JP5904647B2 - 真空用ゲートバルブ - Google Patents

Description

本発明は、例えば、半導体装置の処理チャンバに使用されて各種処理チャンバ内を真空にするための真空用ゲートバルブの改良に関し、特に、誤動作等を防止して安全を充分に確保すると共に処理チャンバへの影響を回避しつつ、清掃やＯリングその他の部品の交換等のメンテナンスを容易に行うことに関するものである。

半導体装置の製造工程においては、エッチング装置やＣＶＤ（化学気相蒸着）による薄膜処理、ＰＶＤ等の処理を行う各種処理チャンバ内を真空状態とするために、処理チャンバと吸引ポンプとの間にゲートバルブが使用される。この真空用ゲートバルブとしては、近年、スペース的に有利で、比較的簡易に製造することができることから、ケーシング内においてバルブプレートを横方向に揺動させる横旋回式のゲートバルブが多く採用されている。

この横旋回式の真空用ゲートバルブにおいては、ケーシング内におけるバルブプレートの円滑な揺動を確保するため、バルブプレートとケーシングとの間に若干の間隙が設定されている。従って、バルブプレートを開口を塞ぐ位置に移動させた後、その間隙を解消して密閉状態を確保するため、バルブプレートをケーシングに密着させることが必要となる。

この場合、圧力差によるバルブプレートの変位や変形を防止して、密閉状態を確実に保持すると共にバルブプレートの損傷を抑制するため、本発明者等は、バルブプレートが開口に対し全閉位置にあるときにバルブプレートをケーシングに密着させる位置調整手段を更に備え、この位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体と、この回転体の回転により回転体に対して相対的に昇降する昇降体とから成り、この昇降体はバルブプレートに接してバルブプレートの位置を調整することを特徴とする真空用ゲートバルブを提案した（特許文献１、２参照）。

このような真空用ゲートバルブにおいては、飛散したパーティクルの除去等の清掃や、Ｏリング等の消耗部品の交換等のメンテナンス作業を行う場合には、真空用ゲートバルブを処理チャンバ等から取り外した上で、更にケーシングを分解して、内部の回転体や昇降体等を取り出す必要があった。これでは、非常に手間を要すると共に、半導体装置の製造工程における作業効率が低下する問題があった。特に、Ｏリング等の消耗品は、激しい摩擦に曝されるため、場合によっては１回の使用等で非常に短期間で交換をすることが必要となることもあるため、これらのメンテナンスは、非常に簡易に実現できることが望ましい。

この場合、処理チャンバ等から取り外さずに、必要な構成部品に容易にアクセスして取り外すことができるゲートバルブも提案されている。具体的には、バルブプレートに圧接するシールリング等の必要な構成部品に凹部を設け、シールリングをこの凹部の中で拡張する頭部を有するボルトからの係合を解除して簡易に取り外すものである（例えば、特許文献３参照）。しかし、メンテナンスのために取り外しが容易であるが故に、一方で、作動中にシールリングが不必要に回転してボルトから誤って外れたりする等の誤動作が生ずるおそれがある。特に、この従来技術のように、Ｏリングがシールリングの一側面だけに取り付けられ、両側面において他の構成部品と圧接していない場合には、凹部がボルトと頭部から外れただけで簡単に本来の位置から変位しやすく、その傾向が高まるおそれがある。また、この従来技術では、これらのシールリングやボルト等を流体圧力により移動させているため、これらのボルト付近で発生した摩擦によるパーティクル等が真空側へ流入して半導体装置の製造に悪影響を与えるおそれもある。

特許第４６３０９９４号公報 特開２０１１−１１７４８８号公報 特開平９−１７８０００号公報

本発明が解決しようとする課題は、上記の問題点に鑑み、誤動作等を防止して安全を充分に確保すると共に処理チャンバへの影響を回避しつつ、清掃やＯリングその他の部品の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる真空用ゲートバルブを提供することにある。

本発明は、上記の課題を解決するための第１の手段として、開口を有するケーシングと、このケーシング内を揺動して開口を開閉するバルブプレートと、このバルブプレートが開口に対し全閉位置にあるときにバルブプレートをケーシングに密着させる位置調整手段を備えた真空用ゲートバルブにおいて、位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体と、この回転体の回転により回転体に対して相対的に昇降しバルブプレートに接してバルブプレートの位置を調整する昇降体とから成り、昇降体は、回転体に連結される第１のリング状本体と、この第１のリング状本体に連結される第２のリング状本体と、この第２のリング状本体を第１のリング状本体に着脱自在に連結する着脱手段とを備え、着脱手段は、第１又は第２のリング状本体のいずれか一方に形成された係合部及び非係合部と、他方の第１又は第２のリング状本体に形成され係合部に係合する突起又は溝から成り、第２のリング状本体は、係合部にて第１のリング状本体に連結される一方、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせすることにより第１のリング状本体への連結が解除されてケーシングから取り出すことができ、かつ、第２のリング状本体は、駆動源の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ変位が許容されて突起又は溝を非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第２の手段として、上記第１の解決手段において、駆動源の駆動を制御する駆動制御手段を更に備え、この駆動制御手段は、駆動源が必要な場合以外には第２のリング状本体を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように駆動源の駆動を規制することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第３の手段として、上記第１又は第２のいずれかの解決手段において、第２のリング状本体の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有し、この移動解除手段は、ケーシングのうち、真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第４の手段として、上記第１乃至第３のいずれかの解決手段において、回転体及び昇降体は、ケーシングの開口周縁に形成された収納溝内に収納され、昇降体の第１及び第２のリング状本体は両側面に収納溝の内周面に圧接するＯリングを有し、第２のリング状本体は、第２のリング状本体に設けられたＯリングが収納溝から脱する高さ位置にまで移動して収納溝との間の摩擦抵抗から解放された場合に、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第５の手段として、上記第１乃至第４のいずれかの解決手段において、昇降体の第２のリング状本体は、真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部から第２のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第６の手段として、上記第１乃至第５のいずれかの解決手段において、非係合部には、非係合部及び係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、第２のリング状本体はスイッチの付勢力に抗してスイッチを押し込みながら第１のリング状本体に装着されることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第７の手段として、上記第１乃至第６のいずれかの解決手段において、位置調整手段は、バルブプレートのケーシングへの密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレートの変位を許容しない一方、バルブプレートのケーシングへの密着時を除いてはバルブプレートの揺動を許容することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第８の手段として、上記第１乃至第７のいずれかの解決手段において、昇降体はバルブプレートに接してバルブプレートの位置を調整し、回転体は、環状レールと環状レールから突出するピンを有し、昇降体は、回転体の環状レールに係合して環状レールに沿って回転する第１のリング状本体と第１のリング状本体に形成され回転体のピンが挿入される長孔を有し、長孔は始端と終端を有し少なくとも一部が回転体に対して傾斜して形成され、昇降体は、回転体のピンが回転体の回転により昇降体の第１のリング状本体に形成された傾斜した長孔内を移動することにより回転体に対して昇降することを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第９の手段として、上記第８の解決手段において、昇降体の第１のリング状本体に形成された長孔は、始端と終端において水平に形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第１０の手段として、上記第８又は第９のいずれかの解決手段において、昇降体に形成された長孔は、始端と終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明は、上記の課題を解決するための第１１の手段として、上記第８乃至第１０のいずれかの解決手段において、昇降体は、長孔に連続して形成され、第２のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように回転体のピンの更なる移動を許容する延長孔を有していることを特徴とする真空用ゲートバルブを提供するものである。

本発明によれば、上記のように、第２のリング状本体は、係合部にて第１のリング状本体に連結されて、通常の作動時においては、第１のリング状本体と共に昇降体としてバルブプレートの位置を調整するために確実に機能することができ、一方で、変位により突起又は溝を非係合部に位置合わせすることにより第１のリング状本体への連結が解除されてケーシングから取り出すことができるため、メンテナンス時においては、真空用ゲートバルブ自体を処理チャンバから取り外すことなく、第２のリング状本体のみをケーシングから取り出してＯリングの交換作業や清掃作業等を簡易に行うことができ、しかも、この非係合部への位置合わせは、駆動源の駆動により第２のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させられたときにのみ変位が許容されて可能となるため、第２のリング状本体が、例えば作動中等の予期しない不必要な時に誤って第１のリング状本体から外れることがなく、誤作動を防止して安全性を確保することができる実益がある。

本発明によれば、上記のように、例えば、プログラミングによって、モーター等の駆動源の駆動を制御する駆動制御手段により、駆動源が必要な場合以外には第２のリング状本体を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように規制しているため、作動中等の予期しない不必要な時に誤って第１のリング状本体から外れることがなく、誤作動を防止して安全性をより確実に確保することができる実益がある。

本発明によれば、上記のように、第２のリング状本体の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有するため、作業者が、認識しながら、ボタン又はスイッチを操作してメンテナンスモードに切り替えない限り、第２のリング状本体が変位可能な位置にまで移動することがなく誤作動を確実に防止することができると共に、この移動解除手段は、ケーシングのうち、真空用ゲートバルブが設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられているため、処理チャンバ等の内部にアクセスしたり、真空用ゲートバルブを処理チャンバ等から取り外すことなく、メンテナンス作業を開始することができる実益がある。

本発明によれば、上記のように、回転体及び昇降体は、ケーシングの開口周縁に形成された収納溝内に収納されているため、ケーシングの大きさや形状に大きな変更を加えることなく、省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができると共に、昇降体の第１及び第２のリング状本体は、両側面に収納溝の内周面に圧接するＯリングを有するため、収納溝内に圧入され、第２のリング状本体は駆動源により強制的に移動させられない限りは容易に周方向に回転することがないので、Ｏリングが収納溝から脱する高さ位置にまで移動させられない限り、突起又は溝を非係合部に位置合わせすることができず、第２のリング状本体が第１のリング状本体から簡単に外れてしまうことがないと共に、第１のリング状本体の両側面に取り付けられたＯリングが収納溝内部を気密に保持しているため、回転体の摺動等により生じたパーティクル等が真空側へ流入して半導体装置の製造等に悪影響を与えることを抑制することができる実益がある。

本発明によれば、上記のように、昇降体の第２のリング状本体は、真空用ゲートバルブが設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部から第２のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えているため、処理チャンバ等の内部にアクセスすることなく、外部から第２のリング状本体を回転させて突起又は溝部を非係合部に位置合わせすることができ、第２のリング状本体を容易に取り外して、メンテナンス作業を簡易に行うことができる実益がある。

本発明によれば、上記のように、非係合部には、非係合部及び係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、第２のリング状本体はスイッチの付勢力に抗してスイッチを押し込みながら第１のリング状本体に装着されるため、第２のリング状本体が確実に着脱されたかを装着感により確認することができ、着脱作業を誤らせることを抑制することができる実益がある。

本発明の真空用ゲートバルブの開位置における概略断面図である。 本発明の真空用ゲートバルブの概略斜視図である。 本発明の真空用ゲートバルブの底面図である。 本発明の真空用ゲートバルブにおいて第２のリング状本体を着脱する状態を示す斜視図である。 本発明に用いられる位置調整手段の斜視図である。 本発明に用いられる回転体と昇降体のバルブプレートが開位置にあるときの斜視図である。 本発明に用いられる回転体と昇降体のバルブプレートが閉位置にあるときの斜視図である。 本発明に用いられる昇降体の第２のリング状本体に設けられたＯリングが収納溝から脱する高さ位置にまで移動した状態における長孔とピンの状態を示す斜視図である。 本発明に用いられる回転体と昇降体のバルブプレートが開位置にあるときの図３におけるＡ−Ａ線断面図である。 本発明に用いられる回転体と昇降体のバルブプレートが閉位置にあるときの図３におけるＡ−Ａ線断面図である。 第２のリング状本体が駆動源の駆動により周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときの本発明に用いられる回転体と昇降体の図３におけるＡ−Ａ線断面図である。 第２のリング状本体が第１のリング状本体との連結が解除された状態における発明に用いられる回転体と昇降体の図３におけるＡ−Ａ線断面図である。 本発明に用いられる昇降体の第２のリング状本体の平面図である。 図１４は、本発明に用いられる昇降体の第２のリング状本体の断面図を示し、同図（Ａ）は係合部における断面図（図１２におけるＢ−Ｂ線断面図）、同図（Ｂ）は非係合部における断面図（図１２におけるＣ−Ｃ線断面図）である。 本発明に用いられる昇降体の第２のリング状本体の一部破断斜視図である。 本発明に用いられる昇降体の第１のリング状本体の一部破断斜視図である。

本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明すると、図１乃至図３は本発明の真空用ゲートバルブ１０を示し、この真空用ゲートバルブ１０は、例えば、図示しない半導体装置の製造工程で使用される処理チャンバと、この処理チャンバ内を真空とするための図示しない吸引ポンプとの間に設置され、処理チャンバ内を密閉して真空に保持するために使用される。

この本発明の真空用ゲートバルブ１０は、図１乃至図３に示すように、開口１２ａを有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口１２ａを開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６と、バルブプレート１４が開口１２ａに対し全閉位置にあるときにバルブプレート１４をケーシング１２に密着させて処理チャンバ内を真空に保持する位置調整手段１８とを備えている。

（１．バルブプレート）
バルブプレート１４は、図９に示すように、位置調整手段１８によりケーシング１２との密着状態から解放されているときは、ケーシング１２との間にギャップが生じるように設定されている。これにより、バルブプレート１４が、揺動時にケーシング１２等に接触したり、また、その結果、破損等することを防止して、円滑な揺動を確保することができる。即ち、位置調整手段１８は、このバルブプレート１４の自由状態での位置設定に抗して、バルブプレート１４をケーシング１２に密着させるものである。

（２．位置調整手段）
本発明においては、この位置調整手段１８は、図１及び図２、図５乃至図１２に示すように、バルブプレート１４のケーシング１２への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート１４の変位を許容しない構造となっている。従って、バルブプレート１４が、大気圧と真空との臨界において圧力による負荷を受けても、ケーシング１２から離反したり、一方向に反る等してケーシング１２との間にギャップが生じることがないため、密閉状態を確実に保持することができる。

具体的には、この位置調整手段１８は、特に図２乃至図１２に示すように、駆動源２０と、この駆動源２０により回転する回転体２２と、この回転体２２の回転により回転体２２に対して相対的に昇降する昇降体２４とから成っている。

これらの回転体２２及び昇降体２４は、図２及び図５乃至図１２に特に示すように、ケーシング１２の開口１２ａ周縁に形成された収納溝１３内に収納されている。従って、図２に示すように、ケーシング１２の大きさや形状に従来の設計から大きな変更を加えることなく、省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができる。一方、駆動源２０は、図２に示すように、ケーシング１２の外側においてケーシング１２に取り付けられ、後述する動力伝達手段としての駆動ギア３０及び回転ギア２８により、ケーシング１２内部の回転体２２に動力を伝達する。このため、駆動源２０の修理、点検等のメンテナンスや交換を容易に行うことができる。

また、このケーシング１２は、特に図１に示すように、ケーシング本体１２Ａと、このケーシング本体１２Ａに、ボルト等により、着脱自在に取り付けられるカバー１２Ｂとから成っている。従って、ケーシング１２は、カバー１２Ｂの着脱により、開閉自在に形成されている。回転体２２及び昇降体２４は、図１に示すように、この開閉自在なケーシング１２によりケーシング１２内に着脱自在に収納されている。このため、回転体２２及び昇降体２４の全体をケーシング１２から取り出すこともでき、大掛かりな点検や保守、修理等のメンテナンス、また、交換を容易に行うことができる。

このケーシング１２は、また、図１乃至図３に示すように、開閉自在なボンネット部１２Ｃが、真空用ゲートバルブ１０が設置されるべき図示しない処理チャンバ等の設置対象の外部に位置するように位置決めして、設置対象に取り付けられる。従って、ボンネット部１２Ｃを開閉することにより、真空用ゲートバルブ１０を処理チャンバの設置対象から取り外すことなく、真空用ゲートバルブ１０の内部にアクセスすることができる。

（３．駆動源）
駆動源２０としては、図２乃至図６に示すように、バルブプレート１４の揺動のために設置されたモーター１６とは別に、密閉用モーター２６を使用することが望ましい。バネ等の使用状況に左右される駆動源ではなく、駆動の要否を直接的に制御することができる駆動源とすることで、バルブプレート１４の位置を適切に調整するためである。

この場合、この駆動源２０である密閉用モーター２６は、後述する回転体２２及び昇降体２４の動作により、昇降体２４がバルブプレート１４をケーシング１２に密着させる位置にあるときは、その位置から昇降体２４が変位しないように制止して、昇降体２４の昇降を規制している。即ち、昇降体２４は、密閉用モーター２６が作動しない限り変位することはなく、密閉用モーター２６が逆回転しない限り、密閉位置から開放位置へ移動せずに、密閉状態を確実に保持することができる。

また、この駆動源２０である密閉用モーター２６は、図１１及び図１２に示すように、昇降体２４（より具体的には後述する第２のリング状本体２４Ａ２）がバルブプレート１４をケーシング１２に密着させることができる位置（図９及び図１０参照）よりも更にケーシング１２側へ移動するまで駆動することができるように設定されている。即ち、通常は、昇降体２４やバルブプレート１４、ケーシング１２の破損等を防止するため、昇降体２４がバルブプレート１４をケーシング１２に密着させることができる位置で止まるよう設定されるところ、本発明では、図１１及び図１２に示すように、特に、バルブプレート１４よりもケーシング１２側へ強制的に移動させることができるように設定されている。

（４．回転体）
回転体２２は、図２及び図５乃至図１２に示すように、環状レール２２Ａと、この環状レール２２Ａから突出する複数のピン２２Ｂを有している。この回転体２２の環状レール２２Ａの側面には、図２及び図５乃至図７に示すように、ギア溝２２ａが形成されている。回転体２２は、このギア溝２２ａに噛み合う回転ギア２８と、この回転ギア２８に噛み合い密閉用モーター２６の回転軸に取り付けられる駆動ギア３０により、密閉用モーター２６の駆動力が伝達されて回転する。なお、このギア溝２２ａは、図３に示すように、回転体２２を回転させることが必要な範囲（昇降体２４の昇降幅）において形成すれば足りるが、本発明においては、上述したように、昇降体２４がバルブプレート１４をケーシング１２に密着させることができる位置よりも更にケーシング１２側の位置（図１１及び図１２参照）まで移動することができるように、設定する必要がある。

環状レール２２Ａは、図５乃至図１２に示すように、内部に溝を有する断面逆凹字状の形状を有し、その内壁面から内側へ向かって突出するように複数のピン２２Ｂが設置されている。従って、このピン２２Ｂは環状レール２２Ａと共に一体的に回転する。なお、このピン２２Ｂは、強度を確保するため、断面逆凹字状の環状レール２２の両壁面にわたって設置することが望ましいが、その場合でも、昇降体２４の組付けのために、環状レール２４Ａに着脱自在に取り付けることが望ましい。

また、この環状レール２２Ａの上面には、図５乃至図７に示すように、位置調整手段１８である回転体２２及び昇降体２４をケーシング１２内に保持するためのスクリュー３２が貫通すると共にこのスクリュー３２に沿って回転体２２が回転することを許容する湾曲長孔２２ｂが形成されている。このため、複数のスクリュー３２は、環状の回転体２２の輪郭に沿って所定の間隔を開けて配置される。

（５．昇降体）
一方、昇降体２４は、図５乃至図１２に示すように、回転体２２の環状レール２２Ａに係合してこの環状レール２２Ａに沿って回転するリング状本体２４Ａと、このリング状本体２４Ａに形成され回転体２２のピン２２Ｂが挿入される長孔２４ａを有している。このリング状本体２４Ａは、断面が略凸状の形状を有し、上方に延びる壁面部が回転体２２の環状レール２２Ａ内部の溝に挿入されて回転体２２と機構的に係合する。本発明においては、このリング状本体２４Ａは、図９乃至図１６に示すように、回転体２２に連結される第１のリング状本体２４Ａ１と、この第１のリング状本体２４Ａ１に連結される第２のリング状本体２４Ａ２とから成っている。

長孔２４ａは、図示の実施の形態では、図１６に示すように、第１のリング状本体２４Ａ１に形成されている。なお、長孔２４ａは、回転体２２のピン２２Ｂに応じた個数に設定する。また、この 長孔２４ａは、図６乃至図８及び図１５に特に示すように、少なくとも一部が回転体２２に対して傾斜して形成されている。このため、昇降体２４は、回転体２２のピン２２Ｂが回転体２２の回転によりこの昇降体２４の傾斜した長孔２４ａ内を移動することにより、回転体２２に対して相対的に昇降することができる。

より具体的には、図６及び図９に示すように、バルブプレート１４をケーシング１２に密着させない開放時においては、回転体２２のピン２２Ｂが長孔２４ａの最下位にある始端に位置し、回転体２２と昇降体２４とが最も近接した状態にある。この位置においては、図９に示すように、昇降体２４はバルブプレート１４から離反し、バルブプレート１４の揺動を許容することができる。

一方、この図６及び図９に示す開位置の状態から、回転体２２が、長孔２４ａの傾斜の上昇方向（図６の左方向）へ回転すると、昇降体２４は、図７及び図１０に示すように、長孔２４ａ内を移動するピン２２Ｂにより押し下げられ、この長孔２４ａの傾斜に沿って次第に下降し、最終的に長孔２４ａの最上位にある終端に達することにより、バルブプレート１４に接してバルブプレート１４をケーシング１２に押し付け、密閉状態とすることができる。

この場合、この長孔２４ａは、その始端と終端において、図６及び図７に示すように、水平に形成され、昇降体２４に働く上下方向の力を受け止めることができるため、全開又は密閉状態にある全閉状態において、昇降体２４が密着するバルブプレート１４に圧力差による負荷が加わっても、回転体２２のピン２２Ｂが昇降体２４の長孔２４ａ内で変位することがない。このため、回転体２２のピン２２Ｂを所定の位置に確実に保持することができ、駆動源２０である密閉用モーター２６の駆動停止と相俟って、密閉状態において、バルブプレート１４がケーシング１２から離反等することがなく、弾性部材を介することなく機構的にバルブプレート１４を所定の位置に保持して、密閉状態を確保することができる。

このように、昇降体２４は、回転体２２に係合して回転体２２の回転により昇降するため、図２乃至図７に示すように、幅方向に不必要なスペースを要することなく、上下方向からバルブプレート１４をケーシング１２に密着又は開放することができ、バネを用いた場合と同様の省スペース化を図りつつ密閉状態を保持することができる。

また、昇降体２４のリング状本体２４Ａは、環状であるため、円板状のバルブプレート１４の輪郭に沿って、バルブプレート１４の全周にわたってバルブプレート１４に接して、バルブプレート１４をケーシング１２に密着させることができ、圧力差による負荷を受けても、バルブプレート１４が、例えば、先端方向等の一方向にのみ反って、バルブプレート１４とケーシング１２との間に間隙が生ずることがなく、密閉状態を確実に保持することもできる。

また、この昇降体２４に形成された長孔２４ａは、図６及び図７に示すように、水平に形成された始端と終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成することが望ましい。これにより、バルブプレート１４が圧力による負荷を受けても、特に、初動や終動の速度を規制して急激にバルブプレート１４が変位することを防止することができ、バルブプレート１４とケーシング１２との激しい衝突を回避して、バルブプレート１４やケーシング１２の損傷を抑制することができる。

一方、駆動源２０である密閉用モーター２６は、水平に形成された始端と終端を除いた位置における回転体２２のピン２２Ｂの位置を制御することもできる。具体的には、駆動源２０である密閉用モーター２６は、回転体２２のピン２２Ｂを昇降体２４の傾斜した長孔２４ａ内の所定の位置に制止させる等して制御することができ、これにより、バルブプレート１４とケーシング１２との間のギャップを調整し、開口１２ａに連通する処理室内の圧力を制御することもできる。これにより、バルブプレート１４は、単なる開閉のためのゲート弁としてのみならず、同時に圧力調整弁としての機能をも発揮することができる。

また、本発明における昇降体２４は、特に、図６乃至図８に示すように、この長孔２４ａに連続して形成され、第２のリング状本体２４Ａ２が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように、回転体２２のピン２２Ｂの更なる移動を許容する延長孔２５を有している。

この延長孔２５は、図６乃至図８に示すように、長孔２４ａの最上位にある終端から更に連続して延びるようにして形成され、また、長孔２４ａよりも急な傾斜に形成されている。従って、図７及び図１０に示す閉位置の状態から、動源２０である密閉用モーター２６の駆動により、回転体２２が、更に傾斜の上昇方向(図７及び図８の左方向）へ回転すると、ピン２２Ｂが延長孔２５内へ移行して、昇降体２４が、図８及び図１１に示すように、ピン２２Ｂにより更に押し下げられ、この延長孔２５の傾斜に沿って更に下降し、図１１に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から解放される位置にまで移動することができる。

（６．着脱手段）
また、昇降体２４は、本発明においては、更に、この第２のリング状本体２４Ａ２を第１のリング状本体２４Ａ１に着脱自在に連結する着脱手段３４をも備えている。この着脱手段３４は、図示の実施の形態では、図９乃至図１６に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２に形成された係合部３６及び非係合部３８と、第１のリング状本体２４Ａ１に形成され、第２のリング状本体２４Ａ２の係合部３６に係合する突起４０から成っている。

これらの係合部３６及び非係合部３８は、特に、図１３及び図１４、図１５に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２の上面に溝状に形成され、係合部３６については、特に図９乃至図１１及び図１４（Ａ）に示すように、上部開口の幅が底面の幅よりも狭い断面略台形状の溝として形成され、一方、非係合部３８については、特に図１２及び図１４（Ｂ）に示すように、上部開口の幅が底面と等しいか又は底面の幅よりも大きい幅を有する断面略四角形状の溝として形成され、かつ、これらの係合部３６及び非係合部３８が、第２のリング状本体２４Ａ２のリング状の輪郭に沿って、ほぼ同様の長さで連続して交互に形成されている。一方、第１のリング状本体２４Ａ１に形成された突起４０は、図９乃至図１２に示すように、係合部３６に対応する形状に形成されて、かつ、少なくとも非係合部３８に突起４０の全体が入る長さ（第１のリング状本体２４Ａ１のリング状の輪郭に沿った円弧の長さ）に形成される。

従って、第２のリング状本体２４Ａ２は、第１のリング状本体２４Ａ１の突起２４を非係合部３８内に挿入した上で、第２のリング状本体２４Ａ２を回転させて、図９乃至図１１に示すように、突起４０に係合部３６を係合させることにより、この係合部３６にて第１のリング状本体２４Ａ１に連結される。

一方、第２のリング状本体２４Ａ２は、第２のリング状本体２４Ａ２を回転させて、図１２に示すように、突起４０を非係合部３８に位置合わせすることにより、第１のリング状本体２４Ａ１への連結が解除されて第１のリング状本体２４Ａ１から分離することができる。

但し、この、第２のリング状本体２４Ａ２は、図１２に示すように、駆動源２０である密閉用モーター２６の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ、第１のリング状部材２４Ａ１に対して相対的に回転して変位することが許容されて、突起４０を非係合部３８に位置合わせすることができる。

具体的には、以下の通りである。即ち、まず、昇降体２４の第１及び第２のリング状本体２４Ａ１、２４Ａ２は、図９乃至図１２に示すように、各々、両側面に収納溝１３の内周面に圧接するＯリング４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂを有しており、これらのＯリング４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂを介して収納溝１３内に圧入されている。

従って、これらのＯリング４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂが、図９及び図１０に示すように、収納溝１３内に圧着している状態においては、昇降体２４は、リング状本体２４の輪郭に沿った周方向には回転することができず、第２のリング状本体２４Ａ２の変位（回転）により突起４０を非係合部３８に位置合わせすることができず、又は、何らかの予期せぬ強制力により無理矢理突起４０が非係合部３８に位置合わせされたとしても圧入されているがために、第２のリング状本体２４Ａ２が第１のリング状本体２４Ａ１から簡単に外れてしまうることがない。

一方、第２のリング状本体２４Ａ２は、図１１に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２に設けられたＯリング４２Ａ、４２Ｂが、収納溝１３から脱する高さ位置にまで移動して、収納溝１３との間の摩擦抵抗から解放された場合に、図１２に示すように、回転して変位により突起４０を非係合部３８に位置合わせして、ケーシング１２から取り出すことができる。即ち、第２のリング状本体２４Ａ２は、駆動源２０である密閉用モーター２６により、強制的に所定の高さ位置にまで移動させられない限りは、第１のリング状本体２４Ａ１から取り外すことができない。

また、この場合、第１のリング状本体２４Ａ１は、図９乃至図１２に示すように、その両側面に取り付けられたＯリング４１Ａ、４１Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置までには移動しない。このため、少なくとも第１のリング状本体２４Ａ１よりも回転体２２側（図９乃至図１２の上方側）の収納溝１３の内部は、昇降体２４の高さ位置を問わず、この第１のリング状本体２４Ａ１のＯリングＯリング４１Ａ、４１Ｂにより、常に気密に保持されているため、回転体２２の摺動等により生じたパーティクル等が真空側へ流入して半導体装置の製造等に悪影響を与えることを抑制することもできる。なお、これらのＯリング４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂは、図９乃至図１２に示すように、リング状本体２４の両側面に形成された溝内に圧入して設置されている。

なお、この昇降体２４の昇降距離は、長孔２４ａの最上位と最高位との標高差により決定され、バルブプレート１４のケーシング１２への密着動作については、一般的には、その差を約２．５ｍｍ程度に設定すれば、バルブプレート１４を確実にケーシング１２に密着させることができる。但し、本発明においては、上述したように、第２のリング状本体２４Ａ２に設けられたＯリング４２Ａ、４２Ｂが、収納溝１３から脱する高さ位置に移動するまで、第２のリング状本体２４Ａ２を移動（下降）させる必要があるため、この移動分、即ち、延長孔２５による昇降幅として、更に、１．５ｍｍの幅を加え、全体としての昇降距離を４．０ｍｍ程度に設定することが望ましい。

また、昇降体２４の第２のリング状本体２４Ａ２は、図３、図４及び図１３、図１５に示すように、真空用ゲートバルブ１０が設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部から、第２のリング状本体２４Ａ２を変位させることができるレバー４４を更に備えている。このレバー４４は、特に図３に示すように、ケーシング１２のうち、処理チャンバ等の外部側に位置するボンネット部１２Ｃ内にまで延びるように第２のリング状本体２４Ａ２と一体に形成されている。

従って、このボンネット部１２Ｃを開けるだけでレバー４４を操作することができ、第２のリング状本体２４Ａ２が、図１１に示す第２のリング本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置にある場合において、処理チャンバの外部からボンネット部１２Ｃを開けて、レバー４４を操作することにより、第２のリング状本体２４Ａ２を回転させて突起４０を非係合部３８に位置合わせすることができると共に、レバー４４を押し下げることにより、図１２に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２を第１のリング状本体２４Ａ１から分離して、ケーシング１２から取り出すことができる。このため、真空用ゲートバルブ１０を処理チャンバ等から着脱したり、処理チャンバ等の内部にアクセスすることなく、第２のリング状本体２４Ａ２を容易に取り外して、メンテナンス作業を簡易に行うことができる。

なお、第２のリング状本体２４Ａ２の非係合部３８には、図１４（Ｂ）及び図１５に示すように、第１のリング状本体２４Ａ１に向けて付勢されたスイッチ４６が設けられる。具体的には、このスイッチ４６は、図１４（Ｂ）に示すように、非係合部３８の底面に設けられた溝内に配置され、非係合部３８の底面に臨むように配置されるボールベアリング４６Ａと、このボールベアリング４６Ａを付勢するスプリング４６Ｂと、このスプリング４６Ｂによる付勢を抑制してボールベアリング４６Ａの一部のみが非係合部３８内に表出するように規制するストッパ４６Ｃとから成っている。

第２のリング状本体２４Ａ２は、非係合部３８において、このスイッチ４６のスプリング４６Ｂによる付勢力に抗してスイッチ４６を押し込みながら、第１のリング状部材２４Ａ１の突起４０を挿入することにより、第１のリング状本体２４Ａ１に装着される一方、非係合部３８において第１のリング状本体２４Ａ１との連結を解除するため係合部３６から非係合部３８に位置合わせされた場合には、突起４０を非係合部３８から押し出すように作用して、連結の解除を補助する。

この場合、作業者には、突起４０の非係合部３８への挿入時にはスプリング４６Ｂに抗する押し込み感が、逆に、連結の解除時には、ボールベアリング４６Ａがストッパ４６Ｃに受け止められる際の金属音及び押し出し感が伝わり、第２のリング状本体２４Ａ２が確実に着脱されたかを装着感により確認することができ、着脱作業を誤らせることを抑制することができる。

（７．駆動制御手段）
更に、本発明の真空用ゲートバルブ１０は、上述したように、第２のリング状本体２４Ａ２を第２のリング本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置まで移動させる駆動源２０である密閉用モーター２６の駆動を制御する図示しない駆動制御手段をも備えている。

この駆動制御手段は、駆動源２０である密閉用モーター２６が、必要な場合以外には第２のリング状本体２４Ａ２を周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置（第２のリング本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置）にまで移動させないように駆動源２０の駆動を規制するものである。

具体的には、この駆動制御手段は、各部の動作を制御する図示しない中央処理装置において、上記の規制をプログラミングすることにより実現することができる。これにより、作動中等の予期しない不必要な時に誤って第１のリング状本体２４Ａ１から外れることがなく、誤作動を防止して安全性をより確実に確保することができる。

（８．移動解除手段）
加えて、本発明の真空用ゲートバルブ１０は、第２のリング状本体２４Ａ２の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置（第２のリング本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置）への移動を許容するボタン又はスイッチから成る図示しない移動解除手段を有する。

この移動解除手段は、真空用ゲートバルブ１０の制御回路を、いわばメンテナンスモードに切り替えるためのもので、この移動解除手段であるボタン又はスイッチを押さない限り、駆動源２０である密閉用モーター２６の駆動も、また、メンテナンスのためのバルブプレート１４の開口部からの退避も作動しないように、設定されている。このため、作業者が、メンテナンス作業を開始することを認識しながら、ボタン又はスイッチを操作してメンテナンスモードに切り替えない限り、第２のリング状本体２４Ａ２が変位可能な位置にまで移動することがなく誤作動を確実に防止することができる。

また、この移動解除手段は、ケーシング１２のうち、真空用ゲートバルブ１０が設置されるべき処理チャンバ等の設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部１２Ｃを開けた場合に操作できる位置に設けられる。従って、処理チャンバ等の内部にアクセスしたり、真空用ゲートバルブ１０を処理チャンバ等から取り外すことなく、メンテナンス作業を開始することができる。

（９．使用状態）
次に、本発明の真空用ゲートバルブ１０の使用状態について説明すると、通常の半導体装置の製造時においてバルブプレート１４を開閉する場合においては、バルブプレート１４を開状態とする場合には、図９に示すように、昇降体２４をバルブプレート１４から退避させてバルブプレート１４の揺動を許容し、バルブプレート１４を閉状態とする場合には、図１０に示すように、昇降体２４をバルブプレート１４に押し付け、バルブプレート１４をケーシング１２に密着させて処理チャンバ内を真空に保持する。

一方、Ｏリング４２Ａ、４２Ｂの交換等のメンテナンス作業を行う場合には、処理チャンバの外部において、ケーシング１２のボンネット部１２Ｃを開けて、移動解除手段であるボタン又はスイッチを押して、真空用ゲートバルブ１０全体をメンテナンスモードに切り替える。

その上で、まずは、図１１に示すように、バルブプレート１４を開口部から退避させ、次いで、駆動制御手段による規制を解除して、駆動源２０である密閉用モーター２６により、昇降体２４を、第２のリング状本体２４Ａ２の周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置（第２のリング本体２４Ａ２のＯリング４２Ａ、４２Ｂが収納溝１３から脱する高さ位置）まで移動させる。

この状態において、レバー４４を操作して、第２のリング状本体２４Ａ２を回転（変位）させて、非係合部３８を、第１のリング状本体２４Ａ１の突起４０に位置合わせする。なお、この場合、上述したように、第１のリング状本体２４Ａ１は、Ｏリング４１Ａ、４１Ｂにより、収納溝１３内に圧入されているため、第２のリング状本体２４Ａ２と供回りすることはない。

その後、突起４０と非係合部３８との位置合わせ後、レバー４４を下方に押し下げることにより、図１２に示すように、第２のリング状本体２４Ａ２を第１のリング状本体２４Ａ１と分離して、図４に示すように、ボンネット１２Ｃ側へ引き抜くことにより、第２のリング状本体２４Ａ２のみを、ケーシング１２から取り外すことができる。なお、この状態においても、図１２に示すように、第１のリング状本体２４Ａ１のＯリング４１Ａ、４１Ｂにより、収納溝１３内は機密に保持されており、メンテナンス時にパーティクルが飛散等することがない。

一方、第２のリング状本体２４Ａ２の清掃や、また、Ｏリング４２Ａ、４２Ｂ等の交換作業等が終了した後は、上記と逆の手順で、バルブプレート１４が開口１２ａから退避した状態で、第２のリング状本体２４Ａ２を、ケーシング１２内に挿入し、非係合部３８を突起４０に位置合わせした上で、レバー４４により押し上げて、非係合部３８内に突起４０を挿入する。その上で、レバー４４を回転させて、突起４０を係合部３６に係合させて第１とリング状本体２４Ａ１と第２のリング状本体２４Ａ２とを連結させた後、駆動源２０である密閉用モーター２６の駆動力により、第２のリング状本体２４Ａ２を収納溝１３内に収納して、開口１２ａの開閉作業を行うように駆動する。なお、この場合、第２のリング状本体２４Ａ２の着脱に際し、位置合わせが容易となるように、第２のリング状本体２４Ａ２やケーシング１２に目印を付しておくことが望ましい。

以上により、第２のリング状本体２４Ａ２は、係合部３６にて第１のリング状本体２４Ａ１に連結されて、通常の作動時においては、第１のリング状本体２４Ａ１と共に昇降体２４としてバルブプレート１４の位置を調整するために確実に機能することができる一方、変位により突起４０を非係合部３８に位置合わせすることにより第１のリング状本体２４Ａ１への連結が解除されてケーシング１２から取り出すことができるため、メンテナンス時においては、真空用ゲートバルブ１０自体を処理チャンバから取り外すことなく、第２のリング状本体２４Ａ２のみをケーシング１２から取り出してＯリング４２Ａ、４２Ｂの交換作業や清掃作業等を簡易に行うことができ、しかも、この非係合部３８への位置合わせは、駆動源２０の駆動により第２のリング状本体２４Ａ２が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させられたときにのみ変位が許容されて可能となるため、第２のリング状本体２４Ａ２が、例えば作動中等の予期しない不必要な時に誤って第１のリング状本体２４Ａ１から外れることがなく、誤作動を防止して安全性を確保することができる。

（１０．他の実施の形態）
なお、図示の実施の形態では、着脱手段３４について、第２のリング状本体２４Ａ２に係合部３６及び非係合部３８を設け、他方の第１のリング状本体２４Ａ１に突起４０を形成したが、特に限定はなく、これとは逆に、図１６に示すように、第１のリング状本体２４Ａ１に係合部３６及び非係合部３８を設け、他方の第２のリング状本体２４Ａ２に突起４０を形成することもできる。

また、図示の実施の形態では、係合部３６及び非係合部３８を溝状に形成したが、特に限定はなく、突条等をもって係合部３６及び非係合部３８とすることもでき、この場合には、他方のリング状本体２４には、突条に係合する図示しない溝を形成することもできる。

更には、図示の実施の形態では、係合部３６及び突起４０を断面略台形状に形成し、非係合部３８を断面略四角形状としたが、第１及び第２のリング状本体２４の連結及びその解除を適切に行うことができれば、その形状には特に限定はなく、例えば、他に、図示しない断面Ｌ字形状や凸形状等の係合部３６や突起４０又は溝とすることもできる。

また、図示の実施の形態では、回転体２２のピン２２Ｂ及び昇降体２４の長孔２４ａが、８つ形成されているのが示されているが、その設置個数には特に限定はない。但し、円滑で、均等な回転、昇降を確保するためには、少なくとも、相対向する方向に２組以上の、複数に設定することが望ましい。

本発明は、特に、半導体装置におけるエッチング装置やＣＶＤによる薄膜処理、ＰＶＤ、更には、フラットパネルディスプレイの製造等に使用される処理チャンバ等に広く適用することができる。

１０ 真空用ゲートバルブ
１２ ケーシング
１２Ａ ケーシング本体
１２Ｂ カバー
１２Ｃ ボンネット部
１２ａ 開口
１３ 収納溝
１４ バルブプレート
１６ モーター
１８ 位置調整手段
２０ 駆動源
２２ 回転体
２２Ａ 環状レール
２２Ｂ ピン
２２ａ ギア溝
２２ｂ 湾曲長孔
２４ 昇降体
２４Ａ リング状本体
２４Ａ１ 第１のリング状本体
２４Ａ２ 第２のリング状本体
２４ａ 長孔
２５ 延長孔
２６ 密閉用モーター
２８ 回転ギア
３０ 駆動ギア
３２ スクリュー
３４ 着脱手段
３６ 係合部
３８ 非係合部
４０ 突起
４１Ａ、４１Ｂ 第１のリング状本体のＯリング
４２Ａ、４２Ｂ 第２のリング状本体のＯリング
４４ レバー
４６ スイッチ
４６Ａ ボールベアリング
４６Ｂ スプリング
４６Ｃ ストッパ

Claims (11)

1. 開口を有するケーシングと、前記ケーシング内を揺動して前記開口を開閉するバルブプレートと、前記バルブプレートが前記開口に対し全閉位置にあるときに前記バルブプレートを前記ケーシングに密着させる位置調整手段を備えた真空用ゲートバルブにおいて、前記位置調整手段は、駆動源と、前記駆動源により回転する回転体と、前記回転体の回転により前記回転体に対して相対的に昇降し前記バルブプレートに接して前記バルブプレートの位置を調整する昇降体とから成り、前記昇降体は、前記回転体に連結される第１のリング状本体と、前記第１のリング状本体に連結される第２のリング状本体と、前記第２のリング状本体を前記第１のリング状本体に着脱自在に連結する着脱手段とを備え、前記着脱手段は、前記第１又は第２のリング状本体のいずれか一方に形成された係合部及び非係合部と、他方の前記第１又は第２のリング状本体に形成され前記係合部に係合する突起又は溝から成り、前記第２のリング状本体は、前記係合部にて前記第１のリング状本体に連結される一方、変位により前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせすることにより前記第１のリング状本体への連結が解除されて前記ケーシングから取り出すことができ、かつ、前記第２のリング状本体は、前記駆動源の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ変位が許容されて前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
2. 請求項１に記載された真空用ゲートバルブであって、前記駆動源の駆動を制御する駆動制御手段を更に備え、前記駆動制御手段は、前記駆動源が必要な場合以外には前記第２のリング状本体を前記周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動させないように前記駆動源の駆動を規制することを特徴とする真空用ゲートバルブ。
3. 請求項１又は請求項２のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記第２のリング状本体の前記周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置への移動を許容するボタン又はスイッチから成る移動解除手段を有し、前記移動解除手段は、前記ケーシングのうち、前記真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部に位置する開閉自在なボンネット部を開けた場合に操作できる位置に設けられていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記回転体及び前記昇降体は、前記ケーシングの前記開口周縁に形成された収納溝内に収納され、前記昇降体の前記第１及び第２のリング状本体は両側面に前記収納溝の内周面に圧接するＯリングを有し、前記第２のリング状本体は、前記第２のリング状本体に設けられたＯリングが前記収納溝から脱する高さ位置にまで移動して前記収納溝との間の摩擦抵抗から解放された場合に、変位により前記突起又は溝を前記非係合部に位置合わせできることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体の前記第２のリング状本体は、前記真空用ゲートバルブが設置されるべき設置対象の外部から前記第２のリング状本体を変位させることができるレバーを更に備えていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記非係合部には、前記非係合部及び前記係合部を有しない他方のリング状本体に向けて付勢されたスイッチが設けられ、前記第２のリング状本体は前記スイッチの付勢力に抗して前記スイッチを押し込みながら前記第１のリング状本体に装着されることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記位置調整手段は、前記バルブプレートの前記ケーシングへの密着時においては弾性部材を介さず機構的に前記バルブプレートの変位を許容しない一方、前記バルブプレートの前記ケーシングへの密着時を除いては前記バルブプレートの揺動を許容することを特徴とする真空用ゲートバルブ。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体は前記バルブプレートに接して前記バルブプレートの位置を調整し、前記回転体は、環状レールと前記環状レールから突出するピンを有し、前記昇降体は、前記回転体の環状レールに係合して前記環状レールに沿って回転する前記第１のリング状本体と前記第１のリング状本体に形成され前記回転体のピンが挿入される長孔を有し、前記長孔は始端と終端を有し少なくとも一部が前記回転体に対して傾斜して形成され、前記昇降体は、前記回転体のピンが前記回転体の回転により前記昇降体の前記第１のリング状本体に形成された傾斜した長孔内を移動することにより前記回転体に対して昇降することを特徴とする真空用ゲートバルブ。
9. 請求項８に記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体の前記第１のリング状本体に形成された前記長孔は、前記始端と前記終端において水平に形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
10. 請求項８又は請求項９のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体に形成された前記長孔は、前記始端と前記終端に連続する部分が、他の部分よりも緩やかに傾斜して形成されていることを特徴とする真空用ゲートバルブ。
11. 請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載された真空用ゲートバルブであって、前記昇降体は、前記長孔に連続して形成され、前記第２のリング状本体が周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動することができるように前記回転体のピンの更なる移動を許容する延長孔を有していることを特徴とする真空用ゲートバルブ。

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