JP2021042109A5 - 固体生成物の排出回収システムおよび方法 - Google Patents

Claims (4)

1. 反応室内に生成した固体生成物の排出回収システムであって、
   前記反応室の開口部にベント孔を介して連絡する回収箱と、
   前記ベント孔を開閉可能な第１開閉弁と、
   第１開閉弁を閉じたとき、回収箱の気圧を下げることが可能な位置に配置された減圧ポンプとを備えた固体生成物の排出回収システム。
2. 前記ベント孔から回収箱までのチャネルの途中に減圧チャンバを備え、
   前記減圧チャンバと回収箱との間に第２開閉弁を備え、
   前記減圧ポンプが減圧チャンバまたは回収箱に連絡している請求項１に記載の排出回収システム。
3. 反応炉内で生成した固体生成物を回収箱に排出する方法であって、
   反応炉と回収箱との連絡路に第１弁を設けるステップと、
   第１弁を閉じた状態で回収箱内の気圧を減圧するステップと、
   第１弁を解放するステップとを含む方法。
4. 反応炉内で生成した固体生成物を回収箱に排出する方法であって、
   反応炉と回収箱との連絡路の途中に減圧チャンバを設けるステップと、
   反応炉と減圧チャンバとの連絡路に第１弁を設けるステップと、
   減圧チャンバと回収箱との連絡路に第２弁を設けるステップと、
   第１開閉弁を閉じた状態で、回収箱の気圧を下げることが可能な減圧ポンプを設けるステップと、
   第１弁を閉じ、第２弁を開いた状態で減圧チャンバを減圧するステップと、
   第２弁を閉じるステップと、
   第１弁を開いて固体生成物を減圧チャンバに排出回収するステップと、
   回収箱を減圧するステップと、
   第２弁を開いて固体生成物を回収箱に排出回収するステップとを含む、方法。