而聚焦透镜设置在第二腔体3内。具体可以依据不同结构件对于真空度的要求或产线要求来调整结构件的设置位置，本申请对检测设备中的结构件的设置位置不做特殊限定。

在另外一些可以实现的结构中，当第一腔体1、阀门2和第二腔体3被应用在其他半导体设备中时，例如刻蚀机，一些结构件可以设置在第一腔体1内，另一些结构件可以设置在第二腔体3内。本申请实施例对于半导体设备中的结构件在第一腔体1和第二腔体3内的设置位置也不做特殊限定，具体可以依据不同结构件对于真空度的要求或产线要求来调整结构件的设置。

在图1中，示意性的指出了待检查的物体5生成的二次带电粒子会反射中探测器6中，但是并不对二次带电粒子的传输路径构成限定。

图2是本申请实施例给出的一种阀门2的外形结构图，图3是图2的M1方向的视向图，图4是图2的M2方向的视向图。一并结合图2、图3和图4，本申请实施例给出的阀门2包括阀体(也可以被称为阀壳)21，阀体21具有相对的第一表面A1和第二表面A2，在第一表面A1上，设置有用于与图1所示的第一腔体1相连通的第一连通管21A1，在第二表面A2上，设置有用于与图1所示的第二腔体3相连通的第二连通管21A2。并且，第一连通管21A1和第二连通管21A2分别与阀体21内的空间相连通。

另外，在阀体21内的空间内，还可以设置密封块，和带动密封块移动，以将第一连通管21A1打开或者关闭的执行结构，从而，实现第一腔体1和第二腔体3的连通或者关断。

继续参阅图3和图4，在第一表面A1上，开设有第一安装孔211，并且，第一安装孔211自第一表面A1贯通至第二表面A2。该第一安装孔211用于安装连接第一腔体1的连接件。在第二表面A2上，开设有第二安装孔212，该第二安装孔212用于安装连接第二腔体3的连接件。

比如，如图5所示，图5示出了将本申请实施例给出的阀门2连接第一腔体1和第二腔体3时的结构图。可以采用第一连接件291自第二表面A2上的第一安装孔211穿过第一表面A1，将阀门2与第一腔体1固定连接。另外，采用第二连接件292穿过第二腔体3上的对接法兰9，并且穿至第二安装孔212，以将阀门2与第二腔体3固定连接。

在一些可以实现的结构中，如图3和图4所示，第一安装孔211具有多个，这些多个第一安装孔211可以沿着第二表面A2的周向间隔排布。

在另外一些可以实现的结构中，第二安装孔212也可以具有多个，这些多个第二安装孔212也可以沿着第二表面A2的周向间隔排布。

再参阅图3和图4，第二连通管21A2靠近第二表面A2的中心设置，第二安装孔212相对第一安装孔211更加靠近第二连通管21A2。也就是，多个第一安装孔211围成的环为外环，多个第二安装孔212围成的环为内环。

在一些结构中，第一安装孔211可以是内壁面光滑的孔，图5中的第一连接件291可以是螺纹连接件，则第一腔体1的用于供第一连接件291插入的孔为螺纹孔。示例的，第一连接件291可以是端部具有螺纹的螺栓。

在一些结构中，第二安装孔212可以是内壁面具有螺纹的孔，图5中的第二连接件292也可以是螺纹连接件。示例的，第二连接件292可以是整个外壁面具有螺纹的螺栓。

在一些半导体制造设备中，图6所示的是包括阀门2、第一腔体1和第二腔体3的检测设备，并且，图6是将本申请实施例给出的阀门2用在对芯片等待检测物体5的形貌进行检测的设备中。见图6的检测设备中，粒子源7生成的粒子经多分束带电粒子系统8分束后，再经第一腔体1、阀门2和第二腔体3投射至物体5上。

在图6所示的检测设置中，为了使得获取到的芯片形貌信息更加清楚、获取的效率更快，需要粒子源7生成的带电粒子的传输路径较短，进而，就需要图6所示的检测设置在带电粒子的传输路径上的尺寸较小，即需要图6所示的沿Q方向的尺寸较小。

当采用上述本申请实施例给出的图3和图4所示的阀门2时，由于通过位于第一安装孔211内的第一连接件291可以与第一腔体1固定连接，不需要在第一腔体1上设置如图5中的对接法兰9，这样的话，可以减小该检测装置沿Q方向的尺寸，从而，可以减小带电粒子的传输路径，使得在单位时间内，有更多的带电粒子投射至芯片上，快速的获取芯片的形貌信息，并且，也可以更加清楚的得知芯片的形貌信息。

可以这样理解，本申请是将与第一腔体对接的第一安装孔，和与第二腔体对接的第二安装孔集合在阀体21形成的一个法兰盘上，相比将两种安装孔设置在不同的法兰盘上(比如，两个法兰盘沿图6所示的Q方向布设)，可以减小该阀门在Q方向上的尺寸，以缩短带电粒子在Q方向上的传输路径，以提升检测效率和检测质量。

在一些可以实现的结构中，如图7所示，图7示出了阀门2的剖面图，在图7中，沿第一安装孔211的轴向，也就是沿着第一安装孔211的延伸方向，第一安装孔211包括相连通的第一段211a和第二段211b，第一段211a相对第二段211b靠近第二表面A2；并且，第一段211a的孔径大于第二段211b的孔径。即可以理解为图7所示的第一安装孔211为沉孔。

下面结合附图介绍阀体21内的可以实现的结构，具体见下述。

图8和图9是本申请实施例给出的一种阀门2的简易结构图，其中，图8示出的是阀门2处于打开状态时的结构图，图9示出的是阀门2处于关闭状态时的结构图。

见图8和图9所示，该阀门2包括阀体21，阀体21的第一表面A1上具有第一通孔213，该第一通孔213可以与图1所示的第一腔体1相连通，比如，在第一通孔213上安装图2所示的第一连通管21A1。还有，阀体21的第二表面A2上具有第二通孔214，该第二通孔214可以与图1所示的第二腔体3相连通，比如，在第二通孔214上安装图2所示的第二连通管21A2。

该阀门2还包括设置在阀体21内的一些用于打开或者关闭第一通孔213的执行结构，利用执行结构使得阀门关闭或者打开，如图8，执行结构包括驱动结构22、挤压结构23和设置在挤压结构23上的密封块24。

驱动结构22与挤压结构23连接，驱动结构22用于带动挤压结构23和密封块24移动，以使得密封块24打开或者关闭第一通孔213。

比如，在图8中，驱动结构22带动挤压结构23和密封块24沿P1方向移动，就可以使得挤压结构23和密封块24移动至图9所示的与第一通孔213相对的位置，以使得密封块24将第一通孔213封堵住，实现阀门2的关闭。反之，驱动结构22带动挤压结构23和密封块24沿与P1方向相反的方向移动，就可以使得挤压结构23和密封块24移动至图8所示的位于第一通孔213边缘的位置，以使得密封块24将第一通孔213敞开，实现阀门2的打开。

继续参阅图8和图9，挤压结构23包括第一挤压件231和第二挤压件232，第一挤压件231和第二挤压件232围成有安装槽27，密封块24设置在安装槽27内。在驱动结构22的驱动下，可以带动第一挤压件231、第二挤压件232和密封块24一起移动。

参阅图10a和图10b，图10a示出的是阀门2处于图8所示的打开状态时，第一挤压件231和第二挤压件232，以及密封块24的位置关系，图10b示出的是阀门2处于图9所示的关闭状态时，第一挤压件231和第二挤压件232，以及密封块24的位置关系。

如图10a和图10b，阀门2由打开状态切换为关闭状态的过程中，第一挤压件231和第二挤压件232之间的距离变小，并且，密封块24朝安装槽27外部的方向移动，也就是朝靠近第一通孔213的方向移动。

即就是，由图8至图9，驱动结构22带动挤压结构23和密封块24移动，以关闭第一通孔213的过程中，第一挤压件231能够朝靠近第二挤压件232的方向移动，以对密封块24产生朝第一通孔213方向移动的挤压力，使得密封块24关闭第一通孔213。

也可以这样理解，如图10a和图10b，在阀门关闭的过程中，是通过第一挤压件231与第二挤压件232之间的相对运动，对位于第一挤压件231和第二挤压件232之间的密封块24产生推力F，利用推力F将密封块24推向第一通孔213。

在可以实现的结构中，如图8和图9，可以在阀体21内设置阻挡件26，可以将阻挡件26设置在挤压结构23移动的路径上，并且可以设置在第一通孔213的外缘处，那么，驱动结构22带动挤压结构23和密封块24移动，以关闭第一通孔213的过程中，第二挤压件232能够抵接在阻挡件26上，阻止第二挤压件232继续移动，以使得第一挤压件231能够朝靠近第二挤压件232的方向移动，从而，对密封块24产生推力，使得密封块24朝第一通孔213方向移动。

本申请给出的可以实现的结构中，用于容置密封块24的安装槽27的结构具有多种。比如，如图11a和图11b所示，安装槽27自底面至槽口的方向(沿图11a所示的L方向)，安装槽27的横断面的面积逐渐增大。这里的安装槽的横断面指的是与L方向相垂直的平面的面积，比如，该L方向是三维坐标中的Z方向，那么，横断面指的就是与Z方向垂直的XY平面的面积。

图11a和图11b所示安装槽27的区别在于，在图11a中，安装槽27的侧壁面M1为弧形面，而在图11b中，安装槽27的侧壁面M包括多个依次首尾连接的平面M2，且平面M2为倾斜的平面，即就是，沿着安装槽27的底面至槽口的方向，平面M2自安装槽27的中心朝安装槽27的边缘倾斜。

图12是本申请实施例给出的当第一挤压件231朝靠近第二挤压件232运动时，是如何对密封块24产生推力的示意图。具体的，用于容置密封块24的安装槽27的侧壁面M的倾斜角度为α，也可以理解为侧壁面M与第一挤压件231的移动方向P1之间的夹角为α。当第一挤压件231朝靠近第二挤压件232运动，对密封块24产生沿P1方向的推力为F1时，进而，会给密封块24沿P2方向的推力为F2，并且F2＝F1tanα。由于夹角α示例性的大于45°，进而，F2大于F1，也就是通过对密封块24在P2方向上的推力F2，起到放大作用，在能够使得密封块24朝通孔方向移动的基础上，还可以提升密封块24的移动速度，以使得密封块24快速的将通孔关闭或者打开。除外，对密封块24推力进行放大，还可以减少对驱动结构推力的需求。

在一些示例中，图12所示的侧壁面M与第一挤压件231的移动方向P1之间的夹角α可以是10°到80°，比如，可以是45°、60°、70°等。

图13是本申请实施例给出的阀门2去掉阀体后的一种实体结构图。在图13中，示出了挤压结构23中的第一挤压件231和第二挤压件232，以及示出了设置在第一挤压件231和第二挤压件232之间的密封块24。图14是在图13所示结构基础上，去掉密封块24后的结构图。

一并结合图13和图14，该第一挤压件231包括多个围板2311，这些多个围板2311围城具有开口233的容置腔234，第二挤压件232位于容置腔234内，且位于开口233处，第二挤压件232与围板2311滑动连接。

这样的话，驱动结构22带动挤压结构23和密封块24移动，以关闭第一通孔213的过程中，开口233可以供阻挡件26穿过，以使得第二挤压件232抵接在阻挡件26上，进而，使得第二挤压件232相对第一挤压件231滑动，减小第一挤压件231和第二挤压件232之间的距离，以对密封块24产生推力F。

在图14所示的结构中，当第一挤压件231包括多个围板时，见图15所示，第一挤压件231具有用于围成安装槽27的第一壁面2312，第二挤压件232具有用于围成安装槽27的第二壁面2321，第一壁面2312和第二壁面2321相对，且第一壁面2312和第二壁面2321均为倾斜的平面。并且，沿着安装槽27的底面至安装槽27的槽口的方向(如图15的L方向)，第一壁面2312和第二壁面2321自安装槽27的中心朝安装槽27的边缘倾斜(如图15的T方向)。

为了使得密封块24能够沿着图15所示的具有第一壁面2312和第二壁面2321的安装槽27移动，如图16，密封块24形成有与第一壁面2312相平行的第一抵接面241，和与第二壁面2321相平行的第二抵接面242；且第一抵接面241滑动设置在第一壁面2312上，第二抵接面242滑动设置在第二壁面2321上。

如此的话，当第一挤压件231相对第二挤压件232靠近第二挤压件232时，可以通过第一壁面2312对第一抵接面241的推力，第二壁面2321对第二抵接面242的推力，以使得密封块24的第一抵接面241沿着第一壁面2312滑动，第二抵接面242沿着第二壁面2321滑动，从而，使得密封块24靠近第一通孔213，以堵住第一通孔213，实现该阀门的关闭。

为了使得密封块24密封第一通孔213，如图16，密封块24的朝向第一通孔213的侧面上开设有镶嵌槽243，并且，在该镶嵌槽243内设置有密封圈25，以使得密封圈25贴合在第一通孔213的外缘上，提升该阀门的密封性能。

在一些可以实现的结构中，如图17，沿着镶嵌槽243的底面至镶嵌槽243的槽口的方向，镶嵌槽243的横断面的面积逐渐减小。比如，镶嵌槽243为底面半径大于槽口半径的锥台结构。

利用图17所示镶嵌槽243容置密封圈25时，通过孔径较小的槽口，以使得密封块24朝第一通孔213方向移动，或者驱动结构带动密封块24和挤压结构23移动的过程中，密封圈25不会从镶嵌槽243内移除，以使得密封圈25与通孔213比较精准的对准。

本申请给出的密封圈25可以实现的结构中，可以选择橡胶密封圈，或者可以选择金属密封圈。

在一些可以实现的结构中，镶嵌槽243的深度可以为密封圈25厚度的65％到80％。比如，可以是70％。

本申请给出的驱动结构22可以实现的结构中，如图13，驱动结构22可以包括驱动器222，和与驱动器222的输出轴连接的推杆221，推杆221的一端与挤压结构23连接，比如，推杆221的一端与图7所示的第一挤压件231固定连接，以及，推杆221的延伸方向，与密封块24朝第一通孔213移动方向相垂直。即启动驱动器222后，先带动推杆221沿其延伸方向移动，再使得密封块24朝第一通孔213方向移动，以关闭第一通孔213。

在一些可以实现的结构中，驱动器222可以是压电驱动器，或者其他类型的电驱动器。

本申请实施例给出的一种结构中，例如，当第二挤压件232抵接在阻挡件26后，利用第一挤压件231靠近第二挤压件232，将密封块24推动至将第一通孔213关闭，那么，为了使得密封块24打开第一通孔213时，第一挤压件231恢复至原始位置，如图18，该阀门还包括弹性件282，第一挤压件231通过弹性件282与第二挤压件232连接。比如，该弹性件282可以采用弹簧，弹簧的一端与第一挤压件231连接，弹簧的另一端与第二挤压件232连接，再比如，该弹性件282也可以是由弹性材料制得的结构件。

为了使得第一挤压件231在弹性件282的作用下沿直接移动，如图19，图19是图18中部分结构图，其中，可以设置导向杆702，导向杆702的延伸方向与第一挤压件231的移动方向一致，并且，导向杆702的一端与第一挤压件231连接，另一端与第二挤压件232连接，以及，弹性件282套设在导向杆702上。也就是，通过使得导向杆702对弹性件282伸缩方向的约束，以使得第一挤压件231能够沿着直线移动。

图20a和图20b是本申请实施例给出的阀门由关闭到打开过程的简易结构图。图20a是密封块24将第一通孔213关闭时的结构图，在此种情况下，设置在密封块24上的密封圈25是贴合在第一通孔213的外缘。图20b是阀门24将第一通孔213打开时的结构图，此过程中，由于第一挤压件231在弹性件282的作用下，与第二挤压件232之间的距离逐渐变大，从而，设置有密封圈25的密封块24会沿着安装槽朝背离第一通孔213的方向移动，使得密封圈25由图20a所示的贴合在第一通孔213的外缘，移动至图20b所示的密封圈25与阀体21的内壁S之间具有间隙，而不是紧贴着阀体21的内壁S移动，这样的话，可以保护密封圈25，提升该密封圈25的使用性能。

由图20a和图20b得知：当阀门2由关闭状态切换为打开状态的过程中，随着第一挤压件231沿背离第二挤压件232的方向移动，使得密封块24朝背离第一通孔213的方向移动。在另外一些结构中，为了提升密封块24的移动速度，如图21，该阀门还包括弹性件281(这里的弹性件281可以被称为第一弹性件，上述的弹性件282可以被称为第二弹性件)，密封块24通过弹性件281与挤压结构连接。比如，该弹性件281可以采用弹簧，弹簧的一端与密封块24一端连接，弹簧的另一端与挤压结构连接；再比如，该弹性件281也可以是由弹性材料制得的结构件。

图22a和图22b是本申请实施例给出的阀门由关闭到打开过程的简易结构图。通过设置弹性件281和弹性件282，能够使得紧贴阀体21的内壁S的密封块24快速的脱离内壁S，以杜绝在挤压结构23带动密封块24由关闭到打开的过程中，密封圈25和内壁S发生摩擦，降低密封圈25的密封性能。

在阀门2结构中，密封块24能够比较准确的对准第一通孔213，以将第一通孔213密封住，是衡量该阀门2使用性能的关键。

为了使得该密封块24在移动后，能够精准的对准第一通孔231，本申请实施例中，还增加了一些导向结构。比如，见图23所示，为了使得包含第一挤压件231和第二挤压件232的挤压结构23在驱动结构22的带动下，沿着P方向直线运动，而基本不会出现偏离P方向的运动，本申请实施例中，可以给挤压结构23上设置导向轮30，那么，当驱动结构22带动挤压结构23移动时，导向轮30抵接在阀体21的内壁面上，即通过导向轮30沿着阀体21的内壁面滚动，可以使得挤压结构23沿着P方向直线移动。

在一些可以实现的结构中，可以在阀体21的内壁面上开设与P方向一致的轨道，导向轮30滚动设置在轨道内，以进一步的提升密封块24的密封精度。

在图23所示的结构中，示出了四个导向轮30，并且该四个导向轮30分为两组，一组导向轮30与阀体21的第一内壁面滚动连接，另一组导向轮30与阀体21的第二内壁面滚动连接，其中，第一内壁面与第二内壁面相对布设。

当然，在另外一些结构中，也可以仅设置图23中的两组导向轮30中的其中一组即可。

为了进一步的使得挤压结构23和密封块24沿着图23所示的P方向直线移动，本申请实施例给出的结构中，还可以另一导向结构，比如，在图23中，可以设置导向座223，推杆221滑动设置在导向座223内，并且，在推杆221和导向座223之间可以设置导向套224，以使得推杆221相对导向座223沿着P方向直线移动。

在一些示例中，如图23，还可以在推杆221上设置导向轨，在导向座223内设置与导向轨相配合的导槽，且导向轨和导槽的延伸方向如P方向，以进一步的提升密封圈的对准精度。或者，将导线轨设置在导向座内，导槽设置在推杆上。

当阀门2由关闭状态切换为打开状态的过程中，无论是驱动结构22带动第一挤压件231、第二挤压件232和密封块24一起沿着图23所示的P方向移动，还是当第二挤压件232抵靠在阻挡件26上，第一挤压件231沿P方向靠近第二挤压件232，密封块24有可能会相对第一挤压件231和第二挤压件232在如图23所示的P方向上产生偏移，这样一来，也可能使得密封块24无法对准第一通孔213，降低该阀门的密封性能。

为了克服密封块24在图23所示的P方向上产生偏移，还需要设置另一导向结构，以引导密封块24能够沿着P方向直线移动。如图24，给出了一种可以实现的导向结构，具体的，该导向结构包括设置在第一挤压件231和第二挤压件232形成的安装槽27内的横板50，密封块24被支撑在横板50上，以及，在横板50的端部安装有滚轮40，比如，在图24中，横板50相对的两端分别安装滚轮40。

另外，继续参阅图24，在挤压结构23上开设有用于设置滚轮40的导向槽60，并且，导向槽60的延伸方向沿着图23所示的P方向布设，滚轮40滚动设置在导向槽60内。示例的，可以在形成第一挤压件231的围板上开设导向槽60。

依照图24所示的结构，横板50的端部的滚轮40可以沿着导向槽60滚动，那儿，就可以使得密封块24也可以沿着导向槽60移动，这样的话，无论是包含密封块24、挤压结构23的整体结构在驱动结构的带动下移动，还是第二挤压件232静止，第一挤压件231相对第二挤压件232移动，都不会使得密封块24沿着偏离P方向的方向移动，从而，可以使得密封块24能够比较精准的对准第一通孔213。

还有，见图23和图24所示，在本申请给出的实施例中，采用的是导向轮30与阀体21内壁的滚动配合，以及采用滚轮40与挤压结构的滚动配合，来实现导向。利用滚动配合，能够减弱摩擦现象引起的掉金属屑的几率，也就是说，比如，当导向轮30和阀体21均为金属材料制得时，或者滚轮40和挤压结构均为金属材料制得时，通过滚动摩擦，就可以降低出现金属屑的几率，尤其是在图1所示的半导体制造领域中，脱落的金属屑很可能会影响芯片的质量，甚至会使得芯片成为残次品。

在一些可以实现的结构中，如图25，图25是在图24的基础上，进一步爆炸后的结构图。为了使得整个阀门的结构紧凑，见图25，可以在横板50上开设穿孔501，用于导向弹性件282的导向杆702穿过穿孔501，这样的话，可以充分利用第一挤压件231和第二挤压件232围城的安装槽27内的空间。

另外，再结合图25，可以将穿设在导向杆702上的弹性件281的一端与密封块连接，另一端抵接在横板50上。那么，当密封块朝第一通孔方向移动时，弹性件281可以被拉伸，而当密封块朝背离第一通孔方向移动时，弹性件281被压缩。

图26是本申请实施例给出的阀门2的部分结构爆炸后的结构图，如图26，阀体21内形成有相分离的第一安装腔21B1和第二安装腔21B2，第一安装腔21B1上设置有第一盖板21C1，第二安装腔21B2上设置有第二盖板21C。其中，图2所示的第一连通管21A1和第二连通管21A2均与第一安装腔21B1相连通，可以将挤压结构23、密封块24、阻挡件26设置在第一安装腔21B1内，驱动结构22设置在第二安装腔21B2内。

还有，驱动结构22的推杆可以自第二安装腔21B2延伸至第一安装腔21B1内，并与挤压结构23连接。

比如，对芯片进行刻蚀的刻蚀机中，或者，对芯片的形貌进行检测的设置中，均需要真空设置，如图6，第一腔体1、第二腔体3和阀门2均需要处于真空环境中，这里的第一腔体1、第二腔体3和阀门2均需要处于真空环境中，可以理解为，第一腔体1和第二腔体3内的腔体为真空状态，以及阀门2的连通第一腔体1和第二腔体3的通道也为真空状态。示例的，在对芯片的形貌进行检测的设置中，设置粒子源的第一腔体1内的真空度，可以高于第二腔体3内的真空度。

从而，图26中的与第一腔体1和第二腔体3连通的第一安装腔21B1需要处于真空环境中，为了避免第二安装腔21B2影响第一安装腔21B1的真空度，需要设置一种密封结构。本申请给出的实现结构中，如图26，可以利用密封结构将第二盖板21C密封连接在第二安装腔21B2的开口处，以避免空气自第二安装腔21B2进入第一安装腔21B1中，影响第一安装腔21B1的真空度。

相比一些通过在推杆外包围波纹管，以避免第二安装腔21B2影响第一安装腔21B1真空度的密封结构，本申请的实施例中，可以降低驱动结构22提供的推力大小，因为相关技术中，驱动结构带动推杆移动时，还需要克服波纹管的阻力，所以，本申请还可以降低驱动结构的功耗。

在可以实现的实施例中，用于将第二盖板21C密封连接在第二安装腔21B2的开口处的密封结构，可以是金属密封圈或者橡胶密封圈，比如可以采用O-ring密封圈。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (20)

1.一种阀门，用于连接第一腔体和第二腔体，其特征在于，所述阀门包括：

阀体，具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上具有多个第一安装孔，所述第一安装孔自所述第一表面贯通至所述第二表面，所述第一安装孔用于安装连接所述第一腔体的第一连接件，所述第二表面上具有多个第二安装孔，所述第二安装孔用于安装连接所述第二腔体的第二连接件，所述第一表面上还开设有第一通孔，所述第一通孔用于与所述第一腔体相连通，所述第二表面上开设有第二通孔，所述第二通孔用于与所述第二腔体相连通；

设置在所述阀体内的执行结构，和与所述执行结构连接的密封块，所述执行结构能够带动所述密封块运动，以使得所述密封块打开或者关闭所述第一通孔。

2.根据权利要求1所述的阀门，其特征在于，所述多个第一安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设，所述多个第二安装孔沿着所述第二表面的周向间隔布设；

所述多个第一安装孔处于外环，所述多个第二安装孔处于内环。

3.根据权利要求1或2所述的阀门，其特征在于，沿所述第一安装孔的轴向，所述第一安装孔包括相连通的第一段和第二段，所述第一段靠近所述第二表面；

且所述第一段的孔径大于所述第二段的孔径。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的阀门，其特征在于，所述执行结构包括驱动结构和挤压结构，所述密封块设置在所述挤压结构上；

所述驱动结构与所述挤压结构连接，所述驱动结构用于带动所述挤压结构和所述密封块移动，以使得所述密封块打开或者关闭所述第一通孔；

所述挤压结构包括第一挤压件和第二挤压件，所述第一挤压件和所述第二挤压件围成有安装槽，所述密封块设置在所述安装槽内；

所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动，以关闭所述第一通孔的过程中，所述第一挤压件能够朝靠近所述第二挤压件的方向移动，以对所述密封块产生朝所述第一通孔方向移动的挤压力，使得所述密封块关闭所述第一通孔。

5.根据权利要求4所述的阀门，其特征在于，自所述安装槽的底面至所述安装槽的槽口方向，所述安装槽的横断面的面积逐渐增大。

6.根据权利要求4或5所述的阀门，其特征在于，所述第一挤压件具有用于围成所述安装槽的第一壁面，所述第二挤压件具有用于围成所述安装槽的第二壁面，所述第一壁面和所述第二壁面相对，且所述第一壁面和所述第二壁面均为倾斜的平面；

沿着所述安装槽的底面至所述安装槽的槽口的方向，所述第一壁面和所述第二壁面自所述安装槽的中心朝所述安装槽的边缘倾斜。

7.根据权利要求6所述的阀门，其特征在于，所述密封块形成有与所述第一壁面相平行的第一抵接面，和与所述第二壁面相平行的第二抵接面；

所述第一抵接面滑动设置在所述第一壁面上，所述第二抵接面滑动设置在所述第二壁面上。

8.根据权利要求4-7中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：

阻挡件，固定在所述阀体内；

所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动，以关闭所述第一通孔的过程中，所述第二挤压件能够抵接在所述阻挡件上，以使得所述第一挤压件能够朝靠近所述第二挤压件的方向移动。

9.根据权利要求8所述的阀门，其特征在于，所述第一挤压件包括多个围板，所述多个围板围城具有开口的容置腔；

所述第二挤压件位于所述容置腔内，且位于所述开口处，所述第二挤压件与所述围板滑动连接；

所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动，以关闭所述第一通孔的过程中，所述开口供所述阻挡件穿过，以使得所述第二挤压件抵接在所述阻挡件上，所述第一挤压件相对所述第二挤压件滑动。

10.根据权利要求4-9中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：

第一弹性件，所述密封块通过所述第一弹性件与所述挤压结构连接；

所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动，以打开所述第一通孔的过程中，所述第一弹性件用于给所述密封块沿背离所述第一通孔方向的弹力。

11.根据权利要求4-10中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：

第二弹性件，所述第一挤压件通过所述第二弹性件与所述第二挤压件连接；

所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动，以打开所述第一通孔的过程中，所述第二弹性件用于给所述第一挤压件沿背离所述第二挤压件方向的弹力。

12.根据权利要求4-11中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：

第一导向结构，所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动的过程中，所述第一导向结构用于引导所述密封块沿第一方向移动，所述第一方向为与所述密封块朝所述第一通孔移动相垂直的方向。

13.根据权利要求12所述的阀门，其特征在于，所述第一导向结构包括：

横板，设置在所述安装槽内，所述密封块被支撑在所述横板上，所述横板的端部连接有滚轮；

所述安装槽的壁面上开设有沿所述第一方向延伸的导向槽，所述滚轮滚动设置在所述导向槽内。

14.根据权利要求4-13中任一项所述的阀门，其特征在于，所述阀门还包括：

第二导向结构，所述驱动结构带动所述挤压结构和所述密封块移动的过程中，所述第二导向结构用于引导所述挤压结构沿第一方向移动，所述第一方向为与所述密封块朝所述第一通孔移动相垂直的方向。

15.根据权利要求14所述的阀门，其特征在于，所述第二导向结构包括：

导向轮，设置在所述挤压结构上；

所述导向轮抵接在所述阀体的内壁面上，所述导向轮能够在所述阀体的内壁面上沿着所述第一方向滚动。

16.根据权利要求4-15中任一项所述的阀门，其特征在于，

所述阀体内形成有相分离的第一安装腔和第二安装腔；

所述挤压结构和所述密封块设置在所述第一安装腔内；

所述驱动结构包括驱动器，和与所述驱动器的输出轴连接的推杆，所述驱动器设置在所述第二安装腔内，所述推杆自所述第二安装腔延伸至所述第一安装腔内，并与所述挤压结构连接，且所述推杆的延伸方向与所述密封块朝所述第一通孔移动的方向相垂直；

所述第一通孔和所述第二通孔均与所述第一安装腔相连通。

17.根据权利要求16所述的阀门，其特征在于，所述阀体的用于形成所述第二安装腔的壁面上具有开窗，所述开窗上设置有盖板，且所述盖板通过密封结构设置在所述开窗上。

18.一种互连设备，其特征在于，包括：

第一腔体；

第二腔体；

如权利要求1-17中任一项所述的阀门；

其中，所述阀门通过穿设在所述第一安装孔内的第一连接件与所述第一腔体连接，所述阀门通过穿设在所述第二安装孔内的第二连接件与所述第二腔体连接；

所述阀门的所述第一通孔与所述第一腔体相连通，所述阀门的所述第二通孔与所述第二腔体相连通。

19.根据权利要求18所述的互连设备，其特征在于，所述第二表面朝向所述第一腔体，所述第一表面朝向所述第二腔体；

所述互连设备还包括对接法兰，所述对接法兰与所述第二腔体连接；

所述第一连接件自所述第一表面穿过所述阀体与所述第一腔体固定连接；

所述第二连接件穿过所述对接法兰与所述阀体固定连接。

20.根据权利要求18或19所述的互连设备，其特征在于，所述互连设备包括用于对基板进行检测的检测设备；

所述检测设备包括：

粒子源，用于生成带电粒子，所述粒子源设置在所述第一腔体内；

多分束带电粒子系统，设置在所述第一腔体内，且设置在所述带电粒子的束路径中，所述多分束带电粒子系统用于将所述带电粒子分成多束；所述第一腔体和所述第二腔体均为真空腔体；

所述带电粒子能够经所述多分束带电粒子系统、所述第一腔体、所述阀门和所述第二腔体投射至所述基板上。