CN101409246A - 具有进气阀的晶舟盒 - Google Patents

Abstract

本发明为一种具有进气阀的晶舟盒，包括一盒体及一进气阀。进气阀设置于盒体的外壳上，其包括有一导柱、一密封盖、一密封垫圈、及一弹性组件。进气阀由弹性组件提供一弹性预力，以推动导柱将密封盖对应盖合于外壳的通孔上，使密封垫圈压合于密封盖与外壳之间以形成气密。故当欲开启一盒内真空的晶舟盒时，只要以一外力反推导柱，使得密封盖与外壳之间产生间隙，此时外气得以经由此间隙以导流经过通孔而进到盒体的内部空间，故能令盒体内外的气压达成平衡，以利盒盖容易打开。

Description

具有进气阀的晶舟盒

技术领域

本发明涉及一种晶舟盒，尤指一种适用于一种具有进气阀的晶舟盒，以便于将外气导入晶舟盒内消除盒内真空而达成气压平衡，使盒盖容易打开。

背景技术

传统晶舟盒除了具备保护晶圆的功效外，在运送晶片过程中更多注意盒内是否具有足以污染晶片洁净的颗粒的存在。因此，当晶舟盒装载有晶片时，常会将此晶舟盒内的气体抽真空，除可使盒内的细微颗粒减至最少外，又可阻隔外界空气的干湿度对于置于晶舟盒内晶片的影响。

但，当操作人员欲自晶舟盒拿取芯片时，必须先以工具撬开盒盖以开启晶舟盒，除了要克服晶舟盒本身的盒盖与盒身结合的嵌合力外，更要克服晶舟盒内真空的负压对盒盖与盒身所产生的真空吸力。通常晶舟盒内真空的负压所产生的真空吸力可能是盒盖与盒身嵌合力的数倍大。

如此，盒内真空造成操作人员开启晶舟盒的不便利，甚至，开启时撬开用力过当，致使晶舟盒翻覆而造成晶片的毁损者亦有之，为了使晶舟盒更易于开启，极需改善晶舟盒内真空相对衍生的问题。

发明内容

本发明的目的是公开一种具有进气阀的晶舟盒，在开启时，将进气阀打开使外气导入晶舟盒内消除盒内真空而达成气压平衡，使盒盖容易打开，并消除了晶舟盒与晶片毁损的隐患。

为达到上述目的，本发明的技术解决方案为一种具有进气阀的晶舟盒，包括一盒体、一进气阀。盒体包括有一外壳、及一内部空间，外壳上穿设有一通孔，通孔是连通至内部空间。此外，盒体的上、下分为一盒盖、及一盒身，盒盖是对应盖合于该盒身上、并于二者间形成有内部空间。进气阀包括有一导柱或一旋转柱、一密封盖、一密封垫圈、及一弹性组件。

导柱或旋转柱的一端设有密封盖，密封盖大于盒体的通孔，而密封垫圈是夹设于密封盖、与盒体通孔周围的外壳之间。

弹性组件是提供一弹性预力或旋转预力，此弹性预力是用以推动导柱移动或是使旋转柱旋转，以促使密封盖对应盖合于通孔上，并将一密封垫圈压合于密封盖与外壳之间以形成气密。

因此，以一大于弹性预力或旋转预力的外力去推动导柱或旋转柱移动以促使密封盖离开通孔，此时密封盖与外壳之间将产生间隙，进而将外气经由此间隙以导流经过通孔而进到内部空间，故能令盒体内的真空负压与外部气压达成平衡，以利盒盖容易打开。

其中，外壳包括一内表面、一外表面，并设有多数个挡止块、及一内凸缘。可将弹性组件则撑张于导柱与内凸缘之间，弹性组件所提供的弹性预力促使导柱被挡止于多数个挡止块、同时也将进气阀的密封盖迫紧密封垫圈使其密合于外壳的内表面上；或是将弹性组件撑张于多数个挡止块与密封盖之间，促使进气阀的密封盖迫紧密封垫圈而密合于外壳的外表面上；亦可以弹性组件撑张于外壳的一凹槽与旋转柱之间，弹性组件所提供的旋转预力促使进气阀的密封盖迫紧一密封垫圈而密合于外壳的该通孔上，以达到气密效果。

本发明的功效是：在开启时，将进气阀打开使外气导入晶舟盒内消除盒内真空而达成气压平衡，使盒盖容易打开，并消除了晶舟盒与晶片毁损的隐患。

附图说明

图1是本发明第一较佳实施例的分解图；

图2是本发明第一较佳实施例的剖视图；

图3是本发明第二较佳实施例的剖视图；

图4是本发明第三较佳实施例的动作示意图。

主要组件符号说明

盒体1        盒盖101      盒身102

外壳11       通孔111      内表面112

挡止块113    内凸缘114    外表面115

挡止块116    内凸缘117    热熔胶118

凹槽119      内部空间12   进气阀2，3，4

导柱21，31   指压槽211    弹性组件22

密封盖23，32，411    固定槽231    密封垫圈24

指拉环311            旋转柱41     旋转键412

枢轴42               弹性组件5    弹性预力F1

外力F2               旋转预力F3

具体实施方式

请参阅图1，其是本发明第一较佳实施例的分解图。如图所示，本发明是为一种具有进气阀的晶舟盒，其主要包括有一盒体1、及一进气阀2。

如图1所示，本实施例的盒体1包括有一外壳11、及其内的内部空间12。其中，本实施例的盒体1分隔成盒盖101、及盒身102，盒盖101是可打开、或是对应盖合于盒身102上方以围绕形成密闭的内部空间12。为便于示意与说明，本例的外壳11是以六吋或八吋晶片用的上开式晶舟盒为例，且以其位于盒盖101上方处的外壳11为例加以说明，但不以此为限，举凡图1所示整个盒体1的侧面、甚或底面均可；甚或是十二吋晶片用的前开式晶舟盒的上面、侧面或底面的外壳亦可。

请再详参图1中，盒盖101的外壳11上穿设有一通孔111。此通孔111是连通至内部空间12。进气阀2包括有一导柱21、一密封盖23、一密封垫圈24、及一弹性组件22。导柱21的上端设有一指压槽211，以利操作者以手指按压导柱21时，能方便固定施力，导柱21的下端设有密封盖23，密封盖23内侧面设置有一固定槽231，密封垫圈24则可固设于固定槽231内。此外，密封盖23应大于盒体1的通孔111，以便能塞住通孔111。

请参阅图2，其是本发明第一较佳实施例的剖视图。如图2所示，外壳11包括一内表面112、二挡止块113、及一内凸缘114。而弹性组件22则撑张于导柱21与内凸缘114之间，此弹性组件22提供向上的一弹性预力F1，促使导柱21向上移动而被挡止于二挡止块113上、并带动进气阀2的密封盖23向上迫紧于外壳11，于本例中，弹性组件22是为一压缩弹簧。

如图2，由于密封垫圈24是夹设于密封盖23、与通孔111周围的内表面112之间。因此，此弹性预力F1推动导柱21向上移动后，会使密封盖23对应向上盖合于通孔111上，并将密封垫圈24压合于密封盖23与外壳11的内表面112上以形成气密，而达到最佳的气密效果。

反之，若操作者施以导柱21上指压槽211一大于弹性预力F1的压力F2去推动导柱21向下移动以使密封盖23离开通孔111，此时密封盖23与外壳11之间将产生间隙，进而将外气经由此间隙以导流经过通孔111而进到内部空间12，故能令盒体1内的真空负压与外部的气压达成平衡，以利盒盖101与易自盒身102开启。

请参阅图3，其是本发明第二较佳实施例的剖视图。如图3所示，外壳11包括一外表面115、二挡止块116、及一内凸缘117。弹性组件22撑张于二挡止块116与导柱31其下端的密封盖32之间，由弹性组件22所提供向下的弹性预力F1，促使进气阀3的密封盖32迫紧于内凸缘117。于本例中，弹性组件22是为一压缩弹簧。

由于密封垫圈24是夹设于密封盖32、与通孔111周围的外表面115之间。于此例中，密封盖32应大于盒体1的通孔111，以便能塞住通孔111。因此，此弹性预力F1推动导柱31向下移动后，会使密封盖32对应向下盖合于通孔111上，并将密封垫圈24压合于密封盖32与外壳11的外表面115上以形成气密，而达到最佳的气密效果。

如图3，导柱31的上端设有一指拉环311，以方便使用者施力于导柱31上。于本例中，二挡止块116是以热熔胶118将二挡止块116熔设于外壳11的外表面115上。因此，当操作者施以指拉环311一大于弹性预力F1的拉力F2，以拉动导柱31向上移动以使密封盖32离开通孔111，此时密封盖32与外壳11之间将产生间隙，进而将外气经由此间隙以导流经过通孔111而进到内部空间12，故能令盒体1内的真空负压与外部的气压达成平衡，以利盒盖101容易打开。

请参阅图4，其是本发明第三较佳实施例的动作示意图。如图4所示，进气阀4包括有一旋转柱41、一密封垫圈24、及一弹性组件5，于本例中，弹性组件5是指一扭力弹簧。外壳11包括有一凹槽119，旋转柱41则容设于此凹槽119。凹槽119上设置有一枢轴42，此旋转柱41的一端枢设于枢轴42上，而旋转柱41的另一端则设有密封盖411。密封盖411大于盒体1的通孔111，以便能塞住通孔111。又，密封垫圈24是夹设于密封盖411、与盒体1其通孔111周围的外壳11之间。

由于弹性组件5撑张于凹槽119与旋转柱41之间，促使进气阀4的密封盖411迫紧密封垫圈24而密合于外壳11的通孔111上。弹性组件5并提供一旋转预力F3，以推动旋转柱41转动，进而促使密封盖411对应盖合于通孔111上。因此，能将密封垫圈24压合于密封盖411与外壳11之间以形成气密。

反之，操作者以大于旋转预力F3的外力去推动旋转柱41上的旋转键412，可促使密封盖411离开通孔111，此时密封盖411与外壳11之间将产生间隙，进而将外气经由此间隙以导流经过通孔111而进到内部空间12，故能令盒体1内外的气压达成平衡，以利盒盖容易打开。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利要求书的保护范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (9)

1、一种具有进气阀的晶舟盒，其特征在于，包括：

一盒体，包括有一外壳、及一内部空间，该外壳上穿设有一通孔，该通孔连通至该内部空间；以及

一进气阀，包括有一导柱、一密封盖、至少一密封垫圈、及一弹性组件，该导柱的一端设有该密封盖，该密封盖大于该盒体的该通孔，该至少一密封垫圈夹设于该密封盖、与该盒体的外壳之间；

其中，该弹性组件并提供一弹性预力，该弹性预力推动该导柱移动以促使该密封盖对应盖合于该通孔上，该至少一密封垫圈并被压合于该密封盖与该外壳之间以形成气密。

2、如权利要求1所述的晶舟盒，其特征在于，该外壳包括一内表面，该外壳包括多数个挡止块、及一内凸缘，该弹性组件撑张于该导柱与该内凸缘之间，该弹性组件所提供的该弹性预力更促使该导柱被挡止于该多数个挡止块、并使该密封盖迫紧该至少一密封垫圈并密合于该外壳的该内表面上。

3、如权利要求1所述的晶舟盒，其特征在于，该外壳包括一外表面，该外壳包括多数个挡止块、及一内凸缘，该弹性组件撑张于该多数个挡止块与该密封盖之间，该弹性组件所提供的该弹性预力促使该密封盖迫紧该至少一密封垫圈而密合于该外壳的该外表面上。

4、如权利要求1所述的晶舟盒，其特征在于，该盒体包括一盒盖、及一盒身，该盒盖对应盖合于该盒身上、并于二者间形成该内部空间。

5、如权利要求1所述的晶舟盒，其特征在于，该弹性组件为一压缩弹簧。

6、一种具有进气阀的晶舟盒，其特征在于，包括：

一盒体，包括一外壳、及一内部空间，该外壳上穿设有一通孔，该通孔连通至该内部空间；以及

一进气阀，包括有一旋转柱、一密封盖、至少一密封垫圈、及一弹性组件，该旋转柱的一端设有该密封盖、另一端枢设于该外壳上，该密封盖大于该盒体的该通孔，该至少一密封垫圈夹设于该密封盖、与该盒体的外壳之间；

其中，该弹性组件提供一旋转预力，该旋转预力推动该旋转柱转动以促使该密封盖对应盖合于该通孔上，该至少一密封垫圈并被压合于该密封盖与该外壳之间以形成气密。

7、如权利要求6所述的晶舟盒，其特征在于，该外壳包括有一凹槽，该凹槽内设置有一枢轴，该旋转柱的该另一端枢设于该枢轴上，该弹性组件撑张于该凹槽与该旋转柱之间。

8、如权利要求6所述的晶舟盒，其特征在于，该盒体包括有一盒盖、及一盒身，该盒盖对应盖合于该盒身上、并于二者间形成有该内部空间。

9、如权利要求6所述的晶舟盒，其特征在于，该弹性组件是一扭力弹簧。

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