JP5764579B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

本発明は、真空バルブに関する。

真空バルブは、相互に楔形状に配置されている第１平面及び第２平面のそれぞれに配置され、真空バルブの閉塞状態において閉塞プレート及び反対側プレートが押し付けられるシート及び反対側シートを備えている（特許文献１参照）。

閉塞プレート及び反対側プレートは、複数の固定プレートに対して固定されている。複数の固定プレートは、バルブロッドにより連結されているアーチ状の連結プレートを介して相互に連結されている。真空バルブの閉塞に際して、固定プレートがまずバルブロッドにより動かされ、閉塞プレート及び反対側プレートのそれぞれがシート及び反対側シートのそれぞれに対向している場合、バルブハウジングに固定されている反対側ストッパにおいて制動されかけることによりそれ以上の動きが妨げられる。

その結果、バルブロッドがアーチ状の連結プレートを押し付け、閉塞プレート及び反対側プレートのそれぞれが離間してわずかに変形するとともに、シート及び反対側シートのそれぞれに対して押し付けられる。製品耐性を十分に低く維持することが困難であり、さらには使用に伴って異なる部位の相互位置のずれが時間経過とともに徐々に大きくなる。

バルブロッドが圧縮要素に対して固定され、この圧縮要素が、真空バルブの閉塞状態において閉塞プレートをシートに対して押し付けるために閉塞装置の傾斜面と相互作用する傾斜面を有しているような真空バルブが知られている（特許文献２参照）。閉塞力がバルブロッドを通じて伝達される必要があるので、バルブロッドが堅固に構成されているような堅固な構造が要求される。

楔形閉塞部材を有する真空バルブが提案されている（特許文献３参照）。閉塞部材は相互に楔形状に近接する縦表面を有し、各縦表面にはシール部材が設けられている。バルブの閉塞に際して各縦表面は、相互に楔形状に配置されているバルブシートのシール面に当接する。圧力差により一方のシール部材が一方のシール面に対して押し付けられる場合、真空バルブはわずかな閉塞力により閉塞される。

楔形閉塞部材を有する他の真空バルブが提案されている（特許文献４参照）。真空バルブの閉塞時に、閉塞部材は、その移動方向後端部に配置されている摺動部において、バルブハウジングに対して摺動しながら案内される。

楔形状の閉塞部材を有するさらに別の真空バルブが提案されている（特許文献５参照）。楔形閉塞部材は、バルブロッドにより支持されている２枚のプレートを有する。当該２枚のプレートの間には、リングが設けられている凹部が配置されている。リング及び凹部の壁面は楔形の断面を有する。楔形凹部に配置されている楔形リングにより、バルブハウジングの一のシート及び他のシートに対する各プレートの位置が調節される。

先行技術における楔形閉塞部材を有する真空バルブによれば、真空バルブの閉塞のためには、差圧又は比較的強い圧力が各シール部材に作用するため、シール部材の脆弱化及び損傷、さらにはパーティクルの発生を招来する。

閉塞過程において、相互に楔形に配置されている２枚の閉塞プレートが、それらの間に配置されている楔形部材によって、適当に配置されているバルブシートに対して押し付けられ、スライドが防止されることが提案されている（特許文献６及び７参照）。

閉塞プレート及び対プレートのシートが、平行な面上に配置されているスライドバルブが提案されている（特許文献８参照）。閉塞プレート及び対プレートの相互に対面している領域は、相互に楔形に配置され、かつ、その中間に配置されている楔形部材と相互作用する。楔形部材は、バルブを閉塞するため、閉塞プレート及び対プレートをシート及び対シートに対して押し付ける。閉塞プレート及び対プレートはばね要素により対向方向に付勢されている。

相互に平行に配置されている閉塞プレート及び対プレートを備え、当該２つのプレートの間に拡張ユニットが設けられているスライドバルブが知られている。真空バルブの閉塞に際して、閉塞プレート及び対プレートは、まずバルブロッドにより縦方向に動かされる。閉塞プレート及び対プレートに連結されているストッパが、バルブハウジングに固定されている対ストッパに到達した際、閉塞プレート及び対プレートは、バルブロッドに連結されている拡張ユニットにより間隔が広げられ、真空バルブのシート及び対シートに対して押し付けられるようにさらに変位する。

さまざまな形態の拡張ユニットが提案されている（特許文献９参照）。拡張ユニットが楔形であり、かつ、中間ロールを介して閉塞プレート及び対プレート相互に対向する側の凹部により構成されている楔形領域と相互作用する（特許文献１０参照）。当該構成の製造誤差に関して、閉塞プレート及び対プレートをシート及び対シートに対して押し付けるために十分なストロークが必要とされる。

米国特許公報 ＵＳ４，３０１，９９３Ａ 米国特許公報 ＵＳ６，０５６，２６７Ａ 米国特許公報 ＵＳ６，３６７，７７０Ｂ１ 米国特許公報 ＵＳ７，０１１，２９４Ｂ１ 米国特許公報 ＵＳ４，５４８，３８６ 墺国特許公報 ＡＴ４５５９０７Ｃ 独国特許公報 ＤＥ１９６２１２１Ａ１ 米国特許公報 ＵＳ４，７７９，６４９Ａ 米国特許公報 ＵＳ４，５６０，１４１Ａ 独国特許公報 ＤＥ３０２８７８６Ａ１

しかし、閉塞プレート及び対プレートの間隔を広げる際、ストローク全体にわたりパーティクルが発生する。ストロークを短縮するため、製造誤差は非常に小さくされなくてはならず、かつ、かなり堅固に構成されなくてはならないので、コストが高くなる。

そこで、本発明は、低コストの構成であり、拡張ユニットの微小なストロークだけで閉塞プレート及び対プレートのそれぞれが、シート及び対シートのそれぞれに対して押し付けられる真空バルブを提供することを目的とする。

本発明は、軸線を有する通路が形成されているバルブハウジングと、相互に楔形状に配置され、かつ、前記通路の軸線に対して傾斜している２つの面のうち、第１平面において通路を包囲するように配置されているシートと、第２平面において通路を包囲するように配置されている対シートと、開位置において前記通路を開放する一方、閉位置において前記通路を密閉する閉塞装置であって、前記閉塞装置の閉位置において前記シートに対して押し付けられ、前記第１平面に対して平行に配置されている閉塞プレート及び前記閉塞装置の閉位置において前記対シートに対して押し付けられ、前記第２平面に対して平行に配置されている対プレートを有する閉塞装置と、縦軸線を有し、かつ、前記閉塞装置を支持するバルブロッドであって、前記縦軸線に対して平行な閉方向に、前記閉塞装置を直線的に開位置から閉位置に直線的に変位させる一方、当該閉方向の反対方向に、前記閉塞装置を直線的に閉位置から開位置に変位させるためのバルブロッドと、を備えている真空バルブに関する。

本発明の真空バルブは、前記閉塞プレート及び前記対プレートのそれぞれが、前記閉塞装置の開位置において前記第１平面及び前記第２平面のそれぞれに対して平行に配置され、前記閉塞装置が、前記閉塞プレート及び前記対プレートの間に配置され、前記バルブロッドに対して固定されている拡張ユニットを備え、前記拡張ユニットが、前記閉塞プレート及び前記対プレートの間隔を広げて、前記シートに対して前記閉塞プレートを押し付けるとともに、前記対シートに対して前記対プレートを押し付けるため、前記第１平面に対して平行に配置されている第１拡張面と、前記第２平面に対して平行に配置されている第２拡張面と、を有し、前記閉塞装置が、前記バルブロッドの前記縦軸線の方向について前記拡張ユニットに対して相対的に変位するように動かされるとともに、前記バルブロッドの前記縦軸線の方向について動かないように前記閉塞プレート及び前記対プレートのうち一方又は両方に対して固定されている少なくとも１つの支持部をさらに備えていることを特徴とする。

本発明の真空バルブにおいて、閉塞プレート及び対プレートがそれぞれ閉塞装置の開位置のほか、シート又は対シートに対して平行に閉位置に位置する。シートの平面及び対シートの平面、ひいては閉塞プレート及び対プレートが相互に楔形状に配置され、かつ、それぞれが通路の軸線に対して角度をなしている。

閉塞プレート及び対プレートは、通路の軸線に対して平行な平面に対して、反対方向に好ましくは同じ角度だけ傾斜している。閉塞プレートの平面及び対プレートの平面が通路の軸線に対してなす角度は４５°より大きいことが好ましく、７０°より大きいことがさらに好ましい。当該２つの平面が相互になす角度は４５°未満であることが好ましく、２０°未満であることがさらに好ましい。

バルブロッドに固定されている拡張ユニットが、シートの平面に対して平行に配置されている第１拡張面と、対シートの平面に対して平行に配置されている第２拡張面とを備えている。第１及び第２拡張面は、閉塞プレート又は対プレートに対して平行である。閉塞プレート及び対プレートがシート及び対シートに対して押し付けられるように、閉塞プレート及び対プレートの間隔を広げるため、拡張ユニットは、バルブロッドの縦軸線に平行な閉方向について閉塞プレート及び対ユニットに対して可動である。

真空バルブの閉塞に際して、バルブロッドが閉方向について、閉塞装置が開位置にあって通路を開放している第１位置から、閉塞装置が通路に進入している第２位置に動かされ、かつ、閉塞装置が閉位置にある第３位置に動かされる。バルブロッドの第２位置において、閉塞装置のストッパがバルブハウジングに固定されている対ストッパに当接し、かつ、バルブロッドの閉方向について閉塞プレート及び対プレートのさらなる動きが妨げられている場合、閉塞プレートがシートに対して離間し、かつ、対プレートが対シートに対して離間している。バルブロッドが第２位置から第３位置に動かされる際、拡張ユニットが閉塞プレート及び対プレートに対してバルブロッドの閉方向に動かされ、これにより閉塞プレート及び対プレートの間隔が広げられ、通路を密閉するためシート及び対シートに対して押し当てられる。

閉塞プレート及び対プレートと同様にシート及び対シートの楔形構造により、バルブロッドが第２位置にあるとき、閉塞プレート及び対プレートのシート及び対シートからの距離は比較的小さく設計され、例えば２ｍｍ未満であることが好ましい。バルブロッドの第２及び第３位置の間の閉塞プレート及び対プレートのストロークは、適当に小さく設計される。

閉塞プレート及び対プレートが通路に対して平行移動することにより、拡張ユニットによって閉塞プレート及び対プレートの間隔が広げられる。

閉塞プレート及び対プレートのそれぞれの押圧面に当接することにより閉塞プレート及び対プレートの間隔を広げるため、拡張ユニットの第１及び第２拡張面は、閉塞プレート及び対プレートに対して直接的に当接してもよい。閉塞プレートの押圧面は第１平面に対して平行に配置され、対プレートの押圧面は第２平面に対して平行に配置されている。

一方、第１拡張面及び第２拡張面と、閉塞プレート及び対プレートとの間に伝達要素を介在させてもよい。例えば、一方側を各拡張面に当接させ、他方側を各押圧面に当接させる回転体を備えているロールベアリングが設けられてもよい。閉塞プレート及び値プレートの間隔を広げるため、第１拡張面と閉塞プレートとが間接的に相互作用し、付加的又は代替的に第２拡張面と対プレートとが間接的に相互作用してもよい。

本発明によれば、閉塞装置がバルブロッドの縦軸線の方向に拡張ユニットに対して可動である少なくとも１つの支持部を備え、バルブロッドがその縦軸線の方向について閉塞プレート及び対プレートのうち一方又は両方に対して固定されている。これにより、閉塞プレート及び対プレートが適当に案内されうる。

本発明のさらなる詳細及び特徴は以下の図面に示されている本発明の実施形態によって説明される。

閉状態における本発明の真空バルブの斜視図。 図１の真空バルブの正面図。 図１の真空バルブの側面図。 図２のＡ−Ａ線断面図。 図４のＢ部分拡大図。 開状態における図１の真空バルブの斜視図。 閉状態における図４に相当する真空バルブの断面図（簡単のため、バルブロッドをバルブハウジングから遮断するベローズシーリング部材は省略されている。）。 閉塞装置が中間位置にある状態における図７に相当する真空バルブの断面図。 図８のＣ部分拡大図。 閉塞装置の正面図。 閉塞装置の側面図。 図１０のＤ−Ｄ線断面図。 図１０のＥ−Ｅ線断面図。 図１０のＦ−Ｆ線断面図。 対向プレートが省略された状態の閉塞装置の斜視図。 閉塞装置の分解説明図（その１）。 閉塞装置の分解説明図（その２）。

本発明の一実施形態としての真空バルブが図１〜図７に示されている。真空バルブは、軸３を有する通路２が形成されているバルブハウジング１を備えている。真空チャンバ及びパイプライン等の真空装置の他の部分に対する連結のため、バルブハウジング１は通路２の入口開口部及び出口開口部を構成する第１フランジ４及び第２フランジ５を備えている。フランジ４及び５の外面は、通路２の軸に対して垂直に配置されている。

通路２は、バルブハウジング１の第１板状部材６及び第２板状部材７における窓凹部に連通している。第１板状部材６は、第２板状部材７に対向する側面における、通路２又は当該第１板状部材６の窓開口部を包囲する領域において、閉塞装置１２の閉塞プレート１０用のシート８を構成する。第２板状部材７の第１板状部材６に対向する側面は、通路２又は当該第２板状部材７の窓開口部を包囲する領域において、閉塞装置１２の対プレート１１用の対シート９を構成する。

楔形を構成するとともに通路２の軸３に対してそれぞれ角度を有する第１平面１３及び第２平面１４に沿ってシート８及び対シート９が配置されるように、第１板状部材６及び第２板状部材７は相互にある角度をもって配置されている。第１平面１３及び第２平面１４は、軸３に対して垂直な面に対して反対側に同じ角度だけ傾斜している。当該直角の配置は、後述するバルブロッド２３の縦軸２６に対して垂直な軸回りの傾斜により実現される。

第１平面１３及び第２平面１４がなす角度１５は約１０°等、５°〜２０°の範囲であることが好ましい。

閉塞装置１２の閉塞プレート１０は第１平面１３に対して平行に配置されている。閉塞装置１２の対プレート１１は第２平面１４に対して平行に配置されている。

閉塞装置１２は、閉塞プレート１０及び対プレート１１の間に配置されている楔形の拡張ユニット１６をさらに備えている。拡張ユニット１６は、第１平面１３に対して平行に配置され、かつ、閉塞プレート１０に当接する第１拡張面１７と、第２平面１４に対して平行に配置され、かつ、対プレート１１に当接する第２拡張面１８とを有している。

本実施形態では、第１拡張面１７は、第１摺動部材１９の表面により構成されている。第１摺動部材１９は、閉塞装置１２の基体２１において閉塞プレート１０に対面する側部に形成されている凹部に設けられている。第２摺動部材２０は、閉塞装置１２の基体２１において対プレート１１に対面する側部に形成されている凹部に設けられている。

第１摺動部材１９及び第２摺動部材２０はテフロン（登録商標）等の適当な摺動材質により作製される。他の摺動材質として、プラスチックが採用されてもよい。

拡張ユニット１６は、閉方向２２についてバルブロッド２３の先端部に固定されている。本実施形態では、バルブロッド２３は拡張ユニット１６の連結部２４、ひいては拡張ユニット１６の基体２１に螺着又はねじ込まれている。

バルブロッド２３は通路２の軸３に対して垂直に配置されている。第１平面１３及び第２平面１４は、バルブロッド２３の縦軸線２６に対して垂直な軸線、すなわちバルブロッド２３の縦軸線２６に対して垂直、かつ、通路２の軸線３に対して垂直な軸線の回りに反対方向に同じ角度だけ傾斜している。

バルブロッド２３はベローズ５１（折り畳みベローズ、ダイアフラムベローズ又はテフロンベローズ）によりバルブハウジング１（図４及び図５にのみ示されている。）に対してシールされている。バルブハウジング１に対するバルブロッド２３のシール部材が、バルブロッド２３と、バルブハウジング１の当該バルブロッド２３が通る通路（摺動通路）との間に配置されているＯリング等により構成されていてもよい。

バルブ駆動装置２５は、真空バルブの開放及び閉塞のために用いられ、開位置及び閉位置の間における閉塞装置１２の位置を制御するため、本実施形態ではバルブロッド２３をピストンロッドとするピストンシリンダユニットにより構成されている。バルブロッド２３は、バルブ駆動装置２５により縦軸２６の方向について、真空バルブの閉塞のために閉方向２２に動かされ、かつ、真空バルブの開放のために閉方向２２の反対方向に動かされる。

拡張ユニット１６の両側において、バルブロッド２３の縦軸線２６に対して垂直かつ通路２の軸線３に対して垂直な方向に配置されている２つのばね要素２７が、閉塞プレート１０及び対プレート１１を、拡張ユニット１６の第１拡張面１７及び第２拡張面１８に引き寄せる方向に付勢する。各ばね要素２７は、溶接等により閉塞プレート１０に固定されている平板ばねとして構成されている第１アーム２８と、溶接等により対プレート１１に固定されている平板ばねとして構成されている第２アーム２９とを備えている。第１アーム２８及び第２アーム２９は、閉方向２２の先端部においてねじ止め等により相互に連結されている。第１アーム２８及び第２アーム２９は、相互連結部分において楔様に離間するように延設されている。

２つのばね要素２７に代えて、閉塞プレート１０及び対プレート１１を拡張ユニット１６に対して引き寄せるための一又は３以上のばね要素が設けられていてもよい。各ばね要素が異なる形態で構成されていてもよい。

閉塞プレート１０及び対プレート１１の相対的な位置を安定化させるため、拡張ユニット１６の一方の側部において連結部３０が閉塞プレート１０に対してねじ止めされ、拡張ユニット１６の他方の側部において同様の構成の連結部３１が対プレート１１に対してねじ止めされている。連結部３０及び３１のそれぞれは鍵穴形穴部３２を有している。２つのプレート１０及び１１のうち相手方のプレートに固定され、マッシュルーム形状のヘッドを有するピン３３が穴部３２の狭小部に係合する。連結部３０及び３１並びにピン３３は、後述するように真空バルブの閉塞中に閉塞プレート１０及び対プレート１１の間隔が広がるように、各ピン３３のヘッドと穴部３２の間の間隙が徐々に広がるように構成されている。

閉塞装置１２の組み立てに際して、まずピン３３が穴部３２の拡大部に挿入された上で、ピン３３のヘッドより小径の幅狭のスリットに沿って動かされ、続いてばね要素２７の第１アーム２８及び第２アーム２９が相互にねじ止めされる。

閉塞プレート１０及び対プレート１１は閉塞装置１２の支持部３４により支持され、支持部３４はバルブロッド２３の縦軸線２６の方向に拡張ユニット１６に対して移動するように案内される。そのために、支持部３４は拡張ユニット１６の基体２１の溝部３５に設けられ、かつ、基体２１に固定されているガイドピン３６がそこに貫通している。ガイドピン３６が支持部３４の一方側及び基体２１の他方側により支持され、基体２１への当接により制限される基準位置に支持部３４を付勢するばね３７がガイドピン３６の一方側に設けられている。支持部３４は、ばね３７の付勢力に抗して閉方向２２の反対方向に基体２１に対して動くことができる。

閉塞プレート１０及び対プレート１１は、閉方向２２及びその反対方向に動かないように支持部３４に連結されている。そのため、連結要素３８及び３９は、ばね弾性体様に屈曲可能であることが好ましい。連結要素３８及び３９の凹部に対して係合するラッチ４０及び４１により、連結要素３８及び３９が拡張ユニット１６の基体２１に対して形状を適合させるように連結される。

形状適合連結部の両側において基体２１から突出している連結要素３８及び３９のばね弾性アームは、閉塞プレート１０及び対プレート１１のうち一方又は両方に設けられている突起により当該プレートに当該アームを連結するための穴部４２及び４３を有している。

真空バルブの閉状態において、閉塞装置１２は通路２を開放する開位置にあり、バルブロッド２３は第１位置にある（図６及び図７参照）。

真空バルブの閉塞のため、バルブロッド２３はその縦軸線２６に対して平行に閉方向２２に動かされる。閉塞装置１２はバルブロッド２３が第２位置となる中間位置に至るまで通路２に挿入される（図８及び図９参照）。中間位置において閉塞プレート１０及び対プレート１１が軸線３の方向から見た場合に通路２を覆う一方、シート８及び対シート９からなおも離反している。バルブロッド２３の第２位置において、閉方向２２についてばね要素２７の先端部により構成されているストッパ４６が、バルブハウジング１に固定されている対ストッパ４７に当接している。本実施形態では、対ストッパ４７は第１板状部材６及び第２板状部材７を連結する連結部の一部により構成されている（ストッパ４６は図７及び図１２〜図１５に示され、図７に対ストッパ４７が示されている。）。

例えば、ストッパ４６は、閉塞プレート１０及び対プレート１１の閉方向２２の先端部により構成されてもよい。

閉塞プレート１０及び対プレート１１の閉方向２２への動きが防止されている状態で、バルブロッド２３が第２位置から閉方向２２にさらに動かされる。これにより、拡張ユニット１６が閉塞プレート１０及び対プレート１１に対して閉方向２２に動かされ、シート８及び対シート９に対して押し付けられるように閉塞プレート１０及び対プレート１１の間隔が広げられる。

閉塞プレート１０に設けられている弾性の環状シール部材４８がシール面８に対して押し当てられ、これにより閉塞プレート１０がシート８に対して密閉される。対プレート１１に設けられている弾性の環状シール部材４９が対シール面９に対して押し当てられ、これにより対プレート１１が対シート９に対して密閉される。

弾性の当接リング４９はバイトン（Vitonは登録商標）等、シール部材４８と同一素材により構成されていてもよい。

閉塞プレート１０及び対プレート１１の間の所定の押圧状態を実現するため、少なくとも１つの貫通孔５０が対プレート１１に設けられている。

真空バルブの閉塞状態において、閉塞装置１２はその閉位置にあり、閉塞プレート１０は通路２を密閉している（図１〜図５参照）。

閉塞プレート１０及び対プレート１１が、バルブロッド２３の縦軸線２６の方向に固定されている支持部３４に対して連結されることにより、バルブロッド２３が第２位置から第３位置まで動く間に支持部３４が拡張ユニット１６に対して動かされる。拡張ユニット１６が閉方向２２にさらに動く間、支持部３４の閉方向２２への動きが妨げられる。ばね３７の付勢力に抗して支持部３４が拡張ユニット１６に対して動かされる。

バルブロッド２３が第３位置から閉方向２２とは反対に動き始めることにより真空バルブが開放される際、閉塞装置１２が図８及び図９に示されている中間位置に至るまで、ばね３７は少なくとも１つのストッパ４６を少なくとも１つの対ストッパ４７に対して押し当て、かつ、ばね要素２７は閉塞プレート１０及び対プレート１１をシート８及び対シート９から引き離す。バルブロッド２３が第２位置から第１位置にさらに動かされる際、閉塞装置１２が開位置に到達するまで、閉塞プレート１０及び対プレート１１が拡張ユニット１６及びバルブロッド２３により、閉方向２２の反対方向に動かされる。

多くの先願発明によれば、閉塞装置１２の両側に圧力差が存在しない又は非常に小さい場合に真空バルブが開放されうる。ばね要素２７による付勢力として適当に弱い付勢力が選択される。

閉塞装置１２の閉位置において、シーリングのために対シート９に向かって押圧される対プレート１１として、貫通孔５０がない構成の対プレート１１が採用されてもよい。バルブにより閉じられる吸引用ラインを有する中間吸引部が、閉塞プレート１０及び対プレート１１の間の空間に設けられてもよい。閉塞プレート１０及び対プレート１１の間の空間が、圧力補償のために閉塞装置１２の一方側に配置されている真空領域に対して開閉バルブを介して連結されてもよい。

本発明の技術的範囲から外れることなく、前記実施形態がさまざまに変形されてもよい。例えば、支持部３４が、閉方向２２について閉塞プレート１０及び対プレート１１の一方のプレートにのみ固定され、当該２つのプレート１０及び１１の相互連結により、他方のプレートに対して固定されてもよい。閉塞プレート１０及び対プレート１１のそれぞれのための別個の支持部３４が設けられていてもよい。閉塞プレート１０及び対プレート１１のうち一方又は両方が、閉方向２２について拡張ユニット１６に対して固定され、かつ、閉塞プレート１０及び対プレート１１のうち一方又は両方に対して取り外し可能に連結されている支持部を介して拡張ユニット１６に対して連結されていてもよい。

ばね３７が省略され、真空バルブの開放に際して、バルブロッドの第３位置から第２位置へのストローク又は当該経路の一部において、ストッパ４６が、拡張面１７及び１８、並びに対ストッパ４７に当接する閉塞プレート１０及び対プレート１１の楔形構造に対して連結される少なくとも１つのばね要素２７により付勢されていてもよい。

シール部材４８がシート８に設けられ、かつ、当該シール部材４８が当接するシール面が閉塞プレート１０に設けられていてもよい。

弾性の当接リング４９が対シート９に設けられ、かつ、当該当接リング４９が当接する当接面が対プレート１１に設けられていてもよい。

本実施形態では閉塞プレート１０及び対プレート１１は環状に構成されていたが、他の実施形態として矩形状に構成されていてもよい。

閉塞プレート１０の第１摺動部材１９及び対プレート１１の第２摺動部材２０のうち一方又は両方が省略され、基体２１の表面により拡張面１７及び１８が直接的に構成されていてもよい。この場合、摺動部材が閉塞プレート１０及び対プレート１１に設けられ、閉塞プレート１０及び対プレート１１の表面が拡張面１７及び１８に当接する当接面又は押圧面を構成することが好ましい。拡張ユニット１６が第１摺動部材１９及び第２摺動部材２０を有する場合、閉塞プレート１０及び対プレート１１のうち一方又は両方に摺動部材が設けられていてもよい。

閉塞プレート１０が第１拡張面１７に対して平行に案内され、付加的又は代替的に、対プレート１１が第２拡張面１８に対して平行に案内されるように、拡張ユニット１６の力を閉塞プレート１０及び対プレート１１のうち一方又は両方に対して伝達するため、第１拡張面１７及び閉塞プレート１０の間、並びに第２拡張面１８及び対プレート１１の間のうち一方又は両方に伝達要素が設けられてもよい。円柱状又は球状等の回転体は、適当な回転体ケージに配置されてもよい。回転体ケージは拡張ユニット１６又は閉塞プレート１０若しくは対プレート１１により保持されていてもよい。

本発明の真空バルブは、その開閉に際してパーティクルの発生量が少ない。本発明の真空バルブによれば、シール部材４８の交換等の周期が延長される。

１‥バルブハウジング、２‥通路、３‥軸線、４‥フランジ、５‥フランジ、６‥第１板状部材、７‥第２板状部材、８‥シート、９‥反対側シート、１０‥プレート、１１‥反対側プレート、１２‥閉塞装置、１３‥第１平面、１４‥第２平面、１５‥角度、１６‥拡張装置、１７‥第１拡張面、１８‥第２拡張面、１９‥第１摺動部材、２０‥第２摺動部材、２１‥基体、２２‥閉方向、２３‥バルブロッド、２４‥連結部、２５‥バルブ駆動装置、２６‥縦軸線、２７‥ばね要素、２８‥第１アーム、２９‥第２アーム、３０‥連結部、３１‥連結部、３２‥穴部、３３‥ピン、３４‥支持部、３５‥溝部、３６‥ガイドピン、３７‥ばね、３８‥連結要素、３９‥連結要素、４０‥ラッチ、４１‥ラッチ、４２‥穴部、４３‥穴部、４４‥ほぞ、４５‥ほぞ、４６‥ストッパ、４７‥反対側ストッパ、４８‥シール部材、４９‥弾性当接リング、５０‥開口部、５１‥ベローズ。

Claims (9)

1. 軸線（３）を有する通路（２）が形成されているバルブハウジング（１）と、
   相互に楔形状に配置され、かつ、前記通路（２）の軸線（３）に対して傾斜している２つの面（１３）（１４）のうち、第１平面（１３）において通路（２）を包囲するように配置されているシート（８）と、第２平面（１４）において通路（２）を包囲するように配置されている対シート（９）と、
   開位置において前記通路（２）を開放する一方、閉位置において前記通路（２）を密閉する閉塞装置（１２）であって、前記閉塞装置（１２）の閉位置において前記シート（８）に対して押し付けられ、前記第１平面（１３）に対して平行に配置されている閉塞プレート（１０）及び前記閉塞装置（１２）の閉位置において前記対シート（９）に対して押し付けられ、前記第２平面（１４）に対して平行に配置されている対プレート（１１）を有する閉塞装置（１２）と、
   縦軸線（２６）を有し、かつ、前記閉塞装置（１２）を支持するバルブロッド（２３）であって、前記縦軸線（２６）に対して平行な閉方向（２２）に、前記閉塞装置（１２）を直線的に開位置から閉位置に直線的に変位させる一方、当該閉方向（２２）の反対方向に、前記閉塞装置（１２）を直線的に閉位置から開位置に変位させるためのバルブロッド（２３）と、を備えている真空バルブであって、
   前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のそれぞれが、前記閉塞装置（１２）の開位置において前記第１平面（１３）及び前記第２平面（１４）のそれぞれに対して平行に配置され、
   前記閉塞装置（１２）が、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）の間に配置され、前記バルブロッド（２３）に対して固定されている拡張ユニット（１６）を備え、前記拡張ユニット（１６）が、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）の間隔を広げて、前記シート（８）に対して前記閉塞プレート（１０）を押し付けるとともに、前記対シート（９）に対して前記対プレート（１１）を押し付けるため、前記第１平面（１３）に対して平行に配置されている第１拡張面（１７）と、前記第２平面（１４）に対して平行に配置されている第２拡張面（１８）と、を有し、
   前記閉塞装置（１２）が、前記バルブロッド（２３）の前記縦軸線（２６）の方向について前記拡張ユニット（１６）に対して相対的に変位するように動かされるとともに、前記バルブロッド（２３）の前記縦軸線（２６）の方向について動かないように前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のうち一方又は両方に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備え、
   前記支持部（３４）がばね（３７）により基本位置に付勢されており、前記真空バルブが閉塞された場合、前記ばね（３７）の付勢力に抗して前記拡張ユニット（１６）に対して前記閉方向（２２）とは反対方向に変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
2. 請求項１記載の真空バルブにおいて、
   前記閉塞装置（１２）を開位置から閉位置に対して駆動制御するために前記バルブロッド（２３）が前記閉方向（２２）について、前記閉塞装置（１２）が開位置にあって前記通路（２）を開放している第１位置から、前記閉塞装置（１２）が前記通路（２）に挿通されている第２位置に動かされ、かつ、前記閉塞装置（１２）が閉位置にある第３位置に動かされ、
   前記バルブロッド（２３）が前記第１位置から前記第２位置に変位する間、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）が前記バルブロッド（２３）とともに前記閉方向（２２）に動かされ、
   前記閉塞装置（１２）の少なくとも１つのストッパ（４６）が、前記バルブロッド（２３）が前記第２位置にある状態において、前記バルブハウジング（１）に対して固定されている対ストッパ（４７）に当接し、かつ、前記バルブロッド（２３）が前記第２位置から前記第３位置に動く間、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）が前記閉方向（２２）に動くことを防止し、
   前記バルブロッド（２３）が前記第２位置から前記第３位置に動いている間、前記拡張ユニット（１６）が、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）に対して動くことにより、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）の間隔を広げ、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のそれぞれを前記シート（８）及び前記対シート（９）のそれぞれに対して押し付けることを特徴とする真空バルブ。
3. 請求項２記載の真空バルブにおいて、
   前記バルブロッド（２３）の前記第２位置において、前記閉塞プレート（１０）が前記シート（８）に対して離間し、かつ、前記対プレート（１１）が前記対シート（９）に対して離間していることを特徴とする真空バルブ。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
   前記拡張ユニット（１６）に対して前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）を引き寄せる少なくとも１つのばね要素（２７）を備えていることを特徴とする真空バルブ。
5. 軸線（３）を有する通路（２）が形成されているバルブハウジング（１）と、
   相互に楔形状に配置され、かつ、前記通路（２）の軸線（３）に対して傾斜している２つの面（１３）（１４）のうち、第１平面（１３）において通路（２）を包囲するように配置されているシート（８）と、第２平面（１４）において通路（２）を包囲するように配置されている対シート（９）と、
   開位置において前記通路（２）を開放する一方、閉位置において前記通路（２）を密閉する閉塞装置（１２）であって、前記閉塞装置（１２）の閉位置において前記シート（８）に対して押し付けられ、前記第１平面（１３）に対して平行に配置されている閉塞プレート（１０）及び前記閉塞装置（１２）の閉位置において前記対シート（９）に対して押し付けられ、前記第２平面（１４）に対して平行に配置されている対プレート（１１）を有する閉塞装置（１２）と、
   縦軸線（２６）を有し、かつ、前記閉塞装置（１２）を支持するバルブロッド（２３）であって、前記縦軸線（２６）に対して平行な閉方向（２２）に、前記閉塞装置（１２）を直線的に開位置から閉位置に直線的に変位させる一方、当該閉方向（２２）の反対方向に、前記閉塞装置（１２）を直線的に閉位置から開位置に変位させるためのバルブロッド（２３）と、を備えている真空バルブであって、
   前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のそれぞれが、前記閉塞装置（１２）の開位置において前記第１平面（１３）及び前記第２平面（１４）のそれぞれに対して平行に配置され、
   前記閉塞装置（１２）が、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）の間に配置され、前記バルブロッド（２３）に対して固定されている拡張ユニット（１６）を備え、前記拡張ユニット（１６）が、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）の間隔を広げて、前記シート（８）に対して前記閉塞プレート（１０）を押し付けるとともに、前記対シート（９）に対して前記対プレート（１１）を押し付けるため、前記第１平面（１３）に対して平行に配置されている第１拡張面（１７）と、前記第２平面（１４）に対して平行に配置されている第２拡張面（１８）と、を有し、
   前記閉塞装置（１２）が、前記バルブロッド（２３）の前記縦軸線（２６）の方向について前記拡張ユニット（１６）に対して相対的に変位するように動かされるとともに、前記バルブロッド（２３）の前記縦軸線（２６）の方向について動かないように前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のうち一方又は両方に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備え、
   前記拡張ユニット（１６）に対して前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）を引き寄せる少なくとも１つのばね要素（２７）を備え、
   前記ばね要素（２７）が、前記閉塞プレート（１０）に対して固定されている第１アーム（２８）と、前記対プレート（１１）に対して固定されている第２アーム（２９）とを備え、前記第１アーム（２８）及び前記第２アーム（２９）が前記閉方向（２２）についての先端部において相互に連結されていることを特徴とする真空バルブ。
6. 請求項５記載の真空バルブにおいて、
   前記少なくとも１つのストッパ（４６）が、前記少なくとも１つのばね要素（２７）の前記閉方向（２２）についての先端部に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
7. 請求項５または６に記載の真空バルブにおいて、
   前記拡張ユニット（１６）の両側において、前記閉塞プレート（１０）及び前記対プレート（１１）のそれぞれを前記拡張ユニット（１６）に対して引き寄せるばね要素（２７）が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
8. 請求項５〜７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
   前記支持部（３４）がばね（３７）により基本位置に付勢されており、前記真空バルブが閉塞された場合、前記ばね（３７）の付勢力に抗して前記拡張ユニット（１６）に対して前記閉方向（２２）とは反対方向に変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
9. 請求項５〜８のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、
   前記第１拡張面（１７）及び前記第２拡張面（１８）が、前記拡張ユニット（１６）の基体（２１）上の摺動部材（１９）により構成されていることを特徴とする真空バルブ。

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