JP2018031428A5

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Publication number: JP2018031428A5
Application number: JP2016163996A
Authority: JP
Filing date: 2016-08-24
Publication date: 2019-06-20
Anticipated expiration: 2036-08-24

Claims

流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備え、
前記規制部材は、第１規制部材と、前記弁座から前記第１規制部材よりも離れた位置で前記往復動部材の外縁に取り付けられた第２規制部材とを含んでいるダイアフラム弁。
前記第１規制部材は、前記往復動部材において前記弁座側の端部に取り付けられており、
前記第２規制部材は、前記往復動部材において前記弁座と反対側の端部に取り付けられている請求項１に記載のダイアフラム弁。
前記往復動部材を中心とした前記ハウジングに対する前記規制部材の回転が規制されている請求項１又は２に記載のダイアフラム弁。
前記規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムである請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイアフラム弁。
前記金属ダイアフラムは、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムである請求項４に記載のダイアフラム弁。
流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備え、
前記規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムであり、
前記金属ダイアフラムは、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムであるダイアフラム弁。
前記往復動部材は、前記ハウジングに対して前記所定方向に往復動する第１往復動部材と、前記第１往復動部材に支持され前記第１往復動部材に対して前記所定方向に往復動する第２往復動部材とを含んでおり、
前記押付部は、前記ハウジングに対して前記所定方向に前記第１往復動部材を往復動させる第１アクチュエータと、前記弁座と前記ダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態で前記第１往復動部材の前記弁座に近付く方向への移動を止めるストッパと、前記第１往復動部材に対して前記所定方向に前記第２往復動部材を往復動させる第２アクチュエータとを含んでいる請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイアフラム弁。
流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備え、
前記往復動部材は、前記ハウジングに対して前記所定方向に往復動する第１往復動部材と、前記第１往復動部材に支持され前記第１往復動部材に対して前記所定方向に往復動する第２往復動部材とを含んでおり、
前記押付部は、前記ハウジングに対して前記所定方向に前記第１往復動部材を往復動させる第１アクチュエータと、前記弁座と前記ダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態で前記第１往復動部材の前記弁座に近付く方向への移動を止めるストッパと、前記第１往復動部材に対して前記所定方向に前記第２往復動部材を往復動させる第２アクチュエータとを含んでいるダイアフラム弁。
前記第１アクチュエータは、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ付勢する第１付勢部材を備え、第１気体圧により前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させる気体圧アクチュエータであり、
前記第２アクチュエータは、前記第２往復動部材を前記弁座から離れる方向へ付勢する第２付勢部材を備え、第２気体圧により前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる気体圧アクチュエータである請求項７又は８に記載のダイアフラム弁。
請求項９に記載のダイアフラム弁を備え、前記ダイアフラム弁を制御する制御装置であって、
前記第１アクチュエータによって、前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させた状態から前記第１気体圧を低下させることで、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ前記ストッパにより止められるまで移動させた後、
前記第２アクチュエータによって、前記第２気体圧を上昇させることで、前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付けさせるダイアフラム弁の制御装置。
前記第１アクチュエータにより前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度は、前記第２アクチュエータにより前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度よりも高く設定されている請求項１０に記載のダイアフラム弁の制御装置。
前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始する前の前記第２気体圧の上昇速度は、前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始した後の前記第２気体圧の上昇速度よりも高く設定されている請求項１０又は１１に記載のダイアフラム弁の制御装置。