CN102713379A - 真空阀 - Google Patents

Abstract

一种真空阀，其包括：具有通道（2）、围绕通道（2）的底座（8）和围绕通道（2）的对应底座（9）的阀壳体（1），该通道（2）具有轴线（3），该底座（8）处于第一平面（13）中，该对应底座（9）处于与第一平面（13）成楔形的第二平面（14）中；闭锁装置（12），该闭锁装置（12）在释放该通道（2）的打开位置与密封该通道（2）的闭合位置之间是可调整的，该闭锁装置（12）具有平行于第一平面（13）的闭锁板（10）和平行于第二平面（14）的对应板（11）；以及具有纵轴线（26）以及支承该闭锁装置（12）、可直线地移动的阀杆（23）。闭锁装置（12）为了撑开闭锁板（10）和对应板（11）而具有位于闭锁板（10）与对应板（11）之间的支撑单元（16），所述支撑单元（16）相对于闭锁板（10）和对应板（11）在阀杆（23）的闭合方向（22）上是可移动的，并且所述闭锁装置（12）具有相对于支撑单元（16）可移动地被引导的支承部分（34），所述支承部分（34）与闭锁板（10）和/或对应板（11）相连。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀，其包括阀壳体、闭锁装置以及具有纵轴线以及支承该闭锁装置的阀杆，所述阀壳体具有带有轴线的通道、围绕该通道的、处于第一平面中的底座以及围绕该通道的处于第二平面中的对应底座，其中第一平面和第二平面彼此成楔形并且分别与通道的轴线成角度；所述闭锁装置在释放所述通道的打开位置与密封所述通道所的闭合位置之间是可调整的，所述闭锁装置具有闭锁板和对应板，所述闭锁板在闭锁装置的闭合位置中被压紧在该底座上并且在这种情况下与第一平面平行，所述对应板在闭锁装置的闭合位置中被压紧在对应底座上并且在这种情况中与第二平面平行；所述阀杆为了将该闭锁装置从其打开位置调整到闭合位置并且相反地调整而可直线地在平行于阀杆的纵轴线的闭合方向上以及逆着该闭合方向移动。

背景技术

这样的真空阀从文献US 4,301,993 A中已知，该真空阀具有底座和对应底座，底座和对应底座处于彼此成楔形的第一和第二平面中，并且在真空阀的闭合状态下，闭锁板和对应板被压紧到底座和对应底座上。闭锁板和对应板被装配在保持片上，所述保持片通过拱起的连接片彼此相连，所述阀杆作用在所述连接片上。在真空阀闭合时，保持片首先与阀杆一起运动，并且当闭锁板和对应板与底座和对应底座对置时，通过止挡抵靠到阀壳体固定的对应止挡上来阻止保持片的进一步运动，据此阀杆挤压拱起的连接片并且由此将闭锁板和对应板挤开，并且在这种情况下略微偏转并且压紧到底座和对应底座上。对于这种构造来说，只可能非常困难地将制造公差保持得足够小，并且在使用的过程中也会发生不同部分的相对位置的改变。

在文献US 6,056,267中公开了一种真空阀，其中压紧元件固定在阀杆上，该压紧元件具有斜面，该斜面与闭锁装置的斜面共同作用，以便将闭锁板在真空阀的闭合状态下压紧到底座上。因为闭合力必须通过阀杆来传递，所以需要非常硬的构造，其中阀杆必须相应坚固地构造。

具有楔形的闭锁部的真空阀从文献US 6,367,770 B1中已知。该闭锁部具有楔形地彼此抵靠的侧面，在这些侧面上布置有在阀的闭合状态下贴靠到阀座的同样彼此成楔形的密封面上的密封部。真空阀的闭合利用仅仅小的闭合力来进行，其中在存在压差的情况下，密封部之一与密封面之一相挤压。另一种具有楔形闭锁部的真空阀从文献US 7,011,294 B1中已知。在真空阀闭合时，闭锁部在其移动路径的最后一段中通过布置在闭锁部上的滑动部分相对于阀壳体滑动地引导。另一种具有楔形闭锁部的真空阀从文献US 4,548,386中已知。楔形闭锁部具有两个被阀杆支承的板。在这两个板之间有空隙，在其中布置有环。该环和空隙的壁具有楔形的横截面。通过布置在楔形空隙中的楔形环，这些板在其位置中可以与阀壳体的底座和对应底座相适配。以前已知的、具有楔形闭锁部的真空阀的缺点尤其是在于：或者真空阀的密封通过有影响的压差才被实现，或者导致密封部的磨损以及导致产生颗粒的相对大的剪切力被施加到相应的密封部上。

从文献AT 455907 C和文献DE 1962121 A1中已知了一种阻塞滑板（Absperrschieber），在所述阻塞滑板中彼此成楔形的闭锁板通过处于其间的楔部在闭合时而压向相应地布置的阀座。

对于在文献US 4,779,649 A中公开的滑阀来说，用于闭锁板和对应板的底座处于平行的平面中。闭锁板和对应板的彼此朝向的侧面彼此楔形地对准，并且与布置在其间的楔部共同作用，所述楔部为了关闭阀而将闭锁板和对应板挤压向底座和对应底座。闭锁板和对应板通过弹簧元件朝向彼此进行加载。

已知其它滑阀，这些滑阀具有闭锁板和对应板，闭锁板和对应板彼此平行并且在闭锁板和对应板之间布置有支撑单元。在真空阀闭合时，闭锁板和对应板首先与阀杆沿其纵向方向一起被引导，并且接着在与闭锁板和对应板相连的止挡抵靠到阀壳体固定的对应止挡上之后通过支撑单元撑开，以便压紧到真空阀的底座和对应底座上，进一步移动的阀杆作用在所述支撑单元上。出于此目的，已知支撑单元的不同构造方案，例如像从文献US 4,560,141 A和文献DE 3 028 786 A1中已知的那样。从最后提及的文献中也已知了如下构造方案：其中支撑单元具有楔形的构造并且通过中间连接的辊与闭锁板和对应板的楔形的表面共同作用，其在闭锁板和对应板的朝向彼此的侧面上通过空隙来构造。在制造公差方面，在构造时为了将闭锁板和对应板压紧到底座和对应底座上而必须设置足够大的行程。但是在板和对应板撑开时，在整个行程上产生颗粒。为了减小行程，必须以非常小的制造公差来进行制造，并且硬度高，这与相应的成本相关联。

发明内容

本发明的任务在于，提供一种开头所述类型的真空阀，其中在成本低廉地构造时可实现闭锁板和对应板的仅仅小的行程以将闭锁板和对应板通过支撑单元压紧到底座和对应底座上。根据本发明，这通过具有权利要求1的特征的真空阀实现。

对于本发明的真空阀来说，闭锁板和对应板不仅在闭锁装置的闭合位置中而且在其打开位置中都平行于底座或者说对应底座的平面，其中底座和对应底座的平面进而闭锁板和对应板也彼此成楔形，并且分别与通道的轴线成角度。在这种情况下，它们相对于与通道的轴线成直角的定向倾斜相反的、优选同样大的角度。底座和对应底座的平面优选与通道的轴线所夹的角度总是大于45°、特别优选大于70°。这两个平面彼此所夹的角度优选小于45°、特别优选小于20°。

固定在阀杆上的支撑单元具有平行于底座的平面的第一支撑面和平行于对应底座的平面的第二支撑面。第一支撑面和第二支撑面因此平行于闭锁板或者说对应板。为了撑开闭锁板和对应板，以便将闭锁板压紧到底座上并且将对应板压紧到对应底座上，支撑单元相对于闭锁板和对应板可在阀杆的平行于阀杆的纵轴线的闭合方向上移动。

在闭合真空阀时，在平行于阀杆的纵轴线的闭合方向上，阀杆从第一位置出发经由第二位置移动到第三位置，在所述第一位置中，闭锁单元处于其打开位置并且释放通道；在所述第二位置中，闭锁单元进入到真空阀的通道中；在所述第三位置中，闭锁单元处于其闭合位置。有利地，在阀杆的第二位置中，当闭锁装置的止挡抵靠到阀壳体固定的对应止挡上并且由此阻塞闭锁板和对应板在阀杆的闭合方向上的进一步移动时，闭锁板与底座间隔距离地布置，并且对应板与对应底座间隔距离地布置。在阀杆从其第二位置进一步移动到其第三位置时，支撑单元相对于闭锁板和对应板在阀杆的闭合方向上移动，并且由此闭锁板和对应板被撑开以及被压紧到底座或者说对应底座上，以便密封通道。

通过底座和对应底座以及闭锁板和对应板的楔形的结构，闭锁板和对应板在阀杆的第二位置中距底座或者说对应底座所具有的间距被设计得相对较小、优选小于2mm。板和对应板的在阀杆的第二位置和第三位置之间引起的行程由此相应地小。

闭锁板和对应板通过支撑单元的撑开通过平行于通道的轴线平行移动闭锁板和对应板来实现。通过这种平行移动增大了闭锁板和对应板的彼此间的间距。支撑单元的第一和第二支撑面为了撑开闭锁板和对应板通过如下方式可直接与闭锁板或者说对应板共同作用，即它们贴靠在闭锁板和对应板的相应的压紧面上。闭锁板的压紧面在这种况下平行于第一平面，并且对应板的压紧面平行于第二平面。但是，也可能在第一和第二支撑面与闭锁板和对应板之间中间连接传递元件。例如，可以分别设置滚动轴承，所述滚动轴承的滚动体一方面在相应的支撑面上、另一方面在相应的压紧面上滚动。为了撑开闭锁板和对应板，在第一支撑面与闭锁板之间和/或在第二支撑面与对应板之间的共同作用因此也可以是间接的。

根据本发明，闭锁装置还具有至少一个相对于支撑单元在阀杆的纵轴线的方向上可移动地引导的支承部分，该支承部分与闭锁板和/或对应板关于阀杆的纵轴线不可移动地连接。由此有利地引导闭锁板和对应板。

附图说明

本发明的其它优点和细节接下来根据附图来进行阐述。在附图中示出：

图1是根据本发明的真空阀在闭合状态下的斜视图；

图2和3是图1所示的真空阀的视图和侧视图；

图4是沿着图2的线AA的剖面图；

图5是图4的放大的细节B；

图6是真空阀根据图1在打开状态下的斜视图；

图7是真空阀在打开状态下的类似于图4的剖面图（出于简洁原因，省去了使阀杆相对于阀壳体密封的的波纹管）；

图8是在闭锁装置的中间位置中的类似于图7的剖面图；

图9是图8的放大的细节C；

图10和11是闭锁装置的视图和侧视图；

图12、13、13是沿着图10的线DD、EE和FF的剖面图；

图15是省去了对应板的闭锁装置的斜视图；

图16和17是闭锁装置的从不同观察方向来看的分解示图。

具体实施方式

根据本发明的真空阀的实施例在图1至7中示出。所述真空阀具有阀壳体1，所述阀壳体具有带有轴线3的通道2。为了连接真空设备的其它部分、例如（相应的）真空室和/或管路，所述阀壳体1具有第一和第二凸缘4、5，所述第一和第二凸缘4、5形成通道2的进口和出口。凸缘4、5的外表面与通道2的轴线3成直角。

通道2贯穿阀壳体1的板形区段6、7中的窗状空隙。在朝向板形区段7的侧面上，包围通道2中的板形区段6或者说板形区段6中的窗形开口的区域形成用于闭锁装置12的闭锁板10的底座8。板形区段7的朝向板形区段6的侧面在包围通道2或者说板形区段7中的窗形开口的区域中形成用于闭锁装置12的对应板11的对应底座9。

板形区段6、7彼此成角度，从而使得底座8和对应底座9处于第一和第二平面13、14中，所述第一和第二平面13、14彼此成楔形并且分别与通道2的轴线3成角度。第一和第二平面13、14在这种情况下相对于与轴线3成直角的定向倾斜了相反的、同样大的角度。相对于这种直角的定向的倾斜在这种情况下围绕与下面进一步描述的阀杆23的纵轴线26成直角的轴线进行。

第一和第二平面13、14彼此所夹的角度15优选在5°到20°之间，例如在大约10°的范围中。

闭锁装置12的闭锁板10平行于第一平面13。闭锁装置12的对应板11平行于第二平面14。

闭锁装置12进一步具有在闭锁板10与对应板11之间的楔形支撑单元16。该支撑单元16具有第一支撑面17以及第二支撑面18，所述第一支撑面17平行于第一平面13并且与闭锁板10共同作用，所述第二支撑面18平行于第二平面14并且与对应板11共同作用。第一支撑面17在所示的实施例中由滑移部件（Gleiteinsatz）19的表面形成，滑移部件19布置在闭锁装置12的基体21的凹部中，基体21的指向闭锁板10的侧面设有所述滑移部件19。第二支撑面18由滑移部件20的表面形成，滑移部件20布置在基体21的凹部中，基体21的指向对应板11的侧面设有所述滑移部件20。

滑移部件19、20由合适的滑移材料、例如特氟隆（Teflon）制成。其它滑移材料、优选由塑料构成的滑移材料也可被采用。

支撑单元16被固定在阀杆23的、关于闭合方向22前置的端部上。在所示的实施例中，阀杆23为此被旋紧到支撑单元16的连接件24上，该连接件24就其而言被旋紧到支撑单元16的基体21上。

阀杆23与通道2的轴线3成直角。第一和第二平面13、14相对于与阀杆23的纵轴线26平行的定向倾斜了相反的、同样大的角度，更确切地说围绕与阀杆23的纵轴线26成直角的、并且与通道2的轴线3成直角的轴线倾斜。

阀杆23通过隔膜（Balg）51（其例如被构造为波纹管或者薄膜隔膜或者特氟隆隔膜）相对于阀壳体1被密封（其仅在图4和5中示出）。阀杆23相对于阀壳体1的其它密封同样是可能的，例如通过在阀杆23与由阀杆23贯通的、穿过阀壳体1的通道之间布置的O环（相当于移动实施方案）。

为了打开和闭合真空阀，也就是为了在打开位置和闭合位置之间调整闭锁装置12，使用阀驱动装置25，该阀驱动装置25在所示的实施例中由活塞气缸单元来形成，其中阀杆23是活塞气缸单元的活塞杆。阀杆23沿其纵轴线26的方向可由阀驱动装置25移动，以在闭合方向22上闭合真空阀，以逆着闭合方向22打开真空阀。

为了将闭锁板10和对应板11拉向支撑单元16的第一和第二支撑面17、18并且与这些支撑面保持接触，使用两个弹簧元件27，所述弹簧元件27关于与阀杆23的纵轴线26成直角、并且与通道2的轴线3成直角的方向布置在支撑单元16的两侧。弹簧元件27中的每个都具有根据板式弹簧的类型构造的第一臂28以及根据板式弹簧的类型构造的第二臂29，所述第一臂28例如通过焊接被固定在闭锁板10上；所述第二臂29例如通过焊接被固定在对应板11上。所述第一和第二臂28、29在关于闭合方向22在前的端部区段中例如通过拧紧相互连接。紧接着，所述第一和第二臂28、29在其连接区段上楔形地相互分开延伸。

代替两个所示的弹簧元件27，也可以设置更多或更少的弹簧元件，以便将闭锁板10和对应板11拉向支撑单元16，并且也可以以其它方式构造所述弹簧元件。

为了附加地使闭锁板10和对应板11的相对位置稳定，在支撑单元16的侧面上将连接件30旋紧到闭锁板10上，而在支撑单元16的对置的侧面上将同样构造的连接件被旋紧到对应板11上。连接件30、31分别具有钥匙孔形的空隙32，在该空隙32的较窄的区域中啮合有被安置在两个板10、11中的另一个板上的螺栓33，该螺栓33具有蘑菇状的头部。如此设计连接件30、31和螺栓33的尺寸，从而在相应的螺栓33的头部与空隙32之间得到自由空间，该自由空间在下面进一步描述的真空阀的闭合的情况下能够撑开闭锁板10和对应板11。

在装配闭锁装置时，首先将螺栓33的头部插入到空隙32的增大的区段中，接着将其移动到空隙32的具有较小的隙缝宽度的区段中，其中该隙缝宽度小于螺栓33的头部的直径，据此弹簧元件27的第一和第二臂28、29彼此旋紧。

闭锁板10和对应板11由闭锁装置12的支承部分34来支承，该支承部分34相对于支撑单元16沿着阀杆23的纵轴线26的方向可移动地引导。为此该支承部分34布置在支撑单元16的基体21的空隙35中，并且该支承部分34被固定在基体21上的导向螺栓36贯穿。布置在导向螺栓36上的、一方面在支承部分34上而另一方面在基体21上进行支撑的弹簧37相对于基体21将支承部分34预张紧到由基体21上的设备限定的初始位置中。逆着弹簧37的力，支承部分34可逆着闭合方向22相对于基体21移动。

闭锁板10和对应板11与支承部分34沿着闭合方向22以及逆着闭合方向22不可移动地相连。为此使用板形的、优选可弹簧弹性地弯曲的连接元件38、39。所述连接元件38、39与支撑单元16的基体21通过以下方式形状配合地连接，即基体21的接片40、41啮合到连接元件38、39的凹部中。

连接元件38、39的、在与基体21的形状配合的连接的两侧远离基体21的、弹簧弹性的臂具有孔42、43，在闭锁板10或者说在对应板11上布置的塞子啮合到所述孔42、43中。

在真空阀的打开状态下，闭锁装置12处于打开位置，在所述打开位置中，闭锁装置12释放通道2，并且阀杆23处于第一位置中（参见图6和7）。

为了闭合真空阀，阀杆23由阀驱动装置25平行于其纵轴线26在闭合方向22上移动。在这种情况下，闭锁装置12进入到通道2中，直至闭锁装置12在阀杆23的第二位置中占据中间位置（参见图8和9）。在该中间位置中，闭锁板10和对应板11沿着通道2的轴线3的方向看覆盖了通道2，但是还从底座8和对应底座9中突出。在阀杆23的第二位置中，止挡46抵靠到阀壳体固定的对应止挡47上，所述止挡46由弹簧元件27的、关于闭合方向22的前置的端部形成。所述对应止挡47在所示的实施例中由连接板形的区段6、7的连接区段的区域形成（止挡46在图7和图12至15中绘出，用于对应止挡的附图标记47在图7中记录）。

止挡46例如也可以由闭锁板10和对应板11的关于闭合方向22在前的端部来形成。

阀杆23从其第二位置进一步在闭合方向22上移动，其中闭锁板10和对应板11在闭合方向22上的进一步移动从现在起被阻塞。因此，支撑单元16相对于闭锁板10和对应板11在闭合方向22上移动，其中支撑单元16撑开闭锁板10和对应板11，从而使得闭锁板10和对应板11被压紧到底座8和对应底座9上。在这种情况下，布置在闭锁板10上的、弹性的环形密封部48被压紧到底座8的密封面上，由此相对于底座8密封闭锁板10。进一步地，布置在对应板11上的、弹性的接触环49被压紧到对应底座9的接触面上。

弹性的接触环（Anlagering）49例如可由与密封部48相同的材料、例如由氟橡胶（Viton）制成。

为了在闭锁板10与对应板11之间实现所定义的压力状态，对应板11设有至少一个通道开口50。

在真空阀的闭合状态下，闭锁装置12占据其闭合位置，并且闭锁板10密封通道2（参见图1至5）。

通过关于阀杆23的纵轴线26的方向不可移动地将闭锁板10和对应板11与支承部分34相连，支承部分34在将阀杆23从其第二位置移动到其第三位置时相对于支撑单元16移动。在支撑单元16进一步在闭合方向22上运动期间，阻塞支承部分34在闭合方向22上的运动。支承部分34相对于支撑单元16在这种情况下逆着弹簧37的力进行移动。

当通过阀杆23从其第三位置出发逆着闭合方向22移动而又打开真空阀时，弹簧将至少一个止挡46保持压紧到至少一个对应止挡47上，并且弹簧元件27将闭锁板10和对应板11从底座8和对应底座9中拉回，直至闭锁装置12再度占据图8和9中所示的中间位置。在阀杆23从其第二位置进一步移动到第一位置时，闭锁板10和对应板11与支撑单元16和阀杆23一起逆着闭合方向22运动，直至到达闭锁装置12的打开位置。

在多种应用中，当在闭锁装置12的两侧本来没有或仅有很少的压差时，才应打开真空阀。可由弹簧元件27施加的力接着能够被相应低地度量。

也可规定的是，在闭锁装置12的闭合位置中将对应板11密封地压紧到对应底座9上，其中所述对应板11在没有通道开口50的情况下进行构造。在闭锁板10与对应板11之间的空间接着可设有中间抽吸部，其中通过其实现抽吸部的管路通过阀是可阻断的。进一步地，在闭锁板10与对应板11之间的空间能够附加地通过可阻断的阀与在闭锁装置的两侧其中的一侧上的真空区域相连，以便实现压力补偿。

本发明所示的实施例的不同修改方案是可考虑的和可实现的，而不会偏离本发明的范围。因此，支承部分34例如能够仅仅或者与闭锁板10或者与对应板11关于闭合方向22不可移动地相连，并且与这两个板中的另一个板的不可移动的连接通过相互地连接这两个板10、11来产生。用于闭锁板10和对应板11的、单独的支承部分34也是可考虑的和可实现的。在另一个经过修改的实施方式中，闭锁板10和/或对应板11通过支承部分与支撑单元16连接，该支承部分关于闭合方向22与支撑单元16不可移动地连接，并且与闭锁板10或者说对应板11可移动地连接。

弹簧37也可以省略，并且在打开真空阀时，止挡46可通过阀杆从其第三位置到其第二位置的行程，或者至少通过该行程的一部分经由至少一个弹簧元件27与支撑面17、18以及闭锁板10和对应板11的楔形结构连接，从而与对应止挡47保持接触。

密封部48也可以布置在底座8上，并且闭锁板10设有与所述密封部共同作用的密封面。

弹性的接触环49也可以布置在对应底座9上，并且与所述接触环共同作用的接触面可以布置在所述对应板11上。

闭锁板10和对应板11在所示的实施例中在视图中来看构造成圆形的。其它的构造方案、例如矩形的构造方案也是可考虑的和可实现的。

闭锁板10和/或对应板11的滑移部件19、20也可以省略，并且支撑面17、18直接由基体21的表面形成。优选在这种情况下，滑移部件可布置在闭锁板10和/或对应板11中，其表面形成与支撑面17、18共同作用的接触面或者压紧面。在利用滑移部件19、20构造支撑单元16的情况下，闭锁板10和/或对应板11也可以附加地设有滑移部件。

在第一支撑面17与闭锁板10之间和/或在第二支撑面18与对应板11之间也可设置传递元件，以将有支撑单元16所施加的力传递到闭锁板10或者说对应板11上，通过该力，所述闭锁板10或者说对应板11相对于第一支撑面17或者说第二支撑面18平行地引导。这种例如滚子形式或者球形式的滚动体可以布置在相应的滚动体保持架（Wälzkörperkäfig）中。相应的滚动体保持架可以保持在支撑单元16上或者保持在闭锁板10或者说对应板11上。

根据本发明的真空阀的特征在于，在闭合和打开真空阀时产生相对少的颗粒。对于根据本发明的真空阀来说，可在需要维修、例如更换密封部48之前实现长的使用寿命（Standzeit）。

附图标记列表：

1 阀壳体

2 通道

3 轴线

4 凸缘

5 凸缘

6 板形区段

7 板形区段

8 底座

9 对应底座

10 闭锁板

11 对应板

12 闭锁装置

13 第一平面

14 第二平面

15 角度

16 支撑单元

17 第一支撑面

18 第二支撑面

19 滑移部件

20 滑移部件

21 基体

22 闭合方向

23 阀杆

24 连接件

25 阀驱动装置

26 纵轴线

27 弹簧元件

28 第一臂

29 第二臂

30 连接件

31 连接件

32 空隙

33 螺栓

34 支承部分

35 空隙

36 导向螺栓

37 弹簧

38 连接元件

39 连接元件

40 接片

41 接片

42 孔

43 孔

44 塞子

45 塞子

46 止挡

47 对应止挡

48 密封部

49 弹性的接触环

50 通道开口

51 隔膜

Claims (9)

1.真空阀，其包括：

具有通道（2）、围绕通道（2）的底座（8）和围绕通道（2）的对应底座（9）的阀壳体（1），所述通道具有轴线（3），所述底座处于第一平面（13）中，所述对应底座处于第二平面（14）中，其中所述第一和第二平面（13，14）彼此成楔形并且分别与所述通道（2）的轴线（3）成角度；

闭锁装置（12），所述闭锁装置能够在释放所述通道（2）的打开位置与密封所述通道（2）的闭合位置之间调整，所述闭锁装置（12）具有闭锁板（10）和对应板（11），所述闭锁板（10）在闭锁装置（12）的闭合位置被压紧在所述底座（8）上并且在这种情况下与所述第一平面（13）平行，所述对应板（11）在闭锁装置（12）的闭合位置被压紧在所述对应底座（9）上并且在这种情况下与所述第二平面（14）平行；以及

具有纵轴线（26）以及支承所述闭锁装置（12）的阀杆（23），所述阀杆为了将所述闭锁装置（12）从其打开位置调整到其闭合位置并且相反地调整而能够直线地在平行于所述阀杆（23）的纵轴线（26）的闭合方向（22）上以及逆着所述闭合方向（22）移动，

其特征在于，所述闭锁板（10）和对应板（11）也在所述闭锁装置（12）的打开位置中平行于第一和第二平面（13，14）；并且所述闭锁装置（12）具有位于所述闭锁板（10）与对应板（11）之间的支撑单元（16），在所述支撑单元上固定阀杆（23），并且为了撑开所述闭锁板（10）和对应板（11）以及为了将所述闭锁板（10）压紧到所述底座（8）上并且将所述对应板（11）压紧到所述对应底座（9）上而具有平行于第一平面（13）的第一支撑面（17）和平行于第二平面（14）的第二支撑面（18），并且相对于所述闭锁板（10）和对应板（11）在阀杆（23）的闭合方向（22）上能够移动；并且所述闭锁装置（12）进一步具有至少一个相对于所述支撑单元（16）能够沿着所述阀杆（23）的纵轴线（26）的方向移动地引导的支承部分（34），所述支承部分与所述闭锁板（10）和/或对应板（11）关于所述阀杆（23）的纵轴线（26）的方向不能够移动地连接。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述阀杆（23）为了将所述闭锁装置（12）从其打开位置调整到其闭合位置在闭合方向（22）上能够从第一位置经由第二位置移动到第三位置，在所述第一位置中，所述闭锁装置（12）处于其打开位置并且释放所述通道（2）；在所述第二位置中，所述闭锁装置（12）进入到所述通道（2）中；在所述第三位置中，所述闭锁装置（12）处于其闭合位置，其中在所述阀杆（23）从其第一位置移动到其第二位置时，所述闭锁板（10）和对应板（11）随着阀杆（23）在闭合方向（22）上一起运动，并且在所述阀杆（230）的第二位置中，所述闭锁装置（12）的至少一个止挡（46）抵靠到阀壳体固定的对应止挡（47）上，所述对应止挡（47）在所述阀杆（23）从其第二位置移动到其第三位置时阻塞所述闭锁板（10）和对应板（11）在闭合方向（22）上的进一步移动，并且所述支撑单元（16）在所述阀杆（23）从其第二位置移动到其第三位置时通过所述支撑单元（16）相对于所述闭锁板（10）和对应板（11）的移动而撑开所述闭锁板（10）和对应板（11），并且将所述闭锁板（10）和对应板（11）压紧到所述底座（8）或者说对应底座（9）上。

3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，在所述阀杆（23）的第二位置中，所述闭锁板（10）与所述底座（8）间隔距离地布置，并且所述对应板（11）与所述对应底座（9）间隔距离地布置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述真空阀，其特征在于，存在至少一个将所述闭锁板（10）和对应板（11）拉向所述支撑单元（16）的弹簧元件（27）。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述弹簧元件（27）具有第一臂（28）和第二臂（29），所述第一臂固定在所述闭锁板（10）上；所述第二臂固定在所述对应板（11）上，其中所述第一臂（28）和第二臂（29）在关于所述闭合方向（22）前置的端部区段中相互连接。

6.根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于，至少一个止挡（46）由至少一个弹簧元件（27）的、关于所述闭合方向（22）前置的端部形成。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，在所述支撑单元（16）的两侧分别布置将所述闭锁板（10）和对应板（11）拉向所述支撑单元（16）的弹簧元件（27）。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述支承部分（34）通过弹簧（37）预张紧到初始位置中，并且在闭合真空阀时能够逆着弹簧（37）的力相对于支撑单元（16）逆着所述闭合方向（22）移动。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第一和第二支撑面（17，18）由滑移部件（19）形成，所述滑移部件保持在所述支撑单元（16）的基体（21）上。

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