JP3655715B2 - スライドバルブ - Google Patents
スライドバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3655715B2 JP3655715B2 JP31504696A JP31504696A JP3655715B2 JP 3655715 B2 JP3655715 B2 JP 3655715B2 JP 31504696 A JP31504696 A JP 31504696A JP 31504696 A JP31504696 A JP 31504696A JP 3655715 B2 JP3655715 B2 JP 3655715B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide valve
- annular
- flow path
- slide
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/20—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the seats
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はスライドバルブに関し、特に真空装置等に用いられるスライドバルブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、流体の流れる流路を備えるハウジング内に流路軸に垂直方向に移動するスライドプレートを配設し、流路を閉鎖して流体の流れを阻止する閉鎖位置と流れを可能とする開放位置との間で、該スライドプレートを移動させることにより流体の制御を行うスライドバルブは知られている。
【0003】
かかるスライドバルブにおいては、特に真空装置等で用いる場合、スライドプレートの閉鎖位置において流体の流れの阻止を完全にするために、スライドプレートに圧接されるシールリングがスライドプレートに近接して設けられていることも知られている。
【0004】
例えば、ドイツ連邦共和国特許公告公報第1264191号に開示されるスライドバルブでは、弾性材料で形成されたシールリングが環状溝中に配設されており、スライドプレートが閉鎖位置に移動したとき、圧力媒体が環状溝に供給されてシールリングをスライドプレートに圧接するよう構成されている。
【0005】
ドイツ連邦共和国特許公開公報第3447008号に記載されているスライドバルブにおいては、1対の金属製ベローズがスライドプレートの両側に設けられており、スライドプレートが閉鎖位置に移動すると、金属製ベローズがシールリングをスライドプレートに近接せしめ圧力媒体の作用によりスライドプレートに圧接するものである。金属製ベローズの内側には、圧力媒体の作用が除去されたときシールリングをスライドプレートから離間せしめるためのスプリングが設けられている。同様のスライドバルブはアメリカ合衆国特許第3145969号にも開示されている。
【0006】
又、ドイツ連邦共和国実用新案第7731993号に記載されるスライドバルブにおいては、環状ピストンに形成されたシールリングを圧力媒体の作用によりハウジングに形成された環状溝に沿って移動させる構造である。
【0007】
上記公知のスライドバルブは、いずれもコストの高いものとなり、加えて、例えば洗浄のために分解する必要のある場合、分解が困難で、組み込まれた装置からスライドバルブ自体を完全に取り外さないと分解は不可能である。
【0008】
真空装置等にスライドバルブを用いる場合、一般的に真空装置の操作手法においてはスライドバルブの領域から異物が混入することは許容されず、従って、スライドバルブの内側、特にシールのための部品はときに応じて洗浄可能でなければならない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
以上の従来技術の問題点に鑑み、本発明の目的は、組み込まれた装置からスライドバルブを完全に取り外すことなく洗浄可能なスライドバルブを提供するにある。
【0010】
更に本発明の目的は、洗浄を必要とする構成部品にアクセスすることが容易で、簡単に取り外すことができるスライドバルブを提供するにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記目的を達成するため、流路を備えるハウジングと、該ハウジング内に配設され流路の流れを阻止する閉鎖位置と流れを許容する開放位置との間を流路軸に垂直に移動するスライドプレートと、前記流路を囲み、かつ、前記閉鎖位置においてスライドプレートと係合し、前記開放位置においてスライドプレートと離間するシールリングとからなるスライドバルブにおいて、前記ハウジングは前記流路を囲み、かつ、前記シールリングに近接する環状表面を有し、該環状表面は流路軸と平行な軸を有する複数の孔部を有し、前記シールリングは前記スライドプレートと反対側に、円周上互いに間隔を有して配置され、円周方向に長さを有する複数の凹部を有し、該凹部はその開口部が円形部と狭窄部とを有する鍵孔状開口端部であって、ハウジングの環状表面に形成された複数の孔部と一致しており、該孔部にはボルトが配設され、該ボルトは鍵孔状開口端部の前記円形部より前記凹部に嵌入して鍵孔状開口端部の前記狭窄部と係合して固定される頭部を有していることを特徴とする。
【0012】
また、スライドバルブの閉鎖状態において、スライドプレートにシールリングを圧接する構造については、ハウジングは、前記流路を囲み、前記環状表面に形成された孔部が開口する環状室を備え、該環状室は前記ボルトと作動的に結合する環状のピストンを備え、流体導管が開口していることを特徴とする。
【0013】
更に、シールリングの構造については、前記シールリングは前記ハウジングの流路に沿って延出する環状凸部を有し、前記スライドプレートに近接する面に第1の環状溝を、前記環状凸部の外面に第2の環状溝を備え、両環状溝にはOリングがそれぞれ配設され、第2環状溝のOリングは流路内壁面と接することを特徴とする。
【0014】
スライドバルブを洗浄する場合、当該スライドバルブを装置から完全に取り外すことなく、洗浄する部品のみを容易に取り外すことができるようにするため、ハウジングは分割面で分離する2つの部分よりなり、前記ハンドルは分割面を越えて延出することを特徴とし、スライドバルブは振り子型スライドバルブであって、前記ハウジングの一方の分割部分に流路を形成し、当該分割部分にスライドプレートを駆動するサーボモータを支持することを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1において、本発明によるスライドバルブは分割面4で分割可能にネジ5等により結合されている2つの部分2,3からなるハウジング1を有する。下部ハウジング2には流路6を備え、装置等に結合するためのフランジ7を備えている。
【0016】
スライドプレート9を駆動するためのサーボモータ8が下部ハウジング2に取付けフランジ等により取り付けられている。図2に示すように、スライドバルブの開放位置においてはスライドプレート9は上部ハウジング3内に位置している。図面に示すスライドバルブは所謂振り子型と呼ばれるもので、図2に示す開放位置と閉鎖位置間のスライドプレート9の移動は軸心10を中心とする回動により行われる。
【0017】
流路6を囲むシールリング11は下部ハウジング2に設けられている。シールリング11は、図3に示すように、流路6の中に延出する環状凸部12を有し、シールリング11に形成された2つの溝にそれぞれ弾性材より成るOリング13,14を支持する。Oリング13はスライドプレート9のシールリング11に近接する面に配設され、他のOリング14は環状凸部12の外面に配設されて流路6の内壁面に接している。両Oリング13,14は仮想の共通の円筒面上に位置するよう略同じ径を有する。
【0018】
シールリング11のスライドプレート9側の反対側の面には、図4に示すように、円周上に互いに離間して配置される複数の凹部16が設けられ、該凹部の開口端は図5に示すように鍵孔状の開口端部17により制限されている。更に、シールリング11の外縁部18から側方に、シールリング11の同一面内に延出するハンドル19が設けられている。
【0019】
シールリング11に近接するハウジング1の環状の内壁面20に図3に示す孔部21が複数削設され、該孔部21はシールリング11の凹部16と同数、同じピッチで整合する位置に削設されている。
【0020】
各孔部21内にはボルト22が脱着可能に嵌装されており、該ボルト22の端部はマッシュルーム状の頭部23を有し、該頭部23は鍵孔状開口端部17の円形部よりシールリング11の凹部16に嵌入して鍵孔状開口端部17の狭窄部と係合して固定される。
【0021】
ハウジング1の壁部には流路6を取り巻く環状室24が図2、図3に示すように設けられ、穿孔21は環状室24と連通しており、環状室24には図3に示す環状のピストン25が配置されている。更に、環状室24には圧力媒体の流入導管27が開口しており、該開口の位置は流入媒体がピストン25の一端面にのみ作用するようピストン25の位置と相対的に定められている。ピストン25の一面はボルト22と接しており、他面には複数のスプリング28が作用し、該スプリング28の数はボルト22と同数でボルト22と整合する位置に配設されている。
【0022】
シールリング11は下部ハウジング2に配置されて、ハンドル19はハウジング1の分割面4を越えて上部ハウジング3に延長する。スライドバルブが開いている場合は、スライドプレート9は図2に示すよう上部ハウジング3内に位置し、シールリング11は図3に示す位置にある。
【0023】
スライドバルブを開こうとする場合、圧力媒体を環状室24に導管27を介して流入せしめる。媒体はピストン25をスプリング28の付勢力に抗して図3の右方に移動させる。ピストン25と作動的に係合しているボルト22も共に右方へ移動して図3の位置に至る。
【0024】
スライドバルブを閉じる場合は、サーボモータ8によりスライドプレート9を駆動して流路6内に移動し図3に示す位置になる。閉じているスライドバルブをシールするために、環状室24から圧力媒体を流出せしめるとスプリング28がピストン25を付勢してボルト22と共に図3の左方に移動する。従って、シールリング11は左方に移行し、Oリング13がスライドプレート9に圧接する。
【0025】
再度スライドルブを開ける場合は前記の如く圧力媒体を環状室24に導入し図3に示す状態になったときにスライドプレートを回動して流路6から離脱させればよい。
【0026】
スライドバルブを洗浄する場合は、ネジ5をゆるめて上部ハウジング3を取り外す。上部ハウジング3と下部ハウジング2がヒンジで結合されている場合は側方に回動して下部ハウジング2と分離する。このようにすればスライドプレート9は露出して接触可能となり、サーボモータ8の回転軸に取り外し可能に組付けておけば容易にスライドプレート9を取り外すことができる。
【0027】
シールリング11を取り外す場合は、圧力媒体を環状室24より流出せしめてピストン25、ボルト22及びシールリング11を共に図3の左方に移動させる。この状態でハウジング1の分割面4から上方に延びているハンドル19を図1の矢印29の方向に回動すると、シールリング11の凹部16に嵌入しているボルト22のマッシュルーム状頭部23と鍵孔状開口端17の係合が緩み、頭部23が鍵孔状開口端部17の円形状部の位置に整合する位置まで回動して、シールリング11が下部ハウジング2より容易に取り外すことができ、従って洗浄するのに何らの困難も無い。
【0028】
洗浄が済んで再度スライドバルブを組付ける場合は、上記の手順を逆に行えばよいのでこれも容易に行える。
【0029】
上記実施態様においては、環状室24に1本の導管27により圧力媒体をピストン25の一面にのみ作用させているが、2本の導管を開口させてピストン25の両面に媒体を作用させるよう構成してもよい。このようにすればスプリング28は不要となる。
【0030】
更に、ボルト22のOリング30は複数設けてもよいし、又ボルト22の頭部23はマッシュルーム形状の代わりにシールリング11の凹部16の開口端部の孔形状に対応させてハンマー型頭部にしてもよい。即ちボルト頭部形状と凹部の開口端の孔形状は、ハンドル19等によるシールリング11の左右対象の回転により係合、離脱が可能な形状であればよい。但しハンマー型の場合は孔部21中でボルト22自体の自転を防止する手段が必要である。
【0031】
本発明の適用は振り子型スライドバルブに限るものではなく、直線上を移動するスライドプレートにも適用できる。かかるスライドプレートの場合はバルブハウジングはできるだけ流路に近接した分割面を有する上部、下部ハウジングで構成することが望ましい。
【0032】
スライドバルブを加熱する必要のある場合は、スライドプレートを取り付けるサーボモータの回転軸を中空軸とし電気抵抗式のヒータカートリッジを回転軸の中空部に収納することもできる。これらは分解組立が容易にできる本発明のスライドバルブにおいては極めて容易に可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスライドバルブの平面図。
【図2】図1のII−II線の縦断面図。
【図3】図1のIII−III線の拡大部分断面図。
【図4】本発明によるシールリングの一部を示す平面図。
【図5】図4のV−V線の断面図。
【符号の説明】
2…上部ハウジング、3…下部ハウジング、4…ハウジングの分割面、6…流路、8…サーボモータ、9…スライドプレート、11…シールリング、12…環状凸部、13,14…Oリング、16…凹部、17…鍵孔状開口端部、19…ハハンドル、20…ハウジング内壁面、21…穿孔、22…ボルト、23…ボルト頭部、24…環状室、25…ピストン、28…スプリング。
Claims (11)
- 流路を備えるハウジングと、該ハウジング内に配設され流路の流れを阻止する閉鎖位置と流れを許容する開放位置との間を流路軸に垂直に移動するスライドプレートと、前記流路を囲み、かつ、前記閉鎖位置においてスライドプレートと係合し、前記開放位置においてスライドプレートと離間するシールリングとからなるスライドバルブにおいて、
前記ハウジングは前記流路を囲み、かつ、前記シールリングに近接する環状表面を有し、該環状表面は流路軸と平行な軸を有する複数の孔部を有し、前記シールリングは前記スライドプレートと反対側に、円周上互いに間隔を有して配置され、円周方向に長さを有する複数の凹部を有し、該凹部はその開口部が円形部と狭窄部とを有する鍵孔状開口端部であって、ハウジングの環状表面に形成された複数の孔部と一致しており、該孔部にはボルトが配設され、該ボルトは鍵孔状開口端部の前記円形部より前記凹部に嵌入して鍵孔状開口端部の前記狭窄部と係合して固定される頭部を有していることを特徴とするスライドバルブ。 - 前記ボルトの頭部は、鍵孔状開口端部の前記円形部より前記凹部に嵌入して鍵孔状開口端部の前記狭窄部と係合可能なように該ボルトの径方向外方に突出した張出部を有する形状か又はマッシュルーム形状であることを特徴とする請求項1記載のスライドバルブ。
- 前記ハウジングは、前記流路を囲み、前記環状表面に形成された孔部が開口する環状室を備え、該環状室は前記ボルトと作動的に結合する環状のピストンを備え、流体導管が開口していることを特徴とする請求項1記載のスライドバルブ。
- 前記環状ピストンを付勢するスプリングを有することを特徴とする請求項3記載のスライドバルブ。
- 前記スプリングの数は前記ボルトの数と同数であることを特徴とする請求項4記載のスライドバルブ。
- 前記スプリングは前記ボルトの位置と整合して配置されることを特徴とする請求項5記載のスライドバルブ。
- 前記シールリングは前記ハウジングの流路に沿って延出する環状凸部を有し、前記スライドプレートに近接する面に第1の環状溝を、前記環状凸部の外面に第2の環状溝を備え、両環状溝にはOリングがそれぞれ配設され、第2環状溝のOリングは流路内壁面と接することを特徴とする請求項1記載のスライドバルブ。
- 前記2つのOリングは略同径であることを特徴とする請求項7記載のスライドバルブ。
- 前記シールリングは該シールリングの同一面内に延出するハンドルを有することを特徴とする請求項1記載のスライドバルブ。
- 前記ハウジングは分割面で分離する2つの部分よりなり、前記ハンドルは分割面を越えて延出することを特徴とする請求項9記載のスライドバルブ。
- スライドバルブは振り子型スライドバルブであって、前記ハウジングの一方の分割部分に流路を形成し、当該分割部分にスライドプレートを駆動するサーボモータを支持することを特徴とする請求項10記載のスライドバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/573,833 US5577707A (en) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | Slide valve |
US08/573833 | 1995-12-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09178000A JPH09178000A (ja) | 1997-07-11 |
JP3655715B2 true JP3655715B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=24293575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31504696A Expired - Lifetime JP3655715B2 (ja) | 1995-12-18 | 1996-11-26 | スライドバルブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5577707A (ja) |
JP (1) | JP3655715B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012189138A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Ulvac Japan Ltd | 仕切弁 |
JP2012193817A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Ulvac Japan Ltd | 仕切弁 |
US8733734B2 (en) | 2009-09-03 | 2014-05-27 | Ulvac, Inc. | Gate valve |
KR20190008417A (ko) | 2016-10-04 | 2019-01-23 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
WO2019188650A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
KR20200128346A (ko) | 2018-03-12 | 2020-11-12 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
KR20200135135A (ko) | 2018-04-02 | 2020-12-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Families Citing this family (75)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5934646A (en) * | 1997-04-04 | 1999-08-10 | Nok Corporation | Gate valve and cylinder apparatus |
US6079693A (en) | 1998-05-20 | 2000-06-27 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Isolation valves |
US6215897B1 (en) | 1998-05-20 | 2001-04-10 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Automated substrate processing system |
US6089530A (en) * | 1998-06-23 | 2000-07-18 | Heer; Henry A. | Gate valve |
US6355183B1 (en) | 1998-09-04 | 2002-03-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for plasma etching |
US6347918B1 (en) | 1999-01-27 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Inflatable slit/gate valve |
US6089537A (en) * | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6409149B1 (en) | 2000-06-28 | 2002-06-25 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly with valve seat cover |
US6328051B1 (en) * | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
US7004453B1 (en) | 2001-04-25 | 2006-02-28 | Mykrolis Corporation | Pendulum valve with a full range of position control |
JP4211486B2 (ja) | 2002-05-23 | 2009-01-21 | 東海ゴム工業株式会社 | クイックコネクタ |
US6854708B2 (en) * | 2002-07-22 | 2005-02-15 | Mdc Vacuum Products Corporation | High-vacuum valve with retractable valve plate to eliminate abrasion |
US6883776B2 (en) | 2002-08-20 | 2005-04-26 | Asm America, Inc. | Slit valve for a semiconductor processing system |
US6776394B2 (en) * | 2002-12-30 | 2004-08-17 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6863256B2 (en) | 2003-02-20 | 2005-03-08 | Mks Instruments, Inc. | Seal ring for pendulum valve assembly |
JP3837391B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2006-10-25 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
US7086638B2 (en) * | 2003-05-13 | 2006-08-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber |
US6902145B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-06-07 | Vat Holding Ag | Regulating slide valve |
RU2342172C2 (ru) | 2003-08-12 | 2008-12-27 | Лома Линда Юниверсити Медикал Сентер | Система позиционирования пациента для систем радиационной терапии |
US6994317B2 (en) * | 2003-09-19 | 2006-02-07 | Vat Holding Ag | Regulating vacuum valve |
US7032882B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-04-25 | Mks Instruments, Inc. | Valve assembly having novel flow characteristics |
US7090192B2 (en) * | 2003-10-21 | 2006-08-15 | Vay Holding Ag | Vacuum valve |
US7422653B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Single-sided inflatable vertical slit valve |
US7036794B2 (en) * | 2004-08-13 | 2006-05-02 | Vat Holding Ag | Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers |
US7278444B2 (en) * | 2005-02-22 | 2007-10-09 | Mks Instruments, Inc. | Valve assembly having improved pump-down performance |
KR100698553B1 (ko) * | 2005-06-15 | 2007-03-26 | 임채수 | 디스크형 관로 개폐 밸브 및 이를 장착한 쓰레기 집하장치 |
WO2007013227A1 (ja) | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Kitz Sct Corporation | スライドバルブ |
US7396001B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-07-08 | Vat Holding Ag | Valve for essentially gastight closing a flow path |
US7802772B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-09-28 | Vat Holding Ag | Pendulum and slide gate vacuum valve |
JP4979429B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-07-18 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
JP5171137B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
JP2008051171A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | S Vac Co Ltd | 真空バルブ |
JP5080169B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-11-21 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
US8043430B2 (en) * | 2006-12-20 | 2011-10-25 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber |
TW201107639A (en) * | 2007-04-27 | 2011-03-01 | Edwards Japan Ltd | Plate rotating device, exhaust path opening degree changing device, exhausted device, transfer device, beam device, and gate valve |
TWI381470B (zh) | 2007-05-08 | 2013-01-01 | Tokyo Electron Ltd | And a treatment device provided with the valve |
US7762526B2 (en) * | 2007-08-27 | 2010-07-27 | Nor-Cal Products, Inc. | Pendulum valve having independently and rapidly controllable theta-and z-axis motion |
EP2331403B1 (en) * | 2008-10-03 | 2020-11-25 | B/E Aerospace, Inc. | Flush valve arrangement |
DE102008051349B3 (de) * | 2008-10-15 | 2009-11-12 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
EP2464902B1 (en) * | 2009-08-12 | 2015-03-25 | GE Oil & Gas Pressure Control LP | Gate valve seat |
EP2287501A1 (de) * | 2009-08-19 | 2011-02-23 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
JP4630994B1 (ja) * | 2009-12-01 | 2011-02-09 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
JP4714835B1 (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-29 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
JP4654370B1 (ja) * | 2010-08-10 | 2011-03-16 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
JP5337185B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2013-11-06 | 株式会社東芝 | 圧力制御装置 |
EP2551564A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
US9267605B2 (en) | 2011-11-07 | 2016-02-23 | Lam Research Corporation | Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process |
JP5904647B2 (ja) * | 2011-11-17 | 2016-04-13 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
ITBO20130544A1 (it) * | 2013-10-02 | 2015-04-03 | Wamgroup Spa | Valvola a ghigliottina per una tramoggia contenente del materiale in polvere oppure in piccola pezzatura |
JP5854335B2 (ja) | 2013-11-20 | 2016-02-09 | プログレッシオ合同会社 | 処理チャンバの圧力制御方法及び処理チャンバの圧力制御装置 |
JP6408233B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2018-10-17 | 株式会社島津製作所 | コントロールバルブおよび制御方法 |
JP6507516B2 (ja) | 2014-08-06 | 2019-05-08 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
DE102014112220A1 (de) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | Z & J Technologies Gmbh | Absperrvorrichtung und Plattenschieber mit einer Absperrvorrichtung |
DK3193053T3 (en) * | 2016-01-18 | 2018-07-30 | Siemens Schweiz Ag | Valve with a ceramic disc |
EP3211281A1 (de) | 2016-02-24 | 2017-08-30 | VAT Holding AG | Vakuumventil zum schliessen eines fliesswegs mit zweiteiligem ventilteller |
EP3318787A1 (de) | 2016-11-03 | 2018-05-09 | VAT Holding AG | Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses |
CN106523780A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 上海华力微电子有限公司 | 半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件及其锁环手柄延长治具 |
US10197166B2 (en) * | 2016-12-12 | 2019-02-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Vacuum gate valve |
JP6711287B2 (ja) | 2017-01-12 | 2020-06-17 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
JP2018112259A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | 株式会社島津製作所 | スライドバルブ |
JP6729408B2 (ja) * | 2017-01-13 | 2020-07-22 | 株式会社島津製作所 | 弁装置 |
EP3372881A1 (de) | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
EP3372883B1 (de) | 2017-03-09 | 2019-12-11 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit optischem sensor |
EP3392541A1 (de) | 2017-04-19 | 2018-10-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit kraftsensor |
US10704715B2 (en) * | 2017-05-29 | 2020-07-07 | Shimadzu Corporation | Vacuum pumping device, vacuum pump, and vacuum valve |
EP3421853A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit akustischem sensor |
EP3421851A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit drucksensor |
EP3421852A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit inertialsensor |
EP3421849A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit temperatursensor |
EP3421850A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit positionssensor |
EP3450809A1 (de) | 2017-08-31 | 2019-03-06 | VAT Holding AG | Verstellvorrichtung mit spannzangenkupplung für den vakuumbereich |
EP3477173A1 (de) | 2017-10-30 | 2019-05-01 | VAT Holding AG | Erweiterte vakuumprozesssteuerung |
US11674602B2 (en) * | 2020-02-03 | 2023-06-13 | Deltavalve, Llc | Automated line blind |
US11854839B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-12-26 | Mks Instruments, Inc. | Valve apparatuses and related methods for reactive process gas isolation and facilitating purge during isolation |
DE102021108429A1 (de) | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Vat Holding Ag | Dichtungsträgerring für ein Ventil |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2370751A (en) * | 1943-11-08 | 1945-03-06 | Frank D Prager | Fluid flow control means |
US3170668A (en) * | 1962-11-13 | 1965-02-23 | Sun Oil Co | Blanking valve having threaded bolt means for increasing sealing pressure |
US5111839A (en) * | 1991-04-24 | 1992-05-12 | Rogerson Aircraft Corporation | Airplane toilet drain valve assembly |
-
1995
- 1995-12-18 US US08/573,833 patent/US5577707A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-11-26 JP JP31504696A patent/JP3655715B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8733734B2 (en) | 2009-09-03 | 2014-05-27 | Ulvac, Inc. | Gate valve |
JP2012189138A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Ulvac Japan Ltd | 仕切弁 |
JP2012193817A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Ulvac Japan Ltd | 仕切弁 |
KR20190008417A (ko) | 2016-10-04 | 2019-01-23 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
US10612673B2 (en) | 2016-10-04 | 2020-04-07 | Ulvac, Inc. | Gate valve |
KR20200128346A (ko) | 2018-03-12 | 2020-11-12 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
US11092246B2 (en) | 2018-03-12 | 2021-08-17 | Ulvac, Inc. | Gate valve |
WO2019188650A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
JP6587233B1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-09 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
TWI696779B (zh) * | 2018-03-30 | 2020-06-21 | 日商愛發科股份有限公司 | 閘閥 |
KR20200135136A (ko) | 2018-03-30 | 2020-12-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
KR20200135135A (ko) | 2018-04-02 | 2020-12-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5577707A (en) | 1996-11-26 |
JPH09178000A (ja) | 1997-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3655715B2 (ja) | スライドバルブ | |
RU2292506C2 (ru) | Запорная арматура | |
JP4141226B2 (ja) | フィルタ装置 | |
JPH02125180A (ja) | 制御弁 | |
JP2006329367A (ja) | 真空バルブ | |
JPH0335963B2 (ja) | ||
KR20060049795A (ko) | 필터 카트리지와 이를 교체하기 위한 방법 및 장치 | |
JPH08238406A (ja) | 液体フィルタ | |
JPS5911057B2 (ja) | 一体の着脱可能な内部素子を有する滑り弁組立体 | |
KR100891032B1 (ko) | 펜드럼 밸브 조립체 용 시일 링 | |
CA1266038A (en) | Ball valve with seat loading mechanism | |
US4006753A (en) | Rotary disc valve | |
US4431133A (en) | Thermostat mounting assembly | |
CA1125262A (en) | Expanding gate valve having mechanically secured seats | |
JP4002906B2 (ja) | 開閉バルブ | |
US20040183044A1 (en) | Severe service control valve | |
US4026324A (en) | Injection valve | |
KR20170032117A (ko) | 역방향 글로브밸브 | |
KR20170038284A (ko) | 파우더 고착방지 밸브 | |
KR100449779B1 (ko) | 이물질에 의한 누수 및 파손을 방지하는 볼밸브 | |
KR101894784B1 (ko) | 밸브 샤프트 어셈블리 및 이를 구비하는 기체 유동 제어를 위한 차량용 밸브 | |
RU2137000C1 (ru) | Усовершенствованный водопроводный кран с шаровым клапаном | |
WO2015072915A1 (en) | Ball member for a valve assembly, ball valve assembly having a ball member and method for controlling the temperature of a ball member | |
KR200256364Y1 (ko) | 버터플라이 밸브 | |
US4179098A (en) | Spacer plates for gate valve seat assemblies |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20040615 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20040816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120311 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130311 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130311 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |