KR20100102528A

KR20100102528A - 감압 건조 장치

Info

Publication number: KR20100102528A
Application number: KR1020100015638A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 오쿠다
Original assignee: 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
Priority date: 2009-03-11
Filing date: 2010-02-22
Publication date: 2010-09-24
Also published as: JP2010207739A; TWI509209B; CN101829647A; JP5344690B2; TW201037251A; CN101829647B

Abstract

[과제] 기판 상의 도포막에 건조 얼룩이 형성되는 것을 억제할 수 있는 감압 건조 장치를 제공한다.
[해결 수단] 기판을 수용하는 수용부와, 상기 수용부의 소정의 위치에 기판을 보지(保持)하는 기판 보지부와, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 중심 위치와 대향하는 위치에 설치되고, 상기 수용부의 대기(大氣)를 배기시키는 배기구와, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연(外周緣)을 따라 설치되는 개구부(開口部)를 가지고 있고, 상기 기판의 외주연을 따라 환상(環狀)으로 연통(連通)하여 형성되는 환상 흡인구를 구비하고, 상기 배기구와 환상 흡인구가 연통하여 접속되어 있는 것에 의하여, 상기 배기구에 흡인력이 발생하면 수용부의 대기가 상기 개구부를 통하여 배기구로부터 배기되는 구성으로 한다.

Description

감압 건조 장치{DECOMPRESSION DRYING DEVICE}

본 발명은, 기판에 도포된 도포액을 감압 건조시키는 것에 의하여, 기판 상에 도포막을 형성하는 감압 건조 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이(liquid crystal display)나 플라즈마 디스플레이(plasma display) 등의 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)에는, 기판 상에 레지스트액(resist solution)이 도포된 것(도포 기판이라고 칭한다)이 사용되고 있다. 이 도포 기판은, 도포 장치에 의하여 기판 상에 레지스트액이 균일하게 도포되는 것에 의하여 도포막이 형성되고, 그 후, 감압 건조 장치에 의하여 도포막을 건조시키는 것에 의하여 생산된다.

이 감압 건조 장치는, 예를 들어, 하기 특허 문헌 1에 도시되는 바와 같이, 상부 챔버(chamber)와 하부 챔버로 형성되는 수용부에 기판을 수용한 상태로, 수용부의 대기(大氣)를 배기 포트로부터 배기하는 것에 의하여 수용부를 감압시켜 기판 상의 도포막을 건조시키도록 되어 있다.

이때, 기판을 재치(載置, 물건의 위에 다른 물건을 올려 놓는 것)하는 플레이트가 정류판(整流板)으로서 기능하는 것에 의하여, 기판 상의 도포막에 건조 얼룩이 형성되는 것을 억제할 수 있도록 되어 있다. 즉, 진공 펌프 등을 작동시켜 배기 포트에 흡인력을 작용시키면, 기판 근방의 대기는 정류판의 외주연(外周緣) 측을 통과하여 배기 포트로 흘러 들어간다. 그리고, 정류판의 외주연 측을 통과한 대기를 단시간에 효율적으로 회수할 수 있도록, 배기 포트는 기판이 재치되는 영역의 외주연 내측 부근을 따라 복수 배열되어 설치되어 있다. 이것에 의하여, 기판 근방의 대기가 거의 균등하게 배기되어, 도포막에 건조 얼룩이 형성되는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.

일본국공개특허공보특개2005-329303호

그러나, 상기 특허 문헌 1에 기재된 감압 건조 장치여도 건조 얼룩을 억제하지 못하는 경우가 있었다. 즉, 배기 포트가 기판이 재치되는 영역의 외주연 내측 부근을 따라 설치되어 있기 때문에, 배기 포트가 배치된 근방에서는 다른 장소에 비하여 흡인력이 강해진다. 그 때문에, 정류판을 설치한 경우여도, 배기 포트의 근방에서는 강한 대기의 흐름이 발생하고, 기판 상의 도포막에는, 대기의 흐름을 따른 줄무늬 형상의 얼룩이 발생한다. 그리고, 그대로 건조되는 것에 의하여 도포막에 건조 얼룩이 발생하여 버린다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 도포막에 건조 얼룩이 형성되는 것을 억제할 수 있는 감압 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 감압 건조 장치는, 기판을 수용하는 수용부와, 상기 수용부의 소정의 위치에 기판을 보지(保持)하는 기판 보지부와, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 중심 위치와 대향하는 위치에 설치되고, 상기 수용부의 대기를 배기시키는 배기구와, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연을 따라 개구(開口)하는 개구부를 가지고, 상기 기판의 외주연을 따라 환상(環狀)으로 연통(連通)하여 형성되는 환상 흡인구를 구비하고, 상기 배기구와 환상 흡인구가 연통하여 접속되어 있는 것에 의하여, 상기 배기구에 흡인력이 발생하면 수용부의 대기가 상기 환상 흡인구를 통하여 배기구로부터 배기되는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 감압 건조 장치에 의하면, 배기구에 흡인력이 발생하면, 수용부의 대기가 일양(一樣, 한결같이 그대로, 또는 꼭 그대로)하게 환상 흡인구의 개구부를 통하여 흡인된다. 즉, 환상 흡인구와 배기구가 연통하고, 배기구가 기판의 중심 위치와 대향하는 위치에 배치되어 있기 때문에, 배기구에 흡인력이 작용하면, 환상 흡인구 전체 둘레에 걸쳐 기판의 중심 위치에 위치하는 배기구로 향하는 흡인력이 작용하고, 환상 흡인구 전체 둘레에 걸쳐 거의 일양하게 흡인력이 발생한다. 그리고, 이 환상 흡인구는 기판의 외주연을 따라 개구부를 가지고 있기 때문에, 이 개구부 전체에, 거의 균일한 흡인력을 발생시킬 수 있다. 이것에 의하여, 수용부의 대기는, 기판의 중앙 부분으로부터 외주연 측에 위치하는 개구부로 향하여 일양하게 흡인되고, 환상 흡인구를 통하여 배기구로부터 배기된다. 따라서, 수용부의 대기가 일양하게 흡인되기 때문에, 종래와 같이, 기판의 외주연 내측 부근을 따라 배기구가 복수 설치되어 있는 것에 의하여, 배기 포트가 배치된 근방과 그 외의 장소에서 흡인력의 강약이 생기는 경우에 비하여, 건조 얼룩을 억제할 수 있다.

또한, 상기 환상 흡인구는, 상기 기판 보지부에 형성되어 있고, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연 전체 둘레에 걸쳐, 그 외주연으로부터 등거리로 되는 위치에 형성되어 있는 구성으로 하여도 무방하다.

이 구성에 의하면, 환상 흡인구는, 보지된 기판의 외주연으로부터 등거리 위치로 되는 기판 보지부에 형성되어 있기 때문에, 기판의 중앙 부분으로부터 외주연 측에 위치하는 환상 흡인구로 향하여 일양하게 균일한 흡인력이 발생한다. 따라서, 종래의 정류판을 설치할 필요가 없기 때문에, 수용부의 용적을 작게 할 수 있다. 이것에 의하여, 수용부의 증대에 수반하여 도포막 내에 발생하는 기포를 억제할 수 있어, 건조 얼룩의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 상기 개구부는, 상기 수용부와 환상 흡인구에 연통하는 관통구이고, 이 관통구가 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연을 따라 형성되어 있는 구성으로 하여도 무방하다.

이 구성에 의하면, 환상 흡인구에 생기는 흡인력이 둘레 방향에 있어서 일양하지 않은 경우여도, 관통구의 배치 등을 적당 조절하는 것에 의하여, 수용부의 대기를 거의 균일하게 흡인할 수 있다.

구체적인 양태(樣態)로서는, 상기 배기구와 환상 흡인구를 연통하여 접속하는 연통구를 가지고 있고, 이 연통구가 접속되는 환상 흡인구 부분에 있어서의 관통구가, 다른 부분에 있어서의 관통구에 비하여 작게 형성되어 있는 구성으로 할 수 있다.

이 구성에 의하면, 연통구가 접속되는 배기구 부분에서는, 배기구로부터의 흡인력이 다른 부분에 비하여 커진다. 따라서, 이 당해 부분에 있어서의 관통구를 다른 부분보다도 작게 형성하는 것에 의하여, 당해 부분의 흡인력을 다른 부분보다도 작게 할 수 있어, 개구부 전체적으로의 흡인력을 거의 균일하게 할 수 있다.

한층 더 구체적으로는, 상기 관통구는, 상기 연통구와 환상 흡인구가 연통하여 접속되는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라, 점차 커지도록 형성되어 있는 구성으로 하여, 적당히 개구부 전체의 흡인력이 균일하게 되도록 조절하여도 무방하다.

본 발명의 감압 건조 장치에 의하면, 도포막에 건조 얼룩이 형성되는 것을 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 있어서의 감압 건조 장치의 챔버 덮개부와 챔버 본체가 이간한 상태를 도시하는 사시도이다.
도 2는 상기 감압 건조 장치의 챔버 본체의 상면도이다.
도 3은 상기 챔버 본체의 기부를 도시하는 상면도이다.
도 4는 상기 챔버 본체에 기판이 재치된 상태를 도시하는 일부 단면도이다.
도 5는 감압 건조 장치 내에 기판이 수용된 상태를 도시하는 도면이다.

본 발명에 관련되는 실시예를 도면을 이용하여 설명한다.

도 1 ~ 도 5는, 본 발명의 일 실시예에 있어서의 감압 건조 장치를 개략적으로 도시하는 도면이며, 도 1은 감압 건조 장치의 챔버 덮개부(10)와 챔버 본체(20)가 이간(離間)한 상태를 도시하는 사시도이고, 도 2는 챔버 본체의 상면도, 도 3은 챔버 본체의 기부(基部, 21)를 도시하는 도면이고, 도 4는 챔버 본체(20)에 기판(1)이 재치된 상태를 도시하는 일부 단면도이고, 도 5는 감압 건조 장치 내에 기판이 수용된 상태를 도시하는 도면이다.

도 1 ~ 도 5에 도시하는 바와 같이, 감압 건조 장치는, 기판(1) 상에 형성된 레지스트액 등의 도포막을 건조시키는 것이며, 챔버 본체(20)(기판 보지부(20))와 챔버 덮개부(10)를 구비하고 있다. 이 챔버 본체(20)와 후술하는 챔버 덮개부(10)에 의하여, 도 5에 도시하는 바와 같이, 기판(1)을 수용하는 기판 수용부(30)가 형성된다. 그리고, 이 기판 수용부(30)를 감압 환경으로 유지하는 것에 의하여 기판 수용부(30)에 수용된 기판(1)을 건조할 수 있도록 되어 있다.

덧붙여, 이하의 설명에서는, 도 1에 있어서의 지면 상측을 감압 건조 장치의 상방(上方), 도 1에 있어서의 지면 하측을 감압 건조 장치의 하방(下方)으로 하여 설명을 진행하는 것으로 한다.

챔버 본체(20)는, 도포막이 형성된 기판(1)을 보지하는 것이다. 이 챔버 본체(20)는, 기부(21)와 이 기부(21)의 상면(上面)에 취부되는 플레이트부(22)를 가지고 있다. 이 플레이트부(22)에는, 복수의 핀 구멍(22a)이 형성되어 있고, 이 핀 구멍(22a)으로부터 리프트 핀(lift pin, 23)이 돌출하도록 되어 있다. 그리고, 이 돌출한 복수의 리프트 핀(23)의 선단(先端) 부분에 의하여 기판(1)이 보지되도록 되어 있다.

구체적으로는, 기부(21)에는, 핀 구멍(22a)에 대응하는 위치에 핀 수용 구멍(21a)이 형성되어 있고, 이 핀 수용 구멍(21a)에 리프트 핀(23)이 매설되어 있다. 이 리프트 핀(23)은, 기부(21)의 하측에 설치된 구동 장치(도시하지 않음)와 접속되어 있고, 이 구동 장치를 구동시키는 것에 의하여, 리프트 핀(23)이 승강 동작하는 것과 함께, 임의의 위치에서 정지할 수 있도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 리프트 핀(23)이 기부(21) 내에 수용되는 수용 위치와, 플레이트부(22)로부터 돌출하여 기판(1)의 수수(授受)를 행하는 기판 수수 위치와, 건조 공정을 행하는 건조 위치에 정지할 수 있도록 설정되어 있다. 그리고, 리프트 핀(23)이 기판 수수 위치에 위치한 상태로 기판(1)이 리프트 핀(23)의 선단 부분에 재치되면, 도시하지 않는 위치 결정 기구에 의하여, 기판(1)이 미리 설정된 위치에 위치 결정된 후, 리프트 핀을 하강시켜 기판(1)이 건조 위치에 위치한 상태로 보지되도록 되어 있다. 덧붙여, 이 핀 수용 구멍(21a)에는 실(seal)이 설치되어 있고, 리프트 핀(23)이 돌출한 상태여도 핀 수용 구멍(21a)으로부터 기판 수용부(30)의 대기의 누출을 방지할 수 있도록 되어 있다.

또한, 챔버 본체(20)는 배기구(24)를 가지고 있고, 이 배기구(24)로부터 기판 수용부(30)의 대기를 배기하는 것에 의하여, 기판 수용부(30)가 감압되도록 되어 있다. 이 배기구(24)는, 도시하지 않는 진공 펌프와 배관을 통하여 접속되어 있고, 진공 펌프를 작동시키는 것에 의하여, 배기구(24)에 흡인력이 작용하여, 기판 수용부(30)의 대기가 흡인된다. 이것에 의하여, 기판 수용부(30)가 대기압보다도 작은 압력으로 감압되도록 되어 있다. 본 실시예에 있어서의 배기구(24)는, 기부(21)의 중앙 부분이고, 리프트 핀(23)에 의하여 건조 위치에 보지된 기판(1)의 중심 위치에 대향하는 위치에 하나만 설치되어 있다. 따라서, 기판 수용부(30)의 대기는, 기판(1)의 중심 위치에 대향하는 위치로 향하는 기류가 발생하여, 배기구(24)를 통하여 배기된다. 덧붙여, 본 실시예에서는, 하나의 구멍으로 구성되는 배기구(24)가 기판(1)의 중심 위치에 대향하는 위치에 하나만 설치되어 있지만, 복수의 구멍으로 구성되는 배기구(24)여도 무방하다. 이 경우여도, 복수의 구멍으로 구성되는 배기구(24)의 배기 영역의 중심 위치가, 보지된 기판(1)의 중심 위치와 대향하는 위치에 설치되어 있으면, 환상 흡인구(25)의 전체 둘레에 걸쳐 균일한 흡인력을 발생시킬 수 있다.

또한, 챔버 본체(20)에는, 환상 흡인구(25)와, 이 환상 흡인구(25)와 배기구(24)를 연통하여 접속하는 연통구(26)를 가지고 있다. 구체적으로는, 환상 흡인구(25)와 연통구(26)는, 기부(21)에 형성된 홈과, 이들의 홈을 덮는 플레이트부(22)에 의하여 형성되어 있다(도 4, 도 5 참조). 그리고, 환상 흡인구(25)에는, 기판 수용부(30)에 개구하는 개구부(25a)가 형성되어 있다. 따라서, 배기구(24)에 흡인력을 발생시키면, 기판 수용부(30)의 대기가 개구부(25a)로부터 환상 흡인구(25) 및 연통구(26)를 통하여 배기구(24)로부터 배기되도록 되어 있다.

환상 흡인구(25)는, 리프트 핀(23)에 보지된 기판(1)의 외주연을 따라 형성되어 있다. 구체적으로는, 환상 흡인구(25)는, 대략 사각형의 단면 형상(도 5 참조)을 가지고 있고, 보지된 기판(1)의 외주연을 따라 환상으로 형성되어 있다. 즉, 대략 사각형의 단면 형상의 환상 흡인구(25)가 보지된 기판(1)의 외주연을 따라 연속적으로, 보지된 기판(1)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 그리고, 환상 흡인구(25)는, 보지된 기판(1)의 외주연 전체 둘레에 걸쳐 등거리에 형성되어 있고, 본 실시예에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 보지된 기판(1)으로부터 거리 α의 위치에 형성되어 있다. 따라서, 배기구(24)에 흡인력이 발생하면, 환상 흡인구(25)의 전체 둘레에 걸쳐 흡인력이 일양하게 발생하고, 기판(1) 전체에 대하여 거의 일양하게 흡인력이 작용하도록 되어 있다. 덧붙여, 도 2, 도 3에 있어서의 이점쇄선은, 보지된 기판(1)의 위치를 가상적으로 나타내는 것이다.

또한, 환상 흡인구(25)는, 개구부(25a)에 의하여 기판 수용부(30)에 연통되어 있다. 본 실시예에서는, 플레이트부(22)에는 복수의 관통구(22b)가 형성되어 있고, 이 관통구(22b)를 통하여 환상 흡인구(25)와 기판 수용부(30)가 연통되어 있다. 즉, 이 관통구(22b)에 의하여 개구부(25a)가 형성되어 있다.

이 관통구(22b)는, 리프트 핀(23)에 보지된 기판(1)의 외주연을 따라 연속적으로 형성되어 있고, 보지된 기판(1)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 그리고, 관통구(22b)는, 보지된 기판(1)의 외주연 전체 둘레에 걸쳐 등거리 β에 형성되어 있다. 이것에 의하여, 배기구(24)에 흡인력을 발생시키면, 환상 흡인구(25)의 전체 둘레에 걸쳐 발생한 흡인력이 관통구(22b) 전체에 걸쳐 거의 균일하게 발생하는 것과 함께, 기판(1)의 중앙 부분으로부터 관통구(22b)(개구부(25a))로 향하여 흐르는 기류를 일양하게 발생시킬 수 있다.

또한, 환상 흡인구(25)와 연통구(26)가 교차하는 부분에 형성되는 관통구(22b)는, 당해 교차하는 부분으로부터 멀어진 위치에 형성되는 관통구(22b)에 비하여 작게 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 교차하는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라, 순차로 커지도록 형성되어 있다. 이것에 의하여, 환상 흡인구(25)에 발생한 흡인력에 의하여 관통구(22b)를 통하여 균일하게 흡인되도록 되어 있다. 즉, 배기구(24)에서 발생한 흡인력은, 연통구(26)를 통하여 환상 흡인구(25) 전체에 발생하지만, 환상 흡인구(25)에 있어서 연통구(26)에 가까운 부분, 즉 환상 흡인구(25)와 연통구(26)와의 교차 부분에서는, 약간 흡인력이 강하게 발생한다. 그 때문에, 이 환상 흡인구(25)와 연통구(26)와의 교차 부분에서는 관통구(22b)를 작게 형성하여 대기의 흡인량을 적게 하고, 당해 교차 부분 이외에서 보다 큰 관통구(22b)를 형성하는 것에 의하여 대기의 흡인량을 보다 많게 하는 것에 의하여, 환상 흡인구(25)에서 발생한 흡인력을 관통구(22b)의 형성에 의하여 균일화할 수 있다. 따라서, 기판 수용부(30)의 대기가 개구부(25a) 전체에 걸쳐 균일하게 흡인력이 발생하고, 기판 수용부(30)에는, 기판(1)의 중앙 부분으로부터 관통구(22b)(개구부(25a))로 향하여 흐르는 기류를 일양하게 발생시킬 수 있다. 이 일양한 기류의 생성에 의하여, 기판(1)에 형성된 도포막의 건조 얼룩을 억제할 수 있다.

또한, 챔버 본체(20)에는, 도시하지 않는 가스 공급구가 설치되어 있고, 이 가스 공급구로부터 N₂ 가스를 공급하는 것에 의하여, 기판 수용부(30) 내의 감압 상태를 대기압으로 되돌릴 수 있도록 되어 있다.

또한, 도 4, 도 5에 도시하는 바와 같이, 챔버 덮개부(10)는, 승강 동작 가능하게 형성되어 있고, 챔버 본체(20)에 대하여 접리(接離, 접근하거나 떨어지는 것) 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 챔버 덮개부(10)가 챔버 본체(20)에 근접하여 당접(當接, 부딪는 상태로 접하는 것)하는 것에 의하여, 챔버 덮개부(10)와 챔버 본체(20)로 기판을 수용하는 기판 수용부(30)가 형성되도록 되어 있다.

이 챔버 덮개부(10)는, 챔버 본체(20)에 보지된 기판(1)을 덮는 형상을 가지고 있고, 챔버 본체(20)와 대면하는 평판상(平板狀)의 평판부(11)와, 이 평판부(11)의 외주연으로부터 챔버 본체(20) 측으로 돌출하고, 보지된 기판(1)을 둘러싸는 형상을 가지는 측벽부(12)를 가지고 있다.

평판부(11)의 기판 수용부(30) 측은, 평활한 평탄상(平坦狀)으로 형성되어 있고, 기판 수용부(30)의 기류(대기의 흐름)가 방해되지 않도록 형성되어 있다. 또한, 기판 수용부(30) 측의 이면(裏面) 측에는, 리브(rib, 도시하지 않음)가 설치되어 있어, 기판 수용부(30)가 감압된 경우에 평판부(11)가 변형하는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다. 이것에 의하여, 기판 수용부(30)가 감압된 경우여도, 평판부(11)의 기판 수용부(30) 측이 평탄도를 유지할 수 있고, 기판 수용부(30)의 기류의 흐트러짐을 억제하여 건조 얼룩의 발생을 억제할 수 있도록 되어 있다.

또한, 측벽부(12)의 기판 수용부(30) 측은, 평판부(11)와 마찬가지로 평활한 평탄상으로 형성되어 있고, 기판 수용부(30)의 대기의 흐름이 방해되지 않도록 형성되어 있다. 또한, 측벽부(12)에는, 챔버 본체(20)의 기부(21)와 당접하는 면에 실 부재가 설치되어 있다. 이 실 부재는, 보지된 기판(1)을 둘러싸도록 환상으로 형성되어 있다. 이것에 의하여, 챔버 덮개부(10)를 하강시키면, 실 부재가 챔버 본체(20)의 기부(21)에 당접하여, 기판 수용부(30)가 밀봉되도록 되어 있다.

다음으로 감압 건조 장치의 동작에 관하여 설명한다.

우선, 기판(1)의 공급이 행하여진다. 구체적으로는, 챔버 덮개부(10)를 상승시킨 상태로, 도시하지 않는 로봇 핸드(robot hand) 등에 의하여, 도포액이 도포된 기판(1)이 기판 수수 위치에서 정지하고 있는 리프트 핀(23)의 선단 부분에 재치된다. 그리고, 기판(1)의 위치 결정 동작이 행하여진 후, 구동 장치를 작동시켜 리프트 핀(23)을 구동시키는 것에 의하여, 기판(1)을 건조 위치에 위치시킨다.

다음으로, 기판(1)을 건조시킨다. 즉, 챔버 덮개부(10)를 하강시켜 기판 수용부(30)를 밀폐한 후, 진공 펌프를 작동시켜 기판 수용부(30) 내를 감압시키는 것에 의하여, 기판(1) 상의 도포액을 건조시킨다. 구체적으로는, 진공 펌프를 작동시켜 배기구(24)에 흡인력이 발생하면, 이 흡인력이 연통구(26)를 통하여 환상 흡인구(25)에 발생한다. 즉, 보지된 기판(1)의 외주연을 따라 형성되는 환상 흡인구(25) 전체 둘레에 발생한다. 이때, 환상 흡인구(25)에 있어서, 연통구(26)와 교차하는 부분에서는, 그 이외의 부분보다도 약간 흡인력이 커지고 있지만, 환상 흡인구(25) 전체 둘레로 하여 흡인력은 거의 일양하게 발생하고 있다. 그리고, 이 흡인력이 관통구(22b)(개구부(25a))를 통하여 기판 수용부(30)에 작용하지만, 관통구(22b)가, 환상 흡인구(25)와 연통구(26)가 교차하는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라 크게 형성되어 있기 때문에, 개구부(25a) 전체에 걸쳐, 거의 균일한 흡인력이 발생한다. 따라서, 보지된 기판(1)에는, 중앙 부분으로부터 외주연 측에 위치하는 환상 흡인구(25)로 향하여 일양한 기류가 발생한다.

다음으로, 기판 수용부(30)를 소정 시간 감압 건조 상태로 유지하는 것에 의하여, 도포액을 건조시킨 후, 도포 기판(1)의 꺼냄을 행한다. 구체적으로는, 가스 공급구로부터 N₂ 가스를 기판 수용부(30)로 공급하는 것에 의하여 기판 수용부(30) 내를 대기압으로 되돌린다. 그리고, 챔버 덮개부(10)를 상승시켜 도포 기판(1)의 꺼냄을 행하는 것에 의하여, 일련의 감압 건조 장치의 동작이 종료한다.

이상 설명한 대로의 감압 건조 장치에 의하면, 배기구(24)가 기판(1)의 중심 위치와 대향하는 위치에만 배치되어 있기 때문에, 배기구(24)에 흡인력이 작용하면, 환상 흡인구(25)에는, 환상 흡인구(25) 내 전체 둘레에 걸쳐 거의 균일한 흡인력이 발생한다. 그리고, 이 환상 흡인구(25)는 기판(1)의 외주연을 따라 관통구(22b)(개구부(25a))를 가지고 있기 때문에, 개구부(25a) 전체에, 거의 균일한 흡인력을 발생시킬 수 있다. 이것에 의하여, 기판 수용부(30)의 대기는, 기판(1)의 중앙 부분으로부터 외주연 측에 위치하는 개구부(25a)로 향하여 일양하게 흡인되고, 환상 흡인구(25)를 통하여 배기구(24)로부터 배기된다. 따라서, 기판 수용부(30)의 대기가 일양하게 흡인되기 때문에, 종래와 같이, 기판의 외주연 내측 부근을 따라 배기구가 복수 설치되어 있는 것에 의하여, 배기 포트가 배치된 근방과 그 외의 장소에서 흡인력의 강약이 생기는 경우에 비하여, 건조 얼룩을 억제할 수 있다. 또한, 상기 감압 건조 장치에서는, 환상 흡인구(25)가, 챔버 본체(20)(기판 보지부)에 형성되어 있고, 이 환상 흡인구(25)의 개구부(25a)에 의하여 균일한 흡인력이 발생하기 때문에, 종래와 같이 정류판을 설치할 필요가 없다. 이것에 의하여, 기판 수용부(30)의 용적을 작게 할 수 있기 때문에, 기판 수용부(30)의 증대에 수반하여 도포막 내에 발생하는 기포를 억제할 수 있는 것과 함께, 장치 전체를 컴팩트하게 할 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는, 개구부(25a)로서의 관통구(22b)가, 환상 흡인구(25)와 연통구(26)가 교차하는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라 커지는 예에 관하여 설명하였지만, 당해 교차하는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라, 단계적으로 커지는 것이어도 무방하다. 즉, 소정의 크기의 관통구(22b)를 복수개 형성한 일군(一群)의 관통구(22b)를 형성하고, 이 일군의 관통구(22b)의 크기가, 당해 교차하는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라, 일군마다 크게 형성되어 있는 것이어도 무방하다. 즉, 환상 흡인구(25)에 있어서의 흡인력의 강약을 관통구(22b)의 크기로 조절하여, 개구부(25a) 전체적으로 균일한 흡인력을 발생시키는 구성이면 된다. 덧붙여, 환상 흡인구(25)에 있어서의 흡인력이 일정하면, 모두 균일한 크기의 관통구(22b)여도 무방하다.

또한, 상기 실시예에서는, 개구부(25a)가 플레이트부(22)에 형성된 관통구(22b)인 예에 관하여 설명하였지만, 환상 흡인구(25)의 개구 부분을 플레이트부(22)로 덮지 않고, 환상 흡인구(25)의 개구 부분을 개구부(25a)로 한 것이어도 무방하다. 이 구성이어도, 환상 흡인구(25)가 기판(1)을 둘러싸도록 환상으로 형성되어 있기 때문에, 기판 수용부(30)의 대기는, 기판(1)의 중앙 부분으로부터 개구부(25a)로 향하여 일양하게 흡인된다.

또한, 상기 실시예에서는, 연통구(26)가 중앙 위치의 배기구(24)로부터 4방향으로 연장되는 예에 관하여 설명하였지만, 4방향에 한정할 필요는 없다. 즉, 환상 흡인구(25)가 환상으로 연통하여 형성되어 있기 때문에, 연통구(26)의 수에 제한없이, 환상 흡인구(25) 전체 둘레에 일양한 흡인력을 작용시킬 수 있다. 덧붙여, 만일 연통구(26)를 설치하는 수에 의하여, 환상 흡인구(25)에 흡인력의 약간의 강약이 생긴 경우에는, 관통구(22b)의 설치 방법에 따라 개구부(25a)로부터 발생하는 흡인력을 거의 균일하게 할 수 있다.

10 : 챔버 덮개부 20 : 챔버 본체
21 : 기부 22 : 플레이트부
22b : 관통구 24 : 배기구
25 : 환상 흡인구 25a : 개구부
26 : 연통구 30 : 기판 수용부

Claims

기판을 수용하는 수용부와,
상기 수용부의 소정의 위치에 상기 기판을 보지(保持)하는 기판 보지부와,
상기 기판 보지부에 보지된 기판의 중심 위치와 대향하는 위치에 설치되고, 상기 수용부의 대기(大氣)를 배기시키는 배기구와,
상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연(外周緣)을 따라 개구(開口)하는 개구부를 가지고, 상기 기판의 외주연을 따라 환상(環狀)으로 연통(連通)하여 형성되는 환상 흡인구
를 구비하고,
상기 배기구와 상기 환상 흡인구가 연통하여 접속되어 있는 것에 의하여, 상기 배기구에 흡인력이 발생하면 상기 수용부의 대기가 상기 환상 흡인구를 통하여 상기 배기구로부터 배기되는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
제1항에 있어서,
상기 환상 흡인구는, 상기 기판 보지부에 형성되어 있고, 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연 전체 둘레에 걸쳐, 그 외주연으로부터 등거리로 되는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 개구부는, 상기 수용부와 상기 환상 흡인구에 연통하는 관통구이고, 이 관통구가 상기 기판 보지부에 보지된 기판의 외주연을 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
제3항에 있어서,
상기 배기구와 상기 환상 흡인구를 연통하여 접속하는 연통구를 가지고 있고, 이 연통구가 접속되는 환상 흡인구 부분에 있어서의 상기 관통구가, 다른 부분에 있어서의 상기 관통구에 비하여 작게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 관통구는, 상기 연통구와 상기 환상 흡인구가 연통하여 접속되는 부분으로부터 멀어지는 것에 따라, 점차 커지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 감압 건조 장치.