CN107110402B - 用于对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于相对于真空室所位于的环境空间来封闭真空室(3)的室壁中的室开口(4)的门，其包含有设置在该环境空间中的门壳体、设置在该环境空间中的封闭机构(5)、以及杆(10)，其中该封闭机构(5)与该杆相连接，其中用于把该封闭机构(5)从打开位置调节到中间位置的该杆(10)的第一运动是以该杆(10)在其纵轴线(11)方向上的偏移的形式实现，并且随后的用于把该封闭机构从该中间位置调节到关闭位置的该杆(10)的第二运动是以该杆(10)在与其纵轴线成角度的方向上的偏移的形式和/或以该杆(10)围绕与其纵轴线垂直的摆动轴线的摆动的形式实现。该杆(10)通过支承元件通过其第一运动并通过其第二运动相对于该门壳体可运动地支承，其中支承元件设置在该门壳体的内空间(30)中，其中该内空间相对于该环境空间是密封的或者与该环境空间通过穿过该门壳体的壳体壁(40)的一个通道(41)相连接，其中在该通道中设置有一个颗粒过滤器。该杆(10)密封地从该门壳体的内空间(30)中引出到该环境空间中。

Description

用于对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门
本发明涉及一种用于相对于该真空室所位于的环境空间对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门，其包含有设置于该环境空间中的门壳体、设置于该环境空间中的封闭机构，其中该封闭机构可以通过调节行程从用于释放该室开口的打开位置而调节到用于封闭该室开口的关闭位置，以及包含有具有纵轴线的杆，该封闭机构与该杆相连，其中通过该杆的第一运动和随后的该杆的第二运动通过该调节行程来进行该封闭机构的调节，用于把该封闭机构从打开位置调节到中间位置的、该杆的第一运动是该杆在其纵轴线方向上的偏移，用于把该封闭机构从该中间位置调节到关闭位置的随后的、该杆的第二运动是该杆在与其纵轴线成角度的方向上的偏移，和/或是该杆围绕与其纵轴线垂直的摆动轴线的摆动。
真空室的门用于在门的关闭状态下相对于周围的大气来密封真空室的室壁中的室开口，以维持真空室中的真空。在门的打开状态下，比如可以把要加工的衬底通过开口放入到真空室中。
在重要的应用领域中，其中在真空条件下实施处理，比如以半导体技术或涂层技术，比如为了制造显示屏，必须在真空室周围的空间中形成洁净空间条件。要加工的衬底由此防止吸附有害的灰尘颗粒。
在此颗粒可能是一个问题，其在操作该门时形成，并被释放到环境中。尤其关键的是，在此正好在该衬底放入到真空室所穿过的区域中释放颗粒。
在DE 19 633 798 A1、WO 2011/091455 A1和US 7,611,122 B2中公开了前述种类具有封闭机构的基本L形调节行程的真空门。在此通过如下来进行从其打开位置开始的门的封闭，即其上安装有该封闭机构的杆首先被轴向偏移(＝杆的第一运动)，并接着进行该杆围绕垂直于其纵轴线的摆动轴线的摆动(＝杆的第二运动)。对于该杆的第一运动，该杆相对于门的基体可偏移地支承。对于该杆的第二运动，该基体可以围绕该摆动轴线相对于该真空室的室壁来摆动。为了围绕该纵轴线来摆动该基体，在第一所述的文件中设置有活塞-气缸单元，其活塞在该摆动轴线的两侧支承到该室壁上。在第二所述的文件中，作为执行器在该摆动轴线的两侧设置有管状的、可充气的元件。这样就可以提供简单构造的和造价合理的门，其中在操作时颗粒的产生当然是大量的。
在US 6,056,266中公开了一种门，其中该门壳体固定安装在该室壁上。杆可以借助活塞-气缸单元而轴向偏移。在该杆上安装有承载单元，该承载单元构成了横向活塞- 气缸单元的气缸室。该封闭机构安装在该横向活塞-气缸单元的活塞杆上。从而整体再次实施该封闭机构的L形运动。通过操作该活塞-气缸单元，其中横向活塞-气缸单元由此还直接位于该室开口之前，在这种门中也导致高的颗粒负荷。在US 6,899,316 B2中也公开了类似的门。
US 6,916,009 B2公开了一种门，其中对于穿过闸室的室开口而进入的衬底，应该实现了颗粒负荷的降低。该封闭机构从其打开位置开始通过一个L形的调节行程而运行到其关闭位置，其中在该关闭位置中其密封了该室壁中的开口。为了把该封闭机构从其打开位置调节到中间位置，而设置有第一和第二纵向活塞气缸单元，其分别安装在一个壳体部件上，并对与该封闭机构相连接的杆进行偏移。为了把该封闭机构从其中间位置调节到关闭位置，该壳体部件借助横向活塞-气缸单元相对于该闸室的室壁而被调节。该封闭机构与该杆的连接通过垂直于该杆的连接件来实现，其中连接件从盖板的长孔中突出来。在该盖板前面流过过滤的空气流。通过这种构造虽然相对于前述的门构造实现了颗粒负荷的改善，但对于敏感的应用其还是太高。
在用于在两个真空室之间或真空室与管道之间进行密封的阀门中，封闭机构的L形运动以不同的方式被公开。封闭机构在此分别设置在阀门壳体的内部，并在其关闭位置中对阀门壳体的阀门开口进行密封。其中设置有该封闭机构的该阀门壳体的内空间在此是一个真空区域，并在该真空阀的打开状态下构成了穿过该真空阀的通道。比如对于L 形阀门，其中在该真空阀关闭时，首先进行阀门杆的轴向偏移，并接着进行与之垂直的偏移，参见US 2014/0131603 A1和US 2011/0175011 A1。比如在US 6,431,518 B1和 US 6,237,892B1中公开了具有至少基本L形封闭机构运动的真空阀，其中在该阀门杆的轴向偏移之后接着围绕与该阀门杆的纵轴线相垂直的轴线进行该阀门杆的倾斜。
本发明的任务是提供一种有利的前述种类的门，其特色在于通过门的打开和关闭非常少地产生所释放的颗粒。根据本发明，这通过具有权利要求1所述特征的一种门来实现。
在根据本发明的门中，该杆借助支承元件通过其第一运动并通过其第二运动相对于门壳体可运动地支承。支承元件设置在该门壳体的内空间中。该门壳体的内空间在此相对于该门壳体所位于的环境空间是密封的，或者通过穿过该门壳体的壳体壁的通道与环境空间相连接，其中在该通道中设置有颗粒过滤器。该杆密封地从该门壳体的内空间伸引出到该封闭机构所位于的环境空间中。
对于如下的情况，即该门壳体的内空间相对于该门壳体所位于的环境空间是密封的，在一种可能的实施方式中可以规定，该门壳体的内空间是完全封闭的，并在该门壳体的内空间中设置有具有内部扩张空间的扩张容器，其中该扩张空间的体积是可变的。在此可以通过改变该扩张空间的体积来平衡该门壳体的内空间的自由区域的体积变化，其中这种体积变化在该封闭机构在打开位置与关闭位置之间调节时产生，使得该门壳体的内空间的内部压力在该封闭机构在打开位置与关闭位置之间进行调节时没有太大的变化，优选小于20％。
在另一种可能的实施方式中，该扩张容器也可以设置在该门壳体所位于的环境空间中，其中该扩张容器的体积可变的扩张空间通过穿过该门壳体的壳体壁的通道而与该门壳体的内空间相连通。
另一种可能的构造方式规定，该门壳体的内空间相对于该环境空间是密封的，并在此通过穿过该门壳体的壳体壁的通道来抽吸。为了进行抽吸可以采用在真空设备中总归具有的前级泵。
根据另一种构造方式，该门壳体的内空间也可以通过穿过该门壳体的壳体壁的通道而与外空间相连，该外空间与该门壳体所位于的环境空间相分隔。该外空间有利地从而位于其上安装有该门的真空室所位于的洁净空间外部。由此也可以实现该门壳体的内空间相对于围绕该门壳体的环境空间(其由洁净空间来构成)的密封。
根据本发明的门的一种有利的构造方式规定，至少一个气动活塞-气缸单元连同从该气缸突出的、该活塞-气缸单元的活塞杆一起完全设置在该门壳体的内空间中，也即该活塞杆在其整个长度上都位于该门壳体的内部，并且不会例如穿过该门壳体的开口从中伸出。所述至少一个气动活塞-气缸单元在此用于运动与该封闭机构相连的杆，以至少通过其调节行程的一部分来运动该封闭机构。优选地，用于通过该调节行程来运动该封闭机构的所有气动活塞-气缸单元连同其活塞杆都完全设置在该门壳体的内空间中。
为了把该杆从该门壳体的内空间密封地引出到该环境空间中，优选地设置有伸缩箱、优选是折叠伸缩箱，尤其以膜片式伸缩箱或波纹管的形式。
通过本发明可以提供具有非常微小颗粒生成的一种门，其也满足对洁净空间条件的非常高的要求。根据本发明的门在此也可以以非常简单的方式来构造。
本发明的其他优点和细节在下文中借助附图来进行解释。其中：
图1示出了根据本发明第一实施例的在打开状态下安装在真空室室壁上的门的斜视图；
图2示出了安装在室壁上的门以与图1不同的视角的斜视图；
图3示出了安装在室壁上的门的视图；
图4和5示出了沿图3的线AA和BB的剖面；
图6示出了与图3类似的视图，但该封闭机构处于中间位置；
图7和8示出了沿图6的线CC和DD的剖面；
图9示出了与图3类似的视图，但门处于关闭状态；
图10、11和12示出了沿线EE、FF和GG的剖面；
图13和14示出了门在不同视线方向下的分解图；
图15a和15b示出了不同视线方向下的该门壳体的壳体部件的斜视图；
图16示出了根据本发明第二实施例的安装于室壁上的门的视图；
图17至22示出了沿图16的线HH、II、JJ、KK、LL和MM的剖面；
图23至26示出了与图19至22类似的剖面，但该封闭机构处于中间位置；
图27至30示出了与图19至22类似的剖面，但该门处于关闭位置；
图31示出了根据第二实施例的门的斜视图，其中去除壳体部件；
图32至35示出了其他实施变化方案的示意图。
在图1至15b中示出了根据本发明的一种门的第一实施例。也可以称作真空门的该门1安装在真空室3的室壁2上，其中仅示出了局部。该室壁2具有室开口4，其在该门1的关闭状态下由该门的封闭机构5真空密封地被封闭。在该门1的打开状态下，该室开口4被露出，也即在该室开口4的纵中轴线6方向上看该封闭机构5没有覆盖该室开口4。
该门1安装在该真空室3外面，也即该门1位于围绕该真空室3的环境空间45中。在该环境空间中存在着大气压。
在该门1的打开状态下，设置在该真空室3外部的封闭机构5处于其打开位置，参见图1-8。在该门1的关闭状态下，该封闭机构5处于其关闭位置中，参见图9-12，其中它按压到该室壁2上。在该封闭机构5的关闭位置中，安装在该封闭机构5上的环周闭合的弹性密封装置7按压在该室壁2的密封面8上。该密封面8环绕着该室开口4。该密封装置7和该密封面8从而环状地构造，但在该实施例中不是圆环状的。但可以考虑并且可以是圆环状构造，尤其在该室开口4和该封闭机构5是圆环状轮廓的情况下。该密封面8位于该室壁2的与环境空间45相邻接的外侧上。在变化的构造中该密封装置 7也可以安装在该室壁2上，并围绕该室开口4，并在该门1的闭合状态下位于该封闭机构5的密封面上。该密封在此从而安装在该室壁2的与该环境空间45相邻接的外侧上。
通过把该门壳体25固定在室壁2上来进行该门1在该室壁2上的固定。
分别通过在图6-8中所示的中间位置来进行该封闭机构5从打开位置到关闭位置并返回的调节。在该中间位置中，在该室开口4的纵中轴线6方向上看，该封闭机构5覆盖了该室开口4，但该密封装置7还与该密封面8有间距。
该封闭机构5通过连接件9安装在杆10上。该封闭机构5在打开位置和关闭位置之间的调节通过该杆10的运动来进行。为了在其打开位置与其中间位置之间调节该封闭机构，在此该杆10轴向地、也即在其纵轴线11方向上被直线偏移(＝直线平行偏移)。为了在该中间位置与该关闭位置之间调节该封闭机构5，在该实施例中该杆10与其纵轴线11相垂直地被直线偏移(＝直线平行偏移)，以把该封闭机构5在该室开口4的纵中轴线6方向上引导具有该室开口4的室壁2上，直到该密封装置7按压到该密封面8上。从而整体实施了该封闭机构5的L形运动。
虽然与该杆10的纵轴线11相垂直的偏移有利于把该封闭机构5从该中间位置偏移到关闭位置，但也可以考虑并且可以的是角度≠90°，其中与90°的偏差优选小于45°。偏移的方向从而与该室开口4的纵中轴线6的平行位置偏差一个相应的角度。平行偏移的方向在此也可以通过该封闭机构5在该中间位置与该关闭位置之间的调节行程而改变。在该中间位置与该关闭位置之间在与90°不同的角度下进行调节的、该封闭机构5 的这种运动也称作该封闭机构的“J运动”。根据另一种可能的构造，也可以通过把该杆 10围绕与该杆10的纵轴线11相垂直并与该室开口4的纵中轴线6相垂直的摆动轴线摆动来实现该封闭机构在该中间位置与该关闭位置之间的调节，这在下文中结合本发明的第二实施例来更明确地进行解释。也可以考虑并且可以是，该杆10垂直于其纵轴线11 的平行偏移和该杆10围绕垂直于其纵轴线11的摆动轴线的摆动相叠加。从而也可以实现该封闭机构5的至少基本L形的运动。
该封闭机构从该打开位置到该关闭位置的调节从而通过该杆10的第一运动来进行，其中该杆10被轴向偏移，并接着是该杆10的第二运动，在其中该杆在与其纵轴线11 成角度地、比如垂直地被偏移，和/或围绕与其纵轴线相垂直的摆动轴线而被摆动。在封闭机构从该关闭位置到该打开位置进行调节时，该杆10的这两个运动以相反的顺序并以相反的方向来进行。
对于该杆10的轴向偏移，为了实施该杆10的第一运动(以及从而该封闭机构在该打开位置与该中间位置之间的偏移)，把气动作用的活塞-气缸单元来用作驱动装置，其在下文中被称作纵向活塞-气缸单元12。纵向活塞-气缸单元12分别具有带有气缸室的气缸13和设置在气缸室中的活塞。
该纵向活塞-气缸单元12的活塞杆16关于该杆10的纵轴线11的方向是不可偏移的(也即关于该方向是刚性的)，关于该杆10进行第二运动的方向成角度地、在该实施例中垂直于该杆10的纵轴线11可运动地与在所有方向上与该杆10相刚性连接的传输件 17相连接。这些活塞杆16为此安装在连接部件18上，它们可以按照滑架的种类相对于该传输件17而在该杆10的第二运动的方向上偏移。
该传输件17具有凹槽19，在该凹槽中设置有导向杆20。这些凹槽19在该实施例中部分圆柱地构造，并朝向该传输件17的边缘开口，并在超过导向杆20圆周的180°上围绕了其中所设置的、横截面圆形的导向杆20。从而该传输件17在该杆10的纵轴线 11方向上可以相对于导向杆20来偏移，但关于该杆10相对于该导向杆20的第二运动的方向保持不偏移。除了所示的凹槽19之外，比如也可以设置燕尾形凹槽，其中设置有导向杆的侧凹构造的板条。
这些气缸13与下文中还要更明确阐述的门壳体25的壳体部件22相固定连接。
也可以考虑并且可以的是，在该活塞杆16与该杆10之间进行与所示的不同的可运动连接。也可以考虑并且可以的是一种相反配置，在其中这些气缸13与该活塞杆16相连接并且该活塞与该门壳体25相连接。代替两个纵向活塞-气缸单元12，原则上也可以仅设置一个纵向活塞-气缸单元12，或也可以设置多于两个的纵向活塞-气缸单元12。
对于该杆10在与其纵轴线11成角度、优选垂直的方向上的偏移，为了实施该杆10的第二运动并从而对该封闭机构5在该中间位置与该关闭位置之间的调节，把气动作用的活塞-气缸单元21用作驱动装置，其在下文中被称作横向活塞-气缸单元。横向活塞- 气缸单元21的气缸室集成在该门壳体25中。该门壳体25的壳体部件22在此具有相应的凹槽23，这些凹槽构成了气缸室并通过覆盖部件24被封闭。在气缸室中容纳了横向活塞-气缸单元21的活塞26。被其活塞杆27穿过的孔28被密封(借助弹性密封装置) 在该壳体部件22的隔板中，并与导向杆20刚性连接。活塞和活塞杆27在此在该杆20 的第二运动的方向上由气缸室的壁并由该壳体部件22的隔板可偏移地支承。
可以考虑并且可以的是横向活塞-气缸单元21的不同的构造和/或配置，其中横向活塞-气缸单元21的气缸也可以是与门壳体25相分离的部件。也可以仅设置一个横向活塞-气缸单元21或多于两个的横向活塞-气缸单元21。
为了从其打开状态开始关闭该门，首先该杆10借助该纵向活塞-气缸单元12被轴向偏移，其中该传输件17由导向杆20在该杆10的纵轴线11的方向上直线可偏移地导向。如果该封闭机构5已经达到了该中间位置，那么该传输件17并从而该杆10通过操作横向活塞-气缸单元21与纵轴线11成角度地、优选垂直地被偏移，以实施该杆的第二运动，由此该封闭机构5从该中间位置被调节到关闭位置。
该传输件17以及导向杆20从而构成了支承元件，通过支承元件该杆10通过其第一运动相对于该门壳体25可运动地支承。气缸室的壁、在该壳体部件22的隔板中的孔 28、横向活塞-气缸单元21的活塞26以及活塞杆27构成了支承元件，通过支承元件该杆10通过其第二运动相对于该门壳体25可运动地支承。
在该壳体部件22中与凹槽23对侧上，该壳体部件22构造为外壳状的，并通过一个板状的壳体部件29来封闭。
该壳体部件22具有一个在该杆10的纵向上延伸的通孔34，其通过另一板状壳体部件35而被封闭。该通孔34容纳有该杆10的远离该封闭机构5的一端。在该门的关闭状态下，该杆10的横向凸肩36支撑到该通孔34横向上所具有的外延34a边缘上朝向室壁 2的一侧上。
该杆10的一区段延伸穿过该壳体部件22的在该杆10的纵向上延伸的另一通孔32，其中所述区段连接到该杆10的在其上该杆10与该封闭机构5相连接的一端上。
这些壳体部件22、24、29、35通过其间的密封装置而相互密封。
通过该壳体部件22的外壁以及壳体部件24、29和35构成了门壳体25，其包围有内空间30。在该内空间30中具有支承元件，通过支承元件该杆通过其第一运动并通过其第二运动相对于该门壳体25可运动地支承。
该杆10在密封防止颗粒出来的情况下从该门壳体25的内空间30中引出到围绕该门壳体25的环境空间45中。为此采用了伸缩箱31(在附图中没有在其整个长度上详细示出)，其比如以折叠伸缩箱的形式，尤其膜片式伸缩箱的形式来构造。采用以其他方式构造的伸缩箱、比如波纹管是可以考虑的并且是可以的。该伸缩箱31在一端上与该杆 10相连接，并在另一端上与该壳体部件22相连接，也即在针对该杆10的通孔32的区域中。该门壳体25的内空间从而穿过位于该伸缩箱31与该杆10之间的中间空间直至在该伸缩箱31与该杆10之间的连接区域。
纵向活塞-气缸单元12连同其活塞杆16在其整个长度上以及横向活塞-气缸单元21 连同其活塞杆27在其整个长度上都位于该门壳体25的内空间30中。
通过端子37、38来把压缩空气输入到活塞-气缸单元12、21中。引入到相应气缸室的通道可以由比如在壳体部件22中的孔和/或由软管和/或由管道来构造。压缩空气至活塞-气缸单元12、21的输入在附图中出于简化而未示出，同样少量示出了诸如控制阀和位置指示器，其中该位置指示器保证正确地终止活塞-气缸单元12、21的操作。相应的顺序控制是已知的。
另外还具有端子39，其输入至穿过该壳体壁40的通道41，该通道从而与该门壳体25的内空间30相连通。在门的运行状态中，在该端子上连接了导管42，该导管连接到真空泵44。该导管42和该真空泵44仅在图3和12中示意地示出。该门壳体25的内空间30从而通过该通道41以及穿过该导管42来的通道43被抽吸。
该门壳体25的内空间30相对于围绕该门壳体25的环境空间45是密封的。在该门壳体25的内空间30中自由空间的变化，其通过在该门打开和关闭时部件的位置变化、尤其通过该伸缩箱31的拉伸和压缩来产生，可以相对于大气压不形成过压，因为该内空间30处于真空状态。
该门壳体25具有靠置区域，其中它在固定于该室壁2上的状态下靠置在该靠置区域上。该靠置区域位于固定螺栓14附近，并通过壳体部件22的抬高部15来形成。在抬高区域中，该壳体部件29可以具有空隙。该门壳体25在相比靠置区域离该固定螺栓14 更远的区域中通过间隙64与室壁2相间隔。由于该门壳体的变形没有导致相对于该室壁 2的位置变化，其中这种位置变化主要在由固定螺栓14所量取的区域中出现，因此与该门壳体25连续靠置在该室壁2上的构造相比导致更少的颗粒生成。
在图16至31中示出了本发明的另一实施例。除了在下文中所述的差别之外，该第二实施例的构造对应于该第一实施例的构造，并且该第一实施例的说明和可能的变化在很大程度上也适用于该第二实施例。
该第二实施例相对于该第一实施例的主要差别在于，该杆10的第二运动是该杆10围绕与该杆10相垂直的摆动轴线46的摆动。该纵向活塞-气缸单元12在此在该杆10 的两侧咬合到支架47上，其中该支架在该杆10上在该杆10的纵轴线11方向上可偏移地支承。该支架47在侧面具有突出的耳轴48，该耳轴导入到连杆轨(Kul issenbahn) 49中，连杆轨设置在壳体壁50、51的内侧。
在该杆10上固定有导向件52，其具有在两侧突出的耳轴53，耳轴咬合到在该门壳体25内部隔板55、56中的导轨54中。在导向件52与该支架47之间具有围绕该杆10 的螺旋弹簧57。
为了把该封闭机构从打开位置(图16-22)通过该中间位置(图23-26)调节到该关闭位置(图27-30)，使用了设置在该门壳体25的内空间30中的纵向活塞-气缸单元 12。其偏移该支架47，其中该支架47的运动通过该螺旋弹簧57被传递到该导向件52 上。在此该导向件52的耳轴53沿着直线延伸的导轨54移动，并且该支架47的耳轴48 沿着连杆轨49的直线区段移动，直至该封闭机构5到达该中间位置。在该封闭机构5 到达该中间位置时，该耳轴53到达该导管54的末端，使得阻止了该导向件52的进一步运动。该支架47通过该纵向活塞-气缸单元12继续在相同的方向上运动，其中它在相对于该杆10压缩该螺旋弹簧57的情况下来偏移。该支架47的耳轴48在此沿着该连杆轨 49的弯曲延伸的区段来运动，这尤其由图21和25来示出，由此该杆10围绕该摆动轴线46被摆动，直到该封闭机构5到达关闭位置。
在该实施例中，耳轴48、连杆轨49、耳轴53和导轨54构成了支承元件，通过支承元件该杆10通过其第一运动并通过其第二运动而相对于该门壳体25可运动地支承。
该支架47也可以刚性固定在该杆10上，并从而可以省略该螺旋弹簧57。在该耳轴30到达该导轨54末端之前，该连杆轨49的弯曲的曲线就已经被使用。由此可以形成该封闭机构的J形运动。
不仅连杆轨49、而且导轨54具有在朝向室壁2方向上倾斜延伸的末端区段，这也能够在该杆10不摆动的情况下实现该封闭机构的J形运动。在该支架42与该纵向活塞- 气缸单元12的活塞杆之间关于与该室开口4的纵中轴线6平行的方向上的运动那么就必定能实现，比如类似地如在第一实施例中所述。
用于形成该封闭机构5的L形或J形运动的其他机械装置是可以考虑的并且是可以的。这种机械装置对于具有在阀门壳体中所设置的封闭机构的L形或J形运动的真空阀来说是公开的。
除了抽吸该门壳体25的内空间30之外，也可以把穿过该壳体壁的通道41通过该管道或软管的内通道43而与外空间58相连接，其中该外空间与围绕该门壳体25的环境空间45相隔离，如在图32中所示意示出的。该门壳体25的内空间30在此再次相对于该环境空间45是密封的。
根据在图33中示意示出的另一可能的实施变化，该内空间30虽然相对于该环境空间45是不密封的，但是仅通过穿过该门壳体25的壳体壁40的通道41与该环境空间45 相连接，其中在通道41中设置有颗粒过滤器59。如果该门1从其关闭状态开始被打开，那么通过该内空间30的体积变化、尤其由于该伸缩箱31的压缩，空气从该内空间30 中穿过该通道41而被排出。空气的颗粒负荷在此通过该颗粒过滤器59而被至少大大降低。另外剩余的颗粒被释放到与该室开口4远离的区域中。
在图34中示意示出了另一实施变化。在该实施例中，该门壳体25的内空间30完全封闭(封装)。为了能够接受在门打开和关闭时的体积变化，使得在该内空间30中的压力没有太大的变化，在该实施例中在该门壳体25的内空间中设置有扩张容器60。其具有扩张空间61，该扩张空间的体积可以变化。为此，在该实施例中该扩张容器60以可膨胀球囊的形式来构造。该扩张空间61通过通道62与该环境空间45相连接。该扩张容器比如也可以具有刚性可运动的壁。
该扩张容器60也可以设置在该门壳体25外部，并通过通道63与该门壳体25的内空间30相连接，参见示意图图35。否则该门壳体25的内空间30完全封闭。
参考数字说明
1 门
2 室壁
3 真空室
4 室开口
5 封闭机构
6 纵中轴线
7 密封装置
8 密封面
9 连接件
10 杆
11 纵轴线
12 纵向活塞-气缸单元
13 气缸
14 固定螺栓
15 抬高部
16 活塞杆
17 传输件
18 连接部件
19 凹槽
20 导向杆
21 横向活塞-气缸单元
22 壳体部件
23 凹槽
24 壳体部件
25 门壳体
26 活塞
27 活塞杆
28 孔
29 壳体部件
30 内空间
31 伸缩箱
32 通孔
33 块
34 通孔
34a 外延
35 壳体部件
36 凸肩
37 端子
38 端子
39 端子
40 壳体壁
41 通道
42 导管
43 通道
44 真空泵
45 环境空间
46 摆动轴线
47 支架
48 耳轴
49 连杆轨
50 壳体壁
51 壳体壁
52 导向件
53 耳轴
54 导轨
55 隔板
56 隔板
57 螺旋弹簧
58 外空间
59 颗粒过滤器
60 扩张容器
61 扩张空间
62 通道
63 通道
64 间隙

Claims (6)

1.一种用于相对于真空室所位于的环境空间(45)来封闭真空室(3)的室壁(2)中的室开口(4)的门，其包含有
设置在该环境空间(45)中的门壳体(25)，
设置在该环境空间(45)中的封闭机构(5)，其能够通过从用于露出室开口(4)的打开位置至用于关闭室开口(4)的关闭位置的调节行程来调节，
以及具有纵轴线(11)的杆(10)，其中该封闭机构(5)与该杆相连接，其中经由通过该杆(10)的第一运动以及该杆(10)的紧接着的第二运动的调节行程来进行该封闭机构(5)的调节，并且用于把该封闭机构(5)从打开位置调节到中间位置的、该杆(10)的第一运动是该杆(10)在其纵轴线(11)方向上的偏移，并且用于把该封闭机构从该中间位置调节到关闭位置的、该杆(10)的紧接着的第二运动是该杆(10)在与其纵轴线(11)成角度的方向上的偏移和/或该杆(10)围绕与其纵轴线(11)垂直的摆动轴线(46)的摆动，其特征在于，该杆(10)通过支承元件通过其第一运动以及通过其第二运动相对于该门壳体(25)能运动地支承，其中用于通过其第一运动以及通过其第二运动相对于该门壳体(25)能运动地支承该杆(10)的支承元件设置在该门壳体(25)的内空间(30)中，并且该杆(10)密封地从该门壳体(25)的内空间(30)中引出到该环境空间(45)中,
其中该内空间(30)相对于该环境空间(45)是密封的并且
-所述内空间(30)是完全封闭的，并在所述内空间(30)中设置有具有内部扩张空间(61)的扩张容器(60)，其中该扩张空间的体积是可变的，或者
-在所述门壳体(25)所位于的环境空间(45)中设置有具有内部扩张空间(61)的扩张容器(60)，其中该扩张容器的体积是可变的并且该扩张空间通过穿过该门壳体(25)的壳体壁的通道而与该门壳体(25)的内空间(30)相连通，或者
-该门壳体(25)的内空间(30)通过穿过该门壳体(25)的壳体壁(40)的通道(41)来抽吸，或者
-该门壳体(25)的内空间(30)通过穿过该门壳体(25)的壳体壁(40)的通道(41)而与外空间(58)相连，该外空间(58)与该门壳体(25)所位于的环境空间(45)相分隔；
或者其中所述内空间(30)与该环境空间(45)通过穿过该门壳体(25)的壳体壁(40)的通道(41)相连接，其中在该通道中设置有颗粒过滤器(59)。
2.根据权利要求1所述的门，其特征在于，至少一个气动活塞-气缸单元(12,21)完全设置在该门壳体(25)的内空间(30)中，其中气动活塞-气缸单元具有活塞(15,26)，该活塞带有安装于其上的活塞杆(16,27)。
3.根据权利要求2所述的门，其特征在于，不仅该杆(10)的第一运动、而且该杆(10)的第二运动都可以由气动活塞-气缸单元(12,21)来驱动，其具有活塞(15,26)和安装于活塞(15,26)上的活塞杆(16,27)，其中用于使该杆(10)运动的所有活塞-气缸单元(12,21)都完全设置在该门壳体(25)的内空间(30)中。
4.根据权利要求1至3之一所述的门，其特征在于，在该封闭机构(5)上设置有环周闭合的密封装置(7)，该密封装置在该封闭机构(5)的关闭位置中按压到围绕该室开口(4)的密封面(8)上，或者在该封闭机构(5)上设置有环周闭合的密封面，该密封面在该封闭机构(5)的关闭位置中按压到在该室壁(2)上所设置的、围绕该室开口(4)的密封装置上。
5.根据权利要求1至3之一所述的门，其特征在于，该杆(10)借助伸缩箱(31)密封地从该门壳体(25)的内部空间(30)引出。
6.根据权利要求1至3之一所述的门，其特征在于，该门壳体(25)在其能通过固定螺栓(14)固定在室壁(2)上的区域中具有抬高部(15)以靠置在该室壁(2)上，并在相比离所述固定螺栓(14)更远的区域中，为了形成在该门壳体(25)与该室壁(2)之间的间隙(64)，相对于所述抬高部(15)而降低地被构造。
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