JP4002906B2 - 開閉バルブ - Google Patents
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Description
本発明は、第1に上述の課題を解決するために、真空チャンバ(A)の開口部の間に配され、これら開口部と連絡される連絡口(4)を対向する壁面に有するケーシング(2)と、このケーシング(2)の内部に配置されて、中心軸回りに回転可能なシャフト(21)と、このシャフト(21)を回転させる回転駆動源(51)とを備え、前記シャフト(21)に、前記連絡口(4)を介して前記開口部を開閉せしめる開閉手段(30)を設けた開閉バルブ(1)であって、前記ケーシング(2)の内部には円筒状の空間(15)が形成され、前記シャフト(21)は、その軸方向が円筒状の前記空間(15)の軸方向に一致されて内部に収納され、前記シャフト(21)はクリアランスを介在して前記ケーシング(2)の壁面から離れて配置され、前記シャフト(21)には、このシャフト(21)の直径方向を貫通する連絡通路(22)が形成され、このシャフト(21)の回転により前記連絡通路(22)がケーシング(2)の前記連絡口(4)に対向された際に、前記連絡通路(22)が前記連絡口(4)同士を連絡させ、前記開閉手段(30)は、この連絡通路(22)の両側に配置され、前記シャフト(21)が回転されてケーシング(2)の前記連絡口(4)に対向された際に各連絡口(4)を開閉するように構成され、かつ、この開閉手段(30)は、前記シャフト(21)の軸方向に延びるように形成され、前記シャフト(21)からこのシャフト(21)の半径方向外側に張り出して前記開口部を閉鎖するシート部材(32)と、このシート部材(32)を前記シャフト(21)の半径方向の内側に向けて付勢する付勢部材(36)と、前記シート部材(32)に接続されて前記シート部材(32)と共に連動して伸縮し、而も、このシート部材(32)と前記シャフト(21)との間にて密閉空間(40)を形成するベローズ(34)と、を備え、前記シート部材(32)は、その外表面の少なくとも前記連絡口(4)に突き当てられる部位が、前記シャフト(21)の回転方向に沿って円弧状となされ、前記シート部材(124)は前記シャフト(111)と前記ケーシング(2A)の壁面の間で前記シャフト(111)の半径方向に移動可能であり、前記開閉手段(30)は、前記シャフト(21)の軸方向に間隔を空けて前記シート部材(32)に取り付けられて前記半径方向に延びる複数の支持柱(35)と、前記シャフト(21)に設けられ、前記支持柱(35)を前記半径方向に移動可能に支持する支持部(26)とを含み、かつ、前記支持柱(35)は前記密閉空間(40)の内側に配置され、前記シャフト(21)には、前記密閉空間(40)と連通されたエア通路(41)が形成されている開閉バルブを採用した。
2,2A ケーシング
3 本体部
4,4A 連絡口
8 壁面ピース
11 キャップ
20 スプール本体(弁本体)
21 シャフト
22 連絡通路
25 取付座
26 支持部
30 開閉機構(開閉手段)
31 取付部
32 シート部材
34 ベローズ(密閉部材)
35 支持柱
36 スプリング(付勢部材)
40 密閉空間
41 エア通路
50 駆動部
51 ロータアクチュエータ(回転駆動源)
100 スプール本体(弁本体)
111 シャフト
113 取付座
114 支持部
117 ピストン(密閉部材)
122 エンドフランジ
123 連結部材
124 シート部材
126 スプリング(付勢部材)
127 スプリング(付勢部材)
129 ベローズ
Claims (4)
- 真空チャンバの開口部の間に配され、これら開口部と連絡される連絡口を対向する壁面に有するケーシングと、このケーシングの内部に配置されて、中心軸回りに回転可能なシャフトと、このシャフトを回転させる回転駆動源とを備え、前記シャフトに、前記連絡口を介して前記開口部を開閉せしめる開閉手段を設けた開閉バルブであって、
前記ケーシングの内部には円筒状の空間が形成され、前記シャフトは、その軸方向が円筒状の前記空間の軸方向に一致されて内部に収納され、
前記シャフトはクリアランスを介在して前記ケーシングの壁面から離れて配置され、
前記シャフトには、このシャフトの直径方向を貫通する連絡通路が形成され、このシャフトの回転により前記連絡通路がケーシングの前記連絡口に対向された際に、前記連絡通路が前記連絡口同士を連絡させ、
前記開閉手段は、この連絡通路の両側に配置され、前記シャフトが回転されてケーシングの前記連絡口に対向された際に各連絡口を開閉するように構成され、
かつ、この開閉手段は、前記シャフトの軸方向に延びるように形成され、前記シャフトからこのシャフトの半径方向外側に張り出して前記開口部を閉鎖するシート部材と、このシート部材を前記シャフトの半径方向の内側に向けて付勢する付勢部材と、前記シート部材に接続されて前記シート部材と共に連動して伸縮し、而も、このシート部材と前記シャフトとの間にて密閉空間を形成するベローズと、を備え、
前記シート部材は、その外表面の少なくとも前記連絡口に突き当てられる部位が、前記シャフトの回転方向に沿って円弧状となされ、
前記シート部材は前記シャフトと前記ケーシングの壁面の間で前記シャフトの半径方向に移動可能であり、
前記開閉手段は、前記シャフトの軸方向に間隔を空けて前記シート部材に取り付けられて前記半径方向に延びる複数の支持柱と、前記シャフトに設けられ、前記支持柱を前記半径方向に移動可能に支持する支持部とを含み、かつ、前記支持柱は前記密閉空間の内側に配置され、
前記シャフトには、前記密閉空間と連通されたエア通路が形成されていることを特徴とする開閉バルブ。 - 真空チャンバの開口部の間に配され、これら開口部と連絡される連絡口を対向する壁面に有するケーシングと、このケーシングの内部に配置されて、中心軸回りに回転可能なシャフトと、このシャフトを回転させる回転駆動源とを備え、前記シャフトに前記連絡口を開閉することで前記開口部を開閉せしめる開閉手段を設けた弁本体としての開閉バルブであって、
前記ケーシングの内部には空間が形成され、前記シャフトは、その軸方向が前記空間の軸方向に一致されて内部に収納され、
前記シャフトはクリアランスを介在して前記ケーシングの壁面から離れて配置され、
前記開閉手段は、前記シャフトの中心軸に対して対称に配置され、かつ、前記シャフトからこのシャフトの半径方向外側に張り出して前記開口部を閉鎖するシート部材と、前記シート部材を前記シャフトの半径方向の内側又は外側に向けて付勢する付勢手段とをそれぞれ備え、
前記シート部材は前記シャフトと前記ケーシングの壁面の間で前記シャフトの半径方向に移動可能であり、
前記開閉手段は、前記シート部材に取り付けられ、このシート部材と共に内側に空間を形成して、かつ、前記シート部材と共に前記半径方向に移動するピストンと、前記シャフトからその半径方向に延びて、前記ピストンをこの半径方向に移動可能に支持する支持部とを有し、
前記支持部は、前記シャフトからその半径方向外側に前記ピストンを貫通して延びると共に前記ピストンを摺動可能に支持する支柱と、この支柱の先端に固定されると共に、前記ピストンの内部に摺動可能に嵌め合わされて前記ピストンの内部を前記半径方向に関して二つの空間に二分するフランジとを有し、
前記シャフトには前記支持部と連絡されたエア通路が形成されている一方で、前記支柱には、前記エア通路と、二分された前記ピストンの内部における前記半径方向の内側のエア空間とを連絡する連絡通路が形成され、
前記付勢手段は、前記ピストンと前記シャフトとの間に配置され、前記シート部材をこのピストンを介してシャフトの半径方向外側に向けて付勢する第1付勢部材を具備することを特徴とする弁本体としての開閉バルブ。 - 前記付勢手段は、二分された前記ピストンの内部における前記半径方向の内側のエア空間に配置されて前記ピストンを前記フランジに対して前記半径方向の内側に向けて付勢する第2付勢部材を備えていることを特徴とする請求項2に記載の開閉バルブ。
- 前記シート部材に連動して伸縮し、而も前記ピストンを覆うようにして前記このシート部材と前記シャフトとの間にて密閉空間を形成するベローズを備えたことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の開閉バルブ。
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