KR101317164B1 - 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 반도체 소자의 제조 공정에서 사용되는 공정챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 챔버 내부에서 발생한 배출가스를 배출하고, 압력을 안정적으로 유지시키는 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브에 관한 것이다.
본 발명에 따른 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브는, 공정챔버와 진공펌프 사이의 유체통로에 설치되며, 중앙부에 상기 유체통로와 연통하는 개구가 형성된 본체; 상기 본체의 개구 가장자리를 따라 상부와 하부에서 각각 상기 본체에 끼워지는 제1 및 제2 씨일유닛; 상기 본체의 일측으로부터 삽입되어 개구를 진자식으로 개폐하며, 가장자리가 상기 제1 및 제2 씨일유닛 사이에 삽입되어 위치하게 되는 씨일 플레이트; 상기 씨일 플레이트의 일단을 수용하도록 상기 본체의 일단에 설치되는 씨일플레이트 커버; 를 포함하여 구성되며, 상기 씨일 플레이트는 본체의 일측에 설치된 구동모터의 회전축과 연결되어 작동하는 것을 구성적 특징으로 한다.

Description

역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브{FAST DRIVING PENDULUM GATE VALVE EQUIPPED WITH NEGATIVE PRESSURE STRUCTURE}

본 발명은 고속구동 진자식 게이트밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 소자의 제조 공정에서 사용되는 공정챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 챔버 내부에서 발생한 배출가스를 배출하고, 압력을 안정적으로 유지시키는 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자 및 솔라 셀(solar cell)등을 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행되고 있는데, 특히 반도체 소자의 제조 공정 중에서 미세패턴을 형성하기 위해 식각 공정이 수행되고 있다. 이러한 식각은 습식식각과 건식식각으로 나누어지는데, 습식식각은 공정이 비교적 단순하고 비용이 적게드는 장점은 있으나, 언더컷(undercut) 발생 등의 단점이 있어, 최근에는 고집적화된 반도체 소자의 식각을 위해 건식식각이 많이 사용되고 있다.

건식식각 공정이 이루어지는 동안 공정압력조절 및 공정챔버 내부에서 반응한 가스 및 이물질 등이 다음 공정에 영향을 끼치지 않도록 배출하기 위한 과정을 갖는다. 이러한 공정압력조절 및 공정챔버 내부의 가스 및 이물질을 배출하기 위한 장비로 진공펌프가 사용되며, 진공펌프 중에서도 구경이 큰 밸브를 지닌 터보분자펌프(TMP,turbo molecular pump) 또는 크라이오펌프(cryo pump)가 사용되고 있는데, 흡입밸브와 공정챔버 사이를 차폐하거나 상기 펌프와 공정챔버 사이의 유체통로의 개폐 정도를 조절하기 위해 진자식 게이트 밸브가 사용되고 있다.

이러한 진자식 게이트밸브는, 기술의 발전과 생산성의 향상을 위해 웨이퍼 또는 글라스 기판 등이 대형화 됨으로써 대형화되는 추세이나, 기존의 스프링을 이용한 단동식 게이트밸브와 복잡한 씨일 플레이트를 사용하는 게이트밸브는, 씨일 플레이트가 복잡하게 제작됨으로 인한 자체 중량 증가, 다량의 기계 부품이 진공의 공정챔버 내에서 사용되는 문제, 복잡한 구성으로 인한 유지 보수가 필요한 개소의 증가, 작동 메카니즘이 복잡함에 따른 개폐 속도의 지연 등으로 인해 대형화에 적합한 게이트밸브를 구현하기 어려운 문제점이 있다.

도 1은 일반적으로 공정챔버와 펌프 사이에 형성되는 유체 통로(3,4) 사이에 설치되는 진자식 밸브조립체(1)를 도시한 것인데, 상기 진자식 밸브조립체는 유체 통로(3,4)와 연통하며 소정영역을 구획하는 하우징(2)을 구비하고, 상기 하우징 내부에는 구동수단에 연결되는 구동축 및 상기 구동축의 회전에 의해 유체 통로를 차단하고, 개방하는 차단판(9) 및 상기 차단판이 유체 통로를 차단했을 때 실린더(5)의 구동에 의해 차단판(9)에 슬라이딩 이동하여 밀착가압되어 유체통로 사이의 기밀을 이루게하는 록킹링(6)으로 구성되며, 상기 록킹링에는 실링체(7,8)가 구비되어 공정챔버와 펌프 사이의 밀봉을 유지하게 된다. 상기의 구성은 차단판(9)이 공정챔버와 펌프 사이의 유체 통로 차단시, 하우징(2)에 설치된 실린더(2)가 록킹링(6)을 가압하여 차단판(9)과 밀착시켜서 유체 통로(7,8)사이의 기밀을 유지시키는 방식인데, 밀봉을 유지시키기 위해 스프링을 이용하지 않고 실린더만을 채택하였으나, 이 또한 조립체의 구성이 복잡해지고, 그에 따른 전체 밸브 조립체의 중량 증가 및 유지 보수가 어렵다는 문제가 있으며, 또한 역압 대응에 적합하지 못한 문제점도 갖추고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 진자식 게이트밸브의 씨일 플레이트를 복잡한 기계적 구조물 없이 단순화된 형태로 구성하면서도, 밀봉력을 향상시키고, 단순한 기계적 메카니즘으로 구성시켜서 고속으로 구동되면서도 역압 대응이 가능하고, 또한 단순한 기계적 구성으로 조립 및 분리가 용이한 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브를 제공하기 위한 것이다.

상기와 같은 문제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브는, 공정챔버와 진공펌프 사이의 유체통로에 설치되며, 중앙부에 상기 유체통로와 연통하는 개구가 형성된 본체; 상기 본체의 개구 가장자리를 따라 상부와 하부에서 각각 상기 본체에 끼워지는 제1 및 제2 씨일유닛; 상기 본체의 일측으로부터 삽입되어 개구를 진자식으로 개폐하며, 가장자리가 상기 제1 및 제2 씨일유닛 사이에 삽입되어 위치하게 되는 씨일 플레이트; 상기 씨일 플레이트의 일단을 수용하도록 상기 본체의 일단에 설치되는 씨일플레이트 커버; 를 포함하여 구성되며, 상기 씨일 플레이트는 본체의 일측에 설치된 구동모터의 회전축과 연결되어 작동하는 것을 구성적 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 제1 및 제2 씨일 유닛은, 수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 씨일커버; 상기 씨일커버와 본체 사이에 위치하며, 수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 제1 씨일; 상기 제1 씨일과 본체 사이에 위치하며, 수직부와 수평부로 이루어져 단면이 "ㄴ" 형상인 제2 씨일; 상기 제1 씨일과 제2 씨일의 각 수평부 사이에 형성된 공간부; 를 구비하여 이루어진다. 또한 제1 씨일의 수직부 하단에는 씰링체가 구비되며, 상기 제1 씨일유닛의 씨일커버 수직부 하단과 씨일 플레이트 상면 사이에는 일정 간격이 형성되어 있고, 씨일 플레이트의 하면에는 "＋" 형상의 홈이 형성되며, 본체와 씨일플레이트 커버가 연결되는 본체의 연결부위에는 슬릿이 형성되며, 상기 커버 내부에는 상기 씨일 플레이트의 일단을 수용하는 수용공간이 형성되고, 제1 씨일의 수직부 하단에 씰링체가 구비된다.

이상과 같은 구성적 특징을 갖는 본 발명에 따른 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브는, 씨일 플레이트를 복잡한 기계적 구조물 없이 단순화된 형태를 구성하면서도 밀봉력을 향상시키며, 단순한 기계적 메카니즘으로 고속으로 구동될 수 있고, 복동식 실린더로 사용 가능하여 역압 대응에 유리하며, 기계적 구성을 단순화 할 수 있어 조립 및 분리를 용이하게 할 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 진자식 밸브조립체를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브의 개략적인 설치 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브가 유체통로를 개방 및 폐쇄시의 평면도이다
도 6은 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브가 유체통로를 개방시의 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브가 유체통로를 폐쇄시의 단면도이다.

본 발명은 공정챔버 및 진공펌프 사이에 설치하는 진자식 게이트밸브의 씨일 플레이트를 고속으로 구동시키기 위해 가볍고도 견고한 형상으로 구성하면서도, 역압 대응이 가능하도록 원형의 구조물로 지지되도록 설계하여, 고속으로 구동되면서도 역압 대응을 동시에 만족시키는 역압 대응 구조를 갖춘 진자식 게이트밸브에 관한 것으로, 도 2는 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브의 개략적인 설치 구성도이며, 도 3 및 도 4는 각각 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브의 사시도 및 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브가 유체통로를 폐쇄 및 개방시의 평면도, 도 6 및 도 7은 각각 본 발명에 따른 진자식 게이트밸브가 유체통로를 개방시 및 폐쇄시의 단면도로써 제1 씨일의 작동을 나타내고 있다.

도 2 내지 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브의 바람직한 실시예를 설명한다.

본 발명에 따른 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브(10)는, 공정챔버와 진공펌프 사이의 유체통로에 설치되며, 중앙부에 상기 유체통로와 연통하는 개구(18)가 형성된 본체(12); 상기 본체의 개구 가장자리를 따라 상부와 하부에서 각각 상기 본체에 끼워지는 제1 및 제2 씨일유닛(11,11'); 상기 본체의 일측으로부터 삽입되어 개구를 진자식으로 개폐하며, 가장자리가 상기 제1 및 제2 씨일유닛(11,11') 사이에 삽입되어 위치하게 되는 씨일 플레이트(16); 상기 씨일 플레이트(16)의 일단을 수용하도록 상기 본체(12)의 일단에 설치되는 씨일플레이트 커버(17); 를 포함하여 구성된다.

바람직하게는, 상기 씨일 플레이트(16)는 본체(12)의 일측에 설치된 구동모터(14)의 회전축(15)과 연결되어 작동하는데, 구동모터(14)의 작동으로 인해 회전축(15)이 회전하면 상기 씨일 플레이트(16)도 회전하면서 진자식으로 상기 개구(18)를 개폐하여 공정챔버 및 진공펌프 사이의 유체통로를 개방하거나 폐쇄하여 배기가스를 외부로 배출시킨다. 상기 씨일 플레이트(16)의 하면에는 "＋" 형상의 홈(16a)이 형성되는데, 상기 홈(16a)은, 본체(12) 및 제1 및 제2 씨일유닛(11,11')을 구성함에 있어서 발생하는 내부공간을 진공펌프와 동일한 공간이 되도록 하부개구(18b)와 연통시키는 역할을 한다. 즉 챔버측 및 진공펌프(TMP)측 공간 이외에도 게이트밸브 내부에 한개의 공간이 추가로 형성되는데, 상기 홈(16a)은, 씨일 플레이트(16)와 접하는 위쪽의 씰링체(11d)를 기준으로 상기 공간이 진공펌프 측과 동일한 공간으로 형성됨으로써, 챔버측 공간 및 진공펌프측 공간의 두개의 공간만이 형성된다.

이와 같이 두개의 공간 만을 형성하는 것은, 압력을 제어하는 장비 특성상 두개의 공간의 진공도를 계측하여 관리하지만 추가되는 다른 공간(제3의 공간)은 진공도를 알 수 없는 상태가 되므로, 게이트밸브가 밀봉상태 또는 밀봉이 해제되는 상태가 될 때 제3의 공간에 있는 공기가 진공상태인 챔버로 유입되거나, 대기상태에 있는 챔버를 개방시에 제3의 공간이 진공상태이면, 씨일 플레이트의 개방이 용이하지 않거나 씰링체의 손상이 야기될 수 있기 때문에 이를 방지하기 위한 것이다.

본 발명의 진자식 게이트밸브(10)의 본체(12)에 공정챔버 및 진공펌프와의 조립에 필요한 플랜지부(도면에 미도시)가 형성되어 있다. 상기 씨일 플레이트(16)는 회전축(15)을 중심으로 회전하여 진자식으로 움직이면서 공정챔버의 압력조절과 가스 배출을 위해 본체(12)의 중앙부에 형성된 원형 개구(18)를 개폐한다. 회전축(15)은, 본체(12)의 일측 상부에 설치되는 구동모터(14)와 연결되며, 씨일 플레이트(16)의 진자 축을 형성하여 씨일 플레이트(14)의 진자 운동을 가능하게 하고, 진자운동의 각도를 조정하여 개구(18)의 개폐정도를 결정한다. 즉, 상기 구동모터(14)는 제어장치(도면에 미도시)와 연결되어 제어장치에 의해 제어됨으로써, 회전축(15)의 회전운동 정도를 조정하여 씨일 플레이트(14)의 개폐정도를 결정한다. 상기 개구(18)는 씨일 플레이트(16)를 기준으로 공정챔버 측과 연통하는 상부개구(18a), 진공펌프 측과 연통하는 하부개구(18a)로 분리할 수 있다.

또한, 본체(12)의 일측에는 시일플레이트 커버(17)가 본체의 일단에 연결·설치되는데, 상기 커버의 내부에는 씨일 플레이트(16)의 일단이 수용될 수 있는 수용공간(17a)이 형성되어 개구(18)를 개방할 때는 씨일 플레이트(16)가 상기 수용공간(17a)에 수용되며, 개구(18)를 폐쇄할 때는 씨일 플레이트(16)가 수용공간으로 부터 돌출한다. 또한 씨일 플레이트(16)를 교환하거나 수리하기 위해, 상기 씨일플레이트 커버(17)는 착탈가능한 체결수단으로 상기 본체(12)와 결합된다. 또한 상기 본체(12)와 씨일플레이트 커버(17)가 연결되는 본체(12)의 연결부위에는 슬릿(12a)이 형성되는데, 상기 슬릿으로 인해 씨일 플레이트(16)가 수용공간(17a) 및 개구(18) 사이를 원할하게 진자 운동할 수 있다.

상기 제1 및 제2 씨일유닛은(11,11')은, 수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 씨일커버(11a); 상기 씨일커버(11a)와 본체(12) 사이에 위치하며, 수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 제1 씨일(11b); 상기 제1 씨일(11b)과 본체(12) 사이에 위치하며, 수직부와 수평부로 이루어져 단면이 "ㄴ" 형상인 제2 씨일(11c); 상기 제1 씨일(11b)과 제2 씨일(11c)의 각 수평부 사이에 형성된 공간부(13); 를 구비하여 이루어진다. 상기 제 및 제2 씨일유닛(11,11')은 본체의 개구(18) 가장자리를 따라 상부와 하부에서 각각 상기 본체에 끼워져서 설치된다. 보다 상세하게는, 도면 6 및 7에 도시된 바와 같이 상기 씨일커버(11a) 하부에 제2 씨일(11c)이 설치되는데, 상기 씨일커버(11a)와 제2 씨일(11c)의 사이에 형성된 공간부(13)에 제1 씨일(11b)의 수평부가 위치하며, 그의 수직부는 상기 씨일커버(11a)의 수직부와 평행하게 하방으로 연장된다. 또한, 상기 제2 씨일(11c)의 수직부 상단은 상기 씨일커버(11a)의 수평부 하단 일측과 접한다.

바람직하게는, 제1 씨일유닛(11)의 씨일커버(11a) 수직부 하단과 씨일 플레이트(16) 상면 사이에는 일정 간격(d)이 형성되어 있다. 상기 씨일커버(11a)의 수직부 하단과 씨일 플레이트(16)의 상면과의 이격거리는 약 0.4㎜ 인 것이 바람직하다. 상기의 일정 간격(이격거리)은 씨일 플레이트(16)가 개구(18)를 폐쇄할 때, 즉 공정챔버 및 진공펌프 사이의 유체통로를 폐쇄시 정압 및 역압 상태에서 씨일 플레이트(16)의 과도한 변형을 방지하기 위한 구성이다. 예컨대, 공정챔버 내의 이물질 제거 및 세정시에 챔버가 개방되므로 그 내부는 대기압 상태가 되고 씨일 플레이트를 경계로 진공펌프는 진공상태를 유지하므로(역압 상태), 공정챔버의 유체통로를 통해 상부개구(18a)에서 작용하는 대기압력에 의해 씨일 플레이트(16)가 하방으로 미세하게 휘어지거나 손상되는 변형이 발생할 수 있다. 상기와 같은 씨일 플레이트(16)의 미세한 변형을 방지하게끔 씨일커버(11a)를 씨일 플레이트(16)와 이격·설치하여 씨일 플레이트(16)의 밀봉상태가 해제될 수 있는 상태로 까지의 변형을 방지함으로써, 씨일 플레이트(16)의 밀봉상태를 유지시킨다.

여기에서 씨일커버(11a)가 씨일 플레이트(16)에 직접 접하는 상태가 되면, 씨일 플레이트가 개구를 개폐하는 작동이 방해되기 때문에 일정 간격(d), 즉 이격거리를 두는 것이 바람직하다.

추가로 설명하자면, 본 발명의 씰링체(11d)는 그 두께가 약 5.3㎜의 것을 사용하는데, 상기 씰링체를 제1 씨일(11b)에 하단에 형성된 씰링체 수용홈(도면부호 미도시)에 삽입·설치하면 약 1.2㎜ ∼1.3㎜ 가 외부로 노출된다. 상기 노출 두께에서 씨일 플레이트(16)와 제1 씨일(11b)가 서로 접할 때 씰링체의 약 0.7㎜ ∼0.8㎜가 눌려지면서 밀봉작용을 한다. 이때 씰링체를 제외한 제1 씨일(11b)의 수직부 하단과 씨일 플레이트(16)는 약 0.4∼0.6㎜로 이격되는데, 상기 이격거리 내에 속하는 최소 이격거리 약 0.4㎜로 씨일커버(11a)의 수직부 하단과 씨일 플레이트(16)를 이격시킴으로써, 씨일 플레이트(16)가 진자식으로 회전시에 상기 씨일커버(11a)에 접촉하지 않고 원할하게 개폐작동을 하게 되고, 역압 상태에서 씨일커버(11a)가 씨일 플레이트(16)를 변형이 없는 최적상태로 지지할 수 있다.

또한, 진공펌프의 보수나 교체시에는 진공펌프 측이 대기압 상태가 되고, 공정챔버는 진공상태가 되므로(정압 상태), 유체통로를 통해 하부개구(18b)에서 작용하는 대기압력에 의해 씨일 플레이트(16)가 상방으로 미세하게 휘어지거나 손상되는 변형이 발생할 수 있는데, 이때에도 상기와 같이 씨일커버(11a)가 씨일 플레이 트(16)를 지지하여 변형을 방지하게끔 한다.

상기 제1 씨일(11b)의 수평부는, 씨일커버(11a)의 수평부와 제2 씨일(11c)의 수평부 사이에 형성되는 공간부(13)에 위치한다. 공정챔버에서의 작업물의 작업 시(반도체 소자 등의 식각작업) 유체통로를 폐쇄할 때는, 구동모터(14)를 작동시켜 씨일 플레이트(16)로 개구(18)를 폐쇄함과 동시에, 상기 공간부(13)의 상부측으로 고압의 공기를 유입시키면 제1 씨일(11b)이 하방으로 이동하고, 이때 제1 씨일(11b)의 수직부 하단에 구비된 씰링체(11d)가 씨일 플레이트(16)의 상면과 밀착됨으로써 유체통로의 밀봉이 이루어진다. 또한 상기 공정챔버에서의 작업이 완료된 후에 배출가스나 이물질을 배출시에는, 상부측 공간의 공기를 배출시키고, 공간부(13)의 하부로 고압의 공기를 유입시켜서 제1 씨일(11b)을 상방으로 이동시켜서 씨일 플레이트(16)와의 밀봉을 해제함과 동시에 구동모터(14)를 작동시켜 씨일 플레이트(16)를 진자식으로 회전시켜서 개구(18)를 개방한다.

본원 발명에서는 공간부(13)의 상부 및 하부에 공기를 유입시키고 배출시키는 유로가 도면에는 생략되어 있으나, 밀봉 튜브 등을 이용하여 상기 공간부에 연결시키는 공기 주입장치를 구성할 수 있으며, 씰링체는 일반적으로 밀봉용으로 사용되는 오링을 사용한다.

상기와 같은 구성은 제1 씨일(11b)이 공기압에 의해 상하로 작동함으로써, 기존 기술의 실린더를 대체할 수 있는 단순화된 구성이다. 또한 기존 진자식 게이트밸브는, 실린더의 가압력(역압 대응력)이 씨일플레이트의 면적×대기압력＋오링의 반발력에 대응하나, 본원발명에 따른 진자식 게이트밸브는, 씨일커버(11a)가 역압에 대해 씨일플레이트(16)를 지지함으로써, 공기압에 의한 제1 씨일(11b)의 가압력(역압 대응력)이 오링의 반발력에만 대응하는 구성이다. 기존 구성에서 역압 대응력을 크게하기 위해서는 실린더의 크기와 힘(가압력)이 커져야 하므로 구동속도및 소형화에 어려움이 있으며, 역압에 대응하기 어려운 단동식 실린더(공기압+실린더)를 사용하여 전체 메카니즘이 복잡해 졌으나, 본 발명은 오링의 밀봉에 필요한 반발력에 제1 씨일의 규모를 맞춤설계 하여 복동식 실린더(유로를 통해 상부 및 하부 두 군데서 공기압 주입)로서 사용 가능하다.

또한, 상기 제2 씨일(11c)의 수직부와 이에 대응하는 씨일커버(11a)의 수평부에는 나사공이 형성되어, 나사결합으로 본체(12)에 연결시킴으로써 본체(12)와 일체화 되는 제1 및 제2 씨일유닛(11,11')을 구현할 수 있다.

본 발명은, 씨일 플레이트(16)를 밀봉 상태로 유지하기 위해, 씨일유닛(11,11')의 제1 씨일(11b)을 공기압을 사용하여 작동시키는 구조로 형성하는데, 본체(12)의 일측과 씨일유닛(11,11') 내부의 공간부(13)에 공기를 유입시킬 수 있는 유로를 형성하여, 상기 유로를 통해 공간부(13)에 고압의 공기를 유입하여 제1 씨일(11b)을 상하로 작동시켜 씨일 플레이트(16)와의 밀봉을 달성하고, 해제하는 것이다. 이로 인해 공정챔버와 진공펌프 사이의 유체통로는 씨일 플레이트(16) 및 제1 씨일(11b)에 의해 밀봉되거나 밀봉이 해제되는 것이다. 또한 본 발명에 따른 씨일유닛(11,11')은, 구조를 단순화시켜서 구성요소를 최소로 하였음에도 불구하고 우수한 밀봉을 달성할 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 게시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10:진자식 게이트밸브 11:제1 씨일유닛
11':제2 씨일유닛
11a:씨일커버 11b:제1 씨일
11c:제2 씨일 11d:씰링체
12:본체 12a:슬릿
13:공간부 14:구동모터
15:회전축 16:씨일 플레이트
16a:홈
17:씨일플레이트 커버 17a:수용공간
18:개구
18a:상부개구 18b:하부개구

Claims (9)

1. 고속구동 진자식 게이트밸브에 있어서,
   공정챔버와 진공펌프 사이의 유체통로에 설치되며, 중앙부에 상기 유체통로와 연통하는 개구가 형성된 본체;
   상기 본체의 개구 가장자리를 따라 상부와 하부에서 각각 상기 본체에 끼워지는 제1 및 제2 씨일유닛;
   상기 본체의 일측으로부터 삽입되어 개구를 진자식으로 개폐하며, 가장자리가 상기 제1 및 제2 씨일유닛 사이에 삽입되어 위치하게 되는 씨일 플레이트;
   상기 씨일 플레이트의 일단을 수용하도록 상기 본체의 일단에 설치되는 씨일 플레이트 커버;
   를 포함하여 구성되며, 상기 씨일 플레이트는 본체의 일측에 설치된 구동모터의 회전축과 연결되어 작동하고,
   상기 제1 및 제2 씨일 유닛은,
   수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 씨일커버;
   상기 씨일커버와 본체 사이에 위치하며, 수평부와 수직부로 이루어져 단면이 "ㄱ" 형상인 제1 씨일;
   상기 제1 씨일과 본체 사이에 위치하며, 수직부와 수평부로 이루어져 단면이"ㄴ" 형상인 제2 씨일;
   상기 제1 씨일과 제2 씨일의 각 수평부 사이에 형성된 공간부;
   를 구비하여 이루어고, 상기 제1 씨일의 수직부 하단에는 씰링체가 구비되고, 상기 제1 씨일유닛의 씨일커버 수직부 하단과 씨일 플레이트 상면 사이에는 일정 간격이 형성되며, 상기 씨일 플레이트의 하면에는 "＋" 형상의 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1항에 있어서,
   상기 본체와 씨일플레이트 커버가 연결되는 본체의 연결부위에는 슬릿이 형성되며, 상기 커버 내부에는 상기 씨일 플레이트의 일단을 수용하는 수용공간이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브.
   
7. 제 1항에 있어서,
   상기 제2 씨일의 수직부와 이에 대응하는 씨일커버의 수평부에는 나사공이 형성되어, 나사결합으로 본체에 연결되는 것을 특징으로 하는 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브.
   
8. 삭제
9. 제 1항에 있어서,
   상기 씨일플레이트 커버는 착탈가능한 체결수단으로 상기 본체와 결합되는 것을 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브.
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

Images