KR20140049043A - 진공 밸브 및 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로 기밀을 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재 - Google Patents

Abstract

본 발명은 선형으로 변위될 수 있는 폐쇄 부재(5), 개구부(3)를 둘러싸는 밸브 하우징(2)의 제1 밀봉면(10), 제1 밀봉면(10)에 대응하는, 폐쇄 부재(5)의 제2 밀봉면(11)을 포함하는, 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로(F)를 폐쇄하기 위한 진공 밸브(1)에 관한 것이다. 폐쇄 위치(C)에서, 제2 밀봉면(11)은 제1 밀봉면(10)과 밀봉 접촉하고, 상기 접촉은 폐쇄 방향(8)에서 제1 밀봉면(10)을 가압하고, 폐쇄 부재(5)는 개구부(3)를 기밀 방식으로 폐쇄한다. 개구부(3)와 제1 밀봉면(10) 사이의 영역에서, 밸브 하우징(2)은 개구부(3)를 둘러싸는 제1 경사면(22)을 포함하고, 폐쇄 부재(5)는 제1 경사면(22)에 평행하게 뻗고 제1 경사면(22)에 대응하는 제2 경사면(23)을 포함한다. 기하학적 조정 축선(6)에 대해 3과 15도 사이의 경사각(24)을 가지는 경사면들(22, 23)은 폐쇄 부재(5)의 폐쇄 위치(C)에서, 제2 경사면(23)이 서로부터 0과 0.6 mm의 거리(v)에서 제1 경사면(22)에 대향하는 평행 위치에 배열되도록 서로에 대해 위치된다.

Description

진공 밸브 및 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로 기밀을 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재{Vacuum valve and closure member for closing a flow path in a gas-tight manner by means of a linear movement}

본 발명은 청구항 1의 전제부에 청구된 것과 같은 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 진공 밸브 및 청구항 11의 전제부에 청구된 것과 같은 대응하는 폐쇄 부재에 관한 것이다.

청구항 1의 전제부에 청구된 것과 같은 진공 밸브들 및 청구항 11의 전제부에 청구된 것과 같은 폐쇄 부재들은 특히 제품명 "MONOVAT Series 02 및 03" (VAT Vakuumventile AG in Haag, Switzerland 사제)을 갖는 직사각형 인서트 밸브(rectangular insert valve)로서 개발되는 전환 밸브 형태로 알려져 있다. 이와 같은 밸브의 디자인 및 동작 방법은 예를 들어 US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881,717(Geiser)에 개략 방식으로 기술되어 있다.

일반적으로, 밸브 하우징에 실현되는 개구부를 통해 이어지는 유로를 실질적으로 기밀 방식으로 폐쇄하기 위한 진공 밸브들이 종래 기술로부터 다양한 실시예들로 알려져 있다. 진공 게이트 밸브들은 특히 오염된 입자들의 존재 없이 가능한, 보호된 분위기에서 발생해야 하는 집적 회로 및 반도체 제조 분야에서 사용된다. 예를 들어, 반도체 웨이퍼들 또는 액정 기판들을 위한 제조 플랜트에서, 고감도 반도체(highly sensitive semiconductor) 또는 액정 소자들(liquid crystal elements)은 공정 체임버 내에 위치된 반도체 소자들이 각각의 경우에 처리 장치에 의해 처리되는 수개의 공정 체임버들을 순차적으로 거친다. 공정 체임버 내의 처리 공정 동안 및 공정 체임버로부터 공정 체임버로 이송하는 동안, 고감도 반도체 소자들은 보호된 분위기 - 특히 진공에 위치되어야 한다. 공정 체임버들은 예를 들어 통로들에 의해 함께 연결되고, 부품들은 공정 체임버로부터 다음 공정 체임버로 전달하기 위해 진공 게이트 밸브들에 의해 공정 체임버들을 개방하고 각각의 공정 스테이지를 행하기 위해 이들을 기밀 방식으로 폐쇄하는 것이 가능하다. 이들 유형들의 밸브들은 또한 기술된 응용 분야의 결과로서 진공 전환 밸브들로서 불리고 이들의 직사각형 개구부 단면의 결과로서 직사각형 게이트 밸브들로서 불린다.

전환 밸브들이 사용됨에 따라, 그 중에서도 고감도 반도체 소자들의 제조 중, 특히 밸브의 작동에 의해 초래된 입자들의 발생 및 밸브 체임버 내의 자유 입자들의 수는 가능한 한 낮게 유지되어야 한다. 입자 발생은 주로 예를 들어 금속-금속 접촉의 결과로서 및 마모의 결과로서의 마찰의 결과이다.

진공 밸브들과 함께 사용되는 씰들에 대해 만들어지는 요구들은 매우 높다. 한편, 밸브의 기밀성(tightness)은 밸브의 폐쇄 상태에서 보장되어야 한다. 이것은 특히 밸브 폐쇄체에 작용하는 결과적으로 발생하는 큰 힘들 및 진공 영역 내에서의 높은 차압들의 결과로서 큰 도전이다. 과도하게 큰 가압량들의 경우에서와 같이, 사용되는 씰들은 위의 평균적으로 높은 마모 레벨의 지배를 받거나 파괴되고, 밸브의 디자인은 차이가 나는 가압력들이 씰들에 작용할 수 없거나 단지 제한된 방식으로 이들에 대해 작용할 수 있도록 되어야 한다. 또한, 씰에 대한 횡방향 부하들 및 길이방향 부하들은 가능한 한 작게 유지되어야 한다. 특히, 씰의 길이방향에 대해 횡방향으로 작용하는 횡방향 부하들의 경우에, O-링 씰들에는 이들이 이들의 홀더(holder), 특히 이들이 고정되는 그루브 밖으로 이동되는 위험이 있다. 심지어 가황처리된 씰들은 단지 매우 제한된 횡력들에 노출될 수 있다. 밸브의 개방 및 폐쇄 상태 모두에서, 씰들은 공격적인 매체(aggressive media)에 부분적으로 노출되고, 그 결과 이들이 영향들을 견딜 수 있고 및/또는 이들이 마모를 또한 피하기 위해 매체의 유로 밖으로 이동되는 방식으로 생성되어야 한다. 씰에 대한 과도하게 높은 마모 양은 처리 신뢰성에 대한 불확실 인자를 나타내고 씰이 정기적으로 교체될 것을 요구하는데, 이것은 공정에서 증가된 정지 시간들(down times)로 이어진다.

진공 밸브들, 특히 씰 및 그것의 구동 기술들의 여러 실시예들이 종래 기술로부터 알려져 있고 특히 그것의 목적은 사용되는 씰들의 사용 시간을 증가시키고, 공정 신뢰성을 개선하는 것이다.

각각의 구동 기술들에 의존하여, 특히 밸브 게이트들 또는 직사각형 게이트들, 및 셔틀 밸브들로도 불리는, 게이트 밸브들 간에 차이가 만들어지고, 종래 기술의 폐쇄 및 개방은 2단계로 대부분의 경우들에 실행된다. 제1 단계에서, 밸브 폐쇄 부재, 특히 게이트 밸브의 경우에, US 6,416,037(Geiser) 또는 US 6,056,266(Blecha)으로부터 알려진, 특히 L자형의 폐쇄체 액튜에이터는 실질적으로 밸브 시트에 평행한 개구부 위에서 선형으로 변위되고 또는 예를 들어 US 6,089,537(Olmsted)로부터 알려진 셔틀 밸브의 경우에, 동시에 밸브 하우징의 밸브 시트와 폐쇄체 액튜에이터 간의 어떠한 접촉도 일어나지 않고 개구부 위에서 피봇축을 중심으로 피봇된다. 제2 단계에서, 폐쇄체 액튜에이터는 개구부가 기밀 방식으로 폐쇄되도록 그것의 폐쇄체측에 의해 밸브 하우징의 밸브 시트에 가압된다. 밀봉은 예를 들어 폐쇄체 액튜에이터의 폐쇄체측에 배열되고 개구부 주위에서 놓여 있는 밸브 시트 위로 가압되는 씰에 의해, 또는 폐쇄체 액튜에이터의 폐쇄체측이 가압되는, 밸브 시트 위의 밀봉 링에 의해 실행된다. 씰, 특히 밀봉 링은 그루브 내에 유지 및/또는 가황처리될 수 있다.

다양한 씰 장치들이 종래 기술, 예를 들어 US 6,629,682 B2(Duelli)로부터 알려져 있다. 밀봉 링들에 적합한 재료는 예를 들어 Viton®의 상표명으로 알려진 탄성 밀봉 재료이다.

정밀한 방식으로 관통 흐름을 제어하기 위한 가능성과 함께, 폐쇄 부재가 씰이 밸브 시트와 접촉하지 않고 개구부 위에서 횡방향으로 우선 가압되고 이어서 폐쇄 부재가 밸브 시트에 실질적으로 수직으로 가압되는 기술된 2단계 운동의 우선의 이점은 씰이 횡방향으로 또는 길이방향으로 부하가 걸리지 않고 거의 수직으로만 가압된다는 것이다. 그러나, 특히 폐쇄 부재의 L자형 운동을 가능하게 하는 하나의 단일 드라이브에 의해 또는 복수의 드라이브들, 예를 들어, 2개의 선형 드라이브들 또는 하나의 선형 및 하나의 확장 드라이브에 의해 형성되는 드라이브의 비교적 복잡한 디자인은 불리하다. 대부분의 경우들에 폐쇄체 액튜에이터 바로 뒤에 배열되고 이들이 밸브 시트 위에 수직 방향으로 위치되는 샤프트와 관련하여 상기 폐쇄체 액튜에이터를 조정하는 확장 드라이브들은 또한 서로에 대해 상대 운동들을 행하는 다수의 기계적 부분들이 밸브 내부에 배열되는 문제점을 가진다. 이것은 한편에서는 디자인의 복잡도를 증가시키고, 다른 한편에서는 공정에 해로운 마찰 입자들의 발생을 증가시킨다. 다단계 운동의 다른 문제점은 완전 개방 상태와 완전 폐쇄 상태 사이의 폐쇄 부재의 제한된 조정 속도이다. 선형 방식으로만 조정되는 웨지 밸브들은 확실히 높은 조정 속도를 가능하게 하지만, 단지 씰에 대한 횡부하의 결과로서 진공 영역에서 메인 씰로서 사용하기 위해 제한된 방식으로 적합하고, 만약 한다면, 몇몇 조정 싸이클들에 대해서만 적합하다.

상기 문제는 폐쇄 및 밀봉 동작인 확실히 하나의 단일 선형 운동에 의해 실행되고 씰에 대한 횡방향 부하가 완전히 회피되는 방식으로 씰 기하학이 되어 있는 게이트 밸브들에 의해 해결된다. 이와 같은 밸브는 예를 들어 제품명 "MONOVAT Series 02 및 03"으로 알려진 "VAT Vakuumventile AG in Haag, Switzerland"에 의해 제조되는 전환 밸브이고, 직사각형 인서트 밸브로서 개발된다. 이와 같은 밸브의 디자인 및 동작 방법은 예를 들어 US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881,717(Geiser)에 기술되어 있다.

거기에 기술된 밸브는 밸브 통과 개구의 축선의 방향에서 보았을 때 세로로 줄지어 위치되고 밸브 통과 개구의 축선에 평행하게 놓이는 수개의 부분들을 가지는 상기 일부품 밀봉면의 가상 모선(imaginary generatrices)을 횡방향 외향으로 연장시키는 평탄한 밀봉면 부분들에 일정하게 연장하는 만곡부들에 의해 합쳐지는 부분들을 가지는 밀봉면을 그것의 하우징에 가진다. 밀봉면은 기계 가공된다. 폐쇄 부재는 원주 방향으로 폐쇄되는 씰을 위해 거기에 대응하는 지지면을 가진다. 더 상세히 기술되는, 소위 밸브 게이트는 게이트 하우징 및 그것의 평면에서 변위 가능한 폐쇄 부재에 의해 폐쇄 가능한 게이트 통과 개구부를 가진다. 게이트 통과 개구부의 영역에는, 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서 자신 위에 배열되는 원주방향으로 폐쇄되는 씰이 게이트 통과 개구의 축선에 평행하게 놓이는 밀봉면의 가상의 직선의 모선들과 맞닿는 밀봉면이 제공된다. 원주 방향으로 폐쇄되는, 일 부품 씰은 상이한 평면들에 놓이는 다양한 길이들 및 형상들의 부분들을 가지며, 원주 방향으로 폐쇄된 씰의 2개의 주요 부분들은 게이트 통과 개구부의 축선에 대해 직각들로 되어 있고 서로로부터 이격되어 있는 평면들에 놓인다. 씰의 2개의 주요 부분들은 측면 부분들에 의해 연결된다. 하우징의 밀봉면의 개발을 위해, 폐쇄 부재는 대응하는 방식으로 연장하고 원주 방향으로 폐쇄된 씰을 가지는 면을 가진다. 원주 방향으로 폐쇄된 씰의 측면 부분들은 U자형 방식으로 연장한다. 각각의 경우에, U자형 방식으로 연장하는 상기 측면 부분들의 레그들은 하나의 평면에 놓인다. 게이트 통과 개구부의 축방향에서 보았을 때 세로로 줄지어 위치되는 밀봉면의 부분들은 이들은 공통의 직선의 축방향으로 평행한 모선을 가지는 그 영역에서 씰의 주요 부분들의 맞닿음을 위해 횡방향 외향으로 연장하는 평탄한 밀봉면 부분들에 합쳐진다. 상기 평탄한 밀봉면 부분들은 서로 평행하고 게이트 통과 개구의 축선에 평행한 평면들에 놓인다.

선형 운동에 의해 폐쇄 가능한 이와 같은 전환 밸브에 적합한 드라이브는 JP 6241344(Buriida Fuuberuto)에 제공된다. 거기에 기술된 드라이브는 폐쇄 부재가 장착되는 연결봉들을 선형으로 변위시키기 위한 편심으로 장착되는 레버들을 가진다.

US 2008/0053957 A1(Wakabayashi)은 특히 다단계의 L자형 운동에 의해 또는 선형 운동에 의해 폐쇄 가능한 구부러지거나(kinked) 만곡된 밸브 단면을 가지는 기판 처리 시스템을 위한 밸브 게이트들을 기술한다.

종래 기술로부터 알려지고 US 4,809,950(Geiser)에 기술된 밸브 게이트는 도 8a 및 8b에 의해 이하에 기술된다. 단지 개략 방식으로 거기에 나타낸 밸브 게이트는 밀봉면들의 전개를 더 잘 설명하기 위해 둥근 개구부 단면을 가지며, "MONOVAT Series 02 및 03"의 제품명으로 알려지고 직사각형 인서트 밸브("VAT Vakuumventile AG in Haag, Switzerland"에 의한)로서 개발된 전환 밸브는 직사각형 개구부 단면을 가지며, 그것의 폭은 그것의 높이보다 상당히 크다.

도 8a에 나타낸 것과 같이, 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 밸브(101)는 유로를 위한 개구부(103)를 갖는 밸브 하우징(102)을 가지며, 개구부(103)는 유로를 따라 기하학적 개구부 축선(104)을 가진다. 도 8b에 나타낸 폐쇄 부재(105)는 개구부(103) 위에서 선형으로 밀리는 폐쇄 위치로 개구부(103)를 해제하는 개방 위치로부터 폐쇄 부재 평면(107)에서, 개구부 축선(104)에 대해 횡방향으로 연장하는 기하학적 조정 축선(106)을 따라 선형 방식으로 폐쇄 방향(108)에서 변위 가능하고, 도 8a에 나타낸 것과 같이 개방 방향(109)에서 다시 역으로 변위 가능하다.

도 8a 및 8b는 밸브 하우징(102) 및 폐쇄 부재(105)를 분리된 상태로 따로 따로 나타내고, 특히 조정 축선(106)은 상대 위치 및 2개의 부분들(102, 105)의 조정 가능성을 명확히 한다.

만곡된 제1 밀봉면(110)은 밸브 하우징(102)의 개구부(103)를 둘러싼다. 제1 밀봉면(110)에 대응하고 제1 밀봉면(110)에 대응하는 형상을 가지는 폐쇄 부재(105)의 제2 밀봉면(111)은 폐쇄 부재(105) 상에 배열된다. 밸브 하우징(102)의 제1 밀봉면(110)의 디자인은 특히 이하에 기술된다. 제1 밀봉면(110)에 대응하는 등가의 디자인의 결과로서, 대응하는 제2 밀봉면(111)의 상세한 설명이 함께 제공될 수 있다.

예를 들어 가황처리된 씰 또는 O-링 형태의 씰(도시하지 않음)은 바람직하게는 제2 밀봉면(111), 및/또는 제1 밀봉면(110) 위에 배열되고, 상기 씰은 각각의 밀봉면을 따라, 특히 나타낸 일점 쇄선을 따라 연장한다. 단순화를 위해, 밀봉면들(110, 111)은 씰 또는 밸브 시트인, 밀봉적으로 활성면들(sealingly active faces)로서 이하에 고려될 것이다.

제1 밀봉면(110)은 각각의 경우에 조정 축선(106)에 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들(112a, 112b, 114a, 114b)로부터 조립된다. 제1 밀봉면(110)의 부분들(112a, 112b, 114a, 114b)의 표면 수선들(120)은 각각의 경우에 조정 축선(106)과 평행한 방향 성분들을 가진다. 환언하면, 제1 밀봉면(110)의 모든 표면 수선들(120)은 적어도 부분적으로, 즉 방향 성분으로, 짧은 선들에 의해 도시된 표면 수선들(120)로 도 8a에 나타낸, 개방 방향(109)을 가리킨다. 한번 더 환언하면, 제1 밀봉면(110)은 개방 방향(109)을 수직으로 또는 경사져 가리키고 어떠한 부분에서도 조정 축선(106)에 평행하게 연장하지 않는다. 그 결과, 제1 밀봉면의 표면 수선들(120)의 어느 것도 조정 축선(106)에 의해 수직으로 관통되는 기하학적 수직 평면에 평행하게 연장한다.

제1 밀봉면(110)의 제1 주요 부분(112a)(도 8a) 및 제2 밀봉면(111)의 대응하는 제1 주요 부분(112a')(도 8b)은 기하학적 제1 주평면(113a)을 따라 연장한다. 제1 주요 부분(112a)의 표면 수선들(120)은 제1 주평면(113a)에 놓인다. 대조적으로 제1 밀봉면(110)의 제2 주요 부분(112b)(도 8a) 및 제2 밀봉면(111)의 대응하는 제2 주요 부분(112b')(도 8b)은 기하학적 제2 주평면(113b)을 따라 연장한다. 상기 주요 부분(112b)의 표면 수선들(120)은 제2 주평면(113b)에 놓인다. 제1 주평면(113a) 및 제2 주평면(113b)은 서로 이격되어 있고, 서로 평행하게 연장하고 폐쇄 부재 평면(107)에 대해 평행하게 연장한다. 그 결과, 제1 주요 부분(112a) 및 대향하는 제2 주요 부분(112b)은 서로에 대해, 조정 축선(106)에 대해 횡방향으로 및 개구부 축선(104)의 방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 개구부(103)는 조정 축선(106)을 따라 연장하는 영역에서 2개의 대향하는 주요 부분들(112a, 112b) 사이에 배열된다.

제1 밀봉면(110)의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분(114a)은 제1 밀봉면(110)의 일측 상에서 제1 주요 부분(112a) 및 제2 주요 부분(112b)을 연결하고, 제1 밀봉면(110)의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분(114b)은 제1 밀봉면(110)의 다른 측 상에서 제1 주요 부분(112a) 및 제2 주요 부분(112b)을 연결한다.

제1의 U자형 측면 부분(114a) 및 제2의 U자형 측면 부분(114b)은 각각의 경우에 제1 주요 부분(112a)과 연관된 제1 레그(115a), 제2 주요 부분(112b)과 연관된 제2 레그(115b) 및 베이스(115c)를 가진다. 각각의 경우에 2개의 제1 레그들(115a)은 각각의 경우에 조정 축선(6)과 평행하고 각각의 경우에 제1 주평면(113a) 상에 놓이는 제1 레그 평면들을 따라 연장한다. 환언하면, 2개의 제1 레그들(115a) 및 제1 주요 부분(112a)은 평면, 즉 제1 주평면(113a)을 따라 연장하고, 제1 레그(115a) 및 제1 주요 부분(112a)의 표면 수선들은 상기 제1 주평면(113a)에 놓인다. 2개의 제2 레그들(115b)은 또한 각각의 경우에 조정 축선(6)에 평행하고 각각의 경우에 제2 주평면(113b) 상에 놓이는 제2 레그 평면들을 따라 연장한다. 환언하면, 제2 레그들(115b) 및 제2 주요 부분(112b)은 평면, 즉 제2 주평면(113b)을 따라 연장하고, 2개의 제2 레그들(115b) 및 제2 주요 부분(112b)의 표면 수선들은 상기 제2 주평면(113b)에 놓인다. 또한, 제1 주요 부분(112a) 및 제2 주요 부분(112b), 따라서 2개의 제1 레그들(115a)은 2개의 제2 레그들(115b)에 대해, 조정 축선(106)에 대해 횡방향으로 및 개구부 축선(104)의 방향에서 기하학적 오프셋을 가진다.

제1의 U자형 측면 부분(114a) 및 제2의 U자형 측면 부분(114b)의 각각의 베이스(115c)는 각각의 경우에 제1 레그(115a) 및 제2 레그(115b)를 함께 연결하고 개구부 축선(104)에 평행한 방향에서 조정 축선(106)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 연결한다(bridges). 2개의 베이스들(115c)은 조정 축선(106)에 의해 수직으로 관통되는 공통의 기하학적 평면(E) 상에 놓이고 개구부 축선(104)에 평행하게 놓인다.

폐쇄 방향(108)에서 조정 축선(106)을 따라 선형 방식으로 폐쇄 부재(105)를 변위시킴으로써, 제2 밀봉면(111)은 제2 밀봉면(111)이 폐쇄 방향(8)에서 제1 밀봉면(110)을 가압하고 그 결과 제1 밀봉면(110)과 밀봉 접촉하는 폐쇄 위치로 이동될 수 있고, 그 결과로서, 폐쇄 부재(105)는 자신의 횡방향 폐쇄면(119)에 의해 기밀 방식으로 개구부(103)를 폐쇄한다.

종래 기술로부터 알려지고 단일 선형 운동에 의해 폐쇄 가능한 상기 진공 밸브는 2가지 운동들에 의해 폐쇄 가능하고 비교적 복잡하게 설계된 드라이브를 필요로 하는 전환 밸브들과 관련하여 또는 씰들이 횡단 방식으로 작용되는 웨지 밸브들과 관련하여 다수의 이점들을 가진다. 위에 기술한 진공 밸브의 폐쇄 부재는 하나의 부분으로 되어 있기 때문에, 상기 밸브가 또한 신속한 작동 및 긴급 폐쇄들을 위해 사용될 수 있도록 그것은 높은 가속력들에 노출될 수 있다. 밸브의 매우 신속한 폐쇄 및 개방이 가능하도록 폐쇄 및 밀봉은 하나의 단일 선형 운동에 의해 실행될 수 있다. 원주 씰은 자신의 부분들 모두에서 다양한 폐쇄 동작들에 대해 명백하게 재현 가능한 조건들을 제공한다. 폐쇄 동안 그리고 폐쇄 압력이 발생할 때 씰이 실질적으로 씰 위로 수직 방향에서 또는 부분적으로 길이방향에서 선형 폐쇄 운동의 방향에서, 그러나 씰에 대한 횡력들이 회피되도록 자신의 길이방향 연장부에 대해 횡방향에서만 작동되기 때문에, 상기 진공 밸브는 진공 및 고진공 범위 내에서 크게 제한적인 밀봉 태스크들에 적합하다. 밀봉면들은 또한 씰에 대해 만들어지는 높은 요구들을 만족시키기 위해 기계가공된다. 폐쇄 부재 자체는 서로를 향해 이동되는 가능한 적은 부분들을 가지며, 그 결과 공정에 위험하고 특히 마찰, 특히 금속 및 플라스틱 재료 요소들의 마모 및 마멸 입자들에 의해 생기는 입자들의 발생이 광범위한 방식(extensive manner)으로 회피될 수 있다.

그러나, 도 8a 및 8b로부터 알 수 있는 것과 같이, 기술된 밸브(101)의 문제점은 개구부(103)에 횡방향으로 가까이에 배열되는 2개의 측면 부분들(114a, 114b)이 개구부(103)의 폭과 관련하여 밸브 하우징(102)의 폭을 증가시킨다는 것이다. 그 결과 2개의 밀봉면들(110, 111)의 U자형 이행 영역들은 밸브 하우징(102)의 연장부의 폭을 증가시킨다. L자형 운동 전개(L-shaped movement development)를 갖는 L자형 게이트 밸브들에 비해, 기술된, 선형으로 조정 가능한 밸브(101)는 상대적으로 넓다. 수 많은 응용들의 경우에, 이것은 문제가 되지 않으나, 특히 개구부 폭이 미리 정해진 하우징 폭을 유지하면서 가능한 한 크게 되어야 하는 전환 밸브들의 동작 범위들이 있다. 더 가파른 방식으로 올라가는 주요 부분들(112a, 112b)의 횡방향 플랭크들을 가지며 그 결과 표면 수선들(120)과 조정 축선(106) 사이의 각도를 크게 하는 것이 확실히 가능할 수 있고, 그 결과 밀봉면들(110, 111)의 정렬은 조정 축선(106)에 대해 평행한 정렬로 접근할 수 있지만, 그 결과 씰에 대한 길이 방향 부하가 가파른 플랭크들의 영역에서 자신의 길이 방향 전개에 따라 증가될 수 있다. 이것은 개구부 폭과 관련하여 밸브의 설치 폭을 확실히 감소시킬 수 있지만, 씰은 더 많이 마모될 수 있다.

기술된 밸브의 가장 큰 이점은 자신의 전개의 결과로서, 씰이 폐쇄 중 씰의 길이방향 연장부에 대해 횡방향에서 횡방향 부하를 받지 않는다는 것이다. 한편, 개구부 축선(104)에 대한 그것의 횡방향 연장의 결과로서, 씰은 개구부 축선(104)을 따라 폐쇄 부재(105) 상에서 발생하고 특히 폐쇄 부재(105), 자신의 드라이브 및 견고한 방식으로 설계되는 자신의 장착 배열을 필요로 하는, 많은 양의 차압이 있는 폐쇄 부재(105) 위에 작용할 수 있는 힘들을 거의 흡수할 수 없다.

비록 기술한 밸브는 엄청나게 작은 입자 발생에 의해 이미 구분되지만, 밸브 내에서 원치 않는 입자의 발생을 더 감소시키기 위한 시도들이 또한 있다.

다양한 공정들에서, 상당한 정도까지 화학적으로 씰의 밀봉 재료를 공격하는 공격적인 가스들 - 예를 들어 공격적인 플라즈마 흐름 - 이 사용된다. 이것은 특히 반도체 산업의 영역에서 에칭 공정들 또는 코팅 공정들에서의 경우이다. 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 특히 폐쇄된 밸브 디스크의 경우에조차, 밸브 디스크의 다이나믹 메인 씰은 상기 매체가 다이나믹 메인 씰로 이동하고 그것에 의해 차단되기 때문에 밸브의 일측 상에 존재하는 공격적인 매체에 끊임 없이 노출된다. 그 결과, 밸브 디스크의 다이나믹 메인 씰은 공격적인 매체에 노출되고 어떤 증가된 양으로 마모된다.

반도체 기술에서의 진보의 결과, 진공 밸브 기술들에 대한 수요들이 지난 몇년에 걸쳐 끊임없이 증가되어 왔다. 그 결과 새로운 반도체 제조 방법들은 훨씬 더 짧은 간격으로 교체될 진공 밸브의 씰들을 필요로 한다. 종래 기술로부터 지금까지 알려진 진공 밸브들은 씰이 예를 들어 스태틱 씰(static seal)로서 실현되는 0-링을 교체함으로써 부분적으로 교체되게 한다. 진공 밸브들 - 그것의 접속들이 가황처리된 스태틱 씰들을 가짐 - 은 씰을 신속하게 교체하게 하지만, 종종 전체 밸브 디스크가 교체되어야 하는 것이 불가능하다.

이러한 이유 때문에, 알려진 유형의 진공 밸브들은 다이나믹 씰의 단순 교체가 예를 들어 씰이 배열되는 밸브 디스크를 제거하고 밸브 디스크를 새로운 밸브 디스크로 교체하는 것에 의해 가능한 방식으로 규칙적으로 설계된다. 밸브 디스크의 단순한 제거를 위해 유지보수 개구부 및 밸브 디스크와 밸브 드라이브의 연결봉 사이의 신속한 교체에 적합한 인터페이스 및 적합한 다기능 공구를 제공하는, 이러한 목적을 위해 설계된 진공 게이트 밸브는 US 7,134,642(Seitz)에 기재되어 있다.

그러나, 심지어 씰 또는 씰들 또는 전체 밸브 폐쇄체의 상대적으로 신속하고, 단순한 교체는 공정의 중단, 가능하게는 주변 공기에 의한 체임버들의 플러딩(flooding) 및 교체 부품들의 사용을 필요로 한다. 씰들의 사용 기간을 증가시키고 그 결과 유지보수 및 교체 주기들을 증가시키는 것이 바람직할 수 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 실질적으로 기밀 방식으로 유로를 차단하기 위한 밸브 및 상응하는 폐쇄 부재를 제공하는 것이고, 그것의 다이나믹 씰은 증가된 사용 기간을 가진다.

본 발명의 다른 목적은 도입부에서 언급한 유형의 진공 밸브 및 단순한 설계, 높은 조정 속도, 씰에 대한 작은 부하, 감소된 설치 폭 및 증가된 부하능력(loadability)에 의해 구분되는 대응하는 폐쇄 부재를 생성하는 것이다.

상기 목적들은 독립 청구항들의 특징들의 실현에 의해 달성된다. 본 발명을 대안 또는 유리한 방식으로 더 발전시키는 특징들은 종속 청구항들에서 발견될 수 있다.

선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 본 발명에 청구된 진공 밸브는 유로를 위한 개구부를 갖는 밸브 하우징 및 조정 축선을 따라 선형 방식으로 변위 가능한 폐쇄 부재를 구비한다. 유로는 일반적으로 2개의 영역들 사이에서 - 특히 예를 들어 태양 또는 다른 응용들을 위한 임의의 유형의 2개의 코팅 플랜트들 사이에서, 또는 반도체 제조를 위한 공정 체임버와 다른 공정 체임버 또는 외부 세계 사이에서 폐쇄되어야 하는 개방 유로로서 이해되어야 한다. 유로는 예를 들어 2개의 상호접속 공정 체임버들 사이의 통로(corridor)이고, 그것은 하나의 공정 체임버로부터 다음 공정 체임버로 반도체 부품들을 이송하기 위해 진공 밸브에 의해 공정 체임버들을 개방하고, 이어서 각각의 제조 단계를 실행하기 위해 이들을 기밀 방식으로 폐쇄하는 것이 가능하다. 기술된 응용 분야의 결과로서, 이들 유형들의 밸브들은 또한 진공 전환 밸브들로도 불리고 대부분의 경우들에서 이들의 직사각형 단면의 결과로서, 직사각형 게이트들로도 불린다. 그러나, 명백히, 실질적으로 기밀 방식으로 임의의 유로를 폐쇄하기 위한 본 발명에 청구된 진공 밸브의 어떠한 다른 임의의 응용이 가능하다.

개구부는 임의의, 특히 직사각형, 원형 또는 타원형 단면을 가질 수 있다. 진공 밸브는 바람직하게는 기다란 특히 실질적으로 직사각형 개구부 단면을 갖는 전환 밸브로서 실현되고, 조정 축선에 직각에서의 개구부의 폭은 바람직하게는 조정 축선에 평행한 개구부의 높이의 적어도 2배 또는 적어도 3배 또는 적어도 5배이다. 그러나, 개구부 단면은 다른 방식으로 예를 들어 원형 방식으로 발전시키는 것이 또한 가능하고, 진공 밸브는 예를 들어 펌프 밸브이다. 개구부는 상기 유로에 평행한 유로의 중심에서 개구부의 영역에서 연장하는 중심 축선을 가진다. 상기 기하학적 개구부 축선은 예를 들어 개구부에 의해 이어지는(spanned) 면 위에서 수직으로 되어 있고 유로를 따라 연장한다.

폐쇄 부재는 개구부가 기밀 방식으로 폐쇄될 수 있는 폐쇄체이다. 밸브 디스크로서 실현될 수 있는 폐쇄 부재는 개방 위치와 폐쇄 위치 사이의 폐쇄 부재면에서, 개구부 축선에 대해 횡방향으로 연장하는 기하학적 조정 축선을 따라 선형 방식으로 변위 가능하다. 조정 축선은 바람직하게는 개구부 축선에 대해 수직으로 연장하고 개구부 축선에 의해 수직으로 관통되는 평면 위에 놓인다. 이것에 대한 대안으로서, 조정 축선은 개구부 축선에 대해 경사지고 평행하지 않게 연장하고, 교차각은 특히 90도와 45도 사이에 있다. 기하학적 조정 축선은 기하학적 폐쇄 부재면 위에 놓인다. 폐쇄 부재면은 폐쇄 요소에 의해 규정되는 폐쇄면에 평행하게 연장할 수 있고, 바람직하게는 실질적으로 개구부에 의해 이어지는(spanned) 면에 평행하다. 폐쇄 부재면은 조정 축선이 놓이고 특별한 실시예에서 폐쇄면의 실제 형상과 무관하게 개구부 축선이 표면 수선을 형성하는 기하학적 면으로서 이해되어야 한다.

폐쇄 부재의 개방 위치에서, 폐쇄 부재는 개구부의 돌출 범위(projection range) 밖에 부분적으로 또는 완전히 배열됨으로써 개구부를 부분적으로 또는 완전히 해제한다. 폐쇄 위치에서, 폐쇄 부재는 개구부의 돌출 범위 내에 완전히 위치되고, 폐쇄 부재의 폐쇄면은 개구부를 나타내고 개구부를 바람직하게는 완전히 덮는다. 개방 위치로부터 폐쇄 위치로의 조정 축선에 따른 폐쇄 부재의 조정 방향은 폐쇄 방향으로 불리고, 한편 폐쇄 위치로부터 개방 위치로의 대향 조정 방향은 개방 방향으로서 규정된다.

개구부는 밸브 하우징과 연관된 적어도 부분적으로 만곡된 제1 밀봉면에 의해 둘러싸인다. 이것은 제1 밀봉면이 개구부를 빙 둘러 배열되는 것을 의미한다. 제2 밀봉면 - 그것의 형상은 제1 밀봉면에 대응함 - 은 폐쇄 부재 위에 위치된다. 그러므로, 제2 밀봉면은 제1 밀봉면에 대응하고, 밀봉면들은 제2 밀봉면이 제1 밀봉면 위에 배치될 수 있도록 서로에 대응하는 형상을 가지며, 밀봉면들은 조정 축선에 평행한 방향에서 일정한 양만큼 이들의 전개부(development)를 따라 이격되어 있다. 폐쇄 부재의 제2 밀봉면은 그것이 개구부를 완전히 덮을 수 있는 치수로 되어 있는 폐쇄 부재의 폐쇄면을 둘러싼다.

제1 밀봉면 및 제2 밀봉면은 서로 대향하여 놓이고, 그것은 조정 축선을 따라 폐쇄 부재를 조정하여 대향 위치에 대한 간격을 감소 또는 증가시키는 것이 가능하다.

폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 제2 밀봉면들은 제1 밀봉면 위에 놓이고, 밀봉면들 간의 기밀 접촉은 폐쇄 방향에서 제1 밀봉면으로 제2 밀봉면을 가압함으로써 실행된다.

각각의 경우에, 제1 밀봉면 및 제2 밀봉면은 각각의 경우에 조정 축선에 대해 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들로부터 조립된다. 환언하면, 제1 밀봉면 및 제2 밀봉면 부분들의 표면 수선들은 각각의 경우에 조정 축선과 평행한 방향 성분들을 가진다. 그 결과, 제1 밀봉면은 개방 방향에서 수직으로 또는 경사져 있고 제2 밀봉면은 폐쇄 방향에서 수직으로 또는 경사져 있다. 만약 밀봉면들이 폐쇄 위치에서 포개져 놓이고 폐쇄 방향에서 서로에 대해 가압되면, 사이에 놓이는 씰은 배타적으로 길이방향으로 또는 심지어 횡방향으로 작용되지 않지만, 또한 적어도 부분적으로 끊임없이 수직으로 가압된다. 제1 및 제2 밀봉면의 개개의 부분들은 이들이 폐쇄 위치에서 차례로 쌓여 놓이는 한 서로 대응한다. 그 결과, 부분적으로 제1 밀봉면의 각각의 부분만이 이하에 기술된다.

일반적으로, 폐쇄 위치에서 차례로 쌓여 놓이고 밀봉 접촉을 형성하는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 이들 면들은 밀봉면들로서 이해되어야 한다. 따라서, 하나의 밀봉면은 수직으로 바깥을 향하는 씰, 특히 O-FLD 씰 또는 가황처리된 씰의 부분에 의해 형성될 수 있고, 다른 밀봉면은 밸브 시트, 즉 씰의 지지면에 의해 형성된다. 따라서, 밀봉면들은 폐쇄 위치에서의 상호 접촉의 결과로서 기밀 밀봉을 실제 초래하는 이들 면들이다. 씰은 바람직하게는 폐쇄 부재 위에 배열될 수 있지만, 이것에 대한 대안으로서 또한 밸브 하우징 위에 또는 양 부분들 위에 배열될 수 있다.

제1 밀봉면 및 제2 밀봉면은 각각의 경우에, 실질적으로 기하학적 제1 주면을 따라 연장하는 제1 주요 부분을 가진다. 제1 주요 부분은 각각의 경우에 길이방향으로 제1 주면을 따라 연장한다. 제1 주요 부분은 제1 주면에서 직선 또는 비직선 방식으로 또는 실질적으로 제1 주면을 따라 연장할 수 있다. 특히, 그것은 만곡된 형상을 가질 수 있다. 제1 주요 부분은 제1 주면에서 기하학적으로 정밀한 방식으로 강제로 연장하지 않아야 한다.

또한, 제1 밀봉면 및 제2 밀봉면은 각각의 경우에, 제2 주요 부분을 가지며, 그것의 형상은 특수한 실시예에서 실질적으로 제1 주요 부분에 대응할 수 있다. 그러나, 제1 주요 부분들 및 제2 주요 부분들이 상이한 형상들을 가지는 것이 또한 가능하다. 제1 및 제2 밀봉면의 각각의 제2 주요 부분은 공통의 기하학적 제2 주면을 따라 연장하고, 단지 제1 주요 부분으로서, 그것은 또한 제2 주면에서 직선 또는 비직선 방식으로 연장할 수 있고 또는 오직 실질적으로 동일한 것을 따라 연장할 수 있다.

기하학적 제1 주면 및 기하학적 제2 주면은 실질적으로 서로 평행하고, 약간 경사진 위치가 가능하고, 적어도 밀봉면들의 영역에서 이격되어 있다. 제1 및 제2 주면들은 실질적으로 폐쇄 부재면에 평행하게 놓인다. 그 결과 폐쇄체 축선은 실질적으로 제1 및 제2 주면에 평행하게 연장한다. 2개의 주면들 사이의 간격의 결과로서, 제1 주요 부분 및 대향하는 제2 주요 부분은 서로에 대해, 실질적으로 개구부 축선의 방향에서, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다.

개구부는 조정 축선을 따라 연장하는 영역에서 밸브 하우징의 제1 밀봉면의 대향하는 제2 주요 부분과 제1 주요 부분 사이에 배열된다. 폐쇄 부재의 폐쇄면은 제2 밀봉면의 제1 및 제2 주요 부분 사이에 놓인다.

제1 밀봉면의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분은 제1 밀봉면의 일측 상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 함께 연결하고, 제1 밀봉면의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분은 제1 밀봉면의 다른 측 상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 함께 연결하고, 그 결과 제1 밀봉면이 폐쇄된다. 대응하는 U자형 측면 부분들은 제2 밀봉면 상에 배열된다.

제1의 U자형 측면 부분 및 제2의 U자형 측면 부분은 각각의 경우에 제1 주요 부분과 연관된 제1 레그, 제2 주요 부분과 연관된 제2 레그로부터 조립되고, 특수한 실시예에서, 동일한 것 및 베이스에 의해 형성된다. 상기 베이스는 예를 들어 2차원 원호, 평면 또는 나선의 3차원 세그먼트로서 실현되거나 레그들을 연결하기 위해 다른 형상을 가진다.

제1 밀봉면의 제1의 U자형 측면 부분의 제1 레그는 특히 실질적으로 제1의 U자형 측면 부분의 제1 레그 평면을 따라 연장한다. 제1 밀봉면의 제2의 U자형 측면 부분의 제1 레그는 또한 특히 실질적으로 제2의 U자형 측면 부분의 제1 레그 평면을 따라 연장한다. 제1 밀봉면의 상기 2개의 제1 레그 평면들은 바람직하게는 조정 축선에 평행하게 연장한다. 환언하면, 2개의 제1 레그들은 각각의 경우에 실질적으로 조정 축선에 평행한 제1 레그 평면들을 따라 연장한다. 또한, 주면들의 경우에서와 같이, 제1 레그들은 강제적으로 정밀하게 제1 레그 평면들 상에 놓일 필요는 없다. 예를 들어, 레그 평면에 따른 레그들의 약간 만곡된 전개(slightly curved development)가 가능하다. 이것에 대한 대안으로서, 레그들은 자유-형상 면들 상에 놓일 수 있다.

제1 밀봉면의 2개의 제2 레그들은 또한 특히 각각의 경우에 실질적으로 각각의 경우에 조정 축선에 평행하게 연장하는 제2 레그 평면을 따라 연장한다. 상기 제2 레그 평면들은 특수한 실시예에서 제2 주면에 의해 형성될 수 있다.

제1 레그 및 제2 레그는 각각의 경우에, 서로에 대해, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 상기 오프셋은 특수한 실시예에서 2개의 주요 부분들의 오프셋에 대응할 수 있다. 각각의 경우에 한쌍의 레그들 사이에 배열되는 각각의 베이스는 각각의 경우에 제1 레그 및 제2 레그를 함께 연결하고 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 브리지한다.

본 발명의 제1 양상에 청구된 것과 같이, 밸브의 폐쇄 위치에서 밸브의 2개의 주 밀봉면들 사이에 밀봉 접촉이 생성되지 않을 뿐만 아니라, 또한 개구부 주위에서 폐쇄 부재의 조정 축선에 평행하지 않거나 또는 폐쇄 부재 상에 배열되는 2개의 경사면들의 결과로서, 장벽이 가까이 또는 접촉 대향 위치에 있고 그 결과 밸브의 2개의 주 밀봉면들로부터 더 멀리에 공격적인 매체를 유지하는 폐쇄 위치에서 2개의 경사면들에 의해 개구부의 영역과 밀봉면들 사이에 생성된다. 환언하면, 2개의 경사면들은 쐐기형 추가 씰 또는 개구부와 주 씰 사이에서 작용하는 프리-씰을 형성한다.

밸브 하우징은 개구부와 제1 밀봉면 사이의 영역에 개구부를 둘러싸는 제1 경사면을 가진다. 환언하면, 특히 제1 밀봉면의 상이한 부분들과 개구부 사이에서 반경 방향으로 연장하는 링-형상 또는 프레임-형상 제1 경사면은 개구부를 빙 둘러 배열된다. 제1 경사면은 바람직하게는 개구부에 의해 안쪽에 및 제1 밀봉면에 의해 바깥쪽에 직접적으로 또는 간접적으로 규정된다. 폐쇄 부재는 제1 경사면에 평행하게 연장하고 제1 경사면에 대응하고 제1 경사면에 대응하는 형상을 가지는 제2 경사면을 가진다. 이것은 2개의 경사면들이 개구부를 빙 둘러 적어도 부분적으로 기능적인 방식(functional manner)으로 서로 대응하는 형상을 가지며 포개져 또는 개구의 둘레를 따라 일정한 간극을 갖고 거의 포개져 놓이도록 이동될 수 있다는 것을 의미한다.

양 제1 경사면 및 제2 경사면은, 밸브 하우징의 제1 경사면이 개방 방향으로 경사져 향하고 폐쇄 부재의 제2 경사면이 폐쇄 방향으로 경사져 향하도록 - 적어도 폐쇄 위치에서 또는 폐쇄 부재의 개방 위치에서 - 각각의 경우에 폐쇄 부재면과 관련하여 특정 경사각으로 경사져 그리고 확실히 약간 경사져 있다. 이것은 서로 평행한 2개의 경사면들이 평행하지 않게 놓이지만 폐쇄 부재면에 거의 평행하고 또는 평행하지 않지만, 거의 조정 축선에 평행하고, 조정 축선과 관련하여 경사져 있고, 즉 지정된 특정 경사각으로 경사져 있다는 것을 의미한다. 제1 경사면 및 제2 경사면은 이들의 기하학적 연장부들에서 기하학적 조정 축선에 의해 지정된 특정 경사각으로 교차된다.

본 발명에 청구된 것과 같이, 상기 경사각은 3과 15도 사이에 있다. 환언하면, 2개의 경사면들은 폐쇄 부재면과 관련하여 3과 15도 사이만큼 경사지게 설정된다.

제1 경사면 및 제2 경사면은 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서의 제2 경사면이 서로에 대해 0과 0.6 mm 사이의 상대 간격으로 제1 경사면과 대향하는 평행 위치에서 배열되는 그와 같은 방식으로 서로에 대해 놓인다. 환언하면, 2개의 경사면들은 폐쇄 위치에서의 경사면들 사이의 수직 간격이 단지 여전히 0과 0.6 mm 사이에 있고 밸브의 개구부를 지탱하는 공격적인 매체가 밸브의 제1 및 제2 밀봉면으로 직접 침투하는 것이 방지되는 방식으로 개방 위치로 폐쇄 위치로 폐쇄 부재를 조정하는 결과로서 폐쇄 방향으로 쐐기형 방식으로 서로를 향해 이동 가능하다. 개구부 전체 주위에서의 간격은 바람직하게는 실질적으로 동일한 값이고, 바람직하게는 10%이하는 거절된다(rejected). 간격이 0과 같은 한, 경사면들 사이의 개구부 전체 주위에 접촉이 있다.

가능한 실시예에 있어서, 밸브 하우징의 제1 경사면 및 폐쇄 부재의 제2 경사면 모두는 비탄성 방식으로 실현된다. 이것은 2개의 경사면들이 원하는 탄성 재료로 구성되지 않는다는 사실을 말한다. 특히, 2개의 경사면들은 밸브 하우징 또는 폐쇄 부재의 기본 재료의 기계 가공 면들이다. 특히, 2개의 경사면들은 금속면들에 의해 형성된다. 상기 실시예에서, 진공 밸브는 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서의 경사면들이 가능한 한 작지만, 폐쇄 위치에서 서로에 대해 2개의 경사진 표면들 간의 터칭 접촉이 회피되는 방식으로 실현된다. 2개의 금속 경사면들이 사용되는 이와 같은 접촉은 마찰 입자들의 발생을 초래할 수 있고, 그 결과 공정의 순수성(purity)이 가능하게는 입자 발생의 결과로서 위험해질 수 있다. 매우 양호한 결과들이 공격적인 매체의 유형에 의존하여 달성되고, 0.05 mm와 0.6 mm 사이의 2개의 경사면들 간의 간격 및 최적 결과들이 0.05 mm와 0.3 mm 사이의 간격으로 달성된다. 0.6 mm이하의 이와 같은 작은 간극의 결과로서, 공격적인 매체는 상기 씰이 광범위하게 보호되는 방식으로 메인 씰로 방해받지 않고 통과할 수 있다.

대체로 완전한 방식으로 메인 씰이 공격적인 매체와 직접 접촉하는 것을 방지하기 위해, 본 발명은 또한 제1 경사면 또는 제2 경사면이 추가의 탄성 씰에 의해 형성되는 것을 제공한다. 양 제1 및 제2 경사면이 추가의 탄성 씰들에 의해 형성되는 것이 또한 가능하다. 이 경우에 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서의 2개의 경사면들 사이의 간격은 0과 같다. 환언하면, 이 경우에, 2개의 경사면들은 폐쇄 위치에서 서로 접촉하고 특히 - 적어도 약간 - 밀봉 접촉이 개구부 전체 주위의 경사면들에 의해 생성되도록 약간 압착되고, 그 결과 더 외측에 놓이는 주 밀봉면들, 특히 탄성 메인 씰이 보호된다. 적어도 하나의 추가의 탄성 씰이 밸브 하우징 및/또는 폐쇄 부재 위에서 그루브 내에 배열되는, 예를 들어 O-링에 의해 형성될 수 있다. O-링은 임의의 단면이고, 그러나, 바람직하게는 원형 단면, 콩팥형 단면 또는 X-형 단면을 가질 수 있다. 이러한 유형의 단면을 갖는 O-링은 예를 들어 TRELLEBORG사제의 상표명 QUADRING®으로 알려져 있다. 이것에 대한 대안으로서, 추가의 탄성 씰이 밸브 하우징 및/또는 폐쇄 부재에 대해 가황처리되는 씰에 의해 형성되는 것이 가능하다.

메인 씰을 보호하기 위해 그렇지만 또한 밸브에 의해 분리될 수 있는 2개의 영역들의 전기 차폐를 가능하게 하기 위해, 본 발명은 밸브 하우징의 제1 경사면이 전위에 관해 밸브 하우징과 결합되는 전기 전도 금속면으로서 실현되고 제2 경사면이 폐쇄, 전기 전도 보호 실드로서 실현되는 추가의 발전양상의 틀 내에서 제공한다. 상기 전기 전도 보호 실드는 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 그것이 개구부를 완전히 덮고 개구부 전체 주위에서 제1 경사면에 전기적으로 접속되는 방식으로 폐쇄 부재 상에 배열된다. 폐쇄 위치에서의 간격은 개구부 전체 주위에서 전기 접촉을 생성하기 위해 0과 같다. 밸브 하우징과의 상기 전반적인 상기 전기 접촉의 결과로서, 보호 실드는 퍼텐셜 전기 방식(potential electrical manner)으로 밸브 하우징과 결합된다.

본 발명의 추가의 발전양상은 밸브 하우징 및/또는 폐쇄 부재가 특히 밸브 하우징의 제1 경사면과 제1 밀봉면 사이의 링형 또는 프레임형 영역에, 특히 그와 같은 방식으로 배열되고 밸브 하우징과 폐쇄 부재 사이의 간격이 리세스의 영역에서 적어도 0.8 mm, 특히 0.8과 6 mm 사이에 있는 밸브 하우징 및/또는 폐쇄 부재 상에 그와 같은 방식으로 전개되는 그루브 또는 언더컷 형태로, 제1 경사면을 둘러싸는 리세스를 가지는 것을 제공한다. 환언하면, 채널형 리세스는 제1 경사면을 둘러싼다. 경사면에 관한 상기 채널형 리세스의 깊이는 바람직하게는 0.8과 5 mm 사이에 있다. 상기 리세스에 의해, 상기 매체가 주 밀봉면들에 추가로 관통되는 것이 추가로 차단되도록 매체가 소용돌이 치도록 경사면들 사이에서 좁은 영역을 관통하게 하는 래버린스형 난류 구조가 생성된다. 상기 리세스의 폭은 특히 그것의 깊이의 1/4 내지 4, 특히 1/2 내지 2이다.

또한, 본 발명의 제1 양상은 폐쇄 부재, 특히 도입부에 기술된 본 발명에 청구된 진공 밸브를 구비한다. 폐쇄 부재의 특징들은 이미 진공 밸브 및 본 발명에 청구된 그것의 다양한 추가의 발전양상들과 함께 직간접적으로 기술되었기 때문에, 위에서 행해진 설명들이 참조된다.

선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재는 폐쇄 부재면 및 제2 밀봉면에 기하학적 조정 축선을 가진다. 상기 제2 밀봉면은 각각의 경우에 조정 축선에 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들로부터 조립된다. 제2 밀봉면의 부분들의 표면 수선들은 각각의 경우에 조정 축선에 평행한 방향 성분들을 가진다. 그 결과 제2 밀봉면은 조정 축선의 개방 방향에 수직으로 또는 경사져 있다. 제2 밀봉면의 제1 주요 부분은 기하학적 제1 주면을 따라 실질적으로 연장한다. 제2 밀봉면의 제2 주요 부분은 기하학적 제2 주면을 따라 실질적으로 연장한다. 제1 주면 및 제2 주면은 조정 축선에 평행하게 연장하고, 서로로부터 이격되어 있고 폐쇄 부재면에 실질적으로 평행하게 연장한다. 그 결과, 제1 주요 부분 및 대향하는 제2 주요 부분은 서로에 대해, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 제2 밀봉면의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분은 제2 밀봉면의 일측 상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 연결하고, 밀봉면의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분은 제2 밀봉면의 다른 측상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 연결한다. 제1의 U자형 측면 부분 및 제2의 U자형 측면 부분은 각각의 경우에 제1 주요 부분과 연관되는 제1 레그, 제2 주요 부분과 연관된 제2 레그 및 베이스를 가진다. 제1 레그 및 제2 레그는 서로에 대해, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 각각의 베이스는 각각의 경우에 제1 레그 및 제2 레그를 연결하고 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 브리지한다. 제2 밀봉면에 의해, 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 진공 밸브의 개구부를 폐쇄하기 위해 진공 밸브의 제1 밀봉면과의 밀봉 접촉은 조정 축선의 폐쇄 방향으로 제1 밀봉면 위에 선형 방식으로 제2 밀봉면을 가압하여 생성 가능하다.

본 발명에 청구된 것과 같이, 폐쇄 부재의 제2 경사면은 제2 밀봉면의 부분들 사이의 영역에 배열된다. 제2 경사면은 제1 경사면이 폐쇄 방향에 대향하는 개방 방향에서 경사져 있고, 경사각으로 기하학적 조정 축선에 의해 그것의 기하학적 연장부에 의해 교차되는 방식으로 폐쇄 부재면과 관련하여 경사각으로 경사진다. 경사각은 3과 15도 사이에 있다. 제2 경사면은 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 제2 경사면이 개구부를 둘러싸고 개구부와 제1 밀봉면 사이의 영역에 배열되는 제1 경사면에 대향하는 평행 위치로 이동 가능한 방식으로 실현된다.

폐쇄 부재의 제1 더욱 발전양상에서 청구된 것과 같이, 제2 경사면은 폐쇄 위치에서 개구부가 완전히 덮일 수 있는 폐쇄, 전기 전도 보호 실드로서 실현된다. 이것에 대한 대안으로서, 제2 경사면은 특히 그루브에 배열되는 O-링 - 상기 O-링은 특히 원형 단면, 콩팥형 단면 또는 X-형 단면을 가짐 - 에 의해 형성되는 추가의 탄성 씰, 또는 폐쇄 부재에 대해 가황처리되는 씰에 의해 형성된다.

본 발명의 언급한 제1 양상은 도입부에 이미 기술되고, 특히 "VAT Vakuumventile AG in Haag, Switzerland"에 의한 제품명 "MONOVAT Series 02 및 03"으로 종래 기술로부터 알려져 있고, 예를 들어 US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881, 717(Geiser)에 기재된 전환 밸브의 특징들과 결합 가능하다.

밸브 및 폐쇄체 액튜에이터의 알려진 남은 설계의 상기 경우에, 2개의 제1 레그들은 각각의 경우에 실질적으로 조정 축선에 평행한 제1 레그 평면들에 따라 연장한다. 2개의 제2 레그들은 또한 조정 축선과 평행한 제2 레그 평면들을 따라 실질적으로 연장한다. 제1 주면, 제2 주면, 폐쇄 부재면, 제1 경사면 및 제2 경사면은 각각의 경우에 기하학적 평면에 의해 형성되고. 제1 레그 평면들은 제1 주면의 기하학적 평면 위에 놓이고 제2 레그 평면들은 제2 주면의 기하학적 평면 위에 놓인다. 그러나, 또한 특히 조정 축선에 평행한 곡률 축선에 대해 주면들은 만곡되거나 구부러지는 것이 가능하다.

본 발명의 제1 양상과 조합 가능하고 그 역이 가능한 본 발명의 제2 양상에 청구된 것과 같이, 제1 레그 평면들은 각각의 경우에 그것과 관련된 제1 주면에 대해, 각각의 경우에 인접, 기하학적 제1 접평면과 관련하여 적어도 15도만큼 기울어져 있다. 환언하면, 제1 레그들은 제1 주요 부분의 제1 접평면들 또는 제1 주면으로 연장하지 않지만, 적어도 15도만큼 상기 제1 주면 또는 제1 접평면들 밖으로 피봇되고, 피봇축은 조정 축선에 평행하게 연장한다. 제1 주요 부분으로 각각의 제1 레그로 제1 밀봉면의 이행을 가능하게 하기 위해, 제1 밀봉면의 제1 만곡 부분은 각각의 경우에 제1 밀봉면의 제1 주요 부분과 2개의 제1 레그들 사이에 배열된다. 제1 주면을 따라 제1 주요 부분으로 연장하는 제1 밀봉면은 제1 주요 부분들의 2개의 단부들에서 각각의 제1 만곡 부분에 합쳐진다. 제1 주요 부분으로부터 하나의 제1 만곡 부분 및 다른 제1 만곡 부분으로의 상기 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제1 접평면으로 실행된다. 하나의 제1 접평면은 제1 주요 부분의 하나의 단부에서의 제1 주면의 접평면이다. 다른 제1 접평면은 제1 주요 부분의 다른 단부에서의 제1 주면의 접평면이다. 2개의 제1 접평면들은 실질적으로 조정 축선에 평행하다. 2개의 제1 레그 평면들은 각각의 경우에 각각의 제1 접평면과 관련하여 적어도 15도만큼 경사져 있다. 그 결과, 제1 주요 부분에서 제1 주면을 따라 연장하는 제1 밀봉면은 특히 기하학적 만곡부에 의해 적어도 15도만큼 제1 주면 밖으로 안내되고, 각각의 경우에 각각의 제1 레그 평면에 합쳐진다. 상기 안내(guiding out) 및 이행은 각각의 경우에 제1 만곡 부분에서 실행된다. 환언하면, 상기 각각의 제1 만곡 부분에 의해, 제1 주면을 따라 제1 주요 부분에서 연장하는 제1 밀봉면은 그러므로 언급한 적어도 15도만큼 제1 주면 밖으로 안내되고, 제1 레그 평면에 합쳐진다. 그러므로, 각각의 제1 만곡 부분은 피봇축의 영역에서 위치되고 제1 주면으로부터 제1 레그 평면으로 제1 밀봉면의 이행을 가능하게 한다. 제1 만곡 부분은 기하학적 만곡부, 원호, 평면들 사이의 킹크(kink) 또는 다른 2차원 또는 3차원 형상일 수 있다.

본 발명의 다른 발전양상에 있어서, 2개의 제1 레그 평면들은 또한 각각의 경우에 그것과 관련된 제2 주면까지 인접한 기하학적 제2 접평면과 관련하여 각각의 경우에 약 적어도 15도 경사져 있다. 제1 밀봉면의 제2 만곡 부분은 각각의 경우에 제1 밀봉면의 2개의 제2 레그들과 제2 주요 부분 사이에 배열된다. 제2 주요 부분에서 제2 주면을 따라 연장하는 제1 밀봉면은 각각의 경우에 제2 만곡 부분에 합쳐지고, 제2 주요 부분으로부터 각각의 제2 만곡 부분으로의 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제2 접평면에서 제2 주면으로 실행된다. 2개의 제2 레그 평면들은 각각의 경우에 각각의 제2 제1 접평면과 관련하여 약 적어도 15도 기울어져 있다. 제2 주요 부분에서 제2 주면을 따라 연장하는 제1 밀봉면은 제2 만곡 부분에서, 적어도 15도만큼, 특히 기하학적 만곡부에 의해 제2 주면 밖으로 안내되고, 제2 레그 평면에 합쳐진다. 환언하면, 제1 밀봉면은 각각의 경우에 적어도 15도만큼 제2 주면 밖으로 안내되고, 각각의 경우에 2개의 제2 레그 평면들에 합쳐진다. 각각의 제2 만곡 부분은 그 형상이 인접한 제1 만곡 부분에 대응할 수 있고 또는 다른 방식으로 전개될 수 있다. 특별한 실시예에 있어서, 제1의 U자형 측면 부분의 각각의 제1 레그 평면 및 각각의 제2 레그 평면은 실질적으로 서로 평행하게 연장하고, 다른 실시예에 있어서 제2의 U자형 측면 부분의 각각의 제1 레그 평면 및 제2 레그 평면은 또한 실질적으로 서로 평행하게 연장한다.

환언하면, 본 발명의 상기 제2 양상은, 특히 2개의 주요 부분들의 기하학적 오프셋이 조정 축선에 대해 횡방향으로 브리지되고 오프셋 주요 부분들이 함께 가져가 지는 2개의 측면 부분들이 개구부 축선의 방향에서 내측으로 피봇되거나 적어도 15도만큼 외측으로 피봇된다는 점에서, 도입부에 기술되었고 종래 기술로부터 알려져 있는, 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 진공 밸브와는 다르다. 바람직하게는 조정 축선에 실질적으로 평행한 피봇축을 중심으로 행해지는 안쪽 또는 바깥쪽으로의 측면 부분들의 상기 피봇팅은 오프셋 밀봉 부분들의 이행 영역이 또한 개구부 축선 방향으로, 그 뿐만 아니라 개구부 축선에 대해 횡방향으로 연장하게 한다. 특별한 실시예에 있어서, 특히 90도의 피봇각의 경우에, 상기 이행 영역은 심지어 개구부 축선을 따라서만 연장한다. 그 결과, 밸브 하우징은 더 좁아지고 개구부 폭은 동일하게 유지되고, 밸브 하우징 및 폐쇄 부재의 깊이는 다수 확대된다.

수많은 추가의 상당한 이점들이 또한 내측 또는 외측으로의 측면 부분들의 상기 피봇팅 결과로서 생성되는 놀라운 방식으로 나타냈다. 따라서, 밀봉면의 기술된 3차원 연장부는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징에 대해 특히 강성의 전개인 것으로 입증되고 그 결과 훨씬 더 큰 길이방향 연장부를 변환하는 것이 가능하고, 높은 압력차들의 경우에 변형들을 회피하는 것이 광범위한 방식으로 가능하다. 그 결과, 개구부 폭이 상당히 확대될 수 있고, 그것은 넓은 반도체 및 기판 유닛들의 이송을 위한 전환 밸브들의 경우에 특히 유리하다. 또한, 안쪽으로의 측면 부분들의 피봇팅은 종래 기술에서 폐쇄 방향으로만 로딩할 수 있는(loadable) 씰이 또한 개구부 축선에 따른 방향으로 로딩될 수 있게 하는데, 그 이유는 이 경우에, 씰이 더 이상 그것의 길이방향 연장부에 대해 횡방향으로만, 그렇지만 수직으로 및 길이방향으로 측면 부분들에 작용하지 않기 때문이다. 그 결과, 씰은 압력차가 있는 경우에 폐쇄 부재에 작용하는 힘의 일부를 흡수할 수 있다. 본 발명에 청구된 씰 기하학은 차압에 크게 둔감하다.

밸브 하우징에서 획득된 폭의 결과로서, 또한 선형 드라이브를 설치하기 위한 횡방향 설치 공간을 이용하는 것이 가능하다. 선형 드라이브는 결과적으로 입자 발생이 더 감소되도록 중요한 입자 영역 밖으로 이동된다. 밸브는 드라이브들의 상기 배열에 의해 또한 컴팩트한 설치 방법에 의해 구분된다. 높은 가속도들이 직접 이동 전달(direct movement transmission)의 결과로서 가능하다.

제1 레그 평면들 및/또는 제2 레그 평면들은 주면에 대해 적어도 15도 기울어져 있고, 즉 이들은 제1 주면 또는 제2 주면 밖으로 피봇된다. 본 발명의 추가의 발전양상에 있어서, 상기 각도는 적어도 30도 또는 적어도 45도 또는 적어도 60도이다. 이 각도는 최대 120도, 바람직하게는 최대 90도이어야 한다.

제1 주면은 기하학적 평면, 즉 제1 주평면에 의해 형성될 수 있다. 이 경우에, 2개의 제1 접평면들 및 제1 주평면은 제1 접평면들이 주평면에 의해 형성되도록 포개져 놓인다(lie one on top of another). 제2 주면은 또한 기하학적 평면, 즉 제2 주평면에 의해 형성될 수 있고, 2개의 제2 접평면들 및 제2 주평면은 제2 접평면들이 제2 주평면에 의해 형성되도록 포개져 놓인다. 폐쇄 부재면이 기하학적 평면을 제공하고 그 결과 폐쇄 부재 평면이 되는 것이 똑같이 가능하다. 그 결과 주면들의 모두가 주평면들이면, 2개의 주요 부분들은 각각의 경우에 하나의 평면 위에서 연장한다. 그러나, 주요 부분들은 제1 주평면 또는 제2 주평면에서 기하학적으로 정밀한 방식으로 강제로 연장하지 않아야 한다. 주요 부분들은 예를 들어 각각의 주 평면을 따라 원호로서, 각각의 주 평면에 기하학적으로 정밀하게 평행하지 않은 제1 또는 제2 주평면을 따라 단지 실질적으로 연장하는 것이 가능하다.

그러나, 특정 응용들을 위해, 평탄한 기본 단면을 갖는 밸브 대신에, 만곡된 기본 단면을 갖는 밸브가 사용되는 것이 유리하다. 이 경우에, 폐쇄 부재는 평탄한 폐쇄 부재 평면을 갖는 평탄한 디스크 형상을 가지지 않지만 특히 조정 축선에 실질적으로 평행한 만곡부 축선에 대해 적어도 부분적으로 만곡된 기본 형상을 가진다. 특히 넓은 전환 밸브의 경우에, 기본 단면의 만곡된 전개(curved development)는 상당한 이점들을 가진다. 예를 들어 60도를 초과하는 큰 각의 만곡부의 경우에, 개구부 축선에 대해 경사진 방식으로 트랜스퍼 스루 밸브(transfer through valve)를 밖으로 끌어내는 것이 가능하다. 90도의 만곡각의 경우에, 예를 들어 반도체 소자들, 특히 웨이퍼들을 예를 들어 개구부 축선에 대해 45도인 제1 이동축을 따라, 개방 밸브를 통해 공정 체임버로 이동시키고 이들을 예를 들어 제1 이동축에 대해 90도로, 그리고 예를 들어 개구부 축선에 대해 45도로 연장하는 제2 이동축을 따라 개방 밸브를 통해 공정 체임버 밖으로 이동시키는 것이 가능하다. 만곡된 기본 단면의 추가 이점은 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서의 밸브의 증가된 안정성에 있다. 만곡된 기본 단면에 의해 야기되는 밀봉면의 3차원 연장의 결과로서, 폐쇄 부재 및 밸브 하우스에 대한 특히 강성 성장(rigid development)이 높은 압력차들에서의 변형들이 추가로 회피될 수 있고 개구부 폭이 상당히 확대될 수 있도록 단지 15도의 곡률에서조차 생성된다. 이것은 넓은 반도체 및 기판 유닛들의 이송을 위한 전환 밸브들의 경우에 특히 유리하다. 그 결과, 본 발명의 추가의 양상은 제1 주면, 제2 주면 및 폐쇄 부재면이 특히 실질적으로 조정 축선에 평행한 만곡부의 축선에 대한 전체 영역에서 또는 특히 수개의 부분들에서 적어도 부분적으로 만곡되는 것을 제공한다. 적어도 상기 부분에서의 만곡부는 원형의 원통형 면 또는 다른 자유 형상에 의해 형성될 수 있다. 특히, 제1 주면, 제2 주면 및 폐쇄 부재면은 적어도 15도만큼, 특히 적어도 30도만큼, 특히 적어도 45도만큼, 특히 45도와 105도 사이에서 만곡부의 축선에 대해 적어도 부분적으로 만곡된다. 만곡부는 수개의 만곡부 축선들에 대해 그리고 다양한 만곡부의 방향들로, 예를 들어 파형 만곡부 형태로 만들어지는 것이 가능하다. 만곡부의 축선은 바람직하게는 실질적으로 조정 축선에 평행하게 연장한다. 그러나, 또한 만곡부의 축선이 조정 축선에 대해 비평행 방식으로 연장하고 그것을 90도와 같지 않은 각도로 횡단하고 또는 그것에 비스듬한 방식으로 연장하는 것이 가능하다. 일반적으로 말해, 만곡부의 축선은 조정 축선에 의해 수직으로 관통되는 평면에 대해 비평행 방식으로 연장한다. 특히, 만곡부의 축선은 90도와 60도 사이, 특히 90도와 45도 사이, 특히 90도와 30도 사이의 각도로 상기 평면을 교차한다. 만곡부의 반경은 폭보다 크거나 작고 또는 개구부의 폭과 같을 수 있다. 반경은 또한 만곡부는 킹크(kink)를 제공하는 방식으로 작을 수 있다. 본 발명의 특별한 실시예에 있어서, 만곡부의 축선은 개구부 축선을, 특히 대략 90도의 교차각으로 교차한다.

주요 부분들은 주면들을 따라 임의의 성장을 가질 수 있다. 예를 들어, 이들은 도입부에서 기술되고 종래 기술로부터 알려져 있는 진공 게이트의 경우에서와 같이 각각의 주면에 대해 원호 방식으로 연장할 수 있다.

주면들의 만곡부를 포함하는 본 발명의 제2 양상의 상기 부분 양상은 또한 도입부에서 언급하고, 종래 기술로부터 알려지고 "MONOVAT Series 02 및 03"의 제품명으로 알려지고, US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881,717(Geiser)에 기술된 유형의 밸브와 조합 가능하다.

특히 전환 밸브에 바람직한 본 발명의 추가의 발전양상에 있어서, 주요 부분들은 그러나 주면을 따라 직선 방식으로 연장한다. 제1 주요 부분은 조정 축선이 표면 수선을 형성하는 제1 수평면 상에서 연장한다. 제2 주요 부분은 조정 축선이 또한 표면 수선을 형성하는 제2 수평면 상에서 연장한다. 제1 수평면 및 제2 수평면은 서로 평행하게 놓이고 서로로부터 이격되어 있다. 주면들은, 상기 실시예의 경우에, 바람직하게는 수평면들에 대해 수직으로 놓인다. 수평면들은 세계 좌표계의 절대 수평선을 가리키지 않지만, 밸브 하우징 및 그것의 폭 연장부를 가리킨다. 그 결과, 2개의 주요 부분들은 바람직하게는 서로 평행하게 연장한다. 조정 축선의 방향에서 주요 부분들의 상기 오프셋을 브리지하기 위해, 2개의 제1 레그들, 2개의 제2 레그들 및 2개의 베이스들은 조정 축선에 평행한 방향에서 적어도 부분적으로 연장하는 결과로서 제1 수평면과 제2 수평면, 제1 수평면과 제2 수평면 사이의 간격을 적어도 부분적으로 브리징하는 2개의 제1 레그들 및/또는 2개의 제2 레그들 및/또는 2개의 베이스들 사이에서 연장한다.

특수한 추가의 발전양상에서, 2개의 베이스들은 제1 수평면과 제2 수평면 사이에 놓이고 조정 축선이 표면 수선을 형성하는 공통의 제3의 수평면 위에서 연장한다. 환언하면, 제3 수평면은 다른 수평면들에 평행하게 연장하고, 본 발명의 특수한 다른 발전양상에서는, 제1 수평면과 제2 수평면 사이에서 중심에 배열된다. 베이스들이 제3 수평면 위에 놓이기 때문에, 상기 본 발명의 변형예의 경우에, 이들은 조정 축선을 따라 연장하지 않고 조정 축선에 평행한 방향에서 주요 부분들 사이의 간격의 언급한 브리징에 기여하지 않는다. 대안의 변형예에 있어서, 베이스들은 그러나 수평면 위에 놓이지 않는다. 2개의 베이스들은 특히 실질적으로 조정 축선에 평행하게 연장하는 나선형의 세그먼트로서 각각의 경우에 실현됨으로써 부분적으로 제1 수평면과 제2 수평면 사이의 간격을 브리지한다.

제1 밀봉면의 2개의 제1 만곡 부분들은 제1 주면 위에서 연장할 수 있고 2개의 제2 만곡 부분들은 제2 주면 위에 연장할 수 있다. 상기 경우에서, 만곡 부분들은 조정 축선과 평행한 방향에서 주요 부분들의 오프셋을 브리징하지 않는다. 그러나, 또한 만곡 부분들이 위에서 이미 기술한 것과 같이 조정 축선에 평행하게 연장하는 만곡부의 축선에 대해 만곡될뿐만 아니라 조정 축선에 대해 횡방향으로 놓이는 만곡부의 축선에 대해서도 만곡되는 것이 가능하다. 이 경우에, 제1 밀봉면은 또한 제1 밀봉면의 대향 부분의 방향에서 안쪽으로 만곡된다. 그 결과, 2개의 제1 만곡 부분들 및 2개의 제2 만곡 부분들은 제1 수평면과 제2 수평면, 제1 수평면과 제2 수평면 사이의 간격을 부분적으로 브리징하는 2개의 제1 만곡 부분들 및 2개의 제2 만곡 부분들 사이에서 연장한다. 기술된 만곡부는 예를 들어 조정 축선에 실질적으로 평행하게 연장하는 나선형의 세그먼트로서 실현되는 2개의 제1 만곡 부분들 및 2개의 제2 만곡 부분들의 결과로서 달성될 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 양상은 폐쇄 부재, 특히 본 발명에 청구되고 도입부에 기술된 것과 같은 진공 밸브를 구비한다. 폐쇄 부재의 특징들이 진공 밸브 및 본 발명에 청구된 그것의 다양한 다른 발전양상들과 함께 직간접적으로 이미 기술되었기 때문에, 위에서 행한 설명들이 참조된다.

일반적으로, 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로를 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재는 각각의 경우에 조정 축선에 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들로부터 조립되는 제2 밀봉면 및 폐쇄 부재면에 기하학적 조정 축선을 구비한다. 제2 밀봉면의 부분들의 표면 수선들은 각각의 경우에 조정 축선에 평행한 방향 성분들을 가진다. 그 결과, 제2 밀봉면은 조정 축선의 개방 방향에서 수직으로 또는 경사져 있다. 제2 밀봉면의 제1 주요 부분은 기하학적 제1 주면을 따라 실질적으로 연장하고, 제2 밀봉면의 제2 주요 부분은 기하학적 제2 주면을 따라 실질적으로 연장한다. 제1 주면 및 제2 주면은 서로로부터 이격되어 있고 조정 축선에 대해 평행하게 연장하고 폐쇄 부재면에 실질적으로 평행하게 연장한다. 그 결과, 제1 주요 부분 및 대향하는 제2 주요 부분은, 서로에 대해, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 폐쇄 부재면에 실질적으로 평행한 특별한 실시예에서 연장하는 폐쇄 부재의 폐쇄면은 2개의 대향하는 주요 부분들 사이에 배열된다. 제2 밀봉면의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분은 제2 밀봉면의 일측 상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 연결하고, 제2 밀봉면의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분은 제2 밀봉면의 다른 측 상에서 제1 주요 부분 및 제2 주요 부분을 연결한다. 제1의 U자형 측면 부분 및 제2의 U자형 측면 부분은 각각의 경우에 제1 주요 부분과 관련되는 제1 레그, 제2 주요 부분과 연관되는 제2 레그 및 베이스로부터 조립된다. 2개의 제1 레그들은 각각의 경우에 조정 축선에 평행하게 놓이는 제1 레그 평면들을 따라 실질적으로 연장한다. 제1 레그 및 제2 레그는 서로에 대해, 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가지며, 각각의 베이스는 각각의 경우에 제1 레그 및 제2 레그를 연결하고 조정 축선에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 브리징한다. 제2 밀봉면에 의해, 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서, 밀봉 접촉은 조정 축선의 폐쇄 방향에서 제1 밀봉면 위로 선형 방식으로 가압되는 제2 밀봉면에 의해 기밀 방식으로 진공 밸브의 개구부를 폐쇄하기 위해 진공 밸브의 제1 밀봉면으로 생성 가능하다.

또한 기술된 폐쇄 부재를 가지는 진공 밸브의 경우에서와 같이, 본 발명에 청구된 폐쇄 부재의 경우에서, 2개의 제1 레그 평면들은 각각의 경우에 제1 주면과 관련하여 적어도 15도만큼 기울어져 있다. 각각의 경우에, 제2 밀봉면의 제1 만곡 부분은 제1 주요 부분과 2개의 제1 레그들 사이에 배열된다. 제1 주요 부분에서 제1 주면을 따라 연장하는 제2 밀봉면은 각각의 경우에 제1 만곡 부분들에 합쳐지고, 제1 주요 부분으로부터 각각의 제1 만곡 부분으로의 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제1 접평면에서 제1 주면으로 실행된다. 2개의 제1 레그 평면들은 각각의 제1 접평면과 관련하여 각각의 경우에 적어도 15도만큼 기울어져 있다. 제1 주요 부분에서 제1 주면을 따라 연장하는 제2 밀봉면은 제2 밀봉면이 제1 레그 평면에 합쳐지도록, 특히 기하학적 만곡부에 의해 제1 만곡 부분에서 적어도 15도만큼 제1 주면 밖으로 안내된다.

폐쇄 부재는 진공 밸브와 함께 이미 기술되었고 참조된, 이미 기술된 동일한 다른 발전 변형예들을 가진다. 특히, 하나의 다른 발전양상은 조정 축선에 평행한 제2 레그 평면들을 따라 실질적으로 연장하는 2개의 제2 레그들 및 각각의 경우에 제2 주요 부분과 2개의 제2 레그들 사이에 배열되는 제2 밀봉면의 제2 만곡 부분을 구비한다. 제2 주요 부분에서 제2 주면을 따라 연장하는 제2 밀봉면은 각각의 경우에 제2 만곡 부분들에 합쳐지고, 제2 주요 부분으로부터 각각의 제2 만곡 부분으로의 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제2 접평면에서 제2 주면으로 행해진다. 2개의 제2 레그 평면들은 각각의 경우에 각각의 제2 접평면과 관련하여 적어도 15도만큼 기울어져 있다. 제2 주요 부분에서 제2 주면을 따라 연장하는 제2 밀봉면은 제2 만곡 부분에서 특히 기하학적 만곡부에 의해 적어도 15도만큼 제2 주면 밖으로 안내되고, 제2 만곡 부분에서 제2 레그 평면에 합쳐진다. 또한, 제1의 U자형 측면 부분의 제1 레그 평면 및 제2 레그 평면이 서로 실질적으로 평행하게 연장하고 또한 제2의 U자형 측면 부분의 제1 레그 평면 및 제2 레그 평면이 실질적으로 서로 평행하게 연장하는 것이 가능하다.

또한 진공 밸브의 경우에서와 같이, 제1 주면은 기하학적 평면, 즉 제1 주평면에 의해 형성될 수 있다. 이 경우에, 2개의 제1 접평면들 및 제1 주평면은 제1 접평면들이 제1 주평면에 의해 형성되도록 포개져 놓인다. 제2 주면은 또한 기하학적 평면, 즉 제2 주평면에 의해 형성될 수 있고, 2개의 제2 접평면들 및 제2 주평면은 제2 접평면들이 제2 주평면에 의해 형성되도록 포개져 놓인다. 폐쇄 부재면이 기하학적 평면을 제공하고 그 결과 폐쇄 부재 평면이 되도록 하는 것이 동일하게 가능하다. 따라서 주면들 모두가 주 평면들이면, 2개의 주요 부분들은 각각의 경우에 하나의 평면 위에서 연장한다. 그러나, 주요 부분들은 제1 주평면 또는 제2 주평면에서 기하학적으로 정밀한 방식으로 강제로 연장하지 않아야 한다. 주요 부분들이 단지 실질적으로 제1 또는 제2 주평면을 따라, 즉 예를 들어 각각의 주평면을 따라 원호로서, 각각의 주평면에 기하학적으로 정확하게 평행하지 않게 연장하는 것이 가능하다.

그러나, 진공 밸브와 함께 이미 설명된 것과 같이, 평탄한 기본 단면을 갖는 밸브 대신에, 만곡된 기본 단면을 갖는 밸브가 사용될 경우 특정 응용들에 있어서는 불리한 점이 있다. 이 경우에, 폐쇄 부재는 평탄한 폐쇄 부재 평면을 갖는 평탄한 디스크 형상을 가지지 않지만, 특히 실질적으로 조정 축선에 평행한 만곡부 축선에 대한 적어도 부분적으로 만곡된 기본 형태를 가진다. 그 결과 본 발명의 추가의 양상은 제1 주면, 제2 주면 및 폐쇄 부재면이 특히 수개의 부분들에서 또는 조정 축선에 실질적으로 평행한 만곡부 축선에 대해 전체 영역에서 적어도 부분적으로 만곡되는 것을 제공한다. 적어도 상기 부분에서의 만곡부는 원형의 원통형 면 또는 다른 자유 형상에 의해 형성될 수 있다. 특히, 제1 주면, 제2 주면 및 폐쇄 부재면은 적어도 15도만큼, 특히 적어도 30도만큼, 특히 적어도 45도만큼, 특히 45도와 105도 사이에서 만곡부의 축선에 대해 적어도 부분적으로 만곡된다. 또한, 진공 밸브의 경우에서와 같이, 만곡은 수개의 만곡부 축선에 대해 그리고 다양한 만곡 방향들에서, 예를 들어 파형 만곡 형태로 실행되는 것이 가능하다. 만곡부의 반경은 폭보다 크거나 작고 또는 개구부의 폭과 같을 수 있다. 반경은 또한 만곡부가 킹크를 제공하는 방식으로 작을 수 있다. 본 발명의 특별한 실시예에 있어서, 만곡부 축선은 개구부 축선과, 특히 대략 90도의 교차각으로 교차한다.

진공 밸브와 함께 이미 기술된 다른 발전양상들은 또한 폐쇄 부재에 관한 발명에 또한 포함되고 위의 설명들이 참조된다.

본 발명에 청구된 진공 밸브들 및 본 발명에 청구된 폐쇄 부재들은 도면들에 개략적으로 나타낸 구체적인 예시적인 실시예들에 의해 단지 예로서 더 상세히 이하에 설명되고, 본 발명의 추가의 이점들의 상세들이 또한 주어진다.

도 1a는 진공 밸브의 제1 실시예의 밸브 하우징의 절반 부분의 사시도를 나타내고;
도 1b는 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 2a는 평탄한 주면을 갖는 진공 밸브의 제1 실시예의 폐쇄 부재의 상면도를 나타내고,
도 2b는 폐쇄 부재의 정면도를 나타내고;
도 2c는 폐쇄 부재의 측면도를 나타내고;
도 2d는 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 2e는 폐쇄 부재의 일부 상세한 부분의 상면도를 나타내고;
도 2f는 제1 방향으로 만곡된 주면을 갖는 폐쇄 부재의 제1의 만곡된 변형예의 상면도를 나타내고;
도 2g는 제2 방향으로 만곡된 주면들을 갖는 폐쇄 부재의 제2의 만곡된 변형예의 상면도를 나타내고;
도 3a는 폐쇄 위치에 폐쇄 부재를 갖는 본 발명에서 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제1 실시예의 정면도를 나타내고;
도 3b는 도 3a로부터의 진공 밸브의 횡단면도를 나타내고;
도 3c는 개방 위치에 폐쇄 부재를 갖는 본 발명에 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제1 실시예의 정면도를 나타내고;
도 3d는 도 3c로부터의 진공 밸브의 횡단면도를 나타내고;
도 3e는 폐쇄 위치에 폐쇄 부재를 갖는 본 발명에 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제1 실시예의 사시도를 나타내고;
도 4a는 개방 위치에 폐쇄 부재를 갖는 본 발명에 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제2 실시예의 횡단면도를 나타내고;
도 4b는 본 발명에 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제2 실시예의 밸브 하우징의 절반 부분의 사시도를 나타내고;
도 5a는 본 발명에 청구된 것과 같은 진공 밸브의 제2 실시예의 본 발명에 청구된 것과 같은 폐쇄 부재의 상면도를 나타내고;
도 5b는 폐쇄 부재의 정면도를 나타내고;
도 5c는 폐쇄 부재의 측면도를 나타내고;
도 5d는 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 5e는 폐쇄 부재의 일부의 상세한 부분의 상면도를 나타내고;
도 6a는 추가의 탄성 씰이 없는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 6b는 원형 단면을 갖는 O-링을 갖는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 6c는 보호 실드를 갖는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 6d는 콩팥형 단면을 갖는 O-링을 갖는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 6e는 X-형 단면을 갖는 O-링을 갖는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 6f는 밸브 하우징 상에 원형 단면을 갖는 O-링을 갖는 실시예에서 경사면들을 갖는 폐쇄 부재 및 밸브 하우징의 횡단면도를 나타내고;
도 7a는 도 6a로부터의 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 7b는 도 6b로부터의 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 7c는 도 6c로부터의 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 7d는 도 6d로부터의 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 7e는 도 6e로부터의 폐쇄 부재의 사시도를 나타내고;
도 8a는 종래 기술로부터 알려진 진공 게이트의 밸브 하우징을 나타내고;
도 8b는 종래 기술로부터 알려진 진공 게이트의 폐쇄 부재를 나타낸다.

도 1a 내지 2e, 3a 내지 3e 및 도 4a 내지 5e는 각각의 경우에, 다양한 뷰들로부터 및 다양한 상세도들로 본 발명에 청구에 청구된 진공 밸브 또는 다양한 상태들에서의 폐쇄 부재의 일반적인, 예시적인 실시예를 나타낸다. 그 결과, 각각의 경우에 도면의 그룹들은 함께 기술된다. 도 2f 및 2g에 따른 변형예들 및 도 4a 내지 5e에 따른 예시적인 실시예는 도 1a 내지 2e 및 3a 내지 3e에 따른 예시적인 실시예로부터 특정 특징들과 관련해서만 상이한데, 그 이유는 부분적으로 변형예들과 실시예들 간의 차이들의 상세한 부분들만이 주어지기 때문이다. 부분적으로, 이전 도면에서 이미 설명된 참조들 및 특징들의 상세들은 다시 주어지지 않을 것이다. 도 8a 및 8b는 종래 기술의 표현과 함께 이미 상세히 설명되었다.

도 1a 내지 2e 및 3a 내지 3e는 진공 밸브(1) 및 그것의 폐쇄 부재(5)의 제1 실시예를 나타낸다. 진공 밸브(1)에 의해, 밸브 하우징(2)의 개구부(3)로 이어지는 유로(F)는 폐쇄 부재(5)의 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 폐쇄될 수 있다. 유로(F)의 개구부(3)는 직사각형 통로 형태로 밸브 하우징(2) 내에 형성되고, 예시적인 실시예에서의 개구부(3)의 폭(b)은 도 3c에 나타낸 것과 같이 개구부(3)의 높이(h)의 대략 6배로 도시된다. 진공 밸브(1)는 전환 밸브로서 실현된다.

밸브 하우징(2)을 통해 개구부(3)의 전개부(development)를 따라 중심으로 연장하는 기하학적 개구부 축선(4)은 도 1b에 나타낸 것과 같이, 유로(F)를 따라 개구부(3)를 통해 뻗는다. 도 3a 내지 3e에 나타낸 것과 같이, 밸브 디스크 형태의 밸브 하우징(2) 내에 배열되는 폐쇄 부재(5)는 기하학적 조정 축선(6)을 따라 선형 방식으로 조정 가능하다. 조정 축선(6)은 폐쇄 부재 평면에 의해 형성되고 일점 쇄선에 의해 도 1b 및 2c에 나타낸 폐쇄 부재면(7)에서 개구부 축선(4)에 대해 횡방향으로, 즉 수직으로 뻗는다. 폐쇄 부재(5)는 도 3c 및 3d에 나타낸 것과 같이 개구부(3)가 해제될 수 있는 개방 위치(O)로부터 도 3a, 3b 및 3e에 도시된 것과 같이 개구부(3) 위로 선형으로 밀리는 폐쇄 위치(C)로 드라이브(20)에 의해 조정 축선(6)을 따라 선형 방식으로 폐쇄 방향(8)에서 변위 가능하다. 대향 개방 방향(9)에서 선형 방식으로 폐쇄 부재(5)를 변위시킴으로써, 그것은 폐쇄 위치(C)로부터 다시 개방 위치(O)로 선형 방식으로 변위될 수 있다.

밸브 하우징(2)의 개구부(3)는 해칭된 면에 의해 도 1a에 나타낸 것과 같이, 밸브 하우징(2)의 적어도 부분적으로 만곡된 제1 밀봉면(10)에 의해 둘러싸인다. 도 2a 내지 2e에 나타낸 것과 같이, 폐쇄 부재(5)는 상기 제1 밀봉면(10)에 대응하는 제2 밀봉면(11)을 가지며 제1 밀봉면(10)에 대응하는 형상을 가진다.

도 3a 및 3b에 나타낸 것과 같이, 폐쇄 부재(5)가 자신의 폐쇄면(19)에 의해 기밀 방식으로 개구부(3)를 폐쇄하도록 이들의 제1 밀봉면(10) 위로 폐쇄 방향(8)에서 가압되는 제2 밀봉면(11)에 의해 폐쇄 위치(C)에서 폐쇄 위치(C) 사이에는 기밀 접촉이 있다. 밀봉 접촉이, 예를 들어 탄성 씰, 예를 들어 O-링 또는 가황처리된 씰로서 실현되고, 또는 이와 같은 씰을 보유하는 2개의 밀봉면들 중 하나에 의해 가능하게 한다. 상기 씰은 도면에 나타낸 것과 같이 폐쇄 부재(5) 위에 또는 밸브 하우징(2) 위에 배열될 수 있다. 환언하면, 또한 제1 밀봉면(10)은 씰 및 제2 밀봉면(11), 밀봉면이 기밀 방식으로 놓일 수 있고 또는 그 역으로 될 수 있는 밸브 시트를 형성할 수 있다. 다양한 밀봉 재료들 및 씰의 유형들은 종래 기술로부터 알려져 있고 여기서는 더 설명될 필요가 없다.

밸브 하우징(2)의 제1 밀봉면(10)은 이하에 더 상세히 설명되는 것과 같이, 각각의 경우에 조정 축선(6)에 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들(12a, 12b, 14a, 14b, 17a, 17b)로부터 조립된다. 제1 밀봉면(10)의 모든 상기 부분들(12a, 12b, 14a, 14b, 17a, 17b)의 표면 수선들은 각각의 경우에 조정 축선(6)에 대해 평행한 방향 성분들을 가진다. 그 결과, 제1 밀봉면(10)은 도 1a 및 1b에서 알 수 있는 것과 같이, 개방 방향(9)에서 수직으로 또는 경사져 있다. 그 결과, 전체 제1 밀봉면(10)은 도면들에서 위쪽을 가리킨다.

폐쇄 부재의 제2 밀봉면(11)은 또한 도 2a 내지 2e에 나타낸 것과 같이, 각각의 경우에 조정 축선(6)에 평행하지 않고 제1 밀봉면(10)의 부분들(12a, 12b, 14a, 14b, 17a, 17b)에 대응하는 다양하게 형성되는 부분들(12a' 12b' 14a' 14b' 17a' 17b')을 가진다. 제2 밀봉면(11)의 상기 부분들(12a' 12b' 14a' 14b' 17a' 17b')의 표면 수선들은 또한 제2 밀봉면(11)이 조정 축선(6)의 개방 방향(9)에서 수직으로 또는 경사지도록 각각의 경우에 조정 축선(6)에 평행한 방향 성분들을 가진다. 그러므로, 제2 밀봉면(11)은 도시된 예시적인 실시예에서 아래를 가리킨다.

도 1a에 나타낸 것과 같이, 제1 밀봉면(10)은 제1 주요 부분(12a), 제1 만곡 부분(17a), 제1 레그(15a), 베이스(15c) 및 제2 레그(15b)를 또한 구비하는 제1의 U자형 측면 부분(14a), 제2 만곡 부분(17b), 제2 주요 부분(12b), 추가의 제2 만곡 부분(17b), 제2 레그(15b), 베이스(15c) 및 제1 레그(15a)를 또한 구비하는 제2의 U자형 측면 부분(14b), 및 제1 주요 부분(12a)의 다른 단부에 또한 연결되는 그것의 전개부를 따라 조립된다.

제1 밀봉면(10)에 대응하여, 도 2a 내지 2e에 나타낸 것과 같이, 폐쇄 부재(5)의 제2 밀봉면(11)은 또한 그것의 전개부를 따라, 제1 주요 부분(12a'), 제1 만곡 부분(17a'), 제1 레그(15a'), 베이스(15c' ) 및 제2 레그(15b')를 또한 구비하는 제1의 U자형 측면 부분(14a'), 제2 만곡 부분(17b'), 제2 주요 부분(12b'), 추가의 제2 만곡 부분(17b'), 제2 레그(15b'), 베이스(15c') 및 제1 레그(15a')를 구비하는 제2의 U자형 측면 부분(14b'), 및 제1 주요 부분(12a')의 다른 부분에 또한 연결되는 추가의 제1 만곡 부분(17a')으로부터 조립된다. 부분들은 서로 대응하기 때문에, 제1 밀봉면(10)의 부분들만이 이하에 부분적으로 더 정밀하게 설명된다.

제1 밀봉면(10)의 제1 주요 부분(12a) 및 제2 밀봉면(11)의 제1 주요 부분(12a)은 도 1b 또는 2c 및 2e에 나타낸 것과 같이, 실질적으로 기하학적으로 평탄한 제1 주면(13a')을 따라 연장한다. 제1 밀봉면(10)의 제2 주요 부분(12b) 및 제2 밀봉면(11)의 제2 주요 부분(12b')은 또한 실질적으로 기하학적으로 평탄한 제2 주면(13b')을 따라 연장하고, 제1 주면(13a') 및 제2 주면(13b')은 서로에 대해 평행하게 그리고 서로 간격을 두고 놓인다. 이들은 평탄한 폐쇄 부재면(7)에 평행하게 연장한다. 제1 주요 부분(12a 또는 12a') 및 대향하는 제2 주요 부분(12b 또는 12b')은 서로에 대해, 도 1a 및 1b 또는 2a, 2c, 2d 및 2e에 나타낸 것과 같이, 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 개구부(3)(도 1a)는 제1 밀봉면(10)의 2개의 대향하는 주요 부분들(12a, 12b) 사이에 놓이고 폐쇄 부재(5)의 폐쇄면(19)(도 2c 및 2d)은 제2 밀봉면(11)의 2개의 대향하는 주요 부분들(12a, 12b') 사이에 놓인다.

도 1a 또는 2a에 나타낸 것과 같이, 제1 밀봉면(10)의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분(14a) 또는 제2 밀봉면(11)의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분(14a')은 각각의 밀봉면(10 또는 11)의 일측 상에서 제1 주요 부분(12a 또는 12a') 및 제2 주요 부분(12b 또는 12b')을 연결하고, 반면 제1 밀봉면(10)의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분(14b) 또는 제2 밀봉면(11)의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분(14b')은 각각의 밀봉면(10 또는 11)의 일측면 상에서 제1 주요 부분(12a 또는 12a') 및 제2 주요 부분(12b 또는 12b')을 연결한다.

제1의 U자형 측면 부분(14a 또는 14a') 및 제2의 U자형 측면 부분(14b 또는 14b')은 각각의 경우에 제1 주요 부분(12a 또는 12a')과 연관되는 제1 레그(15a 또는 15a') 및 제2 주요 부분(12b 또는 12b')과 연관되는 제2 레그(15b 또는 15b') 및 원호(arc)로서 실현되는 베이스(15c 또는 15c')를 가진다. 각각의 밀봉면의 일측 및 다른 측 상의 2개의 제1 레그들(15a 또는 15a')은 각각의 경우에 실질적으로 조정 축선(6)에 평행하게 놓이는 제1 레그 평면들(16a)을 따라 연장한다. 2개의 제1 레그 평면들(16a) 중 하나는 파선 형태로 도 2e에 나타낸다.

2개의 제2 레그들(15b 또는 15b')은 또한 실질적으로 도 2e에도 나타낸 것과 같이, 조정 축선(6)에 평행하게 연장하는 제2 레그 평면들(16b)을 따라 연장한다. 거기에서 알 수 있는 것과 같이, 제1의 U자형 측면 부분(14a 또는 14a') 및 제2의 U자형 측면 부분(14b 또는 14b') 모두의 제1 레그 평면(16a) 및 제2 레그 평면(16b)은 실질적으로 서로에 대해 평행하게 연장한다. 제1 레그(15a 또는 15a') 및 제2 레그(15b 또는 15b')는 그 결과 서로에 대해, 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가진다. 각각의 원호형 베이스(15c 또는 15c')는 각각의 경우에 제1 레그(15a 또는 15a') 및 제2 레그(15b 또는 15b')를 함께 연결하고 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 브리징한다.

제1 밀봉면(10) 또는 제2 밀봉면(11)의 제1 만곡 부분(17a 또는 17a')은 각각의 경우에, 제1 주요 부분(12a 또는 12a')과 2개의 제1 레그들(15a 또는 15a') 사이에 배열되고, 제1 주요 부분(12a 또는 12a')에서 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 제1 밀봉면(10) 또는 제2 밀봉면(11)은 각각의 경우에 제1 만곡 부분들(17a 또는 17a')에 합쳐지고 제1 주요 부분(12a 또는 12a')으로부터 각각의 제1 만곡 부분(17a 또는 17a')으로의 각각의 이행은 제1 주요 부분(12a 또는 12a')의 양단부들에서 각각의 경우 기하학적 제1 접평면(13a)에서 제1 주면(13a')으로 실행되고, 특히 도 2a 및 2e에 나타낸 것과 같이, 2개의 제1 레그 평면들(16a)은 각각의 경우에 적어도 15도만큼, 즉 나타낸 예시적인 실시예에서는 각각의 제1 접평면에 관해 70도만큼 기우러져 있다. 나타낸 예시적인 실시예에서 원호형인 상기 각각의 제1 만곡 부분(17a 또는 17a')에서, 제1 주요 부분(12a 또는 12a')에서 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 밀봉면(10 또는 11)은 15도 이상만큼, 즉 나타낸 실시예에서는 70도만큼 기하학적 만곡부에 의해 제1 주면(13a') 밖으로 안내되고, 도 2e에 도시된 것과 같이, 제1 레그 평면(16a)에 합쳐진다. 제1 밀봉면(10) 또는 제2 밀봉면(11)의 제2 만곡 부분(17b 또는 17b')은 또한 각각의 경우에 제2 주요 부분(12b 또는 12b')과 2개의 제2 레그들(15b 또는 15') 사이에 배열된다. 제2 주요 부분(12b 또는 12b')에서 제2 주면(13b')을 따라 연장하는 제1 또는 제2 밀봉면(10 또는 11)은 각각의 경우에 제2 주요 부분(12b 또는 12b')의 단부들에서 제2 만곡 부분들(17b 또는 17b')로 합쳐지고, 제2 주요 부분(12b 또는 12b')으로부터 각각의 제2 만곡 부분(17b 또는 17b')으로의 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제2 접평면(13b)에서 제2 주면(13b')으로 실행되고 2개의 제2 레그 평면들(16b)은 각각의 경우에 15도 이상만큼, 즉 각각의 제2 접평면(13b)과 관련하여 70도만큼 기울어져 있다. 그 결과, 제2 주요 부분(12b 또는 12b')에서 제2 주면(13b)을 따라 연장하는 밀봉면(10 또는 11)은 밀봉면(10 또는 11)이 제2 레그 평면(16b)에 합쳐지도록 기하학적 만곡부에 의해 지정되는 70도만큼 제2 주면(13b') 밖으로 안내된다.

도 2e는 굽은 각도 화살표들에 의해 각각의 피봇각을 도시한다. 환언하면, 측면 부분들(14a, 14a' 14b, 14b')은 예를 들어 도 2a에 나타낸 것과 같이, 각각의 경우에 조정 축선(6)에 평행하게 연장하는 기하학적 피봇축에 대해 대략 70도만큼 각각의 경우에 서로를 향해 내측으로 피봇된다.

도 1a 내지 2e, 3a 내지 3e 및 도 4a 내지 5e에 나타낸 예시적인 실시예에 있어서, 제1 주면(13a'), 제2 주면(13b') 및 폐쇄 부재면(7)은 3개의 평행한 평면들에 의해 형성되는데, 그 이유는 도 1b, 2c 및 2e에 나타낸 것과 같이, 2개의 제1 접평면들(13a)이 제1 주면(13a')과 일치하고 2개의 제2 접평면들(13b)이 제2 주면(13b')과 일치하기 때문이다. 그러나, 본 발명의 변형예는 제1 주면(13a'), 제2 주면(13b') 및 폐쇄 부재면(7)이 폐쇄 부재의 상면도로 도 2f 및 2g에 나타낸 것과 같이, 조정 축선(6)에 실질적으로 평행한 곡률 축선(21)에 대해 적어도 부분적으로 만곡되도록 제공한다. 이전의 예시적인 실시예와는 대조적으로, 여기서 접평면들(13a 또는 13b) 및 관련 주면(13a' 또는 13b')은 포개져 놓이지 않는데, 그 이유는 도 2f 및 2g에 나타낸 것과 같이 주면들(13a' 또는 13b')이 부분적으로 만곡부(21)의 축선에 대해 만곡되는 횡방향 실린더 표면 부분들 및 평면들이 아니기 때문이다. 나타낸 2개의 변형예들에 있어서, 개구부 축선(4) 및 만곡부 축선(21)은 90도의 교차각으로 교차한다. 또한, 개구부 축선(4) 및 조정 축선(6)은 90도의 교차각으로 교차하고, 조정 축선(6) 및 만곡부 축선(21)은 서로에 평행하게 연장한다. 도 2f에 나타낸 변형예에 있어서, 레그들(15a', 15b')은 주면들(13a', 13b')이 만곡되고 만곡부 축선(21)이 놓이는 측으로 피봇된다. 그러나, 도 2g에 나타낸 변형예에 있어서, 레그들(15a', 15b')은 주면들(13a', 13b')이 만곡되고 만곡부 축선(21)이 놓이는 측에 대향하는 측으로 피봇된다. 제1 주요 부분(12a')으로 제1 만곡 부분(17a)으로 제1 주면(13a') 밖으로의 이행은 각각의 경우에 제1 접평면(13a)에서 실행되고, 반면 제2 주요 부분(12b')으로부터 제2 만곡 부분(17b)으로 제2 주면(13b') 밖으로의 제2 밀봉면(11)의 이행은 도 2f에 나타낸 것과 같이, 각각의 경우에, 제2 접평면(13b)에서 일어난다. 만곡각(angle of curvature)은 본 예에서 2개의 제1 접평면들의 교차각 및 2개의 제2 접평면들의 교차각으로부터 생성된다. 본 경우에, 상기 2개의 교차각들은 동일하고 90도이다. 그러나, 교차각들은 여러 가지고 크게 되는 것이 또한 가능하다. 도 2f 및 2g에 나타낸 변형예들의 나머지 특징들, 특히 제1의 U자형 측면 부분(14a') 및 제2의 U자형 측면 부분(14b')의 특징은 선행하는 예시적인 실시예의 것에 대응하고, 별도로 설명될 필요는 없다. 도 2f 및 2g와 함께 나타낸 폐쇄 부재(5)의 제2 밀봉면(11)의 특징들은 제2 밀봉면(11)과 대응하는 밸브 하우징(2)의 제1 밀봉면(10)의 특징들에 대응하고 그에 대응하여 이동 가능한데, 그것은 상기 대응하는 특징들의 별도의 설명이 생략될 수 있기 때문이다.

나타낸 변형예들은 제1 및 제2 주요 부분들(12a, 12a' 12b 및 12b')이 각각의 경우에 서로에 대해 특별한 경우에 베이스들(15c 또는 15c')에 의해 U자형 측면 부분들(14a, 14a' 14b, 14b')에 의해 연결되는(bridging), 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋뿐만 아니라 조정 축선(6)에 평행한 방향으로 기하학적 오프셋을 가지는 것이 공통적이다. 개구부(3) 또는 폐쇄면(19)은 이 영역으로 연장한다. 상기 영역의 브리징은 이하에 기술된다.

도 1a 내지 2e, 3a 내지 3e 및 도 4a 내지 5e에 따른 예시적인 실시예의 경우에, 제1 주요 부분(12a 또는 12a')은 직선으로 연장하고 도 2f 및 2g에 따른 변형예들의 경우에, 그것은 도 1b 또는 2c에 나타낸 것과 같이, 조정 축선(6)이 표면 수선을 형성하는 제1 수평면(18a) 상에 만곡된 방식으로 연장한다. 도 1a 내지 2e, 3a 내지 3e 및 도 4a 내지 5e에 따른 예시적인 실시예의 경우에, 제1 주요 부분(12b 또는 12b')은 또한 직선으로 연장하고 도 2f 및 2g에 따른 변형예들의 경우에, 그것은 조정 축선(6)이 또한 표면 수선을 형성하는 제2 수평면(18b) 상에서 만곡된 방식으로 연장한다. 제1 수평면(18a) 및 제2 수평면(18b)은 서로 평행하고 서로 이격되어 있다(도 1b 또는 2c). 2개의 제1 레그들(15a 또는 15a'), 2개의 제2 레그들(15b 또는 15b') 및 2개의 베이스들(15c 또는 15c')은 제1 수평면(18a)과 제2 수평면(18b) 사이에서 연장한다. 원호들로서 실현되는 2개의 베이스들(15c 또는 15c')은 제1 수평면(18a)과 제2 수평면(18b) 사이에 중심으로 연장하는 공통의 제3의 수평면(18c) 상에 위치된다. 조정 축선(6)은 또한 제3 수평면(18c)에 대해 표면 수선을 형성한다. 3개의 수평면들(18a, 18b, 18c)은 평행하다.

2개의 제1 만곡 부분들(17a 또는 17a')은 또한 제1 수평면(18a) 상에 놓인다. 또한, 2개의 제2 만곡 부분들(17b 또는 17b')은 도 1a 및 1b 또는 2c 및 2d에 나타낸 것과 같이 제2 수평면(18b) 상에서 연장한다. 그러므로, 제1의 예시적인 실시예에 있어서, 레그들(15a, 15b 또는 15a', 15b')로부터 떨어져서, 밀봉면들(10 또는 11)의 모든 부분들은 수평면들(18a, 18b, 18c) 상에서 연장하고 조정 축선(6)에 평행한 방향에서 오프셋을 브리징할 수 없다. 그 결과, 2개의 제1 레그들(15a 또는 15a') 및 2개의 제2 레그들(15b 또는 15b')은 조정 축선(6)의 방향에서 경사지게 연장하고 그 결과 도 1a 및 1b, 또는 2b 및 2d에서 알 수 있는 것과 같이 제1 수평면(18a)과 제2 수평면(18b) 사이의 간격을 브리징한다. 상기 브리징(bridging)은 특히 수평면들(18a, 18b, 18c)에서 연장하고, 수직으로는 부하가 걸리지 않지만 씰이 가압될 때는 또한 길이방향으로 부하가 걸리는 모든 다른 부분들과 대조되는 상기 부분에서, 폐쇄 위치(C)에서 가압될 때, 씰로서의 씰에 대한 부하에 관해 조정 축선(6)에 평행한 방향에서 중요하다. 길이방향에서의 부하는 본 발명에 청구된 씰 기하학의 경우에 완전히 회피 가능한 횡방향에서의 부하보다 확실히 덜 중요하지만, 초과 길이방향 부하는 회피되어야 한다. 그 결과 연결각은 너무 가파르지 않아야 한다. 각이진 측면 부분들의 결과로서, 상기 각은 도 1b 및 2c에 나타낸 것과 같이, 조정 축선(6)의 방향에서 상대적으로 작을 수 있다. 그 결과, 상기 이행 영역의 길이방향 연장부는 확실히 확대되지만, 도 2a에도 나타낸 것과 같이, 이것은 단지 진공 밸브의 폭에 대해 약간의 효과를 가지는데, 그 이유는 이행 영역은 무엇보다도 피봇-인(pivoted-in) 측면 부분들의 결과로서 개구부 축선(4)에 평행한 모든 방향에서 연장한다. 그 결과, 진공 밸브(1) 및 폐쇄 부재(5)는 다소 깊게 되지만, 개구부 폭(b)에 관해 더 좁아진다. 깊이를 증가시키는 씰 기하학의 결과로서, 진공 밸브(1) 및 그것의 폐쇄 부재(5)의 강도의 증가가 달성된다.

제1의 예시적인 실시예의 경우에, 만곡 부분들(17a, 17a' 17b 및 17b') 및 베이스들(15c 및 15c')은 수평면들(18a, 18b 또는 18c) 상에 놓이고, 그 결과 조정 축선(6)에 평행하게 연장하지 않고 조정 축선(6)에 평행한 방향에서 주요 부분들(12a, 12b 또는 12a', 12b') 사이의 간격을 브리징하지 않는데 반해, 도 4a 내지 5e에 따른 제2의 예시적인 실시예에 있어서, 상기 부분들은 또한 조정 축선(6)에 평행한 방향으로 연장한다. 도 4a 및 4b 또는 5c 및 5d에 나타낸 것과 같이, 2개의 베이스들(15c)은 부분적으로 조정 축선(6)에 실질적으로 평행하게 연장하는 나선형의 세그먼트로서 각각의 경우에 실현됨으로써 제1 수평면(18a)과 제2 수평면(18b) 사이의 간격을 브리징한다. 베이스들(15c 또는 15c')은 가볍게 회전 및 비틀린 직선들로서 실현되는 레그들(15a, 15a' 15b 또는 15b')에 합쳐진다(도 5e). 도 4b 및 5c에 나타낸 것과 같이, 제1 레그들(15a 또는 15a')은 제1 수평면(18a)과 제3 수평면(18c) 사이에서 연장하는 2개의 제1 만곡 부분들(17a 또는 17a')에 합쳐지고, 제2 레그들(15b 또는 15b')은 제2 수평면(18b)과 제3 수평면(18c) 사이에 연장하는 2개의 제2 만곡 부분들(17b 또는 17b')에 합쳐진다. 도 4a, 4b, 5a, 5b, 5c, 5d 및 5e에 나타낸 것과 같이, 2개의 제1 만곡 부분들(17a 또는 17a') 및 2개의 제2 만곡 부분들(17b 또는 17b')은 조정 축선(6)과 실질적으로 평행하게 연장하는 나선형의 세그먼트로서 각각의 경우에 실현된다. 그 결과, 2개의 제1 만곡 부분들(17a 또는 17a') 및 2개의 제2 만곡 부분들(17b 또는 17b')은 부분적으로 제1 수평면(18a)과 제2 수평면(18b) 사이 및 제1 주요 부분(12a 또는 12a')과 제2 주요 부분(12b 또는 12b') 사이의 간격을 브리징한다. 제2의 예시적인 실시예의 나머지 특징들은 제1의 예시적인 실시예의 것과 실질적으로 대응하는데, 그것은 위의 대응하는 설명들에 대해 참조되기 때문이다.

도 6a 내지 7e는 본 발명의 제1 양상에서 청구된 것과 같이 더 발전된 도 4a 내지 5e로부터의 제2의 예시적인 실시예의 변형예들을 나타낸다. 부분적으로, 이전의 예시적인 실시예들과 다른 특징들만이 이하에 상세히 설명된다.

도 6a 내지 7e에 따른 진공 밸브(1)는 단지 이전의 예시적인 실시예들과 같이, 유로(F)를 위한 개구부(3) 및 기하학적 개구부 축선(4)을 갖는 밸브 하우징(2)을 가진다. 폐쇄 부재(5)는 개구부(3)를 해제하고, 도 4a를 비교하는 개방 위치(O)로부터, 개구부(3) 위로 선형으로 가압되는 폐쇄 위치(C)로 폐쇄 부재면(7)에서, 개구부 축선(4)에 대해 횡방향으로 연장하는 기하학적 조정 축선(6)을 따라 폐쇄 방향(8)에서 선형 방식으로 변위 가능하고, 개방 방향(9)으로 다시 역으로 변위 가능하다. 밸브 하우징(2)은 개구부(3)를 둘러싸는 적어도 부분적으로 만곡된 제1 밀봉면(10)을 가진다. 제1 밀봉면(10)에 대응하고 제1 밀봉면(10)에 대응하는 형상을 가지는 제2 밀봉면(11)은 도 6a 내지 7e에 나타낸 것과 같이, 가황처리된 탄성 씰 형태로 폐쇄 부재(5) 상에 배열된다. 제1 밀봉면(10)은 각각의 경우에 조정 축선(6)과 평행하지 않고 개방 방향(9)에서 수직으로 또는 경사져 있는 다양하게 형성되는 부분들로부터 조립된다. 폐쇄 위치(C)에서, 제2 밀봉면(11)은 도 6a 내지 6f에 나타낸 것과 같이, 폐쇄 방향(8)에서 제1 밀봉면(10)을 가압하여 제1 밀봉면(10)과 밀봉 접촉한다. 그 결과 폐쇄 부재(5)는 개구부(3)를 기밀 방식으로 폐쇄한다.

밸브 하우징(2)이 개구부(3)와 제1 밀봉면(10) 사이의 프레임 형상 영역으로 프레임과 같은 방식으로 개구부(3)를 둘러싸는 제1 경사면(22)을 가지는 것이 도 6a 내지 7e로부터의 변형예들에 공통이다. 폐쇄 부재(5)는 제1 경사면(22)에 평행하게 연장하고, 제1 경사면(22)에 대응하고 제1 경사면(22)에 대응하는 형상을 가지는 제2 경사면(23)을 가진다. 제1 경사면(22) 및 제2 경사면(23)은 각각의 경우에 제1 경사면(22)이 개방 방향(9)으로 경사져 있고 제2 경사면(23)이 폐쇄 방향(8)으로 경사져 있는 방식으로 폐쇄 부재면(7)과 관련하여 경사각(24)으로 경사진다. 제1 경사면(22) 및 제2 경사면(23)은 경사각(24)으로 기하학적 조정 축선(6)에 의해, 파선으로 도시된 이들의 기하학적 연장부들에서 교차된다. 폐쇄 부재면(7)은 평행한 경사면들(22, 23) 사이의 작은 간격의 결과로서 공통 교차선(28)으로서 나타낸, 교차선들(28)에서 제1 경사면(22) 및 제2 경사면(23)에 의해 교차된다. 상기 교차선들(28)은 서로 평행하게 연장하고 주면들의 평탄한 전개의 결과로서 기하학적 직선들이다. 그러나, 또한 특히 도 2f 및 2g에 나타낸 것과 같이 주면들이 만곡면들로 되고 그 결과 또한 나타낸 예시적인 실시예에서 기하학적 평면들인 경사면들(22, 23)이 만곡면들에 의해 형성되는 것이 가능하고, 후자의 경우에 교차선들(28)은 곡선들이다.

나타낸 예시적인 실시예에 있어서, 경사각(24)은 대략 5도이다. 도 6a 내지 7e에 따른 변형예들에 있어서, 제1 경사면(22) 및 제2 경사면(23)은 서로에 대해, 폐쇄 부재(5)의 폐쇄 위치(C)에서, 제2 경사면(23)이 제1 경사면(22)에 대향하는 평행한 위치에 배열되는 방식으로 놓이고, 도 6a에 따른 변형예에서 서로에 대해 경사면들(22, 23) 간의 간격(v)은 0.05 mm보다 크고, 0. 6 mm보다 작고, 도 6b 내지 6f에 따른 변형예들의 경우의 간격(v)은 2개의 경사면들이 서로 접촉하도록 0과 같다.

도 6a에 따른 변형예에 있어서, 제1 경사면(22) 및 제2 경사면(23)은 비탄성 금속면들로서 실현된다. 폐쇄 부재(5)의 폐쇄 위치(C)에서의 간격(v)은 도 6a에 도시된 것과 같이 0.05 mm와 0.6 mm 사이에 있고, 그 결과 경사면들(22, 23) 간에는 접촉이 없다. 마찰 입자들의 발생이 회피된다. 폐쇄 위치(C)에서 경사면들(22, 23) 간의 작은 간격(v)의 결과로서, 상기 작은 간극은 장벽(barrier)으로서 작용하고 개구부(4)의 영역으로부터 공격적인 매체(공격적인 매체)가 밀봉면들(10 또는 11)과 직접 접촉하는 것이 방지한다.

추가로, 매체가 밀봉면들(10, 11)을 관통하는 것을 방지하기 위해, 밸브 하우징(2) 및 폐쇄 부재(5)는 도 6a 내지 6f에 따른 모든 변형예들의 경우에, 제1 경사면(22)과 제1 밀봉면(10) 사이의 영역에, 제1 경사면(22)을 둘러싸고 밸브 하우징(2)과 폐쇄 부재(5) 사이의 간격(z)이 리세스(27)의 영역에서 적어도 0.8 mm, 특히 0.8 mm와 6 mm 사이에 있는 방식으로 배열 및 전개되는 리세스(27)를 가진다. 제2 씰(11)에 대한 매체의 영향은 매체가 경사면들(22, 23) 간의 간극으로 침투한다면 이러한 방식으로 생성되는 교란의 결과로서 더 감소된다.

도 6c는 고주파 보호 실드를 갖는 실시예를 나타낸다. 제1 경사면(22)은 전위에 관해 밸브 하우징(1)과 결합되는 전기 전도 금속면으로서 실현된다. 제2 경사면(23)은 폐쇄 위치(C)에서, 개구부(3)를 완전히 덮는 폐쇄, 전기 전도 보호 실드(23a)이고 도처에서 개구부(3)는 도 6에 나타낸 것과 같이, 밸브 하우징(1)을 갖는 보호 실드(23a)의 퍼텐셜 전기 커플링을 위해 제1 경사면(22)에 전기적으로 연결된다. 상기 전기 접촉을 생성하기 위해, 폐쇄 위치(C)에서의 간격(v)은 제1 경사면(22)과 제2 경사면(23) 사이에 전기 접촉이 있도록 0과 같다.

도 6b, 6d 및 6e에 따른 변형예들의 경우에, 제2 경사면(23)은 각각의 경우에, 추가의 탄성 씰(25a, 25b 또는 25c)에 의해 형성되고, 도 6f에 따른 변형예의 경우에, 제1 경사면(22)은 추가의 탄성 씰(25a)에 의해 형성된다. 폐쇄 부재(5)의 폐쇄 위치(C)에서의 간격(v)은 각각의 경우에 추가의 탄성 씰(25a, 25b 또는 25c)이 밀봉 방식으로 각각의 대향하는 경사면(22 또는 23)을 접촉하도록 0과 같다. 그 결과, 제1 및 제2 밀봉면(10, 11)은 개구부(3)의 영역에 존재하는 매체로부터 광범위하게 절연된다. 도 6b 또는 도 6f로부터의 추가의 탄성 씰(25a)은 그루브(26) 내에 배열되는 원형 단면을 갖는 O-링(25a)에 의해 형성되고, 도 6d로부터의 O-링(25b)의 단면은 콩팥형이고 도 6e로부터의 O-링(25c)의 단면은 X-형이다. 이것에 대한 대안으로서, 추가의 탄성 씰(25a, 25b, 25c)이 밸브 하우스(2) 및/또는 폐쇄 부재(5)에 대해 가황처리되는 씰에 의해 형성되는 것이 가능하다.

명백하게 본 발명의 2개의 양상들 및 개개의 예시적인 실시예들의 개개의 특정 특징들을 함께 조합하는 것이 가능하다. 또한, 제2의 예시적인 실시예의 특징들을 제1의 예시적인 실시예 및 만곡된 기본 단면의 그것의 2개의 변형예들의 것들과 조합하는 것이 가능하고, 그 역도 가능하고, 예를 들어 단순히 하나 또는 수개의 베이스들 및/또는 하나 또는 수개의 제1의 만곡 부분들을 브리징 부분들(bridging portions)로서, 특히 나선형의 세그먼트 형태로 실현하는 것이 가능하다. 만곡된 또는 나선형 기하학 대신에, 기술한 기하학들과 기능적으로 같은 다른 2차원 또는 3차원으로 연장하는 기하학들이 또한 본 발명에 의해 포함된다. 또한, 상기 조합들을 경사면들의 변형예들의 특징들과 조합하는 것이 가능하다.

Claims (15)

1. 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로(F)를 폐쇄하기 위한 진공 밸브(1)로서, 상기 진공 밸브(1)는
   · 상기 유로(F)를 위한 개구부(3)를 갖는 밸브 하우징(2)으로서, 상기 개구부(3)는 상기 유로(F)를 따라 기하학적 개구부 축선(4)을 가지는, 상기 밸브 하우징(2),
   _° 상기 개구부(3)를 해제하는 개방 위치(O)로부터
   _° 상기 개구부(3) 위에서 선형으로 가압되고 개방 방향(9)에서 다시 역으로 변위 가능한 폐쇄 위치(C)로
   · 폐쇄 부재면(7)에서, 상기 개구부 축선(4)에 대해 횡방향으로 연장하는, 기하학적 조정 축선(6)을 따라 선형 방식으로 폐쇄 방향(8)에서 변위 가능한 폐쇄 부재(5),
   · 상기 개구부(3)를 둘러싸고 적어도 부분적으로 만곡된 상기 밸브 하우징(2)의 제1 밀봉면(10) 및
   ·상기 제1 밀봉면(10)에 대응하고 상기 제1 밀봉면(10)에 대응하는 형상을 가지는, 상기 폐쇄 부재(5)의 제2 밀봉면(11)을 구비하고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)은 각각의 경우에 상기 조정 축선(6)에 평행하지 않은 다양하게 형성되는 부분들(12a, 12b, 14a, 14b, 17a, 17b)로부터 조립되고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)의 상기 부분들(12a, 12b, 14a, 14b, 17a, 17b)의 표면 수선들(surface normals)은 각각의 경우에 상기 조정 축선(6)에 평행한 방향 성분들(directional components)을 가지며 그 결과 상기 제1 밀봉면(10)은 상기 개구부 방향(9)에서 수직 또는 경사져 있고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)의 제1 주요 부분(12a)은 실질적으로 기하학적 제1 주면(13a')을 따라 연장하고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)의 제2 주요 부분(12b)은 실질적으로 기하학적 제2 주면(13b')을 따라 연장하고,
   · 상기 제1 주면(13a') 및 상기 제2 주면(13b')은 상기 조정 축선(6)에 평행하게 연장하고, 서로 이격되어 있고 상기 폐쇄 부재면(7)에 실질적으로 평행하게 연장하고 그 결과 상기 제1 주요 부분(12a) 및 상기 대향하는 제2 주요 부분(12b)은, 서로에 대해, 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋(geometric offset)을 가지며,
   · 상기 개구부(3)는 상기 2개의 대향하는 주요 부분들(12a, 12b) 사이에 배열되고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분(14a)은 상기 제1 밀봉면(10)의 일 측면 상에서 상기 제1 주요 부분(12a) 및 상기 제2 주요 부분(12b)을 연결하고,
   · 상기 제1 밀봉면(10)의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분(14b)은 상기 제1 밀봉면(10)의 다른 측면 상에서 상기 제1 주요 부분(12a) 및 상기 제2 주요 부분(12b)을 연결하고,
   · 상기 제1의 U자형 측면 부분(14a) 및 상기 제2의 U자형 측면 부분(14b)은 각각의 경우에 상기 제1 주요 부분(12a)과 연관되는 제1 레그(15a), 상기 제2 주요 부분(12b)과 연관되는 제2 레그(15b), 및 특히 곡선으로서 실현되는 베이스(15c)를 가지며,
   · 상기 제1 레그(15a) 및 상기 제2 레그(15b)는 서로에 대해 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가지며,
   · 상기 각각의 베이스(15c)는 각각의 경우에 상기 제1 레그(15a) 및 상기 제2 레그(15b)를 연결하고 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 상기 기하학적 오프셋을 브리징하고(bridge),
   · 상기 폐쇄 위치(C)에서, 상기 제2 밀봉면(11)은 상기 폐쇄 방향(8)에서 상기 제1 밀봉면(10)을 가압하여 상기 제1 밀봉면(10)과 밀봉 접촉하고 상기 폐쇄 부재(5)는 상기 개구부(3)를 기밀 방식으로 폐쇄하는, 진공 밸브(1)에 있어서,
   · 상기 밸브 하우징(2)은 상기 개구부(3)와 상기 제1 밀봉면(10) 사이의 영역에서 상기 개구부(3)를 둘러싸는 제1 경사면(22)을 가지며,
   · 상기 폐쇄 부재(5)는 상기 제1 경사면(22)에 평행하게 연장하는 제2 경사면(23)을 가지며, 상기 제1 경사면(22)에 대응하고 상기 제1 경사면(22)에 대응하는 형상을 가지며,
   · 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 각각의 경우에, 상기 제1 경사면(22)이 상기 개방 방향(9)에서 경사지고 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)이 경사각(24)으로 상기 기하학적 조정 축선(6)에 의해 이들의 기하학적 연장부들에서 교차되는 방식으로 상기 폐쇄 부재면(7)과 관련하여 경사각(24)으로 경사지고,
   · 상기 경사각(24)은 3과 15도 사이에 있고,
   · 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 상기 폐쇄 부재(5)의 상기 폐쇄 위치(C)에서, 상기 제2 경사면(23)이 서로 0과 0.6 mm 사이의 간격(v)을 갖는 상기 제1 경사면(22)과 대향하는 평행한 위치에 배열되는 방식으로 서로에 대해 위치되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
2. 제1항에 있어서,
   · 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 비탄성 방식으로 실현되고
   · 상기 폐쇄 부재(5)의 상기 폐쇄 위치(C)에서의 상기 간격(v)은 0.05 mm와 0.6 mm 사이, 특히 0.05 mm와 0.3 mm 사이에 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 금속면들로서 실현되는. 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
4. 제1항에 있어서,
   · 상기 제1 경사면(22)은 전위에 관해 상기 밸브 하우징(1)과 결합되는 전기 전도 금속면으로서 실현되고,
   · 상기 제2 경사면(23)은 상기 폐쇄 위치(C)에서, 상기 개구부(3)를 완저히 덮는 폐쇄, 전기 전도 보호 실드(23a)로서 실현되고, 전반에 걸친(all around) 상기 개구부(3)는 상기 밸브 하우징(1)과 상기 보호 실드(23a)의 잠재적인 전기 커플링을 위해 상기 제1 경사면(22)에 전기적으로 접속되고,
   · 상기 폐쇄 위치(C)에서의 상기 간격(v)은 전기 접촉을 생성하기 위해 0과 같은 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
5. 제1항에 있어서,
   · 상기 제1 경사면(22) 및/또는 상기 제2 경사면(23)은 추가의 탄성 씰(25a; 25b; 25c)에 의해 형성되고
   · 상기 폐쇄 부재(5)의 상기 폐쇄 위치(C)에서의 상기 간격(v)은 0과 같은 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
6. 제5항에 있어서,
   상기 추가의 탄성 씰(25a; 25b; 25c)은 그루브(26) 내에 배열되는 0-링에 의해 형성되고, 상기 O-링은 특히 원형 단면(25a), 콩팥형 단면(25b) 또는 X-형 단면(25c)을 가지는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
7. 제5항에 있어서,
   상기 추가의 탄성 씰(25a, 25b; 25c)은 상기 밸브 하우징(2) 및/또는 상기 폐쇄 부재(5)에 대해 가황처리되는(vulcanized) 씰에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 밸브 하우징(2) 및/또는 상기 폐쇄 부재(5)는 상기 제1 경사면(22)과 상기 제1 밀봉면(10) 사이의 영역에, 상기 제1 경사면(22)을 둘러싸고 상기 밸브 하우징(2)과 상기 폐쇄 부재(5) 사이의 간격(z)이 리세스(27)의 상기 영역에서 적어도 0.8 mm, 특히 특히 0.8 mm와 6 mm 사이에 있는 방식으로 배열되고 전개되는(developed) 리세스를 가지는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   · 상기 2개의 제1 레그들(15a)은 각각의 경우에 실질적으로 상기 조정 축선(6)에 평행한 제1 레그 평면들(16a)을 따라 연장하고,
   · 상기 2개의 제2 레그들(15b)은 실질적으로 상기 조정 축선(6)에 평행한 제2 레그 평면들(16b)을 따라 연장하고,
   · 상기 제1 주면(13a'), 상기 제2 주면(13b'), 상기 폐쇄 부재면(7), 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 각각의 경우에 기하학적 평면들에 의해 형성되고
   · 상기 제1 레그 평면들(16a)은 상기 제1 주면(13a')의 상기 기하학적 평면 위에 놓이고, 상기 제2 레그 평면들(16b)은 상기 제2 주면(13b')의 상기 기하학적 평면 위에 놓이는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    · 상기 2개의 제1 레그들(15a)은 각각의 경우에 실질적으로 상기 조정 축선(6)에 평행한 제1 레그 평면들(16a)을 따라 연장하고
    · 상기 제1 밀봉면(10)의 제1 만곡 부분(17a)은 상기 제1 주요 부분(12a)과 상기 2개의 제1 레그들(15a) 사이에 배열되고,
    · 상기 제1 주요 부분(12a)에서 상기 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 상기 제1 밀봉면(10)은 각각의 경우에 상기 제1 만곡 부분들(17a)에 합쳐지고, 상기 제1 주요 부분(12a)으로부터 상기 각각의 제1 만곡 부분(17a)으로의 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제1 접평면(13a)에서 상기 제1 주면(13a')으로 실행되고,
    · 상기 2개의 제1 레그 평면들(16a)은 각각의 경우에 상기 각각의 제1 접평면(13a)과 관련하여 적어도 15도만큼 기울어져 있고,
    · 상기 제1 만곡 부분(17a)에서, 상기 제1 주요 부분(12a)에 있는 상기 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 상기 제1 밀봉면(10)은 특히 기하학적 만곡부(geometric curvature)에 의해, 적어도 15도만큼 상기 제1 주면(13a') 밖으로 안내되고, 상기 제1 레그 평면(16a)에 합쳐지고,
    · 특히 상기 제1 주면(13a'), 상기 제2 주면(13b') 및 상기 폐쇄 부재면(7)은 특히 실질적으로 상기 조정 축선(6)과 평행한 만곡부 축선(21)에 대해 적어도 부분적으로 만곡되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브(1).
11. 특히 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 청구된 진공 밸브에 대해 선형 운동에 의해 기밀 방식으로 유로(F)를 폐쇄하기 위한 폐쇄 부재(5)로서, 상기 폐쇄 부재는
    · 폐쇄 부재면(7)에 있는 기하학적 조정 축선(6) 및
    · 제2 밀봉면(11)을 구비하고,
    · 상기 제2 밀봉면(10)은 각각의 경우에 상기 조정 축선(6)에 평행한 다양하게 형성되는 부분들(12a' 12b' 14a' 14b' 17a' 17b')로부터 조립되고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 상기 부분들(12a' 12b' 14a' 14b' 17a' 17b')의 상기 표면 수선들은 각각의 경우에 상기 조정 축선(6)에 평행한 방향 성분들을 가지며, 그 결과 상기 제2 밀봉면(11)은 상기 조정 축선(6)의 개방 방향(9)에 수직으로 또는 경사져 있고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 제1 주요 부분(12a')은 실질적으로 기하학적 제1 주면(13a')을 따라 연장하고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 제2 주요 부분(12b')은 실질적으로 기하학적 제2 면(13b')을 따라 연장하고,
    · 상기 제1 주면(13a') 및 상기 제2 주면(13b')은 상기 조정 축선(6)에 평행하게 연장하고, 서로로부터 이격되어 있고 실질적으로 상기 폐쇄 부재면(7)에 대해 평행하게 연장하고, 그 결과 상기 제1 주요 부분(12a') 및 상기 대향하는 제2 주요 부분(12b')은 서로에 대해, 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가지며
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 횡방향의 제1의 U자형 측면 부분(14a')은 상기 제2 밀봉면(11)의 일 측면 상에서 상기 제1 주요 부분(12a') 및 상기 제2 주요 부분(12b')을 연결하고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 횡방향의 제2의 U자형 측면 부분(14b')은 상기 제2 밀봉면(11)의 다른 측면 상에서 상기 제1 주요 부분(12a') 및 상기 제2 주요 부분(12b')을 연결하고,
    · 상기 제1의 U자형 측면 부분(14a') 및 상기 제2의 U자형 측면 부분(14b')은 각각의 경우에 상기 제1 주요 부분(12a')과 연관된 제1 레그(15a') 및 상기 제2 주요 부분(12b')와 연관된 제2 레그(15b') 및 베이스(15c')를 가지며,
    · 상기 제1 레그(15a') 및 상기 제2 레그(15b')는 서로에 대해, 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 기하학적 오프셋을 가지며,
    · 상기 각각의 베이스(15c')는 각각의 경우에 상기 제1 레그(15a') 및 상기 제2 레그(15b')를 연결하고 상기 조정 축선(6)에 대해 횡방향으로 상기 기하학적 오프셋을 브리징하고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)에 의해, 상기 폐쇄 부재(5)의 폐쇄 위치(C)에서, 기밀 방식으로 상기 진공 밸브(1)의 개구부(3)를 폐쇄하기 위해 진공 밸브(1)의 제1 밀봉면(10)과의 밀봉 접촉이 상기 조정 축선(6)의 폐쇄 방향(8)에서 상기 제1 밀봉면(10) 위로 선형으로 상기 제2 밀봉면(11)을 가압한 결과로서 생성 가능한, 폐쇄 부재(5)에 있어서,
    · 상기 폐쇄 부재(5)의 제2 경사면(23)은 상기 제2 밀봉면(11)의 상기 부분들(12a' 12b' 14a' 14b' 17a' 17b') 사이의 영역에 배열되고,
    · 상기 제2 경사면(23)은 상기 제1 경사면(22)이 상기 폐쇄 방향(8)에 대향하는 상기 개방 방향(9)으로 기울어져 있고 상기 제1 경사면(22)이 상기 경사각(24)으로 상기 기하학적 조정 축선(6)에 의해 자신의 기하학적 연장부에서 교차되는 방식으로 상기 폐쇄 부재면(7)과 관련하여 경사각(24)으로 경사지고,
    · 상기 경사각(24)은 3과 15도 사이에 있고
    · 상기 제2 경사면(23)은 상기 폐쇄 부재(5)의 상기 폐쇄 위치(C)에서, 상기 제2 경사면(23)이 상기 개구부(3)를 둘러싸고 상기 개구부(3)와 상기 제1 밀봉면(10) 사이의 영역에 배열되는 제1 경사면(22)과 대향하는 평행한 위치로 이동 가능한 방식으로 실현되는 것을 특징으로 하는, 폐쇄 부재(5).
12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 경사면(23)은 상기 폐쇄 위치(C)에서, 상기 개구부(3)가 완전히 덮일 수 있는 폐쇄, 전기 전도 보호 실드(23a)로서 실현되는 것을 특징으로 하는, 폐쇄 부재(5).
13. 제11 항에 있어서,
    상기 제2 경사면(23)은 특히
    · 그루브(26) 내에 배열되는 O-링으로서, 상기 O-링은 특히 원형 단면(25a), 콩팥형 단면(25b) 또는 X-형 단면(25c)을 가지는, 상기 0-링에 의해, 또는
    · 상기 폐쇄 부재(5)에 대해 가황처리되는 씰에 의해
    형성되는 추가의 탄성 씰(25a; 25b; 25c)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는, 폐쇄 부재(5).
14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    · 상기 2개의 제1 레그들(15a')은 각각의 경우에 실질적으로 상기 조정 축선(6)에 평행한 제1 레그 평면들(16a)을 따라 연장하고,
    · 상기 2개의 제2 레그들(15b')은 실질적으로 상기 조정 축선(6)과 평행한 제2 레그 평면들(16b)을 따라 연장하고,
    · 상기 제1 주면(13a'), 상기 제2 주면(13b'), 상기 폐쇄 부재면(7), 상기 제1 경사면(22) 및 상기 제2 경사면(23)은 각각의 경우에 기하학적 평면에 의해 형성되고,
    · 상기 제1 레그 평면들(16a)은 상기 제1 주면(13a')의 상기 기하학적 평면 상에 놓이고, 상기 제2 레그 평면들(16b)은 상기 제2 주면(13b')의 상기 기하학적 평면 상에 놓이는 것을 특징으로 하는, 폐쇄 부재(5).
15. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    · 상기 2개의 제1 레그들(15a')은 각각의 경우에 실질적으로 상기 조정 축선(6)과 평행한 제1 레그 평면들(16a)을 따라 연장하고,
    · 상기 제2 밀봉면(11)의 제1 만곡 부분(17a')은 상기 제1 주요 부분(12a')과 상기 2개의 제1 레그들(15a') 사이에 배열되고,
    · 상기 제1 주요 부분(12a')에서 상기 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 상기 제2 밀봉면(11)은 각각의 경우에 상기 제1 만곡 부분들(17a')에 합쳐지고, 상기 제1 주요 부분(12a')으로부터 상기 각각의 제1 만곡 부분(17a')으로의 상기 각각의 이행은 각각의 경우에 기하학적 제1 접평면(13a)에서 상기 제1 주면(13a')으로 실행되고,
    · 상기 2개의 제1 레그 평면들(16a)은 각각의 경우에 상기 각각의 제1 접평면(13a)과 관련하여 적어도 15도만큼 기울어져 있고,
    · 상기 제1 만곡 부분(17a')에서, 상기 제1 주요 부분(12a')에 있는 상기 제1 주면(13a')을 따라 연장하는 상기 제2 밀봉면(11)은 특히 기하학적 만곡부에 의해, 적어도 15도만큼 상기 제1 주면(13a') 밖으로 안내되고 상기 제1 레그 평면(16a)에 합쳐지고
    ·특히 상기 제1 주면(13a'), 상기 제2 주면(13b') 및 상기 폐쇄 부재면(7)은 특히 실질적으로 상기 조정 축선(6)에 평행한 만곡부 축선(21)에 대해 적어도 부분적으로 만곡되어 있는 것을 특징으로 하는, 폐쇄 부재(5).

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