TW201602482A - 壓電式線型致動器、壓電驅動閥、及流量控制裝置 - Google Patents

壓電式線型致動器、壓電驅動閥、及流量控制裝置 Download PDF

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Abstract

薄型化壓電式線型致動器、壓電驅動閥、及流量控制裝置。具備：層積壓電致動器(2)；下部支撐構件(3)，係支撐層積壓電致動器(2)且延伸在左右側方；按壓構件(4)，係從上部按壓層積壓電致動器(2)且延伸在左右側方；導引構件(5)，係被連結到下部支撐構件(3)而且導引按壓構件(4)的左右；以及變位傳遞構件(6)，係傳遞因層積壓電致動器(2)的壓電效應所致之變位；其中，變位傳遞構件(6)，具備：一對變位傳遞板(6a、6b)，係對下部支撐構件(3)及按壓構件(4)交叉成可以上下動，而且分別連結在下部支撐構件(3)的下方及按壓構件(4)的上方；調節螺絲(6g)，係與一對變位傳遞板(6a、6b)連結，可以調節相對於該變位傳遞板的按壓構件(4)之相對高度位置；輸出部(6d)，係與變位傳遞板(6a、6b)連結；以及彈性體(9)，係把該輸出部彈推到下方。

Description

壓電式線型致動器、壓電驅動閥、及流量控制裝置
本發明有關使用層積壓電致動器的壓電式線型致動器、具備該線型致動器的壓電驅動閥、及具備該壓電驅動閥的流量控制裝置。
以往，線型致動器的驅動部或閥的驅動部中多加使用層積壓電元件所構成的層積壓電致動器，利用使用了層積壓電致動器的壓電驅動閥而控制流量的流量控制裝置也廣為人知。
作為該種流量控制裝置的其中一例，圖10所示的流量控制裝置，係藉由被安裝在閥段12的層積壓電式致動器2而可以開閉操作介隔在閥段12的內部的流路11之金屬膜片閥等的閥體13(專利文獻1~3等)。
圖10所示流量控制裝置稱為壓力式流量控制裝置，在介隔在流路11的限流孔14的下游側壓力P2與上游側壓力P1之間被維持在(P1/P2)≧大約為2之所謂臨界膨脹條件的話，流通限流孔14的氣體流量Q成為Q=KP1(但是K為常數)之關係。
利用這樣的關係，經由控制用壓力檢測器15檢測到的壓力P1的方式，可以高精度控制流量Q，而且，即便閥體13的上游側氣體的壓力大幅度變化，還是可以發揮控制流量值幾乎沒有變化之優異的特性。壓力P1之高精度的控制，係利用響應性優異的層積壓電致動器2所得。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2003-120832號公報
專利文獻2：日本特開平8-338546號專利公報
專利文獻3：日本特開2010-151698號公報
最近幾年，特別是半導體製造裝置方面中，追求氣體供給系統的小型化的緣故，有關構成氣體供給系統的閥或流量控制裝置也追求小型化。
但是，在以往，設有圍繞在層積壓電致動器的周圍的筒體固定導引體24(圖10參閱、專利文獻1)或壓電元件支撐構件(專利文獻2)，這些東西阻礙了小型化。
在此，本發明其主要目的在於，經由薄型化 使用了層積壓電致動器的壓電式線型致動器，而小型化具備壓電式線型致動器的壓電驅動閥、及具備壓電驅動閥的流量控制裝置。
為了達成上述目的，有關本發明的壓電式線型致動器的第1方面，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方。
有關本發明的壓電式線型致動器的第2方面，係在前述第1方面中，利用被介隔在前述導引構件與 前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
有關本發明的壓電式線型致動器的第3方面，係在前述第1方面中，前述導引構件具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的壓電式線型致動器的第4方面，係在前述第1方面中，前述導引構件具有被立設在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的壓電式線型致動器的第5方面，係在前述第3或是第4方面中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
有關本發明的壓電式線型致動器的第6方面，係在前述第1方面中，前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、及前述變位傳遞構件，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
而且，有關本發明的壓電驅動閥的第1方面，具備：壓電式線型致動器，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的 左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方；閥段，係安裝有前述壓電式線型致動器且同時在內部形成流路；閥棒，係被設在前述閥段內，設在前述壓電式線型致動器的輸出部；以及閥體，係利用該閥棒的操作，開關前述流路。
有關本發明的壓電驅動閥的第2方面，係在前述壓電驅動閥的第1方面中，利用被介隔在前述導引構件與前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
有關本發明的壓電驅動閥的第3方面，係在前述壓電驅動閥的第1方面中，前述導引部具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的壓電驅動閥的第4方面，係在前述壓電驅動閥的第1方面中，前述導引構件具有被立設 在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的壓電驅動閥的第5方面，係在前述壓電驅動閥的第3或是4方面中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
有關本發明的壓電驅動閥的第6方面，係在前述壓電驅動閥的第1方面中，前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、前述變位傳遞構件、及前述閥段，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
有關本發明的壓電驅動閥的第7方面，係在前述壓電驅動閥的第1方面中，前述閥體為金屬膜片閥體。
而且、有關本發明的流量控制裝置的第1方面，具備：壓電式線型致動器，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延 伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方；壓電驅動閥，具備：閥段，係安裝有前述壓電式線型致動器且同時在內部形成流路；閥棒，係被設在前述閥段內，設在前述壓電式線型致動器的輸出部；以及閥體，係利用該閥棒的操作，開關前述流路；以及控制裝置，係開關控制前述壓電驅動閥。
有關本發明的流量控制裝置的第2方面，係在上述流量控制裝置的第1方面中，利用被介隔在前述導引構件與前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
有關本發明的流量控制裝置的第3方面，係在上述流量控制裝置的第1方面中，前述導引構件具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的流量控制裝置的第4方面，係在上述流量控制裝置的第1方面中，前述導引構件具有被立設在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
有關本發明的流量控制裝置的第5方面，係 在上述流量控制裝置的第3或是第4方面中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
有關本發明的流量控制裝置的第6方面，係在上述流量控制裝置的第1方面中，前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、前述變位傳遞構件、及前述閥段，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
有關本發明的流量控制裝置的第7方面，係在上述流量控制裝置的第1方面中，更進一步具備：被介隔在前述閥體的下游側的流路內之限流孔、以及檢測前述限流孔的上游側的流路內壓力之壓力檢測器；前述控制裝置，係根據前述壓力檢測器的檢測值，開關控制前述壓電驅動閥。
根據本發明，經由採用上述構成，以在層積壓電致動器的左右匯集構成構件的方式，遂可以最大限度薄型化壓電式線型致動器，亦即層積壓電致動器的寬度尺寸，亦可以薄型化使用這樣的層積壓電致動器之壓電驅動閥及流量控制裝置。
1‧‧‧壓電式線型致動器
2‧‧‧層積壓電致動器
3‧‧‧下部支撐構件
4‧‧‧按壓構件
5‧‧‧導引構件
5e‧‧‧導引軸
6‧‧‧變位傳遞構件
6a、6b‧‧‧變位傳遞板
6d‧‧‧輸出部
6g‧‧‧調節螺絲
8‧‧‧彈性構件
9‧‧‧彈性體
10‧‧‧流量控制裝置
11‧‧‧流路
12‧‧‧閥段
13‧‧‧閥體
14‧‧‧限流孔(orifice)
15‧‧‧壓力檢測器
[圖1]圖1為表示有關本發明的壓力式線型致動器的一實施方式之縱剖前視圖。
[圖2]圖2為圖1的壓力式線型致動器的中央縱剖側視圖。
[圖3]圖3為圖1的壓力式線型致動器的俯視圖。
[圖4]圖4為表示圖1的構成要件也就是按壓構件之俯視圖。
[圖5]圖5為表示圖1的構成要件也就是變位傳遞構件的重要部分之立體圖。
[圖6]圖6為表示圖1的實施方式的變更樣態之縱剖前視圖。
[圖7]圖7為表示有關本發明的流量控制裝置的一實施方式之縱剖前視圖。
[圖8]圖8為圖7之側視圖。
[圖9]圖9為表示有關本發明的流量控制裝置之另一實施方式之縱剖前視圖。
[圖10]圖10為表示以往的壓力式流量控制裝置之縱剖前視圖。
以下參閱圖1~圖9說明有關本發明之實施方式。尚且，貫穿全圖及全實施例，對相同或是類似的構成部分賦予相同元件符號。
圖1為表示有關本發明的壓電式線型致動器 的一實施方式之縱剖前視圖，圖2為中央縱剖側視圖，圖3為俯視圖。
壓電式線型致動器1，具備：層積壓電致動器2、支撐層積壓電致動器2且同時延伸在層積壓電致動器2的左右側方之下部支撐構件3、從上部按壓層積壓電致動器2且同時延伸在層積壓電致動器2的左右側方之按壓構件4、在層積壓電致動器2的左右兩側中被連結支撐在下部支撐構件3且同時導引按壓構件4的左右之導引構件5、以及傳遞因層積壓電致動器2的壓電效應所致的變位之變位傳遞構件6。
壓電式線型致動器1係使用被密封在金屬箱件內之已層積的壓電元件之所謂的金屬密封型層積壓電致動器2而得。在金屬密封型層積壓電致動器2的金屬箱件的下部設有半球狀凸部1a(參閱圖2)。
下部支撐構件3係可以作為具有成圓柱狀的層積壓電致動器2的寬度(外徑)W2以下的寬度之板狀構件，且被設置在基台7上。在圖示例中，下部支撐構件3的寬度尺寸，係參閱圖2的話，是與層積壓電致動器2的寬度尺寸W2相同。在下部支撐構件3的左右兩側先形成通孔3a、3b，通過這些通孔3a、3b，經由把形成在導引構件5的下部之公螺紋部5a鎖入到基台7的方式，下部支撐構件3被固定到基台7。
變位傳遞構件6，具備：沿層積壓電致動器2的左右兩側延伸之一對的變位傳遞板6a、6b。變位傳遞 板6a、6b的最大寬度尺寸W1(圖5)被設定成層積壓電致動器2的寬度尺寸W2(圖2)以下的尺寸。
變位傳遞板6a、6b係在下部具備細寬度部6c，在下部支撐構件3形成可以插通變位傳遞板6a、6b的細寬度部6c之矩形孔3d。變位傳遞板6a、6b的細寬度部6c貫通在下部支撐構件3的矩形孔3d，變位傳遞板6a、6b交叉成可以在下部支撐構件3上下滑動。與此相反的是，雖未圖示，但也可以是下部支撐構件3貫通變位傳遞板6a、6b之樣態。
變位傳遞板6a、6b的下部，係先利用連結銷等的連結構件6c而被連結，在連結構件6c被連結有輸出部6d。在基台7，形成收容連結構件6c的凹部7a，且同時形成使輸出部6d插通的通孔7b。
在變位傳遞板6a、6b的上部，分別形成延伸在用以使按壓構件4插入貫通的上下方向上之狹縫6e。按壓構件4乃是與下部支撐構件3同樣具有層積壓電致動器2的寬度以下的寬度之板狀構件，如圖4的俯視圖所示，先形成在變位傳遞板6a、6b的狹縫6e的部位卡合的凹溝4b，以於組裝時從連通到狹縫6e、6e開始在長度方向軸線附近做90°旋轉的方式，使板面呈水平。尚且，圖4中，凹部4c乃是讓用於施加電壓到層積壓電致動器2的導線(未圖示)通過的凹部。
狹縫6e、6e，係被形成為得以把變位傳遞板6a、6b相對於按壓構件4可以上下動的長度尺寸。按壓 構件4的上方中，變位傳遞板6a、6b係利用相互地連結部6f被連結。雖未圖示，但也可以是在按壓構件形成通孔，變位傳遞板貫通按壓構件之樣態。
在變位傳遞板6a、6b的連結部6f鎖入調節螺絲6g，抵接到按壓構件4。調節螺絲6g具有鎖緊螺帽6h。經由調節調節螺絲6g的鎖入程度的方式，可以調節相對於按壓構件4之變位傳遞板6a、6b的相對高度位置。尚且，圖5中，在連結部6f的正面及背面中上下延伸的凹處6k，乃是讓用於施加電壓到層積壓電致動器2的導線(未圖示)通過的凹部。
圖1所示的導引構件5，具備：公螺紋部5a被鎖入到基台7且被立設在下部支撐構件3之支柱部5b、以及在支柱部5b的上部被螺合到以同軸線形成的母螺紋5c之公螺紋5d。公螺紋5d的軸部，係自由滑動地貫通被形成在按壓構件4的左右兩側之通孔4a，構成上下導引按壓構件4之導引軸5e。
在導引構件5與按壓構件4之間介隔有彈性構件8，按壓構件4按壓層積壓電致動器2。在圖1所示之例中，彈性構件8，乃是於公螺紋5d的軸部，在公螺紋5d的頭部5f與按壓構件4之間，在壓縮狀態下被外插的線圈彈簧。彈性構件8，係如圖6所示，取代線圈彈簧，亦可是盤形彈簧。
設有把輸出部6d彈推到下方之彈性體9。圖1所示的彈性體9，乃是在設在輸出部6d的下端部之鍔部 6i與基台7之間被外插到輸出部6d的線圈彈簧。
上述構成的壓電式線型致動器1，係以施加電壓到層積壓電致動器2的方式伸長層積壓電致動器2，對抗彈性構件8及彈性體9上推按壓構件4，上推變位傳遞構件6使輸出部6d上升。以遮斷施加電壓的方式，按壓構件4及變位傳遞構件6復歸到原位置，輸出部6d也降下復歸到原位置。
以把下部支撐構件3、按壓構件4、導引構件5、及變位傳遞構件6之各個的寬度尺寸設成層積壓電致動器的寬度尺寸以下的方式，這些構件收斂在層積壓電致動器2的寬度尺寸的範圍內，圖求有壓電式線型致動器的薄型化。
圖7及圖8係表示具備如上述般的壓電式線型致動器1之流量控制裝置。圖7及圖8之例乃是壓力式流量控制裝置，但壓力式流量控制裝置的基本構成係與圖10的先前例同樣，故賦予相同元件符號並適宜省略詳細的說明。
壓力式流量控制裝置10具備壓電驅動閥，該壓電驅動閥包含：被安裝有壓電式線型致動器1且同時在內部形成流路11之閥段12、設在閥段12內並設在壓電式線型致動器1的輸出部6d之閥棒、以及經由構成閥棒的輸出部6d的操作來開關流路11之閥體13。而且，壓力式流量控制裝置10，具備：被介隔在閥體13的下游側的流路內之限流孔14、檢測限流孔14的上游側的流路11 內的壓力之壓力檢測器15、以及根據壓力檢測器15的檢測值開關控制壓電驅動閥之控制裝置(未圖示)。用於把閥棒也就是輸出部6d朝下方按壓得彈性體9，乃是在圖示例中所堆疊的複數片的盤形彈簧。而且，在圖示例，閥體13為金屬膜片閥體，藉由閥體固定件17壓住周圍而被固定著。
圖示例的壓力式流量控制裝置10，係被收容在薄板的箱殼18內，但基台7、閥體固定件17、閥段12也被設計成與層積壓電致動器2大致相同寬度，可以圖求裝置整體的薄型化。
圖9係表示有關本發明的流量控制裝置之另一實施方式。在圖9的實施方式中，導引構件5A與圖7的實施方式相異。亦即，在圖9中，導引構件5A設計成門型，以用未圖示螺絲等下端部被固定到基台7的方式被連結到下部支撐構件3，於上部被連結成垂下導引軸5e’。其他的構成，係與圖7的實施方式同樣，故省略詳細的說明。
在上述實施方式中，說明了有關壓力式流量控制裝置，但可以利用本發明的層積壓電式致動器到其他的流量控制裝置這一點也是適用的。
1‧‧‧壓電式線型致動器
2‧‧‧層積壓電致動器
3‧‧‧下部支撐構件
3a、3b‧‧‧通孔
3d‧‧‧矩形孔
4‧‧‧按壓構件
5‧‧‧導引構件
5a‧‧‧公螺紋部
5b‧‧‧支柱部
5c‧‧‧母螺紋
5d‧‧‧公螺紋
5e‧‧‧導引軸
5f‧‧‧頭部
6‧‧‧變位傳遞構件
6a、6b‧‧‧變位傳遞板
6c‧‧‧細寬度部
6d‧‧‧輸出部
6e‧‧‧狹縫
6g‧‧‧調節螺絲
6h‧‧‧鎖緊螺帽
6i‧‧‧鍔部
7‧‧‧基台
7a‧‧‧凹部
7b‧‧‧通孔
8‧‧‧彈性構件
9‧‧‧彈性體

Claims (23)

  1. 一種壓電式線型致動器，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方。
  2. 如請求項1之壓電式線型致動器，其中，利用被介隔在前述導引構件與前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
  3. 如請求項1之壓電式線型致動器，其中， 前述導引構件具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  4. 如請求項1之壓電式線型致動器，其中，前述導引構件具有被立設在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  5. 如請求項3之壓電式線型致動器，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  6. 如請求項4之壓電式線型致動器，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  7. 如請求項1之壓電式線型致動器，其中，前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、及前述變位傳遞構件，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
  8. 一種壓電驅動閥，具備：壓電式線型致動器，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對 變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方；閥段，係安裝有前述壓電式線型致動器且同時在內部形成流路；閥棒，係被設在前述閥段內，設在前述壓電式線型致動器的輸出部；以及閥體，係利用該閥棒的操作，開關前述流路。
  9. 如請求項8之壓電驅動閥，其中，利用被介隔在前述導引構件與前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
  10. 如請求項8之壓電驅動閥，其中，前述導引構件具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  11. 如請求項8之壓電驅動閥，其中，前述導引構件具有被立設在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  12. 如請求項10之壓電驅動閥，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述 層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  13. 如請求項11之壓電驅動閥，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  14. 如請求項8之壓電驅動閥，其中，前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、前述變位傳遞構件、及前述閥段，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
  15. 如請求項8之壓電驅動閥，其中，前述閥體為金屬膜片閥體。
  16. 一種流量控制裝置，具備：壓電式線型致動器，具備：層積壓電致動器；下部支撐構件，係支撐前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；按壓構件，係從上部按壓前述層積壓電致動器且同時延伸在該層積壓電致動器的左右側方；導引構件，係在前述層積壓電致動器的左右兩側中被連結到前述下部支撐構件且同時導引前述按壓構件的左右；以及變位傳遞構件，乃是傳遞因前述層積壓電致動器的壓電效應所致之變位者，前述變位傳遞構件具備：一對變位傳遞板，係沿著前述層積壓電致動器的左右兩側延伸，且同時對前述下部支撐構件及前述按壓構件交叉成可以上下動，而且分別連結在前述下部支撐構件的下方及前述按壓構件的上方；調節螺絲，係與前述一對變位傳遞板連結，可以調節相對於前述變位傳遞板的前述按壓構件之 相對高度位置；輸出部，係在前述下部支撐構件的下方中與前述一對變位傳遞板連結；以及彈性體，係把該輸出部彈推到下方；壓電驅動閥，具備：閥段，係安裝有前述壓電式線型致動器且同時在內部形成流路；閥棒，係被設在前述閥段內，設在前述壓電式線型致動器的輸出部；以及閥體，係利用該閥棒的操作，開關前述流路；以及控制裝置，係開關控制前述壓電驅動閥。
  17. 如請求項16之流量控制裝置，其中，利用被介隔在前述導引構件與前述按壓構件之間的彈性構件，構成前述按壓構件按壓前述層積壓電致動器。
  18. 如請求項16之流量控制裝置，其中，前述導引構件具有自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  19. 如請求項16之流量控制裝置，其中，前述導引構件具有被立設在前述下部支撐構件，且自由滑動地貫通在前述按壓構件的左右之導引軸。
  20. 如請求項18之流量控制裝置，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  21. 如請求項19之流量控制裝置，其中，具備被外插到前述導引軸，且把前述按壓構件朝前述層積壓電致動器的側按壓之線圈彈簧。
  22. 如請求項16之流量控制裝置，其中， 前述下部支撐構件、前述按壓構件、前述導引構件、前述變位傳遞構件、及前述閥段，被收斂在前述層積壓電致動器的寬度尺寸的範圍內。
  23. 如請求項16之流量控制裝置，其中，更進一步具備：被介隔在前述閥體的下游側的流路內之限流孔、以及檢測前述限流孔的上游側的流路內壓力之壓力檢測器；前述控制裝置，係根據前述壓力檢測器的檢測值，開關控制前述壓電驅動閥。
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