CN103574083A - 利用倾斜驱动的闸门阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。根据本发明，提供一种可通过"L"字型驱动实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。

Description

利用倾斜驱动的闸门阀
技术领域
本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，更详细地涉及一种能够完全封闭腔室内部空间的利用倾斜驱动的闸门阀。
背景技术
一般来说，腔室是为了在真空或高洁净环境下制造半导体芯片、晶圆或液晶屏等高技术设备或医疗器械而使用的工业设备设施，在腔室内附着的闸门阀起到腔室的出入口作用，将阀门瞬间打开将半导体芯片等移动到腔室内，再将阀门关上以维持腔室内的气密状态的装置。
这种以往的闸门阀的基本结构如下：在壳体内部安装有用于开闭设置在壳体两侧出入口的阀体，上述阀体通过驱动汽缸的驱动进行升降移动并将壳体的出入口选择性地开闭而维持对一侧腔室的气密。
如上所述，随着在腔室内完成的生产作业，阀体在壳体内无数次垂直升降移动而开闭出入口，而在此时，由于不能维持阀体和壳体间的气密状态，因此存在无法维持腔室的真空状态的问题。
为了解决如上问题，曾研究出利用连杆机构开闭腔室的闸门阀，但是闸门无法垂直接触于腔室而产生大量的粉尘，且由此而导致从腔室内泄露的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种利用倾斜驱动的闸门阀，该闸门阀通过倾斜驱动方式实现"L"字型驱动，从而能够实现坚固的密封。
上述目的通过以下技术方案实现。本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。
而且，上述闸门可从与上述开口部相对的固定位置，在第一轴上的移动固定的状态下沿着上述第二轴移动到上述开口部侧以阻断开口部。
而且，沿着上述驱动部在阻断上述开口部时的动作方向，上述楔部可形成有逐渐变高的斜面，沿着上述驱动部在阻断上述开口部时的动作方向，上述方向转换部可形成有逐渐变低的斜面。
而且，可进一步包括设置在上述腔室的外壁上的止挡件，上述止挡件与上述闸门的端部接触，限制闸门在上述固定位置上沿着第一轴移动。
而且，可进一步包括弹性件，上述弹性件连接上述楔部和上述方向转换部，对上述楔部和上述方向转换部提供相互吸引方向的弹性力。
而且，上述驱动部可为空压缸。
根据本发明，提供一种能够实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。该闸门阀通过以垂直方向转换的"L"字型驱动方式密封腔室开口部，从而能够对与腔室部接触的闸门施加均匀的载荷，因此不会导致泄漏而能够实现坚固的密封。
而且，通过借助斜面间的滑移来驱动的"L"字型驱动，能够减少阀门和腔室部之间接触时产生的粉尘。
而且，本发明的适用可以不受制于作为开闭对象的腔室外部的压力条件。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀的示意图。
图2是图1的利用倾斜驱动的闸门阀的分解立体示意图。
图3至图5是利用图1所示利用倾斜驱动的闸门阀将腔室的开闭部阻断的动作示意图。
图6至图8是利用图1的利用倾斜驱动的闸门阀将腔室的开闭部开放的动作示意图。
110：阀门                                120：驱动部
130：楔部                                140：方向转换部
150：止挡件                              160：弹性件
具体实施方式
以下，参照附图详细说明根据本发明一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀100。
图1是根据本发明的一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀的示意图，图2是图1的利用倾斜驱动的闸门阀的分解立体示意图。
参照图1及图2，根据本发明一实施例的利用倾斜驱动的闸门阀100是利用斜面间的动力变换结构能够将腔室10的开口部12紧密密闭的闸门阀，包括闸门110、驱动部120、楔部130、方向转换部140和止挡件150和弹性件160。
另外，在本实施例中后述的腔室10是根据工艺将内部空间从外部空间坚固密闭的对象，在外壁形成有开口部12。因此，在本实施例中说明的利用倾斜驱动的闸门阀100的用途是开闭开口部12。
另外，为了坚固的密闭动作，在与后述的闸门110接触的腔室10的外壁面设置有o型密封圈（o-ring）11。
上述闸门110是板状结构，通过与开口部12外围的腔室10的外壁面直接接触或从外壁面解除接触，选择性地开闭腔室10的开口部12。
上述驱动部120用于向上述闸门110提供动力，在本实施例中设置为空压缸，但并不局限于此。
另外，在本实施例中将与开口部12的表面即在腔室10上形成有开口部1的外壁面平行的轴定义为第一轴x1，将与第一轴x1垂直的轴定义为第二轴x2并进行说明。
在本实施例中，以空压缸形式设置的驱动部120沿着第一轴x1升降驱动。为了实现闸门110的"L"字形式的二段驱动，不直接与闸门110结合而进行升降的驱动部120的终端部与后述的方向转换部140结合。
上述楔部130是用于和后述的方向转换部140配合将沿第一轴x1方向驱动的驱动部120的移动力转换为第一轴x1方向，并将其传递给闸门110的构件，上述楔部130设置于闸门110中与开口部12相对的表面的相反侧的表面。
而且，楔部130以沿着第一轴x1，越远离开口部12，其高度越低的方式在外表面形成有斜面。即换言之，为了阻断开口部12，楔部130形成为沿着驱动部120的动作方向，其高度越来越变高。
另外，可将楔部130和闸门110分别制作后，再将楔部130与闸门110结合，也可以将楔部130和阀门110通过一次成型形成为一体形状。
上述方向转换部140是用于和上述楔部130结合，将沿着第一方向x1驱动的驱动部120的动力方向转换成第二方向x2的动力的构件，其与驱动部120的终端部结合。
另外,在方向转换部140的外表面中与楔部130的斜面接触的表面构成为斜面，从而能够在与楔部130的斜面接触的状态下滑移。此时，与楔部130接触的方向转换部140的斜面形成为与楔部130的斜面相反方向的形状。
即，方向转换部140设置为沿着第一轴x1越远离开口部12，其高度越高的形状。换言之，为了阻断开口部12，方向转换部140设置为沿着驱动部120工作的方向，方向转换部140的高度越来越变低的形状。
另外，为了使楔部130和方向转换部140之间能够顺畅滑移，楔部130和方向转换部140之间可以另外设置驱动辊（未图示）。
上述止挡件150是用于限制闸门110通过从驱动部120提供的驱动力在第一轴x1方向上移动的构件，上述止挡件150在从腔室10的外壁面向外突出。
即，闸门110在与开口部12相对的位置上被设计成其在第一轴x1上的移动受限，将这种阀门110的位置定义为固定位置。于是，止挡件150设置在腔室10的外壁，在固定位置上限制阀门110的进一步上升。
另外，止挡件150可制作成独立的部件，并附着在腔室10的外壁，或者与腔室10一体设置。
上述弹性件160是拉簧形式，该弹性件160是为了在楔部130和方向转换部140之间提供相互吸引的弹力而将楔部130和方向转换部140相互连接的部件。
即，通过弹性件160，对为了将驱动部120的驱动力方向转换为第二轴x2方向而朝向远离楔部130的方向滑移的方向转换部140提供朝向楔部130侧的弹力，而这种弹力在开放开口部12时成为使楔部130朝向方向转换部140侧移动的动力源。
下面说明上述利用倾斜驱动的闸门阀100的一实施例的动作。
后面将适用本实施例的利用倾斜驱动的闸门阀100对腔室10的开口部12进行阻断的动作原理和开放的动作原理分开，并按顺序进行描述。
1.开口部的阻断动作
图3至图5是利用图1的利用倾斜驱动的闸门阀阻断腔室开闭部的动作示意图。
首先，如图3所示，使驱动部运转，使得闸门110能够上升到开口部12侧。通过驱动部120的运转，闸门110沿着第一轴x1上升，而且通过持续的驱动力，闸门110上升到与开口部12相对的位置。
如图4所示，当闸门110到达与开口部12相对的位置即固定位置C时，闸门110的上端部与设置在腔室10外壁的止挡件150接触，而且即使从驱动部120提供持续的驱动力，与止挡件150接触状态的阀门110也在固定位置C上无法进一步上升，其在第一轴x1方向上的移动受到限制。
虽然闸门110及与之结合的楔部130在第一轴x1上的移动受到限制，但是驱动部120的终端部及与驱动部120结合的方向转换部140与止挡件150无关地在第一轴x1上持续上升。
即，如图5所示，方向转换部140在与楔部30接触的状态下进一步上升，但是在第一轴x1上移动受到限制的楔部130及闸门110通过与方向转换部140的斜面间的接触，沿着第二轴x2移动并靠近腔室10。
于是，通过方向转换部140和楔部130间的斜面接触结构，驱动部120在第一轴x1方向上的移动力转换成与之垂直的第二轴x2方向并传递到闸门110，闸门110与腔室10的外壁面紧密接触而将腔室10的内部空间完全密闭。
另外，当方向转换部140在楔部130的斜面上滑移，且楔部130和方向转换部140的中心之间的距离拉开时，通过将它们相互连接的弹性件160，与方向转换部140接近方向的弹力提供到楔部130。
不过，由于通过驱动部120供给的驱动力支撑从弹性件160提供的弹性力，因此不会解除闸门110与腔室10间的接触，而能够维持闸门110阻断开口部12的状态。
2.开口部的开放动作
图6至图8是利用图1的利用倾斜驱动的闸门阀将腔室的开闭部开放时的动作示意图。
首先，如图6所示，使驱动部120运转，使得闸门110沿着与为了阻断开口部12而移动过的方向的相反方向移动。即，当使驱动部120沿着第一轴x1下降时，与此连接的方向转换部140也下降。
这时，楔部130通过从以拉簧形式设置的弹性件160施加的弹力朝向下降的方向转换部140侧移动，而与楔部130结合的闸门110从腔室10的外壁侧解除接触而开放开口部12。
如图7所示，通过方向转换部140的持续的下降及来自弹性件160的弹力，方向转换部140和楔部130间的结合状态恢复为初始状态。
因此，如图8所示，当闸门110到达固定位置C时，方向转换部140和楔部130一体移动。即，方向转换部140和楔部130通过在第一轴x1上下降的驱动部120，以一体形式从固定位C脱离的同时下降，最终腔室10的开口部12的阻断状态被解除并向外部开放。
因此，根据本实施例的利用倾斜驱动的闸门阀，利用斜面结构转换驱动方向从而实现完全分离的"L"字形态的开闭驱动。
本发明的权利范围并不局限于上述实施例，在所附的权利要求书所记载的范围内可实现多种形态的实施例。在不脱离权利要求书中要求保护的本发明精神的范围内，本发明所属技术领域中的技术人员均可进行变形的各种范围也应属于本发明的权利要求书所记载的范围。

Claims (6)

1.一种利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：
闸门，沿着与所述开口部的表面平行的第一轴或与所述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与所述腔室的外壁接触或解除接触来开闭所述开口部；
驱动部，供给所述第一轴方向的移动力；
楔部，安装在所述闸门，外表面形成有斜面；及
方向转换部，与所述驱动部连接，为了将从所述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到所述闸门，所述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从所述楔部滑移。
2.根据权利要求1所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于，
所述闸门从与所述开口部相对的固定位置，在第一轴上的移动固定的状态下沿着所述第二轴移动到所述开口部侧并阻断开口部。
3.根据权利要求2所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于，
沿着所述驱动部在阻断所述开口部时的动作方向，所述楔部形成有逐渐变高的斜面，
沿着所述驱动部在阻断所述开口部时的动作方向，所述方向转换部形成有逐渐变低的斜面。
4.根据权利要求3所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于，
进一步包括设置在所述腔室的外壁上的止挡件，所述止挡件与所述闸门的端部接触，限制闸门在所述固定位置上沿着第一轴移动。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于，
进一步包括弹性件，所述弹性件连接所述楔部和所述方向转换部，对所述楔部和所述方向转换部提供相互吸引方向的弹性力。
6.根据权利要求5所述的利用倾斜驱动的闸门阀，其特征在于，
所述驱动部是空压缸。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106704600A (zh) * 2015-11-13 2017-05-24 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 阀门机构及半导体加工设备
CN107110402A (zh) * 2014-12-19 2017-08-29 Vat控股公司 用于对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门
CN107667241A (zh) * 2015-05-04 2018-02-06 普利西斯株式会社 真空阀

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102499323B1 (ko) * 2021-06-28 2023-02-15 주식회사 씰테크 반도체 진공용 밸브
KR102524474B1 (ko) * 2021-08-30 2023-04-24 주식회사 엘에이티 유체 조절 슬롯 밸브

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB897712A (en) * 1959-11-27 1962-05-30 Thomson Houston Comp Francaise Improved gate valve for fluid or vacuum pipe lines
JPS58118388A (ja) * 1981-12-29 1983-07-14 Hitachi Ltd 真空用ゲ−トバルブ
JPH05196150A (ja) * 1991-09-30 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk ゲートバルブ
JPH112360A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Nec Corp 真空用ゲートバルブ
CN1508462A (zh) * 2002-12-16 2004-06-30 Smc��ʽ���� 闸阀
CN201944318U (zh) * 2011-03-11 2011-08-24 上海华尔德电站阀门有限公司 一种新型闸阀

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3973753A (en) * 1974-03-18 1976-08-10 Varian Associates High vacuum gate valve
JPS5597563A (en) * 1979-01-13 1980-07-24 Rikagaku Kenkyusho Gate valve
JPH074966U (ja) * 1993-06-28 1995-01-24 株式会社大阪真空機器製作所 ゲートバルブ装置
JP3310578B2 (ja) * 1996-12-13 2002-08-05 エヌオーケー株式会社 ゲートバルブ
DE102008027944B3 (de) * 2008-06-12 2009-07-30 Vat Holding Ag Schieberventil
JP2011054928A (ja) * 2009-08-04 2011-03-17 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB897712A (en) * 1959-11-27 1962-05-30 Thomson Houston Comp Francaise Improved gate valve for fluid or vacuum pipe lines
JPS58118388A (ja) * 1981-12-29 1983-07-14 Hitachi Ltd 真空用ゲ−トバルブ
JPH05196150A (ja) * 1991-09-30 1993-08-06 Tokyo Electron Yamanashi Kk ゲートバルブ
JPH112360A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Nec Corp 真空用ゲートバルブ
CN1508462A (zh) * 2002-12-16 2004-06-30 Smc��ʽ���� 闸阀
CN201944318U (zh) * 2011-03-11 2011-08-24 上海华尔德电站阀门有限公司 一种新型闸阀

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107110402A (zh) * 2014-12-19 2017-08-29 Vat控股公司 用于对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门
US10184291B2 (en) 2014-12-19 2019-01-22 Vat Holding Ag Door for closing a chamber opening in a chamber wall of a vacuum chamber
CN107110402B (zh) * 2014-12-19 2019-10-25 Vat控股公司 用于对真空室的室壁中的室开口进行封闭的门
CN107667241A (zh) * 2015-05-04 2018-02-06 普利西斯株式会社 真空阀
CN107667241B (zh) * 2015-05-04 2019-06-14 普利西斯株式会社 真空阀
CN106704600A (zh) * 2015-11-13 2017-05-24 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 阀门机构及半导体加工设备
CN106704600B (zh) * 2015-11-13 2019-03-12 北京北方华创微电子装备有限公司 阀门机构及半导体加工设备

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