CN105940251A - 压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于实现压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置的薄型化。本发明的压电式线性致动器具备：层积压电致动器(2)；下部支撑部件(3)，支撑层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；按压部件(4)，从上部按压层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；导向部件(5)，连接于下部支撑部件(3)且引导按压部件(4)的左右；和变位传输部件(6)，传输由于层积压电致动器(2)的压电效果产生的变位，变位传输部件(6)具备：一对变位传输板(6a、6b)，以相对于下部支撑部件(3)及按压部件(4)能够上下移动的方式交差且在下部支撑部件(3)的下方及按压部件(4)的上方分别连接；调节螺丝(6g)，与一对变位传输板(6a、6b)连接，能够调节该变位传输板的相对于按压部件(4)的相对高度位置；输出部(6d)，与变位传输板(6a、6b)连接；和弹性体(9)，将该输出部弹推向下方。

Description

压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置
技术领域
本发明涉及使用层积(叠层、积层)压电致动器的压电式线性致动器、具备该线性致动器的压电驱动阀以及具备该压电驱动阀的流量控制装置。
背景技术
以往，在线性致动器的驱动部或阀的驱动部中经常使用层积压电元件所构成的层积压电致动器，利用使用层积压电致动器的压电驱动阀来控制流量的流量控制装置也广为所知。
作为这种流量控制装置的一个示例，图10所示的流量控制装置，可以通过安装于阀块体12的层积压电式致动器2对插入设置于阀块体12的内部流路11的金属隔膜阀等的阀体13进行开闭操作(专利文献1～3等)。
图10所示的流量控制装置称为压力式流量控制装置，当插入设置于流路11的流孔14的下游侧压力P2与上游侧压力P1之间保持(P1/P2)≥约2的所谓临界膨胀条件时，流过流孔14的气体流量Q成为Q＝KP1(其中，K为常数)的关系。
利用这样的关系，通过控制由压力检测器15检测出的压力P1，能够以高精度控制流量Q，并且，能够发挥即使阀体13的上游侧气体的压力有很大变化，控制流量值也几乎没有变化的优良特性。压力P1的高精度的控制是由响应性良好的层积压电致动器2完成的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2003-120832号公报
专利文献2：日本专利特开平8-338546号公报
专利文献3：日本专利特开2010-151698号公报
发明内容
最近几年，特别在半导体制造装置的领域中，为了追求气体供给系统的小型化，涉及构成气体供给系统的阀或流量控制装置也在追求小型化。
然而，以往以包围层积压电致动器的周围的方式设置有筒体固定导向体24(参照图10，专利文献1)或压电元件支撑部件(专利文献2)，这些阻碍了小型化。
因此，本发明的主要目的在于：通过使使用层积压电致动器的压电式线性致动器薄型化，而使具备压电式线性致动器的压电驱动阀及具备压电驱动阀的流量控制装置小型化。
为了达到上述目的，本发明涉及的压电式线性致动器的第一方面，其特征在于，具备：层积压电致动器；下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；和变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，所述变位传输部件具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方。
本发明涉及的压电式线性致动器的第二方面，在所述第一方面中，利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
本发明涉及的压电式线性致动器的第三方面，在所述第一方面中，所述导向部件具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
本发明涉及的压电式线性致动器的第四方面，在所述第一方面中，所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
本发明涉及的压电式线性致动器的第五方面，在所述第三或第四方面中，具备螺旋弹簧(盘簧，coil spring)，所述螺旋弹簧外插于所述导向轴且向所述层积压电致动器侧按压所述按压部件。
本发明涉及的压电式线性致动器的第六方面，在所述第一方面中，所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件及所述变位传输部件收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
并且，本发明涉及的压电驱动阀的第一方面，具备：
压电式线性致动器，所述压电式线性致动器具备：层积压电致动器；下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；和变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，所述变位传输部件具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方；
阀块体，所述阀块体安装有所述压电式线性致动器并在内部形成有流路；
阀棒，所述阀棒设置于所述阀块体内，并设置于所述压电式致动器的输出部；和
阀体，所述阀体利用该阀棒的操作开闭所述流路。
本发明涉及的压电驱动阀的第二方面，在所述压电驱动阀的第一方面中，利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
本发明涉及的压电驱动阀的第三方面，在所述压电驱动阀的第一方面中，所述导向部具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
本发明涉及的压电驱动阀的第四方面，在所述压电驱动阀的第一方面中，所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
本发明涉及的压电驱动阀的第五方面，在所述压电驱动阀的第三或四方面中，具备螺旋弹簧(盘簧)，所述螺旋弹簧外插于所述导向轴且向所述层积压电致动器侧按压所述按压部件。
本发明涉及的压电驱动阀的第六方面，在所述压电驱动阀的第一方面中，所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件、所述变位传输部件及所述阀块体收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
本发明涉及的压电驱动阀的第七方面，在所述压电驱动阀的第一方面中，所述阀体为金属隔膜阀体。
并且，本发明涉及的流量控制装置的第一方面，具备：
压电式线性致动器，所述压电式线性致动器具备：层积压电致动器；下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；和变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，所述变为传输部件具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方；
压电驱动阀，所述压电驱动阀具备：阀块体，所述阀块体安装有所述压电式线性致动器并在内部形成有流路；阀棒，所述阀棒设置于所述阀块体内，并设置于所述压电式致动器的输出部；阀体，所述阀体利用该阀棒的操作开闭所述流路；和
控制装置，所述控制装置开闭控制所述压电驱动阀。
本发明涉及的流量控制装置的第二方面，在所述流量控制装置的第一方面中，利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
本发明涉及的流量控制装置的第三方面，在所述流量控制装置的第一方面中，所述导向部件具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
本发明涉及的流量控制装置的第四方面，所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件左右的导向轴。
本发明涉及的流量控制装置的第五方面，在所述流量控制装置的第三或第四方面中，具备螺旋弹簧，所述螺旋弹簧外插于所述导向轴，且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件。
本发明涉及的流量控制装置的第六方面，在所述流量控制装置的第一方面中，所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件、所述变位传输部件及所述阀块体收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
本发明涉及的流量控制装置的第七方面，在所述流量控制装置的第一方面中，还具备：流孔，所述流孔插入设置于所述阀体的下游侧的流路内；和压力检测器，所述压力检测器检测所述流孔的上游侧的流路内压力，所述控制装置根据所述压力检测器的检测值开闭控制所述压电驱动阀。
发明效果
根据本发明，通过采用上述构成，在层积压电致动器的左右汇集构成部件，可以最大限度地薄型化压电式线性致动器，即，薄型化到层积压电致动器的宽度尺寸，也可以薄型化使用这样的层积压电致动器的压电驱动阀及流量控制装置。
附图说明
图1为表示本发明涉及的压力式线性致动器的一实施方式的纵剖主视图。
图2为图1的压力式线性致动器的中央纵剖侧视图。
图3为图1的压力式线性致动器的俯视图。
图4为表示图1的构成要素的按压部件的俯视图。
图5为表示图1的构成要素的变位传输部件的主要部分的立体图。
图6为表示图1的实施方式的变更形态的纵剖主视图。
图7为表示本发明涉及的流量控制装置的一实施方式的纵剖主视图。
图8为图7的侧视图。
图9为表示本发明涉及的流量控制装置的其他的实施方式的纵剖主视图。
图10为表示以往的压力式流量控制装置的纵剖主视图。
符号说明
1 压电式线性致动器
2 层积压电致动器
3 下部支撑部件
4 按压部件
5 导向部件
5c 导向轴
6 变位传输部件
6a，6b 变位传输板
6d 输出部
6g 调节螺丝
8 弹性部件
9 弹性体
10 流量控制装置
11 流路
12 阀块体
13 阀体
14 流孔
15 压力检测器
具体实施方式
以下参照图1～图9说明有关本发明的实施方式。并且，贯穿全部的图及全部的实施例，对于同一或者类似的构成部分赋予了相同的符号。
图1为表示本发明涉及的压电式线性致动器的一实施方式的纵剖主视图，图2为中央纵剖侧视图，图3为俯视图。
压电式线性致动器1具备：层积压电致动器2、支撑层积压电致动器2同时朝层积压电致动器2的左右侧方向延伸的下部支持部件3、从上部按压层积压电致动器2同时朝层积压电致动器2的左右侧方向延伸的按压部件4、在层积压电致动器2的左右两侧被连接支撑于下部支撑部件3同时引导按压部件4的左右的导向部件5、传输由于层积压电致动器2的压电效果产生的变位的变位传输部件6。
压电式线性致动器1是使用被密封于金属外壳内的已层积的压电元件的所谓的金属密封型层积压电致动器2而得到的。在金属密封型层积压电致动器2的金属外壳的下部设置有半球状凸部1a(参照图2)。
下部支撑部件3可以作为呈圆柱状的层积压电致动器2的宽度(外径)W2以下的宽度的板状部件，被设置于基台7上。在图示例中，如果参照图2，下部支撑部件3的宽度尺寸与层积压电致动器2的宽度尺寸W2相同。在下部支撑部件3的左右两侧形成有通孔3a、3b，通过那样的通孔3a、3b，把形成于导向部件5的下部的公螺纹部5a螺旋拧入基台7，由此使下部支撑部件4固定于基台7。
变位传输部件6具备沿着层积压电致动器2的左右两侧延伸的一对变位传输板6a、6b。变位传输板6a、6b的最大宽度尺寸W1(图5)设定为层积压电致动器2的宽度尺寸W2(图2)以下的尺寸。
变位传输板6a、6b在下部具备细宽度部6c，在下部支撑部件3形成有变位传输板6a、6b的细宽度部6c能够插通的矩形孔3d。变位传输板6a、6b的细宽度部6c贯通于下部支撑部件3的矩形孔3d，变位传输板6a、6b以能够上下滑动的方式与下部支撑部件3交差。与此相反，虽然没有图示，但是也可以是下部支撑部件3贯通变位传输板6a、6b的形态。
变位传输板6a、6b的下部利用连接销等的连接部件6c而连接，在连接部件6c连接有输出部6d。在基台7形成有收容连接部件6c的凹部7a，同时形成有插通输出部6d的通孔7b。
在变位传输板6a、6b的上部，分别形成有用于插入按压部件4并使其贯通的延伸于上下方向的缝隙6e。按压部件4是与下部支撑部件3同样具有层积压电致动器2的宽度以下的宽度的板状部件，如图4的俯视图所示，在变位传输板6a、6b的缝隙6e的部位形成有卡合的凹槽4b，在组装时，通过从连通到缝隙6e、6e开始围绕长度方向轴线做90°旋转，使板面呈水平。并且，在图4中，凹部4c是使施加电压到层积压电致动器2用的导线(未图示)通过的凹部。
缝隙6e、6e形成为使变位传输板6a、6b相对于按压部件4可以上下移动的长度尺寸。在按压部件4的上方，变位传输板6a、6b相互之间通过连接部6f连接。虽然没有图示，但也可以成为在按压部件形成通孔且使变位传输板贯通按压部件的形态。
调节螺丝6g螺旋拧入变位传输板6a、6b的连接部6f，并与按压部件4抵接。调节螺丝6g具有锁紧螺母6h。通过调节调节螺丝6g的螺旋拧入程度，可以调节相对于按压部件4的变位传输板6a、6b的相对高度位置。并且，在图5中，在连接部6f的正面及背面上下延伸的凹处6k，是使施加电压到层积压电致动器2用的导线(未图示)通过的凹部。
图1表示的导向部件5具备：使公螺纹部5a螺旋拧入基台7而立设于下部支撑部件3的支柱部5b、以及在支柱部5b的上部螺合以同轴线形成的母螺纹5c的公螺纹5d。公螺纹5d的轴部自由滑动地贯通在按压部件4的左右两侧形成的通孔4a，构成上下引导按压部件4的导向轴5e。
在导向部件5与按压部件4之间插入设置有弹性部件8，按压部件4按压层积压电致动器2。在图1所示的例子中，弹性部件8是在公螺纹5d的轴部，在公螺纹5d的头部5f与按压部件4之间，以压缩状态外插的螺旋弹簧(盘簧)。如图6所示，弹性部件8也可以取代螺旋弹簧，为碟形弹簧(碟簧)。
设置有将输出部6d弹推到下方的弹性体9。图1所示的弹性体9是在设置于输出部6d的下端部的凸缘部6i与基台7之间外插于输出部6d的螺旋弹簧。
上述构成的压电式线性致动器1通过向层积压电致动器2施加电压而使层积压电致动器2伸长，抵抗弹性部件8及弹性体9而推举按压部件4，推举变位传输部件6使输出部6d上升。以遮断(切断)施加电压的方式，使按压部件4及变位传输部件6恢复到原位置，输出部6d也下降恢复到原位置。
通过使下部支撑部件3、按压部件4、导向部件5及变位传输部件6的各个的宽度尺寸在层积压电致动器的宽度尺寸以下，这些部件收容在层积压电致动器2的宽度尺寸的范围内，达到压电式线性致动器的薄型化。
图7及图8表示具备上述的压电式线性致动器1的流量控制装置。图7及图8的例子是压力式流量控制装置，压力式流量控制装置的基本构成与图10的以往例子相同，因此赋予同样的符号且适宜地省略详细的说明。
压力式流量控制装置10具备压电驱动阀，所述压电驱动阀包含：安装压电式线性致动器1同时在内部形成有流路11的阀块体12、设置于阀块体12内且设置于压力式线性致动器1的输出部6d的阀棒、以及由构成阀棒的输出部6d的操作来开闭流路11的阀体13。并且，压力式流量控制装置10具备：插入设置于阀体13的下游侧的流路内的流孔14、检测流孔14的上游侧的流路11内压力的压力检测器15、以及根据压力检测器15的检测值来开闭控制压电驱动阀的控制装置(未图示)。用于把阀棒也就是输出部6d朝下方按压的弹性体9是图示例中层叠的多个碟形弹簧。并且，在图示例子中，阀体13是金属隔膜阀体，利用阀体压件17按压周围而被固定。
图示例子的压力式流量控制装置10收容于薄板的壳体18内，基台7、阀体压件17、阀块体12也被设置成与层积压电致动器2大体相同宽度，达到装置整体的薄型化。
图9表示本发明涉及的流量控制装置的其他的实施方式。在图9的实施方式中，导向部件5A与图7的实施方式不同。即，在图9中，导向部件5A设计成门型，下端部通过未图示的螺纹等固定于基台7，由此连接到下部支撑部件3，在上部以垂下导向轴5e’的方式连接。其他的构成与图7的实施方式相同，省略详细的说明。
在上述实施方式中，说明了有关压力式流量控制装置，但是，利用本发明的层积压电式致动器在其他的流量控制装置中也可以适用。

Claims (23)

1.一种压电式线性致动器，其特征在于，具备：
层积压电致动器；
下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；
按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；
导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；和
变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，其具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方。
2.根据权利要求1所述的压电式线性致动器，其特征在于，
利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件，形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
3.根据权利要求1所述的压电式线性致动器，其特征在于，
所述导向部件具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
4.根据权利要求1所述的压电式线性致动器，其特征在于，
所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
5.根据权利要求3所述的压电式线性致动器，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
6.根据权利要求4所述的压电式线性致动器，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
7.根据权利要求1所述的压电式线性致动器，其特征在于，
所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件及所述变位传输部件收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
8.一种压电驱动阀，其特征在于，包括：
压电式线性致动器，所述压电式线性致动器具备：层积压电致动器；下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；以及变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，所述变位传输部件具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方；
阀块体，所述阀块体安装有所述压电式线性致动器并在内部形成有流路；
阀棒，所述阀棒设置于所述阀块体内，并设置于所述压电式致动器的输出部；和
阀体，所述阀体利用该阀棒的操作开闭所述流路。
9.根据权利要求8所述的压电驱动阀，其特征在于，
利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件，形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
10.根据权利要求8所述的压电驱动阀，其特征在于，
所述导向部件具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
11.根据权利要求8所述的压电驱动阀，其特征在于，
所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
12.根据权利要求10所述的压电驱动阀，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
13.根据权利要求11所述的压电驱动阀，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
14.根据权利要求8所述的压电驱动阀，其特征在于，
所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件、所述变位传输部件及所述阀块体收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
15.根据权利要求8所述的压电驱动阀，其特征在于，
所述阀体为金属隔膜阀体。
16.一种流量控制装置，其特征在于，包括：
压电式线性致动器，所述压电式线性致动器具备：层积压电致动器；下部支撑部件，所述下部支撑部件支撑所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右侧方向延伸；按压部件，所述按压部件从上部按压所述层积压电致动器并朝该层积压电致动器的左右方向侧延伸；导向部件，所述导向部件在所述层积压电致动器的左右两侧与所述下部支撑部件连接并引导所述按压部件的左右；以及变位传输部件，所述变位传输部件是传输由于所述层积压电致动器的压电效果而产生的变位的变位传输部件，所述变位传输部件具备：一对变位传输板，所述一对变位传输板沿着所述层积压电致动器的左右两侧延伸，并以相对于所述下部支撑部件及所述按压部件能够上下移动的方式交差，且在所述下部支撑部件的下方及所述按压部件的上方分别连接；调节螺丝，所述调节螺丝与所述一对变位传输板连接，能够调节所述变位传输板的相对于所述按压部件的相对高度位置；输出部，所述输出部在所述下部支持部件的下方与所述一对变位传输板连接；和弹性体，所述弹性体将该输出部弹推到下方；
压电驱动阀，所述压电驱动阀具备：阀块体，所述阀块体安装有所述压电式线性致动器并在内部形成有流路；阀棒，所述阀棒设置于所述阀块体内，并设置于所述压电式致动器的输出部；阀体，所述阀体利用该阀棒的操作开闭所述流路；和
控制装置，所述控制装置开闭控制所述压电驱动阀。
17.根据权利要求16所述的流量控制装置，其特征在于，
利用插入设置于所述导向部件与所述按压部件之间的弹性部件，形成所述按压部件按压所述层积压电致动器的结构。
18.根据权利要求16所述的流量控制装置，其特征在于，
所述导向部件具有自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
19.根据权利要求16所述的流量控制装置，其特征在于，
所述导向部件具有立设于所述下部支撑部件且自由滑动地贯通所述按压部件的左右的导向轴。
20.根据权利要求18所述的流量控制装置，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
21.根据权利要求19所述的流量控制装置，其特征在于，
具备外插于所述导向轴且朝所述层积压电致动器侧按压所述按压部件的螺旋弹簧。
22.根据权利要求16所述的流量控制装置，其特征在于，
所述下部支撑部件、所述按压部件、所述导向部件、所述变位传输部件及所述阀块体收容于所述层积压电致动器的宽度尺寸的范围内。
23.根据权利要求16所述的流量控制装置，其特征在于，还具备：流孔，所述流孔插入设置于所述阀体的下游侧的流路内；压力检测器，所述压力检测器检测所述流孔的上游侧的流路内压力；
所述控制装置根据所述压力检测器的检测值开闭控制所述压电驱动阀。
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