JP2007507670A - コンダクタンスの制御が改良された弁組立体 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (45)
- 弁組立体において、
流路及び該流路を取り囲む環状面を有するハウジングと、
該ハウジング内に配置され且つ、スライド板が流路を通る流れを妨害する閉じた位置とスライド板が流路を通る流れを許容する開いた位置との間にて流路の軸線に対し横方向に可動であるスライド板と、
ハウジングの環状面とスライド板との間に配置されたシールリングとを備え、
スライド板及びシールリングの少なくとも一方は、スライド板とシールリングとの間のコンダクタンスを増す少なくとも1つの通路を有する、弁組立体。 - 請求項1に記載の弁組立体において、前記シールリングは、流路の軸線に対し全体として平行に伸びる第一の側部と、第一の側部から半径方向外方に隔てられ且つ、流路の軸線に対し全体として平行に伸びる第二の側部と、第一の側部と第二の側部との間を伸び且つ、ハウジングの環状面に面する第一の面と、第一の面から軸方向に隔てられ、また第一の側部と第二の側部との間を伸び且つ、スライド板に面する第二の面とを有し、
前記第二の面は、シールリングがスライド板に対して偏倚されたとき、スライド板と接触し、連続的な環状の密封部分とスライド板との間に流体密のシールが形成されるようにする連続的な環状の密封部分を有し、
前記少なくとも1つの通路が、環状の密封部分がスライド板と接触する前に、シールリングとスライド板との間のコンダクタンスを増し得るようシールリングの環状の密封部分と第二の側部との間に配置される、弁組立体。 - 請求項2に記載の弁組立体において、通路は、等しい寸法であり且つ、シールリングの周りにて環状の形態にて連続的に隔てられる、弁組立体。
- 請求項2に記載の弁組立体において、シールリングの通路は、シールリングの第二の面とシールリングの第二の側部との間を伸びる、弁組立体。
- 請求項4に記載の弁組立体において、シールリングの通路の各々は、シールリングの第二の面に、シールリングの第二の側部まで伸びる凹所を備える、弁組立体。
- 請求項2に記載の弁組立体において、シールリングの通路の各々は、シールリングの第二の面に、シールリングの第二の側部とシールリングの第二の面の環状の密封部分との間に配置される凹所を備える、弁組立体。
- 請求項2に記載の弁組立体において、シールリングの通路の各々は、シールリングの第二の面とシールリングの第一の面との間を伸びる、弁組立体。
- 請求項1に記載の弁組立体において、シールリングは、流路内に同軸状に伸びるニップルを有する、弁組立体。
- 請求項8に記載の弁組立体において、ニップルは、該ニップルの外面に環状溝を有し、Oリングは該溝内に配置される、弁組立体。
- 請求項2に記載の弁組立体において、シールリングの第二の面の環状の密封部分は環状溝を有し、Oリングは該溝内に配置される、弁組立体。
- 請求項1に記載の弁組立体において、スライド板は流路内に回動可能に動くことができる、弁組立体。
- 請求項11に記載の弁組立体において、スライド板は、流路から外れた位置とスライド板がスライド通路内に回動するが、ハウジングの弁座から非係合状態となる開いた位置との間にて回動可能に動くことができ、次に、流路の軸線に対して横方向に動いて弁座と係合する閉じた位置となることができる、弁組立体。
- 請求項12に記載の弁組立体において、軸から全体として横方向に伸びる回動アームを通してスライド板に固定状態に連結された軸を更に備え、該軸は、軸の長手方向軸線の周りにて回転し、スライド板が流路内に回転して開いた位置となるのを許容するようハウジング内に少なくとも部分的に取り付けられ、また、流路の軸線に対し実質的に平行に摺動してスライド板が開いた位置と閉じた位置との間にて長手方向に動くのを許容する、弁組立体。
- 請求項13に記載の弁組立体において、軸とハウジングとの間に連結されて軸の回転動作と摺動動作との組み合わせを提供するカム機構を更に有する、弁組立体。
- 請求項14に記載の弁組立体において、カム機構は、
ハウジングにより画成されたカム面と、
軸に固定され且つ、ハウジングのカム面と係合するカム従動子とを備える、弁組立体。 - 請求項1に記載の弁組立体において、ハウジングの環状面における複数の穴内に変位可能に配置された複数の締結具を更に備え、スライド板は該締結具に固定される、弁組立体。
- 請求項16に記載の弁組立体において、スライド板は締結具に除去可能に固定される、弁組立体。
- 請求項16に記載の弁組立体において、ハウジングは、流路を同軸状に取り囲む環状チャンバを更に有し、環状面に形成された穴が該環状チャンバ内に開き、また、環状チャンバ内に配置され且つ、締結具に接続された環状ピストンを更に備える、弁組立体。
- 請求項18に記載の弁組立体において、ハウジングは、環状チャンバと流体的に連通した少なくとも1つの導管を更に有する、弁組立体。
- 請求項18に記載の弁組立体において、チャンバ内に保持され且つ、ピストンをシールリングに向けて偏倚される複数のばねを更に備える、弁組立体。
- 請求項1に記載の弁組立体を有する高純度気体の供給システムにおいて、弁組立体を介して真空ポンプに接続されたプロセスチャンバを更に有する、高純度気体の供給システム。
- 弁組立体において、
入口及び出口を有する流路を備えるハウジングと、
該入口と該出口との間に配置されたシールリングとを備え、該シールリングは、
対向する第一の側部及び第二の側部と、
該第一の側部と該第二の側部との間を伸び且つ、ハウジングの入口に面する第一の面と、
該第一の面から軸方向に隔てられ、また、第一の側部と第二の側部との間を伸び且つ、ハウジングの出口に面する第二の面とを有し、第二の面は、連続的な環状の密封部分と、該環状の密封部分と第二の側部との間に配置された少なくとも1つの通路とを有する、弁組立体。 - 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングの第二の面は、環状の密封部分と第二の側部との間に配置された複数の通路を有する、弁組立体。
- 請求項23に記載の弁組立体において、通路は寸法が等しく且つ、シールリングの第二の面の周りにて環状のパターンに連続的に隔てられる、弁組立体。
- 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングの通路は、シールリングの第二の面とシールリングの第二の側部との間を伸びる、弁組立体。
- 請求項25に記載の弁組立体において、シールリングの通路は、シールリングの第二の面に、シールリングの第二の側部まで伸びる凹所を備える、弁組立体。
- 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングの通路は、シールリングの第二の面に、シールリングの第二の側部と第二の面の環状の密封部分との間に配置された凹所を備える、弁組立体。
- 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングの通路は、シールリングの第二の面とシールリングの第一の面との間を伸びる、弁組立体。
- 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングは、シールリングの第一の面から伸びるニップルを有する、弁組立体。
- 請求項29に記載の弁組立体において、ニップルは、該ニップルの外面における環状溝を有し、Oリングは、該溝内に配置され、シールリングの第二の面の環状密封部分は環状溝を有し、Oリングは該溝内に配置される、弁組立体。
- 請求項22に記載の弁組立体において、シールリングの第二の面の環状密封部分は環状溝を有し、Oリングは該溝内に配置される、弁組立体。
- シールリングにおいて、
対向する第一及び第二の側部と、
該第一の側部と第二の側部との間を伸びる第一の面と、
第一の面から軸方向に隔てられ且つ、第一の側部と第二の側部との間を伸びる第二の面であって、連続的な環状の密封部分と、該環状の密封部分と第二の側部との間に配置された少なくとも1つの通路とを有する前記第二の面とを備える、シールリング。 - 請求項32に記載のシールリングにおいて、第二の面は、環状密封部分と第二の側部との間に配置された複数の通路を有する、シールリング。
- 請求項33に記載のシールリングにおいて、通路は、等しい寸法であり且つ、第二の面の周りにて環状のパターンに連続的に隔てられる、シールリング。
- 請求項32に記載のシールリングにおいて、通路は、第二の面と第二の側部との間を伸びる、シールリング。
- 請求項35に記載のシールリングにおいて、通路は、第二の面に、第二の側部まで伸びる凹所を備える、シールリング。
- 請求項32に記載のシールリングにおいて、通路は、シールリングの第二の面に、第二の側部と環状密封部分との間に配置される凹所を備える、シールリング。
- 請求項32に記載のシールリングにおいて、通路は、第二の面と第一の面との間を伸びる、シールリング。
- 請求項22に記載のシールリングにおいて、第一の面から伸びるニップルを備える、シールリング。
- 請求項39に記載のシールリングにおいて、ニップルはOリングを受け入れる環状溝を有し、第二の面の環状密封部分はOリングを受け入れる環状溝を有する、シールリング。
- 弁組立体において、
流路及び該流路を取り囲む環状面とを有するハウジングと、
該ハウジング内に配置され且つ、スライド板が流路を通る流れを妨害する閉じた位置とスライド板が環状面に向けて動き且つ、流路を通る増大した流れを許容する開いた位置との間にて流路の軸線に対し横方向に可動であるスライド板とを備え、
スライド板及び環状面の少なくとも一方は、スライド板と環状面との間のコンダクタンスを増す少なくとも1つの通路を有する、弁組立体。 - 請求項41に記載の弁組立体において、通路は環状面内に提供される、弁組立体。
- 請求項42に記載の弁組立体において、環状面は複数の通路を備える、弁組立体。
- 請求項41に記載の弁組立体において、通路はスライド板に提供される、弁組立体。
- 請求項44に記載の弁組立体において、スライド板は複数の通路を有する、弁組立体。
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---|---|---|---|
US10/673,989 | 2003-09-29 | ||
US10/673,989 US7032882B2 (en) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | Valve assembly having novel flow characteristics |
PCT/US2004/025888 WO2005036034A2 (en) | 2003-09-29 | 2004-08-10 | Valve assembly having improved conductance control |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006527988A Active JP4871129B2 (ja) | 2003-09-29 | 2004-08-10 | コンダクタンスの制御が改良された弁組立体 |
Country Status (7)
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---|---|
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DE (1) | DE602004023528D1 (ja) |
WO (1) | WO2005036034A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015190496A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | コントロールバルブおよび制御方法 |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7396001B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-07-08 | Vat Holding Ag | Valve for essentially gastight closing a flow path |
US7802772B2 (en) * | 2005-12-20 | 2010-09-28 | Vat Holding Ag | Pendulum and slide gate vacuum valve |
JP5171137B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
US7762526B2 (en) | 2007-08-27 | 2010-07-27 | Nor-Cal Products, Inc. | Pendulum valve having independently and rapidly controllable theta-and z-axis motion |
DE102008045357A1 (de) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | Oerlikon Textile Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Beheizen eines drehbar gelagerten Führungsmantels einer Führungsrolle |
US8128814B2 (en) * | 2008-12-23 | 2012-03-06 | Mark Allan Davies | Pool suction valve |
US8459608B2 (en) * | 2009-07-31 | 2013-06-11 | Curtiss-Wright Flow Control Corporation | Seat and valve systems for use in delayed coker system |
US8833383B2 (en) | 2011-07-20 | 2014-09-16 | Ferrotec (Usa) Corporation | Multi-vane throttle valve |
EP2551564A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
US9133960B2 (en) * | 2013-01-29 | 2015-09-15 | Mks Instruments, Inc. | Fluid control valves |
JP6507516B2 (ja) * | 2014-08-06 | 2019-05-08 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
RU170665U1 (ru) * | 2016-01-11 | 2017-05-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тюменский индустриальный университет" (ТИУ) | Задвижка |
EP3211281A1 (de) * | 2016-02-24 | 2017-08-30 | VAT Holding AG | Vakuumventil zum schliessen eines fliesswegs mit zweiteiligem ventilteller |
EP3318787A1 (de) | 2016-11-03 | 2018-05-09 | VAT Holding AG | Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses |
CN106523780A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 上海华力微电子有限公司 | 半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件及其锁环手柄延长治具 |
CN106642175A (zh) * | 2017-01-09 | 2017-05-10 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种脱硫烟气挡板门 |
JP2018112259A (ja) * | 2017-01-12 | 2018-07-19 | 株式会社島津製作所 | スライドバルブ |
US10559451B2 (en) * | 2017-02-15 | 2020-02-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus with concentric pumping for multiple pressure regimes |
EP3372881A1 (de) | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
EP3372883B1 (de) | 2017-03-09 | 2019-12-11 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit optischem sensor |
EP3392541A1 (de) | 2017-04-19 | 2018-10-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit kraftsensor |
CN110709633B (zh) | 2017-06-05 | 2022-04-22 | 威斯塔德尔特有限责任公司 | 用于高传导性阀的控制板 |
US11248708B2 (en) | 2017-06-05 | 2022-02-15 | Illinois Tool Works Inc. | Control plate for a high conductance valve |
US10458553B1 (en) | 2017-06-05 | 2019-10-29 | Vistadeltek, Llc | Control plate for a high conductive valve |
EP3421853A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit akustischem sensor |
EP3421850A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit positionssensor |
EP3421849A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit temperatursensor |
EP3421852A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit inertialsensor |
EP3421851A1 (de) | 2017-06-30 | 2019-01-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit drucksensor |
RU180420U1 (ru) * | 2017-07-04 | 2018-06-13 | Сергей Викторович Никитин | Задвижка |
EP3450809A1 (de) | 2017-08-31 | 2019-03-06 | VAT Holding AG | Verstellvorrichtung mit spannzangenkupplung für den vakuumbereich |
EP3477173A1 (de) | 2017-10-30 | 2019-05-01 | VAT Holding AG | Erweiterte vakuumprozesssteuerung |
WO2019212226A1 (ko) * | 2018-04-30 | 2019-11-07 | 티에스케이 주식회사 | 스팀트랩 |
KR102639971B1 (ko) * | 2018-11-01 | 2024-02-22 | 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 | 하이 컨덕턴스 밸브용 제어 플레이트 |
JP6745953B1 (ja) * | 2019-07-23 | 2020-08-26 | 株式会社アルバック | 仕切りバルブ |
TWI711781B (zh) * | 2020-01-14 | 2020-12-01 | 日揚科技股份有限公司 | 鐘擺閥 |
DE102021108429A1 (de) | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Vat Holding Ag | Dichtungsträgerring für ein Ventil |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3401915A (en) * | 1966-05-10 | 1968-09-17 | M & J Valve Co | Resilient material valve seal ring |
JPH09178000A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-07-11 | Vat Holding Ag | スライドバルブ |
JPH09210222A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-12 | Vat Holding Ag | 分子領域のガス流を制御する制御装置 |
US6409149B1 (en) * | 2000-06-28 | 2002-06-25 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly with valve seat cover |
JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
JP2006512548A (ja) * | 2002-12-30 | 2006-04-13 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 振り子弁組立体 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2370751A (en) * | 1943-11-08 | 1945-03-06 | Frank D Prager | Fluid flow control means |
US2952437A (en) * | 1956-10-15 | 1960-09-13 | Hydril Co | Sealing gate valve |
US2954264A (en) * | 1957-03-04 | 1960-09-27 | A P D Co | Sealing ring |
US3078865A (en) * | 1961-04-03 | 1963-02-26 | Acf Ind Inc | Self sealing gate valve |
US3307826A (en) * | 1963-12-02 | 1967-03-07 | Acf Ind Inc | Bifaced gate valve |
US3746303A (en) * | 1970-03-09 | 1973-07-17 | M & J Valve Co | Valve construction and method |
US3827673A (en) * | 1973-03-16 | 1974-08-06 | J Weber | Valve seat construction |
US4625942A (en) * | 1982-01-27 | 1986-12-02 | Nl Industries, Inc. | Valve assembly, seat and seal |
US4432387A (en) * | 1982-09-20 | 1984-02-21 | Sims Don G | Rotating disc gate valve |
US4681326A (en) * | 1985-06-10 | 1987-07-21 | Cummins Engine Company, Inc. | Gas lubricated piston ring assembly |
US4643395A (en) * | 1985-11-21 | 1987-02-17 | Joy Manufacturing Company | Valve with protected seats |
US4765361A (en) * | 1987-06-29 | 1988-08-23 | Clifford Walter A | Ported gate valve |
US4846442A (en) * | 1988-01-14 | 1989-07-11 | The Clarkson Company | Gate valve with lock ring |
US5090661A (en) * | 1990-09-28 | 1992-02-25 | Foster Oilfield Equipment Co. | Gate valve |
US5163655A (en) * | 1992-04-02 | 1992-11-17 | Daniel Industries, Inc. | Spring urged seat assembly for valves |
US5341835A (en) * | 1992-12-14 | 1994-08-30 | Foster Valve Corporation | Lubrication system for valve seat of a gate valve |
CN2178820Y (zh) * | 1993-10-06 | 1994-10-05 | 湖北省沙市市阀门总厂 | 一种电动扇形蝶阀 |
GB9411230D0 (en) * | 1994-06-04 | 1994-07-27 | Norgren Martonair Ltd | Fluid flow control valves |
CN2233012Y (zh) * | 1995-03-14 | 1996-08-14 | 湖北省沙市市阀门总厂 | 电动金属硬密封扇形闸阀 |
US5727775A (en) * | 1996-01-17 | 1998-03-17 | Baker Hughes Incorporated | Gate valve with dual seal rings on a unitary seat ring |
US5836570A (en) * | 1996-09-25 | 1998-11-17 | General Signal Corporation | Gate valve seat |
US6089537A (en) | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
US6161576A (en) | 1999-06-23 | 2000-12-19 | Mks Instruments, Inc. | Integrated turbo pump and control valve system |
US6328051B1 (en) | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
CN2484447Y (zh) * | 2001-03-30 | 2002-04-03 | 石家庄三环阀门股份有限公司 | 一种扇形盲板阀阀板 |
US6664572B2 (en) * | 2001-07-23 | 2003-12-16 | Hp&T Products, Inc. | Valve seal assemblies and methods |
US6902145B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-06-07 | Vat Holding Ag | Regulating slide valve |
-
2003
- 2003-09-29 US US10/673,989 patent/US7032882B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-08-10 CN CNB2004800281033A patent/CN100416145C/zh active Active
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-
2006
- 2006-04-25 US US11/410,411 patent/US20060192170A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3401915A (en) * | 1966-05-10 | 1968-09-17 | M & J Valve Co | Resilient material valve seal ring |
JPH09178000A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-07-11 | Vat Holding Ag | スライドバルブ |
JPH09210222A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-12 | Vat Holding Ag | 分子領域のガス流を制御する制御装置 |
US6409149B1 (en) * | 2000-06-28 | 2002-06-25 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly with valve seat cover |
JP2006512548A (ja) * | 2002-12-30 | 2006-04-13 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 振り子弁組立体 |
JP2004286131A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Smc Corp | ゲートバルブ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015190496A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-11-02 | 株式会社島津製作所 | コントロールバルブおよび制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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