CN114352171A - 一种新型的真空密封门板结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔与传输腔，所述传输腔的底部安装有安装底座，所述安装底座的底部定位连接有基座，所述基座的前端定位安装有驱动装置，所述反应腔的前端开设有一号密封槽、二号密封槽与腔口，所述传输腔位于反应腔的前端位置，所述腔口的中部开设有封口，所述传输腔内侧靠近封口的位置安装有固定门板，所述传输腔的底部开设有槽体，所述驱动装置上端设置有驱动缸。本发明所述的一种新型的真空密封门板结构，由驱动装置控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封，不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑，此外，维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件。
Description
技术领域
本发明涉及真空密封门板领域，特别涉及一种新型的真空密封门板结构。
背景技术
真空密封门板结构是一种进行门板真空密封的支撑结构，现有密封功能都是通过移动带有密封槽的门板挤压密封圈实现的且密封圈受压面为平面，为了减小密封圈的磨损，门板位移主要可分为以下几种形式：通过翻转门板来实现此功能；先水平移动门板再竖直移动门板；先水平移动门板再倾斜移动门板，随着科技的不断发展，人们对于真空密封门板结构的制造工艺要求也越来越高。
现有的真空密封门板结构在使用时存在一定的弊端，方案结构较为复杂且需要较大的安装空间才能实现其功能，故而限制了其在真空反应腔室中的应用，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种新型的真空密封门板结构。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种新型的真空密封门板结构，由驱动装置直接控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封，不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑，此外，维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件，可以有效解决背景技术中的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔与传输腔，所述传输腔的底部安装有安装底座，所述安装底座的底部定位连接有基座，所述基座的前端定位安装有驱动装置，所述反应腔的前端开设有一号密封槽、二号密封槽与腔口，所述传输腔位于反应腔的前端位置，所述腔口的中部开设有封口。
作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔内侧靠近封口的位置安装有固定门板，所述传输腔的底部开设有槽体，所述驱动装置上端设置有驱动缸，且驱动缸穿过槽体的位置并连接连接轴。
作为本申请一种优选的技术方案，所述固定门板的底部设置有导向柱，所述固定门板的内侧设置有密封腔，所述导向柱的下端设置有移动门板，所述移动门板两端连接导向柱的位置分别设置有一号通孔与二号通孔，所述移动门板的外侧安装有定位器，所述定位器与连接轴连接，所述移动门板的内侧开设有密封安装槽，所述密封安装槽的内侧设置有空间形密封圈，所述空间形密封圈的两端设置有密封环形圈。
作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔的底部位于槽体的位置安装有连接轴密封单元，且连接轴密封单元位于连接轴的外壁。
作为本申请一种优选的技术方案，所述反应腔与传输腔之间进行定位安装，所述传输腔的底部通过安装底座与基座的上端进行定位安装，所述基座与驱动装置之间进行定位安装。
作为本申请一种优选的技术方案，所述驱动装置驱动驱动缸带动连接轴上下活动，所述固定门板与传输腔之间定位安装。
作为本申请一种优选的技术方案，所述定位器由连接轴驱动上下活动，带动移动门板上下活动，所述移动门板通过导向柱在固定门板的底部位置进行上下活动，所述移动门板与固定门板叠合时，所述空间形密封圈与密封腔之间进行密封。
作为本申请一种优选的技术方案，所述传输腔与连接轴密封单元之间定位安装，所述连接轴密封单元对连接轴上下活动进行限位。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种新型的真空密封门板结构，具备以下有益效果：该一种新型的真空密封门板结构，由驱动装置直接控制门板移动来实现反应腔体的可视窗开启或者关闭从而进行真空动态密封，不仅满足设备要求的密封性能且结构紧凑，此外，维修组装方便，易于保养维护密封圈及其它零部件，结构紧凑且在较大的正反压力差的工况下能满足密封要求，能减小空间形密封圈的磨损且易于更换，以较简单的结构来实现密封功能，整体结构成本较低，可以广泛应用于各种真空领域，整个真空密封门板结构结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。
附图说明
图1为本发明一种新型的真空密封门板结构的整体结构示意图。
图2为本发明一种新型的真空密封门板结构中反应腔的结构示意图。
图3为本发明一种新型的真空密封门板结构中传输腔的结构示意图。
图4为本发明一种新型的真空密封门板结构中传输腔内侧的结构示意图。
图5为本发明一种新型的真空密封门板结构中传输腔主体的结构示意图。
图6为本发明一种新型的真空密封门板结构中移动门板的结构示意图。
图7为本发明一种新型的真空密封门板结构中移动门板内侧的结构示意图。
图8为本发明一种新型的真空密封门板结构中空间形密封圈的结构示意图。
图中：1、固定门板；2、移动门板；3、空间形密封圈；4、反应腔；5、传输腔；6、连接轴；7、连接轴密封单元；8、驱动装置；9、基座；10、导向柱；11、一号密封槽；12、二号密封槽；13、封口；14、安装底座；15、密封腔；16、驱动缸；17、槽体；18、腔口；19、一号通孔；20、二号通孔；21、密封安装槽；22、定位器；23、密封环形圈。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，但是本领域技术人员将会理解，下列所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅用于说明本发明，而不应视为限制本发明的范围。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一：
如图1-8所示，一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔4与传输腔5，传输腔5的底部安装有安装底座14，安装底座14的底部定位连接有基座9，基座9的前端定位安装有驱动装置8，反应腔4的前端开设有一号密封槽11、二号密封槽12与腔口18，传输腔5位于反应腔4的前端位置，腔口18的中部开设有封口13。
进一步的，传输腔5内侧靠近封口13的位置安装有固定门板1，传输腔5的底部开设有槽体17，驱动装置8上端设置有驱动缸16，且驱动缸16穿过槽体17的位置并连接连接轴6。
进一步的，反应腔4与传输腔5之间进行定位安装，传输腔5的底部通过安装底座14与基座9的上端进行定位安装，基座9与驱动装置8之间进行定位安装。
进一步的，驱动装置8驱动驱动缸16带动连接轴6上下活动，固定门板1与传输腔5之间定位安装。
实施例二：
在实施例一的基础上，如图1-8所示，一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔4与传输腔5，传输腔5的底部安装有安装底座14，安装底座14的底部定位连接有基座9，基座9的前端定位安装有驱动装置8，反应腔4的前端开设有一号密封槽11、二号密封槽12与腔口18，传输腔5位于反应腔4的前端位置，腔口18的中部开设有封口13。
进一步的，固定门板1的底部设置有导向柱10，固定门板1的内侧设置有密封腔15，导向柱10的下端设置有移动门板2，移动门板2两端连接导向柱10的位置分别设置有一号通孔19与二号通孔20，移动门板2的外侧安装有定位器22，定位器22与连接轴6连接，移动门板2的内侧开设有密封安装槽21，密封安装槽21的内侧设置有空间形密封圈3，空间形密封圈3的两端设置有密封环形圈23。
进一步的，定位器22由连接轴6驱动上下活动，带动移动门板2上下活动，移动门板2通过导向柱10在固定门板1的底部位置进行上下活动，移动门板2与固定门板1叠合时，空间形密封圈3与密封腔15之间进行密封。
实施例三：
在实施例一与实施例二的基础上，如图1-8所示，一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔4与传输腔5，传输腔5的底部安装有安装底座14，安装底座14的底部定位连接有基座9，基座9的前端定位安装有驱动装置8，反应腔4的前端开设有一号密封槽11、二号密封槽12与腔口18，传输腔5位于反应腔4的前端位置，腔口18的中部开设有封口13。
进一步的，传输腔5的底部位于槽体17的位置安装有连接轴密封单元7，且连接轴密封单元7位于连接轴6的外壁。
进一步的，传输腔5与连接轴密封单元7之间定位安装，连接轴密封单元7对连接轴6上下活动进行限位。
工作原理：本发明包括固定门板1、移动门板2、空间形密封圈3、反应腔4、传输腔5、连接轴6、连接轴密封单元7、驱动装置8、基座9、导向柱10、一号密封槽11、二号密封槽12、封口13、安装底座14、密封腔15、驱动缸16、槽体17、腔口18、一号通孔19、二号通孔20、密封安装槽21、定位器22、密封环形圈23，固定门板1通过螺钉固接在反应腔4上，反应腔4上开有二号密封槽12用来保证固定门板1和反应腔4之间的气密性；固定门板1两侧安装有两根导向柱10，移动门板2两侧开有一号通孔19与二号通孔20，两根导向柱10分别穿过一号通孔19与二号通孔20，反应腔4通过螺钉固接在传输腔5上，反应腔4上开有一号密封槽11用来保证反应腔4和传输腔5之间的气密性；移动门板2背面固接连接轴6，连接轴6穿过连接轴密封单元7，连接轴密封单元7承载在基座9上，基座9通过螺钉固接在传输腔5上；驱动装置8固定在基座9上，驱动装置8的输出端与连接轴6的另一端连接，当反应腔4需要关闭时，发出指示给驱动装置8，驱动装置8通过连接轴6驱动移动门板2沿着导向柱10移动到合适位置，此合适位置指的是空间形密封圈3在固定门板1和移动门板2之间的密封曲面间变形5-15％的位置，此时空间形密封圈3的局部接触压力如图5所示，此接触压力足以保证门板承受正向、反向大气压差，当反应腔4需要开启时，发出指示给驱动装置8，驱动装置8通过连接轴6驱动移动门板2沿着导向柱10移动到初始位置，移动门板2上开有密封安装槽21、一号通孔19、二号通孔20，密封槽可以为矩形槽、燕尾槽等结构，连接轴密封单元7可以为密封圈、波纹管以及其他轴向密封结构，驱动装置8可以为气缸，电动推杆以及线性马达等驱动原件。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二(一号、二号)等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。
Claims (8)
1.一种新型的真空密封门板结构，包括反应腔(4)与传输腔(5)，其特征在于：所述传输腔(5)的底部安装有安装底座(14)，所述安装底座(14)的底部定位连接有基座(9)，所述基座(9)的前端定位安装有驱动装置(8)，所述反应腔(4)的前端开设有一号密封槽(11)、二号密封槽(12)与腔口(18)，所述传输腔(5)位于反应腔(4)的前端位置，所述腔口(18)的中部开设有封口(13)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述传输腔(5)内侧靠近封口(13)的位置安装有固定门板(1)，所述传输腔(5)的底部开设有槽体(17)，所述驱动装置(8)上端设置有驱动缸(16)，且驱动缸(16)穿过槽体(17)的位置并连接连接轴(6)。
3.根据权利要求2所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述固定门板(1)的底部设置有导向柱(10)，所述固定门板(1)的内侧设置有密封腔(15)，所述导向柱(10)的下端设置有移动门板(2)，所述移动门板(2)两端连接导向柱(10)的位置分别设置有一号通孔(19)与二号通孔(20)，所述移动门板(2)的外侧安装有定位器(22)，所述定位器(22)与连接轴(6)连接，所述移动门板(2)的内侧开设有密封安装槽(21)，所述密封安装槽(21)的内侧设置有空间形密封圈(3)，所述空间形密封圈(3)的两端设置有密封环形圈(23)。
4.根据权利要求1所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述传输腔(5)的底部位于槽体(17)的位置安装有连接轴密封单元(7)，且连接轴密封单元(7)位于连接轴(6)的外壁。
5.根据权利要求1所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述反应腔(4)与传输腔(5)之间进行定位安装，所述传输腔(5)的底部通过安装底座(14)与基座(9)的上端进行定位安装，所述基座(9)与驱动装置(8)之间进行定位安装。
6.根据权利要求2所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述驱动装置(8)驱动驱动缸(16)带动连接轴(6)上下活动，所述固定门板(1)与传输腔(5)之间定位安装。
7.根据权利要求3所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述定位器(22)由连接轴(6)驱动上下活动，带动移动门板(2)上下活动，所述移动门板(2)通过导向柱(10)在固定门板(1)的底部位置进行上下活动，所述移动门板(2)与固定门板(1)叠合时，所述空间形密封圈(3)与密封腔(15)之间进行密封。
8.根据权利要求4所述的一种新型的真空密封门板结构，其特征在于：所述传输腔(5)与连接轴密封单元(7)之间定位安装，所述连接轴密封单元(7)对连接轴(6)上下活动进行限位。
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