KR20010095017A - 1축 양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법 - Google Patents

1축 양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20010095017A
KR20010095017A KR1020010015704A KR20010015704A KR20010095017A KR 20010095017 A KR20010095017 A KR 20010095017A KR 1020010015704 A KR1020010015704 A KR 1020010015704A KR 20010015704 A KR20010015704 A KR 20010015704A KR 20010095017 A KR20010095017 A KR 20010095017A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
slot
cradle
shaft
door
Prior art date
Application number
KR1020010015704A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100715919B1 (ko
Inventor
토니알. 크뢰커
그레고리에이. 토마시
Original Assignee
리차드 로브그렌
램 리서치 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 리차드 로브그렌, 램 리서치 코포레이션 filed Critical 리차드 로브그렌
Publication of KR20010095017A publication Critical patent/KR20010095017A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100715919B1 publication Critical patent/KR100715919B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0402—Cleaning, repairing, or assembling
    • Y10T137/0491—Valve or valve element assembling, disassembling, or replacing
    • Y10T137/0514—Gate valve

Abstract

예컨대 인접한 처리모듈과 반송모듈 사이에 형성된 진공의 밸브하우징 내에 1개의 샤프트가 설치된 구조의 1축 양날개형 슬롯밸브에 관한 것으로, 2개의 슬롯에 1개의 샤프트가 설치되어도 각 슬롯이 샤프트의 위치에 따라 열림상태와 닫힘상태로 될 수 있도록 되어 있다. 또, 상기 각 슬롯은 인접한 처리모듈이 대기로 개방되어 작용하고 있는 동안 반송모듈이 진공상태를 유지할 수 있도록 되어 있다. 상기 샤프트는 1개의 밸브도어의 이동이 열림상태가 되는 위치에서 정지하도록 제한되고서, 슬롯에서 떨어진 위치에 있을 때 작업인의 손이 닿을 수 있게 되어 있다. 상기 샤프트는 제1크레들에 장착되는 한편, 이 제1크레들은 제2크레들에 장착되고서, 이들 크레들이 각각 모터에 의해 구동되어 상기 샤프트를 한쪽 슬롯은 열리고 다른쪽 슬롯은 닫혀진 2개의 슬롯 사이에서 이동시키는 한편, 상기 샤프트가 또 1개의 모터에 의해 밸브도어가 아래로 이동해서 슬롯이 열려진 위치가 되어 슬롯 주위가 청소될 수 있게 노출될 수 있도록 되어 있다.

Description

1축 양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법 {Single shaft, dual blade vacuum slot valve and method for implementing the same}
본 발명은 반도체처리장치의 모듈에 쓰이는 밸브에 관한 것으로, 특히 2개의 크레들판에 설치된 1개의 샤프트로 복수의 슬롯밸브를 구동시킬 수 있도록 구성된 1축 양날개형 슬롯밸브에 관한 것이다.
또, 본 발명은 반도체처리장치의 각각 분리된 체임버 사이에 1축 양날개형 슬롯밸브를 설치하는 방법에 관한 것으로, 즉 적어도 어느 한쪽 크레들의 피봇이 슬롯의 밀봉면에 대해 밸브가 닫혀진 상태로 된 특정 밸브의 설치면에 수직이 되도록 배치되어, 다른쪽 체임버가 작용을 하는 동안 한쪽의 체임버가 동작할 수 있도록 해서 반도체처리장치가 다체임버 진공시스템을 구성하도록 하는 방법에 관한 것이다.
반도체장치를 처리함에 있어서는, 예컨대 인접한 체임버 사이를 회로기판이나 웨이퍼가 통과할 수 있도록 복수공정의 체임버가 인접되게 배치되도록 하고 있다. 그러한 반송은 예컨대 인접한 체임버들 사이의 서로 인접한 벽체에 형성된 슬롯이나 포트를 통해 웨이퍼를 이동시키는 반송모듈에 의해 이루어지게 되는 바, 이 반송모듈은 여러 종류의 반도체 엣칭장치나 물질침착장치와 같은 회로기판 처리모듈과 관련되어 쓰여지도록 된 것이다.
한편, 반도체장치를 처리함에 있어 점증하는 청정에 대한 요구와 처리의 정밀성에 대한 요청에 따라, 처리도중이나 또는 처리과정 사이에 관리자의 관여도가점차 줄어들게 할 필요가 있게 되었다. 이러한 필요는 중간장치의 역할을 하는 반송모듈을 적용함으로써 일부를 충족시킬 수가 있다(일반적으로 진공상태와 같이 압력이 낮춰진 상태가 유지되도록 함). 즉, 반송모듈이 회로기판이 저장된 1개 이상의 청정실형 저장설비 사이에 위치하도록 하면, 복수의 처리모듈에서 예컨대 기판의 엣칭이나 퇴적과 같은 처리공정이 실제로 이루어질 수가 있게 된다. 이와 같이 회로기판이 가공되어야 할 때는 반송모듈내에 위치한 로봇팔이 선택된 회로기판을 잡아당겨 복합처리모듈 중 하나로 들어가도록 한다.
본 발명과 관련된 기술분야에서는, 회로기판을 복합저장설비와 처리공정모듈로 반송하는 반송모듈의 배열을 흔히 클러스터공구장치라 부르고 있는 바, 도1은 그러한 일반적인 반도체장치처리용 클러스터공구장치로서 1개의 반송모듈(106)에 여러 개의 처리용 체임버(처리모듈)가 접속된 형태로 구성된 것을 나타낸 것으로, 이는 1개의 반송모듈(106)에 각기 다른 설치공정을 수행하게 되는 3개의 처리모듈(108a ~ 108c)이 결합되도록 된 것이다. 이와 같은 예에서는 상기 3개의 처리모듈(108a ~ 108c)이 각각 전자결합플라스마(transformer coupled plasma; TPA) 회로기판 엣칭과 박막층퇴적, 스퍼터링을 수행하도록 설치된 것이다.
또, 상기 반송모듈(106)에는 로드록장치(load lock; 104)가 연결되어 회로기판이 반송모듈(106)내로 반송되는 것을 유도하도록 되어 있는 바, 이 로드록장치(104)는 회로기판을 저장하는 청정실(102)과 결합될 수도 있다. 또, 상기 로드록장치(104)는 회로기판을 뽑아내고 집어넣는 기능에 더해서 반송모듈(106)과 청정실(102) 사이에서 압력조정수단으로도 작용하게 된다. 따라서,청정실(102)이 대기압을 유지하고 있는 동안 예컨대 진공압과 같은 일정한 공기압을 유지할 수 있게 된다. 압력이 변화되는 도중 공기압이 모듈 사이에서 누출되는 것을 막거나, 또는 처리과정에서 처리모듈(108a ~ 108c)을 반송모듈(106)로부터 밀폐시켜지도록 하기 위해서는, 여러 가지 형태의 게이트구동밸브가 각종 모듈을 상호 격리하기 위한 수단으로 사용되게 된다.
이러한 게이트구동밸브의 구체적인 예로서는, 본 발명에서 참고로 하고 있는 미합중국 특허 제4,721,282를 들 수 있다. 다른 예로서는 미합중국 특허 제5,667,197호를 들 수가 있는 바, 이는 2개의 개구형 포트를 갖고 있으면서도 이들 2개의 개구형 포트 중 어느 하나에만 1개의 밸브도어가 갖춰지도록 되어 있어서, 밸브도어를 갖지 않은 포트를 막아줄 수가 없게 된다. 또, 상기 제4,721,282호 특허에서는 게이트밸브가 인접한 반송체임버와 처리체임버 사이의 포트를 개폐하도록만 되어 있지 중간의 밸브하우징을 갖도록 되어 있지는 않다. 여기서는 게이트판을 구동하기 위한 1개의 구동장치가 게이트판을 계속 수직방향으로 움직인 다음 내부포트 쪽으로 반쯤 회전해서 내부포트를 밀봉하거나 닫히게 하도록 되어 있다.
또한, 미합중국 특허 제5,150,882호에는 감압체임버와 엣칭체임버를 포함하는 여러개의 처리체임버 사이에 1개의 밸브가 설치된 것이 개시되어 있는 바, 이 1개의 밸브는 1개의 에어실린더와 1개의 토글장치에 의해 게이트구멍에 밸브가 붙었다 떨어졌다 하도록 구동되어, 스토퍼판이 큰 힘으로 롤러에 닿도록 구성되어 있다. 즉, 처음에는 가동판(可動板)이 수직으로 이동하다가 반시계방향으로 회전하는 링크에 의해 수평방향으로 이동해서 게이트가 게이트구멍 쪽으로 움직일 수 있도록 되어 있다. 이 제5,150,882호 특허에서는 종래의 기술에서 문제로 되고 있던 점을 해결하기 위해, 2중의 단단한 붕소합금으로 만들어진 스토퍼판을 사용하도록 되어 있다. 또, 에어실린더의 단순한 동작이 정지되지 않고 스토퍼판이 롤러에 접촉하고 난 다음에도 동작을 계속하도록 되어 있다. 따라서, 이 제5,150,882호 특허에서는 재질면에서 특별한 것이 요구되는 외에는, 인접하는 처리체임버 사이에 2개의 밸브가 설치될 수가 없게 된다.
한편, 상기 클러스터공구장치에 쓰이는 다른 밸브로는 각 2개의 밸브에 1개의 독립된 액츄에이터가 갖춰지도록 된 것도 있는 바, 이는 밸브동작하우징의 폭을 넓히거나 또는 폭을 좁히려 할 때, 그곳에서 액츄에이터에 의해 밸브에 가해지는 힘을 제한하기 위해 설치되어 있는 것이다. 또, 상기 밸브는 각기 2개의 독립된 액츄에이터에 대해 1개의 벨로즈(bellows)가 갖춰지도록 되어 있는 바, 벨로즈는 비용면에서 예를 들어 2000년에는 1개에 800 ~ 1000 US$나 되어 비싸기 때문에 벨로즈를 2개나 쓰는 것은 비용상 문제로 되고 있다. 더구나, 상기 각 액츄에이터는 각각 별도의 에어실린더에 의해 구동되도록 되어 있어서, 각 액츄에이터에 각각 2개씩의 밸브가 필요하게 된다면 비용면에서 보아 더욱 문제로 되게 된다.
또한, 상기 클러스터공구장치에는 액츄에이터가 장착되는 피봇을 가진 1개의 크레들이 갖춰지도록 되어 있는 바, 상기 피봇은 상기 액츄에이터에 의해 구동되는2개의 밸브의 양쪽 밀봉면을 따라 직선상으로 움직여 들어갈 수가 없도록 되어 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 사정을 감안해서 발명한 것으로, 밸브장치에서 2개의 밸브에 대해 1개의 샤프트만 갖춰짐으로써 1개의 벨로즈가 생략될 수가 있어 비용을 절감할 수 있고, 1개의 샤프트가 2개의 피봇장착 크레들에 장착되도록 되어 있으며, 상기 크레들 중 적어도 어느 한 크레들의 피봇이 어떤 밸브가 밀봉면에 직각방향으로 이동할 수 있게 안내하도록 슬롯의 밀봉면을 닫고 있는 밸브의 장착면에 대해 수직방향으로 정렬되도록 구성되어, 2개의 액츄에이터를 갖는 양날개형 슬롯밸브에서 1개의 에어실린더가 제거될 수가 있고, 또 다른쪽 모듈이 작용하고 있는 도중에도 한쪽 모듈이 작용할 수 있도록 서로 인접한 반송모듈과 처리모듈 사이에 1개의 밸브만 설치되어도 되는 1축 양날개형 슬롯밸브를 제공함에 그 목적이 있다.
도1은, 1개의 반송모듈에 복수의 처리모듈이 접속된 종래의 일반적인 반도체처리용 클러스터공구장치로서, 1개의 처리모듈 또는 반송모듈에 1개의 밸브도어가 설치되어 이들 처리모듈과 반송모듈이 작용함에 있어 그들 중 어느 1개가 닫혀지도록 된 것을 나타낸 개념도,
도2는, 서로 인접하는 반송모듈과 처리모듈 사이에 각각 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브가 설치된 것으로, 2개의 밸브도어가 반송모듈과 처리모듈 사이에 형성된 밸브하우징의 진공부내에 배치되어 그들 중 선택된 모듈만 작용하기 위해서는 그 선택된 것만 닫혀지도록 된 것을 나타낸 도면,
도3은, 서로 마주보는 벽체에 의해 구획된 폭을 가진 밸브하우징과 웨이퍼가 반송모듈에서 처리모듈로 반송할 수 있게 각 벽체에 형성된 슬롯을 가진 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브의 평면도로서, 선택된 모듈이 작용을 하고 있는 동안 다른 모듈 내에서는 계속 작용이 이루어지도록 샤프트가 동작함으로써 1개의 슬롯이 2개의 밸브도어 중 하나에 의해 선택적으로 닫혀지도록 된 것을 나타낸 도면,
도4a는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 제1밸브도어와 제2밸브도어 각각의 동작을제어하는 콘트롤러를 나타낸 개략도로서, 콘트롤러가 1축 양날개형 슬롯밸브를 조작하는 데에 사용하는 컴퓨터워크스테이션과 연결된 상태를 나타낸 도면,
도4b는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 제1밸브도어와 제2밸브도어 각각의 동작을 쉽게 제어할 수 있도록 콘트롤러에 설치되는 3개의 스위치를 나타낸 도면,
도5는, 샤프트가 제2크레들 위에 설치되고서 이 제2크레들이 제1크레들 위에 설치된 구조의 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브의 종단면도로서, 제1크레들과 제2크레들에 갖춰진 모터가 각각 밸브도어를 "열림"과 "닫힘"위치로 이동시키고 있는 상태를 나타낸 도면,
도6a는, 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브에서의 2개의 밸브도어가 샤프트부재에 의해 "열림"과 "위"의 위치에 위치하도록 구동되는 상태를 나타낸 개략종단면도,
도6b는, 도6a와 같은 개략종단면도로서, 1축 양날개형 슬롯밸브의 왼쪽 밸브도어가 다른 밸브도어의 작용이 쉬워지도록 "닫힘"과 "위"의 위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면,
도6c는, 도6a 및 도6b와 같은 개략종단면도로서, 1축 양날개형 슬롯밸브의 양 밸브도어가 슬롯밸브의 작용이 쉬워지도록 "아래"와 "열림"위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면,
도6d는, 1축 양날개형 슬롯밸브의 오른쪽 밸브도어가 다른 밸브도어의 작용이 쉬워지도록 "닫힘"과 "위"의 위치에 있도록 된 것을 나타낸 도면이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 밸브장치는, 반송모듈과 처리모듈과 같은 인접한 2개의 모듈(또는 체임버) 사이의 밸브하우징 내에 2개의 슬롯밸브를 구동시키는 1개의 샤프트가 설치되는 구조로 되어 있다. 즉, 각각 처리모듈에 인접한 1개와 반송모듈에 인접한 1개의 포트(또는 슬롯)로 된 2개의 밸브하우징포트 또는 밸브하우징슬롯에 각각 선택적으로 개폐시켜지는 밸브도어가 갖춰져, 예컨대 다른쪽 포트가 개방되어 있는 동안 한쪽 포트가 선택적으로 닫혀질 수 있도록되어 있다. 다시 말해, 인접한 2개의 모듈 중 한쪽의 처리모듈이 대기(大氣)로 개방되어 처리상태로 되어 있는 동안 다른쪽의 반송모듈 내에서는 진공상태가 유지되도록 선택적으로 밸브가 닫혀지도록 되어 있다. 그 결과, 동작중단시간이 상당히 줄어들게 됨으로써 처리모듈에 작용을 한 후 반송모듈을 소정의 진공이 되도록 함에 있어 펌프휴지싸이클이 필요치 않게 되고, 또 이와 같이 처리모듈에서의 처리작용 때문에 반송모듈을 별도로 조작해야 할 필요가 없게 된다.
또한, 반송모듈로 통하는 밸브가 닫혀 반송모듈이 진공상태를 하고 있으면, 개방된 처리모듈로부터 부서진 웨이퍼와 같은 부스러기가 배출되는 통로가 처리모듈로 통하도록 개방된 밸브에 의해 닫혀질 수 있게 됨으로써, 부스러기에 의해 반송모듈이 더렵혀지지 않게 된다. 이는 일반적으로, 상기 처리모듈 뒤에 있는 밸브도어(valve door)가 부식되면 이것만 교체해주면 되고, 또 이렇게 교체를 하고 있는 도중에도 반송모듈이 진공상태를 유지하도록 할 수가 있게 된다.
더구나, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브는 이와 같은 유리한 작용으로 말미암아 전부 개방된 상태로 된 밸브에 작용될 수 있도록 한쪽 또는 양쪽 밸브에 쉽게 접근하도록 할 수 있게 된다. 이러한 쉬운 접근은 제1크레들에 장착된 제1구동수단과 제2크레들에 장착된 제2구동수단 및 제3구동수단에 의해 구동되는 1개의 샤프트에 의해 이루어질 수가 있도록 되어 있다. 즉, 1개의 밸브가 닫혀지려면, 제1크레들을 회전시키기 위해 제1구동수단이 수축되는 한편, 상기 제1크레들상에서 제2크레들을 회전시키기 위해 제2구동수단이 신장되게 된다. 그리고 상기 제1 및 제2구동수단은 한쪽 밸브가 닫혀지고 다른 밸브가 개방되면 정지상태로 되지만, 이때 이들은 일정간격으로 옆으로(수직방향이 아닌) 떨어져 각각의 슬롯에 맞춰질 수 있게 위치하게 된다. 이 경우, 양쪽 밸브가 모두 작용을 하도록 하려면, 상기 제1구동수단과 제2구동수단이, 상기 샤프트가 개방위치의 중심에 위치해서 각 밸브가 모두 개방위치를 유지하게 되는 위치에서 양 크레들이 정지하도록 신장되어 있어야 한다. 이와 같이 샤프트가 모든 밸브를 개방시키는 위치에 있을 때는 조작을 위한 작업인의 손이 닿을 수가 있게 된다.
상기 제3구동수단은 상기 샤프트를 움직여 상기 2개의 밸브도어를 모두 상기 밸브개방위치로부터 이동해서 각 슬롯으로부터 떨어지게 아래쪽으로 이동하도록 한다. 이와 같이 아래로 이동하게 되면 개방되는 슬롯주변의 밀봉면이 노출되어져 예컨대 밀봉면을 청소할 수가 있게 된다. 또, 상기와 같이 아래로 이동하는 밸브와 이를 수용하는 공간부(이는 일반적으로 뚜껑으로 덮여져 있음) 사이가 수직방향으로 떨어져 있어서, 수직방향으로 이동한 후에는 수리를 위한 작업인의 손이 닿기 어렵게 된다. 그러나, 아래로 이동한 위치에서는 슬롯에 밸브도어가 닿게 되는 접촉면을 포함해서 밸브도어 주변을 청소하는 데 지장이 없게 된다.
또, 인접하는 반송모듈과 처리모듈 사이의 밸브하우징에 의해 형성되는 청정실의 공간을 줄이기 위해 2개의 밸브도어에 1개의 샤프트가 갖춰지도록 되어 있다. 또, 상기 1개의 샤프트가 상기 밸브도어가 중심위치에서 각 밸브도어에 힘을 가하도록 되어 있기 때문에, 밸브도어가 닫혀진 상태를 유지하도록 하는 데에 소요되는 힘이 줄어들 수 있게 된다. 또한, 2개의 액츄에이터와 그에 따른 2개의 벨로즈를 가진 밸브장치에 비해, 1개의 샤프트와 1개의 벨로즈만 소요되게 된다.
한편, 2개의 크레들판 위에 설치된 1개의 샤프트가 1축 양날개형 슬롯밸브를 구동하도록 되어 있어서, 1개의 크레들의 적어도 1개의 피봇이 특정한 밸브의 장착면과 수직방향으로 나란히 배치되어, 특정한 밸브가 밀봉면을 향해 수직으로 이동해서 특정한 밸브가 슬롯의 표면을 덮어주게 된다.
따라서, 2개의 인접한 모듈 중 한쪽 모듈에서 정상적인 작용이 이루어지는 동안 다른쪽 모듈에서는 여러 가지의 작용이 이루어질 수 있게 된다. 그러한 작용으로서는 예컨대 모듈이나 밸브하우징에서 부서진 웨이퍼조각을 제거하거나, 포트의 밀폐면 청소, 체임버의 내부 청소, 상기 밀봉면과 더불어 밀봉작용을 하는 밸브도어나 O-링과 같은 밸브구성부재를 제거하고 갈아끼우는 작업을 할 수가 있게 된다. 상기 모듈(체임버)에서 반도체장치가 처리되는 과정에서 정상적인 작용을 유지하도록 하기 위한 이와 같은 작용 및 기타 다른 작용에 대해 이를 "유지보수작업"이라 칭한다.
본 발명에 따라 얻어질 수 있는 기타의 이점으로는, 본 발명을 설명하기 위해 도시한 첨부도면과 관련해서 다음에 상세히 설명되는 설명내용으로부터 보다 확연해질 수 있을 것이다.
(구 성 예)
본 발명은 반도체장치처리용 클러스터공구장치의 한쪽 모듈이 다른쪽 모듈이 작용을 하고 있는 동안에도 동작을 계속할 수 있도록 구성된 것이다. 즉, 본 발명은 반도체처리장치의 모듈에 쓰이는 밸브에 관한 것으로, 특히 양쪽에 밸브도어를 가진 1개의 샤프트를 가진 구조의 밸브가 반도체처리장치의 상호 분리되어 인접해있는 모듈 사이에 설치되는 구조를 하도록 된 것이다. 이와 같은 본 발명에 대해서는 본 발명과 관련된 기술분야의 기술자라면 설명되는 발명의 내용에 대해 쉽게 이해하여 실시할 수 있을 것이어서, 널리 알려진 처리공정에 대해서는 본 발명의 요지가 흐려지지 않도록 설명을 생략하기로 한다.
도2는, 서로 인접하는 반송모듈과 처리모듈 사이에 각각 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브가 설치된 것을 나타낸 개념도로서, 여기서는 2개의 밸브도어가 반송모듈과 처리모듈 사이에 형성된 밸브하우징의 진공부내에 배치되어 그들 모듈 중 선택된 것만 작용하기 위해서는 그 선택된 것만 닫혀지도록 구성되어 있다.
도시된 것과 같이, 본 발명은 반송모듈(202)과 처리모듈(206)을 갖는 반도체처리용 클러스터공구장치(200)에 적용되는 것으로, 서로 인접하는 반송모듈(202)과 처리모듈(206) 사이에 각각 1축 양날개형 슬롯밸브(204)가 위치하는 구조로 되어 있다. 도2가 평면도 형태로 도시되어 있음을 고려하면, 상기 클러스터공구장치(200)가 평면상으로 보아 반송모듈(202)의 영역과 처리모듈(206)의 영역, 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 영역이 합쳐진 것이라고 말할 수도 있다. 또, 상기 반송모듈(202)과 처리모듈(206)의 영역을 나타낸 도면으로부터 상기 모듈(202, 204, 206)이 작용을 함에 있어 모두 함께 밀봉상태로 되어 있음을 나타내기도 한다. 그리고, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브(204)는 상기 반송모듈(202)과 처리모듈(206)과 함께 밀봉된 상태로 동작하도록 되어 있어서, 각 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 설치면적이 줄어들게 되어 전체 클러스터공구장치(200)의 설치면적이 현저히 줄어들 수가 있게 된다. 이렇게 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 설치면적이 줄어들게 함에 있어, 상기 각 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 폭(W)이 좁아지도록 하는 것이 무엇 보다 중요하다.
도3은 클러스터공구장치(200)의 2개의 모듈 사이에 위치한 밸브하우징(또는 하우징; 212)을 포함하는 본 발명에 따른 1축 양날개형 슬롯밸브(204)를 나타낸 것이다. 도시된 내용으로부터, 2개의 모듈이 1개의 반송모듈(202)과 복수의 처리모듈(206) 중의 1개로 되어 있어서, 상기 밸브하우징(212)이 클러스터공구장치(200)의 어떤 2개의 모듈 사이에 위치하도록 되어 있음을 알 수가 있다. 또, 상기 밸브하우징(212)은 서로 마주보는 벽체(214)에 의해 구획되는 폭(W)을 갖도록 되어 있는 바, 이들 벽체(214) 중 처리모듈(206)에 가깝게 위치한 쪽 벽체를 "PM쪽"이라 하고, 반송모듈(202)에 가까운 쪽 벽체를 "TM쪽"이라 하기로 한다. 또, 상기 밸브하우징(214)은 서로 마주보는 양쪽 끝의 벽체(216)에 의해 구획되는 길이(L)를 가져, 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 평면이 "W"의 폭과 "L"의 길이를 갖는 형상을 하도록 되어 있다.
한편, 상기 각 벽체(214)에는 각각 예컨대 웨이퍼(도시되지 않음)가 한쪽 모듈에서 다른쪽 모듈로 반송될 수 있도록 하는 1개의 슬롯(또는 포트나 구멍; 218)이 갖춰져 있다. 도3에 도시된 바와 같이, 상기 한쪽 모듈이 반송모듈(202)에 해당하는 한편 다른쪽 모듈은 처리모듈(206)에 해당하는 것으로, 상기 한쪽의 반송모듈쪽 슬롯(218T)이 반송모듈(202)에 가까이 위치하고 다른쪽인 처리모듈쪽 슬롯(218P)은 처리모듈(206)에 가까이 위치하도록 되어 있다. 상기 슬롯(218)은 대체로 모두 직사각형상을 하고서 각각 이들 슬롯(218)을 막아주는 작용을 하는 밸브도어(또는 측면밸브도어; 222) 보다 각각 작은 치수를 하도록 되어 있다. 상기 밸브도어(222)와 슬롯(218)에서 이들의 모서리가 모두 둥글게 되어 있기는 하지만 전체적으로 "대략 직사각형상"을 하고 있다고 설명될 수 있어 단지 직사각형상이라 하기로 한다.
상기 각 밸브도어(222)의 가장자리에는 밀봉부(224)가 갖춰져 밸브하우징(212)의 마주보는 밀봉면(226)에 겹쳐지도록 되어 있다. 여기서, 상기 밀봉부(224)는 O-링과 같은 밀봉부재로 이루어져 상기 밀봉면(226)에 눌려져 밸브도어(222)가 다음에 설명될 "닫힘"상태에 있을 때 진공과 가스밀폐상태가 유지될 수 있도록 한다. 이와 달리 상기 밸브도어(222)에다 가류처리(加硫處理)가 된 고무로 된 밀봉수단을 설치하거나 또는 기타 밀봉부재를 교체할 수 있는 밀봉수단을 사용하여도 된다. 상기 벽체(214)에 위치한 밸브도어(222-2)는 반송모듈(202)과 처리모듈(206) 사이를 밀봉하는 역할을 하게 된다. 이와 같이 해서, 상기 TM쪽이 정상적인 진공상태(예컨대 80 ~ 100 mTorr)를 유지하는 동안 PM쪽은 대기로 개방될 수 있게 된다. 또, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브(204)는 처리모듈(206)이 진공상태로 되어 있는 동안 반송모듈(202)로 공기가 드나들 수 있도록 하거나, 또는 반송모듈(202)이 진공상태로 되어 있을 때 처리모듈(206)로 공기가 드나들 수 있게 설계할 수도 있다.
상기 밸브도어(222) 중의 하나에 대해 도3에서 오른쪽에 도시되어 있는 밸브도어(222-1)를 예로 들어보면, 각 슬롯(218)이 샤프트부재(232)의 동작에 따라 선택적으로 닫혀지게 된다. 이와 같이 단지 1개의 샤프트부재(232)만 쓰이도록 되어있어서, 예컨대 처리모듈(206)이 작용을 하고 있는 동안에도 반송모듈(202)내의 작용이 계속될 수 있게 된다. 따라서, 상기 반송모듈(202)과 상기 처리모듈(206) 중 선택된 어느 1개의 모듈만 작용을 하도록 닫혀져야 한다. 이렇게 1개의 샤프트부재(232)가 동작을 하게 됨으로써, 밸브도어(222)가 "닫힘"위치에 있거나 또는 도3에 도시된 것과 같은 "열림"위치에 있도록 하게 된다. 도면에서 X-축은 상기 밸브도어(222)가 "닫힘"위치에서 "열림"위치로 이동하는 약간 휘어진 궤적을 나타낸다. "열림"위치에서는 양쪽 밸브도어(222)가 이들 밸브도어(222)와 벽체(214) 사이에 일정 간극이 이루어지도록 위치하게 된다. 다른 형태의 샤프트부재(232)로는 밸브도어(222)가 도3에 도시된 Z-축을 따라 배치되어 "아래"나 "위"로 이동하도록 할 수도 있다.
도4a에는 상기 반송모듈(202)과 상기 처리모듈(206) 및 1축 양날개형 슬롯밸브(204) 중 1개가 도시되어 있는 바, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브(204)에는 콘트롤러(402)가 연결되어 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 동작을 제어하도록 되어 있는 바, 이에는 밸브도어(222-1, 222-2)의 동작을 제어하기 위해 샤프트부재(232)를 조작하는 것도 포함된다. 또, 상기 콘트롤러(402)는 컴퓨터워크스테이션(404)에 연결되도록 되어 있다. 또한, 상기 콘트롤러(402)는 전자부재(406)를 매개로 1축 양날개형 슬롯밸브(204)에 접속하도록 되어 있다.
도4b는 3가지의 스위치(408, 410, 412)가 배치된 전자부재(406)를 위에서 본 것을 나타내는 바, 그 중 하나의 스위치(408)는 밸브도어(222)가 개폐되는 동작을 제어하는 데에 쓰이고, 다른 하나의 스위치(410)는 밸브도어(222)의 상하이동을 제어하는 데에 쓰이며, 또 다른 하나의 스위치(412)는 작용시킬 모듈(202, 206)을 선택하는 데에 쓰이는 것이다(제작모듈이면 "PM", 반송모듈이면 "TM"). 예를 들어 신호(414)가 콘트롤러(402)와 1축 양날개형 슬롯밸브(204) 사이에서 전송된다면 이는 밸브도어의 개폐가 이루어짐을 의미한다.
도5에는 샤프트부재(232)가 도시되고, 도6a ~ 6d에는 2개의 밸브도어(222-1, 222-2)가 동작하는 상태가 도시되어 있다. 도6b를 보면, 도6a에 도시된 상태로부터 밸브도어(222-1)가 닫혀지도록 옮겨져 왼쪽이 "열림"상태를 하도록 되어 있음을 볼 수 있다. 또, 도6d에서는 도1에 도시된 상태에서 밸브도어(222-2)가 닫혀지도록 옮겨져 오른쪽이 "열림"상태를 하도록 되어 있음을 볼 수 있다. 상기 각 밸브도어(222)의 밀봉부(224)가 슬롯(218)을 밀봉하기 위해 밸브하우징(212)의 밀봉면(226)에 근접하게 되면, 밸브도어(222)의 장착면(222M)이 상기 밀봉면(226)을 향해 대략 수직방향으로 이동해서 덮여지게 된다. 따라서, 상기 X-축은 벽체(214)의 표면과 상기 밀봉면(224) 및 상기 장착면(222M) 모두에 수직을 이루게 된다. 즉, 다음에 설명되듯이 샤프트부재(232)가 밸브도어(222)에 대해 수직방향을 이루는 크레들축선(CL, CR)상에 설치되어 밸브도어(222)에 대략 수직을 이루는 방향으로 이동할 수 있게 되어 있다.
도6a ~ 6d에는 밸브도어(222-1, 222-2)가 상기 크레들축선(CL, CR)에 대해 약간 휘어진 원호형상의 궤적을 이루는 이동을 하도록 되어 있는 바, 그 원호궤적의 곡률반경은 밸브도어(222)가 "열림"상태에 있을 때 밸브하우징(212)의 벽체(214)에 대해 수직을 이루고서 충분할 정도로 떨어져 있다고 할 정도가 되도록큰 곡률반경을 이루도록 되어 있다. 즉, 밸브도어(222)가 "열림"위치에 있을 때는, 밸브도어(222)가 각 밸브도어(222)와 각 벽체(214) 사이에 간극을 갖는 위치를 하고 있게 된다. 상기 밸브도어(222)가 "열림"위치에 있게 되면, 앞에서 설명하였듯이 유지보수를 위한 1축 양날개형 슬롯밸브(204)로의 접근이 용이해지게 된다. 도6a에 나타내어진 "열림"과 "위"의 위치에서 1축 양날개형 슬롯밸브(204)로 쉽게 접근할 수 있다는 것, 즉 수직으로 내려지지 않는 위치에 있다는 것은, "열림"과 "위"의 위치에 있을 때는 1축 양날개형 슬롯밸브(204)의 밸브하우징(212)에서 뚜껑(236)을 벗기면 작업인의 손이 닿을 수 있게 된다.
또, 도5 및 도6a ~ 6d에는 수직방향으로 Z-축이 도시되어 있는데, 이 Z-축은 상기 밸브도어(222)가 상기 슬롯(218)에 대해 상대적으로 "위"와 "아래"로 이동하게 되는 샤프트부재(204)의 중심축에 해당한다. 한편 도6a를 도6b와 비교해 보면, Z-축이 크레들축(CL, CR) 상에서 수직방향(도6a에서의)으로부터 도6b 및 도6d에 나타내어진 TR 또는 TL의 각도로 기울어지는 쪽으로 이동(특히 회전)한다는 것을 알 수가 있다. 이렇게 C-축의 주위에서 방향이 바뀌고, 또 C-축에서부터 밸브도어(222) 중심까지의 사이가 떨어진다는 것(도6d)은, 밸브도어(222)가 X-축을 따라 도6b에서와 같이 O-링(228)이 밀봉면(226)에 닿아 있는 "닫힘"위치로부터 도6a에 도시된 "열림"위치로 이동하는 결과로 되어, 밸브도어(222)가 벽체(214)에서 간극(234)만큼 떨어질 수가 있게 된다.
상기 샤프트부재(232)는 바닥판(302) 상에 설치된 밸브하우징(212)의 내부에 수용되도록 되어 있는 바, 이 밸브하우징(212)에는 X-축을 따라 슬롯(218P, 218T)이 형성되는 한편, 상단부에는 뚜껑(236)에 의해 밀봉되는 개구부가 갖춰진 구조로 되어 있다. 그리고, 상기 바닥판(302) 상에는 벨로즈(306)의 하단부(304)가 밀봉되는 상태로 부착되어 있는 바, 이 벨로즈(306)의 상단부(308)는 벨로즈판(310)에 밀봉상태로 부착되도록 되어 있다. 이와 같이 상기 벨로즈(306)가 바닥판(302)과 벨로즈판(310)에 대해 밀봉되고, 밸브하우징(212)의 상단이 뚜껑(236)으로 밀봉되어 있어서, 밸브하우징(212)이 예컨대 슬롯(218P)을 통해 가해지는 진공압에 대해 충분히 대응할 수 있게 된다. 상기 벨로즈(306)는 속이 빈 원통형상의 공동(空洞) 같은 구조로 되어 있다.
도5에는 상기 바닥판(302)이 주피봇프레임(318)의 서로 떨어진 2개의 프레임부재(316)에 의해 고정되어 있는 것이 도시되어 있는 바, 이들 2개의 프레임부재(316)는 상기 바닥판(302)에서 아래로 뻗어 도시되지 않은 클러스터공구장치(200)의 기부(基部) 상에 설치될 수 있도록 되어 있다. 또, 상기 프레임부재(316)의 바닥부쪽에는 이들 프레임부재(316)에 제1모터(320)를 설치할 수 있도록 연결부재(319)가 갖춰져 있는 바, 이 연결부재(319)에 설치되는 제1모터(320)로는 예컨대 제1크레들(324)로 연결된 피스톤로드(322)를 가진 단동(單動)의 공압모터가 쓰이게 된다.
상기 제1크레들(324)은 오른쪽 크레들축(CR) 상에서 회전하도록 상기 2개의 프레임부재(316) 사이에 설치되게 된다. 또, 상기 프레임부재(316)는 오른쪽 크레들축(CR)과 동축(同軸)을 이루면서 서로 마주보는 제1크레들피봇(326)에 대해 제1크레들(324)이 회전하는 것을 지지해주는 역할을 하도록 되어 있다. 도5에는 왼쪽프레임부재(316)를 위한 피봇(326)이 프레임부재(316) 및 제1크레들(324)을 관통해서 연장되어 있는 바, 오른쪽 프레임부재(316)를 위한 피봇(326)은 도면작성의 편의상 잘라내었다. 도6a ~ 도6d에는 상기 서로 마주보는 제1크레들피봇(326)이 제1크레들(324)의 상부 오른쪽에 나타내어져 있다.
도6a, 도6c, 도6d에 도시된 것과 같이, 상기 제1모터(320)는 피스톤로드(322)가 신장되어 제1크레들(324)이 도6a 및 도6c에 도시된 밸브도어(222)가 모두 "열림"상태로 되는 위치 및 도6d에 도시된 왼쪽 밸브도어(222-2)가 "닫힘"상태로 되는 위치가 되도록 하는 신장위치와, 피스톤로드(322)가 수축되어 제1크레들(324)이 도6b에 도시된 것과 같이 오른쪽 밸브도어(222-1)가 "닫힘"상태가 되도록 하는 수축위치를 갖도록 되어 있다.
도6a ~ 도6d에는 왼쪽 크레들축(CL)이 제1크레들(324) 상에 위치해 있는 것이 나타내어져 있다. 또, 도5에는 상기 왼쪽 크레들축(CL)과 동축상으로 배치된 서로 마주보는 제2크레들피봇(330)이 도시되어 있는 바, 이 제2크레들피봇(330)은 제2크레들(332)의 서로 떨어진 아암(331)이 제1크레들(324)에 대해 지지된 상태로 회전할 수 있도록 지지하는 역할을 하는 것이다. 또한, 도5에는 오른쪽 아암(331)을 위한 피봇(330)이 양쪽 아암(331)과 제1크레들(324)을 관통해서 뻗도록 되어 있는 바, 여기서 주피봇프레임(318)의 오른쪽 프레임부재(316)와 제1크레들(324)의 오른쪽 부분은 도면작성상 잘라내었다.
도6a ~ 도6d에는 서로 마주보는 제2크레들피봇(330)이 제2크레들(332)의 상부 왼쪽에 도시되어 있다. 따라서, 제2크레들(332)이 제1크레들(324)에 대해 왼쪽크레들축(CL) 상에서 상대적으로 회전할 수 있게 된다. 이러한 회전은 제1크레들(324) 상에 설치되어 제1크레들(324)과 함께 움직이도록 된 제2모터(334)에 의해 이루어지게 된다. 이 제2모터(334)로는 예컨대 제2크레들(332)로 연결되는 피스톤로드(336)를 가진 단동의 공압모터가 쓰이게 된다. 한편, 도5에는 상기 제2모터(334)가 제1크레들(324)에 설치되고, 상기 제2크레들(332)이 놋치(notch; 337)에서 절결되어 상기 피스톤로드(336)가 핀(338)과 결합되어 오른쪽 크레들축(CR)과 제2크레들피봇(330) 상에서 회전할 수가 있도록 되어 있다.
또, 상기 제2모터(334)는 상기 제1모터(320)가 역시 신장위치에 있을 때 도6a 및 도6c에 도시된 것과 같이 상기 피스톤로드(336)가 상기 제2크레들(332)의 모든 밸브도어(222)가 "열림"위치에 있도록 하는 신장위치를 갖도록 되어 있다. 이 제2모터(334)는 상기 제1모터(320)가 수축위치에 있을 때 도6b에 도시된 것과 같이 오른쪽 밸브도어(222-1)가 "닫힘"위치에 있도록 하는 데 상기 제1위치가 이용될 수 있도록 되어 있기도 하다. 한편, 상기 제2모터(320)는 또한 상기 제1모터(320)가 신장위치로 되어 있을 때 도6d에 도시된 것과 같이 피스톤로드(336)가 제2크레들(332)을 왼쪽 밸브도어(222-2)가 "닫힘"위치에 있도록 하는 수축위치를 갖도록 되어 있다.
상기 2개의 피스톤로드(322, 336)가 2개의 밸브도어(222)를 "열림"위치가 되도록 동시에 신장위치를 하고, 또 이들 2개의 피스톤로드(322, 336)가 각각 제1 및 제2모터(320, 334)에 의해 스토퍼(350-1, 350-2)에 받혀지도록 밀려져 눌려지게 되는 바, 이들 스토퍼(350-1, 350-2)가 각 피스톤로드(322, 336) 및 각 크레들(324,332)이 신장될 수 있는 한계로 된다.
상기 제2크레들(332)은 또한 상하이동용 제3모터(356)를 지지하도록 되어 있다. 이 상하이동용 제3모터(356)가 제2크레들(332)에 설치되고서 피스톤로드(358)가 제2크레들(332)의 개구부(362)에 설치된 베어링(360)을 통해 신축동작을 하도록 되어 있다. 상기 벨로즈(306)는 피스톤로드(358)의 밸브도어장착부분(364)을 수용할 수 있도록 공동의 원통형상을 한 공간(312)으로 되어 있다.
도6a ~ 도6c에서 볼 수 있듯이 상기 제3모터(356)의 피스톤로드(358)가 상기 베어링(360)을 관통해서 신축동작을 하게 되고, 그에 따라 벨로즈판(310)이 상하로 이동을 할 수 있게 된다. 또, 상기 벨로즈판(310)은 2개의 밸브도어(222-1, 222-2)가 힌지핀(366)을 중심으로 회전할 수 있게 지지하는 밸브도어장착부분(364)을 구동시키게 되는 바, 이 밸브도어장착부분(364)은 2개의 밸브도어(222)에 대해 이들 밸브도어(222) 사이의 중간지점을 중심축선이 지나도록 부착되어, 2개의 밸브도어(222)가 각각 밸브도어장착부분(364)에 의해 길이방향(Z-축방향) 중간지점에서 지지되도록 되어 있다. 이와 같이 2개의 밸브도어(222)가 밸브도어장착부분(364)을 중심으로 해서 설치됨으로써, 밸브도어장착부분(364)에 의해 밸브도어(222)를 닫혀지도록 하기 위해 X-축선방향으로 가해지는 힘(도6a)이 각 밸브도어(222)에 균일해지게 되고, 더구나 구조상 2개의 액츄에이터가 필요하던 종래의 밸브 대신 1개의 샤프트부재(232)에 의해 소정의 폭(W)을 가진 밸브하우징(212)이 구성될 수 있게 됨으로써 밸브의 수가 줄여질 수 있게 된다. 구체적으로 상기 밸브하우징(212)의 폭(W)은 대략 약 16,5cm (6.5inch) 정도가 되도록 하면 된다.
또한 도6a 및 도6c로부터는, 상하이동용 제3모터(356)의 피스톤로드(358)가 신장되었을 때는 상기 밸브도어(222)가 도6a 및 도6b에 도시된 것과 같이 벨로즈(306)가 신장된 "위"의 위치를 하고 있음을 알 수 있다. 한편, 상기 제3모터(356)의 피스톤로드(358)가 수축되었을 때는, 상기 밸브도어(222)가 상기 벨로즈(306)가 쭈그러들어 도6c에 도시된 "아래"위치로 내려가게 됨으로써, 양쪽의 슬롯(218T, 218P) 사이에 직선상의 통로가 형성되어 2개의 모듈(202, 206) 사이를 웨이퍼(도시되지 않음)가 통과할 수 있게 된다. 또, 상기 샤프트부재(232)가, 상기 제1 및 제2모터(320, 334)와 함께 상기 밸브하우징(212)의 제1 및 제2벽체(214-1, 214-2) 각각에 대해 대체로 직각을 이루는 X-축방향으로 동시에 움직이도록 구동하게 된다. 만일 상기 밸브도어(222)가 "열림"위치에 있게 되면, 샤프트부재(232)가 밸브도어(222)를 밸브하우징(212)의 벽체(214)에 대해 대략 평행한 제2방향(수직방향)으로 이동시키게 된다.
앞에서 설명한 바와 같이, 상기 샤프트부재(232)가 2개의 밸브도어(222-1, 222-2)를 지지하도록 되어 있고, 또 상기 X-축이 상기 밸브도어(222)가 "닫힘"위치에서 "열림"위치로 이동하는 궤적을 따라 약간 휘어지도록 되어 있다. 또, 닫혀진 상태로 되어 있는 밸브도어(222-1)가 도6a에 도시된 "열림"위치로 되기 위해서는 왼쪽으로 이동해야 하고, 도6d에 도시된 닫혀진 밸브도어(222-2)가 오른쪽으로 이동하면 도6a에 도시된 "열림"위치로 된다.
또한, 예컨대 제1크레들(324)이 도6b에서 오른쪽 크레들축(CR)을 중심으로 시계방향으로 회전하게 되면, 왼쪽의 크레들축(CL)이 오른쪽 크레들축(CR)에 대해상대적으로 위로 높여지게 된다. 따라서, 오른쪽 밸브도어(222-1)가 닫혔을 때는 왼쪽 크레들축(CL)이 오른쪽 크레들축(CR) 보다 높이 위치하게 된다. 한편, 제1크레들(324)이 도6b에 도시된 오른쪽 밸브도어(222-1)의 "닫힘"위치에서 도6d에 도시된 왼쪽 밸브도어(222-2)의 "닫힘"위치가 되도록 반시계방향으로 회전하면, 상기 왼쪽 크레들축(CL)이 상기 왼쪽 밸브도어(222-2)가 닫혀지고 상기 크레들축(CR, CL)이 Z-축방향으로 같은 높이가 될 때까지 기초가 되는 오른쪽 크레들축(CR)에 대해 상대적으로 아래쪽으로 내려가게 된다.
또, 상기 양쪽의 크레들축(CR, CL)이 X-축방향으로 떨어져 있고, 한쪽 크레들축(CL)이 다른 크레축들(CR)에 대해 상대적으로 이동하도록 되어 있기 때문에, 다음과 같은 장점이 있게 된다. 즉, 각 밸브도어(222)의 가장자리를 이루는 밀봉부(224)가 슬롯(218)을 밀봉하도록 밸브하우징(212)의 밀봉면(226)에 접촉하도록 되어 있어서, 한쪽 크레들축(222)이 슬롯(218)이 밀봉되었을 때 각 크레들축(CL, CR)의 위치가 닫혀진 쪽 밸브도어(222)의 장착면(222M)이 쉽게 이동하게 되도록 하는 위치에 있게 할 수 있게 된다.
또한, 양쪽 크레들축(CL, CR)의 간극을 갖고 떨어져 배치되고, 샤프트부재(232)가 슬롯밸브(204)를 구동하는 2개의 크레들(324. 332) 상에 설치되어 있어서, 한쪽 크레들(324 또는 332)의 피봇[또는 크레들축(CL, CR)]이 어떤 한 밸브도어(222)의 장착면(222M)을 따라 수직방향으로 배치되어 어떤 밸브도어(222)가 슬롯(218)의 밀봉면(226)에 덮여지도록, 예컨대 도6b 및 도6d에 화살표 "C"와 같이 수직방향을 한 밀봉면(226)에 수직방향으로 밸브도어(222)가 이동할 수 있도록 한다. 이 때 상기 장착면(222M)이 이동하는 방향은 상기 밀봉면에 대해 대략 직각방향을 이루도록 하는 것이 바람직한 바, 그렇게 직각되는 방향으로 이동하게 됨으로써 O-링이 밀봉면(226) 위에 확실하게 안착될 수가 있게 된다.
이상과 같이 구성됨으로써, 종래의 클러스터공구장치(100)에서는 기대할 수 없던 내용이 앞에서 설명된 1축 양날개형 슬롯밸브(204)가 반송모듈(202)과 처리모듈(206)과 같은 2개의 모듈(206, 202) 사이의 밸브진공부(212)에 설치되는 구조에 따라 충족될 수 있게 된다. 그리고, 각기 1개의 밸브도어(222)가 1개의 샤프트부재(232)에, 예컨대 처리모듈(206)에 인접한 1개의 슬롯(218P)과 반송모듈(202)에 인접한 1개의 슬롯(218T)과 같은 2개의 슬롯(218)을 각각 개폐하기 위해 설치되어, 한쪽의 모듈이 다른쪽 모듈이 열려져 있는 동안 선택적으로 닫혀질 수 있게 된다. 즉, 인접한 처리모듈(206)이 처리작용을 하기 위해 대기로 개방되어 있는 동안, 선택된 피처리물이 진공상태의 반송모듈(202)내에 대기하고 있게 된다. 그 결과, 처리모듈(206)을 동작시킨 후 반송모듈(202)을 필요한 진공압으로 하는 사이에 요구되는 압축강하사이클이 필요치 않게 되어 비가동시간이 현저히 줄어들게 되고, 처리모듈(206)의 작용 때문에 반송모듈(202)을 별도로 조작할 필요가 없게 된다. 더구나, 처리모듈(206)이 처리작용을 하고 있는 동안 반송모듈(202)을 이용해서 생산과정을 계속할 수 있도록 반송모듈(202)을 진공상태로 둘 수가 있게 됨으로써, 클러스터공구장치(200)의 생산성이 향상될 수 있게 된다.
또한, 왼쪽 밸브도어(222-2)가 반송모듈(202)을 막아 반송모듈(202)이 진공상태로 되어 있으면, 열려져 있는 처리모듈(206)로 이어진 도시되지 않은 부서진웨이퍼조각과 같은 부스러기가 통과하게 되는 통로가 상기 처리모듈(206)과 관련해서 열려져 있는 오른쪽 밸브도어(222-1)에 의해 막혀져 부스러기가 반송모듈(202)로 들어가지 않게 된다. 따라서, 처리모듈(206) 다음에 있는 오른쪽 밸브도어(222-1)만 그것이 못쓰게 되었을 때 교체하면 되므로, 교체가 이루어지는 동안에도 반송모듈(202)에는 진공상태가 유지될 수 있게 된다.
더구나, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브(204)가 상기 한쪽 또는 양쪽의 밸브도어(222)의 동작이 쉽게 이루어지게 작용하도록 되어 있기도 하다. 그러한 작용은 제1모터(320)와 제2모터(334) 및 제3모터(356)에 의해 구동되는 1개의 샤프트부재(232)에 의해 이루어지게 된다.
도5에는 왼쪽 밸브도어(222-2)인 한쪽 밸브도어(222)가 닫혀지도록 제3모터(356)의 피스톤로드(358)가 스토퍼(350-3)쪽으로 신장되어 있음을 볼 수 있다. 또, 상기 제1모터(320)는 상대되는 스토퍼(350-1)에 대해 신장되어 거기에 닿아 정지시켜지게 되도록 되어 있다. 상기 제1모터(324)에는 도6a에 도시된 것과 같이 수직방향으로 제1크레들(324)이 연결되고, 제2모터(334)에는 도6d에 도시된 것과 같이 밸브도어(222)가 "닫힘"위치가 되도록 수축되어, 제2크레들(332)이 기울어지고 왼쪽 밸브도어(222-2)가 "닫힘"위치를 하도록 함과 더불어, 오른쪽 밸브도어(222-1)가 "열림"위치에, 양쪽 밸브도어(222)가 모두 "위"의 위치를 하도록 되어 있다.
만일 양쪽 밸브도어(222)가 모두 동작을 하는 경우에는, 상기 제1모터(320)와 제2모터(334)가 신장되어 각각의 스토퍼(350-1, 350-2)에 닿아 걸려지게 된다.또 상기 제1 및 제2크레들(324, 332)은 도6a에 도시된 것과 같이 중심쪽에 위치해서 양쪽 밸브도어(222)가 모두 "열림"위치가 되도록 수직방향을 유지하고 있게 된다. 이러한 "열림"위치에서는 상기 2개의 밸브도어(222)가 모두 열려진 상태로 되어 있어서 관리자의 유지보수를 위한 작업인의 손이 닿을 수 있게 된다. 또, 상기 제3모터(356)가 상기 샤프트부재(232)의 밸브도어장착부(364)를 이동시켜, 양쪽의 밸브도어(222)가 "열림"위치로부터 아래쪽으로 또 도6d에 도시된 것과 같이 당해 슬롯(218)으로부터 "아래"로 이동해서 슬롯(218) 주위의 밀봉면(226)이 노출되도록 한다. 이렇게 슬롯(218) 주위의 밀봉면(226)이 노출되게 됨으로써 밀봉면(226)을 청소할 수가 있게 된다.
또, 옆으로 이동한 밸브도어(222)와 밸브를 수용하는 공간부(262; 이는 통상적으로 뚜껑으로 덮여있음) 사이가 수직방향으로 떨어지도록 되어 있어서, 이와 같이 수직방향으로 이동한 후에는 유지보수를 하기 위한 작업인의 손이 상기 밸브도어(222)에 미치지 못하게 된다. 그러나, 이와 같이 밸브도어(222)가 아래로 내려진 위치에서는 상기 2개의 슬롯(포트; 218T, 218P) 사이가 서로 관통해서 볼 수 있는 상태로 되어, 상기 밸브도어(222-1, 222-2)가 관리자로 하여금 이들 밸브도어(222-1, 222-2)의 표면을 포함해서 그 주변을 청소하는 데에 지장을 주지 않게 되고, 웨이퍼(도시되지 않음)가 한쪽 모듈에서 다른 모듈로 반송될 수가 있게 된다.
또한, 1개의 밸브장착부(364)에 2개의 밸브도어(222)가 장착되도록 되어 있어서, 밸브하우징(212)의 폭(W)이 좁혀져 예컨대 서로 인접하는 반송모듈(202)과처리모듈(206) 사이에 형성되는 밸브하우징(212)에 의해 점유되는 청정공간부가 줄여지게 된다. 또, 상기 1개의 밸브장착부(362)가 각 밸브도어(222)의 중간위치에서 각 밸브도어(222)에 힘(F)을 가하도록 되어 있어서, 밸브도어(222)가 닫혀진 상태를 유지하도록 하는 데에 필요한 힘(F)이 줄어들게 된다. 그리고, 2개의 액츄에이터와 2개의 벨로즈를 필요로 하였던 종래의 밸브장치에 비해, 1개의 도어설치부(362)와 1개의 벨로즈(306)만을 필요로 하게 된다.
따라서, 2개의 인접한 모듈(202, 206) 중 한쪽의 모듈이 정상적인 작용을 하고 있는 도중에, 2개의 모듈 중 예컨대 처리모듈(206)인 다른쪽 모듈에서도 여러 가지의 작용이 이루어질 수가 있게 된다. 그와 같은 정상적인 작용은 예컨대 또 상기 반송모듈(202)을 이 반송모듈(202)에 인접해 있는 다른 처리모듈(206)과의 관계에서도 적용될 수 있게 됨으로써, 전체적으로 클러스터공구장치(200)의 생산성이 높여질 수 있게 된다. 또한, 상기 처리모듈(206)이 하는 작용으로는, 당해 처리모듈(206)이나 밸브하우징(212)에서 부서진 웨이퍼조각의 배출과, 슬롯(포트; 218)의 밀봉면(226) 청소, 처리모듈(206)의 내부청소, 도어밸브(222)나 O-링과 같은 슬롯밸브(204)의 구성부재를 교체하는 등의 작용이 포함된다.
이와 같은 이점들은 도어장착면(222M)의 동작이 원활히 이루어져야 기대될 수 있게 된다. 즉, 각 밸브도어(222)의 밀봉부(224)가 각 슬롯(218)을 닫을 수 있도록 밸브하우징(212)의 밀봉면(226)으로 다가가게 되면, 슬롯(218)이 닫혀졌을 때의 상기 각 크레들축(CL, CR)의 위치가, 상기 밀봉면(226)에 대해 대략 직각방향을 이루어 닫혀지는 밸브도어(222)의 장착면(222M)과 같아지게 되어, 이러한 직각방향으로의 이동이 O-링(2228)이 밀봉면(226) 상에 정확히 안착될 수 있게 한다.
한편, 이상의 설명은 본 발명의 내용이 이해될 수 있도록 하기 위해 약간 상세히 설명한 것으로서, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있음은 물론이다. 따라서, 이상 설명한 내용은 단지 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 이로 말미암아 발명내용이 제한되는 것은 아니어서, 특허청구범위에 기재되는 내용 및 그와 균등한 범위 내에서는 변형해서 실시하는 것도 포함하게 된다.
이상 설명한 본 발명에 의하면, 밸브장치에서 2개의 밸브에 대해 1개의 샤프트가 갖춰지게 되어 1개의 벨로즈가 생략될 수 있게 됨으로써 비용을 절감할 수 있게 된다. 또, 1개의 샤프트가 2개의 피봇장착 크레들에 장착됨으로써, 종래의 2개의 액츄에이터를 가진 2중밸브의 구조에서 1개의 에어실린더가 제거될 수 있게 된다. 또한, 특히 1개의 밸브장치가 서로 인접하는 반송모듈과 처리모듈 사이에 설치됨으로써 한쪽의 모듈이 다른쪽 모듈이 작용하고 있는 도중에도 작용을 할 수가 있게 된다.

Claims (21)

  1. 각각 슬롯을 가진 양쪽의 벽체를 갖고서, 한쪽 벽체에는 반송모듈이 설치되고 다른쪽 벽체에는 처리모듈이 각각 설치되어, 이들 반송모듈과 처리모듈 사이로 회로기판이 반송될 수 있도록 된 밸브하우징과; 이 밸브하우징 내에 움직일 수 있게 설치되어 상기 한쪽 벽체에 형성된 제1슬롯을 닫을 수 있도록 된 제1밸브도어; 상기 밸브하우징 내에 움직일 수 있게 설치되어 상기 다른쪽 벽체에 형성된 제2슬롯을 닫을 수 있도록 된 제2밸브도어; 이들 제1밸브도어와 제2밸브도어에 연결되는 샤프트 및; 상기 제1밸브도어와 제2밸브도어가 밀봉위치로 되어 각 슬롯이 닫혀지도록 상기 샤프트가 선택적이고 독립적으로 동작할 수 있게 구동하는 2중크레들장치로 이루어진 반도체처리장치의 클러스터공구장치용 1축 양날개형 슬롯밸브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 샤프트가, 이 샤프트가 중간위치에 있을 때는 상기 각 제1밸브도어와 제2밸브도어가 상기 각 제1슬롯과 제2슬롯에서 떨어져 그들 사이의 공간에 위치할 수 있게 구성되고; 상기 2중크레들장치가 각각 일정한 길이로 신장되는 구동수단을 가진 복수의 제1크레들과 제2크레들로 이루어져, 상기 각 구동수단이 소정의 길이로 신장된 위치에서는 중앙에 위치하는 샤프트에 접해지게 됨으로써 상기 제1밸브도어와 제2밸브도어가 모두 개방위치를 하게 되도록 구성된 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1크레들이 상기 밸브하우징에 상대적으로 회전할 수 있게 설치되어 제2크레들을 구동하는 한편, 상기 제2크레들이 상기 제1크레들에 상대적으로 회전할 수 있게 설치되어 상기 샤프트를 구동하고, 상기 각 구동장치가 소정의 길이로 수축될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  4. 제3항에 있어서, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브에, 상기 크레들이 각각 그들 중 어느 하나는 신장위치가 되도록 하고 다른 하나는 수축위치가 되도록 하여 상기 제1밸브도어와 제2밸브도어가 열림에서 닫힘으로 바뀌는 궤적을 따라 이동하도록 함으로써, 이들 제1밸브도어와 제2밸브도어가 열림상태와 닫힘상태로부터 선택적 또는 개별적으로 이동해서 각각 슬롯을 닫아주는 밀봉위치가 될 수 있게 하는 콘트롤러가 갖춰진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  5. 제2항에 있어서, 상기 2중크레들장치에, 상기 크레들 중 하나에 장착된 1개의 모터와, 상기 반송모듈과 처리모듈 사이로 피처리물이 반송될 수 있도록 상기 2개의 슬롯 사이로부터 중앙위치로 상기 샤프트를 이동시키는 1개의 모터가 설치된 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  6. 제1항에 있어서, 상기 2줄크레들장치가, 상기 밸브하우징을 지지하는 프레임과, 이 프레임에 장착되어 상기 밸브하우징에 대해 상대적으로 이동할 수 있게 설치된 제1크레들, 이 제1크레들 상에 장착되어 상기 밸브하우징에 대해 상대적으로 이동할 수 있게 설치된 제2크레들 및, 이 제2크레들 상에 장착되어 상기 제1 및 제2크레들의 상기 밸브하우징에 대한 위치를 달라지게 해서 이 밸브하우징 내에서 상기 슬롯 중 선택된 것을 열려지거나 닫혀지도록 하는 샤프트로 이루어진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  7. 제6항에 있어서, 상기 2중크레들장치에, 상기 샤프트를 한쪽방향으로 이동시켜 상기 슬롯 중 하나가 닫혀지도록 상기 각 크레들을 이동시키는 모터가 갖춰진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  8. 제6항에 있어서, 상기 2중크레들장치에, 상기 샤프트를 한쪽으로 이동시켜 한쪽 슬롯이 닫혀지게 하는 한편 상기 샤프트를 다른쪽으로 이동시켜 다른쪽 슬롯이 닫혀지도록 상기 각 크레들을 구동하는 모터가 갖춰진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  9. 반도체처리용 클러스터공구장치에 쓰이는 1축 양날개형 슬롯밸브를 설치하는 방법에 있어서, 반송모듈과 처리모듈 사이를 피처리물이 반송될 수 있도록 한쪽 측벽에는 제1슬롯이 형성되고 다른쪽 측벽에는 제2슬롯이 각각 형성된 밸브하우징을 준비하고서, 이 밸브하우징의 한쪽 측벽에 반송모듈을 부착하는 한편, 이 밸브하우징의 다른쪽 측벽에는 처리모듈을 부착한 다음, 상기 밸브하우징 내에 상기 제1슬롯을 닫아 밀봉하기 위한 제1밸브도어를 설치하는 한편, 상기 밸브하우징 내에 상기 제2슬롯을 닫아 밀봉하기 위한 제2밸브도어를 설치하고, 이어 상기 제1 및 제2밸브도어를 가로로 직선상으로 이동할 수 있게 1개의 샤프트에다 장착하고 나서, 이 샤프트를 상기 제1 및 제2밸브도어가 각각 슬롯을 밀봉하기 위해 선택적으로 개별로 이동하기 위해 서로 떨어져 위치한 피봇을 가진 2중크레들장치 상에 지지될 수 있게 설치하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 샤프트를 2중크레들장치에 지지되도록 함에 있어, 샤프트가 중앙위치에 있을 때 상기 각 제1 및 제2밸브도어가 상기 제1 및 제2슬롯 사이에 이들 제1 및 제2슬롯에서 떨어진 열림상태가 되도록 하는 위치에 있도록 하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 샤프트를 상기 제1 및 제2밸브도어 사이의 중간에 지지되도록 설치하는 것이, 제1크레들과 제2크레들로 이루어진 2중크레들장치를 준비하고서, 각기 닫힘위치에 있는 밸브도어에 맞춰 피봇을 서로 떨어지게 위치하도록 하고 나서, 상기 각 크레들을 상기 각 피봇에 각각 장착시켜 상기 제1 및 제2밸브도어가 선택적으로 당해 슬롯의 평면에 직각방향으로 이동해서 당해 슬롯을 밀봉할 수 있게 설치하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 샤프트를 상기 제1 및 제2밸브도어 사이의 중간에 지지되도록 설치하는 것이, 상기 제1 및 제2크레들로 이루어진 2중크레들장치를 준비하고서, 상기 제1크레들을 상기 제2크레들 상에 간격을 갖고 배치된 피봇 중의 하나에다 회전할 수 있게 장착시켜 제1 및 제2회전위치 사이를 이동하도록 한 다음, 상기 샤프트를 상기 제1크레들 상에 장착하고, 이어 상기 제2크레들을 상기 간격을 갖고 배치된 피봇 중 다른 것에 장착시켜 제3 및 제4회전위치와 상기 밸브하우징에서 떨어진 위치로 이동하도록 하고 나서, 상기 제1 및 제2크레들의 회전이 각각 상기 샤프트가 밸브도어가 열림위치로 되는 제1 및 제3회전위치에서 제한되도록 하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 2중크레들장치를 설치하는 것이, 상기 제1크레들이제2회전위치에 위치함과 더불어 상기 제2크레들이 제4회전위치에 위치하도록 함으로써 상기 샤프트가 이동해서 상기 밸브도어 중 하나가 상기 제1슬롯을 닫아 밀봉하는 위치에 있도록 하는 한편, 상기 제1크레들이 제1회전위치에 위치함과 더불어 상기 제2크레들이 제3회전위치에 위치하도록 함으로써 상기 샤프트가 이동해서 상기 밸브도어 중 다른 것이 상기 제2슬롯을 닫아 밀봉하는 위치에 있도록 하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  14. 반송모듈과 처리모듈 사이에 1축 양날개형 슬롯밸브가 위치하도록 하고서, 이 1축 양날개형 슬롯밸브의 제1슬롯과 제2슬롯을 상기 제1 및 처리모듈 사이로 피처리물이 통과할 수 있게 위치하도록 한 다음, 상기 1축 양날개형 슬롯밸브 내에 제1밸브도어와 제2밸브도어를 각각 제1슬롯과 제2슬롯을 닫을 수 있도록 설치하고 나서, 상기 제1 및 제2밸브도어를 샤프트에 장착하고, 이어 제1크레들 및 제2크레들 중 어느 하나에 각각 함께 설치된 2개의 모터 중 하나와 이들 크레들 중 하나에 장착된 샤프트에 의해 구동되는 힘으로, 상기 샤프트에다 상기 제1 및 제2슬롯 중 어느 하나가 닫혀지는 쪽으로 힘을 가하여, 한쪽 밸브도어는 슬롯을 닫아주는 위치를 하고 다른쪽 밸브도어는 슬롯을 열어주는 위치하도록 하는 반도체처리용 클러스터공구장치의 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 2개의 모터가 하나는 신장을 위한 것이고 다른 하나는 수축을 위한 것이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 크레들 중 하나를 다른쪽 크레들 상에 회전할 수 있게 장착한 다음, 이 다른쪽 크레들을 제1 및 제2슬롯을 가진 밸브하우징 상에 회전할 수 있게 장착하고, 이어 상기 크레들 중 하나에 상기 샤프트를 장착하여 상기 2개의 모터가 각각 상기 크레들 중 하나를 회전시킬 수 있도록 하여, 상기 샤프트가 1개의 크레들에 대해 상기 제1 및 처리모듈 사이로 피처리물이 통과할 수 있도록 슬롯에서 밸브도어가 떨어지도록 하는 과정이 더 갖취진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브 설치방법.
  17. 처리모듈과 반송모듈을 가진 반도체처리장치에 쓰이는 클러스트공구장치용 1축 양날개형 슬롯밸브에 있어서, 각각 상기 처리모듈과 반송모듈이 부착되어 이들 처리모듈과 반송모듈 사이로 피처리물이 통과할 수 있도록 하는 슬롯이 각각 갖춰진 처리모듈쪽 벽체와 반송모듈쪽 벽체를 가진 진공부를 이루는 밸브하우징과; 이 밸브하우징 내에서 상기 처리모듈쪽 슬롯과 반송모듈쪽 슬롯에 대해 밸브도어를 각각 밀봉궤적으로 가까워졌다 멀어졌다 하도록 하는 도어장착단부와, 상기 처리모듈쪽 슬롯과 이송모듈쪽 슬롯 사이가 관통되어 보이도록 밸브도어를 상기 밀봉궤적에 대해 직각이 되는 방향으로 상기 밸브하우징에서 떨어지게 이동하도록 하는 도어장착단부를 가진 샤프트; 상기 처리모듈쪽 슬롯을 개폐시키기 위해 밀봉궤적을 따라 이동할 수 있게 상기 샤프트의 도어장착단부에 장착된 제1밸브도어 및; 상기 반송모듈쪽 슬롯을 개폐시키기 위해 밀봉궤적을 따라 이동할 수 있게 상기 샤프트의 도어장착단부에 장착된 제2밸브도어가 갖춰져; 상기 제1 및 제2밸브도어가 상하방향으로 이동하는 샤프트에 장착되어, 아래로 내려진 위치에서는 양 슬롯을 잇는 선에서 밑으로 내려간 위치를 하면서 이들 슬롯에 인접한 벽으로부터도 떨어지게 하도록 구성되는 한편; 상기 샤프트를 구동하기 위해 상기 샤프트의 도어장착단부가 밸브도어의 개폐이동궤적과 상하이동궤적을 따라 움직이도록 상기 샤프트를 구동하는 2중크레들장치와; 이 2중크레들장치 상에 설치되어, 상기 밸브하우징 내에서 상기 샤프트의 도어장착단부를 도어개폐궤적을 따라 상기 각 처리모듈쪽 슬롯과 반송모듈쪽 슬롯에 대해 가까워졌다 떨어졌다 하도록 이동시키는 제1구동기구와, 상기 샤프트의 도어장착단부를 밸브하우징의 상하방향으로 이동시키는 제2구동기구로 이루어진 샤프트구동기구로 이루어진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  18. 제17항에 있어서, 상기 2중크레들장치가 상기 제2크레들 상의 제1축에 회전할 수 있게 장착된 제1크레들과 상기 밸브하우징 상의 제2축에 회전할 수 있게 장착된 제2크레들로 이루어지고, 상기 샤프트가 상기 제1크레들 상에 장착되며, 상기제1구동기구가 상기 제1 및 제2크레들 상에 이들 제1 및 제2크레들을 회전시킴과 더불어 밸브하우징 내에서 상기 샤프트의 도어장착단부를 도어개폐궤적을 따라 각각 처리모듈쪽 슬롯과 반송모듈쪽 슬롯에 대해 가까워졌다 떨어졌다 하도록 장착되는 한편, 상기 제1구동기구가 상기 제1크레들 상에 상기 도어장착단부를 밸브하우징에 대해 상하방향으로 이동시키도록 장착된 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  19. 제17항에 있어서, 상기 제1 및 제2구동기구를 각각 제어하는 콘트롤러와, 이 콘트롤러에 연결되어 상기 제1밸브도어가 상기 처리모듈이 작용을 하게 되는 닫힘위치로 있게 함과 더불어 상기 제2밸브도어도 상기 반송모듈이 작용하게 되는 닫힘위치로 있게 하도록 하는 컴퓨터워크스테이션이 더 갖춰진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  20. 제19항에 있어서, 상기 밸브하우징에는 상기 밸브도어가 동작하도록 수용되는 공간부가 형성되고, 상기 컴퓨터 워크스테이션에 상기 콘트롤러로 하여금 상기 샤프트부재의 동작과, 상기 제1 및 제2밸브도어의 상하이동, 상기 제1밸브도어의 개폐궤적에 따른 제1슬롯 열림위치로의 이동, 상기 제2밸브도어의 개폐궤적에 따른 제2슬롯의 닫힘위치로의 이동을 제어하는 컴퓨터프로그렘이 설치되어, 상기 제1밸브도어가 열림상태에서 위의 위치에 있을 때 상기 밸브하우징의 공간부를 통해 깨끗한 새 밸브도어로 교체할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
  21. 다체임버 진공시스템에 사용되는 1축 양날개형 슬롯밸브에 있어서, 서로 인접한 제1체임버와 제2체임버 사이로 피처리물이 반송될 수 있도록 제1슬롯이 형성된 상기 제1체임버쪽 벽체와 제2슬롯이 형성된 상기 제2체임버쪽 벽체를 가진 밸브하우징과, 이 밸브하우징 내에 상기 제1슬롯을 닫도록 이동할 수 있게 설치된 제1밸브도어, 상기 밸브하우징 내에 상기 제2슬롯을 닫도록 이동할 수 있게 설치된 제2밸브도어, 상기 제1 및 제2밸브도어 각각에 함께 연결된 샤프트 및, 상기 제1 및 제2밸브도어를 각 슬롯이 닫혀지도록 하는 닫힘위치로 개별로 선택되어 이동할 수 있게 상기 샤프트를 구동하는 2중크레들장치로 이루어진 것을 특징으로 하는 1축 양날개형 슬롯밸브.
KR1020010015704A 2000-03-30 2001-03-26 단일 샤프트, 2 중 블레이드 진공 슬롯 밸브 및 그 구현방법 KR100715919B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/538,923 US6390448B1 (en) 2000-03-30 2000-03-30 Single shaft dual cradle vacuum slot valve
US09/538,923 2000-03-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010095017A true KR20010095017A (ko) 2001-11-03
KR100715919B1 KR100715919B1 (ko) 2007-05-08

Family

ID=24149000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010015704A KR100715919B1 (ko) 2000-03-30 2001-03-26 단일 샤프트, 2 중 블레이드 진공 슬롯 밸브 및 그 구현방법

Country Status (4)

Country Link
US (3) US6390448B1 (ko)
JP (1) JP4871452B2 (ko)
KR (1) KR100715919B1 (ko)
TW (1) TW486554B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101247202B1 (ko) * 2005-08-26 2013-03-27 에이시스 오토매틱 시스템즈 게엠베하 운트 콤파니 콤만디트게젤샤프트 게이트 밸브 및 이를 포함하는 기판처리장치
KR101292806B1 (ko) * 2007-11-23 2013-08-02 주성엔지니어링(주) 슬롯 밸브 어셈블리 및 그 작동 방법
CN111213221A (zh) * 2017-10-05 2020-05-29 应用材料公司 分开的狭缝衬垫门

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6347918B1 (en) * 1999-01-27 2002-02-19 Applied Materials, Inc. Inflatable slit/gate valve
US6913243B1 (en) * 2000-03-30 2005-07-05 Lam Research Corporation Unitary slot valve actuator with dual valves
US6390448B1 (en) * 2000-03-30 2002-05-21 Lam Research Corporation Single shaft dual cradle vacuum slot valve
TW503973U (en) * 2001-12-31 2002-09-21 Helix Technology Inc Independent valve structure
JP4304365B2 (ja) * 2002-12-16 2009-07-29 Ｓｍｃ株式会社 ゲートバルブ
US7086638B2 (en) * 2003-05-13 2006-08-08 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber
JP4462912B2 (ja) * 2003-12-10 2010-05-12 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板処理装置の管理方法
PL1577592T3 (pl) * 2004-03-15 2008-09-30 Applied Mat Gmbh & Co Kg Zawór suwakowy
US7445015B2 (en) * 2004-09-30 2008-11-04 Lam Research Corporation Cluster tool process chamber having integrated high pressure and vacuum chambers
JP4437743B2 (ja) * 2004-12-21 2010-03-24 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置用開閉機構及び真空処理装置
US7198251B2 (en) * 2004-12-21 2007-04-03 Tokyo Electron Limited Opening/closing mechanism for vacuum processing apparatus and vacuum processing apparatus using the same
JP2006214489A (ja) * 2005-02-02 2006-08-17 Hitachi High-Technologies Corp 真空処理装置
EP1698715A1 (de) * 2005-03-03 2006-09-06 Applied Films GmbH & Co. KG Anlage zum Beschichten eines Substrats und Einschubelement
US7699957B2 (en) * 2006-03-03 2010-04-20 Advanced Display Process Engineering Co., Ltd. Plasma processing apparatus
KR101020160B1 (ko) * 2006-03-03 2011-03-09 엘아이지에이디피 주식회사 플라즈마 처리장치
JP5080169B2 (ja) * 2006-09-20 2012-11-21 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
US7943006B2 (en) * 2006-12-14 2011-05-17 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for preventing arcing at ports exposed to a plasma in plasma processing chambers
US8082741B2 (en) * 2007-05-15 2011-12-27 Brooks Automation, Inc. Integral facet cryopump, water vapor pump, or high vacuum pump
DE102007059039A1 (de) 2007-12-06 2009-06-18 Vat Holding Ag Vakuumventil
US8141846B2 (en) * 2008-06-10 2012-03-27 Mark Gehrig Vacuum sealing system and device
CN103939628B (zh) * 2008-08-28 2016-05-18 应用材料公司 具有移动适配部分的用以耦接o形环的狭缝化tssl阀门
DE102008061315B4 (de) * 2008-12-11 2012-11-15 Vat Holding Ag Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange
WO2010115917A1 (de) 2009-04-07 2010-10-14 Vat Holding Ag Vakuumventil und vakuumkammersystem
TWI541465B (zh) * 2009-10-27 2016-07-11 Ｖａｔ控股股份有限公司 用於真空閥之封閉單元
KR101085241B1 (ko) 2010-04-23 2011-11-21 주식회사 뉴파워 프라즈마 게이트밸브어셈블리와 이를 포함하는 기판처리시스템
KR101252665B1 (ko) * 2011-07-29 2013-04-09 (주)에스더블유피 반도체 생산장비의 게이트밸브
KR101293590B1 (ko) * 2011-12-16 2013-08-13 주식회사 뉴파워 프라즈마 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템
KR101375280B1 (ko) * 2012-04-06 2014-03-17 프리시스 주식회사 게이트 밸브
CN103453159B (zh) 2012-06-03 2018-05-29 德朱瑞克公司 用于闸阀的耐磨环定位器
KR20140048752A (ko) * 2012-10-16 2014-04-24 삼성전자주식회사 슬릿 밸브 유닛 및 이를 구비하는 성막 장치
US8960641B2 (en) * 2012-11-14 2015-02-24 Vat Holding Ag Vacuum valve
EP2781813A1 (de) 2013-03-21 2014-09-24 VAT Holding AG Vakuumventil
TWI656293B (zh) * 2014-04-25 2019-04-11 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 閥
US10184291B2 (en) * 2014-12-19 2019-01-22 Vat Holding Ag Door for closing a chamber opening in a chamber wall of a vacuum chamber
US10302225B2 (en) 2015-03-09 2019-05-28 Vat Holding Ag Vacuum valve
KR20160119643A (ko) * 2015-04-06 2016-10-14 주식회사 퓨젠 사각 게이트 진공밸브 및 그 작동방법, 그리고 그를 구비하는 반도체 제조장치
KR101597818B1 (ko) * 2015-06-19 2016-02-25 주식회사 퓨젠 사각 게이트 진공밸브
KR101784839B1 (ko) * 2015-09-25 2017-11-06 프리시스 주식회사 양방향 게이트밸브
TWI705212B (zh) 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
TWI740981B (zh) 2016-08-22 2021-10-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 真空閥
CN107355590A (zh) * 2017-07-18 2017-11-17 上海航天控制技术研究所 一种抽气阀工装及其抽气密封方法
KR102278560B1 (ko) * 2019-06-13 2021-07-19 (주) 엔피홀딩스 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법
WO2019240516A2 (ko) * 2018-06-15 2019-12-19 (주) 엔피홀딩스 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법
WO2020004868A1 (ko) * 2018-06-27 2020-01-02 (주) 엔피홀딩스 게이트 밸브 시스템
JP6607428B1 (ja) * 2019-05-07 2019-11-20 入江工研株式会社 ゲートバルブ
US11328943B2 (en) 2020-04-03 2022-05-10 Applied Materials, Inc. Dual gate and single actuator system
US11749540B2 (en) 2020-08-21 2023-09-05 Applied Materials, Inc. Dual actuating tilting slit valve

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR851444A (fr) 1938-03-12 1940-01-09 Philips Nv Dispositif permettant de convertir des variations de pression en variations de capacité
GB851444A (en) 1956-06-05 1960-10-19 Commissariat Energie Atomique Improvements in or relating to vacuum control valves
US3789875A (en) 1972-05-15 1974-02-05 Gray Tool Co Fluid pressure actuated valve operator
DE2634885C2 (de) * 1976-08-03 1985-10-31 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Pendelschieber
US4157169A (en) * 1977-10-12 1979-06-05 Torr Vacuum Products Fluid operated gate valve for use with vacuum equipment
US4355937A (en) 1980-12-24 1982-10-26 International Business Machines Corporation Low shock transmissive antechamber seal mechanisms for vacuum chamber type semi-conductor wafer electron beam writing apparatus
US4483654A (en) 1981-02-13 1984-11-20 Lam Research Corporation Workpiece transfer mechanism
US4340462A (en) 1981-02-13 1982-07-20 Lam Research Corporation Adjustable electrode plasma processing chamber
US4593915A (en) 1984-11-28 1986-06-10 Grove Valve And Regulator Co. Orifice plate seal ring
US4753417A (en) 1985-01-28 1988-06-28 The Boc Group, Inc. Gate valve for vacuum processing apparatus
US4715921A (en) 1986-10-24 1987-12-29 General Signal Corporation Quad processor
US4715764A (en) 1986-04-28 1987-12-29 Varian Associates, Inc. Gate valve for wafer processing system
US4917556A (en) 1986-04-28 1990-04-17 Varian Associates, Inc. Modular wafer transport and processing system
US4747577A (en) 1986-07-23 1988-05-31 The Boc Group, Inc. Gate valve with magnetic closure for use with vacuum equipment
US4721282A (en) * 1986-12-16 1988-01-26 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve
US5292393A (en) 1986-12-19 1994-03-08 Applied Materials, Inc. Multichamber integrated process system
DE3776118D1 (de) 1986-12-22 1992-02-27 Siemens Ag Transportbehaelter mit austauschbarem, zweiteiligem innenbehaelter.
US4795299A (en) 1987-04-15 1989-01-03 Genus, Inc. Dial deposition and processing apparatus
JPS63312574A (ja) 1987-06-11 1988-12-21 Nippon Kentetsu Co Ltd 真空装置のゲ−トバルブ装置
JP2539447B2 (ja) 1987-08-12 1996-10-02 株式会社日立製作所 枚葉キャリアによる生産方法
US5076205A (en) 1989-01-06 1991-12-31 General Signal Corporation Modular vapor processor system
US5002255A (en) 1989-03-03 1991-03-26 Irie Koken Kabushiki Kaisha Non-sliding gate valve for high vacuum use
US5120019A (en) 1989-08-03 1992-06-09 Brooks Automation, Inc. Valve
JPH0478377A (ja) 1990-07-20 1992-03-12 Tokyo Electron Ltd トグル式ゲート
JP2524270B2 (ja) 1990-10-04 1996-08-14 西武商事有限会社 仕切弁
JP3071517B2 (ja) * 1991-09-30 2000-07-31 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ
US5697749A (en) 1992-07-17 1997-12-16 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Wafer processing apparatus
US5295522A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Gas purge system for isolation enclosure for contamination sensitive items
JP3330686B2 (ja) 1993-07-12 2002-09-30 株式会社アルバック 無摺動ゲートバルブ
JP3394293B2 (ja) 1993-09-20 2003-04-07 株式会社日立製作所 試料の搬送方法および半導体装置の製造方法
JPH07158767A (ja) * 1993-12-09 1995-06-20 Kokusai Electric Co Ltd ゲートバルブ
US5383338A (en) 1993-12-17 1995-01-24 Emerson Electric Co. In-line sight indicator
KR960002534A (ko) 1994-06-07 1996-01-26 이노우에 아키라 감압·상압 처리장치
DE19601541A1 (de) 1995-01-27 1996-08-01 Seiko Seiki Kk In einer Vakuumumgebung einsetzbares Vertikaltransfersystem sowie dazugehöriges Absperrventilsystem
JP3489951B2 (ja) * 1996-01-30 2004-01-26 日立建機株式会社 スイング式油圧ショベル
US5667197A (en) 1996-07-09 1997-09-16 Lam Research Corporation Vacuum chamber gate valve and method for making same
US5902088A (en) 1996-11-18 1999-05-11 Applied Materials, Inc. Single loadlock chamber with wafer cooling function
US6079693A (en) * 1998-05-20 2000-06-27 Applied Komatsu Technology, Inc. Isolation valves
JP2000074258A (ja) * 1998-06-19 2000-03-14 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空ゲ―ト弁
US6095741A (en) * 1999-03-29 2000-08-01 Lam Research Corporation Dual sided slot valve and method for implementing the same
US6390448B1 (en) * 2000-03-30 2002-05-21 Lam Research Corporation Single shaft dual cradle vacuum slot valve

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101247202B1 (ko) * 2005-08-26 2013-03-27 에이시스 오토매틱 시스템즈 게엠베하 운트 콤파니 콤만디트게젤샤프트 게이트 밸브 및 이를 포함하는 기판처리장치
KR101292806B1 (ko) * 2007-11-23 2013-08-02 주성엔지니어링(주) 슬롯 밸브 어셈블리 및 그 작동 방법
CN111213221A (zh) * 2017-10-05 2020-05-29 应用材料公司 分开的狭缝衬垫门
CN111213221B (zh) * 2017-10-05 2022-11-25 应用材料公司 分开的狭缝衬垫门

Also Published As

Publication number Publication date
JP4871452B2 (ja) 2012-02-08
US6601824B2 (en) 2003-08-05
KR100715919B1 (ko) 2007-05-08
TW486554B (en) 2002-05-11
US20020096656A1 (en) 2002-07-25
US6564818B2 (en) 2003-05-20
JP2002009125A (ja) 2002-01-11
US20020070371A1 (en) 2002-06-13
US6390448B1 (en) 2002-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20010095017A (ko) 1축 양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법
KR100783120B1 (ko) 양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법
KR100820617B1 (ko) 이중슬롯밸브, 이중슬롯밸브의 제조방법 및 이중슬롯밸브의 작동방법
US7628574B2 (en) Apparatus and method for processing substrates using one or more vacuum transfer chamber units
US5961269A (en) Three chamber load lock apparatus
EP1118103B1 (en) Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities
KR20010025070A (ko) 차단밸브
KR20040086389A (ko) 반도체 처리 시스템에 있어서의 포트 구조
WO2017209881A1 (en) Dodecadon transfer chamber and processing system having the same
KR20000051650A (ko) 반도체 제조 장치
JPH11162395A (ja) 真空ロック室のゲート弁装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130423

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140423

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150424

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160422

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170424

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180424

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190423

Year of fee payment: 13