CN1690490B - 关闭真空室开口的关闭阀和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种关闭阀，其放置于形成在真空室中的连通口之间，包括外壳，置于外壳中的阀体，该阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，驱动阀体使轴旋转的驱动单元，以及用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构。开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，轴含有与密封空间连通的空气通路。

Description

关闭真空室开口的关闭阀和方法

技术领域

本发明涉及一种关闭(开/关)阀，其用于关闭(打开和关断)形成在真空室的开口以及还涉及一种通过使用该关闭阀关闭所述开口的方法。

背景技术

用于打开或关断真空装置(如半导体制造装置)真空室的关闭阀已经在多方面进行了研究和发展，本主题申请的发明人曾经公开了这种关闭阀，例如，在日本专利早期公开No.平11-351448中。

在该公开物中公开的关闭阀被水平布置在横向的两个真空室中间。该关闭阀包括带有侧面开口的阀座，在阀座的轴向上可以旋转和移动的阀体，以及使阀体在轴向上旋转和移动的驱动机构。O型圈用于阀体的外表面以围绕阀座的开口，从而安全地密封所述开口。

在以上的方面，含有上述结构的关闭阀在确保真空室的高性能真空条件方面是优越的，但是这种关闭阀，每当阀体旋转时O型圈都靠着真空装置壁的内表面进行摩擦，这将引起所谓的颗粒，因此不方便。

发明内容

本发明的目标是基本消除前面所述已有技术中遇到的不足或缺陷，而提供一种不出现颗粒的长久保持高密封性能的关闭阀。

本发明的另一目标是提供一种具有上述特征的关闭阀的打开和关断方法。

本发明的这些和其它目标可以根据本发明，一方面通过提供放置于真空室通路之间的关闭阀来实现，该关闭阀包括：

外壳；

阀体，其置于外壳中，并具有围绕阀体中心轴旋转的轴；

驱动单元，其驱动阀体以使轴旋转；和

提供给所述轴的打开和关断每个开口的开/关机构，开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，该轴形成有连通到密封空间的空气通路。

在该方面的优选实例中，期望外壳有一壁部，形成连通口，其分别与真空室中的开口相对应，阀体安装在外壳内部，使轴的中心轴与外壳的长轴一致，开/关机构的片部件用于打开和关闭外壳的连通口，以使真空室的开口打开或关闭。

开/关机构可与轴中心轴线对称放置，因此各个开/关机构的片部件在同一直线上往复运动。

期望在轴上形成有在直径方向上穿透的连通通路，开/关机构放置在连通通路的两侧。

本发明的另一方面，提供了一种使用关闭阀关闭真空室开口的方法，关闭阀位于真空室开口之间，包含外壳，置于外壳中的阀体及所述阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，以及驱动阀体使轴旋转的驱动单元，用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构，其中

开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，及

压缩空气被供入到密封空间以使其内部空间增压，从而抵制着推动部件的推动力使片部件伸出并关闭真空室开口。

在此方面，期望在片部件伸出时停止压缩空气的供入，密封空间中内部空气被吸入以减小其中的压力，因此利用推动部件的推动力将片部件拉向轴的径向，然后片部件与真空室开口分离以打开所述开口，当片部件被推向轴时，停止对密封空间的空气吸出，再次供入压缩空气使密封空间内部增压，从而使片部件伸出。

在本发明的另一方面，也提供了一种使用关闭阀关闭真空室开口的方法，关闭阀位于真空室开口之间，包含外壳，置于外壳中的阀体及该阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，以及驱动阀体使轴旋转的驱动单元，用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构，其中

开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，及

密封空间的空气被吸出从而减小密封空间的压力，抵制着推动部件的推动力吸引所述片部件向轴的中心侧运动，因此使关闭真空室开口的片部件离开其关闭状态，从而打开所述开口。

在这个方面，期望当片部件被拉向轴时，停止密封空间中的空气吸出，以及向密封空间供入压缩空气以使密封空间内部增压，然后使片部件伸出以关闭真空室的各个开口，并且当片部件被推出时，停止压缩空气的供入，密封空间的空气再次被吸出以降低其中的压力，从而利用推动部件的推动力向轴的径向向内的方向拉动所述片部件。

在本发明方法的另一方面，通过使用关闭阀关闭真空室开口的方法，关闭阀放置于形成在真空室的开口之间，其包含外壳，置于外壳中的阀体且所述阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，驱动阀体使轴旋转的驱动单元，用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构，其中：

开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，及

压缩空气被供入到密封空间以使其内部增压，从而抵制着推动部件的推动力吸引关闭真空室开口的片部件，以打开真空室开口。

在此方面，期望当片部件被吸引时，停止压缩空气的供入，吸出密封空间中的空气以减小其中的压力，从而使片部件利用推动部件的推动力在轴的径向上向外伸出，然后将片部件推靠在真空室开口上使其关闭，当片部件伸出时，停止对密封空间的抽吸，再次供入压缩空气以使密封空间内部增压，从而吸引片部件。

此外，在上述阀关闭方法方面的优选实例中，期望阀体放置于外壳中，外壳有一壁部，其分别与真空室中开口连接的连通口对接，阀体的轴与外壳长度方向上的轴一致，片部件用于打开和关闭连通口，以使真空室的开口打开或关闭。

根据上述结构和特点的发明，开/关机构的片部件和关闭阀外壳间的摩擦可以被有效防止，因此即使在片部件的端部表面安装O形圈或类似的部件，片部件不会磨损，因此基本没有颗粒产生，改进的密封性能可以长时间保持。

附图说明

通过下面的描述并结合附图，本发明的本质和进一步有特性的特征将会更加清楚。

在附图中：

图1示出了布置一个根据本发明第一实施例的关闭阀的真空室正视图；

图2示出了图1中的关闭阀的侧视图；

图3示出了为显示内部结构而打开的关闭阀的平面图；

图4示出了关闭阀的横截面图；

图5示出了将波纹管安装在关闭阀管体(阀体)上的侧视图；

图6示出了用于关闭阀的驱动机构的局部剖视图；

图7示出了打开的管体的布局示意图；

图8示出了将图7所示旋转90度的关闭的管体布局示意图；

图9示出了图8状态下放大了尺寸的片部件；

图10示出了关闭状态下放大了尺寸的片部件；

图11示出了根据本发明另一实施例的关闭阀的内部结构示意图；和

图12示出了打开状态下的图11中的关闭阀。

具体实施方式

下面将对根据本发明的关闭(开/关)阀的优选实施例进行描述。

首先，参照图1，关闭阀1安置在侧面的一对真空室V(V1和V2)和关闭阀1的驱动机构50(图2)之间以水平地从真空室V突出，真空室V(V1和V2)各自安放在台T(T1和T2)上。真空室V1和V2设置有彼此相对的开口。驱动机构的水平布置使得其维护简单。

下面，参照图2到4，关闭阀1包含大体为矩形的外壳2，安置在外壳2内部的管体(阀体)20，以及驱动机构或部件50，其安装在外壳2轴向的一端部，用于驱动管体20。

外壳2，另一方面，包含外壳体3，其含有开口前端部2a，开口底端部2b，它们中一个的侧面也是打开的，关闭开口前端部2a的盖11，以及关闭开口侧面的板件8。板件8通过使用六角螺钉10夹紧固定在外壳体3上。密封部件9安置在板件8和外壳体3之间的配合部分，以防止空气从配合部分泄漏。另一方面，盖11为提供端面部分11a和插入部分11b的部件，通过将插入部分11b插入到由外壳体3和板件8确定的孔中而使外壳2的前端部2a受到密封。O型圈12围绕插入部分11b的外圆周安装，以密封在外壳体3、板件8和盖11的插入部分11b之间的配合部分。

组成外壳2的外壳体3在其相对的侧表面上形成有槽，以在外壳2的轴向延伸。这些槽就作为连通真空室V(V1和V2)上开口的连通口4。O型圈7围绕每个连通口4安装在外壳2的外圆周上，以密封外壳2和真空室V之间的配合部分。此外，外壳体3被设置有很多座或垫圈5，它们沿轴向方向被适当地设置在形成连通口4的侧表面的上或下部。固定或安装螺钉6被插入各自的垫圈5中，从而将关闭阀1固定到真空室V上。

由这些外壳体3组成的外壳2、板件8和盖11具有一个在轴向方向圆柱形地延伸的内部空间15，其容纳管体20。

管体20包含在空间15中轴向延伸的轴21和开/关机构30，其用于打开或关断连通口4，其相对于轴21的中心轴对称布置。

轴21具有通过轴承13由盖11支承的前端和与驱动机构连接的底端。

开/关机构30含有固定部分，其两侧部对称置地形成于轴21的外圆周表面上，从而沿轴向延伸，轴21的中心轴线就是该对称布置的中心。固定部分含有与轴21是一整体的固定支座25和置于固定支座25之间的支承部件26，这些支座和支承部件布置在固定部分的中心部分在宽度方向上具有一定间距。

每个固定支座25形成有许多螺钉孔25a，其在轴向方向上相邻孔之间具有相等的间距。另一方面，每个支承部件26含有装配部分26a和凸缘部分26b，装配部分26a安装在形成于固定支座25之间的槽中，凸缘部分26b从装配部分26a上面向外延伸，装配部分26a与凸缘部分26b是整体形成的。支承部件26还含有凹槽26c，其相对于上端表面有预定深度，在轴向上有预定间隔。另外，开/关机构30含有插入到凹槽26c中的将在后面进行描述的支撑柱35和安装在凸缘部分26b上端表面的O型圈27。

此外，轴21含有在其直径方向上穿过的连通通路22，因此，开/关机构30的固定部分相对于在其两侧连通通路对称地布置。连通通路22是沿轴向形成的以对应连通口4的长度。

每个开/关机构30含有用螺钉固定在轴21的固定支座25上的固定部件31和用于关闭形成在壳体2上的连通口4的片部件32，以及连接片部件32和固定部件31的波纹管34。开/关机构30还包含由轴21支承部分26支承的支撑柱35，其用于防止片部件32向轴21的位置移动；还包含用于将片部件32拉向轴21中心侧或将片部件32在径向上向外推离的弹簧36。

片部件32是由铝合金或不锈钢合金制成的细长的盘状部件，其置于开/关机构30的前端部。片部件32具有圆弧状的外圆周表面，确定其长度和宽度使得其外边缘部分延伸覆盖所述外壳2的连通口4的外周边缘部分。此外，铝可以被熔敷在片部件32的外圆周表面，O型圈33可以放置在片部件32的外圆周表面稍微向内的位置上。当片部件32关闭连通口4时，O型圈33用于关闭连通口4和外壳2内部空间15之间的连通，这样就防止了空气从其间的配合表面泄漏。

另一方面，在固定部件31的下表面设置有槽31a，这样就可将支承部件26的凸缘部分26b安装于在固定部件31和固定支座25间的中心侧的槽31a中。固定部件31在槽31a外部的加厚部分也设有许多螺钉孔31b。这些螺钉孔31b被放置在合适位置以与固定支座25上的螺钉孔25a相符。支承部件26的凸缘部分26b安装在固定部件31的槽31a中，因此当固定支座25和固定部件31层叠在一起时，螺钉孔25a和31b彼此重合，并通过螺钉37固定在轴21上。安装在支承部件26的凸缘部分26b上表面的O型圈27密封了凸缘部分26b和固定部件31之间的配合部分。

片部件32的下表面和固定部件31的上表面通过波纹管34而连通，如图5所示，其中波纹管34用于实现密封功能的部件，这样由波纹管34、片部件32、固定部件31和支承部件26就确定了密封空间40。波纹管34具有在片部件32和固定部件31之间的中间部分，该部分向外突出以提供一风琴状的结构，其根据片部件32的运动在支撑柱35的轴向上是可收缩的。

波纹管34可以与片部件32及(或)固定部件31一体地制成而成为焊接波纹管或注模波纹管，或是独立地成型且为可拆卸的。波纹管34可以由例如铝合金、不锈钢合金或钛合金制成。此外，为了形成密封空间40，这种波纹管34可以由碳氟化合物衬料或碳氟化合物橡胶代替。

支撑柱35沿其纵向以预定间隔安置于片部件32的后表面，使得其与片部件32垂直。支承部件26的安装位置与凹槽26c相对于轴21的位置一致。支撑柱35的后端插入到支承部件26的凹槽26c中，这相对于轴21的支承部件26来说是相反的。

围绕支撑柱35外圆周放置的弹簧36，其一端与片部件32的后表面连接，另一端与轴21的支承部件26连接。弹簧36以微大于其原长或微小于其原长的状态下连接片部件32和支承部件26。在弹簧36微大于其原长的状态下，片部件32被拉(吸引)向轴21的中心，另一方面，在弹簧36微小于其原长的状态下，片部件32在其径向上向外推出。

根据具有上述结构的开/关机构30，片部件32进行往复运动，使其在径向上从轴21向外伸出，其轨迹为相对轴21中心轴线对称的同一直线。

通过空气通路41，轴21的后端部，驱动机构50的侧面和轴21的外圆周表面相对于形成密封空间40的位置上连通。此外，位于关闭阀1外面的都未示出的压缩机和真空装置从驱动装置50的侧面连通到空气通路41。

图6示出了驱动装置50的细节。驱动装置50包括转子致动机构51和齿轮箱52。转子致动机构51用于使管体20围绕其中心轴线旋转，齿轮箱52安装在转子致动机构51和外壳2之间，从而将驱动力从驱动机构传送给管体20的轴21。转子致动机构51含有插入到齿轮箱52的转轴51a，并通过轴承53与齿轮54相连。在齿轮箱52内部，齿轮54与齿轮55交替啮合，齿轮55与齿轮54平行布置。轴21的底端部连接在齿轮55上，齿轮55连接在磁流体密封通孔型的接头56上。接头56形成有此前已提及的空气通路41，其与都未示出的压缩机和真空装置连接。接头56还包含形成于其内部的空气通路57，其用于在空气通路57中没有空气泄漏地使齿轮55旋转。

具有上述结构和特点的关闭阀1将按如下操作。

图7表示关闭阀1的打开状态，其中外壳2的两个连通口4都被打开，并相互连通，并且在该打开状态下，连通口4和轴21上的连通通路22形成为彼此对准。开/关机构30位于连通通路22的上方和下方。

首先，描述一个当每个开/关机构30的弹簧36在相对于原长伸长的状态下连接并且片部件32被吸引向轴21中心时的例子。

在图7所示的打开的状态下，密封空间40中的空气被吸入真空装置，片部件32通过弹簧36的拉力被吸引向轴21的中心。

图8表示了关闭阀1被关闭前的状态。在该状态下，管体20被转子致动机构51从图7所示状态旋转了90度。根据这个运动，片部件32运动到面对壳体2的连通口4的位置，连通通路22位于垂直方向，如图中所示的。为了从该状态关闭所述关闭阀1，真空装置的抽真空操作停止，压缩空气被压缩机供入到密封空间40。当压缩空气被压到密封空间40中时，其内部增压。然后，片部件32由图9所示中片部件32被吸引向轴21的中心的状态抵制弹簧36的推力作用在轴21径向向外伸出。根据这样的运动，如图10所示，片部件32关闭外壳2的连通口4。在此例中，安装在管部件上表面的O型圈33确保关断连通口4和外壳2内部的连通。当然，两个开/关机构30以同样的方式运行。

下面，当需要将关闭阀1从关闭状态再次切换到打开状态时，真空装置工作，以从密封空间40中释放压缩空气。然后，片部件32再次通过弹簧36的拉力被吸引向轴21的中心，于是就到如图8和9所示的状态。其后，通过反向旋转管体20，管体2的连通口4和轴21的连通通路22就如图7中排成直线。

此外，本实施例中，真空装置可以被去掉而只利用压缩机。在这种情况下，当需要将片部件32向外推出时，压缩机因此将压缩空气压入到密封空间40中，片部件32抵制弹簧36的推力作用向外伸出。另一方面，当需要吸引片部件32向轴21的中心侧运动时，压缩机停止运行，密封空间40中的压缩空气被释放，从而将密封空间40的内部压力减小到正常压力，因此片部件32在弹簧36的拉力作用下被吸引向轴21的中心侧。

与上面的操作相反，在以下情况下关闭阀1将按下面操作，即开/关机构30的弹簧36在相对原长受压缩的状态、片部件32在轴21径向上向外推出的情况。

在该操作下，在图7的状态下，密封空间40的内部通过真空装置的空气抽吸变成负压力状态。按照该负压力状态，片部件32抵制弹簧36的拉力作用被吸引向轴21的中心侧。

另一方面，如图8所示，在关闭阀1将要被关闭之前，管体20被转子致动机构51从图7的状态旋转90度。根据该运动，片部件32运动到面对外壳2的连通口4的位置，连通通路22指向图8所示的垂直方向。为了从该状态关闭所述关闭阀1，真空装置的抽真空操作停止，被压缩机压缩的空气进入密封空间40中。然后，如图9所示，片部件32从被吸引向轴21的中心侧的状态下抵制弹簧36的推力作用在径向向外伸出。根据该运动，如图10所示，片部件32使外壳2的连通口4关闭。在这个例子中，安装在管部件上表面的O型圈33确保关闭了连通口4和外壳2内部空间之间的连通。

下面，当需要从关闭阀1关闭状态切换到开启状态时，压缩机停止运行，真空装置再次在密封空间40中产生负压力。根据该操作，片部件32再次抵制弹簧36的拉力作用被吸引向轴21的中心侧，如图8和9中的状态。其后，通过旋转管体20，外壳2的连通口4和轴21的连通通路22到排成直线的状态，如图7所示。

此外，在此实施例中，压缩机可以被去掉，而只使用真空装置。在该情况下，当需要将片部件32向外推出时，真空装置停止运行，密封空间40中因此形成正常压力状态，这样，片部件32就只在弹簧36的推力作用下向外伸出。另一方面，当需要将片部件32吸引到轴21的中心侧时，真空装置就在密封空间40中产生负压力，从而片部件32抵制弹簧36的拉力作用被吸引向轴21的中心侧。

要指出的是，在上面和以下将要描述的实施例中，相对于轴(其中心轴)对称布置的机构、部件以及类似的，如开/关机构，其以基本相同的方式操作或是被操作以打开或关闭所述各自的连通口，即使只有这些机构或部件被单独描述。

图11和12示出了根据本发明另一实施例的关闭阀。

参照图11和12，关闭阀包含开/关机构135，其具有片部件124总是被作为推动部件的弹簧推动到关闭阀外壳2A中连通口4A的结构，另一方面，片部件124通过压缩空气的供入与连通口4A分离。

连通口4A均与关闭阀外壳2A的表面相对，从而连通外壳2A的内部和外部，外壳2A的内部形成一空间15A。

该实施例的关闭阀还含有管体100，其包括轴111和开/关机构135，轴111在空间15A的轴向延伸，开/关机构135相对于轴111的轴线对称布置。

在轴111中形成空气通路，用于压缩空气的流通。其包括沿轴111中心轴线的主通路150和从主通路150径向向外延伸的旁通路151。

另一方面，轴111的外圆周表面形成有用于开/关机构135的固定部分112，其相对于轴111的中心轴线在两边对称布置。此外，与轴111整体成型的固定部件113和通过固定部件113整体固定的支承部件114在固定部分112宽度方向距其中心部分以一定距离放置于固定部分112上。

O型圈140安置在固定部件113和轴111的固定部分之间的配合表面，在固定部件113的内侧边缘以防止通过旁通路151进入的压缩空气的泄漏。另一方面，支承部件114带有由固定部件113支承的基座和在基座115中心部分径向向外安置的柱体116。柱体116的中心部分形成有与轴111的旁通路151连通的空气通路152，从而使压缩空气通过，并且盘形端部凸缘122通过平头螺钉121安装在柱体116的上端部。

活塞117安装在柱体116和盘形端部凸缘122的外圆周上以使其在柱体116的轴向平滑的移动。活塞117是内部中空的圆柱体结构，其含有小直径套筒部分118和大直径套筒部分119。小直径套筒部分118围绕柱体116的外圆周安装，大直径套筒部分119围绕端部凸缘122的外圆周安装。空气间隙限定在活塞117的内圆周表面和柱体116的外圆周之间，以及在活塞117的内圆周表面和端部凸缘122的下表面之间，该空气间隙就是作为密封压缩空气的密封空间而被形成。此外，柱体116含有在轴位置上进入到空气间隙的空气通路152和连通部分153，使得其可以与空气间隙连通从而将压缩空气送入空气间隙中。

另一方面，活塞117的围绕端部凸缘122安装的大直径套筒部分119含有凸缘部分120，其在径向向外伸出活塞117。

通过连接件123为凸缘部分120设置片部件124，片部件124是与上述实施例中的相同的部件，通过与外壳2A中的连通口4A靠紧或分开从而打开和关闭连通口4A。该片部件124是圆弧形外形，其外缘部分稍微向连通口4A外突出，O型圈125安装在连通口4A的近外侧。当然，如前所述，片部件124的这种布置应用在每个连通口4A上。

片部件124通过连接件123固定在活塞117上，布置连接件123使得其在轴111边缘的轴向上延伸。连接件123具有下表面用来夹紧活塞117的凸缘部分120，并且具有固定所述片部件124下表面的上表面，从而每个片部件124都与活塞117整体连接。

此外，在每个开/关机构135中，两弹簧126和127安装在活塞117和支承部件114的基座115之间，以将活塞117在柱体116的轴线方向向外推出。这些弹簧包括大体同轴放置的大直径弹簧126和小直径弹簧127。另外，另一弹簧128安置在活塞117和端部凸缘122之间的空气间隙中，该弹簧128以微弱的力将活塞从端部凸缘122推向轴111侧，起到缓冲器的作用。

波纹管129也需要安装以连接活塞117和支承部件的基座115，并围绕开/关机构135的外圆周。波纹管129可以被向里或向外折叠，其上部连接在活塞117的外圆周表面，另一方面，其下部与支承部件114的基座115的上表面紧密接触。

此外，具有内部中心孔的盘状支撑板130设置在波纹管129的上部，该支撑板130安装在活塞117的外圆周表面上。O型圈143安装在活塞117和支撑板130之间的配合部分，从而防止空气从该配合部分泄漏。

该实施例中的管体100按如下方式运行，其中管体100的旋转运动基本与前面实施例中的相同，因此这里只描述开/关机构135的运转。

图11示出了开/关机构135的片部件124关闭外壳2A的连通口4A的情形。在此情形中，每个活塞117都被安装在活塞117和支承部件114基座115之间的弹簧126和127推向连通口(4A)侧，从而通过连接件123将提供给活塞117的片部件124推向连通口(4A)侧。此外，由于O型圈125被安装在片部件124的外圆周表面，因此O型圈125使连通口(4A)密封，因此其被紧紧关闭。

从上述状态，当压缩空气通过轴111的空气通路150、151，柱体116的空气通路152和连接部分153而被压入到空气间隙中时，除如图12所示的供入的压缩空气的增压力以抵抗弹簧126和127的推力外，空气间隙中安置的弹簧128的推力将活塞117推回到轴(111)侧。在此例中，由于活塞117通过连接件123连接在片部件124上，因此活塞被推回向轴(111)侧，而后，关闭连通口4A的片部件124移动以使其与外壳2A的内表面分开，从而开启被关闭的连通口4A。

然后，通过停止压缩空气的送入和将供入到空气间隙中的压缩空气吸出，两弹簧126和127再次把活塞117推向连通口4A侧。在此操作中，置于空气间隙中的弹簧128作为缓冲器，从而防止片部件124剧烈的碰撞外壳2A的内表面，因此保护安装在片部件124外圆周表面的O型圈125。

通过上述过程的重复，外壳2A两侧的连通口4A可以被打开和关闭。在这些过程中，波纹管相对于每个活塞117的往复运动而张开或收缩。而且，波纹管119的下部与支承部件114的基座115紧密地接触，另一方面，在波纹管119的上部，O型圈143安装在支撑板130与活塞117之间的配合表面。因此，可以确保和维持波纹管129内部的所期望的封闭和密封条件。

需要指出的是，本发明不限于上面所描述的实施例，在不偏离附加权利要求书的范围内，可以做许多其它的改变和修改。

例如，虽然在上面的实施例中，解释了容纳在外壳中的管体(阀体)的关闭阀，本发明不限于这些实施例，可以采用如下结构，即只将管体插入真空室从而打开或关闭真空室中的开口。在这样的例子中，最好在真空室内设置壳体部分。

Claims (3)

1.放置于真空室开口之间并由压缩空气打开和关断的关闭阀，包括：

外壳，该外壳包括：各自与真空室开口相对的壁部，以及各自具有细长的连通口的壁部；

安置在外壳内部的阀体，该阀体具有轴，该轴围绕阀体的中心轴转动；

驱动阀体以使所述轴旋转的驱动单元；和

设置在所述轴上的用于开启和关闭真空室的每个开口并由空气操纵的开/关机构，其中，在所述外壳内形成圆柱形空间，所述轴容纳在该空间内以便在其中轴向延伸，所述轴经由一间隙与所述外壳的壁面分隔开地设置，该轴具有在其直径方向上穿透的连通通路，在该连通通路与外壳的每个连通口相对时，该连通通路与每个细长的连通口连通，所述开/关机构设置在所述连通通路的两侧并且沿着所述轴的轴向延伸，所述开/关机构包括：安装在轴上的细长的片部件，其在轴的径向上向外伸出从而关闭每个开口；推动部件，其在轴的径向上向里推动片部件，所述片部件在与每个口抵靠的位置具有圆弧状的外圆周表面，片部件的下表面和固定部件的上表面通过波纹管连通，以便随着片部件的移动而收缩，并在所述片部件和所述轴之间形成密封空间，所述片部件在轴和外壳的壁面之间沿着轴的径向可移动，所述开/关机构包括多个支撑柱和支撑部件，该支撑柱沿着轴的轴向以特定间隔设置，该支撑柱沿着轴的径向延伸以支撑在所述空间内侧的片部件，所述支撑部件设置在轴上，用于在轴的径向上可移动地支撑所述支撑柱，且所述轴形成有与所述密封空间连通的空气通路。

2.根据权利要求1的关闭阀，其中所述推动部件是弹簧，该弹簧设置成围绕波纹管内的支撑柱。

3.根据权利要求1的关闭阀，其中所述波纹管与片部件及固定部件一体地制成。

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