JPH11108243A - 無しゅう動真空ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のゲートバルブにおいては、弁箱に設け
られたボンネットフランジは密閉状で開けることが難し
く、半導体製造装置に取付られたゲートバルブの弁箱を
分解することは多大の労力とコストを必要としていた。 【解決手段】 本発明による無しゅう動真空ゲートバル
ブは、弁箱（１）に開閉自在なボンネットフランジ（１
Ａ）が設けられ、弁体（７）は弁棒（８）に対して着脱
自在であるため、弁箱（１）を半導体製造装置から分離
させることなく、弁体（７）やＯリングの交換が容易に
できる構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無しゅう動真空ゲ
ートバルブに関し、特に、ボンネットフランジを開閉自
在とし、弁棒に対して弁体を着脱自在とすることによ
り、弁体等のメンテナンスを容易化するための新規な改
良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、用いられていたこの種の無しゅう
動真空ゲートバルブとしては、例えば、本出願人による
特公平５−４９８６６号公報に開示された構成を挙げる
ことができる。すなわち、この特公平５−４９８６６号
公報に開示された構成では、弁棒を下げて弁体を開口の
弁座位置に位置させ、この弁棒を傾動させることによっ
て弁体を弁座に押圧させ、弁箱の開口を閉じるようにす
ると共に、弁箱は密閉状に構成されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の無しゅう動真空
ゲートバルブは、以上のように構成されていたため、次
のような課題が存在していた。すなわち、組立後の弁箱
は密閉状で開けることが極めて困難であるため、例え
ば、弁体に設けられているＯリングの交換を必要とする
場合には、極めて困難な作業となっていた。

【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ボンネットフランジを開閉
自在とし、弁棒に対して弁体を着脱自在とすることによ
り弁体等のメンテナンスを容易化した無しゅう動真空ゲ
ートバルブを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明による無しゅう動
真空ゲートバルブは、弁箱の開口を、弁棒に設けられた
弁体で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブにお
いて、前記弁箱には、開閉自在なボンネットフランジが
設けられ、前記弁体は前記弁棒に対して着脱自在にした
構成であり、さらに、前記弁体は全体形状がＬ字型をな
している構成である。

【０００６】

【作用】本発明による無しゅう動真空ゲートバルブにお
いては、ゲートバルブを半導体装置に装着したままの状
態で、ボンネットフランジを弁箱から除去することがで
き、弁体及びＯリング等のメンテナンスを容易に行うこ
とができる。

【０００７】

【実施例】以下、図面と共に本発明による無しゅう動真
空ゲートバルブの好適な１実施例について詳細に説明す
る。図１において符号１で示されるものは周知の開口２
を有する弁箱であり、この弁箱１は、クリーンルームで
用いられる半導体製造装置のチャンバ間に配設されてい
る。さらに、この弁箱１の底部又は上部に位置するボン
ネットフランジ１Ａは図示しないボルト等によって弁箱
１に対して開閉自在に設けられている。前記弁箱１上に
は複数のシリンダ台３，４が設けられ、この各シリンダ
台３，４の上部には、例えば、周知のダイヤフラム式の
空気シリンダからなるアクチュエータ５，６が設けられ
ている。

【０００８】前記弁箱１の上部に形成された穴１ａに
は、板状の弁体７を有する弁棒８が摺動自在に貫通して
設けられており、この弁体７は、図３に示されるように
全体形状がＬ字型をなしていると共に、ボルト９によっ
て前記弁棒８に着脱自在かつ直接結合され、この弁体７
の外面７ａには前記開口２の弁座２ａと接合可能なＯリ
ング１０が設けられている。

【０００９】前記各シリンダ台４の下部には、軸受１１
を介して回動ピン１２が回動自在に設けられており、こ
の回動ピン１２の内端には、その軸方向と直交する方向
に摺動ロッド１３が上方に向けて一体状に形成されてい
る。

【００１０】前記各摺動ロッド１３の上部には、板状の
傾動板１４が設けられ、この傾動板１４の中央位置に設
けられた第１スライドブッシュ１５には、前記弁棒８が
貫通し、この傾動板１４上に設けられた弁棒用空気シリ
ンダ１６のピストン１６ａには前記弁棒８が接続されて
いることにより、この弁棒用空気シリンダ１６によって
弁棒８の直動往復移動を行うことができるように構成さ
れている。

【００１１】前記弁箱１の前記穴１ａの周囲位置には、
この穴１ａを塞ぐための周知のシールベローズ２０の一
端２０ａが固定されていると共に、このシールベローズ
２０内には前記弁棒８がほぼ同軸状に貫通している。

【００１２】前記シールベローズ２０の他端２０ｂの接
続リング２１は前記弁棒８に密着固定されて前記穴１ａ
がこのシールベローズ２０によって密閉状態に保持され
ており、この接続リング２１の周縁には、前記各摺動ロ
ッド１３に第２スライドブッシュ２２を介して相対摺動
自在に設けられた摺動部材２３が接続されている。な
お、この摺動部材２３は全体が一体に形成され、各摺動
ロッド１３に対応した数の第２スライドブッシュ２２を
一体状に有している。

【００１３】次に、動作について述べる。まず、図１の
閉弁状態に示すように、弁棒用空気シリンダ１６のピス
トン１６ａを降下させシールベローズ２０を縮小させ
て、弁体７を開口２に対応させた状態として、各アクチ
ュエータ６を作動させると、この各アクチュエータ６の
プッシュロッド（図示せず）が傾動板１４を押すことに
より、弁棒８及び摺動ロッド１３が同時に傾動し、各摺
動ロッド１３は第２スライドブッシュ２２を介して摺動
部材２３と共に傾動するため、弁棒８は回動ピン１２を
軸心として回動し、弁体７のＯリング１０が開口２の弁
座２ａに当接し、変形することにより開口２が閉弁され
る。なお、この弁体７の外面７ａは、前記弁棒８の軸線
８Ａとは非平行で傾斜して形成されている。また、この
アクチュエータはダイヤフラム式であるため、大気中で
の旋回運動の回転変位を吸収することができ、傾動時の
パーティクル発生を防止することができる。また、弁棒
８を上昇させて開弁すると、シールベローズ２０は図１
よりも伸びた状態となる。

【００１４】なお、前述の場合、弁棒８の材質は、たわ
み可能でかつへたりのない材料より構成されているた
め、前述の傾動時に、弁体７が弁座２ａに当接後も、そ
の弾性によってＯリング１０が押し付けられることにな
り、従来よりもより高真空の条件に適応して閉弁を保つ
ことができるように構成されている。

【００１５】また、前述の弁箱１の底部に形成されたボ
ンネットフランジ１Ａは、前述のように図示しないボル
ト等により開閉自在すなわち着脱自在であるため、ゲー
トバルブを半導体製造装置に装着したままの状態で、ボ
ンネットフランジ１Ａを弁箱１から除去し、弁体７の交
換又は、Ｏリング１０の交換、開口２の清掃を容易に行
うことができる。

【００１６】なお、前述のゲートバルブの構造は一例を
示したもので、弁体７を開口２に対して開閉弁させるた
めの構造については、前述の構成に限定されるものでは
なく、他の構成のゲートバルブについても適用できるこ
とは述べるまでもないことである。

【００１７】

【発明の効果】本発明による無しゅう動真空ゲートバル
ブは、以上のように構成されているため、次のような効
果が得られる。すなわち、弁箱に対してボンネットフラ
ンジが着脱自在であるため、ゲートバルブを半導体製造
装置に装着したままで、弁体、Ｏリング等の清掃や交換
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による無しゅう動真空ゲートバルブを示
す断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図２の拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 弁箱 １Ａ ボンネットフランジ ２ 開口 ７ 弁体 ８ 弁棒

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡本 秀男 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２上 原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 三津山 行男 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２上 原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 加藤 良浩 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２上 原ビル 入江工研株式会社内 (72)発明者 林 雄造 東京都中央区銀座４丁目11番７号 第２上 原ビル 入江工研株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁箱(1)の開口(2)を、弁棒(8)に設けら
   れた弁体(7)で開閉するようにした無摺動真空ゲートバ
   ルブにおいて、前記弁箱(1)には、開閉自在なボンネッ
   トフランジ(1A)が設けられ、前記弁体(7)は前記弁棒(8)
   に対して着脱自在に構成されていることを特徴とする無
   しゅう動真空ゲートバルブ。
2. 【請求項２】 前記弁体(7)は全体形状がＬ字型をなす
   ことを特徴とする請求項１記載の無しゅう動真空ゲート
   バルブ。