JPH05306779A

JPH05306779A - ゲート弁

Info

Publication number: JPH05306779A
Application number: JP14210592A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiko Shimojima; 克彦下島
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1992-05-06
Filing date: 1992-05-06
Publication date: 1993-11-19

Abstract

(57)【要約】【目的】構造が簡単で、シール部材の交換が容易なゲ
ート弁を提供する。【構成】ゲート弁を、パレット等の搬送体が通る貫通
孔１ｂ、１ｃとこの貫通孔１ｂ、１ｃを横切る大径穴１
ａとが設けられた弁箱１と、弁箱１の大径穴１ａ内で回
転自在且つ貫通孔１ｂに向かって移動自在な円柱状の弁
体２とから構成し、弁体２に、貫通孔１ｂ、１ｃと連通
する孔２ａと貫通孔１ｂに対するシール部材３を位置を
ずらして設けることにより構造を簡単にし、シール部材
の交換を容易に行うことができるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空室と真空室の間等
に配置され、これら２室を連通状態又は遮断状態とする
ゲート弁に係わり、特に、構造が簡単で、シール部材の
交換が容易なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のゲート弁としては図６及
び図７に示すものがある。

【０００３】まず、図７により、ゲート弁が、インライ
ン式アークイオンプレーティング装置において、真空室
と真空室の間、真空室と大気の間に配置された場合のイ
ンライン式アークイオンプレーティング装置の全体構成
を説明する。このインライン式アークイオンプレーティ
ング装置は、第１ロック室５１、コーティング室５２及
び第２ロック室５３をゲート弁５４、５５を介して連結
したものであり、第１ロック室５１の搬入側と第２ロッ
ク室５３の搬出側にもゲート弁５６、５７が設けられて
いる。このインライン式アークイオンプレーティング装
置によりコーティングを行う場合には、まず、第１ロッ
ク室５１に大気を導入して第１ロック室５１を大気状態
とし、ゲート弁５６を開く。そして、被コーティング物
を保持したパレットＰを第１ロック室５１内に搬入し、
ゲート弁５６を閉じる。そして、第１ロック室５１を排
気ポンプ５８で所定圧まで真空引きする。つぎに、ゲー
ト弁５４を開いてパレットＰをコーティング室５２内に
搬入し、ゲート弁５４を閉じる。コーティング室５２は
排気ポンプ５９で真空引きされており、さらに高真空状
態となるまで真空引きする。高真空状態としたコーティ
ング室５２内で、蒸発源６０を陰極としてアーク放電を
起こすと、金属イオンがコーティング室５２内に飛び出
してバイアス電圧を印加した被コーティング物の表面に
密着し、緻密な膜を生成する。コーティング室５２内に
おけるコーティング作業が終了すると、ゲート弁５５を
開いて第２ロック室５３内にパレットＰを搬入し、ゲー
ト弁５５を閉じる。第２ロック室５３は排気ポンプ６１
で所定圧まで真空引きされており、この第２ロック室５
３内で被コーティング物の冷却を行う。第２ロック室５
３での冷却が終了すると、第２ロック室５３に大気を導
入して第２ロック室５３を大気状態とする。そして、ゲ
ート弁５７を開いてパレットＰを機外に搬出し、ゲート
弁５７を閉じて第２ロック室５３を所定圧まで真空引き
して全工程が終了する。

【０００４】つぎに、図６によりゲート弁の構造と作動
を説明する。このゲート弁は、密封体４１をＸ方向に往
復動可能に保持した弁体４２を、弁箱４３内にＹ方向に
往復動可能に収納したものであり、弁箱４３にはパレッ
トＰが通る貫通孔４３ａ、４３ｂが設けられており、密
封体４１の側面４１ａにはシール部材４４が装着されて
いる。このようなゲート弁において、パレットＰの出し
入れを行う場合には、シリンダ４５のピストンロッド４
５ａを縮小させることによって、密封体４１を保持した
弁体４２を二点鎖線で示した上部位置とする。これに
より、貫通孔４３ａと４３ｂは連通し、パレットＰを出
し入れすることができるようになる。また、流体の流れ
を遮断する場合には、シリンダ４５のピストンロッド４
５ａを伸長させることによって、弁体４２を実線で示し
た下部位置とする。そして、図示しないエヤ供給装置
により供給口４２ａから弁体４２内にエヤを供給するこ
とによって、密封体４１を弁箱４３の貫通孔４３ａに向
かって押圧し、密封体４１を二点鎖線で示した密封位置
とする。これにより、密封体４１がエヤ圧によって弁
箱４３の貫通孔４３ａに向かって付勢された状態で、密
封体４１の側面４１ａはシール部材４４を介して弁箱４
３の内側面４３ｃと接合する。その結果、密封体４１の
側面４１ａが貫通孔４３ａを封止することになり、流体
の流れは完全に遮断される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたゲ
ート弁では、密封体４１を弁体４２内でＸ方向に往復動
させ、弁体４２を弁箱４３内でＹ方向に往復動させるも
のであるため、構造が複雑になる。また、シール部材４
４が装着された密封体４１を保持した弁体４２は弁箱４
３内に収納されているため、シール部材４４を交換する
場合には、ゲート弁を分解して弁体４２を弁箱４３内か
ら取り出す必要があり、シール部材４４の交換に多くの
時間と労力を要するという問題点を有している。

【０００６】本発明は、従来の技術の有するこのような
問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、構造が簡単で、シール部材の交換が容易なゲー
ト弁を提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、本発明のゲート弁は、パレット等の搬送体が通る貫
通孔とこの貫通孔を横切る大径穴とが設けられた弁箱
と、弁箱の大径穴内で回転自在且つ貫通孔に向かって移
動自在な円柱状の弁体とからなり、弁体に、貫通孔と連
通する孔と貫通孔に対するシール部材を位置をずらして
設けたものである。また、前記弁箱の上部を開放可能と
することもできる。

【０００８】

【作用】弁体は、弁箱の大径穴内で回転自在であり、弁
箱の貫通孔に対して、孔が向かい合う位置と、シール部
材を装着した側面が向かい合う位置とを取り得る。そし
て、弁体が、弁箱の貫通孔に対して、孔が向かい合う位
置にあるとき、貫通孔と孔とは連通し、搬送体の出し入
れが可能となる。また、弁体が、弁箱の貫通孔に対し
て、シール部材を装着した側面が向かい合う位置にある
とき、弁体を貫通孔に向かって移動させ、シール部材を
装着した側面で貫通孔を封止すると、流体の流れは遮断
される。また、弁箱の上部を開放可能とすると、弁箱の
上部からシール部材の交換作業を行うことが可能とな
る。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明のゲート弁を示した斜視図、図２
は弁箱と弁体の断面図、図３は弁箱と弁体の作動を示し
た断面図である。

【００１０】図１及び図２において、このゲート弁は大
径穴１ａを有する弁箱１と、弁箱１の大径穴１ａ内に挿
入された弁体２とから構成されており、弁箱１にはパレ
ットＰが通る貫通孔１ｂ、１ｃが設けられている。弁体
２には弁箱１の貫通孔１ｂ、１ｃと連通する孔２ａが設
けられており、この孔２ａと直角の位置にある弁体２の
側面２ｂには装着溝２ｃが設けられている。そして、こ
の装着溝２ｃに弁箱１の貫通孔１ｂに対するシール部材
３が装着されている。弁体２の軸部２ｄは軸受体４に回
転自在に支持されており、また、この弁体２の軸部２ｄ
はユニバーサルジョイント５によってピニオン６を取着
した軸７と連結されている。軸受体４は弁体２の軸部２
ｄと直角方向に往復動自在となっており、この軸受体４
を図示しない駆動装置により往復動させることによっ
て、弁体２を弁箱１の大径穴１ａ内で貫通孔１ｂに向か
って往復動させることができるようになっている（弁箱
１は固定されている）。ピニオン６はシリンダ８によっ
て往復動自在なラック９と噛み合っており、シリンダ８
を作動させてラック９を往復動させることによってピニ
オン６を回転させると、この回転はユニバーサルジョイ
ント５を介して弁体２の軸部２ｄに伝達され、弁体２を
弁箱１の大径穴１ａ内で弁箱１の中心Ｏ₁を中心として
回転させることができるようになっている。

【００１１】つぎに、上述した構造のゲート弁の作動を
図１及び図３に基づいて説明する。パレットＰの出し入
れを行う場合には、まず、弁体２を、弁体２の中心Ｏ₂
と弁箱１の中心Ｏ₁とが一致する図３（ａ）の位置とす
る。そして、シリンダ８のピストンロッド８ａを縮小さ
せてピニオン６をＬ方向に回転させることによって、弁
体２を、弁箱１の大径穴１ａ内で弁箱１の中心Ｏ₁を中
心としてＬ方向に９０°回転させ、図３（ｂ）の位置と
する。これにより、弁箱１の貫通孔１ｂ、１ｃと弁体２
の孔２ａは連通し、パレットＰを出し入れすることがで
きるようになる。

【００１２】また、この状態から流体の流れを遮断する
場合には、シリンダ８のピストンロッド８ａを伸長させ
てピニオン６をＲ方向に回転させることによって、弁体
２を、弁箱１の大径穴１ａ内で弁箱１の中心Ｏ₁を中心
としてＲ方向に９０°回転させ、図３（ａ）の位置とす
る。そして、軸受体４をＡ方向に移動させることによっ
て、弁体２を、弁箱１の貫通孔１ｂに向かって移動さ
せ、図３（ｃ）の位置とし、さらに、軸受体４によっ
て、弁体２を弁箱１の貫通孔１ｂに向かって付勢する。
これにより、弁体２が弁箱１の貫通孔１ｂに向かって付
勢された状態で、弁体２の側面２ｂはシール部材３を介
して弁箱１の大径穴１ａの内面と接合する。その結果、
弁体２の側面２ｂが貫通孔１ｂを封止することになり、
流体の流れは完全に遮断される。

【００１３】さらに、この状態からパレットＰの出し入
れを行う場合には、軸受体４をＢ方向に移動させること
によって、弁体２を、弁箱１の貫通孔１ｃに向かって移
動させ、図３（ａ）の位置とする。そして、弁体２を回
転させて図３（ｂ）の位置とし、弁箱１の貫通孔１ｂ、
１ｃと弁体２の孔２ａを連通させる。このように、弁体
は、弁箱の大径穴内で回転自在であり、弁箱の貫通孔に
対して、孔が向かい合う位置と、シール部材を装着した
側面が向かい合う位置とを取り得るため、弁体の回転と
弁体の貫通孔に向かう移動だけで、パレットの出し入れ
が可能となり、また、流体の流れを遮断できる。この結
果、ゲート弁の構造が簡単になり、コストが低減され
る。

【００１４】なお、図４に示したように弁箱１の上部に
開閉自在な蓋体１５を設け、この蓋体１５によって弁箱
１の上部を開放可能とすることもできる。この場合に
は、シール部材３の交換を行うときには、弁体２を回転
させてシール部材３を図に示した上部位置とし、蓋体１
５を開けて弁箱１の上部を開放すると、弁箱１の上部か
らシール部材３の交換作業を行うことが可能となるた
め、シール部材３の交換が容易になる。

【００１５】また、上記実施例では、弁体２に装着溝２
ｃを１箇所だけ設けたものについて説明したが、図５に
示したように弁体２の孔２ａと直交する位置に装着溝２
ｃを２箇所設けることも可能であり、この場合にはシー
ル部材３の交換の回数を半分に減らすことができる。

【００１６】さらに、弁箱の大径穴と弁体の形状は上記
実施例で示した円柱形に限らず、四角柱形、多角柱形、
楕円柱形等とすることも可能であり、上記実施例と同様
の効果を奏する。

【００１７】

【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので以下に記載する効果を奏する。弁体は、弁箱の大径
穴内で回転自在であり、弁箱の貫通孔に対して、孔が向
かい合う位置と、シール部材を装着した側面が向かい合
う位置とを取り得るため、弁体の回転と弁体の貫通孔に
向かう移動だけで、搬送体の出し入れが可能となり、ま
た、流体の流れを遮断できる。この結果、ゲート弁の構
造が簡単になり、コストが低減される。また、弁箱の上
部を開放可能とすると、弁箱の上部からシール部材の交
換作業を行うことが可能となるため、シール部材の交換
が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のゲート弁を示した斜視図である。

【図２】弁箱と弁体の断面図である。

【図３】弁箱と弁体の作動を示した断面図である。

【図４】他の弁箱の断面図である。

【図５】他の弁体の断面図である。

【図６】従来のゲート弁の断面図である。

【図７】インライン式アークイオンプレーティング装置
の模式図である。

【符号の説明】

１弁箱１ａ大径穴１ｂ、１ｃ貫通孔２弁体２ａ弁体の孔２ｂ弁体の側面２ｃシール部材の装着溝２ｄ弁体の軸部３シール部材Ｐパレット

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】パレット等の搬送体が通る貫通孔と、こ
の貫通孔を横切る大径穴とが設けられた弁箱と；弁箱の
大径穴内で、回転自在且つ貫通孔に向かって移動自在な
円柱状の弁体とからなり；弁体に、貫通孔と連通する孔
と、貫通孔に対するシール部材が位置をずらして設けら
れていることを特徴とするゲート弁。
【請求項２】前記弁箱の上部が開放可能であることを
特徴とする請求項１記載のゲート弁。