CN220942200U - 一种自洁净的密闭式开合门 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种自洁净的密闭式开合门，包括：箱体；箱体的顶部设置有进风部，箱体的底部设置有排风部，箱体的一个侧壁设置有开口；箱体的开口端设置有门板组件，门板组件内部中空，并且门板组件与进风部和所述排风部连通；门板组件包括门板本体和滑动设置的升降面板，门板本体内部中空，门板本体的侧壁开设有连通的进料窗口，升降面板滑动设置在门板本体内部，其中当升降面板向上滑动至极限时，升降面板能与将外侧的进料窗口完全盖合。升降面板能盖合在进料窗口上，使门板组件密闭，进风部持续对门板组件以及箱体内部吹入洁净的气体，对设备进行清洁，防止了气体微粒污染晶圆，保证了晶圆的洁净度。

Description

一种自洁净的密闭式开合门

技术领域

本实用新型属于晶圆清洗设备技术领域，具体涉及一种自洁净的密闭式开合门。

背景技术

在晶圆清洗设备中，尤其是单晶圆清洗设备中，晶圆在各腔室中运动时，需经过开合门，因为腔室需要保证其密封性，故开合门需要具有密封的功能，然，并且门板在运动中，会产生微小粒子污染晶圆，故需要不断吹走微小粒子保障洁净度。因此，提供一种能持续吹走微小颗粒并且密封效果好的自洁净的密闭式开合门是有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自洁净的密闭式开合门。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种自洁净的密闭式开合门，包括：箱体；所述箱体的顶部设置有进风部，所述箱体的底部设置有排风部，所述箱体的一个侧壁设置有开口；所述箱体的开口端设置有门板组件，所述门板组件内部中空，并且所述门板组件与所述进风部和所述排风部连通；所述门板组件包括门板本体和滑动设置的升降面板，所述门板本体内部中空，所述门板本体的侧壁开设有连通的进料窗口，所述升降面板滑动设置在所述门板本体内部，其中当所述升降面板向上滑动至极限时，所述升降面板能与将外侧的所述进料窗口完全盖合。

进一步地，所述门板本体的内壁设置有一对导向块，所述导向块的相向的侧壁开设有竖直的滑动槽，所述滑动槽的顶部设置有与所述滑动槽连通的导向槽，所述导向槽和所述滑动槽等宽；所述升降面板的侧壁设置有一对滑动块，所述滑动块卡设在所述滑动槽内，以及所述导向槽向外侧的所述进料窗口弯曲。

进一步地，外侧的所述进料窗口的内壁设置有首尾相连的密封条，所述密封条能够贴合所述升降面板的侧壁。

进一步地，所述升降面板的侧壁设置有一对随动块，所述随动块卡设在所述滑动槽内，所述滑动槽内设置有避让缺口。

进一步地，所述门板本体内设置有升降气缸，所述升降气缸的活塞杆竖直设置，所述升降气缸的活塞杆上铰接有铰接块，所述铰接块的顶部与所述升降面板铰接。

进一步地，所述箱体内部与内侧的所述进料窗口连通，并且所述箱体内部处于正压状态。

进一步地，所述进风部包括进风风扇，所述进风风扇设置在所述箱体的顶部，并且所述进风风扇的出风口通过管路与所述门板本体的顶部连通；所述排风部包括排风管路，所述排风管路与所述门板本体的底部连通。

本实用新型的有益效果：

1、箱体结构稳固可靠，能稳固架设进风部、门板组件与排风部，为本实用新型自洁净的密闭式开合门提供良好的工作环境；进风部能吹出洁净的气体进入箱体内部，排风部能将污染的气体排出箱体；

2、进风部的洁净气体进入门板组件内部对门板组件内部进行清洁，清洁完成的气体能从排风部排出；

3、箱体上的开口与进料窗口连通，当需要更换晶圆时，使所述升降面板下降，进料窗口连通，晶圆清洗完成后，能够通过进料窗口更换晶圆，晶圆更换完成后，使升降面板上升到极限然后能够盖合位于门板组件外侧的进料窗口，门板组件与箱体处于密闭状态，此时，进风部持续对门板组件内部以及箱体内部吹入洁净的气体，对设备进行清洁，防止了气体微粒污染晶圆，保证了晶圆的洁净度。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型自洁净的密闭式开合门结构示意图；

图2是本实用新型的门板组件的第一结构示意图；

图3是本实用新型的门板组件的第二结构示意图；

图4是本实用新型的门板组件的第三结构示意图。

图中：

100、箱体，110、进风部，111、进风风扇，120、排风部，121、排风管路；

200、门板组件，210、门板本体，211、进料窗口，212、密封条，213、升降气缸，214、铰接块，220、升降面板，221、滑动块，222、随动块，230、导向块，231、滑动槽，2311、避让缺口，232、导向槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1，如图1-4所示，本实用新型提供了一种自洁净的密闭式开合门，包括：箱体100；所述箱体100的顶部设置有进风部110，所述箱体100的底部设置有排风部120，所述箱体100的一个侧壁设置有开口，所述箱体100结构稳固可靠，能稳固架设进风部110、门板组件200与排风部120，为本实用新型自洁净的密闭式开合门提供良好的工作环境；所述进风部110能吹出洁净的气体进入箱体100内部，所述排风部120能将清洁完后的气体排出所述箱体100；所述箱体100的开口端设置有门板组件200，所述门板组件200内部中空，并且所述门板组件200与所述进风部110和所述排风部120连通，所述进风部110的洁净气体进入门板组件200内部对门板组件200内部进行清洁，清洁完成的气体能从所述排风部120排出；所述门板组件200包括门板本体210和滑动设置的升降面板220，所述门板本体210内部中空，所述门板本体210的侧壁开设有连通的进料窗口211，所述升降面板220滑动设置在所述门板本体210内部，其中当所述升降面板220向上滑动至极限时，所述升降面板220能与将外侧的所述进料窗口211完全盖合，所述箱体100上的开口与所述进料窗口211连通，当需要更换晶圆，使所述升降面板220下降，进料窗口211连通，晶圆清洗完成后，能够通过所述进料窗口211更换晶圆，晶圆更换完成后，使所述升降面板220上升到极限然后能够盖合位于所述门板组件200外侧的所述进料窗口211，所述门板组件200与所述箱体100处于密闭状态，此时，进风部110持续对所述门板组件200内部以及箱体100内部吹入洁净的气体，对设备进行清洁，防止了气体微粒污染晶圆，保证了晶圆的洁净度。

所述门板本体210的内壁设置有一对导向块230，所述导向块230的相向的侧壁开设有竖直的滑动槽231，所述滑动槽231的顶部设置有与所述滑动槽231连通的导向槽232，所述导向槽232和所述滑动槽231等宽；所述升降面板220的侧壁设置有一对滑动块221，所述滑动块221卡设在所述滑动槽231内，以及所述导向槽232向外侧的所述进料窗口211弯曲，所述升降面板220上升时，所述滑动块221沿着所述滑动槽231的轨道竖直上升，当所述滑动块221滑动到导向槽232时，由于所述导向槽232向外侧的所述进料窗口211弯曲，所述滑动块221会被所述导向槽232引导从而有靠近外侧的所述进料窗口211的趋势，带动所述升降面板220靠近外侧的所述进料窗口211，当所述升降面板220上升到极限时，所述升降面板220能与将外侧的所述进料窗口211完全盖合实现密封。

外侧的所述进料窗口211的内壁设置有首尾相连的密封条212，所述密封条212能够贴合所述升降面板220的侧壁，所述密封条212在所述升降面板220与所述进料窗口211盖合时能被挤压，从而密封所述门板组件200，加强了密封效果，为本实用新型自洁净的密闭式开合门提供了良好的工作环境。

所述升降面板220的侧壁设置有一对随动块222，所述随动块222卡设在所述滑动槽231内，所述滑动槽231内设置有避让缺口2311，实现门板的上下运动控制，所述随动块222卡设在所述滑动槽231内，所述升降面板220上升时，所述随动块222能保证在所述升降面板220上升时能有平行于所述门板本体210并且盖合的趋势，最终所述升降面板220与所述门板本体210盖合，实现密封。

所述门板本体210内设置有升降气缸213，所述升降气缸213的活塞杆竖直设置，所述升降气缸213的活塞杆上铰接有铰接块214，所述铰接块214的顶部与所述升降面板220铰接，所述升将气缸的活塞杆推动所述铰接块214上升，所述铰接块214驱动所述升降面板220上升实现了所述门板组件200的密闭。

所述箱体100内部与内侧的所述进料窗口211连通，并且所述箱体100内部处于正压状态，保证了不会有污染的空气进入所述箱体100内部。

所述进风部110包括进风风扇111，所述进风风扇111设置在所述箱体100的顶部，并且所述进风风扇111的出风口通过管路与所述门板本体210的顶部连通；所述排风部120包括排风管路121，所述排风管路121与所述门板本体210的底部连通，所述进风风扇111转动吹出洁净的气体，气体经过出风口通入所述门板本体210本体内部从上而下所述门板本体210内部进行吹气清洁，洁净完的气体向下通入排风管路121排出。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种自洁净的密闭式开合门，其特征在于，包括：

箱体；所述箱体的顶部设置有进风部，所述箱体的底部设置有排风部，所述箱体的一个侧壁设置有开口；

所述箱体的开口端设置有门板组件，所述门板组件内部中空，并且所述门板组件与所述进风部和所述排风部连通；

所述门板组件包括门板本体和滑动设置的升降面板，所述门板本体内部中空，所述门板本体的侧壁开设有连通的进料窗口，所述升降面板滑动设置在所述门板本体内部，其中

当所述升降面板向上滑动至极限时，所述升降面板能与将外侧的所述进料窗口完全盖合。

2.如权利要求1所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

所述门板本体的内壁设置有一对导向块，所述导向块的相向的侧壁开设有竖直的滑动槽，所述滑动槽的顶部设置有与所述滑动槽连通的导向槽，所述导向槽和所述滑动槽等宽；

所述升降面板的侧壁设置有一对滑动块，所述滑动块卡设在所述滑动槽内，以及

所述导向槽向外侧的所述进料窗口弯曲。

3.如权利要求2所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

外侧的所述进料窗口的内壁设置有首尾相连的密封条，所述密封条能够贴合所述升降面板的侧壁。

4.如权利要求3所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

所述升降面板的侧壁设置有一对随动块，所述随动块卡设在所述滑动槽内，所述滑动槽内设置有避让缺口。

5.如权利要求4所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

所述门板本体内设置有升降气缸，所述升降气缸的活塞杆竖直设置，所述升降气缸的活塞杆上铰接有铰接块，所述铰接块的顶部与所述升降面板铰接。

6.如权利要求5所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

所述箱体内部与内侧的所述进料窗口连通，并且所述箱体内部处于正压状态。

7.如权利要求6所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，

所述进风部包括进风风扇，所述进风风扇设置在所述箱体的顶部，并且所述进风风扇的出风口通过管路与所述门板本体的顶部连通；

所述排风部包括排风管路，所述排风管路与所述门板本体的底部连通。