KR20060043814A

KR20060043814A - 개폐 밸브 및 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법

Info

Publication number: KR20060043814A
Application number: KR1020050019954A
Authority: KR
Inventors: 켄지로우 시게타카
Original assignee: 오노데라 고이치
Priority date: 2004-04-21
Filing date: 2005-03-10
Publication date: 2006-05-15
Also published as: JP4002906B2; KR101147404B1; US7347406B2; JP2005308097A; CN1690490A; TW200538667A; HK1085003A1; US20050248080A1; TWI296031B; CN1690490B; KR20120001715A

Abstract

밀폐성을 장기에 걸쳐서 확보함과 동시에, 소편(particle)을 거의 발생시키지 않는 개폐 밸브를 얻는 것을 과제로 한다.

그 해결 수단으로, 진공 챔버(A)의 개구부 사이에 배치되고, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트(21)와 회전 구동원(51)을 구비하고, 샤프트(21)에 상기 개구부를 개폐시키는 개폐 수단(30)을 설치한 밸브 본체(20)로서의 개폐 밸브(1)에 관하여, 개폐 수단(30)에 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재(32)와, 이 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 반경 방향의 내측 또는 외측을 향해 부세하는 부세 부재(36)와, 상기 시트 부재(32)에 접속되어 상기 시트 부재(32)와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재(32)와 상기 샤프트(21)와의 사이에서 밀폐 공간(40)을 형성하는 밀폐 부재(34)를 구비한다. 그리고, 샤프트(21)에 밀폐 공간(40)과 연통된 에어 통로(41)를 형성한다.

Description

개폐 밸브 및 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법{Shut-off valve disposed between openings formed to vacuum chamber and method of shutting off openings of vacuum chamber}

도 1은 본 발명의 개폐 밸브가 설치된 진공 챔버를 도시하는 정면도.

도 2는 본 발명의 개폐 밸브의 측면도.

도 3은 도 2에 도시하는 개폐 밸브의 내부구조도.

도 4는 개폐 밸브의 횡단면도.

도 5는 스풀 본체에 부착되는 벨로우즈의 측면도.

도 6은 구동부의 일부단면측면도.

도 7은 열림 상태의 스풀 본체의 배치 상태를 도시하는 도면.

도 8은 열림 상태로부터 90도 스풀 본체가 회전된 상태를 도시하는 도면.

도 9는 도 8의 상태에 있어서의 시트 부재의 상태를 도시하는 확대도.

도 10은 닫힘 상태의 시트 부재의 상태를 도시하는 확대도.

도 11은 다른 실시형태와 관련된 개폐 밸브의 내부구조도.

도 12는 도 11에 도시하는 개폐 밸브를 열림 상태로 한 상태를 도시하는 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 개폐 밸브 2, 2A : 케이싱

3 : 본체부 4, 4A : 연락구

8 : 벽면 피스 11 : 캡

20 : 스풀 본체(밸브 본체) 21 : 샤프트

22 : 연락 통로 25 : 부착좌

26 : 지지부 30 : 개폐 기구(개폐 수단)

31 : 부착부 32 : 시트 부재

34 : 벨로우즈(밀폐 부재) 35 : 지지주

36 : 스프링(부세 부재) 40 : 밀폐 공간

41 : 에어 통로 50 : 구동부

51 : 로터 액튜에이터(회전구동원) 100 : 스풀 본체(밸브 본체)

111 : 샤프트 113 : 부착좌

114 : 지지부 117 : 피스톤(밀폐 부재)

122 : 엔드 플랜지 123 : 연결 부재

124 : 시트 부재 126 : 스프링(부세 부재)

127 : 스프링(부세 부재) 129 : 벨로우즈

본 발명은 진공 장치의 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 개폐 밸브 및 이 밸 브를 이용한 개폐 방법의 발명에 관한 것이다.

반도체 제조장치 등의 진공 장치의 진공 챔버를 개폐하기 위한 개폐 밸브는, 종래로부터 여러 종이 개발되어 왔다. 본건 특허출원인도 진공 장치에 사용하는 개폐 밸브에 대한 연구개발을 행하고 있으며, 그 성과로서 특허문헌 1에 나타내는 발명을 이미 개시하고 있다.

이 특허문헌 1에 개시하는 개폐 밸브는, 좌우의 진공 챔버 사이에 수평 방향으로 개폐 밸브를 설치하고, 이 개폐 밸브를 좌우의 연통 개구를 가지는 밸브 좌체(座體)와, 이 밸브 좌체의 축 방향으로 이동 가능하고 또한 회전 가능한 밸브체와, 밸브체를 축 방향으로 이동시킴과 동시에 회전시키기 위한 구동부로 구성되어 있다. 그리고, 밸브체의 외주면에는 개구와 케이싱의 내부를 확실히 밀봉(seal)하기 위해 연락구의 주위를 둘러싸는 ○링이 부착되어 있다.

특허문헌 1 : 일본 특개평 11-159466호 공보

이 개폐 밸브는 진공 챔버 내의 높은 진공성을 확보할 수가 있다는 점에서 우수한 밸브이다. 그러나, 이 밸브는 내부의 밸브체를 회전시킬 때마다 케이싱의 내면에 ○링이 마찰되어 버려서 ○링이 마모된다는 바람직하지 못한 점이 있다. ○링이 마모되면 이른바 소편(小片; particle)이 발생한다.

거기서, 본 발명은 밀폐성을 장기에 걸쳐 확보함과 동시에, 소편이 거의 발생하는 일이 없는 개폐 밸브를 제공한다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해서, 진공 챔버의 개구부 사이에 배치되어, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 상기 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브로서, 상기 개폐 수단은 상기 샤프트로부터 이 샤프트의 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측 또는 외측을 향해 부세(bias)하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재를 구비하며, 상기 샤프트에는 상기 밀폐 공간과 연통된 에어 통로가 형성되어 있는 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 채용하였다.

또한, 본 발명에서는 상기 밸브 본체로서의 개폐 밸브에 대하여, 진공 챔버의 상기 개구부와 연락되는 연락구를 대향하는 벽면에 가지는 케이싱을 구비하고, 상기 밸브 본체가 상기 케이싱의 내부에서 상기 케이싱의 길이 방향으로 연장되는 축에 상기 샤프트를 일치시켜서 수납되며, 상기 개폐 수단은 상기 시트 부재가 상기 연락구를 개폐하는 것으로 상기 개구부를 개폐하도록 개폐 밸브를 구성하는 것을 특징으로 하고 있다.

더욱이, 상기 개폐 수단을 상기 샤프트의 중심축을 대칭으로 하는 위치에 각각 설치하고, 각 개폐 수단의 상기 시트 부재가 동일 직선 위를 왕복 운동하도록 구성하였다.

또, 상기 샤프트에 이 샤프트를 직경 방향으로 관통하는 연락 통로가, 상기 개폐 수단을 이 연락 통로의 양 측에 위치시키도록 형성하면 좋다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서, 상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측을 향해 부세하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재로 상기 개폐 수단을 구성하며, 상기 밀폐 공간에 압축 공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하고, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 시트 부재를 돌출시켜서 상기 개구부를 폐쇄하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법을 채용하였다.

또, 상기의 방법에 있어서, 상기 시트 부재가 돌출된 상태로 압축 공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 내측으로 끌어당겨서, 상기 시트 부재를 상기 개구부로부터 떨어지게 하여 개구시키는 한편으로, 상기 시트 부재가 상기 샤프트에 끌어당겨진 상태에서, 상기 밀폐 공간의 흡입을 정지시킴과 동시에 재차 압축공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 돌출시키는 방법을 채용하면 좋다.

더욱이, 본 발명에서는 상기 과제를 해결하기 위해서, 진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서, 상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향 외측을 향해 부세하는 부세 부재와, 상기 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 상기 시트 부재에 접속시켜서 밀폐 공간을 형성하고, 상기 시트 부재의 상기 반경 방향의 운동에 수반하여 신축 가능한 밀폐 부재로 상기 개폐 수단을 구성하며, 상기 밀폐 공간의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간을 감압시키는 것으로, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 시트 부재를 상기 샤프트의 중심 쪽으로 끌어당겨서, 상기 개구부를 폐쇄하고 있는 상기 시트 부재를 상기 개구부로부터 떨어지게 하여 상기 개구부를 개구하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법을 채용하였다.

이 경우에도, 상기 시트 부재가 상기 샤프트에 끌어당겨진 상태에서, 상기 밀폐 공간의 흡인을 정지시킴과 동시에 압축공기를 공급하는 것으로 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 돌출시켜서 상기 개구부를 상기 시트 부재로 폐쇄하는 한편으로, 상기 시트 부재가 돌출된 상태에서 압축공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 재차 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 외측으로 끌어당기는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법을 채용하면 더욱 좋다.

더욱이, 상기의 과제를 해결하기 위해서 본 발명에서는, 진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서, 상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측을 향해 부세하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재로 상기 밀폐 수단을 구성하며, 상기 밀폐 공간에 압축공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하고, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 개구부를 폐쇄하고 있는 상기 시트 부재를 상기 샤프트 쪽으로 끌어당겨서 상기 개구부를 개구하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법도 채용하였다.

또, 이 경우에 있어서도, 상기 시트 부재가 돌출된 상태에서 압축공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 외측으로 돌출시켜서, 상기 시트 부재를 상기 개구부에 밀어붙여서 폐쇄하는 한편으로, 상기 시트 부재가 돌출된 상태에서 상기 밀폐 공간의 흡인을 정지시킴과 동시에 재차 압축공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 끌어당기도록 하면 좋다.

그리고, 상술한 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법에 관하여, 상기 밸브 본체를 진공 챔버의 상기 개구부와 연락되는 연락구를 대향하는 벽면에 가지는 케이싱 의 내부에, 상기 밸브 본체가 상기 케이싱의 내부에서 상기 케이싱의 길이 방향으로 연장되는 축에 상기 샤프트를 일치시켜서 수납하고, 상기 시트 부재가 상기 연락구를 개폐하는 것으로 상기 개구부를 개폐하도록 해도 좋다.

(실시예)

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시의 형태를 설명한다.

도 1에 있어서, 개폐 밸브(1)는 가대(架臺)(B) 위에 설치된 좌우의 진공 챔버(A)의 중간에 배치되고, 이 개폐 밸브(1)의 구동부(50)가 진공 챔버(A)의 가로방향으로 돌출되어 설치되어 있다. 또, 이 진공 챔버(A)는 대향하는 개구부를 구비하고 있다. 이와 같이, 구동부(50)가 가로방향으로 돌출되어 설치됨으로써, 구동부(50)의 유지보수(maintenance)를 용이하게 행할 수 있다.

도 2 내지 도 4에 도시하는 바와 같이, 개폐 밸브(1)는 직방체 형상의 케이싱(2)과, 그 내부에 수용된 스풀 본체(20)와, 케이싱(2)의 축 방향의 일단 측에 부착되어 스풀 본체(20)를 구동시키는 구동부(50)로 구성되어 있다.

케이싱(2)은 그 선단(2a), 기단(2b) 및 측면의 일면이 개방된 본체부(3)와, 선단을 밀폐하는 캡(11)과, 측면의 일면을 밀폐하는 벽면 피스(8)로 구성되어 있다. 벽면 피스(8)는 본체부(3)에 육각 구멍이 달린 볼트(1)로 단단히 죄는 것으로 부착된다. 또, 벽면 피스(8)와 본체부(3)가 합쳐지는 면에는 밀봉재(9)가 개재되어 있어서 합쳐지는 면으로부터의 누설(leak)이 방지되고 있다. 한편, 캡(11)은 단면부(11a)와 삽입부(11b)가 일체로 형성된 부재이며, 삽입부(11b)가 본체부(3) 및 벽면 피스(8)에서 형성되는 구멍에 삽입되는 것으로 선단(2a)을 밀폐하고 있다. 삽입 부(11b)의 외주면에는 ○링(12)이 부착되어, 본체부(3) 및 벽면 피스(8)와 해당 캡(11)의 삽입부(11b)가 합쳐지는 면을 밀봉하고 있다.

이 케이싱(2)을 구성하는 본체부(2)에는, 대향하는 측면부에 케이싱(2)의 축 방향으로 연장되는 긴 구멍이 각각 형성되어 있다. 이 긴 구멍은 진공 챔버(A)에 설치된 개구부로 연락시키기 위한 연락구(4)이다. 그리고, 연락구(4)의 주위에는 케이싱(2)의 외면에 ○링(7)이 부착되어 있어서, 케이싱(2)과 진공 챔버(A)가 합쳐지는 면을 밀봉한다. 또한, 본체부(3)에는 이들 연락구(4)를 가지는 측면부의 상부 및 하부의 각각에 축 방향으로 적절히 배치된 복수의 좌(座)(5)가 설치되어 있다. 각 좌에는 부착 볼트(6)가 삽입되고, 이 개폐 밸브(1)는 이 부착 볼트(6)에 의해 진공 챔버(A)에 부착된다.

이들 본체부(3), 벽면 피스(8) 및 캡(11)으로 구성되는 케이싱(2)의 내부에는 그 축 방향으로 연장되는 원통 형상의 공간(15)이 형성되어 있다. 스풀 본체(20)는 해당 공간(15)의 내부에 수용되어 있다.

이 스풀 본체(20)는 공간(15)의 축 방향으로 연장되는 샤프트(21)와, 샤프트(21)의 중심축을 대칭으로 하는 위치에 설치되어, 연락구(4)를 개폐하는 개폐 기구(30)를 구비하고 있다.

샤프트(21)는 그 선단이 베어링(13)을 개재하여 캡(11)에 지지되고 있는 한편으로, 기단이 구동부(50)와 연결되어 있다.

샤프트(21)의 외주면에는 중심축을 대칭으로 하는 양 측에 개폐 기구(30)의 장착 부분이 축 방향을 따라 형성되어 있다. 그리고, 이 장착 부분에는 그 폭 방향 의 중심 부분에 간격을 두어 배치되고, 샤프트(21)와 일체로 형성된 부착좌(25)와, 이들 부착좌(25) 사이에 배치되는 지지부(26)가 각각 설치된다.

부착좌(25)에는 축 방향에 관해 소정의 간격마다 형성된 복수의 나사구멍(25a)이 형성되어 있다. 한편, 지지부(26)는 부착좌(25)끼리의 사이에 형성되는 홈에 끼워지는 감합부(26a)와, 이 감합부(26a)의 상단에서 외측방을 향해 돌출된 플랜지(26b)가 일체로 형성된 부재이다. 이 지지부(26)에는 상단면으로부터 일정한 깊이로 가공된 오목부(26c)가 길이 방향의 소정의 간격마다 형성되어 있다. 이 오목부(26c)에는 후에 설명하는 개폐 기구(30)의 지지주(36)가 삽입된다. 한편, 플랜지(26b)의 상단면에는 ○링(27)이 끼워져 있다.

또한, 샤프트(21)에는 그 직경 방향을 관통하는 연락 통로(22)가 형성되어 있다. 이 때문에, 개폐 기구(30)의 부착 부분은 이 연락 통로(2)를 축으로 하여 대칭이 되도록 그 양 측에 위치된다. 이 연락 통로(22)는 케이싱(2)의 본체부(3)에 형성된 연락구(4)의 길이에 대응하도록 축 방향을 따라 형성되어 있다.

개폐 기구(30)는 샤프트(21)의 부착좌(25)에 볼트로 죄어지는 부착부(31)와, 케이싱(2)에 형성된 연락구(4)를 폐쇄시키는 시트 부재(32)와, 시트 부재(32)와 부착부(31)를 접속하고 있는 벨로우즈(34)를 구비하고 있다. 더욱이, 이 개폐 기구(30)는 샤프트(21)의 지지부(26)에 지지되며, 시트 부재(32)를 샤프트(21)에 대해 위치가 어긋나는 것을 방지하는 지지주(35)와, 이 지지주(35)의 외주에 배치되어 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 중심 쪽을 향해 끌어당기거나, 또는 반경 방향 외측을 향해 압압(押壓)하기 위한 스프링(36)을 구비하고 있다.

해당 개폐 기구(30)의 선단에 설치되어 있는 시트 부재(32)는, 그 외주면이 원호 형상으로 형성된 가늘고 긴 판(板) 형상의 부재이다. 이 시트 부재(32)는 그 외연(外緣)이 케이싱(2)의 연락구(4)의 주연(周緣)보다 외측으로 돌출되도록 그 길이 및 폭이 형성되어 있다. 이 시트 부재(32)는 알루미 합금 또는 스텐레스 합금으로 형성된다. 또, 외주면에는 알루미나가 용사(溶射)된다. 그리고, 그 외주면에는 시트 부재(32)의 외주연의 약간 내측의 위치에 ○링(33)이 끼워져 있다. 이 ○링(33)은 이 시트 부재(32)가 연락구(4)를 폐쇄했을 때에 연락구(4)와 케이싱(2) 내부의 공간(15)을 차단하여 합쳐지는 면으로부터의 누설을 저지한다.

부착부(31)는 중심 쪽에 지지부(26)의 플랜지(26b)를 이 부착부(31)와 상술한 부착좌(25)와의 사이에 끼워 넣을 수 있도록 홈 부분(31a)이 하면에 형성되어 있다. 이 부착부(31)에는 홈 부분(31a)보다 외측의 판압(板壓)이 두꺼운 부분에 복수의 나사구멍(31b)이 형성되어 있다. 이들 나사구멍(31b)은 부착좌(25)에 형성된 나사구멍(25a)에 대응하는 위치에 형성되어 있다. 이 부착부(31)는 내측에 형성된 홈 부분(31a)에 지지부(26)의 플랜지(26b)를 위치시킴과 동시에, 부착좌(25)에 형성된 나사구멍(25a) 및 해당 부착부(31)에 형성된 나사구멍(31b)을 상호 일치시켜 이들을 중합시켜서 샤프트(21)에 볼트(37)로 죄어진다. 또, 지지부(26)를 구성하는 플랜지(26b)의 상면에 끼워진 ○링(27)은 부착부(31)와의 합쳐지는 면을 밀봉한다.

그리고, 시트 부재(32)의 하면과 부착부(31)의 상면은 벨로우즈(34)에 의해 접속되어 있다(도 5 참조). 이 벨로우즈(34)는 밀폐성을 확보하기 위한 부재이며, 이 벨로우즈(34), 시트 부재(32), 부착부(31) 및 지지부(26)로 둘러싸인 부분에 밀 폐 공간(40)을 형성시키고 있다. 이 벨로우즈(34)는 시트 부재(32)와 부착부(31)와의 사이의 중간 부분이 외측방을 향해 돌출되는 주름상자 부분이 설치되고, 지지주(35)의 축 방향에 관하여 신축이 자유롭게 형성된 부재이다. 이 벨로우즈(34)는 시트 부재의 움직임에 수반하여 신축된다. 또, 해당 벨로우즈(34)는 용접 벨로우즈, 성형 벨로우즈와 같이 시트 부재(32) 및 부착좌(25)와 일체로 형성된 것을 이용해도 좋으며, 또는 시트 부재(32)와 별체로서 시트 부재(32)에 대하여 착탈이 자유롭게 구성된 것을 이용해도 좋다. 또한, 벨로우즈(34)의 재질로서는 알루미 합금, 스텐레스 합금, 또는 티탄 합금을 사용하면 좋다. 단, 밀폐 공간(40)을 형성하기 위해, 이 벨로우즈(34) 대신에 불소계 라이닝 또는 불소 고무를 사용해도 좋다.

또한, 시트 부재(32)의 이면에는 그 길이 방향에 관하여 소정의 간격마다 지지주(35)가 해당 시트 부재(32)와 직교하도록 하여 부착되어 있다. 이 지지부(26)가 부착되는 위치는, 샤프트(21)의 축 방향에 관하여 상술한 오목부(26c)의 위치와 일치된다. 이 지지주(35)의 후단부는 샤프트(21)의 지지부(26)에 대해 자유롭게 왕복 운동하도록 지지부(26)의 오목부(26c)에 삽입된다.

이 지지주(35)의 외주에 배치된 스프링(36)은, 그 일단이 시트 부재(32)의 이면에 고정되어 있는 한편으로, 타단이 샤프트(21)의 지지부(26)에 고정되어 있다. 이 스프링(36)은 그 자연적인 길이보다 약간 늘어난 상태, 또는 자연적인 길이보다 압축된 상태로 이들 시트 부재(32)와 지지부(26)를 접속하고 있다. 자연적인 길이보다 늘어난 상태에서는 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 중심을 향해 끌어당기도록 작용하는 한편으로, 자연적인 길이보다 압축된 상태에서는 시트 부재(32)를 반경 방향 외측을 향해 압압한다.

이와 같이 구성된 개폐 기구(30)는, 시트 부재(30)가 샤프트(21)의 중심축을 대칭으로 동일 직선 위를 궤적으로 하여 샤프트(21)로부터 반경 방향 외측을 향해 돌출되도록 하여 왕복 운동한다.

그리고, 샤프트(21)의 기단부에는 구동부(50) 측과 해당 밀폐 공간(40)이 형성되는 위치에 대응하고 있는 샤프트(21)의 외주면이 에어 통로(41)에 의해 연락되고 있다. 이 에어 통로(41)에는 외부에 설치된 도시하지 않은 컴프레서 및 진공 장치가 구동부(50) 측으로부터 접속된다.

도 6은 구동부(50)의 상세를 도시하고 있다. 구동부(50)는 스풀 본체(20)를 그 중심축에 대하여 회전 구동시키는 로터 액튜에이터(51)와, 이 로터 액튜에이터(51)와 케이싱(2)과의 사이에 개재되어 구동력을 스풀 본체(20)의 샤프트(21)에 전달시키기 위한 기어 박스(52)로 구성되어 있다. 로터 액튜에이터(51)의 회전축(51a)은 기어 박스(52)의 내부에 삽입되어, 베어링(53)을 개재하여 기어(54)에 접속되어 있다. 또한 기어 박스(52)의 내부에는 이 기어(54)와 병렬로 배치된 기어(55)가 서로 맞물려 있다. 샤프트(21)의 기단부는 이 기어(55)에 접속된다. 이 기어(55)에는 자성 유체 실 트루홀 타입(seal through-hole type)의 조인트(56)가 접속되어 있다. 이 조인트(56)에는 상술한 에어 통로(4)가 형성되고, 상술한 컴프레서 및 진공 장치가 접속된다. 이 조인트(56)는 내부에 형성된 에어 통로(57)의 내부를 흐르는 에어를 외부로 누설시키는 일 없이 기어(56)를 회전시킨다.

이상과 같이 구성된 개폐 밸브(1)는 다음과 같이 작용한다.

도 7은 개폐 밸브(1)가 열림(開) 상태로 되고, 케이싱(2)의 연락구(4) 끼리가 내부에서 연동되어 있는 상태를 도시하고 있다. 이 도 7에 도시하는 바와 같이, 열림 상태에서는 케이싱(2)에 형성된 연락구(4)와 샤프트(21)에 형성된 연락 통로(22)가 일직선을 이루도록 배치된다. 한편, 개폐 기구(30)는 연락 통로의 상하에 위치된다.

우선, 개폐 기구(30)의 스프링(36)이 자연적인 길이보다 늘어난 상태에서 부착되고, 시트 부재(32)가 샤프트(21)의 중심을 향해 끌어당겨지도록 부세된 경우에 대해서 설명한다.

이 경우, 이 도 7에 도시하는 열림 상태에서는, 밀폐 공간(40)의 내부의 에어는 진공 장치에 의해 흡인되고 있음과 동시에, 시트 부재(32)는 스프링(36)의 부세력에 의해 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당겨지고 있다.

도 8은 닫힘(閉) 상태의 원 스텝 바로 전의 상태를 도시하고 있다. 스풀 본체(20)는 도 7의 상태로부터 로터 액튜에이터에 의해 90도 회전된다. 이것에 의해, 시트 부재(32)가 케이싱(2)의 연락구(4)와 각각 대향되는 한편으로, 연락 통로(22)는 상하 방향으로 향하게 된다. 이 상태로부터 닫힘 상태로 하기 위해서는, 진공 장치를 정지시킴과 동시에 컴프레서로부터의 압축공기를 밀폐 공간(40)으로 보낸다. 압축공기가 밀폐 공간(40)의 내부로 보내지면 밀폐 공간(40)의 내부가 가압된다. 그러면, 도 9에 도시하는 시트 부재(32)가 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당겨진 상태로부터 스프링(36)의 부세력에 대항하여 시트 부재(32)가 반경 방향 외측을 향해 돌출된다. 이것에 의해, 도 10에 도시하는 바와 같이 시트 부재(32)가 케이싱 (2)의 연락구(4)를 폐쇄한다. 이 때, 스풀 부재의 상면에 설치된 ○링(33)이 확실히 연락구(4)와 케이싱(2) 내부의 공간을 차단한다.

닫힘 상태로부터 다시 열림 상태로 하기 위해서는, 진공 장치를 작동시키고 공급된 압축공기를 밀폐 공간(40)으로부터 빼내는 것으로, 다시 스프링(36)의 부세력에 의해 시트 부재(32)는 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당겨진다. 이것에 의해 재차 도 8 및 도 9에 도시하는 상태로 된다. 그 후, 스풀 본체(30)를 반대 방향으로 회전시키면, 케이싱(2)의 연락구(4)와 샤프트(21)의 연락 통로(22)가 일직선상을 이루는 도 7의 상태로 된다.

또, 이 경우에는 진공 장치를 사용하는 일 없이 컴프레서만을 사용해도 좋다. 즉, 시트 부재(32)를 돌출시킬 때에는, 컴프레서를 작동시키고 밀폐 공간(40)의 내부에 압축공기를 공급한다. 이것에 의해, 스프링(36)의 부세력에 대항하여 시트 부재(32)를 돌출시킨다. 한편, 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 중심 쪽을 향해 끌어당기기 위해서는, 컴프레서를 정지시키고 밀폐 공간(40)의 압축공기를 빼내어 내부를 통상압력까지 내린다. 이것에 의해, 시트 부재(32)를 스프링(36)의 부세력에 의해 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당기도록 한다.

이것에 대해, 개폐 기구(30)의 스프링(36)이 자연적인 길이보다 압축된 상태로 부착되고, 시트 부재(32)가 반경 방향 외측을 향해 압압되어 있는 경우에는 다음과 같이 작용한다.

이 경우, 이 도 7에 도시하는 열림 상태에서는, 밀폐 공간(40)의 내부는 진공 장치에 의해 흡인되는 것으로 부압(負壓)으로 되어 있다. 이 부압의 상태가 스 프링(36)의 부세력에 대항하여 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당기고 있다.

도 8에 도시하는 바와 같이, 닫힘 상태의 원 스텝 바로 전의 상태에서는 스풀 본체(20)가 도 7의 상태로부터 로터 액튜에이터에 의해 90도 회전된다. 이것에 의해, 시트 부재(32)가 케이싱(2)의 연락구(4)와 각각 대향되는 한편으로, 연락 통로(22)는 상하 방향으로 향하게 된다. 이 상태로부터 닫힘 상태로 하기 위해서는 진공 장치로부터의 흡인을 정지시킴과 동시에 컴프레서로부터 압축공기를 밀폐 공간(40)에 공급한다. 그러면, 도 9에 도시하는 시트 부재(32)가 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당겨진 상태로부터 스프링(36)의 부세력 및 압축공기에 의해 시트 부재(32)가 반경 방향 외측을 향해 돌출된다. 이것에 의해, 도 10에 도시하는 바와 같이, 시트 부재(32)가 케이싱(2)의 연락구(4)를 폐쇄한다. 이 경우에도 ○링(33)이 확실히 연락구(4)와 케이싱(2) 내부의 공간을 차단한다.

닫힘 상태로부터 열림 상태로 하기 위해서는, 컴프레서를 정지시키고 진공 장치를 재차 작동시켜 밀폐 공간(40)을 부압으로 한다. 이것에 의해, 다시 스프링(36)의 부세력에 대항하여 시트 부재(32)는 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당겨진다. 이것에 의해, 재차 도 8 및 도 9에 도시하는 상태로 된다. 그 후, 스풀 본체(20)를 반대 방향으로 회전시키면, 케이싱(2)의 연락구(4)와 샤프트(21)의 연락 통로(22)가 일직선상을 이루는 도 7의 상태로 된다.

또, 이 경우에는 컴프레서를 사용하는 일 없이 진공 장치만을 사용해도 좋다. 즉, 시트 부재(32)를 돌출시킬 때에는 진공 장치를 정지시켜 밀폐 공간(40)의 내부를 통상압력으로 한다. 이것에 의해, 스프링(36)의 부세력만으로 시트 부재(32)를 돌출시킨다. 한편, 시트 부재(32)를 샤프트(21)의 중심 쪽을 향해 끌어당기기 위해서는 진공 장치를 작동시켜 밀폐 공간(40)의 내부를 부압으로 한다. 이것에 의해, 시트 부재(32)를 스프링(36)의 부세력에 대항하여 샤프트(21)의 중심 쪽으로 끌어당기도록 한다.

도 11 및 도 12는, 또 다른 실시형태와 관련된 개폐 밸브를 도시하고 있다. 이 도 11 및 도 12에 도시하는 개폐 밸브의 개폐 기구(135)는, 부세 부재로서의 스프링에 의해 시트 부재(124)가 케이싱(2A)에 형성된 연락구(4A)를 향해 상시 부세되는 한편으로, 압축공기에 의해 시트 부재(124)가 연락구(4A)로부터 이격되는 구조를 가지고 있다.

이 개폐 밸브도 케이싱(2A)을 가지며, 그 대향하는 면에는 내외를 관통하는 연락구(4A)가 형성되어 있다. 그리고, 케이싱(2A)의 내부에는 공간(15A)이 형성되어 있다.

스풀 본체(100)는 공간(15A)의 축 방향으로 일치하여 연장되는 샤프트(111)와, 이 샤프트(111)의 축을 대칭으로 하는 위치에 설치된 개폐 기구(135)로 구성되어 있다.

샤프트(111)의 내부에는 압축공기를 흐르게 하기 위해, 중심축을 따라 형성된 본(本) 통로(150)와 이 본 통로(150)로부터 반경 방향 외측으로 연장되도록 형성된 지(枝) 통로(151)로 이루어지는 통로가 형성되어 있다.

한편, 샤프트(111)의 외주면에는 중심축을 대칭으로 하는 양 측에 개폐 기구 (135)의 장착 부분(112)이 축 방향을 따라 형성되어 있다. 그리고, 이 장착 부분(112)에는 그 폭 방향의 중심 부분에 간격을 두어 배치되고, 샤프트(111)와 일체로 부착된 부착좌(113)와, 이들 부착좌(113)에 일체적으로 유지된 지지부(114)가 각각 설치된다.

부착좌(113)와 샤프트(111)의 장작 부분(112)이 합쳐지는 면에는, 해당 부착좌(113)의 내연측에 ○링(140)이 부착되어 있다. 이 ○링(140)은 지 통로(151)로부터 보내진 압축공기가 누설하는 것을 방지하는 것이다. 한편, 지지부(114)는 부착좌(113)에 유지된 베이스(115)와, 베이스(115)의 중앙에서 반경 방향 외측을 향해 돌출되는 지주(支柱)(116)로 구성되어 있다. 지주(116)의 중심에는 샤프트(111)의 지 통로(151)와 연통하여 압축공기를 통과시키기 위한 에어 통로(152)가 형성되어 있다. 그리고, 이 지주(116)에는 원반 형상의 엔드 플랜지(end flange)(122)가 접시 나사(121)에 의해 지주(116)의 상단에 고정되어 있다.

이들 지주(116) 및 엔드 플랜지(122)의 외주부에는 지주(116)의 축 방향으로 왕복 운동하는 피스톤(117)이 끼워져 있다. 피스톤(117)은 대소, 직경이 다른 원통 부분(118), (119)으로 이루어지며, 그 내부가 공간으로 되어 있다. 그리고, 직경이 작은 부분(118)이 지주(116)의 외주면에 감합되고, 직경이 큰 부분(119)이 엔드 플랜지(122)의 외주면과 감합되고 있다. 그리고, 피스톤(117)의 내면, 지주(116)의 외주면 및 엔드 플랜지(122)의 하면으로 둘러싸여진 부분에는 압축공기가 들어가는 밀폐 공간으로서의 에어 공간이 형성된다. 또, 지주(116)에는 그 축 방향에 있어서의 해당 에어 공간이 형성되는 위치에, 그 내부에 형성된 에어 통로(162)와 해당 에어 공간을 연통하는 연통부(153)가 형성되어, 압축공기가 에어 공간으로 보내지도록 되어 있다.

또한, 이 피스톤(117)의 엔드 플랜지(122)에 감합되어 있는 직경이 크게 형성된 부분(119)에는, 피스톤(117)의 반경 방향 외측으로 돌출된 칼날부(120)가 형성되어 있다. 그리고, 이 칼날부(120)에는 연결 부재(123)를 개재하여 시트 부재(124)가 부착되어 있다. 시트 부재(124)는 상술한 실시형태의 것과 마찬가지로, 케이싱(2A)에 형성된 연락구(2A)에 대해 당접 및 이격시키는 것으로 연락구(4A)를 개폐하는 부재이다. 이 시트 부재(124)도 그 외면이 원호 형상으로 형성되고, 그 외연이 연락구(4A)보다 외측에 돌출되도록 형성되어 있다. 그리고, 외면에는 연락구(4A)의 약간 외측에 연락구(4A)의 주위를 둘러싸도록 해서 배치된 ○링(125)이 부착되어 있다.

이 시트 부재(124)를 피스톤(117)에 대해 고정시키고 있는 연결 부재(123)는, 샤프트(111)의 플랜지의 축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 연결 부재(123)는 그 하면이 각 지지부(114)에 설치된 이들 피스톤(117)의 칼날부(120)의 양 측으로부터 끼워 넣도록 해서 가설되는 한편으로, 그 상면이 시트 부재(124)의 하면을 고정시키는 것으로 시트 부재(124)를 피스톤(117)과 일체로 연결하고 있다.

더욱이, 이 개폐 기구(135)에서는, 피스톤(117)과 지지부(114)의 베이스(115)와의 사이에 2개의 스프링(126), (127)이 끼워 넣어져 있다. 이들 스프링(126), (127)은 피스톤(117)을 지주(116)의 축 방향을 따라 외측을 향해 부세하는 부재이다. 또, 이 개폐 기구(135)에서는 직경이 큰 스프링(126)과 직경이 작은 스 프링(127)의 2종류가 설치되어 있다. 한편, 에어 공간에는 피스톤(117)과 엔드 플랜지(122)와의 사이에 끼워 넣어진 스프링(128)이 설치되어 있다. 이 스프링(128)은 피스톤(117)을 약한 힘으로 엔드 플랜지(122)로부터 샤프트(111) 측으로 되돌려보내는 것이며, 댐퍼(damper)로서의 기능을 가지고 있다.

이와 같은 개폐 기구(135)에는, 피스톤(117)과 지지부(114)의 베이스(115)를 연락하도록 해서 설치된 벨로우즈(129)가 개폐 기구(135)의 주위를 둘러싸도록 해서 배치되어 있다. 이 벨로우즈(129)는 내외로 절첩되어 주름상자 형상으로 형성되고, 그 상부가 피스톤(117)의 외주면에 부착되는 한편으로, 그 하부가 지지부(114)의 베이스(115) 상면에 밀착되어 있다. 또, 벨로우즈(129)의 상부에는, 내부에 중심에 구멍이 형성된 원반 형상의 유지판(130)이 설치되고, 이 유지판(130)을 피스톤(117)의 외주면에 끼워 넣어서 피스톤(117)에 부착되어 있다. 그리고, 피스톤(117)과 유지판(130)이 합쳐지는 면에는 ○링(143)이 설치되며, 이들 사이로부터 에어가 새어나오는 것을 방지하고 있다.

이 스풀 본체(100)는 다음과 같이 작용한다. 또, 스풀 본체(100) 자체의 회전에 대해서는 상술한 실시형태와 마찬가지이므로, 여기서는 개폐 기구(135)의 작용에 대해서 설명한다.

도 11은 케이싱(2A)에 형성된 연락구(4A)를 개폐 기구(135)의 시트 부재(124)가 폐쇄하고 있는 상태를 도시한다. 이 상태에서는 피스톤(117)과 지지부(114)의 베이스(115)와의 사이에 끼워 넣어진 2개의 스프링(126), (127)에 의해 피스톤(117)이 연락구(4A) 쪽으로 부세되어 있다. 이것에 의해 연결 부재(123)를 개 재하여 피스톤(117)에 부착된 시트 부재(124)가 연락구(4A)로 밀린다. 시트 부재(124)의 외면에는 ○링(125)이 설치되어 있기 때문에 이 ○링(125)이 밀봉하여 연락구(4ㅁ)를 밀폐시킨다.

이 상태로부터 샤프트(111)의 에어 통로(150), (151), 지주(116)의 에어 통로(152)를 통해 연통부(153)로부터 에어 공간에 압축공기를 보낸다. 그러면, 도 12에 도시하는 바와 같이, 압축공기의 압력에 더하여 에어 공간에 설치된 스프링(128)의 부세력이 2개의 스프링(126), (127)의 부세력에 대항하여, 피스톤(117)을 샤프트(111) 쪽으로 되돌려보낸다. 피스톤(117)과 시트 부재(124)는 연결 부재(123)를 개재하여 연결되어 있으므로, 피스톤(117)이 샤프트(111) 쪽으로 되돌려보내지면, 연락구(4A)를 밀폐하고 있던 시트 부재(124)는 케이싱(2A)의 내면으로부터 이격된다. 이것에 의해, 폐쇄되어 있던 연락구(4A)는 개구된다.

한편, 압축공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 에어 공간에 보내진 압축공기를 빨아들이면, 2개의 스프링(126), (127)이 재차 피스톤(117)을 연락구(4A) 쪽으로 밀어젖힌다. 이 때, 에어 공간에 설치된 스프링(128)이 댐퍼로서 기능하고, 시트 부재(124)가 케이싱(2A)의 내면에 충격적으로 밀려 닿는 일이 방지된다. 이것에 의해 시트 부재(124)의 외면에 설치된 ○링(125)이 보호된다.

이와 같은 운동을 반복하는 것에 의해, 케이싱(2A)에 형성된 연락구(4A)는 개폐된다. 또, 이 사이에 벨로우즈(129)는 피스톤(117)의 왕복 운동에 수반하여 신축된다. 또한, 벨로우즈(129)의 하부는 지지부(114)의 베이스(115)에 밀착되어 있는 한편으로, 상부에서는 유지판(130)과 피스톤(117)이 합쳐지는 면에 ○링(143)이 설치되어 있기 때문에, 벨로우즈(129)의 내부를 확실히 밀폐 상태로 유지할 수가 있다.

이상, 스풀 본체가 케이싱의 내부에 수용된 개폐 밸브를 예로 설명하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 스풀 본체만을 바로 진공 챔버의 내부에 삽입하여 진공 챔버의 개구부를 직접 개폐하도록 해도 상관이 없다. 이 경우에는, 진공 챔버의 내부에 쉘(shell)부를 설치하면 좋다.

본 발명에 따르면, 시트 부재와 케이싱의 내면이 마찰되는 일이 없다. 그 때문에, 시트 부재의 단면(端面)에 ○링 등의 밀봉 부재를 부착하더라도 그 밀봉재가 마모되지 않는다. 이것에 의해, 소편을 발생시키지 않는 것에 더하여 밀폐성을 장기에 걸쳐 확보할 수가 있다.

Claims

진공 챔버의 개구부 사이에 배치되어, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와, 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 상기 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브로서,

상기 개폐 수단은 상기 샤프트로부터 이 샤프트의 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측 또는 외측을 향해 부세(bias)하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재를 구비하며,

상기 샤프트에는 상기 밀폐 공간과 연통된 에어 통로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브 본체로서의 개폐 밸브.
제 1항에 있어서,

진공 챔버의 상기 개구부와 연락되는 연락구를 대향하는 벽면에 가지는 케이싱을 구비하고, 상기 밸브 본체가 상기 케이싱의 내부에서 상기 케이싱의 길이 방향으로 연장되는 축에 상기 샤프트를 일치시켜서 수납되며,

상기 개폐 수단은 상기 시트 부재가 상기 연락구를 개폐하는 것으로 상기 개구부를 개폐하는 것을 특징으로 하는 개폐 밸브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 개폐 수단은 상기 샤프트의 중심축을 대칭으로 하는 위치에 각각 설치되고, 각 개폐 수단의 상기 시트 부재가 동일 직선 위를 왕복 운동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 개폐 밸브.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 샤프트에는 이 샤프트를 직경 방향으로 관통하는 연락 통로가, 상기 개폐 수단을 이 연락 통로의 양 측에 위치시키도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 개폐 밸브.
진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서,

상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측을 향해 부세하는 부세 수단과, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재로 상기 개폐 수단을 구성하며,

상기 밀폐 공간에 압축 공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하고, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 시트 부재를 돌출시켜 상기 개구부를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
제 5항에 있어서,

상기 시트 부재가 돌출된 상태에서 압축 공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 내측으로 끌어당겨서, 상기 시트 부재를 상기 개구부로부터 떨어지게 하여 개구시키는 한편으로,

상기 시트 부재가 상기 샤프트에 끌어당겨진 상태에서, 상기 밀폐 공간의 흡인을 정지시킴과 동시에 재차 압축 공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 돌출시키는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 개폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서,

상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측을 향해 부세하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재로 상기 개폐 수단을 구성하며,

상기 밀폐 공간의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간을 감압시키는 것으로, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 시트 부재를 상기 샤프트의 중심 쪽으로 끌어당겨서, 상기 개구부를 폐쇄하고 있는 상기 시트 부재를 상기 개구부로부터 떨어지게 하여 상기 개구부를 개구하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
제 6항에 있어서,

상기 시트 부재가 상기 샤프트에 끌어당겨진 상태에서, 상기 밀폐 공간의 흡인을 정지시킴과 동시에 압축 공기를 공급하는 것으로 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 돌출시켜서 상기 개구부를 상기 시트 부재로 폐쇄하는 한편으로,

상기 시트 부재가 돌출된 상태로 압축 공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 재차 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 내측으로 끌어당기는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
진공 챔버의 개구부 사이에, 중심축 둘레로 회전 가능한 샤프트와 이 샤프트를 회전시키는 회전 구동원을 구비하고, 상기 샤프트에 개구부를 계폐시키는 개폐 수단을 설치한 밸브 본체로서의 개폐 밸브를 배치하여, 상기 개폐 수단으로 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 방법으로서,

상기 샤프트로부터 반경 방향 외측으로 돌출되어 상기 개구부를 폐쇄하는 시트 부재와, 이 시트 부재를 상기 샤프트의 반경 방향의 내측을 향해 부세하는 부세 부재와, 상기 시트 부재에 접속되어 상기 시트 부재와 함께 연동하고, 게다가 이 시트 부재와 상기 샤프트와의 사이에서 밀폐 공간을 형성하는 밀폐 부재로 상기 개폐 수단을 구성하며,

상기 밀폐 공간에 압축 공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하고, 상기 부세 부재의 부세력에 대항하여 상기 개구부를 폐쇄하고 있는 상기 시트 부재를 상기 샤프트 쪽으로 끌어당겨서 상기 개구부를 개구하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
제 9항에 있어서,

상기 시트 부재가 돌출된 상태에서 압축 공기의 공급을 정지시킴과 동시에, 그 내부의 에어를 흡인하여 상기 밀폐 공간의 압력을 감압시키는 것으로, 상기 시트 부재를 상기 부세 부재의 부세력을 이용하여 상기 샤프트의 반경 방향 외측으로 돌출시켜서, 상기 시트 부재를 상기 개폐부에 밀어붙여서 폐쇄하는 한편으로,

상기 시트 부재가 돌출된 상태에서, 상기 밀폐 공간의 흡인을 정지시킴과 동시에 재차 압축공기를 공급하여 상기 밀폐 공간을 가압하여 상기 시트 부재를 끌어당기는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.
제 5항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 밸브 본체를 진공 챔버의 상기 개구부와 연락되는 연락구를 대향하는 벽면에 가지는 케이싱의 내부에, 상기 밸브 본체가 상기 케이싱의 내부에서 상기 케이싱의 길이 방향으로 연장되는 축에 상기 샤프트를 일치시켜서 수납하고,

상기 시트 부재가 상기 연락구를 개폐하는 것으로 상기 개구부를 개폐하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 개구부의 개폐 방법.