JPH1193889A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH1193889A JPH1193889A JP5298198A JP5298198A JPH1193889A JP H1193889 A JPH1193889 A JP H1193889A JP 5298198 A JP5298198 A JP 5298198A JP 5298198 A JP5298198 A JP 5298198A JP H1193889 A JPH1193889 A JP H1193889A
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- turbo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 弁装置を含めた全体をコンパクトに構成する
ことができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 ケーシング１６内にロータＲとステータ
Ｓが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気
機構４０，４８が構成されたターボ分子ポンプにおい
て、ケーシングに設けられた吸気口１８を開閉自在に覆
う弁体２０と、弁体を開閉駆動する弁駆動機構とを有
し、弁駆動機構はターボ分子ポンプと一体に設けられて
いる。
ことができるターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 ケーシング１６内にロータＲとステータ
Ｓが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気
機構４０，４８が構成されたターボ分子ポンプにおい
て、ケーシングに設けられた吸気口１８を開閉自在に覆
う弁体２０と、弁体を開閉駆動する弁駆動機構とを有
し、弁駆動機構はターボ分子ポンプと一体に設けられて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速回転する回転
翼及び／又はねじ溝ロータにより気体の排気を行うよう
にしたターボ分子ポンプに関する。
翼及び／又はねじ溝ロータにより気体の排気を行うよう
にしたターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプの従来の一般的な構造
を図８に示す。これは、主軸１０及びこれと一体に回転
する回転筒状部１２とを有するロータＲと、主軸１０を
取り囲む固定筒状部１４を有するステータＳと、回転筒
状部１２を取り囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ
上に組み上げられて構成されている。このような構成の
ターボ分子ポンプの上流側には、排気すべき装置との間
にコンダクタンス調整弁１００と、開閉弁（ゲートバル
ブ）１１０とが設けられている。
を図８に示す。これは、主軸１０及びこれと一体に回転
する回転筒状部１２とを有するロータＲと、主軸１０を
取り囲む固定筒状部１４を有するステータＳと、回転筒
状部１２を取り囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ
上に組み上げられて構成されている。このような構成の
ターボ分子ポンプの上流側には、排気すべき装置との間
にコンダクタンス調整弁１００と、開閉弁（ゲートバル
ブ）１１０とが設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術においては、それぞれの弁装置の駆動機
構が弁に近接して設けられており、そのために各弁装置
が肥大化して、これらの弁を含むターボ分子ポンプの全
体の構造が大きくなってしまうという課題があった。
うな従来の技術においては、それぞれの弁装置の駆動機
構が弁に近接して設けられており、そのために各弁装置
が肥大化して、これらの弁を含むターボ分子ポンプの全
体の構造が大きくなってしまうという課題があった。
【０００４】本発明は、上記課題に鑑み、弁装置を含め
た全体をコンパクトに構成することができるターボ分子
ポンプを提供することを目的とする。
た全体をコンパクトに構成することができるターボ分子
ポンプを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ケーシング内にロータとステータが収容され、これ
らのロータ及びステータの間に排気機構が構成されたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記ケーシングに設けられた
吸気口を開閉自在に覆う弁体と、該弁体を開閉駆動する
弁駆動機構とを有し、該弁駆動機構は前記ターボ分子ポ
ンプと一体に設けられていることを特徴とするターボ分
子ポンプである。これにより、弁装置を含めたターボ分
子ポンプ全体がコンパクトに構成される。
は、ケーシング内にロータとステータが収容され、これ
らのロータ及びステータの間に排気機構が構成されたタ
ーボ分子ポンプにおいて、前記ケーシングに設けられた
吸気口を開閉自在に覆う弁体と、該弁体を開閉駆動する
弁駆動機構とを有し、該弁駆動機構は前記ターボ分子ポ
ンプと一体に設けられていることを特徴とするターボ分
子ポンプである。これにより、弁装置を含めたターボ分
子ポンプ全体がコンパクトに構成される。
【０００６】請求項２に記載の発明は、前記弁駆動機構
は、前記弁体をロータの軸線方向に開閉駆動するもので
あることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポン
プである。これにより、例えば、弁体を吸気口から外側
へ持ち上げて開くようにすれば、弁装置全体の構成も簡
単で場所を取らない構成となる。
は、前記弁体をロータの軸線方向に開閉駆動するもので
あることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポン
プである。これにより、例えば、弁体を吸気口から外側
へ持ち上げて開くようにすれば、弁装置全体の構成も簡
単で場所を取らない構成となる。
【０００７】前記弁駆動機構を、前記ステータの外側に
配置するようにしてもよい。また前記弁駆動機構を、前
記吸気口の中央部に配置するようにしてもよい。
配置するようにしてもよい。また前記弁駆動機構を、前
記吸気口の中央部に配置するようにしてもよい。
【０００８】請求項３に記載の発明は、前記弁駆動機構
は、前記弁体の開度を調整可能に設けられていることを
特徴とする請求項１又は２に記載のターボ分子ポンプで
ある。これにより、１つの弁装置で開閉弁と開度調整弁
を兼用することができるので、一層の簡略化、省スペー
ス化が図られる。
は、前記弁体の開度を調整可能に設けられていることを
特徴とする請求項１又は２に記載のターボ分子ポンプで
ある。これにより、１つの弁装置で開閉弁と開度調整弁
を兼用することができるので、一層の簡略化、省スペー
ス化が図られる。
【０００９】請求項４に記載の発明は、前記吸気口と前
記弁体の間にラビリンスシール機構が設けられているこ
とを特徴とする請求項３に記載のターボ分子ポンプであ
る。これにより、弁体が全閉となるような開度の近傍で
のコンダクタンスの変化を緩やかにし、より高い圧力領
域での制御性を向上させ、コンダクタンス調整弁として
の機能を高めることができる。
記弁体の間にラビリンスシール機構が設けられているこ
とを特徴とする請求項３に記載のターボ分子ポンプであ
る。これにより、弁体が全閉となるような開度の近傍で
のコンダクタンスの変化を緩やかにし、より高い圧力領
域での制御性を向上させ、コンダクタンス調整弁として
の機能を高めることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１の実施の形態のターボ分子ポ
ンプは、主軸１０及びこれと一体に回転する回転筒状部
１２とを有するロータＲと、主軸１０を取り囲む固定筒
状部１４を有するステータＳと、回転筒状部１２を取り
囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ上に組み上げら
れて構成されている。そして、ケーシング１６の吸気口
１８を開閉自在に覆う弁体２０が設けられている。
を参照して説明する。図１の実施の形態のターボ分子ポ
ンプは、主軸１０及びこれと一体に回転する回転筒状部
１２とを有するロータＲと、主軸１０を取り囲む固定筒
状部１４を有するステータＳと、回転筒状部１２を取り
囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ上に組み上げら
れて構成されている。そして、ケーシング１６の吸気口
１８を開閉自在に覆う弁体２０が設けられている。
【００１１】主軸１０と固定筒状部１４の間には駆動用
モータ２２が配置され、この駆動用モータ２２の上下に
は上部ラジアル軸受２４及び下部ラジアル軸受２６が設
けられている。そして、主軸１０の下部には、主軸１０
の下端のターゲットディスク２８と、ステータＳ側の上
下のコイル３０からなるアキシャル軸受３２がそれぞれ
配置されている。これによって、駆動用モータ２２の駆
動に伴ってロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速
回転するようになっている。
モータ２２が配置され、この駆動用モータ２２の上下に
は上部ラジアル軸受２４及び下部ラジアル軸受２６が設
けられている。そして、主軸１０の下部には、主軸１０
の下端のターゲットディスク２８と、ステータＳ側の上
下のコイル３０からなるアキシャル軸受３２がそれぞれ
配置されている。これによって、駆動用モータ２２の駆
動に伴ってロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速
回転するようになっている。
【００１２】回転筒状部１２の上部外周には回転翼３４
が一体に設けられて羽根車３６を構成し、一方、ケーシ
ング１６の内面には、回転翼３４と交互に配置される固
定翼３８が設けられている。これによって、高速回転す
る回転翼３４と静止している固定翼３８との相互作用に
よって排気を行う翼排気部４０が形成されている。
が一体に設けられて羽根車３６を構成し、一方、ケーシ
ング１６の内面には、回転翼３４と交互に配置される固
定翼３８が設けられている。これによって、高速回転す
る回転翼３４と静止している固定翼３８との相互作用に
よって排気を行う翼排気部４０が形成されている。
【００１３】更に、回転筒状部１２には、固定筒状部１
４の外周に沿って下方に延出するねじ溝部４２が一体に
設けられ、このねじ溝部４２の外周面にねじ溝４４が設
けられている。一方、ステータＳには、このねじ溝部４
２の外周を囲繞するねじ溝部スペーサ４６が配置されて
いる。これによって、高速回転するねじ溝部４２のねじ
溝４４のドラッグ作用によって排気を行うねじ溝排気部
４８が翼排気部４０と排気口４９の間に形成されてい
る。
４の外周に沿って下方に延出するねじ溝部４２が一体に
設けられ、このねじ溝部４２の外周面にねじ溝４４が設
けられている。一方、ステータＳには、このねじ溝部４
２の外周を囲繞するねじ溝部スペーサ４６が配置されて
いる。これによって、高速回転するねじ溝部４２のねじ
溝４４のドラッグ作用によって排気を行うねじ溝排気部
４８が翼排気部４０と排気口４９の間に形成されてい
る。
【００１４】ケーシング１６の外面には、弁体２０をロ
ータＲの軸方向に駆動する弁駆動装置７０が、フランジ
７２から延びる取付部材７４に取り付けられて周方向等
間隔に配置されている。そしてフランジ７２には、周方
向に貫通孔７６が形成され、これを介して弁体２０の縁
部と弁駆動装置７０を連結する複数の弁棒７８が挿通さ
れている。フランジ面にはＯリング８０が配置されて閉
鎖時の気密性を維持する。弁駆動装置７０のアクチュエ
ータとしては、油圧や空気圧で作動するピストン・シリ
ンダ装置や、モータを用いたボールねじ装置等が好適で
ある。
ータＲの軸方向に駆動する弁駆動装置７０が、フランジ
７２から延びる取付部材７４に取り付けられて周方向等
間隔に配置されている。そしてフランジ７２には、周方
向に貫通孔７６が形成され、これを介して弁体２０の縁
部と弁駆動装置７０を連結する複数の弁棒７８が挿通さ
れている。フランジ面にはＯリング８０が配置されて閉
鎖時の気密性を維持する。弁駆動装置７０のアクチュエ
ータとしては、油圧や空気圧で作動するピストン・シリ
ンダ装置や、モータを用いたボールねじ装置等が好適で
ある。
【００１５】このような構成により、アクチュエータ５
４の作動により弁体２０の開閉が行われ、また、弁体２
０を所定位置に開くことにより、コンダクタンスを調整
することもできる。このターボ分子ポンプは、排気対象
である装置のダクト５８等に図８に示すような弁装置を
介することなく、直接に取り付けることができる。ま
た、アクチュエータ５４は弁体２０を主軸１０の方向に
沿って開閉駆動させるので、弁装置の構造や駆動機構が
大幅に簡単になる。従って、全体としてコンパクトなタ
ーボ分子ポンプを提供することができ、クリーンルーム
のような狭いスペースを有効に利用することができる。
４の作動により弁体２０の開閉が行われ、また、弁体２
０を所定位置に開くことにより、コンダクタンスを調整
することもできる。このターボ分子ポンプは、排気対象
である装置のダクト５８等に図８に示すような弁装置を
介することなく、直接に取り付けることができる。ま
た、アクチュエータ５４は弁体２０を主軸１０の方向に
沿って開閉駆動させるので、弁装置の構造や駆動機構が
大幅に簡単になる。従って、全体としてコンパクトなタ
ーボ分子ポンプを提供することができ、クリーンルーム
のような狭いスペースを有効に利用することができる。
【００１６】図２は、図１の実施の形態の変形例を示す
ものであり、吸気口１８と弁体２０の間にラビリンスシ
ール機構８２を設けたものである。このラビリンスシー
ル機構８２は、吸気口１８を形成するフランジ７２の弁
体２０との接触面に全周に渡って形成された環状の溝８
４と、弁体２０の縁部にやはり全周に渡って形成された
環状の突起８６とから構成されている。このようなラビ
リンスシール機構８２により、弁体２０と吸気口１８の
間での気密性が高められ、ターボ分子ポンプの排気動作
の制御性を向上させることができる。
ものであり、吸気口１８と弁体２０の間にラビリンスシ
ール機構８２を設けたものである。このラビリンスシー
ル機構８２は、吸気口１８を形成するフランジ７２の弁
体２０との接触面に全周に渡って形成された環状の溝８
４と、弁体２０の縁部にやはり全周に渡って形成された
環状の突起８６とから構成されている。このようなラビ
リンスシール機構８２により、弁体２０と吸気口１８の
間での気密性が高められ、ターボ分子ポンプの排気動作
の制御性を向上させることができる。
【００１７】図３は、同様に図１の実施の形態の変形例
を示すものであり、吸気口１８と弁体２０の間にラビリ
ンスシール機構８２を設けたものである。このラビリン
スシール機構８２は、弁体２０の吸気口１８の内側に挿
入される位置に、全周に渡って環状の突起８８を形成し
たものである。フランジ７２の面に加工を施す必要が無
く、図２の実施の形態よりも簡単な構成である分、機械
的強度も高い。
を示すものであり、吸気口１８と弁体２０の間にラビリ
ンスシール機構８２を設けたものである。このラビリン
スシール機構８２は、弁体２０の吸気口１８の内側に挿
入される位置に、全周に渡って環状の突起８８を形成し
たものである。フランジ７２の面に加工を施す必要が無
く、図２の実施の形態よりも簡単な構成である分、機械
的強度も高い。
【００１８】なお、より高い気密性を得るために、縁部
と内側に２つの突起８６，８８を形成してもよい。ま
た、フランジ７２面と弁体２０面に溝８４及び突起８６
を２つ以上形成してもよい。また、突起８６をフランジ
７２面に、溝８４を弁体２０に形成してもよい。
と内側に２つの突起８６，８８を形成してもよい。ま
た、フランジ７２面と弁体２０面に溝８４及び突起８６
を２つ以上形成してもよい。また、突起８６をフランジ
７２面に、溝８４を弁体２０に形成してもよい。
【００１９】図４は、この発明の第２の実施の形態を示
すもので、ここでは、弁棒５０は中央に１本のみが設け
られ、また、弁駆動装置７０ａはケーシング１６から延
びるアーム９０により支持されて、吸気口１８内側の中
央部に設けられている。この吸気口直下の中央部は、通
常のターボ分子ポンプではロータＲが延びていない空間
であって、この実施の形態ではこの空間を弁駆動装置７
０ａを収容するために利用している。この場合、弁駆動
装置７０ａは真空排気系の内部に設置されているので、
摺動部分の少ない汚染源になりにくいものであることが
要求される。図５は、図３と同様に図４の実施の形態の
変形例を示すものである。
すもので、ここでは、弁棒５０は中央に１本のみが設け
られ、また、弁駆動装置７０ａはケーシング１６から延
びるアーム９０により支持されて、吸気口１８内側の中
央部に設けられている。この吸気口直下の中央部は、通
常のターボ分子ポンプではロータＲが延びていない空間
であって、この実施の形態ではこの空間を弁駆動装置７
０ａを収容するために利用している。この場合、弁駆動
装置７０ａは真空排気系の内部に設置されているので、
摺動部分の少ない汚染源になりにくいものであることが
要求される。図５は、図３と同様に図４の実施の形態の
変形例を示すものである。
【００２０】図６は、この発明の第３の実施の形態を示
すもので、ここでは、弁駆動装置７０ｂのアクチュエー
タはケーシングの一部を構成する筒状に形成され、これ
に複数の弁棒５０が取り付けられている。弁棒５０は、
内側ケーシング１６ａと外ケーシング１６ｂの間の空間
に収容されている。この実施の形態では、アクチュエー
タの能力が大きいので、安定した開閉動作を行なうこと
ができる。図７は、図３と同様に図６の実施の形態の変
形例を示すものである。
すもので、ここでは、弁駆動装置７０ｂのアクチュエー
タはケーシングの一部を構成する筒状に形成され、これ
に複数の弁棒５０が取り付けられている。弁棒５０は、
内側ケーシング１６ａと外ケーシング１６ｂの間の空間
に収容されている。この実施の形態では、アクチュエー
タの能力が大きいので、安定した開閉動作を行なうこと
ができる。図７は、図３と同様に図６の実施の形態の変
形例を示すものである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
弁駆動機構がターボ分子ポンプと一体に設けられている
ので、ターボ分子ポンプの吸気口と排気される側のダク
ト等を直接に接続することができる。また、弁駆動装置
は弁体を支持する弁体支持部材をロータ軸の方向に沿っ
て開閉駆動させることができるので、弁の構造や駆動機
構が大幅に簡単になる。従って、弁装置を含めた全体を
コンパクトに構成したターボ分子ポンプを提供すること
ができる。
弁駆動機構がターボ分子ポンプと一体に設けられている
ので、ターボ分子ポンプの吸気口と排気される側のダク
ト等を直接に接続することができる。また、弁駆動装置
は弁体を支持する弁体支持部材をロータ軸の方向に沿っ
て開閉駆動させることができるので、弁の構造や駆動機
構が大幅に簡単になる。従って、弁装置を含めた全体を
コンパクトに構成したターボ分子ポンプを提供すること
ができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】図１の実施の形態の変形例を示す図である。
【図３】同様に図１の実施の形態の変形例を示す図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図５】図４の実施の形態の変形例を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態のターボ分子ポンプ
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図７】図６の実施の形態の変形例を示す図である。
【図８】従来のターボ分子ポンプを示す断面図である。
１６ ケーシング １８ 吸気口 ２０ 弁体 ４０，４８ 排気機構 Ｒ ロータ Ｓ ステータ
Claims (4)
- 【請求項１】 ケーシング内にロータとステータが収容
され、これらのロータ及びステータの間に排気機構が構
成されたターボ分子ポンプにおいて、 前記ケーシングに設けられた吸気口を開閉自在に覆う弁
体と、該弁体を開閉駆動する弁駆動機構とを有し、該弁
駆動機構は前記ターボ分子ポンプと一体に設けられてい
ることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記弁駆動機構は、前記弁体をロータの
軸線方向に開閉駆動するものであることを特徴とする請
求項１に記載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項３】 前記弁駆動機構は、前記弁体の開度を調
整可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は
２に記載のターボ分子ポンプ。 - 【請求項４】 前記吸気口と前記弁体の間にラビリンス
シール機構が設けられていることを特徴とする請求項３
に記載のターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5298198A JPH1193889A (ja) | 1997-07-25 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-215645 | 1997-07-25 | ||
| JP21564597 | 1997-07-25 | ||
| JP5298198A JPH1193889A (ja) | 1997-07-25 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1193889A true JPH1193889A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=26393662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5298198A Pending JPH1193889A (ja) | 1997-07-25 | 1998-02-18 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1193889A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003519761A (ja) * | 2000-01-15 | 2003-06-24 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 振動緩衝器を備えた真空ポンプ |
| US6589009B1 (en) | 1997-06-27 | 2003-07-08 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US6953317B2 (en) | 1997-06-27 | 2005-10-11 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| WO2021006224A1 (ja) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置および昇降式ゲートバルブ |
-
1998
- 1998-02-18 JP JP5298198A patent/JPH1193889A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6589009B1 (en) | 1997-06-27 | 2003-07-08 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US6953317B2 (en) | 1997-06-27 | 2005-10-11 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP2003519761A (ja) * | 2000-01-15 | 2003-06-24 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 振動緩衝器を備えた真空ポンプ |
| WO2021006224A1 (ja) * | 2019-07-11 | 2021-01-14 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置および昇降式ゲートバルブ |
| JP2021014814A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ装置および昇降式ゲートバルブ |
| CN113994128A (zh) * | 2019-07-11 | 2022-01-28 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵装置及升降式闸阀 |
| EP3998406A4 (en) * | 2019-07-11 | 2023-07-26 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMPING DEVICE AND SLIDING TYPE SLIDE VALVE |
| US11835048B2 (en) | 2019-07-11 | 2023-12-05 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump device and lifting-type gate valve |
| CN113994128B (zh) * | 2019-07-11 | 2024-03-19 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵装置 |
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