JPH09178000A - スライドバルブ - Google Patents
スライドバルブInfo
- Publication number
- JPH09178000A JPH09178000A JP8315046A JP31504696A JPH09178000A JP H09178000 A JPH09178000 A JP H09178000A JP 8315046 A JP8315046 A JP 8315046A JP 31504696 A JP31504696 A JP 31504696A JP H09178000 A JPH09178000 A JP H09178000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide valve
- annular
- seal ring
- housing
- bolt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/20—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the seats
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
可能であり、洗浄が必要な構成部品にアクセス容易で、
簡単に取り外せるスライドバルブを提供する。 【解決手段】スライドバルブは、流路6、流路6を通じ
て流れを制御するスライドプレート9及び流路6を囲
み、閉鎖位置においてスライドプレート9と係合し、開
放位置においてスライドプレート9と離間するシールリ
ング11とを有するハウジング1を含む。シールリング
11はスライドプレート9と反対側に、円周上に互いに
間隔を有して配置され、円周方向に長さを有する複数の
凹部16を有する。凹部16はその開口部が鍵孔状開口
端部17であって、シールリング11に合わせてハウジ
ング1の環状表面に形成された複数の孔部21と一致し
ている。孔部21には複数のボルト22が配設され、ボ
ルト22は凹部16の中で拡張する頭部を有し、鍵孔状
開口端部17により背面から係合できる。
Description
し、特に真空装置等に用いられるスライドバルブに関す
るものである。
ング内に流路軸に垂直方向に移動するスライドプレート
を配設し、流路を閉鎖して流体の流れを阻止する閉鎖位
置と流れを可能とする開放位置との間で、該スライドプ
レートを移動させることにより流体の制御を行うスライ
ドバルブは知られている。
空装置等で用いる場合、スライドプレートの閉鎖位置に
おいて流体の流れの阻止を完全にするために、スライド
プレートに圧接されるシールリングがスライドプレート
に近接して設けられていることも知られている。
1264191号に開示されるスライドバルブでは、弾
性材料で形成されたシールリングが環状溝中に配設され
ており、スライドプレートが閉鎖位置に移動したとき、
圧力媒体が環状溝に供給されてシールリングをスライド
プレートに圧接するよう構成されている。
008号に記載されているスライドバルブにおいては、
1対の金属製ベローズがスライドプレートの両側に設け
られており、スライドプレートが閉鎖位置に移動する
と、金属製ベローズがシールリングをスライドプレート
に近接せしめ圧力媒体の作用によりスライドプレートに
圧接するものである。金属製ベローズの内側には、圧力
媒体の作用が除去されたときシールリングをスライドプ
レートから離間せしめるためのスプリングが設けられて
いる。同様のスライドバルブはアメリカ合衆国特許第3
145969号にも開示されている。
993号に記載されるスライドバルブにおいては、環状
ピストンに形成されたシールリングを圧力媒体の作用に
よりハウジングに形成された環状溝に沿って移動させる
構造である。
ストの高いものとなり、加えて、例えば洗浄のために分
解する必要のある場合、分解が困難で、組み込まれた装
置からスライドバルブ自体を完全に取り外さないと分解
は不可能である。
合、一般的に真空装置の操作手法においてはスライドバ
ルブの領域から異物が混入することは許容されず、従っ
て、スライドバルブの内側、特にシールのための部品は
ときに応じて洗浄可能でなければならない。
点に鑑み、本発明の目的は、組み込まれた装置からスラ
イドバルブを完全に取り外すことなく洗浄可能なスライ
ドバルブを提供するにある。
成部品にアクセスすることが容易で、簡単に取り外すこ
とができるスライドバルブを提供するにある。
目的を達成するため、流路を備えるハウジングと、該ハ
ウジング内に配設され流路の流れを阻止する閉鎖位置と
流れを許容する開放位置との間を流路軸に垂直に移動す
るスライドプレートと、前記流路を囲み、かつ、前記閉
鎖位置においてスライドプレートと係合し、前記開放位
置においてスライドプレートと離間するシールリングと
からなるスライドバルブにおいて、前記ハウジングは前
記流路を囲み、かつ、前記シールリングに近接する環状
表面を有し、該環状表面は流路軸と平行な軸を有する複
数の孔部を有し、前記シールリングは前記スライドプレ
ートと反対側に、円周上に互いに間隔を有して配置さ
れ、円周方向に長さを有する複数の凹部を有し、該凹部
はその開口部が鍵孔状開口端部であって、ハウジングの
環状表面に形成された複数の孔部と一致しており、該孔
部にはボルトが配設され、該ボルトは前記凹部の中で拡
張する頭部を有していることを特徴とする。
て、スライドプレートにシールリングを圧接する構造に
ついては、ハウジングは、前記流路を囲み、前記環状表
面に形成された孔部が開口する環状室を備え、該環状室
は前記ボルトと作動的に結合する環状のピストンを備
え、流体導管が開口していることを特徴とする。
記シールリングは前記ハウジングの流路に沿って延出す
る環状凸部を有し、前記スライドプレートに近接する面
に第1の環状溝を、前記環状凸部の外面に第2の環状溝
を備え、両環状溝にはOリングがそれぞれ配設され、第
2環状溝のOリングは流路内壁面と接することを特徴と
する。
イドバルブを装置から完全に取り外すことなく、洗浄す
る部品のみを容易に取り外すことができるようにするた
め、ハウジングは分割面で分離する2つの部分よりな
り、前記ハンドルは分割面を越えて延出することを特徴
とし、スライドバルブは振り子型スライドバルブであっ
て、前記ハウジングの一方の分割部分に流路を形成し、
当該分割部分にスライドプレートを駆動するサーボモー
タを支持することを特徴とする。
イドバルブは分割面4で分割可能にネジ5等により結合
されている2つの部分2,3からなるハウジング1を有
する。下部ハウジング2には流路6を備え、装置等に結
合するためのフランジ7を備えている。
ボモータ8が下部ハウジング2に取付けフランジ等によ
り取り付けられている。図2に示すように、スライドバ
ルブの開放位置においてはスライドプレート9は上部ハ
ウジング3内に位置している。図面に示すスライドバル
ブは所謂振り子型と呼ばれるもので、図2に示す開放位
置と閉鎖位置間のスライドプレート9の移動は軸心10
を中心とする回動により行われる。
ジング2に設けられている。シールリング11は、図3
に示すように、流路6の中に延出する環状凸部12を有
し、シールリング11に形成された2つの溝にそれぞれ
弾性材より成るOリング13,14を支持する。Oリン
グ13はスライドプレート9のシールリング11に近接
する面に配設され、他のOリング14は環状凸部12の
外面に配設されて流路6の内壁面に接している。両Oリ
ング13,14は仮想の共通の円筒面上に位置するよう
略同じ径を有する。
の反対側の面には、図4に示すように、円周上に互いに
離間して配置される複数の凹部16が設けられ、該凹部
の開口端は図5に示すように鍵孔状の開口端部17によ
り制限されている。更に、シールリング11の外縁部1
8から側方に、シールリング11の同一面内に延出する
ハンドル19が設けられている。
の環状の内壁面20に図3に示す孔部21が複数削設さ
れ、該孔部21はシールリング11の凹部16と同数、
同じピッチで整合する位置に削設されている。
嵌装されており、該ボルト22の端部はマッシュルーム
状の頭部23を有し、該頭部23は鍵孔状開口端部17
の円形部よりシールリング11の凹部16に嵌入して鍵
孔状開口端部17の狭窄部と係合して固定される。
環状室24が図2、図3に示すように設けられ、穿孔2
1は環状室24と連通しており、環状室24には図3に
示す環状のピストン25が配置されている。更に、環状
室24には圧力媒体の流入導管27が開口しており、該
開口の位置は流入媒体がピストン25の一端面にのみ作
用するようピストン25の位置と相対的に定められてい
る。ピストン25の一面はボルト22と接しており、他
面には複数のスプリング28が作用し、該スプリング2
8の数はボルト22と同数でボルト22と整合する位置
に配設されている。
置されて、ハンドル19はハウジング1の分割面4を越
えて上部ハウジング3に延長する。スライドバルブが開
いている場合は、スライドプレート9は図2に示すよう
上部ハウジング3内に位置し、シールリング11は図3
に示す位置にある。
媒体を環状室24に導管27を介して流入せしめる。媒
体はピストン25をスプリング28の付勢力に抗して図
3の右方に移動させる。ピストン25と作動的に係合し
ているボルト22も共に右方へ移動して図3の位置に至
る。
ータ8によりスライドプレート9を駆動して流路6内に
移動し図3に示す位置になる。閉じているスライドバル
ブをシールするために、環状室24から圧力媒体を流出
せしめるとスプリング28がピストン25を付勢してボ
ルト22と共に図3の左方に移動する。従って、シール
リング11は左方に移行し、Oリング13がスライドプ
レート9に圧接する。
く圧力媒体を環状室24に導入し図3に示す状態になっ
たときにスライドプレートを回動して流路6から離脱さ
せればよい。
をゆるめて上部ハウジング3を取り外す。上部ハウジン
グ3と下部ハウジング2がヒンジで結合されている場合
は側方に回動して下部ハウジング2と分離する。このよ
うにすればスライドプレート9は露出して接触可能とな
り、サーボモータ8の回転軸に取り外し可能に組付けて
おけば容易にスライドプレート9を取り外すことができ
る。
媒体を環状室24より流出せしめてピストン25、ボル
ト22及びシールリング11を共に図3の左方に移動さ
せる。この状態でハウジング1の分割面4から上方に延
びているハンドル19を図1の矢印29の方向に回動す
ると、シールリング11の凹部16に嵌入しているボル
ト22のマッシュルーム状頭部23と鍵孔状開口端17
の係合が緩み、頭部23が鍵孔状開口端部17の円形状
部の位置に整合する位置まで回動して、シールリング1
1が下部ハウジング2より容易に取り外すことができ、
従って洗浄するのに何らの困難も無い。
る場合は、上記の手順を逆に行えばよいのでこれも容易
に行える。
本の導管27により圧力媒体をピストン25の一面にの
み作用させているが、2本の導管を開口させてピストン
25の両面に媒体を作用させるよう構成してもよい。こ
のようにすればスプリング28は不要となる。
けてもよいし、又ボルト22の頭部23はマッシュルー
ム形状の代わりにシールリング11の凹部16の開口端
部の孔形状に対応させてハンマー型頭部にしてもよい。
即ちボルト頭部形状と凹部の開口端の孔形状は、ハンド
ル19等によるシールリング11の左右対象の回転によ
り係合、離脱が可能な形状であればよい。但しハンマー
型の場合は孔部21中でボルト22自体の自転を防止す
る手段が必要である。
限るものではなく、直線上を移動するスライドプレート
にも適用できる。かかるスライドプレートの場合はバル
ブハウジングはできるだけ流路に近接した分割面を有す
る上部、下部ハウジングで構成することが望ましい。
は、スライドプレートを取り付けるサーボモータの回転
軸を中空軸とし電気抵抗式のヒータカートリッジを回転
軸の中空部に収納することもできる。これらは分解組立
が容易にできる本発明のスライドバルブにおいては極め
て容易に可能となる。
図。
ングの分割面、6…流路、8…サーボモータ、9…スラ
イドプレート、11…シールリング、12…環状凸部、
13,14…Oリング、16…凹部、17…鍵孔状開口
端部、19…ハハンドル、20…ハウジング内壁面、2
1…穿孔、22…ボルト、23…ボルト頭部、24…環
状室、25…ピストン、28…スプリング。
Claims (11)
- 【請求項1】流路を備えるハウジングと、該ハウジング
内に配設され流路の流れを阻止する閉鎖位置と流れを許
容する開放位置との間を流路軸に垂直に移動するスライ
ドプレートと、前記流路を囲み、かつ、前記閉鎖位置に
おいてスライドプレートと係合し、前記開放位置におい
てスライドプレートと離間するシールリングとからなる
スライドバルブにおいて、 前記ハウジングは前記流路を囲み、かつ、前記シールリ
ングに近接する環状表面を有し、該環状表面は流路軸と
平行な軸を有する複数の孔部を有し、前記シールリング
は前記スライドプレートと反対側に、円周上に互いに間
隔を有して配置され、円周方向に長さを有する複数の凹
部を有し、該凹部はその開口部が鍵孔状開口端部であっ
て、ハウジングの環状表面に形成された複数の孔部と一
致しており、該孔部にはボルトが配設され、該ボルトは
前記凹部の中で拡張する頭部を有していることを特徴と
するスライドバルブ。 - 【請求項2】前記ボルトの頭部は、張出部を有する形状
か又はマッシュルーム形状であることを特徴とする請求
項1記載のスライドルブ。 - 【請求項3】前記ハウジングは、前記流路を囲み、前記
環状表面に形成された孔部が開口する環状室を備え、該
環状室は前記ボルトと作動的に結合する環状のピストン
を備え、流体導管が開口していることを特徴とする請求
項1記載のスライドバルブ。 - 【請求項4】前記環状ピストンを付勢するスプリングを
有することを特徴とする請求項3記載のスライドバル
ブ。 - 【請求項5】前記スプリングの数は前記ボルトの数と同
数であることを特徴とする請求項4記載のスライドバル
ブ。 - 【請求項6】前記スプリングは前記ボルトの位置と整合
して配置されることを特徴とする請求項5記載のスライ
ドバルブ。 - 【請求項7】前記シールリングは前記ハウジングの流路
に沿って延出する環状凸部を有し、前記スライドプレー
トに近接する面に第1の環状溝を、前記環状凸部の外面
に第2の環状溝を備え、両環状溝にはOリングがそれぞ
れ配設され、第2環状溝のOリングは流路内壁面と接す
ることを特徴とする請求項1記載のスライドバルブ。 - 【請求項8】前記2つのOリングは略同径であることを
特徴とする請求項7記載のスライドバルブ。 - 【請求項9】前記シールリングは該シールリングの同一
面内に延出するハンドルを有することを特徴とする請求
項1記載のスライドバルブ。 - 【請求項10】前記ハウジングは分割面で分離する2つ
の部分よりなり、前記ハンドルは分割面を越えて延出す
ることを特徴とする請求項9記載のスライドバルブ。 - 【請求項11】スライドバルブは振り子型スライドバル
ブであって、前記ハウジングの一方の分割部分に流路を
形成し、当該分割部分にスライドプレートを駆動するサ
ーボモータを支持することを特徴とする請求項10記載
のスライドバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/573833 | 1995-12-18 | ||
US08/573,833 US5577707A (en) | 1995-12-18 | 1995-12-18 | Slide valve |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09178000A true JPH09178000A (ja) | 1997-07-11 |
JP3655715B2 JP3655715B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=24293575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31504696A Expired - Lifetime JP3655715B2 (ja) | 1995-12-18 | 1996-11-26 | スライドバルブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5577707A (ja) |
JP (1) | JP3655715B2 (ja) |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6355183B1 (en) | 1998-09-04 | 2002-03-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for plasma etching |
JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
JP2005009678A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Vat Holding Ag | 制御スライドバルブ |
JP2007507670A (ja) * | 2003-09-29 | 2007-03-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | コンダクタンスの制御が改良された弁組立体 |
JP2007271080A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
WO2008023499A1 (fr) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | S Vac Co., Ltd. | Soupape de dépression |
US7401818B2 (en) | 2002-05-23 | 2008-07-22 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Quick connector |
JP2010096349A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
JP2010527507A (ja) * | 2007-04-27 | 2010-08-12 | エドワーズ株式会社 | プレート回転装置、排気路開閉度変更装置、被排気装置、搬送装置、ビーム装置、及び、ゲートバルブ |
US7828267B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-11-09 | Kitz Sct Corporation | Slide valve |
JP2011117488A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
JP2011117592A (ja) * | 2010-08-10 | 2011-06-16 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
JP2011137537A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-07-14 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
US8043430B2 (en) * | 2006-12-20 | 2011-10-25 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber |
JP2012504526A (ja) * | 2008-10-03 | 2012-02-23 | ビーイー・エアロスペース・インコーポレーテッド | 洗浄弁、真空吸引式トイレシステム及び真空吸引式トイレシステムの水を流す方法 |
KR101224852B1 (ko) * | 2005-02-22 | 2013-01-22 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 밸브 조립체 |
WO2013073039A1 (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
US8968472B2 (en) | 2007-05-08 | 2015-03-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
JP2015190496A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | コントロールバルブおよび制御方法 |
JP2016037992A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
US9880569B2 (en) | 2013-11-20 | 2018-01-30 | Progressio Llc | Pressure control method for process chamber and pressure control device for process chamber |
JP2018112288A (ja) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 株式会社島津製作所 | 弁装置 |
KR20200135136A (ko) * | 2018-03-30 | 2020-12-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5934646A (en) * | 1997-04-04 | 1999-08-10 | Nok Corporation | Gate valve and cylinder apparatus |
US6079693A (en) | 1998-05-20 | 2000-06-27 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Isolation valves |
US6215897B1 (en) | 1998-05-20 | 2001-04-10 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Automated substrate processing system |
US6089530A (en) * | 1998-06-23 | 2000-07-18 | Heer; Henry A. | Gate valve |
US6347918B1 (en) | 1999-01-27 | 2002-02-19 | Applied Materials, Inc. | Inflatable slit/gate valve |
US6089537A (en) * | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6328051B1 (en) | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
US6409149B1 (en) | 2000-06-28 | 2002-06-25 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly with valve seat cover |
US7004453B1 (en) | 2001-04-25 | 2006-02-28 | Mykrolis Corporation | Pendulum valve with a full range of position control |
WO2004008828A2 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Mdc Vacuum Products Corporation | High-vacuum valve with retractable valve plate to eliminate abrasion |
US6883776B2 (en) | 2002-08-20 | 2005-04-26 | Asm America, Inc. | Slit valve for a semiconductor processing system |
US6776394B2 (en) * | 2002-12-30 | 2004-08-17 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6863256B2 (en) * | 2003-02-20 | 2005-03-08 | Mks Instruments, Inc. | Seal ring for pendulum valve assembly |
WO2004102055A1 (en) * | 2003-05-13 | 2004-11-25 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber |
CN1960780B (zh) | 2003-08-12 | 2010-11-17 | 洛马林达大学医学中心 | 模块化的患者支撑系统 |
US6994317B2 (en) * | 2003-09-19 | 2006-02-07 | Vat Holding Ag | Regulating vacuum valve |
US7090192B2 (en) * | 2003-10-21 | 2006-08-15 | Vay Holding Ag | Vacuum valve |
US7422653B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Single-sided inflatable vertical slit valve |
US7036794B2 (en) * | 2004-08-13 | 2006-05-02 | Vat Holding Ag | Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers |
KR100698553B1 (ko) * | 2005-06-15 | 2007-03-26 | 임채수 | 디스크형 관로 개폐 밸브 및 이를 장착한 쓰레기 집하장치 |
US7396001B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-07-08 | Vat Holding Ag | Valve for essentially gastight closing a flow path |
US7802772B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-09-28 | Vat Holding Ag | Pendulum and slide gate vacuum valve |
JP5171137B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
JP5080169B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-11-21 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
US7762526B2 (en) * | 2007-08-27 | 2010-07-27 | Nor-Cal Products, Inc. | Pendulum valve having independently and rapidly controllable theta-and z-axis motion |
WO2011019937A1 (en) * | 2009-08-12 | 2011-02-17 | Parks Glenn C | Gate valve seat |
EP2287501A1 (de) * | 2009-08-19 | 2011-02-23 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
TW201124655A (en) | 2009-09-03 | 2011-07-16 | Ulvac Inc | Gate valve |
JP5606968B2 (ja) * | 2011-03-10 | 2014-10-15 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
JP5613087B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2014-10-22 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
JP5337185B2 (ja) * | 2011-03-11 | 2013-11-06 | 株式会社東芝 | 圧力制御装置 |
EP2551564A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
US9267605B2 (en) | 2011-11-07 | 2016-02-23 | Lam Research Corporation | Pressure control valve assembly of plasma processing chamber and rapid alternating process |
ITBO20130544A1 (it) * | 2013-10-02 | 2015-04-03 | Wamgroup Spa | Valvola a ghigliottina per una tramoggia contenente del materiale in polvere oppure in piccola pezzatura |
DE102014112220A1 (de) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | Z & J Technologies Gmbh | Absperrvorrichtung und Plattenschieber mit einer Absperrvorrichtung |
EP3193053B1 (en) * | 2016-01-18 | 2018-05-16 | Siemens Schweiz AG | Valve with a ceramic disc |
EP3211281A1 (de) | 2016-02-24 | 2017-08-30 | VAT Holding AG | Vakuumventil zum schliessen eines fliesswegs mit zweiteiligem ventilteller |
WO2018066554A1 (ja) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
EP3318787A1 (de) | 2016-11-03 | 2018-05-09 | VAT Holding AG | Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses |
CN106523780A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 上海华力微电子有限公司 | 半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件及其锁环手柄延长治具 |
US10197166B2 (en) * | 2016-12-12 | 2019-02-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Vacuum gate valve |
JP2018112259A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | 株式会社島津製作所 | スライドバルブ |
JP6711287B2 (ja) | 2017-01-12 | 2020-06-17 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
EP3372881A1 (de) | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
EP3372883B1 (de) | 2017-03-09 | 2019-12-11 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit optischem sensor |
EP3392541A1 (de) | 2017-04-19 | 2018-10-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit kraftsensor |
US10704715B2 (en) * | 2017-05-29 | 2020-07-07 | Shimadzu Corporation | Vacuum pumping device, vacuum pump, and vacuum valve |
EP3421852A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit inertialsensor |
EP3421851A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit drucksensor |
EP3421850A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit positionssensor |
EP3421853A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit akustischem sensor |
EP3421849A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit temperatursensor |
EP3450809A1 (de) | 2017-08-31 | 2019-03-06 | VAT Holding AG | Verstellvorrichtung mit spannzangenkupplung für den vakuumbereich |
EP3477173A1 (de) | 2017-10-30 | 2019-05-01 | VAT Holding AG | Erweiterte vakuumprozesssteuerung |
US11092246B2 (en) | 2018-03-12 | 2021-08-17 | Ulvac, Inc. | Gate valve |
JP6562333B1 (ja) | 2018-04-02 | 2019-08-21 | 株式会社アルバック | 仕切弁 |
US11674602B2 (en) * | 2020-02-03 | 2023-06-13 | Deltavalve, Llc | Automated line blind |
US11854839B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-12-26 | Mks Instruments, Inc. | Valve apparatuses and related methods for reactive process gas isolation and facilitating purge during isolation |
DE102021108429A1 (de) | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Vat Holding Ag | Dichtungsträgerring für ein Ventil |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2370751A (en) * | 1943-11-08 | 1945-03-06 | Frank D Prager | Fluid flow control means |
US3170668A (en) * | 1962-11-13 | 1965-02-23 | Sun Oil Co | Blanking valve having threaded bolt means for increasing sealing pressure |
US5111839A (en) * | 1991-04-24 | 1992-05-12 | Rogerson Aircraft Corporation | Airplane toilet drain valve assembly |
-
1995
- 1995-12-18 US US08/573,833 patent/US5577707A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-11-26 JP JP31504696A patent/JP3655715B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6582551B2 (en) | 1998-09-04 | 2003-06-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for plasma etching having rotating coil responsive to slide valve rotation |
US6355183B1 (en) | 1998-09-04 | 2002-03-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for plasma etching |
US7401818B2 (en) | 2002-05-23 | 2008-07-22 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Quick connector |
JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
JP2005009678A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Vat Holding Ag | 制御スライドバルブ |
JP4689976B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2011-06-01 | バット ホールディング アーゲー | 制御スライドバルブ |
KR101229380B1 (ko) * | 2003-09-29 | 2013-02-05 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 향상된 컨덕턴스 제어를 갖는 밸브조립체 |
JP4871129B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2012-02-08 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | コンダクタンスの制御が改良された弁組立体 |
JP2007507670A (ja) * | 2003-09-29 | 2007-03-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | コンダクタンスの制御が改良された弁組立体 |
KR101224852B1 (ko) * | 2005-02-22 | 2013-01-22 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 밸브 조립체 |
US7828267B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-11-09 | Kitz Sct Corporation | Slide valve |
JP2007271080A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
WO2008023499A1 (fr) * | 2006-08-23 | 2008-02-28 | S Vac Co., Ltd. | Soupape de dépression |
US8784948B2 (en) | 2006-12-20 | 2014-07-22 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber |
US8043430B2 (en) * | 2006-12-20 | 2011-10-25 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for controlling gas flow conductance in a capacitively-coupled plasma processing chamber |
JP2010527507A (ja) * | 2007-04-27 | 2010-08-12 | エドワーズ株式会社 | プレート回転装置、排気路開閉度変更装置、被排気装置、搬送装置、ビーム装置、及び、ゲートバルブ |
US8968472B2 (en) | 2007-05-08 | 2015-03-03 | Tokyo Electron Limited | Valve and processing apparatus provided with the same |
JP2012504526A (ja) * | 2008-10-03 | 2012-02-23 | ビーイー・エアロスペース・インコーポレーテッド | 洗浄弁、真空吸引式トイレシステム及び真空吸引式トイレシステムの水を流す方法 |
JP2010096349A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
JP2011117488A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
JP2011137537A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-07-14 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
JP2011117592A (ja) * | 2010-08-10 | 2011-06-16 | Progressio Kk | 真空用ゲートバルブ |
WO2013073039A1 (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
JPWO2013073039A1 (ja) * | 2011-11-17 | 2015-04-02 | プログレッシオ合同会社 | 真空用ゲートバルブ |
US9880569B2 (en) | 2013-11-20 | 2018-01-30 | Progressio Llc | Pressure control method for process chamber and pressure control device for process chamber |
JP2015190496A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | コントロールバルブおよび制御方法 |
JP2016037992A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
JP2018112288A (ja) * | 2017-01-13 | 2018-07-19 | 株式会社島津製作所 | 弁装置 |
KR20200135136A (ko) * | 2018-03-30 | 2020-12-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 게이트 밸브 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5577707A (en) | 1996-11-26 |
JP3655715B2 (ja) | 2005-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH09178000A (ja) | スライドバルブ | |
RU2292506C2 (ru) | Запорная арматура | |
US3964507A (en) | Slide valve with integrated removable internals | |
US4532961A (en) | Bidirectional disc throttling valve | |
US4554943A (en) | Single disc rotary valve | |
KR100259608B1 (ko) | 밸브장치의 시트 이격장치 | |
GB2269651A (en) | Parallel-sided gate valve | |
JPH02125180A (ja) | 制御弁 | |
US6340029B1 (en) | Apparatus for opening/closing a valve and method thereof | |
JPH06174115A (ja) | スプールバルブ | |
US3960363A (en) | Ball valve | |
AU7212991A (en) | A ball valve | |
CA1266038A (en) | Ball valve with seat loading mechanism | |
US4577830A (en) | High pressure ball valve with an interference fit closure seal | |
US4967787A (en) | Unitized disc flow control assembly for a restrictor valve | |
US3559951A (en) | Gate valve for cement and like materials | |
US4026324A (en) | Injection valve | |
JPH04262178A (ja) | 流体のための弁 | |
WO1980002732A1 (en) | Expanding gate valve having mechanically secured seats | |
US4901979A (en) | Butterfly valve of inspectable type | |
KR200256364Y1 (ko) | 버터플라이 밸브 | |
WO2015072915A1 (en) | Ball member for a valve assembly, ball valve assembly having a ball member and method for controlling the temperature of a ball member | |
JPH03181681A (ja) | 制御弁 | |
US4798225A (en) | Seperable valve assembly including a valve mount and a valve body | |
JP2661827B2 (ja) | バタフライ弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20040615 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20040816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090311 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120311 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130311 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130311 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140311 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |