JP6034381B2 - 直線移動によってガスが漏れない方法で流路を閉鎖する真空バルブ及び閉鎖部材 - Google Patents
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Description
図1aから図2e及び図3aから図3eは、真空バルブ1及びその閉鎖部材5の第1実施形態を示す。真空バルブ1を用いることによって、バルブハウジング2の開口3を通過する、流路Fを、閉鎖部材5の直線移動により、ガスが漏れない方法で閉鎖することができる。図3cに示されるように、流路Fのための開口3は、矩形の経路の形で、バルブハウジング2に形成され、示される例示的な実施形態の開口3の幅bは、開口3の高さhの約6倍となる。真空バルブ1は、切換バルブとして実現される。
Claims (28)
- 直線移動によってガスが漏れない方法で流路(F)を閉鎖するための真空バルブ(1)であり、
・流路(F)のための開口(3)を有するバルブハウジング(2)であって、開口(3)が流路(F)に沿った幾何学的開口軸(4)を有するバルブハウジング(2)と、
・開口(3)を開放する開放位置(O)から、
開口(3)を覆うように直線的に押される閉鎖位置(C)に、
閉鎖部材面(7)で、開口軸(4)に対して横断方向に延びる幾何学的調整軸(6)に沿って、閉じる方向(8)に直線的な方法で移動可能で、そして、開く方向(9)へと逆に移動可能な閉鎖部材(5)と、
・開口(3)を取り囲み、そして、少なくとも部分的に曲線状であるバルブハウジング(2)の第1シール面(10)と、
・第1シール面(10)と対応し、そして、第1シール面(10)と対応する形状を有する閉鎖部材(5)の第2シール面(11)と、
を含む真空バルブ(1)であって、
・第1シール面(10)が、いずれも調整軸(6)と平行ではない、様々に成形された部分(12a、12b、14a、14b、17a、17b)から組み立てられ、
・第1シール面(10)の部分(12a、12b、14a、14b、17a、17b)の各面法線が、いずれも調整軸(6)と平行な方向成分を有し、その結果、第1シール面(10)が、開く方向(9)に垂直又は傾斜して配向され、
・第1シール面(10)の第1主要部分(12a)が、幾何学的第1主要面(13a’)に沿って実質的に広がり、
・第1シール面(10)の第2主要部分(12b)が、幾何学的第2主要面(13b’)に沿って実質的に広がり、
・第1主要面(13a’)及び第2主要面(13b’)が、調整軸(6)と平行に広がり、互いに間隔を置いて配置され、そして、閉鎖部材平面(7)と実質的に平行に広がり、その結果、第1主要部分(12a)及び反対の第2主要部分(12b)が、調整軸(6)に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・開口(3)が、2つの対向する主要部分(12a、12b)の間に、配置され、
・第1シール面(10)の横断方向の第1U字状側部(14a)が、第1シール面(10)の一方の側で第1主要部分(12a)及び第2主要部分(12b)を接続し、
・第1シール面(10)の横断方向の第2U字状側部(14b)が、第1シール面(10)の他方の側で第1主要部分(12a)及び第2主要部分(12b)を接続し、
・第1U字状側部(14a)及び第2U字状側部(14b)が、いずれも、第1主要部分(12a)と連なった第1脚部(15a)、第2主要部分(12b)と連なった第2脚部(15b)、及び、基部(15c)を含み、
・第1脚部(15a)及び第2脚部(15b)が、調整軸(6)に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・それぞれの基部(15c)が、いずれも、第1脚部(15a)及び第2脚部(15b)を接続し、調整軸(6)に対して横断方向に幾何学的オフセットを橋絡し、
・閉鎖位置(C)では、第2シール面(11)が、閉じる方向(8)に第1シール面(10)上を押圧しながら、第1シール面(10)と封止する接触をし、そして、閉鎖部材(5)が、ガスが漏れない方法で、開口(3)を閉鎖する、
真空バルブ(1)において、
・バルブハウジング(2)が、開口(3)及び第1シール面(10)の間の領域に、開口(3)を取り囲む第1傾斜面(22)を有し、
・閉鎖部材(5)が、第1傾斜面(22)と平行に広がり、第1傾斜面(22)と対応し、そして、第1傾斜面(22)と対応する形状を有する第2傾斜面(23)を有し、
・第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、第1傾斜面(22)が傾斜して開く方向(9)に向くように、いずれも、閉鎖部材面(7)に対して、傾斜角(24)で傾斜し、そして、第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、傾斜角(24)で、幾何学的調整軸(6)と、幾何的広がりで交差し、
・傾斜角(24)が、3度から15度の間であり、
・第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での第2傾斜面(23)が、第1傾斜面(22)と対向する平行な位置に、互いに0mmと0.6mmの間の間隔(v)で配置されるように、互いに位置する、
ことを特徴とする真空バルブ(1)。 - 前記基部(15c)が、曲線として実現される、
ことを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ(1)。 - ・第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、非弾性的な方法で実現され、そして、
・閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での間隔(v)が、0.05mmと0.6mmの間となる、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の真空バルブ(1)。 - 前記閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での間隔(v)が、0.05mmと0.3mmの間となる、
ことを特徴とする請求項3に記載の真空バルブ(1)。 - 第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、金属面として実現される、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の真空バルブ(1)。 - ・第1傾斜面(22)が、電位に関してバルブハウジング(2)と結合する導電性金属面として、実現され、
・第2傾斜面(23)が、閉鎖位置(C)で、開口(3)を完全に覆い、バルブハウジング(2)と保護シールド(23a)の電位的な結合のために、開口(3)周辺全体で、第1傾斜面(22)に電気的に接続される、閉じた導電性保護シールド(23a)として実現され、
・閉鎖位置(C)の間隔(v)が、電気接触をもたらすために、0に等しい、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の真空バルブ(1)。 - ・第1傾斜面(22)及び/又は第2傾斜面(23)が追加的な弾性シール(25a、25b、25c)によって形成され、
・閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での間隔(v)が、0に等しい、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の真空バルブ(1)。 - 追加的な弾性シール(25a、25b、25c)が、溝(26)に配置されるO−リングによって形成される
ことを特徴とする請求項7に記載の真空バルブ(1)。 - 前記O−リングが、円形断面(25a)、腎臓形断面(25b)、又は、X字状断面(25c)を有する
ことを特徴とする請求項8に記載の真空バルブ(1)。 - 追加的な弾性シール(25a、25b、25c)が、バルブハウジング(2)及び/又は閉鎖部材(5)上に加硫されるシールにより、形成される
ことを特徴とする請求項7に記載の真空バルブ(1)。 - バルブハウジング(2)及び/又は閉鎖部材(5)が、第1傾斜面(22)及び第1シール面(10)間の領域に、第1傾斜面(22)を取り囲み、バルブハウジング(2)及び閉鎖部材(5)間の間隔(z)が、凹部(27)の領域で、少なくとも0.8mmとなるように配置及び展開される凹部(27)を有する
ことを特徴とする請求項1から10のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ(1)。 - 前記凹部(27)は、前記バルブハウジング(2)及び閉鎖部材(5)間の間隔(z)が、凹部(27)の領域で、0.8mmと6mmの間となるように配置及び展開される、
ことを特徴とする請求項11に記載の真空バルブ(1)。 - ・2つの第1脚部(15a)が、いずれも、調整軸(6)と平行な各第1脚部平面(16a)に実質的に沿って広がり、
・2つの第2脚部(15b)が、調整軸(6)と平行な各第2脚部平面(16b)に実質的に沿って広がり、
・第1主要面(13a’)、第2主要面(13b’)、閉鎖部材面(7)、第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、いずれも幾何学的平面によって形成され、
・各第1脚部平面(16a)が第1主要面(13a’)の幾何学的平面上に設けられ、そして、各第2脚部平面(16b)が第2主要面(13b’)の幾何学的平面上に設けられる
ことを特徴とする請求項1から12のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ(1)。 - ・2つの第1脚部(15a)が、いずれも、調整軸(6)と平行な各第1脚部平面(16a)に実質的に沿って広がり、
・第1シール面(10)の第1湾曲部分(17a)が、第1主要部分(12a)及び2つの第1脚部(15a)の間に配置され、
・第1主要面(13a’)に沿った第1主要部分(12a)に広がる、第1シール面(10)が、いずれも、各第1湾曲部分(17a)となり、第1主要部分(12a)からそれぞれの第1湾曲部分(17a)へのそれぞれの遷移が、いずれも、第1主要面(13a’)に対する幾何学的第1接平面(13a)で、実行され、
・2つの第1脚部平面(16a)が、いずれも、それぞれの第1接平面(13a)に対して少なくとも15度の角度をつけられ、
・第1主要面(13a’)に沿った第1主要部分(12a)に広がる第1シール面(10)が、第1湾曲部分(17a)では、前記少なくとも15度により、第1主要面(13a’)から外へ誘導され、第1脚部平面(16a)となる、
ことを特徴とする請求項1から12のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ(1)。 - 前記第1シール面(10)が、第1湾曲部分(17a)では、幾何学的湾曲によって、第1主要面(13a’)から外へ誘導され、第1脚部平面(16a)となる
ことを特徴とする請求項14に記載の真空バルブ(1)。 - 前記第1主要面(13a’)、第2主要面(13b’)及び閉鎖部材面(7)が、湾曲軸(21)のまわりで、少なくとも一部位で曲線状となる、
ことを特徴とする請求項14又は15に記載の真空バルブ(1)。 - 前記湾曲軸(21)が、前記調整軸(6)と実質的に平行である、
ことを特徴とする請求項16に記載の真空バルブ(1)。 - 直線移動によってガスが漏れない方法で流路(F)を閉鎖するための閉鎖部材(5)であり、
・閉鎖部材面(7)内の、幾何学的調整軸(6)と、
・第2シール面(11)と、
を含む閉鎖部材(5)であって、
・第2シール面(11)が、いずれも調整軸(6)と平行ではない、様々に成形された各部分(12a’、12b’、14a’、14b’、17a’、17b’)から組み立てられ、
・第2シール面(11)の各部分(12a’、12b’、14a’、14b’、17a’、17b’)の各面法線が、いずれも調整軸(6)と平行な方向成分を有し、その結果、第2シール面(11)が、調整軸(6)の開く方向(9)に垂直又は傾斜して配向され、
・第2シール面(11)の第1主要部分(12a’)が、幾何学的第1主要面(13a’)に沿って実質的に広がり、
・第2シール面(11)の第2主要部分(12b’)が、幾何学的第2主要面(13b’)に沿って実質的に広がり、
・第1主要面(13a’)及び第2主要面(13b’)が、調整軸(6)と平行に広がり、互いに間隔を置いて配置され、そして、閉鎖部材平面(7)と実質的に平行に広がり、その結果、第1主要部分(12a’)及び反対の第2主要部分(12b’)が、調整軸(6)に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・第2シール面(11)の横断方向の第1U字状側部(14a’)が、第2シール面(11)の一方の側で第1主要部分(12a’)及び第2主要部分(12b’)を接続し、
・第2シール面(11)の横断方向の第2U字状側部(14b’)が、第2シール面(11)の他方の側で第1主要部分(12a’)及び第2主要部分(12b’)を接続し、
・第1U字状側部(14a’)及び第2U字状側部(14b’)が、いずれも、第1主要部分(12a’)と連なった第1脚部(15a’)、第2主要部分(12b’)と連なった第2脚部(15b’)、及び、基部(15c’)を含み、
・第1脚部(15a’)及び第2脚部(15b’)が、調整軸(6)に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・それぞれの基部(15c’)が、いずれも、第1脚部(15a’)及び第2脚部(15b’)を接続し、調整軸(6)に対して横断方向に幾何学的オフセットを橋絡し、
・閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での第2シール面(11)によって、ガスが漏れない方法で真空バルブ(1)の開口(3)を閉鎖するための真空バルブ(1)の第1シール面(10)との封止する接触が、調整軸(6)の閉じる方向(8)に第1シール面(10)上へ第2シール面(11)を直線的に押圧することによりもたらされる、
閉鎖部材(5)において、
・閉鎖部材(5)の第2傾斜面(23)が、第2シール面(11)の各部分(12a’、12b’、14a’、14b’、17a’、17b’)との間の領域に配置され、
・第2傾斜面(23)が、閉じる方向(8)の反対である開く方向(9)に第1傾斜面(22)が傾斜して向くように、閉鎖部材面(7)に対して、傾斜角(24)で傾斜し、そして、第1傾斜面(22)が、傾斜角(24)で、幾何学的調整軸(6)と、幾何的広がりで交差し、
・傾斜角(24)が、3度から15度の間であり、
・第2傾斜面(23)が、開口(3)を取り囲みそして開口(3)及び第1シール面(10)の間の領域に配置される第1傾斜面(22)と対向する平行な位置に、閉鎖部材(5)の閉鎖位置(C)での第2傾斜面(23)が移動可能なように、実現される
ことを特徴とする閉鎖部材(5)。 - 前記閉鎖部材(5)が、請求項1から10のうちのいずれか一項に記載の真空バルブのためのものである、
ことを特徴とする請求項18に記載の閉鎖部材(5)。 - 第2傾斜面(23)が、閉じた導電性保護シールド(23a)として実現され、この導電性保護シールド(23a)により、閉鎖位置(C)で、開口(3)が完全に覆われる、
ことを特徴とする請求項18又は19に記載の閉鎖部材(5)。 - 第2傾斜面(23)が、追加的な弾性シール(25a、25b、25c)によって形成される
ことを特徴とする請求項18又は19に記載の閉鎖部材(5)。 - 第2傾斜面(23)の追加的な弾性シール(25a、25b、25c)が、
・溝(26)に配置されるO−リングであって、前記O−リングによって、又は、
・閉鎖部材(5)上に加硫されるシールによって、
形成される
ことを特徴とする請求項21に記載の閉鎖部材(5)。 - 前記O−リングが、円形断面(25a)、腎臓形断面(25b)、又は、X字状断面(25c)を有する、
ことを特徴とする請求項22に記載の閉鎖部材(5)。 - ・2つの第1脚部(15a’)が、いずれも、調整軸(6)と平行な各第1脚部平面(16a)に実質的に沿って広がり、
・2つの第2脚部(15b’)が、調整軸(6)と平行な各第2脚部平面(16b)に実質的に沿って広がり、
・第1主要面(13a’)、第2主要面(13b’)、閉鎖部材面(7)、第1傾斜面(22)及び第2傾斜面(23)が、いずれも幾何学的平面によって形成され、
・第1脚部平面(16a)が第1主要面(13a’)の幾何学的平面上に設けられ、そして、第2脚部平面(16b)が第2主要面(13b’)の幾何学的平面上に設けられる、
ことを特徴とする請求項18から23のうちのいずれか一項に記載の閉鎖部材(5)。 - ・2つの第1脚部(15a’)が、いずれも、調整軸(6)と平行な各第1脚部平面(16a)に実質的に沿って広がり、
・第2シール面(11)の第1湾曲部分(17a’)が、第1主要部分(12a’)及び2つの第1脚部(15a’)の間に配置され、
・第1主要面(13a’)に沿った第1主要部分(12a’)に広がる、第2シール面(11)が、いずれも、第1湾曲部分(17a’)となり、第1主要部分(12a’)からそれぞれの第1湾曲部分(17a’)へのそれぞれの遷移が、いずれも、第1主要面(13a’)に対する幾何学的第1接平面(13a)で、実行され、
・2つの第1脚部平面(16a)が、いずれも、それぞれの第1接平面(13a)に対して少なくとも15度の角度をつけられ、
・第1主要面(13a’)に沿った第1主要部分(12a’)に広がる第2シール面(11)が、第1湾曲部分(17a’)では、前記少なくとも15度により、特に幾何学的湾曲によって、第1主要面(13a’)から外へ誘導され、第1脚部平面(16a)となり、
・特に、第1主要面(13a’)、第2主要面(13b’)及び閉鎖部材面(7)が、湾曲軸(21)、特に調整軸(6)と実質的に平行である、のまわりで、少なくとも一部位で曲線状となる、
ことを特徴とする請求項18から23のうちのいずれか一項に記載の閉鎖部材(5)。 - 前記第2シール面(11)が、第1湾曲部分(17a’)では、幾何学的湾曲によって、第1主要面(13a’)から外へ誘導され、第1脚部平面(16a)となる、
ことを特徴とする請求項25に記載の閉鎖部材(5)。 - 前記第1主要面(13a’)、第2主要面(13b’)及び閉鎖部材面(7)が、湾曲軸(21)のまわりで、少なくとも一部位で曲線状となる、
ことを特徴とする請求項25又は26に記載の閉鎖部材(5)。 - 前記湾曲軸(21)が、前記調整軸(6)と実質的に平行である、
ことを特徴とする請求項27に記載の閉鎖部材(5)。
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Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3717724A1 (de) | 1987-05-26 | 1988-12-08 | Schertler Siegfried | Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse |
DE3801998C1 (ja) | 1988-01-23 | 1989-05-18 | Schertler, Siegfried, Haag, Ch | |
DE3831249A1 (de) * | 1988-09-14 | 1990-03-22 | Schertler Siegfried | Ventilschieber |
US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
JP3143250B2 (ja) | 1993-02-16 | 2001-03-07 | バット ホールディング アーゲー | アクチュエータ |
DE19746241C2 (de) | 1997-10-20 | 2000-05-31 | Vat Holding Ag Haag | Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung |
US6089537A (en) | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6629682B2 (en) | 2001-01-11 | 2003-10-07 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
US6416037B1 (en) | 2001-01-11 | 2002-07-09 | Vat Holding Ag | Vacuum pipe |
US6685163B2 (en) * | 2002-02-26 | 2004-02-03 | Vat Holding Ag | Vacuum valve |
TW200407513A (en) * | 2002-11-07 | 2004-05-16 | Wei-Yueh Wu | Gate valve assembly |
KR100960030B1 (ko) | 2004-03-12 | 2010-05-28 | 배트 홀딩 아게 | 진공 게이트 밸브 |
US7828267B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-11-09 | Kitz Sct Corporation | Slide valve |
JP2008025835A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Vat Holding Ag | 真空弁、及び連結棒に取り付け可能な閉鎖ディスク |
US8999103B2 (en) | 2006-08-25 | 2015-04-07 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing system, substrate processing method and storage medium |
KR100714249B1 (ko) | 2007-03-29 | 2007-05-07 | 주식회사 에스티에스 | 구동이 개선된 사각형 진공 게이트 밸브 |
US7806383B2 (en) | 2007-06-01 | 2010-10-05 | Applied Materials, Inc. | Slit valve |
CN201100470Y (zh) | 2007-07-11 | 2008-08-13 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 一种超高真空手、气动闸板阀密封装置 |
JP5490435B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲートバルブ装置 |
EP2420709A1 (de) | 2010-08-16 | 2012-02-22 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung |
CH704728A2 (de) | 2011-03-18 | 2012-09-28 | Vat Holding Ag | Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung eines Verschlussglieds. |
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